專利名稱：具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶圓貯存容器，尤其涉及一種具有一個以一拔模角形成的保護(hù)壁，以注模方式而形成的貯存容器，且晶圓定位柱定向時無拔模角。
本發(fā)明申請與標(biāo)題為“具有定向控制的晶圓運(yùn)送裝置”的中國發(fā)明于同日申請，因此，援引該申請以作為參考。
背景技術(shù)：
晶圓貯存容器和裝運(yùn)容器通常是注模而成，且晶圓的四周有起保護(hù)作用的壁。圖1為一個通過注模而成的容器10的示意圖。利用標(biāo)準(zhǔn)注模法作業(yè)，該容器中容器壁14的內(nèi)表面12必須具有所謂的拔模角，比如從該容器的底平面20開始的一條垂直線18，與相切于該容器中內(nèi)表面12的壁14的一條直線22之間形成的角度16。該結(jié)構(gòu)使容器底平面20的內(nèi)直徑小于其在頂部的直徑26，這樣就可使容器從形成它的模中移走。外壁表面也有必要具有拔模角。
圖2為圖1中容器的橫剖面視圖，其更加清楚地顯示了內(nèi)壁表面的拔模角16，以及外壁表面的拔模角17，并在容器10用于運(yùn)送一組晶圓28時，用于舉例說明注模構(gòu)造所具有的問題。為了便于圖解說明，很顯然在圖1和圖2中對拔模角進(jìn)行了放大。拔模角所引起的問題是，隨著該組高度的不斷增加，它使晶圓和壁之間的間距30逐漸增大，為此允許晶圓運(yùn)動。由于晶圓在容器中運(yùn)動，因此其可能破裂成小碎片或者被擦傷，并且在一個容器中磁盤受損的危險性與其在容器中運(yùn)動強(qiáng)度成比例。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于其提供了一改進(jìn)的晶圓貯存容器。
本發(fā)明進(jìn)一步的目的在于其提供了一改進(jìn)的晶圓貯存容器，其將晶圓在容器中的運(yùn)動減小到最小程度。
本發(fā)明采用的技術(shù)手段體現(xiàn)在所述的一個具體實(shí)施例中，一個用于貯存和運(yùn)送晶圓并通過注模而成的容器包括一個底部，該底部具有一個晶圓區(qū)域，在該區(qū)域上放置一堆數(shù)量眾多的晶圓元件。將把詞組“晶圓元件”作為一個描述晶圓或者一個安裝在一晶圓框架上的晶圓的通用術(shù)語。保護(hù)壁環(huán)繞在晶圓區(qū)域四周，并向上延伸，其在底部的周長為第一周長，在壁的最頂端的周長為第二周長，該第二周長大于第一周長，這就使得保護(hù)壁定位時相對于與底平面垂直的一條直線形成一拔模角，其目的是為了便于從一注模中移走該容器。本發(fā)明提供眾多晶圓元件定位柱狀物，每一柱狀物具有一表面，該表面上有一條接觸線在垂直于該底部平面的方向上延伸。定位該接觸線以便限制放置在該容器中的一晶圓堆運(yùn)動。


圖1顯示了一個依據(jù)以前技術(shù)的射出容器的拔模角；圖2顯示了在一依據(jù)以前技術(shù)的注模而成的容器中一堆晶圓潛在的運(yùn)動；圖3為圖示本發(fā)明的一個簡圖；圖4為圖3的一個俯視圖；圖5為圖3的一個橫剖面圖；圖6為一晶圓貯存容器和蓋的一個示圖；圖7A顯示了一堆用于放置在一容器中的晶圓；圖7B顯示了晶圓元件之間的隔板；圖8為圖6中所示容器的一俯視圖；
圖9為圖7A的一個橫剖面圖，其顯示了將晶圓固定在一個框架中的一種方法。
具體實(shí)施例方式
盡管將根據(jù)本說明中的特殊具體實(shí)施例描述本發(fā)明，但也可對其進(jìn)行一定范圍的更改、變化以及替換，并應(yīng)了解在一些情況中，在不偏離本發(fā)明精神和范圍的前提下，可在沒有使用其它特征時單獨(dú)使用本發(fā)明的一些特征，如此所陳述的關(guān)于較佳具體實(shí)施例的描述如下。
本發(fā)明的內(nèi)容表示在圖3和圖4中，該兩圖為用于描述本發(fā)明的簡圖。一容器32具有一個從一底部35向上延伸的保護(hù)壁34。該保護(hù)壁可以是適合于注模法的任何配置，用于保護(hù)放置在一晶圓區(qū)域36上的晶圓。該壁可為連續(xù)的壁，如圖所示，其圍成一個貯存室38而形成晶圓的區(qū)域36，該壁也可以是多個片段形成的壁。為了與注模法的實(shí)踐相一致，且使容器32從模中脫出或排出，連續(xù)的保護(hù)壁或者片段的保護(hù)壁形成時，應(yīng)具有內(nèi)壁面拔模角40和外壁面拔模角41。依據(jù)本發(fā)明完成的容器32具有眾多放置在該保護(hù)壁34所形成的貯存室38中的柱狀物42。配置柱狀物42用以限制一堆晶圓的運(yùn)動。