專利名稱：控片的庫存管理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種控片(Control Wafer)的庫存管理方法，尤其涉及一種具有注冊(Register)功能與選擇(Select)功能的庫存管理方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體廠中，可通過控片來監(jiān)控機臺情況與產(chǎn)品規(guī)格。若以控片的品質(zhì)來區(qū)分，則控片可分為全新控片、制程控片、以及檔片(Dummy Wafer)等三大類。全新控片是指尚未用于任何制程的控片，就如同尚未進(jìn)行任何制程的全新晶圓；制程控片是指已由制程工程師所定義而即將用于某種制程的控片；至于檔片，則是由制程控片經(jīng)過數(shù)次降級(Downgrade)后已無法用來監(jiān)控制程品質(zhì)的控片。
若以控片實際所適用的制程來區(qū)分，則控片可區(qū)分為爐管(Furnace)控片、微影(Photo)控片、化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition；CVD)控片、濺鍍(Sputter)控片、蝕刻(Etch)控片、化學(xué)機械拋光(Chemical Mechanical Polishing；CMP)控片、研磨(Grinding)控片、以及氧化(Oxidation)控片等。以氧化控片為例，其用于氧化制程中。在氧化制程進(jìn)行時，產(chǎn)品晶圓與控片同時被置于爐管中。當(dāng)該氧化制程完成后要獲得晶圓的厚度信息時，可量測控片的厚度而不需直接量測產(chǎn)品晶圓的厚度，因而可避免損壞產(chǎn)品晶圓。
在早期的晶圓制造廠中，每一片控片獨立使用于某一制程中。因此，當(dāng)某一控片的品質(zhì)已降低至某一制程的需求以下時，該控片即需以報廢處理，因而造成了控片的浪費。
近年來，晶圓制造廠中對于控片的使用則采用以下做法。當(dāng)某一控片的品質(zhì)已降低至某一制程的需求以下時，該控片可降級而用于其它對于控片的品質(zhì)需求較低的制程。請參考

圖1所示的現(xiàn)有控片的降級流程(生命周期)的示意圖。在圖1中，全新控片300代表尚未用于任何制程的控片。材料表(Bill OfMaterial；BOM)a至材料表z則表示全新控片300實際用于各種不同制程時，制程工程師所需建立的不同的控片材料表。也就是說，某一材料表中記錄著某一制程所需進(jìn)行的一連串步驟與所需使用的一連串配方案(Recipe)。材料表a至材料表z彼此間互有如箭號所示的關(guān)系存在。也就是說，控片的降級需依據(jù)如圖1中所示的流程來進(jìn)行。例如，當(dāng)選擇全新控片300以用于制程中時，由于全新控片300具有最佳的控片品質(zhì)，因此其需用于對控片品質(zhì)的要求最高的制程，因而其可具有材料表a、材料表b、或材料表c。以材料表a而言，當(dāng)具有該材料表a的控片結(jié)束制程后，該控片可降級至對應(yīng)于材料表d、材料表e、或材料表f的不同制程。依此類推，當(dāng)控片經(jīng)過數(shù)次降級以用于不同制程后，最后其必然會降至最低品質(zhì)而具有材料表v、材料表w、材料表y、或材料表z。然后，控片即由于品質(zhì)已降至最低而成為回收控片400。因此，回收控片400為已無法再降級以用于另一制程的控片。然而，回收控片400可通過磨除其表面的各種薄膜以再度成為全新控片300而回收使用。當(dāng)回收控片400的厚度不足以再次回收使用時，該控片即需以報廢來處理。
圖2為現(xiàn)有技術(shù)中控片管理中各區(qū)獨立運作的示意圖，其可用以說明控片降級轉(zhuǎn)用時置于不同暫存區(qū)(Bank)的原理。擴散區(qū)控片10、植入?yún)^(qū)控片20、研磨區(qū)控片30、微影區(qū)控片40、濺鍍區(qū)控片50、化學(xué)機械拋光區(qū)控片60、與化學(xué)氣相沉積區(qū)控片70等用于不同制程區(qū)域的控片。值得一提的是，圖2中的材料表A至材料表P與圖1中的材料表a至材料表z中的每一個材料表(共42個)均是代表特定材料表，而并不需完全相異。例如，材料表A與材料表a可代表相同的材料表，也可分別代表相異的材料表。另外，材料表A與材料表b可代表相同的材料表，也可分別代表相異的材料表。至于，在同一圖(如圖2)中，不同編號的材料表(如材料表A與材料表B)當(dāng)然代表不同的材料表。其中，擴散區(qū)控片10中具有材料表A的控片與具有材料表B的控片置于第一暫存區(qū)11上；而具有材料表C的控片、具有材料表D的控片、與具有材料表E的控片置于第二暫存區(qū)12上。同理，在植入?yún)^(qū)控片20中，具有材料表F的控片置于第三暫存區(qū)23上；具有材料表G的控片、具有材料表H的控片、與具有材料表I的控片置于第四暫存區(qū)24上；而具有材料表J的控片與具有材料表K的控片置于第五暫存區(qū)25上。至于，在微影區(qū)控片40中，具有材料表L的控片、具有材料表M的控片、具有材料表N的控片、與具有材料表O的控片置于第六暫存區(qū)46上；而具有材料表P的控片置于第七暫存區(qū)47上。如圖2中所示，所有具有不同材料表A至材料表P的控片均是來自于全新控片300或回收控片400。例如，一全新控片300可置于第二暫存區(qū)12上，并賦予材料表C、材料表D、或材料表E，以作為不同用途的控片。同理，另一全新控片300可置于第五暫存區(qū)25上，并賦予材料表J或材料表K，以做為不同用途的控片。另外，一回收控片400可置于第四暫存區(qū)24上，并賦予材料表G、材料表H、或材料表I，以做為不同用途的控片。
