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      用于移動(dòng)可動(dòng)元件的表面波動(dòng)馬達(dá)和方法

      文檔序號:7150640閱讀:185來源:國知局
      專利名稱:用于移動(dòng)可動(dòng)元件的表面波動(dòng)馬達(dá)和方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種用于利用在一個(gè)定子上的至少兩個(gè)彼此面對的致動(dòng)器移動(dòng)可動(dòng)元件的方法,電波信號被施加于至少一個(gè)致動(dòng)器上,使得產(chǎn)生沿定子表面運(yùn)動(dòng)的波,借助于這個(gè)波,可動(dòng)元件被移動(dòng)。
      本發(fā)明還涉及一種波動(dòng)馬達(dá),其包括可動(dòng)元件和移動(dòng)裝置,所述移動(dòng)裝置包括在定子上的至少兩個(gè)彼此面對的致動(dòng)器,所述致動(dòng)器和至少一個(gè)發(fā)生器相連。
      本發(fā)明還涉及一種要應(yīng)用于這種波動(dòng)馬達(dá)上的移動(dòng)裝置以及包括至少這種類型的波動(dòng)馬達(dá)的組件。
      在由美國專利US-B2-6331747已知的一種方法中,由兩個(gè)發(fā)生器產(chǎn)生電波信號,所述信號被施加于兩個(gè)相鄰的致動(dòng)器。致動(dòng)器產(chǎn)生在定子表面內(nèi)沿相同方向行進(jìn)的波,借助于這個(gè)波,可動(dòng)元件被移動(dòng)。
      在表面內(nèi)產(chǎn)生的波也被稱為表面聲波,其引起定子表面的單獨(dú)的顆粒發(fā)生振動(dòng)。每個(gè)顆粒受到沿和表面平行的方向運(yùn)動(dòng)的縱波運(yùn)動(dòng)和沿垂直于所述表面運(yùn)動(dòng)的并具有90度相位差的橫波運(yùn)動(dòng)的影響。這引起定子表面的各個(gè)顆粒的橢圓運(yùn)動(dòng)。由于顆粒的電運(yùn)動(dòng)的頂部,可動(dòng)元件被移動(dòng),可動(dòng)元件移動(dòng)的方向和表面聲波的運(yùn)動(dòng)方向相反。
      可動(dòng)元件移動(dòng)的速度和縱波運(yùn)動(dòng)的幅值成比例,所述幅值又和施加于致動(dòng)器的電波信號的電壓成比例。橫波運(yùn)動(dòng)的幅值和縱波運(yùn)動(dòng)的幅值具有一個(gè)固定的比。如果施加于致動(dòng)器上的電壓被減少,以便獲得縱波運(yùn)動(dòng)的一個(gè)較低的幅值和可動(dòng)元件的一個(gè)相應(yīng)的較低的移動(dòng)速度,橫波運(yùn)動(dòng)的幅值也被減小。不過為了能夠使可動(dòng)元件移動(dòng),縱向的幅值應(yīng)當(dāng)至少等于定子表面的表面粗糙度和可動(dòng)元件在定子中的彈性壓痕。因此,可能獲得的最小的恒定速度由要產(chǎn)生的定子表面粗糙度和可動(dòng)元件在定子內(nèi)的彈性壓痕確定。
      為了消除這個(gè)問題,可以用相對較大的速度間歇地移動(dòng)可動(dòng)元件,使得實(shí)現(xiàn)相對較低的平均速度。不過,這個(gè)速度不是恒定的。
      此外,間歇波序列的長度應(yīng)當(dāng)至少等于可動(dòng)元件的長度。
      已知的方法的另一個(gè)缺點(diǎn)是,要實(shí)現(xiàn)的可動(dòng)元件的最小位移也取決于要實(shí)現(xiàn)的定子表面粗糙度和可動(dòng)元件在定子內(nèi)的彈性壓痕,因?yàn)檫@也決定橫波運(yùn)動(dòng)所需的最小幅值,并因此決定縱波運(yùn)動(dòng)的最小幅值。
      本發(fā)明的目的在于提供一種方法,其中可動(dòng)元件可以精確地以相當(dāng)?shù)偷乃俣扰c/或在相當(dāng)短的距離上移動(dòng)。
      這個(gè)目的在按照本發(fā)明的方法中實(shí)現(xiàn)了,其中電波信號被同時(shí)施加到至少兩個(gè)彼此面對的致動(dòng)器上,使得在定子的表面內(nèi)產(chǎn)生相反方向的波,兩個(gè)相反方向的波在定子表面內(nèi)形成一個(gè)合成波,借助于該合成波,可動(dòng)元件在位于致動(dòng)器之間的運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)移動(dòng)。
      同時(shí)施加的電波信號的頻率可以是不同的。
      同時(shí)產(chǎn)生的相反方向的波使顆粒沿表面移動(dòng),由相反方向的波引起的縱波運(yùn)動(dòng)基本上相互抵消,而橫波運(yùn)動(dòng)被彼此放大。結(jié)果,可動(dòng)元件可以用相當(dāng)?shù)偷乃俣仍谙喈?dāng)短的距離上移動(dòng),而沒有來自定子的表面粗糙度和可動(dòng)元件在定子中的彈性壓痕的妨礙。
      因?yàn)槊總€(gè)顆粒的合成的橢圓運(yùn)動(dòng)的橫向幅值超過由在表面內(nèi)單獨(dú)運(yùn)動(dòng)的波引起的橫向波動(dòng)的幅值,可以減少這些單獨(dú)的波的幅值,直到每個(gè)顆粒的合成橫向波動(dòng)的幅值基本上等于定子的表面粗糙度和可動(dòng)元件在定子中的彈性壓痕。這使得能夠利用相當(dāng)小的能量在一個(gè)相當(dāng)短的距離內(nèi)精確地移動(dòng)可動(dòng)元件。
