專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體元件的引線成形裝置和引線成形方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體元件的引線成形。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體元件的引線從樹(shù)脂封裝的兩側(cè)引出。在半導(dǎo)體制造工序中，對(duì)樹(shù)脂密封后的半導(dǎo)體元件進(jìn)行引線部件成形。例如，在加工成鷗翼型引線形狀的場(chǎng)合，將進(jìn)行了樹(shù)脂密封的半導(dǎo)體元件置于預(yù)彎曲加工用的上下金屬模具之間，對(duì)從半導(dǎo)體元件的樹(shù)脂封裝的兩側(cè)引出的引線部分通過(guò)加壓加工使其彎曲。接著，將該半導(dǎo)體元件置于彎曲加工用的上下金屬模具之間，對(duì)引線形狀的預(yù)彎曲后的引線的端部通過(guò)加壓加工，使其向反方向彎折。接著，將具有該?dān)t翼型引線形狀的半導(dǎo)體元件置于修正加工用的上下金屬模具之間，修正成最終的形狀。
在這樣的引線成形加工中，需要與被成形體的尺寸相應(yīng)的專(zhuān)用金屬模具作為模具。但是，對(duì)每種不同的形狀都準(zhǔn)備一種金屬模具，費(fèi)用昂貴，而且每當(dāng)制品的品種改變時(shí)需要更換金屬模具的工序。因此，提出了金屬模具通用化的方案。例如，在實(shí)開(kāi)昭60-99033號(hào)公報(bào)中所述的彎曲裝置的可動(dòng)成形模具中，在將線材、板材等彎曲加工成臺(tái)階狀的加壓推壓裝置中可以在上下方向改變上下一對(duì)金屬模具中的上金屬模具的位置。另外，可以用螺絲在左右方向移動(dòng)調(diào)整左右并列配置的金屬模具中的一塊金屬模具的位置。另外，關(guān)于半導(dǎo)體的引線成形沒(méi)有記述。還有，在特開(kāi)平6-47445號(hào)公報(bào)中所述的彎曲加工裝置中，由多個(gè)部分構(gòu)成金屬模具，使其一部分為可動(dòng)部。通過(guò)移動(dòng)該可動(dòng)部來(lái)改變金屬模具的形狀。另外，關(guān)于半導(dǎo)體的引線成形沒(méi)有記述。還有，在特開(kāi)平10-163396號(hào)公報(bào)中所述的引線彎曲裝置8中設(shè)置了用于保持引線根部位置的保持構(gòu)件和保持引線端部位置的另外的保持構(gòu)件。當(dāng)引線的彎曲形狀變化時(shí)，與其對(duì)應(yīng)地改變引線的根部位置和引線的端部位置。于是，調(diào)整保持構(gòu)件的位置，接著，使引線的端部以圓弧狀運(yùn)動(dòng)，將引線成形。
在現(xiàn)有的引線部件成形中，當(dāng)加工對(duì)象的半導(dǎo)體的種類(lèi)變更，或即使是同一類(lèi)型的半導(dǎo)體，但引線的成形形狀變更時(shí)，上述預(yù)彎曲用上下金屬模具、彎曲用上下金屬模具和修正用上下金屬模具全部需要變更、置換。這是由于對(duì)每一種半導(dǎo)體的引線形狀都需要各自的金屬模具。因此，需要很大的設(shè)備投資。還有，對(duì)于置換需要較多的勞力和時(shí)間。
另外，在實(shí)開(kāi)昭60-99033號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平6-47445號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平10-223818號(hào)公報(bào)所述的裝置中，可以根據(jù)加工對(duì)象變更金屬模具的位置等。但是，用這些裝置不能實(shí)現(xiàn)高的加工精度，例如微米級(jí)的加工精度。例如，實(shí)開(kāi)昭60-99033號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平6-47445號(hào)公報(bào)所述的裝置不是進(jìn)行引線成形的裝置，并且未考慮用螺絲調(diào)整金屬模具的位置等，以及未考慮高加工精度。另外，特開(kāi)平10-163396號(hào)公報(bào)所述的引線彎曲裝置使用了沒(méi)有沖頭和沖模的金屬模具將引線進(jìn)行彎曲。用該引線彎曲裝置時(shí)，在引線的根部位置和加工位置處夾住引線，使加工位置描畫(huà)圓弧軌跡將引線部變形，這種加工的加工精度當(dāng)然是低的。另外，這些裝置無(wú)論哪一種都只是將引線彎曲，不能處理復(fù)雜形狀的引線。
實(shí)開(kāi)昭60-99033號(hào)公報(bào)[專(zhuān)利文獻(xiàn)2]特開(kāi)平6-47445號(hào)公報(bào)[專(zhuān)利文獻(xiàn)3]特開(kāi)平10-163396號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是使得在半導(dǎo)體元件的引線成形中，即使在根據(jù)元件形狀改變金屬模具的形狀等的場(chǎng)合，也能高精度地對(duì)半導(dǎo)體元件的引線進(jìn)行加工。
本發(fā)明的半導(dǎo)體引線成形裝置由以下部分構(gòu)成裝載應(yīng)被成形的半導(dǎo)體元件的承載臺(tái)；具備并列地設(shè)置、彼此相互適配的1對(duì)上金屬模具和下金屬模具的2套金屬模具(彎曲加工用金屬模具、切斷加工用金屬模具等)；以及改變上述2套金屬模具的相對(duì)位置的移動(dòng)裝置。上述1對(duì)上金屬模具和下金屬模具處于夾住從裝載于承載臺(tái)上的半導(dǎo)體元件引出的引線的位置，上金屬模具和下金屬模具對(duì)半導(dǎo)體元件引線的位于兩者之間的部分進(jìn)行加工。


圖1是發(fā)明的實(shí)施例1的半導(dǎo)體的引線彎曲加工用引線成形裝置的正視圖。
圖2是控制裝置的圖。
圖3是圖1所示的引線成形裝置的一部分的側(cè)面圖。
圖4是器件支架之一例的圖。
圖5是圖1所示的引線成形裝置的局部正視圖。
