專利名稱：制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法。
(2)背景技術(shù)有機(jī)電致發(fā)光顯示器(下文中也簡稱為“有機(jī)EL顯示器”)被期望作為當(dāng)前流行的液晶顯示器的替代，并且正在為了實(shí)際應(yīng)用而處于研制中。特別地，把薄膜晶體管(TFT)作為開關(guān)元件的有源矩陣型的有機(jī)EL顯示器被視作下一代平板顯示器的主流。
圖1是帶有有機(jī)電致發(fā)光器件(下文中也簡稱為“有機(jī)EL器件”)的有機(jī)EL顯示器的平面圖，這些有機(jī)電致發(fā)光器件用它們各自的像素發(fā)出紅光、綠光和藍(lán)光。圖1用示意圖示出上面提到的三種顏色的像素區(qū)域。從左邊開始，提供了具有紅色發(fā)光層的紅色像素Rpix、具有綠色發(fā)光層的綠色像素Gpix和具有藍(lán)色發(fā)光層的藍(lán)色像素Bpix。
每個(gè)單獨(dú)的像素形成于由柵極信號(hào)線51和漏極信號(hào)線52圍繞的區(qū)域內(nèi)。開關(guān)元件第一TFT 130在該信號(hào)線的交點(diǎn)的左上方附近形成。用來驅(qū)動(dòng)該有機(jī)EL器件的第二TFT 140在中心附近形成。有機(jī)EL器件在空穴注入極12形成的區(qū)域內(nèi)離散地形成。
一般地，有機(jī)EL顯示器包含有機(jī)EL器件，在其中電子和空穴分別從電子注入極和空穴注入極被注入發(fā)光層。該電子和空穴在發(fā)光層和電子傳輸層之間的分界面處重新彼此結(jié)合，該位置在分界面附近或是在發(fā)光層內(nèi)，從而把有機(jī)分子引入激發(fā)態(tài)。這些有機(jī)分子隨著熒光發(fā)射從激發(fā)態(tài)返回基態(tài)。
這里，在形成該有機(jī)EL器件時(shí)，可以選擇發(fā)光層的材料來獲得用來以適當(dāng)?shù)念伾l(fā)光的有機(jī)EL器件。除此之外，可以適當(dāng)?shù)剡x擇這樣的EL器件來實(shí)現(xiàn)彩色顯示。
在許多情況下，這些有機(jī)EL顯示器通過真空汽化而形成。此外，考慮到生產(chǎn)率，該有機(jī)EL器件通常是由成批的方法制造的。當(dāng)有機(jī)EL器件是由成批的方法制造時(shí)，該發(fā)光層和電子空穴傳輸層一般形成于系統(tǒng)的不同形成腔內(nèi)。這延長了從形成發(fā)光層到形成電子傳輸層經(jīng)過的時(shí)間。結(jié)果，引起該有機(jī)EL器件的性能衰退的雜質(zhì)，譬如水分子和氧分子，會(huì)進(jìn)入該發(fā)光層和電子傳輸層之間的分界面。
(3)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明考慮到前述內(nèi)容被實(shí)現(xiàn)。因此其目的在于，提供一種能抑制有機(jī)EL顯示器的衰退的制造該有機(jī)EL顯示器的方法。
本發(fā)明的一個(gè)方面涉及一種制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法。該制造方法是制造帶有有機(jī)EL器件的有機(jī)EL顯示器的一種方法，在該有機(jī)EL器件中連續(xù)形成發(fā)光層和被安排在發(fā)光層上的電子傳輸層。
本發(fā)明的另一個(gè)方面也涉及一種制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法。該制造方法是制造有機(jī)EL顯示器的一種方法，該有機(jī)EL顯示器帶有用來以多種顏色發(fā)光的有機(jī)EL器件，在該有機(jī)EL器件中對(duì)于每種顏色連續(xù)形成發(fā)光層和被安排在發(fā)光層上的電子傳輸層。
該電子傳輸層可以在發(fā)光層形成后的十分鐘內(nèi)形成。該發(fā)光層和被安排在發(fā)光層上的電子傳輸層可以通過汽化在真空中形成。這時(shí)，用于保持和汽化該發(fā)光層的材料的第一移動(dòng)汽化源和用于保持和汽化該電子傳輸層的第二移動(dòng)汽化源被放置在一個(gè)襯底的下面，該發(fā)光層和電子傳輸層將在該襯底上形成。該第一和第二移動(dòng)汽化源相對(duì)于該發(fā)光層和電子傳輸層將在其上形成的襯底的表面相對(duì)平行地移動(dòng)，而該發(fā)光層和電子傳輸層是連續(xù)形成的。
