專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體制造裝置用的控制器模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體元件的裝置，且特指半導(dǎo)體元件制造裝置用的控制器模塊，其中多個(gè)控制器裝置于一個(gè)控制箱中，該控制箱可在一移動(dòng)式的控制箱支持器上移動(dòng)，以利該控制器的保養(yǎng)。


圖1是一個(gè)典型半導(dǎo)體制造裝置的透視圖。在圖1中，該典型的半導(dǎo)體制造裝置具有一主要反應(yīng)室10和多個(gè)控制器21、22和23。該等控制器21、22和23可裝置于多層，且各自依附于該等半導(dǎo)體制造裝置，或可裝置在該等半導(dǎo)體制造裝置的周?chē)?，以方便該等半?dǎo)體制造裝置的保養(yǎng)。然而，若控制器分散于該等半導(dǎo)體裝置的周?chē)?，操作者需要四處移?dòng)，以操作分散于該等半導(dǎo)體裝置周?chē)目刂破?，這樣效率不高。此外，該半導(dǎo)體制造裝置的安裝占據(jù)一定的空間，且在旁邊更需要一空間以保養(yǎng)該等控制器。再者，若該等控制器以層狀結(jié)構(gòu)裝置于該半導(dǎo)體制造裝置，在維修該較低的控制器時(shí)，較低的控制器上方的較高控制器要先移開(kāi)。因此，因?yàn)樾枰~外的工作以保養(yǎng)此控制器，及額外的空間以進(jìn)行保養(yǎng)工作，半導(dǎo)體制造裝置所需的空間變大。操作該半導(dǎo)體制造裝置的大空間的需求，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?yàn)橐豁?xiàng)缺點(diǎn)，因?yàn)榘雽?dǎo)體制造裝置尺寸傾向于變大。
因此，需要一種減少該半導(dǎo)體制造裝置占據(jù)空間的方法，及一種有利于該控制器保養(yǎng)的方法。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明乃針對(duì)于一種半導(dǎo)體制造裝置的控制器模塊，其排除現(xiàn)有技術(shù)的限制和缺點(diǎn)產(chǎn)生的一個(gè)或多個(gè)問(wèn)題。
本發(fā)明的一項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)是提供一半導(dǎo)體制造裝置的控制器模塊，其中一個(gè)控制箱中具有多個(gè)控制器，裝置于一個(gè)移動(dòng)式控制箱支持器上，并在該移動(dòng)式控制箱支持器上滑動(dòng)，以利維修和保養(yǎng)。
以下的描述中會(huì)提出本發(fā)明附加的特色和優(yōu)點(diǎn)，且部分可從此描述中得知，或由本發(fā)明的實(shí)行中得知。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)可以由書(shū)面的描述、權(quán)利要求書(shū)以及圖標(biāo)中所特別指出的構(gòu)造實(shí)現(xiàn)并達(dá)到。
為了達(dá)到依照本發(fā)明目的的這些優(yōu)點(diǎn)和其它優(yōu)點(diǎn)，如實(shí)施和大致描述，用于半導(dǎo)體制造裝置的控制器模塊，其中該控制器模塊具有多個(gè)控制器，包含一個(gè)控制箱，位于該半導(dǎo)體制造裝置之外，其中各個(gè)控制器分別裝置于該控制箱之中，和一個(gè)移動(dòng)式控制箱支持器，其中該控制箱位于該控制箱支持器上，且可在該控制箱支持器上滑動(dòng)。此控制箱支持器包含一滑動(dòng)裝置，使該控制箱滑動(dòng)于該控制箱支持器上。此滑動(dòng)裝置是一線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，且此線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包含一導(dǎo)引軌道，和依附于此控制箱底部的一個(gè)移動(dòng)實(shí)體。
圖1是一典型半導(dǎo)體制造裝置的透視圖。
圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)用于半導(dǎo)體制造裝置的一控制器模塊。
圖中符號(hào)說(shuō)明10 主要反應(yīng)室21、22、23 控制器100 控制箱200 控制箱支持器210 輪子220 導(dǎo)引軌道221 移動(dòng)本體
230 支柱圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)用于半導(dǎo)體制造裝置的一控制器模塊。圖2中，根據(jù)本發(fā)明的用于半導(dǎo)體制造裝置的控制器模塊，其具有多個(gè)控制器、一個(gè)控制箱100和一個(gè)移動(dòng)式控制箱支持器200。該多個(gè)控制器裝置于該控制箱100中，且分隔為控制箱100中的許多隔間。一滑動(dòng)盤(pán)(未顯示)裝置于各個(gè)隔間的一個(gè)底部，以利該控制器(未顯示)裝置于該隔間，及使該控制器分離出該隔間。因此，各控制器先被放在該滑動(dòng)盤(pán)，然后該滑動(dòng)盤(pán)滑進(jìn)該控制箱100，以將該控制器配置于該控制箱100中。該控制器可通過(guò)將該滑動(dòng)盤(pán)滑出該控制箱100而脫離該控制箱100。因此，當(dāng)該等控制器的其中一個(gè)需要維修或保養(yǎng)時(shí)，此維修和保養(yǎng)的執(zhí)行可不干擾其它控制器。
