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      具有復(fù)合基板的發(fā)光元件的制作方法

      文檔序號(hào):6891486閱讀:245來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:具有復(fù)合基板的發(fā)光元件的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明關(guān)于一種發(fā)光元件,尤其關(guān)于一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件。
      背景技術(shù)
      發(fā)光元件的應(yīng)用頗為廣泛,例如,可應(yīng)用于光學(xué)顯示裝置、激光二極管、交通標(biāo)志、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置、通訊裝置、照明裝置、以及醫(yī)療裝置。
      傳統(tǒng)的發(fā)光元件的材質(zhì)主要為半導(dǎo)體,該種材質(zhì)的導(dǎo)熱特性不佳。當(dāng)發(fā)光元件通電時(shí),由于發(fā)光元件發(fā)光,會(huì)因此而產(chǎn)生熱,由于發(fā)光元件為半導(dǎo)體材質(zhì),因此導(dǎo)熱不佳,這些熱若無(wú)法適當(dāng)?shù)乇灰瞥?,則發(fā)光元件將會(huì)因受熱而降低發(fā)光效率,如AlGaInP組成的材料,在相同的電流條件操作下,當(dāng)外界的溫度由20℃升溫至80℃時(shí),亮度將下降20%-50%。前述的問(wèn)題在小尺寸的發(fā)光元件上,由于在低電流操作,電流小于30mA~50mA,發(fā)光產(chǎn)生的熱還勉強(qiáng)能由疊層導(dǎo)除,因此問(wèn)題還不太明顯;但是當(dāng)發(fā)生在大尺寸的發(fā)光元件時(shí),在高電流操作,電流大于100mA~1A,則該大尺寸發(fā)光元件所產(chǎn)生的熱,將無(wú)法及時(shí)移除,則發(fā)光元件的溫度將上升,亮度便明顯下降,使得發(fā)光元件的發(fā)光功率大大降低。
      在美國(guó)專利第6287882號(hào)中公開了一種發(fā)光二極管,其以金屬反射粘結(jié)劑粘結(jié)一發(fā)光單元以及一金屬基板,使得該發(fā)光二極管具有反射及導(dǎo)熱的功能。于臺(tái)灣專利第151410號(hào)中公開一種具有金屬基板的半導(dǎo)體元件,其利用電鍍法將金屬材料鍍于半導(dǎo)體發(fā)光疊層上,形成一金屬基板,以金屬基板取代傳傳統(tǒng)半導(dǎo)體基板,來(lái)達(dá)到導(dǎo)熱的功能。但是上述兩種結(jié)構(gòu)在工藝中,后段晶粒(管芯)切割時(shí),金屬基板在切割上有其困難度。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,利用一復(fù)合基板,其中該復(fù)合基板有一高熱傳導(dǎo)層以及圍繞于高熱傳導(dǎo)層周圍的基板。如此,該復(fù)合基板具備金屬基板的提供熱能散逸功能,以解決發(fā)光元件中熱能無(wú)法即時(shí)移除的問(wèn)題。
      本發(fā)明的另一目的在于提供一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,在晶粒切割時(shí),直接切割該復(fù)合基板中的基板,如此可解決晶粒切割時(shí),金屬基板不易切割的問(wèn)題。
      根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,包含一復(fù)合基板,其中該復(fù)合基板是由一高熱傳導(dǎo)層以及圍繞于高熱傳導(dǎo)層周圍的基板組成;以一粘結(jié)層將該復(fù)合基板與一發(fā)光疊層結(jié)合在一起。
      前述的高熱傳導(dǎo)層包含選自Cu、Al、Au、Ag、W及其合金所構(gòu)成的材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料;前述的基板包含選自Si、GaAs、Ge、Al2O3、玻璃、InP及GaP所構(gòu)成的材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。


      圖1為一示意圖,顯示依本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件;圖2為一示意圖,顯示依本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施例的一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件;以及圖3為一示意圖,顯示依本發(fā)明又一優(yōu)選實(shí)施例的一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件。
      附圖中的附圖標(biāo)記說(shuō)明如下1 發(fā)光元件10 復(fù)合基板101 高熱傳導(dǎo)層 102 基板11 金屬反射層 12 透明粘結(jié)層13 透明導(dǎo)電層 14 發(fā)光疊層15 第一接線電極16 第二接線電極2 發(fā)光元件20 復(fù)合基板201 高熱傳導(dǎo)層202 基板21 金屬反射層22 導(dǎo)電透明粘結(jié)層 23 透明導(dǎo)電層24 發(fā)光疊層25 接線電極