圖6是示出圖5的裝置中的加工工序的正視圖。
圖7是說(shuō)明尺寸不同的半導(dǎo)體的加工的8是示出圖7的裝置的加工工序的正視圖。
圖9是發(fā)明的實(shí)施例2的金屬模具的正視圖。
圖10是發(fā)明的實(shí)施例3的金屬模具的正視圖。
圖11是發(fā)明的實(shí)施例4的金屬模具的正視圖。
圖12是發(fā)明的實(shí)施例5的半導(dǎo)體的引線切斷加工用的引線成形裝置的正視圖。
圖13是圖1所示的引線成形裝置的一部分的側(cè)面圖。
圖14是發(fā)明的實(shí)施例6的半導(dǎo)體彎曲加工用的引線成形裝置的正視圖。
圖15是發(fā)明的實(shí)施例7的引線成形方法的流程圖。
圖16是示出半導(dǎo)體元件的尺寸的圖。
圖17是發(fā)明的實(shí)施例8的引線成形方法的流程圖。
圖18是示出半導(dǎo)體元件的尺寸的圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。另外，圖中相同的參照符號(hào)表示相同或同等的部分。
半導(dǎo)體引線成形裝置并列而相向地設(shè)置了2組具有將半導(dǎo)體一側(cè)的引線成形的沖頭和沖模的金屬模具(彎曲加工用金屬模具、切斷加工用金屬模具等)。為了將半導(dǎo)體兩側(cè)的引線成形，將具有沖頭和沖模的金屬模具置于半導(dǎo)體的兩側(cè)進(jìn)行彎曲、切斷等加工。在該引線成形裝置中，可以利用移動(dòng)裝置改變兩組金屬模具的相對(duì)位置等。據(jù)此，能夠用在引線成形裝置中設(shè)置的金屬模具將多種半導(dǎo)體引線成形。據(jù)此，能夠自動(dòng)進(jìn)行品種變更，以及能夠節(jié)省金屬模具的設(shè)備投資費(fèi)用。
發(fā)明的實(shí)施例1按照?qǐng)D1對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例1的引線成形裝置進(jìn)行說(shuō)明。在以下的說(shuō)明中，加在結(jié)構(gòu)要素名稱(chēng)上的“左”和“右”字樣表示從正面看時(shí)的位置。成為加工對(duì)象的半導(dǎo)體元件是從封裝的兩側(cè)引出引線的元件，借助于該引線成形裝置將引線加工成鷗翼型。用該引線成形裝置時(shí)，對(duì)引線形狀相同而只是半導(dǎo)體的樹(shù)脂封裝部分的尺寸不同的半導(dǎo)體，無(wú)需更換金屬模具，通過(guò)改變1對(duì)金屬模具的相對(duì)位置就可以進(jìn)行引線的彎曲加工。
在該引線成形裝置中，在基板10的上方，從正面看在左側(cè)與右側(cè)相互反方向刻上了螺紋的左右滾珠絲杠12被左軸承14L和右軸承14R支撐。左右滾珠絲杠12經(jīng)固定在其一端的聯(lián)結(jié)器16與電動(dòng)機(jī)18連接，利用電動(dòng)機(jī)18的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。左螺母20L與右螺母20R與左右滾珠絲杠12的左側(cè)和右側(cè)的螺紋部嚙合，在左螺母20L和右螺母20R上分別安裝了左工作臺(tái)22L和右工作臺(tái)22R。在左工作臺(tái)22L上裝載了左下金屬模具24L，在右工作臺(tái)22R上裝載了右下金屬模具24R。被上模板26支撐的左上金屬模具28L和右上金屬模具28R分別與左下金屬模具24L和右下金屬模具24R相向?？梢越柚诩訅貉b置30將上模板26向下壓。這里，左上金屬模具28L和左下金屬模具24L以及右上上金屬模具28R和右下金屬模具24R分別具有形狀相互嚙合的1對(duì)沖頭和沖模。即該裝置組裝了左上金屬模具28L和左下金屬模具24L以及右上上金屬模具28R和右下金屬模具24R這兩對(duì)金屬模具。另外，傳感器32固定在左工作臺(tái)22L與右工作臺(tái)22R的相向的側(cè)面上，檢測(cè)金屬模具的相對(duì)位置。另外，左右器件支架34L、34R也被安裝在左工作臺(tái)22L和右工作臺(tái)22R上。半導(dǎo)體元件80被器件支架34L、34R保持，置于規(guī)定的位置上。在該裝置中，右金屬模具和左金屬模具分別只將半導(dǎo)體元件80一邊的引線成形，其結(jié)果是同時(shí)將半導(dǎo)體元件80兩邊的引線成形。
如圖2所示，控制裝置60借助于CPU62對(duì)引線成形裝置進(jìn)行控制。操作時(shí)控制裝置60輸入來(lái)自傳感器32的信號(hào)，另外，從輸入裝置64接受由操作者給出的所希望的位置設(shè)定。然后根據(jù)當(dāng)前位置與希望位置之差來(lái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)18，使左右滾珠絲杠12旋轉(zhuǎn)。這樣，根據(jù)希望位置的設(shè)定自動(dòng)地調(diào)整了金屬模具的相對(duì)距離。另外，在其他實(shí)施例中，可以借助于對(duì)金屬模具的其他部分設(shè)置適當(dāng)?shù)臏y(cè)量裝置，輸入其測(cè)量結(jié)果，根據(jù)它與希望值之差來(lái)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)它的驅(qū)動(dòng)裝置，從而自動(dòng)地進(jìn)行調(diào)整。
在該裝置中，當(dāng)借助于電動(dòng)機(jī)18的驅(qū)動(dòng)，通過(guò)左右滾珠絲杠12移動(dòng)左螺母20L和右螺母20R時(shí)，左螺母20L和左工作臺(tái)22L與右螺母20R和右工作臺(tái)22R相互靠近或離開(kāi)。借助于左右滾珠絲杠12的旋轉(zhuǎn)，兩對(duì)金屬模具的相對(duì)間隔發(fā)生變化。通過(guò)調(diào)整左右滾珠絲杠12來(lái)設(shè)定兩對(duì)金屬模具的相對(duì)間隔。另外，也可以取代左右滾珠絲杠，在右側(cè)和左側(cè)各自獨(dú)立地用滾珠絲杠移動(dòng)右金屬模具和左金屬模具。