請同時參考圖1與圖2。圖1中的控片的降級流程可說是每片控片的理想行進(jìn)路徑。然而，現(xiàn)有技術(shù)控片的材料表的建立方式卻有其管理上的問題。如圖2中所示，目前每片控片的材料表由制程工程師以簿記的方式來建立，其中該材料表中僅定義控片種類等信息。也就是說，由此制程工程師所建立的材料表中僅能獲得該控片即將用于何種制程等信息。因此，不同控片材料表中的信息完全獨立而無法相互整合以提供重要的控片庫存信息。例如，當(dāng)具有材料表a的控片完成材料表a中所定義的制程后，究竟應(yīng)將該控片降級為材料表d、材料表e、或材料表f，只能憑借制程工程師的經(jīng)驗，而無法考慮材料表d、材料表e、與材料表f的對應(yīng)機臺對控片的實際需求數(shù)量，因而造成某些制程區(qū)域的控片數(shù)量短缺，而其它制程區(qū)域的控片數(shù)量則過剩。
綜上可知，所述現(xiàn)有技術(shù)的控片的庫存管理方法，在實際使用上，顯然存在不便與缺陷，所以有必要加以改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述的缺陷，本發(fā)明主要目的在于，提供一種控片的庫存管理方法，其中整合所有控片材料表的信息以平衡各站的控片的用量。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種控片的庫存管理方法，可借以將所有控片材料表的信息連結(jié)至信息技術(shù)系統(tǒng)。
本發(fā)明的再一目的在于，提供一種控片的庫存管理方法，可借以減少控片的用量。
根據(jù)本發(fā)明的上述目的，提出一種控片的庫存管理方法。在本發(fā)明一較佳實施例中，該控片的庫存管理方法至少包括下列步驟。首先，將一種類的一控片登入于一數(shù)據(jù)庫中，借以更新該數(shù)據(jù)庫中上述種類的一控片庫存量。接著，將控片用于一制程中。然后，將該控片注銷數(shù)據(jù)庫，借以更新數(shù)據(jù)庫中上述種類的控片庫存量。此外，本發(fā)明中的上述注銷步驟之后還包括根據(jù)數(shù)據(jù)庫中其它種類的控片庫存量與上下級關(guān)系將該控片降級為另一種類。
因此，應(yīng)用本發(fā)明可整合所有控片材料表的信息以平衡各站的控片的用量；此外，應(yīng)用本發(fā)明可借以將所有控片材料表的信息連結(jié)至信息技術(shù)系統(tǒng)；再者，應(yīng)用本發(fā)明可借以減少控片的用量。
附圖簡要說明下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的較佳實施例的詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其他有益效果顯而易見。
附圖中，圖1為現(xiàn)有控片的降級流程(生命周期)的示意圖；圖2為現(xiàn)有控片管理中各區(qū)獨立運作的示意圖；圖3為本發(fā)明一較佳實施例的控片的庫存管理方法中注冊與選擇下一材料表或暫存區(qū)功能的示意圖；圖4為本發(fā)明一較佳實施例的控片的庫存管理方法的示意圖。
具體實施例方式
下文，將詳細(xì)描述本發(fā)明。
本發(fā)明提供一種具有注冊功能與選擇功能的控片的庫存管理方法。圖3為本發(fā)明一較佳實施例的控片的庫存管理方法中注冊與選擇下一材料表或暫存區(qū)功能的示意圖。如圖3中所示，本發(fā)明中的某一控片在進(jìn)入某一暫存區(qū)時，具有注冊與選擇下一材料表的功能；而當(dāng)賦予某一控片一材料表時，該材料表同樣具有注冊與選擇下一暫存區(qū)的功能。在圖3中，每個暫存區(qū)中與每個材料表中的注冊與選擇功能分別以橢圓形與長方形來表示。例如，一控片在進(jìn)入第六暫存區(qū)46時，具有注冊功能110與選擇功能115；而當(dāng)賦予該控片材料表L時，該材料表L具有注冊功能120與選擇功能125；且該控片在進(jìn)入第五暫存區(qū)25時，具有注冊功能130與選擇功能135。以下即以第六暫存區(qū)46、材料表L、與第五暫存區(qū)25三者間的關(guān)系來說明本發(fā)明中的注冊與選擇功能。