      3 發(fā)光元件30 復(fù)合基板 301 高熱傳導(dǎo)層302 基板 31 金屬粘結(jié)層32 發(fā)光疊層 33 接線電極具體實(shí)施方式
      本案發(fā)明人于思考如何解決前述的問(wèn)題時(shí),認(rèn)為若利用一復(fù)合基板,其中該復(fù)合基板由一高熱傳導(dǎo)層以及圍繞于高熱傳導(dǎo)層周圍的基板;以一粘結(jié)層將該復(fù)合基板與一發(fā)光疊層結(jié)合在一起。如此,該復(fù)合基板兼具金屬基板的提供熱能散逸功能,同時(shí)在晶粒切割時(shí),直接切割復(fù)合基板中的基板部分,如此可解決晶粒切割時(shí),金屬基板不易切割的困難。
      請(qǐng)參閱圖1,依本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例1的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件1,包含一復(fù)合基板10,其中該復(fù)合基板包含一高熱傳導(dǎo)層101以及圍繞于高熱傳導(dǎo)層周圍的基板102;形成于該復(fù)合基板上的一金屬反射層11;形成于該金屬反射層上的一透明粘結(jié)層12;形成于該透明粘結(jié)層上的一透明導(dǎo)電層13,其中,該透明導(dǎo)電層的上表面包含一第一表面區(qū)域與一第二表面區(qū)域;形成于該第一表面區(qū)域上的一發(fā)光疊層14;形成于該第二表面區(qū)域上的一第一接線電極15;以及形成于該發(fā)光疊層上的一第二接線電極16。
      上述的實(shí)施例1中,于該金屬反射層及該透明粘結(jié)層之間可形成一第一反應(yīng)層;于該透明粘結(jié)層及該透明導(dǎo)電層之間可形成一第二反應(yīng)層,以提高其間的附著力。
      上述的實(shí)施例1中,該金屬反射層亦可形成于透明粘結(jié)層與透明導(dǎo)電層之間。另外上述的實(shí)施例中該透明粘結(jié)層亦可以不透明粘結(jié)層取代,同時(shí)該金屬反射層形成于不透明粘結(jié)層與透明導(dǎo)電層之間。
      請(qǐng)參閱圖2,依本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例2的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件2,包含一復(fù)合基板20,其中該復(fù)合基板包含一高熱傳導(dǎo)層201以及圍繞于高熱傳導(dǎo)層周圍的基板202;形成于該復(fù)合基板上的一金屬反射層21;形成于該金屬反射層上的一導(dǎo)電透明粘結(jié)層22;形成于該導(dǎo)電透明粘結(jié)層上的一透明導(dǎo)電層23;形成于該透明導(dǎo)電層上的一發(fā)光疊層24;以及形成于該發(fā)光疊層上的一接線電極25。
      上述的實(shí)施例2中,于該金屬反射層及該導(dǎo)電透明粘結(jié)層之間可形成一第一反應(yīng)層;于該導(dǎo)電透明粘結(jié)層及該透明導(dǎo)電層之間可形成一第二反應(yīng)層,以提高其間的附著力。
      上述的實(shí)施例中,該金屬反射層亦可形成于導(dǎo)電透明粘結(jié)層與透明導(dǎo)電層之間。另外上述的實(shí)施例中該導(dǎo)電透明粘結(jié)層亦可以導(dǎo)電粘結(jié)層取代,同時(shí)該金屬反射層形成于導(dǎo)電粘結(jié)層與透明導(dǎo)電層之間。
      請(qǐng)參閱圖3,依本發(fā)明又一優(yōu)選實(shí)施例3的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件3,包含一復(fù)合基板30,其中該復(fù)合基板包含一高熱傳導(dǎo)層301以及圍繞于高熱傳導(dǎo)層周圍的基板302;形成于該復(fù)合基板上的一金屬粘結(jié)層31;形成于該金屬粘結(jié)層上的一發(fā)光疊層32;以及形成于該發(fā)光疊層上的一接線電極33。
      于上述的各實(shí)施例1,2或3中,于復(fù)合基板的高熱傳導(dǎo)層及基板之間可形成一連結(jié)層,使得高熱傳導(dǎo)層及基板間的接合力更強(qiáng)。
      前述高熱傳導(dǎo)層可以為單個(gè)或多個(gè)的高熱傳導(dǎo)層型態(tài)存在;前述高熱傳導(dǎo)層的形成方法是包含選自電鍍、電鑄、無(wú)電解電鍍及電弧蒸鍍之中至少一種方法或其他可替代的方法;前述高熱傳導(dǎo)層是包含選自Cu、Al、Au、Ag、W及其合金所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料;前述連結(jié)層是包含選自氧化銦錫、GeAu、BeAu、SiNx、SiO2、Au、Cu、Ti及Pd所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料;前述的基板是包含選自Si、GaAs、Ge、Al2O3、玻璃、InP及GaP所構(gòu)成材料族群中至少一種材料;前述發(fā)光疊層是包含AlGaInP、AlInGaN及AlGaAs系列所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料;前述透明粘結(jié)層是包含選自于聚酰亞胺(PI)、苯并環(huán)丁烷(BCB)或過(guò)氟環(huán)丁烷(PFCB)所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料;該導(dǎo)電透明粘結(jié)層包含選自于本征導(dǎo)電高分子(Intrinsically