左上金屬模具28L與右上金屬模具28R與模板26緊密接觸，但并不固定。這是為了跟隨由左右滾珠絲杠12的動(dòng)作引起的左下金屬模具24L和右下金屬模具24R移動(dòng)。圖3從側(cè)面示出了上模板26和右上金屬模具28R。在圖3所示的例子中，保持右上金屬模具28R的1對(duì)導(dǎo)向滾輪38被分別固定在上模板的兩端的1對(duì)板40上而被保持。因此，右上金屬模具28R由固定在上模板26上的1對(duì)導(dǎo)向滾輪38支撐，并在圖1的左右方向自由移動(dòng)。對(duì)左上金屬模具28L的保持方法與此相同。
向左右引出引線的樹(shù)脂封裝半導(dǎo)體元件80被傳送裝置(圖示從略)置于左右器件支架34L、34R上。借助于器件支架34L、34R支撐元件樹(shù)脂封裝的肩部，半導(dǎo)體元件80位于上金屬模具與下金屬模具之間的規(guī)定位置。這里，半導(dǎo)體元件80的一邊的引線位于左上金屬模具28L與左下金屬模具24L之間，與此相反一側(cè)的一邊的引線位于右上金屬模具28R與右下金屬模具24R之間。在加工時(shí)，加壓裝置30向下方推壓上模板26，保持在器件支架上的半導(dǎo)體元件80的引線部分即被成形。
另外，在圖4所示的例子中，器件支架134L、134R取代了器件支架34L、34R，被安裝在驅(qū)動(dòng)軸(左右滾珠絲杠)70上，利用經(jīng)聯(lián)結(jié)器72連接的伺服電動(dòng)機(jī)74調(diào)整其間隔。另外，與圖1的金屬模具一樣，在器件支架134L、134R上設(shè)置了傳感器(未圖示)，用以測(cè)量其相對(duì)距離。該驅(qū)動(dòng)軸70例如設(shè)置在從圖1中看的滾珠絲杠12的內(nèi)側(cè)，這時(shí)，控制裝置60也控制由伺服電動(dòng)機(jī)64進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)。因此，可以獨(dú)立于金屬模具的相對(duì)距離、與半導(dǎo)體元件的封裝形狀對(duì)應(yīng)地調(diào)整保持位置。另外，器件支架也可以與其他部件一體化。
圖5詳細(xì)地示出了上金屬模具28L、28R和下金屬模具24L、24R。在左上金屬模具28L中，左上支座44L用左支點(diǎn)46L支撐左沖頭48L。另外，左沖頭48L在下部具有左滾輪50L。還有，在左下金屬模具24L中的左下支座52L上固定了左凸輪板54L和左沖模56L。同樣，在右上金屬模具28R中，右上支座44R用右支點(diǎn)46R支撐右沖頭48R。另外，右沖頭48R在下部具有右滾輪50R。還有，在右下金屬模具24R中的右下支座52R上固定了右凸輪板54R和右沖模56R。沖頭48L、48R以支點(diǎn)46L、46R為中心擺動(dòng)，另外，滾輪50L、50R與在凸輪板54L、54R的上部的內(nèi)側(cè)端部?jī)A斜地形成的肩部接觸，能夠旋轉(zhuǎn)。沖頭48L、48R的下部形狀與沖模56L、56R的上部形狀被設(shè)計(jì)成在其間可以將半導(dǎo)體元件80的引線形成鷗翼形狀。另外，器件支架34L、34R被安裝在沖模56L、56R上而省略了其圖示。
如對(duì)以上說(shuō)明過(guò)的裝置的工作進(jìn)行說(shuō)明，則首先，為了設(shè)定2對(duì)金屬模具的相對(duì)位置，借助于電動(dòng)機(jī)18和左右滾珠絲杠12，以與半導(dǎo)體80對(duì)應(yīng)的所希望的尺寸移動(dòng)左上金屬模具28L、左下金屬模具24L、右上金屬模具28R、右下金屬模具24R。接著，利用傳送裝置(圖示從略)借助于器件支架34L、34R將半導(dǎo)體80置于規(guī)定的位置。接著，利用加壓裝置30的動(dòng)作，經(jīng)由模板26，左上金屬模具28L和右上金屬模具28R在下降動(dòng)作中移動(dòng)(參照?qǐng)D5的箭頭)。當(dāng)上模板26在滾輪50L、50R與凸輪板54L、54R的肩部接觸的狀態(tài)下進(jìn)一步下降時(shí)，保持在導(dǎo)向滾輪38L、38R上的上支座44L、44R向內(nèi)側(cè)移動(dòng)。
裝載了半導(dǎo)體80的左上金屬模具28L和右上金屬模具28R借助于被加壓裝置30的驅(qū)動(dòng)經(jīng)由模板26至下死點(diǎn)。這時(shí)，左沖頭48L借助于左滾輪50L與左凸輪板54L的接觸和轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作，以左支點(diǎn)46L為中心移動(dòng)至規(guī)定位置，由于左沖頭48L與左沖模56L的嚙合，半導(dǎo)體80的引線在下死點(diǎn)的位置得到了所希望的形狀(參照?qǐng)D6)。至下死點(diǎn)狀態(tài)的半導(dǎo)體被稱(chēng)為成形后半導(dǎo)體81。
如圖7所示，在利用該引線成形裝置對(duì)引線形狀相同而只是半導(dǎo)體的樹(shù)脂部分的尺寸不同的半導(dǎo)體(例如圖7所示的半導(dǎo)體82)進(jìn)行加工時(shí)，按照與半導(dǎo)體82對(duì)應(yīng)的所希望的尺寸用電動(dòng)機(jī)18驅(qū)動(dòng)，借助于左右滾珠絲杠12左右移動(dòng)左上金屬模具28L、左下金屬模具24L、右上金屬模具28R、右下金屬模具24R，用傳感器32確認(rèn)金屬模具的位置。借助于該左右滾珠絲杠12進(jìn)行的左下金屬模具24L、左上金屬模具28L和右下金屬模具24R、右上金屬模具28R的相對(duì)位置變更，在借助于加壓裝置30的工作進(jìn)行合模之前的位置上進(jìn)行。這是由于在此位置上左下金屬模具24L與左上金屬模具28L以及右下金屬模具24R與右上金屬模具28R相嵌合，看上去成了一個(gè)金屬模具的緣故。其后，利用傳送裝置(未圖示)將半導(dǎo)體82置于希望的位置。接著，利用加壓裝置30的工作，經(jīng)由模板26，左上金屬模具28L和左下金屬模具24L在下降動(dòng)作中移動(dòng)。