此外，該第一和第二移動(dòng)汽化源在該襯底下可以相對(duì)安置，從而能從該襯底的一端移到另一端。這里，該發(fā)光層和電子傳輸層是通過汽化保留在該第一和第二移動(dòng)汽化源內(nèi)的材料而連續(xù)形成的，而各個(gè)移動(dòng)汽化源輪流移動(dòng)。此外，該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)可能各自等于或小于五，其中掃描的一個(gè)單位是該第一和第二移動(dòng)汽化源從該襯底的一端移動(dòng)到另一端的過程。該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)可能分別都是偶數(shù)。當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源可以返回它們各自的初始位置。
(4)


圖1是有源矩陣型的有機(jī)EL顯示器的平面圖，特別示出紅色、綠色、和藍(lán)色三種像素的區(qū)域；圖2是有機(jī)EL器件的典型結(jié)構(gòu)的剖面圖3A和3B是各自包括許多容器單元汽化源和有機(jī)材料將在其上汽化的襯底之間的物理關(guān)系的示意圖；圖4示出兩個(gè)有機(jī)EL器件的亮度隨時(shí)間的變化，一個(gè)器件具有其連續(xù)形成的發(fā)光層和電子傳輸層，一個(gè)器件具有其非連續(xù)形成的發(fā)光層和電子傳輸層；以及圖5示出有機(jī)EL器件的亮度隨時(shí)間的變化，這些器件的移動(dòng)汽化源在形成電子傳輸層時(shí)具有不同的掃描次數(shù)。
(5)具體實(shí)施方式
現(xiàn)在將根據(jù)較佳的實(shí)施例描述本發(fā)明，這些實(shí)施例并不想限制本發(fā)明的范圍而只是舉例說明本發(fā)明。實(shí)施例中描述的所有特性及其組合對(duì)本發(fā)明來說并非必定是本質(zhì)的。
在本實(shí)施例中，有機(jī)EL器件通過真空汽化形成。如上所述，在用成批的方法制造有機(jī)EL器件的典型系統(tǒng)中，該發(fā)光層和電子傳輸層是在不同的形成腔內(nèi)形成的。在本實(shí)施例中，該發(fā)光層和電子傳輸層在同一個(gè)形成腔內(nèi)連續(xù)形成。
圖2用示意圖表示圖1所示的有機(jī)EL顯示器的單個(gè)像素的代表性的剖面圖。玻璃襯底10上疊放了空穴注入極12、空穴傳輸層16、發(fā)光層22、電子傳輸層28和電子注入極32。
該空穴注入極12是由像銦錫氧化物(ITO)、氧化錫(SnO2)或氧化銦(In2O3)這樣的材料構(gòu)成的。
該空穴傳輸層16是由像由分子式1指定的N，N’-二(萘-1-基)-N，N’-二苯基-聯(lián)苯胺、4，4’，4’’-三(3-甲苯基苯基氨基)三苯胺(MTDATA)、或者由分子式3指定的N，N’-二苯基-N，N’-二(3-甲苯基)-1，1’-二苯基-4，4’-二胺這樣的材料構(gòu)成的。 [分子式2] [分子式3] 該發(fā)光層22具有像鋁-喹啉絡(luò)合物(Alq3)或者雙(苯并-喹啉胺)鈹絡(luò)合物(BeBq2)這樣的基質(zhì)。 [分子式5] 一般地，具有包含鰲合金屬絡(luò)合物的發(fā)光層的有機(jī)EL器件在發(fā)出短波長的彩色光，或者尤其是藍(lán)光時(shí)會(huì)產(chǎn)生問題。因此，用于發(fā)出藍(lán)光的發(fā)光層通常使用像丙酮及其衍生物這樣的基質(zhì)，它包括日本未審查的專利申請公布號(hào)為2002-25770的中揭示的由分子式6指定的叔丁基取代的二萘蒽，以及蒸餾苯及其衍生物。 為了期望的發(fā)光特性，具有上述的鰲合金屬絡(luò)合物或熔融的多環(huán)芳香族化物的作為其基質(zhì)的發(fā)光層22被摻雜像紅熒烯(Rubrene)、喹吖啶酮(Quinacridone)及其衍生物這樣的摻雜物。電子傳輸層28是由Alq3和BeBq2這樣的材料構(gòu)成的。電子注入極32是由像含有微量鋰的鋁合金(AlLi)、鎂銦合金(MgIn)、或者鎂銀合金(MgAg)這樣的材料構(gòu)成的。另一方面，電子注入極32可以是雙層結(jié)構(gòu)的電極，其中氟化鋰層和鋁層以此順序形成在側(cè)面上來與電子傳輸層28接觸。 [分子式8] 圖3A和3B用示意圖表示當(dāng)有機(jī)材料通過按照本發(fā)明制造有機(jī)EL器件的方法在襯底上汽化時(shí)，襯底和汽化源之間的物理關(guān)系。圖3A是從上面得到的平面圖。圖3B是從一側(cè)得到的側(cè)視圖。兩個(gè)移動(dòng)汽化源，或用于保持和汽化發(fā)光層的材料的第一汽化源和用于保持和汽化電子傳輸層的材料的第二汽化源，在該玻璃襯底10下面彼此相對(duì)分離。這兩個(gè)移動(dòng)汽化源各有六個(gè)彼此連接的石英容器單元。該容器單元各裝備有一個(gè)電子加熱器。該電子加熱器加熱該容器單元從而使材料從頂端的洞汽化。這些開孔被配置為可關(guān)閉的，所以只有當(dāng)該汽化源內(nèi)保持的材料被汽化時(shí)它們才被打開。這可以避免材料的交互沾染。
這時(shí)，空穴傳輸層被疊放在該玻璃襯底10之上。設(shè)置一個(gè)金屬掩模50從而使電子傳輸層和對(duì)應(yīng)于期望顏色的發(fā)光層在玻璃襯底10上的預(yù)定區(qū)域內(nèi)形成。該金屬掩模50的位置可被適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)以選擇性地形成每種顏色的有機(jī)層。
起初，發(fā)光層的材料從第一汽化源62被汽化。這時(shí)，該第一汽化源62被從該玻璃襯底10的一端移動(dòng)到另一端。結(jié)果，該發(fā)光層均勻地在玻璃襯底10上形成。在該發(fā)光層的形成完成之后，電子傳輸層的材料接著從第二汽化源64被汽化。該第二汽化源64也被像第一汽化源62那樣移動(dòng)，由此，電子傳輸層均勻地形成。這里，從玻璃襯底10的一端到另一端的過程被視作掃描的一個(gè)單位。因此一個(gè)往復(fù)就是掃描兩次。一般地，掃描次數(shù)被設(shè)置為往復(fù)的單位，或以偶數(shù)設(shè)置，因?yàn)橹圃觳襟E中移動(dòng)汽化源返回它們的初始位置。
該第一汽化源62和第二汽化源64的掃描次數(shù)是由發(fā)光層和電子傳輸層的汽化率以及各層的厚度決定的。然而，隨著掃描次數(shù)的增加，該發(fā)光層和電子傳輸層內(nèi)產(chǎn)生的分界面也隨之增加。這些分界面吸附會(huì)造成該有機(jī)EL器件的衰退的雜質(zhì)。因此，掃描次數(shù)最好少些。然而，當(dāng)需要形成厚層時(shí)，掃描次數(shù)常常不可避免地增加。因此，根據(jù)安全決定掃描次數(shù)具有更大的設(shè)計(jì)靈活性的優(yōu)點(diǎn)。下文中，將接合實(shí)施例的例子詳細(xì)描述本發(fā)明。值得注意的是，本發(fā)明并不限于下面的例子除非違背其要點(diǎn)。該例中有機(jī)EL器件的發(fā)光層和電子傳輸層是由圖3A和3B中所示的制造方法形成的。該方法會(huì)再次被簡要地描述。兩個(gè)移動(dòng)汽化源，或用于保持和汽化發(fā)光層的材料的第一汽化源62和用于保持和汽化電子傳輸層的材料的第二汽化源64，在該玻璃襯底10下面彼此相對(duì)。最初，當(dāng)發(fā)光層汽化時(shí)，該第一汽化源62被移動(dòng)。在發(fā)光層的汽化完成之后，當(dāng)電子傳輸層被汽化時(shí)，該第二汽化源64被移動(dòng)。
該制造方法被結(jié)合到具有多個(gè)形成腔的多腔型制造系統(tǒng)中。在襯底被傳送到另一個(gè)形成腔以形成另一種顏色的發(fā)光層之前，預(yù)定顏色的發(fā)光層和電子傳輸層在襯底上的同一個(gè)形成腔內(nèi)形成。
圖4和5示出用于發(fā)出綠光的有機(jī)EL器件的試驗(yàn)結(jié)果。汽化源的掃描次數(shù)是2，即，一個(gè)往復(fù)。發(fā)光層的基質(zhì)是Alq3，摻雜10％的用分子式6指定的化合物和1％的喹吖啶酮衍生物。電子傳輸層由Alq3構(gòu)成。發(fā)光層和電子傳輸層的厚度均為37.5nm。空穴傳輸層由用分子式1指定的化合物構(gòu)成并且厚度為150nm。汽化該材料的溫度如下對(duì)該用分子式1指定的化合物為340-350℃；對(duì)Alq3為310-320℃；對(duì)用分子式6指定的化合物為210-220℃；以及對(duì)喹吖啶酮衍生物為220-230℃。該形成腔的真空度大約為2×10-5Pa。