conducting polymer)或高分子中摻雜導(dǎo)電材質(zhì)所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料,其中,該導(dǎo)電材質(zhì)包含選自于氧化銦錫、氧化鎘錫、氧化銻錫、氧化鋅、氧化鋅錫、Au及Ni/Au所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料;前述第一反應(yīng)層是包含選自于SiNx、Ti或Cr所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料;前述第二反應(yīng)層是包含選自于SiNx、Ti或Cr所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料;前述金屬反射層是包含選自于In、Sn、Al、Au、Pt、Zn、Ge、Ag、Ti、Pb、Pd、Cu、AuBe、AuGe、Ni、PbSn或AuZn所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料;前述金屬粘結(jié)層是包含選自于In、Sn、Al、Au、Pt、Zn、Ge、Ag、Ti、Pb、Pd、Cu、AuBe、AuGe、Ni、PbSn或AuZn所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料。
      本發(fā)明的發(fā)光元件的應(yīng)用頗為廣泛,例如,可應(yīng)用于光學(xué)顯示裝置、激光二極管、交通標(biāo)志、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置、通訊裝置、照明裝置、以及醫(yī)療裝置。
      雖然本發(fā)明的發(fā)光元件已以優(yōu)選實(shí)施例公開如上,但是本發(fā)明的范圍并不限于上述優(yōu)選實(shí)施例,應(yīng)以所附權(quán)利要求所確定的為準(zhǔn)。因此本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的權(quán)利要求及精神下,應(yīng)當(dāng)可做任何改變。
      權(quán)利要求
      1.一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,包含一復(fù)合基板,其中該復(fù)合基板包含一高熱傳導(dǎo)層以及圍繞于高熱傳導(dǎo)層周圍的基板;形成于該復(fù)合基板上的一粘結(jié)層;以及形成于該粘結(jié)層上的一發(fā)光疊層。
      2.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該粘結(jié)層為一透明粘結(jié)層。
      3.如權(quán)利要求2所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該透明粘結(jié)層為一透明導(dǎo)電粘結(jié)層。
      4.如權(quán)利要求2所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該透明粘結(jié)層為一透明不導(dǎo)電粘結(jié)層。
      5.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該粘結(jié)層為一不透明粘結(jié)層。
      6.如權(quán)利要求5所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該不透明粘結(jié)層為一不透明導(dǎo)電粘結(jié)層。
      7.如權(quán)利要求5所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該不透明粘結(jié)層為一不透明不導(dǎo)電粘結(jié)層。
      8.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,于該復(fù)合基板及該粘結(jié)層之間還包含一第一反應(yīng)層。
      9.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,于該粘結(jié)層及該發(fā)光疊層之間還包含一第二反應(yīng)層。
      10.如權(quán)利要求8所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,于該復(fù)合基板及該第一反應(yīng)層之間還包含一金屬反射層。
      11.如權(quán)利要求9所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,于該第二反應(yīng)層及該發(fā)光疊層之間還包含一金屬反射層。
      12.如權(quán)利要求11所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,于該金屬反射層及該發(fā)光疊層之間還包含一透明導(dǎo)電層。