如圖7所示，裝載了半導(dǎo)體元件82的左上金屬模具28L和右上金屬模具28R，借助于加壓裝置30的驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由模板26而至下死點(diǎn)。這時(shí)，左沖頭48L借助于左滾輪50L與左凸輪板54L的接觸和轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作，以左支點(diǎn)46L為中心移動(dòng)至規(guī)定位置，借助于左沖頭48L與左沖模56L，半導(dǎo)體82的引線在下死點(diǎn)的位置得到所希望的形狀。同樣，右沖頭48R借助于右滾輪50R與右凸輪板54R的接觸和轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作，以右支點(diǎn)46R為中心移動(dòng)至規(guī)定位置，借助于右沖頭48R與右沖模56R，半導(dǎo)體82的引線在下死點(diǎn)的位置得到所希望的形狀。至下死點(diǎn)狀態(tài)的半導(dǎo)體是成形后半導(dǎo)體83。
發(fā)明的實(shí)施例2現(xiàn)對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例2的引線成形裝置進(jìn)行說(shuō)明。該引線成形裝置除金屬模具的內(nèi)部結(jié)構(gòu)外與實(shí)施例1的引線成形裝置相同。在該引線成形裝置中，下金屬模具的凸輪的高度可以調(diào)整。圖9是在該引線成形裝置中采用的右側(cè)的1對(duì)金屬模具128R、124R的正視圖。因左側(cè)的金屬模具128L、124L由于是對(duì)稱(chēng)的結(jié)構(gòu)，所以省略了圖示。右上金屬模具128R由上支座144R、支點(diǎn)146R、沖頭148R和滾輪150R構(gòu)成。該結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1的右上金屬模具的相同。另一方面，右下金屬模具124R由下支座152R、沖模156R、凸輪154R、與凸輪154R成為一體的傾斜塊155R、下板158R、彈性體162R和螺釘160R構(gòu)成。沖模156R固定在下支座152R上。另外，傾斜塊155R安裝在下支座152R上，可以利用與下板158R嚙合的螺釘160R向左方推壓移動(dòng)。另外，凸輪154R安裝在傾斜塊155R上與其成為一體。沖模156R和凸輪154R上部的形狀與實(shí)施例1的沖模56R和凸輪板54R上部的形狀相同。在沖模156R與傾斜塊155R之間插入了彈性體162R，彈性體162R在推回傾斜塊155R的方向上起作用。傾斜塊155R上端部的形狀和凸輪154R下端部的形狀與下支座152R的上表面不平行，當(dāng)傾斜塊155R借助于螺釘160R左右移動(dòng)時(shí)，凸輪154R的位置改變。另外，器件支架34L、34R安裝在工作臺(tái)22L、22R上，但其圖示從略。
現(xiàn)對(duì)以上進(jìn)行了說(shuō)明的裝置的工作進(jìn)行說(shuō)明，將半導(dǎo)體84置于規(guī)定的位置。接著，裝載了半導(dǎo)體84的右上金屬模具128R和左上金屬模具128L借助于加壓裝置30的驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由模板26，到達(dá)下死點(diǎn)的位置。這時(shí)，借助于支點(diǎn)146R、沖頭148R、滾輪150R和凸輪154R的相對(duì)動(dòng)作，在右側(cè)的金屬模具中沖頭148R由于沖模156R的作用而被定位在所希望的位置上。在左側(cè)的金屬模具中同樣也進(jìn)行了向所希望的位置的定位。據(jù)此，半導(dǎo)體84的引線被成形為所希望的形狀。
這里，在半導(dǎo)體84的引線形狀未成為所希望的形狀的場(chǎng)合，可以通過(guò)由螺釘160R的調(diào)整改變凸輪156R和傾斜塊155R的位置，不更換部件而對(duì)半導(dǎo)體84的引線形狀進(jìn)行微調(diào)。例如，在上死點(diǎn)位置，通過(guò)螺釘160R的調(diào)整，即借助于經(jīng)板156R將螺釘160R旋入，可以推進(jìn)傾斜塊156R，將凸輪154R的高度設(shè)定得低些。據(jù)此，滾輪150R與凸輪154R的相對(duì)位置改變，可以在使半導(dǎo)體84的引線淺彎曲的方向起作用。另一方面，在上死點(diǎn)位置，通過(guò)螺釘160R的調(diào)整，即借助于經(jīng)板156R將螺釘160R向外側(cè)拉動(dòng)，由于彈性體162R的作用，傾斜塊156R向外側(cè)伸出，可以將凸輪154R的高度設(shè)定得高些。據(jù)此，滾輪150R與凸輪154R的相對(duì)位置改變，可以在使半導(dǎo)體84的引線深彎曲的方向起作用。
發(fā)明的實(shí)施例3現(xiàn)對(duì)本發(fā)明實(shí)施例3的引線成形裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖10是右側(cè)的一對(duì)金屬模具的正視圖。左側(cè)的一對(duì)金屬模具由于是對(duì)稱(chēng)的，所以省略了圖示。在該引線成形裝置中，可以調(diào)整下金屬模具的沖模的高度。
在圖10中，右上金屬模具228R由上支座244R、支點(diǎn)246R、沖頭248R和滾輪250R構(gòu)成。該右上金屬模具228R的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1的右上金屬模具28R的相同。另一方面，右下金屬模具224R由下支座252R、凸輪254R、沖模256R、與沖模256R成為一體的傾斜塊257R、板258R、螺釘260R和彈性體262R構(gòu)成。沖模的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1的右下金屬模具28R的不同。具體而言，凸輪254R固定在下支座252R上。另外還有，傾斜塊257R安裝在下支座252R上，可以利用與固定在下支座252R上的板258R嚙合的螺釘260R向右方推壓移動(dòng)。沖模256R和凸輪254R上部的形狀與實(shí)施例1的沖模56R和凸輪板54R上部的形狀相同。另外，沖模256R安裝在傾斜塊257R上與其成為一體。在凸輪254R與傾斜塊257R之間插入了彈性體262R。彈性體262R在使傾斜塊257R推回的方向起作用。傾斜塊257R上端部的形狀和沖模256R下端部的形狀與下支座252R的上表面不平行，當(dāng)傾斜塊257R借助于螺釘260R左右移動(dòng)時(shí)，沖模256R的位置改變。另外，器件支架34L、34R安裝在工作臺(tái)22L、22R上，但其圖示從略。