在現(xiàn)有控片的庫存管理方法中，各制程區(qū)域的控片各自獨立運作。因此，當(dāng)屬于微影區(qū)控片40的具有材料表L的一控片完成材料表L中所定義的制程后，由控片管理人員憑經(jīng)驗法則來決定該控片接下來究竟需降級至哪一個不同制程的暫存區(qū)，例如屬于植入?yún)^(qū)控片20的第四暫存區(qū)24或第五暫存區(qū)25，而未能考慮上下級的供需關(guān)系。至于，本發(fā)明的控片的庫存管理方法中由于具有注冊與選擇功能，使得控片管理人員能從信息技術(shù)系統(tǒng)的計算機屏幕上清楚得知每一種控片的存量與所在位置，因而使一控片在降級時能在上下級供需關(guān)系的前提下前往下一個最適合的制程位置。圖3中虛線箭號即表示本發(fā)明中的注冊與選擇功能所建立的整合控片庫存量上下級供需關(guān)系。以第六暫存區(qū)46、材料表L、與第五暫存區(qū)25三者之間的關(guān)系為例，當(dāng)一控片進(jìn)入第六暫存區(qū)46時，注冊功能110即可實現(xiàn)更新信息技術(shù)系統(tǒng)中第六暫存區(qū)46中的控片庫存量。也就是說，第六暫存區(qū)46的控片庫存量需加1。接著，以選擇功能115來定義該控片的材料表為材料表L、材料表M、材料表N、或材料表O的其中一種。然后，若該控片的材料表為材料表L，則利用注冊功能120將該控片登入信息技術(shù)系統(tǒng)中，并更新信息技術(shù)系統(tǒng)中第六暫存區(qū)46的控片庫存量(減1)與具有材料表L的控片數(shù)量(加1)。接著，該控片可被用于材料表L中所定義的制程中。當(dāng)該制程完成后，將將該控片注銷信息技術(shù)系統(tǒng)，并接著以選擇功能125來選擇該控片即將前往的另一暫存區(qū)，如第四暫存區(qū)24或第五暫存區(qū)25。若為第五暫存區(qū)25，則當(dāng)該控片進(jìn)入第五暫存區(qū)25時，注冊功能130即可以更新信息技術(shù)系統(tǒng)中具有材料表L的控片數(shù)量(減1)與第五暫存區(qū)25中的控片庫存量(加1)。然后，以選擇功能135來定義數(shù)種材料表的其一。所以，如上所述，運用本發(fā)明中的注冊與選擇功能，可使控片管理員在對控片進(jìn)行降級的動作時，能充分考慮各種控片的上下級供需關(guān)系。
圖4為本發(fā)明一較佳實施例的一種控片的庫存管理方法的示意圖。原始控片材料表500代表各種不同用途的控片在降級過程中于各站所具有的原始材料表。也就是說，原始控片材料表500中具有如圖1中所繪示的材料表a至材料表z。值得一提的是，該材料表a至材料表z中的a至z的編號僅是用于區(qū)別控片用于不同制程時所具有的不同材料表，而并非用來表示制程的先后順序。
另外，全新控片300為具有材料表a至材料表z的所有不同種類的控片的來源，而回收控片400則為已無法再降級以用于另一制程的控片。其中，回收控片400可通過磨除其表面的各種薄膜以再度成為全新控片300而回收使用。然而，當(dāng)歷經(jīng)回收控片400成為全新控片300的數(shù)次循環(huán)后，回收控片400的厚度將不足以再次回收使用，則需作報廢處理。
本發(fā)明的特征在于，可通過注冊功能510而將原始控片材料表500中各自獨立的控片材料表信息(材料表a至材料表z)整合于一數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中，其中該數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)例如可為信息技術(shù)系統(tǒng)600。上述注冊功能510包括登入步驟與注銷步驟。其中，每一片控片的注銷步驟可于結(jié)束該控片的某一制程后進(jìn)行，然后該控片再進(jìn)行下一回合的注冊操作。
通過注冊功能510，可將原始控片材料表500中各自獨立的控片材料表信息整合于信息技術(shù)系統(tǒng)600。也就是說，原始控片材料表500中原本各自獨立運作的材料表a至材料表z經(jīng)整合于信息技術(shù)系統(tǒng)600后，已轉(zhuǎn)換為整合控片庫存520，其中包括具有材料表a的控片庫存量521、具有材料表b的控片庫存量522、與具有材料表c的控片庫存量523等。此外，整合控片庫存520中還包括每種材料表a至材料表z間的上下級關(guān)系。因此，經(jīng)上述注冊功能510后，由于材料表a至材料表z的信息已整合于信息技術(shù)系統(tǒng)600中，因該材料表a至材料表z已不再是各自獨立的控片材料表信息，而是彼此間互有關(guān)聯(lián)的整合控片材料表信息。
接著，可參考整合控片庫存520中的庫存信息與上下級關(guān)系，而在降級步驟530中決定究竟應(yīng)將一控片降級成具有哪一種材料表的控片，其中該降級步驟530可通過例如材料需求計劃(Material Requirement Planning；MRP)系統(tǒng)等軟件系統(tǒng)來達(dá)成。然后，當(dāng)某一控片完成某一制程后，可通過將該控片注銷信息技術(shù)系統(tǒng)600而達(dá)到調(diào)整庫存540的目的。