      13.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該粘結(jié)層是一金屬粘結(jié)層。
      14.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該粘結(jié)層是一金屬反射粘結(jié)層。
      15.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,于該高熱傳導(dǎo)層及該基板之間還包含一連結(jié)層。
      16.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該高熱傳導(dǎo)層包含選自Cu、Al、Au、Ag、W及其合金所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      17.如權(quán)利要求15所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該連結(jié)層包含選自氧化銦錫、GeAu、BeAu、Au、SiNx、SiO2、Cu、Ti及Pd所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      18.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該基板包含選自Si、GaAs、Ge、Al2O3、玻璃、InP及GaP所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      19.如權(quán)利要求2所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該透明粘結(jié)層包含選自于聚酰亞胺、苯并環(huán)丁烷及過(guò)氟環(huán)丁烷所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      20.如權(quán)利要求3所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該透明導(dǎo)電粘結(jié)層包含選自于本征導(dǎo)電高分子或高分子中摻雜導(dǎo)電材質(zhì)所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      21.如權(quán)利要求20所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該導(dǎo)電材質(zhì)包含選自于氧化銦錫、氧化鎘錫、氧化銻錫、氧化鋅、氧化鋅錫、Au及Ni/Au所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      22.如權(quán)利要求13所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該金屬粘結(jié)層包含選自In、Sn、Al、Au、Pt、Zn、Ge、Ag、Ti、Pb、Pd、Cu及其合金所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      23.如權(quán)利要求14所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該金屬反射粘結(jié)層包含選自In、Sn、Al、Au、Pt、Zn、Ge、Ag、Ti、Pb、Pd、Cu及其合金所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      24.如權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該發(fā)光疊層包含AlGaInP、AlInGaN及AlGaAs系列所構(gòu)成材料組群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      25.如權(quán)利要求8所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該第一反應(yīng)層包含選自SiNx、Ti及Cr所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      26.如權(quán)利要求9所述的具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其中,該第二反應(yīng)層包含選自SiNx、Ti及Cr所構(gòu)成材料族群中的至少一種材料或其他可替代的材料。
      全文摘要
      本發(fā)明公開一種具有復(fù)合基板的發(fā)光元件,其包括一復(fù)合基板,其中該復(fù)合基板包含一高熱傳導(dǎo)層以及圍繞于該高熱傳導(dǎo)層周圍的基板;形成于該復(fù)合基板上的一粘結(jié)層;形成于該粘結(jié)層上的一發(fā)光疊層。如此可解決晶粒切割時(shí),金屬層不易切割的困難。
      文檔編號(hào)H01L33/00GK1592513SQ03156670
      公開日2005年3月9日 申請(qǐng)日期2003年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月5日
      發(fā)明者劉文煌, 王仁水, 謝明勛 申請(qǐng)人:晶元光電股份有限公司
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