操作時(shí)將半導(dǎo)體86置于所希望的位置。接著，上金屬模具10、14借助于加壓工作到達(dá)下死點(diǎn)的位置。這時(shí)，借助于支點(diǎn)246R、沖頭248R、滾輪250R和凸輪254R的相對(duì)動(dòng)作，沖頭248R由于沖模256R的作用而被定位在所希望的位置，半導(dǎo)體86的引線被成形為所希望的形狀。
這里，在半導(dǎo)體86的引線形狀未成為所希望的形狀的場(chǎng)合，可以通過(guò)借助于螺釘260R的調(diào)整改變沖模256R和傾斜塊257R的位置，不更換部件而對(duì)半導(dǎo)體86的引線形狀進(jìn)行微調(diào)。例如，在上死點(diǎn)位置，通過(guò)螺釘260R的調(diào)整，即借助于經(jīng)板258R將螺釘260R旋入，可以推進(jìn)傾斜塊257R，將沖模256R的高度設(shè)定得低些。據(jù)此，沖頭248R與沖模256R的相對(duì)位置改變，可以在使半導(dǎo)體86的引線深彎曲的方向起作用。另外，在上死點(diǎn)位置，通過(guò)螺釘260R的調(diào)整，即借助于經(jīng)板258R將螺釘260R向外側(cè)拉動(dòng)，由于彈性體262R的作用，傾斜塊257R向外側(cè)伸出，可以將沖模256R的高度設(shè)定得高些。據(jù)此，沖頭248R與沖模256R的相對(duì)位置改變，可以在使半導(dǎo)體86的引線淺彎曲的方向起作用。
發(fā)明的實(shí)施例4現(xiàn)對(duì)本發(fā)明實(shí)施例4進(jìn)行說(shuō)明。圖11是右側(cè)的上下一對(duì)金屬模具的正視圖。左側(cè)的金屬模具的結(jié)構(gòu)由于是對(duì)稱(chēng)的，所以省略了圖示。在該引線成形裝置中，可以調(diào)整半導(dǎo)體的高度，并且可以調(diào)整半導(dǎo)體引線的彎曲角度。
如圖11所示，在右上金屬模具328R中，右上支座344R用支點(diǎn)346R支撐沖頭348R。另外，沖頭348R在下部具有滾輪350R。該右上金屬模具328R的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1的右上金屬模具28R的相同。
另外，在右下金屬模具324R中，凸輪354R固定在下支座352R上。還有，與凸輪354R相鄰設(shè)置了支座359R，它支承角度變更沖模358R。還有，沖模356R固定在下支座352R上，與沖模356R左右方向上的螺孔嚙合的螺釘357R與角度變更沖模358R接觸。另一方面，傾斜塊37安裝在下支座352R上，可以利用與固定在下支座352R上的板360R嚙合的螺釘361R向右方推壓移動(dòng)。沖模356R和角度變更沖模358R上部的形狀與引線成形形狀相對(duì)應(yīng)。另外，支承半導(dǎo)體88的臺(tái)座36安裝在傾斜塊37上與其成為一體。傾斜塊37的上端部和臺(tái)座36的下端部與下支座352R的上表面不平行，當(dāng)傾斜塊37借助于螺釘361R左右移動(dòng)時(shí)，臺(tái)座36R的位置(高度)改變。另外，器件支架34L、34R安裝在工作臺(tái)22L、22R上，但其圖示從略。器件支架34L、34R支撐半導(dǎo)體元件88的樹(shù)脂封裝的肩部。
將半導(dǎo)體88置于臺(tái)座36上的規(guī)定的位置，借助于加壓動(dòng)作到達(dá)下死點(diǎn)的位置。這時(shí)，借助于支點(diǎn)346R、沖頭348R、滾輪350R和凸輪354R的相對(duì)動(dòng)作，沖頭348R由于沖模356R的作用而被定位在所希望的位置，半導(dǎo)體88的引線被成形為所希望的形狀。
這里，在半導(dǎo)體88的引線形狀未成為所希望的形狀的場(chǎng)合，在上死點(diǎn)位置，借助于螺釘357R的調(diào)整，即借助于將螺釘357R旋入，推進(jìn)角度變更沖模358R，改變對(duì)半導(dǎo)體88的相對(duì)角度，可以起到使引線端部的角度近于變平的作用。同樣，在上死點(diǎn)位置，借助于螺釘357R的調(diào)整，即借助于將螺釘357R旋出，將角度變更沖模358R向外拉動(dòng)，改變對(duì)半導(dǎo)體88的相對(duì)角度，可以起到使引線端部的角度升起的作用。這樣，借助于螺釘357R的調(diào)整使角度變更沖模358R的張開(kāi)程度改變，可以不更換部件而對(duì)半導(dǎo)體88的引線形狀進(jìn)行微調(diào)。
另外，在上死點(diǎn)位置，通過(guò)螺釘361R的調(diào)整，即借助于經(jīng)板360R將螺釘361R旋入，可以推進(jìn)傾斜塊37，將臺(tái)座36的高度設(shè)定得低些。同樣，在上死點(diǎn)位置，通過(guò)螺釘361R的調(diào)整，即借助于經(jīng)板360R將螺釘361R向外旋出，可以將傾斜決37外拉，將臺(tái)座36的高度設(shè)定得高些。當(dāng)半導(dǎo)體88可以在公差范圍內(nèi)減小時(shí)，由此可以吸收公差。因此，借助于利用螺釘361R調(diào)整改變臺(tái)座36高度，可以不更換部件而微調(diào)半導(dǎo)體88的高度。