圖4示出兩個(gè)有機(jī)EL器件的亮度隨時(shí)間的變化，一個(gè)器件具有其連續(xù)形成的發(fā)光層和電子傳輸層，另一個(gè)器件具有其非連續(xù)形成的發(fā)光層和電子傳輸層。這里，亮度是相對(duì)于初始亮度示出的。該有機(jī)EL器件的初始亮度為800cd/m2，它是由電流密度為20mA/cm2的恒定電流激勵(lì)發(fā)光的，然后測定其亮度。圖5所示的發(fā)光測量也同樣地被處理。
具有非連續(xù)形成的電子傳輸層的有機(jī)EL器件在大約50個(gè)小時(shí)后亮度減半。相反地，具有連續(xù)形成的電子傳輸層的有機(jī)EL器件需要大約2000個(gè)小時(shí)使其亮度減半。這表現(xiàn)出特性的重大改進(jìn)。
圖5示出有機(jī)EL器件的亮度隨時(shí)間的變化，這些器件的移動(dòng)汽化源在形成電子傳輸層時(shí)具有不同的掃描次數(shù)。這里，如上所述，掃描次數(shù)是偶數(shù)，因?yàn)橹圃觳襟E中移動(dòng)汽化源返回它們的初始位置。不管掃描次數(shù)如何，使這兩個(gè)移動(dòng)汽化源的速度恒定。
當(dāng)掃描次數(shù)為2和4時(shí)，亮度顯示出幾乎相同的隨時(shí)間的變化，需要大約2000個(gè)小時(shí)來減半。掃描次數(shù)為8時(shí)，亮度大約在30個(gè)小時(shí)候減半。掃描次數(shù)為20時(shí)，亮度在大約2個(gè)小時(shí)后減半。從上面可以假設(shè)，期望的掃描次數(shù)應(yīng)等于或小于5次，并且最好是4次或更少。
這里，因?yàn)槠吹暮愣ㄋ俣?，掃描次?shù)的增加會(huì)降低材料的汽化率。結(jié)果，形成電子傳輸層需要更長的時(shí)間，這造成分界面并且可能增加在電子傳輸層內(nèi)混合的雜質(zhì)?？磥磉@就是掃描次數(shù)的增加為何能加速有機(jī)EL器件的衰退的原因。
如上所示，根據(jù)該示例性實(shí)施例，發(fā)光層和電子傳輸層可以連續(xù)地在同一個(gè)形成腔內(nèi)形成，以抑制在該發(fā)光層和電子傳輸層之間產(chǎn)生的分界面內(nèi)的雜質(zhì)混合。因此可以減少由落在分界面上的雜質(zhì)引起的有機(jī)EL器件的衰退。
除此之外，也可以減少形成電子傳輸層時(shí)汽化源的掃描次數(shù)來消除在電子傳輸層內(nèi)產(chǎn)生的分界面。因此可以減少由分界面內(nèi)混合的雜質(zhì)引起的有機(jī)EL器件的衰退。
根據(jù)本發(fā)明，可以消除在空穴傳輸層和發(fā)光層之間以及發(fā)光層和電子傳輸層之間產(chǎn)生的分界面，從而減少由這些分界面引起的有機(jī)EL器件的衰退。另一方面，也可以抑制將在電子傳輸層內(nèi)產(chǎn)生的分界面，以減少由分界面內(nèi)混合的雜質(zhì)引起的有機(jī)EL器件的衰退。
盡管本發(fā)明是通過示例性實(shí)施例的方式描述的，應(yīng)該理解本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可以做成許多改變和替代，而無須背離由所附權(quán)利要求定義的本發(fā)明的范圍。
權(quán)利要求
1.一種制造具有有機(jī)電致發(fā)光器件的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該方法包括連續(xù)形成一個(gè)發(fā)光層和一個(gè)待被放置在該發(fā)光層上的電子傳輸層的步驟。
2.一種制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，該顯示器具有用來發(fā)出許多顏色的光的有機(jī)電致發(fā)光器件，其特征在于，該方法包括相對(duì)每一色連續(xù)地在同一個(gè)形成腔內(nèi)形成一個(gè)發(fā)光層和一個(gè)待被放置在該發(fā)光層上的電子傳輸層的步驟。
3.按照權(quán)利要求1的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該電子傳輸層在該發(fā)光層形成后的十分鐘內(nèi)形成。