詞組“晶圓元件”將用作描述一晶圓或者一安裝在晶圓框架上的晶圓的通用術(shù)語。在一具體實(shí)施例中，其中的柱狀物作為容器注模過程中的一個完整部分形成，對它們進(jìn)行配置以便在隔離容器和注模的過程中避免產(chǎn)生過大的阻力。配置該垂直面區(qū)域使其相對于具有一個拔模角的該表面來說較為薄弱，以便在將模與容器隔離開時不增加過大的阻力。設(shè)計每一個柱狀物42，使其上的表面44具有一條接觸線，用于限制晶圓的運(yùn)動，該接觸線從晶圓區(qū)域36啟始，并向上垂直延伸。配置和放置柱狀物，通過這樣做來定位每一表面44上的一條垂直線，以限制如圖4中所示的一堆晶圓元件45的運(yùn)動。如上所述，此處所定義的晶圓元件可能僅僅是一個晶圓，或者是一個固定在一個晶圓框架上的晶圓。為了易于展示本發(fā)明的原理，柱狀物42在圖3和圖4中顯示為圓形的、相互隔離的柱狀物，但只要其能提供所需垂直接觸線并便于從模中排出，實(shí)際上其可為任何配置的結(jié)構(gòu)。該柱狀物結(jié)構(gòu)可與該壁結(jié)構(gòu)一起作為一個整體形成(舉例而言)。柱狀物的橫剖面可為橢圓形、方形、六角形、三角形，等等。柱狀物中每一個都可具有一頂面46，在該面上可施加壓力，以將該容器從該模中排出。由于柱/柱狀物接觸線無拔模角，因此在一堆的底部和在該堆的頂部，晶圓元件與該柱狀物之間的間距都相同。
圖5為圖3的一個橫剖面圖，其顯示了一放置在容器32中的一晶圓堆47。圖5中的視圖顯示了柱狀物42和晶圓堆47之間的間距49完全一致/相同。
圖6顯示了本發(fā)明的一個特殊具體實(shí)施例，其包括一容器52和一容器蓋54。在這個具體實(shí)施例中，每一個晶圓元件都包括一個晶圓框架和一個晶圓。在這種情形下，晶圓既可以為一個整體，也可以切割成小片，對此隨后將進(jìn)一步進(jìn)行解釋。本發(fā)明也包括根據(jù)所描述的，與晶圓一起使用但沒有安裝在一個框架上的原理而設(shè)計的容器。在這種情形下，如將描述的那樣，晶圓將至少具有一定向用制造物。容器52的該壁裝置56具有四個片段57、59、61、63。在該具體實(shí)施例中將該壁的外形設(shè)計成不規(guī)則形狀是為了使其符合固定晶圓的晶圓框架的形狀。該不規(guī)則外形保證了所有晶圓框架在容器52中一致定向，因此就可能使所有的晶圓也都在相同的方向上。這是一個替代特征或者視需要而選擇的特征。該設(shè)計使用了16根柱58，且如圖所示，其結(jié)構(gòu)為與壁結(jié)構(gòu)56作為一個整體注模而得。如圖所示，每一壁片段都具有區(qū)域60、62及64，其都以一拔模角注模而得，但在該圖中沒有顯示出來，不過在圖3和圖5已有描述。柱狀物58全都具有一個設(shè)計來用于提供一接觸線以限制晶圓元件運(yùn)動的表面。該接觸線為縱向，相對于底部66以一恰當(dāng)角度向上延伸，該底部66定義了一個在其上放置晶圓元件堆的晶圓平面。因?yàn)閳D6中的柱狀物58是與該壁片段一起注模而得，并且由于該接觸線為垂直/正交方向，即該接觸線無拔模角，所以在圖6中，柱狀物58在靠近壁結(jié)構(gòu)的頂部比其在底部66水平處壁的底部看起來要大。每一柱狀物的頂面67都提供一實(shí)質(zhì)接觸點(diǎn)用作壓該容器的起模桿，用于將該容器從一模中移走。叉子68用于插入到蓋54上對應(yīng)的槽70中，以固定該容器52之上的該蓋54。
圖7A圖示了一堆晶圓元件72，其中每一晶圓，比如晶圓74，都安裝在一具有不規(guī)則外形的晶圓框架上，其中為了保證在該容器52中晶圓始終對齊，所以該不規(guī)則晶圓框與一對應(yīng)的壁結(jié)構(gòu)外形匹配。圖7A中的該晶圓元件堆72以及對于任何晶圓元件堆，在每一晶圓元件之間包括若干形式的隔板。舉例而言，該隔板可以是薄圓板結(jié)構(gòu)的紙或者泡沫塑料，或者一種碳或滲透了碳的材料。這樣一種利用所有上面所述的設(shè)置都圖示在圖7B中，其中在容器98中放置了一個晶圓元件100，并在晶圓元件100的頂部位置放置了一碳中間層102，泡沫塑料104，紙中間層106。其中也顯示了一個蓋108。