發(fā)明的實(shí)施例5現(xiàn)對(duì)本發(fā)明實(shí)施例5的切斷加工用引線成形裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖12所示的引線成形裝置除切斷用的左右金屬模具424R、428R和424L、428L外，與圖1所示的實(shí)施例1的引線成形裝置相同。在引線框上形成的多條梳齒狀引線由于在開(kāi)始時(shí)一部分相互聯(lián)結(jié)，所以需用切斷用金屬模具將其切斷分開(kāi)。為此，切斷加工用的金屬模具424R、428R和424L、428L的形狀(未圖示)從側(cè)面方向看為梳齒狀，可以相互嵌合。圖13從側(cè)面示出了圖12所示的上模板26和右上金屬模具428R。該結(jié)構(gòu)與圖3所示的實(shí)施例1的上模板26和右上金屬模具28R相同。另外，器件支架34L、34R安裝在工作臺(tái)22L、22R上，但其圖示從略。還有，也可以用圖3所示的器件支架。在圖13所示的例子中，保持右上金屬模具428R的一對(duì)導(dǎo)向滾輪438由分別固定在上模板兩端的1對(duì)板440保持。因此，右上金屬模具428R由固定在上模板26上的一對(duì)導(dǎo)向滾輪438支撐，可以在圖12的左右方向自由移動(dòng)。對(duì)左上金屬模具428L的保持方法與此相同。另外，使用了圖2所示的控制裝置。在采用了該切斷用金屬模具的引線成形裝置方面，對(duì)引線形狀相同只是半導(dǎo)體的樹(shù)脂部分的尺寸不同的半導(dǎo)體，不改換金屬模具就可以進(jìn)行引線切斷。
發(fā)明的實(shí)施例6現(xiàn)對(duì)本發(fā)明實(shí)施例6的引線成形裝置進(jìn)行說(shuō)明。該引線成形裝置對(duì)在全部4條邊上設(shè)置了引線的半導(dǎo)體元件的引線進(jìn)行成形。如圖14所示，該引線成形裝置在共同的基板510上具有圖1所示的2個(gè)單元，在它們之間設(shè)置了旋轉(zhuǎn)傳送裝置560。旋轉(zhuǎn)傳送裝置560將用一個(gè)單元進(jìn)行了引線成形的半導(dǎo)體元件92旋轉(zhuǎn)90°傳送至另一單元。據(jù)此，對(duì)在4個(gè)方向具有引線的半導(dǎo)體元件的引線部進(jìn)行了加工。
現(xiàn)對(duì)引線成形進(jìn)行具體說(shuō)明，首先，在圖左側(cè)所示的單元中，借助于用電動(dòng)機(jī)18和左右滾珠絲杠12，將左上金屬模具28L、左下金屬模具24L、右上金屬模具28R、右下金屬模具24R移動(dòng)一個(gè)與半導(dǎo)體92對(duì)應(yīng)的所希望的尺寸后，利用傳送裝置(圖示從略)將半導(dǎo)體92置于規(guī)定位置。借助于電動(dòng)機(jī)18的工作，預(yù)先使左螺母20L和左工作臺(tái)22L與右螺母20R和右工作臺(tái)22R相互靠近或離開(kāi)，將位置調(diào)整得與半導(dǎo)體92的尺寸相合。接著，借助于加壓裝置30工作，經(jīng)由模板26，左上金屬模具28L和右上金屬模具28R向下移動(dòng)。裝載了半導(dǎo)體92的左上金屬模具28L和右上金屬模具28R，借助于加壓裝置30的驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由模板26至下死點(diǎn)。半導(dǎo)體92的引線在下死點(diǎn)的位置得到了所希望的形狀。
這里，半導(dǎo)體92是在4個(gè)方向具有引線的制品。通過(guò)上述操作將半導(dǎo)體92的4條邊中的2條邊的引線成形后，旋轉(zhuǎn)傳送裝置560一邊傳送半導(dǎo)體92，一邊將半導(dǎo)體92在平面方向旋轉(zhuǎn)90°，送入下道工序。
右側(cè)所示的單元借助于電動(dòng)機(jī)18的工作，預(yù)先使左螺母20L和左工作臺(tái)22L與右螺母20R和右工作臺(tái)22R相互靠近或離開(kāi)，將位置調(diào)整得與半導(dǎo)體92的尺寸相一致。在半導(dǎo)體92被置于器件支架上后，接著，借助于加壓裝置30的工作，經(jīng)由模板26，左上金屬模具28L和右上金屬模具28R向下移動(dòng)。裝載了半導(dǎo)體92的左上金屬模具28L和右上金屬模具28R借助于加壓裝置30的驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由模板26至下死點(diǎn)。半導(dǎo)體92剩下的兩邊的引線在下死點(diǎn)的位置得到了所希望的形狀。
通過(guò)以上的一系列操作，對(duì)4條邊上具有引線的半導(dǎo)體92能夠在4條邊上進(jìn)行引線成形。另外，即使投入了樹(shù)脂尺寸不同的半導(dǎo)體(未圖示)，也能不更換金屬模具而成形。
另外，如業(yè)內(nèi)人士容易理解的那樣，以上在各實(shí)施例中說(shuō)明過(guò)的各種構(gòu)成要素可以盡可能地進(jìn)行組合。
現(xiàn)有的引線成形裝置不是每次都測(cè)量完成了的半導(dǎo)體元件的形狀，例如是在生產(chǎn)一批后進(jìn)行成品檢查，以這些品質(zhì)管理數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，根據(jù)需要用手工進(jìn)行金屬模具的調(diào)整。用下面將要說(shuō)明的發(fā)明的實(shí)施例7、8的方法，由于對(duì)每個(gè)半導(dǎo)體元件逐一進(jìn)行測(cè)量并調(diào)整金屬模具的位置，所以能夠生產(chǎn)較高品質(zhì)的半導(dǎo)體元件。
發(fā)明的實(shí)施例7現(xiàn)對(duì)本發(fā)明實(shí)施例7的引線成形方法進(jìn)行說(shuō)明。圖15是利用控制裝置60進(jìn)行的引線成形控制的流程圖。用于引線成形的裝置是上述的各種引線成形裝置。在這些引線成形裝置中，可以用電動(dòng)機(jī)18驅(qū)動(dòng)左右滾珠絲杠12以調(diào)整左右金屬模具的相對(duì)距離。另外，螺釘160R、260R、257R、361R可以借助于未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)。用該引線成形方法，對(duì)引線成形前的半導(dǎo)體元件預(yù)先用測(cè)量裝置(未圖示)測(cè)量其尺寸，調(diào)整引線成形裝置的金屬模具及器件支架使與其相一致，然后進(jìn)行引線成形。