4.按照權(quán)利要求2的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該電子傳輸層在該發(fā)光層形成后的十分鐘內(nèi)形成。
5.按照權(quán)利要求1的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該發(fā)光層和待被放置在該發(fā)光層上的電子傳輸層是在真空中通過汽化形成的，這時(shí)，用于保持和汽化該發(fā)光層的材料的第一移動(dòng)汽化源和用于保持和汽化該電子傳輸層的第二移動(dòng)汽化源被放置在一個(gè)襯底的下面，該發(fā)光層和電子傳輸層將在該襯底上形成，該第一和第二移動(dòng)汽化源相對(duì)于該發(fā)光層和電子傳輸層將在其上形成的襯底的表面相對(duì)平行地移動(dòng)，而該發(fā)光層和電子傳輸層是連續(xù)形成的。
6.按照權(quán)利要求2的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該發(fā)光層和待放置在該發(fā)光層上的電子傳輸層是在真空中通過汽化形成的，這時(shí)，用于保持和汽化該發(fā)光層的材料的第一移動(dòng)汽化源和用于保持和汽化該電子傳輸層的第二移動(dòng)汽化源被放置在一個(gè)襯底的下面，該發(fā)光層和電子傳輸層將在該襯底上形成，該第一和第二移動(dòng)汽化源相對(duì)于該發(fā)光層和電子傳輸層將在其上形成的襯底的表面相對(duì)平行地移動(dòng)，而該發(fā)光層和電子傳輸層是連續(xù)形成的。
7.按照權(quán)利要求3的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該發(fā)光層和待被放置在該發(fā)光層上的電子傳輸層是在真空中通過汽化形成的，這時(shí)，用于保持和汽化該發(fā)光層的材料的第一移動(dòng)汽化源和用于保持和汽化該電子傳輸層的第二移動(dòng)汽化源被放置在一個(gè)襯底的下面，該發(fā)光層和電子傳輸層將在該襯底上形成，該第一和第二移動(dòng)汽化源相對(duì)于該發(fā)光層和電子傳輸層將在其上形成的襯底的表面相對(duì)平行地移動(dòng)，而該發(fā)光層和電子傳輸層是連續(xù)形成的。
8.按照權(quán)利要求4的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該發(fā)光層和待被放置在該發(fā)光層上的電子傳輸層是在真空中通過汽化形成的，這時(shí)，用于保持和汽化該發(fā)光層的材料的第一移動(dòng)汽化源和用于保持和汽化該電子傳輸層的第二移動(dòng)汽化源被放置在一個(gè)襯底的下面，該發(fā)光層和電子傳輸層將在該襯底上形成，該第一和第二移動(dòng)汽化源相對(duì)于該發(fā)光層和電子傳輸層將在其上形成的襯底的表面相對(duì)平行地移動(dòng)，而該發(fā)光層和電子傳輸層是連續(xù)形成的。
9.按照權(quán)利要求5的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源在該襯底下彼此相對(duì)從而能從襯底的一端移動(dòng)到另一端；以及該發(fā)光層和電子傳輸層是通過汽化保留在第一和第二移動(dòng)汽化源內(nèi)的材料而連續(xù)形成的，而各移動(dòng)汽化源是輪流移動(dòng)的。
10.按照權(quán)利要求6的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源在該襯底下彼此相對(duì)從而能從襯底的一端移動(dòng)到另一端；以及該發(fā)光層和電子傳輸層是通過汽化保留在第一和第二移動(dòng)汽化源內(nèi)的材料而連續(xù)形成的，而各移動(dòng)汽化源是輪流移動(dòng)的。
11.按照權(quán)利要求7的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源在該襯底下彼此相對(duì)從而能從襯底的一端移動(dòng)到另一端；以及該發(fā)光層和電子傳輸層是通過汽化保留在第一和第二移動(dòng)汽化源內(nèi)的材料而連續(xù)形成的，而各移動(dòng)汽化源是輪流移動(dòng)的。