因此，運用本發(fā)明的控片的庫存管理方法可將不同控片材料表中的信息完全整合以提供重要的控片庫存信息以及上下級關(guān)系。例如，當(dāng)具有材料表a的控片完成材料表a中所定義的制程后，信息技術(shù)系統(tǒng)600的計算機屏幕上可顯示材料表d、材料表e、以及材料表f的控片庫存量等相關(guān)信息，因而可決定究竟應(yīng)將具有材料表a的控片降級為材料表d、材料表e、或材料表f。
由上述本發(fā)明較佳實施例可知，應(yīng)用本發(fā)明可整合所有控片材料表的信息以平衡各站的控片的用量。
此外，由上述本發(fā)明較佳實施例可知應(yīng)用本發(fā)明，可借以將所有控片材料表的信息連結(jié)至信息技術(shù)系統(tǒng)。
再者，由上述本發(fā)明較佳實施例可知應(yīng)用本發(fā)明，可借以減少控片的用量。
可以理解的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明后附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種控片的庫存管理方法，其特征在于，至少包括將一種類的一控片登入于一數(shù)據(jù)庫中，借以更新該數(shù)據(jù)庫中該種類的一控片庫存量；將該控片用于一制程中；以及將該控片注銷該數(shù)據(jù)庫，借以更新該數(shù)據(jù)庫中該種類的該控片庫存量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該注銷步驟之后還包括將該控片置于一暫存區(qū)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該注銷步驟之后還包括根據(jù)該數(shù)據(jù)庫中多個種類的多個控片庫存量與一上下級關(guān)系將該控片降級為另一種類。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該降級步驟依據(jù)一材料需求計劃系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該數(shù)據(jù)庫為一信息技術(shù)系統(tǒng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該種類選自于由爐管控片、微影控片、化學(xué)氣相沉積控片、濺鍍控片、蝕刻控片、化學(xué)機械拋光控片、研磨控片、以及氧化控片所組成的一族群。
7.一種控片的庫存管理方法，其特征在于，至少包括將一種類的一控片登入于一數(shù)據(jù)庫中，借以更新該數(shù)據(jù)庫中該種類的一控片庫存量；將該控片用于一制程中；將該控片注銷該數(shù)據(jù)庫，借以更新該數(shù)據(jù)庫中該種類的該控片庫存量；以及根據(jù)該數(shù)據(jù)庫中多個種類的多個控片庫存量與一上下級關(guān)系將該控片降級為另一種類。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該注銷步驟之后還包括將該控片置于一暫存區(qū)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該降級步驟依據(jù)一材料需求計劃系統(tǒng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該數(shù)據(jù)庫為一信息技術(shù)系統(tǒng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的控片的庫存管理方法，其特征在于，該種類選自于由爐管控片、微影控片、化學(xué)氣相沉積控片、濺鍍控片、蝕刻控片、化學(xué)機械拋光控片、研磨控片、以及氧化控片所組成的一族群。
全文摘要
一種控片(Control Wafer)的庫存管理方法，至少包括下列步驟首先，將一控片登入于一數(shù)據(jù)庫中，借以更新該數(shù)據(jù)庫中同種類控片的控片庫存量。接著，將該控片用于一制程中。然后，將該控片注銷數(shù)據(jù)庫，借以再度更新該數(shù)據(jù)庫中同種類控片的控片庫存量。此外，本發(fā)明中的上述注銷步驟之后還包括根據(jù)數(shù)據(jù)庫中其它種類的控片庫存量與上下級關(guān)系將該控片降級為另一種類。
文檔編號H01L21/00GK1534529SQ03147618
公開日2004年10月6日 申請日期2003年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月31日
發(fā)明者趙震霖, 閻衛(wèi)國, 李俊毅 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司