半導(dǎo)體元件的測(cè)量部位例如是如圖16所示的樹(shù)脂部分的尺寸A及引線厚度的尺寸B。尺寸A、B即使與基準(zhǔn)尺寸相同，但由于收縮引起的分散性等，每個(gè)半導(dǎo)體元件的A、B尺寸也都有微妙的差異，因此，通過(guò)測(cè)量謀求最佳化是有效的。例如，在引線成形前的半導(dǎo)體元件的各種尺寸中的樹(shù)脂封裝部位的尺寸A的場(chǎng)合，在圖15的流程中首先預(yù)先測(cè)量尺寸A，并輸入該測(cè)量值(S10)。然后，以與該測(cè)量數(shù)據(jù)一致的尺寸為基礎(chǔ)，在圖1所示的引線成形裝置中驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)18使器件支架34L、34R的位置最佳(S12)。再后，在用傳感器32確認(rèn)變更為與該測(cè)量尺寸對(duì)應(yīng)的尺寸后使加壓裝置30工作，進(jìn)行半導(dǎo)體元件的引線成形(S14)。以后，重復(fù)這些步驟，在投入半導(dǎo)體前每次都事先測(cè)量樹(shù)脂封裝部的尺寸A，在使裝置最適合于與該尺寸對(duì)應(yīng)的尺寸后進(jìn)行半導(dǎo)體引線成形。據(jù)此，可以得到制品尺寸一致的精度高的半導(dǎo)體80。
同樣，在引線厚度的尺寸B的場(chǎng)合，在圖15的流程中預(yù)先測(cè)量尺寸B(S10)。以與該數(shù)據(jù)一致的尺寸為基礎(chǔ)，例如使利用圖5和圖6說(shuō)明過(guò)的下死點(diǎn)位置最佳(S12)。然后，進(jìn)行半導(dǎo)體元件的引線成形(S14)。據(jù)此，可以成形精度高的半導(dǎo)體元件。以后，重復(fù)這些步驟。
還有，在上述例子中，對(duì)圖16所示的尺寸A、B進(jìn)行了控制，不言而喻，測(cè)量部位不限于此。例如也可以是與發(fā)明的實(shí)施例8相關(guān)的圖18所示的各種尺寸。
另外，與測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的裝置調(diào)整在圖15的流程中是對(duì)每個(gè)封裝進(jìn)行的。但是，也可以每n個(gè)取1個(gè)進(jìn)行，或者每批進(jìn)行一次。
發(fā)明的實(shí)施例8利用控制裝置60的圖17的流程圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例8的方法進(jìn)行說(shuō)明。在該引線成形方法中，在用引線成形裝置將半導(dǎo)體的引線成形后用測(cè)量裝置測(cè)量引線成形后的半導(dǎo)體元件的尺寸，調(diào)整引線成形裝置使與該測(cè)量結(jié)果一致，其作用反映在以后的引線成形中。在本例中，引線成形后的半導(dǎo)體元件的測(cè)量部位是圖18所示的引線兩端的間隔的尺寸C、樹(shù)脂封裝部的底面與引線端部之間在垂直方向的距離的尺寸D、引線端部與樹(shù)脂封裝部的底面所成的角度E。在圖17所示的流程中，首先使加壓裝置30工作，在將半導(dǎo)體元件的引線成形(S20)后測(cè)量成形后的半導(dǎo)體元件的尺寸，并輸入測(cè)量值(S22)。此測(cè)量值也可以是多個(gè)半導(dǎo)體元件的測(cè)量值的平均值。然后，計(jì)算測(cè)量數(shù)據(jù)與基準(zhǔn)值的差(S24)，根據(jù)此結(jié)果改變金屬模具的狀態(tài)(例如螺釘160R、260R、357R、361R的位置)(S26)，反饋到下一個(gè)半導(dǎo)體元件的引線成形中。
例如，在利用引線成形裝置將半導(dǎo)體元件的引線成形后，測(cè)量尺寸E，利用運(yùn)算裝置(未圖示)計(jì)算測(cè)量數(shù)據(jù)與基準(zhǔn)值之差，根據(jù)此結(jié)果改變引線成形裝置的金屬模具的狀態(tài)，在下一個(gè)半導(dǎo)體元件的引線成形中用修正了的金屬模具進(jìn)行成形。例如，當(dāng)尺寸E比正規(guī)尺寸小時(shí)，將圖11的引線成形裝置的角度變更沖模358R調(diào)整為最佳位置，反饋到下一個(gè)半導(dǎo)體元件的引線成形中。同樣，對(duì)于尺寸C、D，當(dāng)它們離開(kāi)基準(zhǔn)值時(shí)，借助于調(diào)整圖11的引線成形裝置的沖頭248R或圖10的引線成形裝置的沖模256R，反饋到下一個(gè)半導(dǎo)體元件的引線成形中。以后，重復(fù)這些步驟，在修正了的金屬模具的位置上對(duì)下一個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行加工。由此可以得到制品尺寸一致的精度高的半導(dǎo)體元件。還有，在上述例子中，對(duì)圖18所示的尺寸C、D、E進(jìn)行了控制，不言而喻，控制對(duì)象的部位不限于此。
發(fā)明的效果在引線成形裝置中，能夠用一種金屬模具將多種半導(dǎo)體進(jìn)行引線成形。因此，能夠節(jié)省金屬模具的設(shè)備投資費(fèi)用。另外，能夠自動(dòng)地進(jìn)行品種變更。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體引線成形裝置，其特征在于由以下部分構(gòu)成裝載應(yīng)成形的半導(dǎo)體元件的承載臺(tái)；具備并列地設(shè)置、彼此相互適配的1對(duì)上金屬模具和下金屬模具的2套金屬模具；以及改變上述2套金屬模具的相對(duì)位置的移動(dòng)裝置，上述1對(duì)上金屬模具和下金屬模具處于夾住從裝載于承載臺(tái)上的半導(dǎo)體元件引出的引線的位置，上金屬模具和下金屬模具對(duì)半導(dǎo)體元件引線的位于兩者之間的部分進(jìn)行加工。
2.如權(quán)利要求1所述的引線成形裝置，其特征在于上述上金屬模具包括與引線接觸的沖頭和滾輪，上述下金屬模具包括與引線接觸的沖模和與滾輪接觸的凸輪。