12.按照權(quán)利要求8的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源在該襯底下彼此相對(duì)從而能從襯底的一端移動(dòng)到另一端；以及該發(fā)光層和電子傳輸層是通過汽化保留在第一和第二移動(dòng)汽化源內(nèi)的材料而連續(xù)形成的，而各移動(dòng)汽化源是輪流移動(dòng)的。
13.按照權(quán)利要求9的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)可能各自等于或小于五，其中掃描的一個(gè)單位是該第一和第二移動(dòng)汽化源從該襯底的一端移動(dòng)到另一端的過程。
14.按照權(quán)利要求10的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)可能各自等于或小于五，其中掃描的一個(gè)單位是該第一和第二移動(dòng)汽化源從該襯底的一端移動(dòng)到另一端的過程。
15.按照權(quán)利要求11的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)可能各自等于或小于五，其中掃描的一個(gè)單位是該第一和第二移動(dòng)汽化源從該襯底的一端移動(dòng)到另一端的過程。
16.按照權(quán)利要求12的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于，該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)可能各自等于或小于五，其中掃描的一個(gè)單位是該第一和第二移動(dòng)汽化源從該襯底的一端移動(dòng)到另一端的過程。
17.按照權(quán)利要求9的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
18.按照權(quán)利要求10的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
19.按照權(quán)利要求11的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
20.按照權(quán)利要求12的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
21.按照權(quán)利要求13的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
22.按照權(quán)利要求14的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
23.按照權(quán)利要求15的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
24.按照權(quán)利要求16的制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法，其特征在于該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描次數(shù)分別為偶數(shù)；以及當(dāng)該第一和第二移動(dòng)汽化源的掃描完成后，該第一和第二移動(dòng)汽化源被返回它們各自的初始位置。
全文摘要
一種制造有機(jī)EL顯示器的方法，其中阻止該有機(jī)EL器件的被促進(jìn)的性能衰退，該衰退是由該有機(jī)EL器件形成期間在空穴傳輸層和發(fā)光層之間以及發(fā)光層和電子傳輸層之間產(chǎn)生的分界面引起的。該發(fā)光層的材料從第一汽化源被汽化。此時(shí)，該第一汽化源被從玻璃襯底的一端移動(dòng)到另一端。結(jié)果，該發(fā)光層均勻地在該玻璃襯底上形成。在該發(fā)光層的形成完成后，該電子傳輸層的材料從第二汽化源被汽化。該第二汽化源像該第一汽化源一樣被移動(dòng)，由此均勻地形成該電子傳輸層。
文檔編號(hào)H01L51/50GK1443027SQ03120228
公開日2003年9月17日 申請日期2003年3月5日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月5日
發(fā)明者中野真吾, 神野浩, 中井正也 申請人:三洋電機(jī)株式會(huì)社