圖8為圖6和7A中容器52的一個俯視圖，用于更清楚地顯示16個柱狀物58的位置以及壁片段57、59、61和63的形狀。根據(jù)顯示在圖7A中的晶圓框架76，壁片段57和63具有外形不規(guī)則性，隨后其將被稱作定向用制造物78和79?？蚣?6具有對應(yīng)的用于配合的不規(guī)則性，隨后其將被稱作對準(zhǔn)用制造物80和81。缺少至少定向(位)用制造物中之一和對準(zhǔn)用制造物中之一，則該晶圓框架可在四個位置中的任何一個位置上。當(dāng)然，如果壁片段和晶圓框架統(tǒng)一為環(huán)形形式，在沒有壁和框架配合不規(guī)則性時，晶圓框架可具有任何方向。盡管圖7A和圖8顯示了壁中的兩個定向用制造物78和79與框架中對應(yīng)的用于配合的對準(zhǔn)用制造物80和81，本發(fā)明適用于任何數(shù)量(一個或者多個)用于保證該容器中晶圓框架方向的制造物。例如，單個如79這樣的非對稱不規(guī)則物體僅足以保證一框架可能的某一個位置或方向。
壁片段60、62和64的拔模角通過用線82顯示壁片段在壁結(jié)構(gòu)56底部水平的內(nèi)周長而變得明顯。線84顯示了在壁頂部的壁片段的內(nèi)周長，很顯然其在底部位于線82之外，為此顯示了拔模角。該細(xì)節(jié)在放大后的片段A中更為清楚。
如圖8所示，片段A的局部放大也更清楚地顯示了柱狀物58的結(jié)構(gòu)。注意，圖8的俯視圖只顯示了橫穿接觸線的一單條線86，也就是將與一晶圓或者晶圓框架接觸的一條線。該單條線顯示了接觸線與底部66相垂直，并因此該接觸線沒有在圖8的俯視圖中顯示。相反，82和84這兩條線顯示了壁片段57、59、61、63的拔模角。
圖9為一晶圓元件88的一個橫剖面圖，其顯示了一個一般為環(huán)形的晶圓框架90，其上有一個孔，通過該孔放置一晶圓94。需要圖9目的是為了描述在一個框架90上固定一個晶圓94的一種方法。圖9中所示的固定是通過一粘膠薄膜來實(shí)現(xiàn)，放置時其帶粘性的面與框架90的一底面和晶圓94的一底面接觸。利用膠紙帶96固定在一框架90之中的一晶圓94已為所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知。膠紙帶96一般幾乎覆蓋框架的所有底表面，以及晶圓的全部底表面。該膠紙帶一般具有不吸收用于切割晶圓的激光能量的特點(diǎn)(例如，藍(lán)色)。在一些應(yīng)用中，該膠紙帶貼在框架上，然后晶圓通過膠紙帶上粘合劑的作用而放置在孔92之中。然后，在此特殊應(yīng)用中利用激光將該晶圓切割成單獨(dú)的部分，即該晶圓被切割成小片。切割該晶圓后，該膠紙帶仍未受到影響。晶圓框架的一般厚度為0.30英寸。
盡管此處根據(jù)其中的特殊具體實(shí)施例描述了本發(fā)明，在前述之公開內(nèi)容中可進(jìn)行一定范圍之更改，各種變化和替代，并應(yīng)了解在一些情況中，在不偏離本發(fā)明精神和范圍的前提下，可在不使用其他特征時單獨(dú)使用本發(fā)明的一些特征，如權(quán)利要求書所述。
權(quán)利要求
1.一種具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其特征在于，該容器包括一個用于貯該晶圓元件堆的晶圓貯存室，該晶圓貯存室包括一個底部，在該底部上有一個放置晶圓元件堆的晶圓區(qū)域；以及若干分布于晶圓貯存室內(nèi)的柱狀物，每一柱狀物上都有一表面，該表面上有一同等地限制該晶圓貯存室中每一晶圓元件側(cè)向運(yùn)動的接觸線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一條接觸線的方向都與該晶圓區(qū)域的一個平面垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中該晶圓貯存室包括一從該底部開始延伸的壁，其中該壁具有一拔模角，以便于從注模中移走該晶圓貯存室。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一柱狀物與該壁以整體的形式形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其進(jìn)一步包括一個與該壁相匹配的蓋，用于完全密封晶圓元件堆。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中該若干柱狀物的數(shù)量在3個到6個之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一接觸線的方向與該晶圓區(qū)域的一個平面垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其特征在于，該晶圓貯存室包括一面從該底部開始延伸的壁，其中該壁具有一拔模角，以便于從一注模中移走該晶圓貯存室。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一柱狀物與該壁以整體的形式形成。