3.如權(quán)利要求2所述的引線成形裝置，其特征在于上述凸輪由與滾輪接觸的滾輪接觸塊、具有與滾輪接觸塊結(jié)合的傾斜部的基塊和使基塊對(duì)滾輪接觸塊進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的調(diào)整構(gòu)件構(gòu)成，借助于滾輪接觸塊在傾斜部上移動(dòng)，可以改變滾輪接觸塊的位置。
4.如權(quán)利要求2所述的引線成形裝置，其特征在于上述沖模由與引線接觸的引線接觸塊、具有與引線接觸塊結(jié)合的傾斜部的基塊和使基塊對(duì)引線接觸決進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的調(diào)整構(gòu)件構(gòu)成，借助于引線接觸塊在傾斜部上移動(dòng)，可以改變引線接觸塊的位置。
5.如權(quán)利要求1所述的引線成形裝置，其特征在于上述沖模由在半導(dǎo)體元件的引線根部與引線接觸的第1接觸塊和在引線端部與引線接觸的第2接觸塊構(gòu)成，第2接觸塊具有與引線的端部接觸、改變引線的彎曲角度的角度變更構(gòu)件。
6.如權(quán)利要求1所述的引線成形裝置，其特征在于上述承載臺(tái)包含支撐半導(dǎo)體元件的封裝部的支撐塊、具有與支撐塊結(jié)合的傾斜部的基塊和使基塊對(duì)支撐塊進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的調(diào)整構(gòu)件，借助于支撐塊在傾斜部上移動(dòng)，可以改變支撐塊的位置。
7.如權(quán)利要求1所述的引線成形裝置，其特征在于上述承載臺(tái)由安裝在上述金屬模具的下金屬模具上的2個(gè)部分構(gòu)成，各部分分別支撐半導(dǎo)體元件封裝部的引出引線的一側(cè)。
8.如權(quán)利要求1所述的引線成形裝置，其特征在于上述承載臺(tái)包括支撐半導(dǎo)體元件封裝部的引出引線的一側(cè)的2個(gè)部分和改變上述2個(gè)部分的相對(duì)位置的移動(dòng)構(gòu)件。
9.如權(quán)利要求1所述的引線成形裝置，其特征在于另外還包括分別保持上述2套金屬模具的上金屬模具、在相互接近或相互遠(yuǎn)離的方向引導(dǎo)上述上金屬模具的導(dǎo)向滾輪。
10.如權(quán)利要求1所述的引線成形裝置，其特征在于另外還包括檢測(cè)上述2對(duì)金屬模具的相對(duì)位置的傳感器；以及驅(qū)動(dòng)上述移動(dòng)裝置，使由上述傳感器檢測(cè)出的相對(duì)位置成為設(shè)定值的控制裝置。
11.一種引線成形系統(tǒng)，其特征在于由以下部分構(gòu)成并列地配置的引線成形裝置；以及從承載臺(tái)取出用一臺(tái)引線成形裝置進(jìn)行了加工的半導(dǎo)體元件，將其旋轉(zhuǎn)90°，傳送到另一臺(tái)引線成形裝置的承載臺(tái)上的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，上述引線成形裝置由以下部分構(gòu)成裝載應(yīng)成形的半導(dǎo)體元件的承載臺(tái)；具備并列地設(shè)置、彼此相互適配的1對(duì)上金屬模具和下金屬模具的2套金屬模具；以及改變上述2套金屬模具的相對(duì)位置的移動(dòng)裝置，上述1對(duì)上金屬模具和下金屬模具處于夾住從裝載于承載臺(tái)上的半導(dǎo)體元件引出的引線的位置，上金屬模具和下金屬模具對(duì)半導(dǎo)體元件引線的位于兩者之間的部分進(jìn)行加工。
12.一種引線成形方法，它是在包括具備并列地設(shè)置、彼此相互結(jié)合的1對(duì)上金屬模具和下金屬模具的2套金屬模具的引線成形裝置中，上述1對(duì)上金屬模具和下金屬模具將半導(dǎo)體元件引線的位于兩者之間的部分進(jìn)行成形的引線成形方法，其特征在于在引線成形前測(cè)量半導(dǎo)體元件的尺寸，將測(cè)量數(shù)據(jù)與正規(guī)尺寸進(jìn)行比較，根據(jù)兩者之差來(lái)改變與該差值相關(guān)的金屬模具的位置。用2套金屬模具在經(jīng)過(guò)改變的相對(duì)位置上將上述半導(dǎo)體元件的引線成形。
13.一種引線成形方法，它是在包括具備并列地設(shè)置、彼此相互結(jié)合的1對(duì)上金屬模具和下金屬模具的2套金屬模具的引線成形裝置中，上述1對(duì)上金屬模具和下金屬模具將半導(dǎo)體元件引線的位于兩者之間的部分進(jìn)行成形的引線成形方法，其特征在于利用半導(dǎo)體引線成形裝置將半導(dǎo)體元件的引線成形，測(cè)量成形后的半導(dǎo)體元件的成形尺寸，根據(jù)該測(cè)量數(shù)據(jù)與正規(guī)尺寸之差來(lái)改變半導(dǎo)體引線成形裝置中的金屬模具的形狀。
全文摘要
本發(fā)明的課題是，在半導(dǎo)體元件的引線成形中，在根據(jù)元件形狀改變金屬模具的形狀等的場(chǎng)合也能高精度地對(duì)半導(dǎo)體元件的引線進(jìn)行加工。半導(dǎo)體的引線成形裝置包括裝載應(yīng)成形的半導(dǎo)體元件的承載臺(tái)；具備并列地設(shè)置、彼此相互適配的1對(duì)上金屬模具和下金屬模具的2套金屬模具；以及改變上述2套金屬模具的相對(duì)位置的移動(dòng)裝置。上述1對(duì)上金屬模具和下金屬模具處于夾住從裝載于承載臺(tái)上的半導(dǎo)體元件引出的引線的位置，上金屬模具和下金屬模具對(duì)半導(dǎo)體元件引線的位于兩者之間的部分進(jìn)行加工。
文檔編號(hào)H01L23/48GK1518081SQ03156740
公開(kāi)日2004年8月4日 申請(qǐng)日期2003年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月7日
發(fā)明者山崎英孝, 松尾至, 真鍋秀一, 今村兼次, 加藤賢一郎, 松尾光高, 一, 一郎, 次, 高 申請(qǐng)人:株式會(huì)社瑞薩科技, 株式會(huì)社瑞薩電子元件設(shè)計(jì)