該控制箱支持器200主要具有多個(gè)滾動(dòng)物或輪子210、多個(gè)支柱230、一滑動(dòng)裝置具有兩對(duì)導(dǎo)引軌道220和一移動(dòng)本體221。該多個(gè)輪子210裝置于該控制箱支持器200的底部，以移動(dòng)該控制箱支持器200。該多個(gè)支柱230也裝置在該控制箱支持器200的底部，以固定該控制箱支持器200的位置。一線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)用于本發(fā)明的滑動(dòng)裝置。該控制箱100置于該滑動(dòng)裝置上，之后可前后滑動(dòng)。如上所述，該滑動(dòng)裝置具有兩對(duì)該導(dǎo)引軌道220，且該移動(dòng)本體221沿著該導(dǎo)引軌道220直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。該直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的各對(duì)，即該導(dǎo)引軌道220和該移動(dòng)本體221，裝置于該控制箱支持器200的兩側(cè)。該移動(dòng)本體221附加于該控制箱100的底部，且因此該控制箱100可由手動(dòng)或自動(dòng)操作而前后移動(dòng)。因此，當(dāng)該控制器需要維修或保養(yǎng)工作時(shí)，一個(gè)操作者可以將該控制箱支持器200移動(dòng)到適合維修和保養(yǎng)的地方，再進(jìn)行維修和保養(yǎng)。此外，該維修和保養(yǎng)工作可以容易的對(duì)該控制器執(zhí)行，其通過(guò)滑動(dòng)該控制箱100于該控制箱支持器200之上，而此時(shí)該控制箱支持器200則固定在原來(lái)裝置處。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，半導(dǎo)體制造裝置的尺寸可以減小，其通過(guò)裝置該多個(gè)控制器于該移動(dòng)式控制箱100，且該維修和保養(yǎng)工作可輕易的施行，其通過(guò)將該控制箱100移動(dòng)到適于進(jìn)行該需要工作之處。此外，根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)晶片的尺寸變大時(shí)，生產(chǎn)力和生產(chǎn)良率可改善。
本領(lǐng)域技術(shù)人員，可在不背離本發(fā)明的精神和范圍中，對(duì)本發(fā)明的制造和應(yīng)用作不同的修改和變化。因此，此本發(fā)明包含請(qǐng)求范圍內(nèi)所有的改變和變型。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體制造裝置用的控制器模塊，其特征在于，該控制器模塊具有多個(gè)控制器，且包含一控制箱，位于該半導(dǎo)體制造裝置之外，其中，該多個(gè)控制器中的每個(gè)分別裝置于該控制箱中；和一移動(dòng)式控制箱支持器，其中該控制箱裝載于該控制箱支持器之上，并在該控制箱支持器上滑動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置用的控制器模塊，其特征在于，該控制箱支持器包含一滑動(dòng)裝置，用以使該控制箱在該控制箱支持器上滑動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體制造裝置用的控制器模塊，其特征在于，該滑動(dòng)裝置是一個(gè)線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。
4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造裝置用的控制器模塊，其特征在于，該線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包含一導(dǎo)引軌道；和一移動(dòng)本體，依附于該控制箱的一個(gè)底部。
全文摘要
一種用于半導(dǎo)體制造裝置的控制器模塊，其中該控制器模塊具有多個(gè)控制器，且包含一控制箱，位于該半導(dǎo)體制造裝置之外，其中該多個(gè)控制器的各個(gè)分別裝置于該控制箱中，和一移動(dòng)式控制箱支持器，其中該控制箱裝載于該控制箱支持器之上，并在該控制箱支持器上滑動(dòng)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK1467789SQ0312083
公開(kāi)日2004年1月14日 申請(qǐng)日期2003年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月4日
發(fā)明者高富珍 申請(qǐng)人:周星工程股份有限公司