10.一種貯存一晶圓堆的貯存容器裝置，其特征在于，該裝置包括一個晶圓貯存室；至少一個設(shè)置在該晶圓貯存室內(nèi)部的定向用制造物；若干在一晶圓堆中的、適合于插入至該晶圓貯存室中的晶圓框架，每一晶圓框架在其上至少包括一個對準(zhǔn)用制造物，并且每一晶圓框架被用于幫助在其上一個預(yù)先確定的位置處固定其中的一個晶圓，其中至少一對準(zhǔn)用制造物對應(yīng)于至少一定向用制造物，由此定向在該晶圓貯存室中的每一晶圓框架，并防止該每一晶圓框架在該貯存室內(nèi)部實(shí)際的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動；以及若干設(shè)置在該晶圓貯存室內(nèi)部的柱狀物，每一柱狀物具有一表面，該表面上有一條同等地限制該晶圓貯存室中每一晶圓元件側(cè)向運(yùn)動的接觸線。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其特征在于，該晶圓貯存室包括一個用于在其上放置該晶圓堆的一底部；以及一面與該底部相連的壁，用于包裹該晶圓堆。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中該定向用制造物是一個設(shè)置在該壁上的壁外形制造物，且其中該對準(zhǔn)用制造物是一個設(shè)置在該晶圓框架的一邊緣上的外形制造物。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其特征在于，每一晶圓框架包括若干對準(zhǔn)用制造物，并且有若干對應(yīng)的設(shè)置在該晶圓貯存容器內(nèi)的定向用制造物；以及每一定向用制造物為一設(shè)置在該壁不同位置上的壁外形制造物，且每一對準(zhǔn)用制造物為一個設(shè)置在該晶圓框架不同邊緣位置上的外形制造物。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其進(jìn)一步包括一個適合于在該壁的頂部插入的蓋。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一晶圓進(jìn)一步包括一對準(zhǔn)用制造物。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一晶圓框架包括一晶圓表面，該晶圓表面用于放置其中的一個晶圓，且該晶圓表面由參與維持該晶圓框架與設(shè)置于其上的該晶圓之間附著力的材料組成。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一晶圓框架包括若干對準(zhǔn)用制造物，并且有若干對應(yīng)的設(shè)置在該晶圓貯存容器內(nèi)的定向用制造物。
18.根據(jù)權(quán)利要求10所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中該若干柱狀物的數(shù)量在3個到6個之間。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一接觸線的方向與該晶圓區(qū)域的一平面垂直。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中該晶圓貯存室包括一從該底部開始延伸的壁，其中該壁具有一拔模角，以便于從一注模中移走該晶圓貯存室。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，其中每一柱狀物與該壁以整體的形式形成。
全文摘要
一種具有晶圓定位柱的晶圓貯存容器，該容器貯存和運(yùn)送晶圓并通過注模而成型，其包括一底部，該底部具有一晶圓區(qū)域用于在其上放置一具有若干的晶圓堆。一保護(hù)壁圍繞在晶圓區(qū)域四周，并向上延伸，其在底部的周長為第一周長，在壁的最頂端的周長為第二周長，該第二周長大于第一周長，這就使得壁相對于與底平面垂直的一條直線具有一拔模角，這是為了便于從一注模中移走該容器。本發(fā)明提供若干晶圓元件定位柱狀物，每一柱狀物具有一表面，該表面上有一條接觸線垂直于該底部平面延伸。定位的該接觸線用以限制放置在該容器中的一晶圓堆運(yùn)動。
文檔編號H01L21/67GK1577787SQ0315874
公開日2005年2月9日 申請日期2003年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月14日
發(fā)明者吉姆·皮倫, 斯科特·布拉德利 申請人:皮克塑料和金屬產(chǎn)品國際有限公司