      如果在一個(gè)較長的時(shí)間間隔內(nèi)施加電波信號,這將引起可動(dòng)元件以相當(dāng)?shù)偷乃俣纫苿?dòng)。
      按照本發(fā)明的方法的一個(gè)實(shí)施例的特征在于,所述電波信號的幅值是不同的。
      在表面內(nèi)的合成波的振幅和每個(gè)顆粒的縱向波動(dòng)的幅值與電波信號的幅值之間的差值成比例。因此,借助于調(diào)節(jié)不同的電波信號的幅值,便可以確定合成波的振幅。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,至少一個(gè)電波信號的幅值被改變。
      通過改變至少一個(gè)電波信號的幅值,可以根據(jù)所需的可動(dòng)元件的位移與/或速度改變合成波的振幅。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,所述電波信號的相位是不同的。
      由于電波信號的不同的相位,在定子表面形成一個(gè)合成波,這個(gè)波具有和相位差有關(guān)的形狀,因此可以實(shí)現(xiàn)所需的單獨(dú)顆粒的波動(dòng)。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,至少一個(gè)電波信號的相位被改變。
      通過改變相位可以使得能夠?qū)崿F(xiàn)可動(dòng)元件的任何所需的運(yùn)動(dòng)與/或速度。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,至少一個(gè)電波信號被間歇地驅(qū)動(dòng)。
      在這種情況下,可動(dòng)元件的位移是當(dāng)電波信號被連續(xù)地驅(qū)動(dòng)時(shí)的位移的一部分。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,兩個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的頻率是不同的。
      兩個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的不同的頻率使得在定子的表面內(nèi)形成合成的間歇的波動(dòng),因此可以產(chǎn)生所需的單獨(dú)顆粒的波動(dòng)。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,至少一個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的頻率被改變。
      通過改變頻率,可以產(chǎn)生可動(dòng)元件的任何位移與/或速度。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,兩個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的脈沖持續(xù)時(shí)間是不同的。
      由于兩個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的不同的脈沖持續(xù)時(shí)間,在定子表面內(nèi)形成一個(gè)合成的間歇波,因此可以產(chǎn)生所需的單獨(dú)顆粒的波動(dòng)。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,至少一個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的脈沖持續(xù)時(shí)間被改變。
      通過改變頻率,可以產(chǎn)生任何所需的可動(dòng)元件的位移與/或速度。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,至少兩對相互包圍90度角的相互面對的致動(dòng)器產(chǎn)生兩個(gè)合成波,借助于所述合成波,可動(dòng)元件沿著平行于定子表面的兩個(gè)相互垂直的方向移動(dòng)。
      結(jié)果,可以使可動(dòng)元件以相當(dāng)?shù)偷乃俣扰c/或通過相當(dāng)短的距離沿兩個(gè)相互垂直的方向精確地移動(dòng)。
      按照本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,一個(gè)測量系統(tǒng)確定可動(dòng)元件的位置,接著利用一個(gè)處理器使測量的位置和所需的位置進(jìn)行比較,此后,根據(jù)測量的位置和所需的位置之間的差值,由所述處理器把至少一個(gè)電波信號施加到致動(dòng)器上。
      在這種方式中,可動(dòng)元件被精確地調(diào)節(jié)到所需的位置,同時(shí)測量系統(tǒng)檢驗(yàn)是否已經(jīng)實(shí)際達(dá)到所需的位置。在具有偏差的情況下,可以借助于處理器致動(dòng)所需的一個(gè)或幾個(gè)致動(dòng)器,以便使可動(dòng)元件進(jìn)行一個(gè)附加的移動(dòng)。
      本發(fā)明還旨在提供一種波動(dòng)馬達(dá),利用這種波動(dòng)馬達(dá),可動(dòng)元件可以用相當(dāng)?shù)偷乃俣扰c/或通過相當(dāng)短的距離被精確地移動(dòng)。
      這個(gè)目的是通過按照本發(fā)明的波動(dòng)馬達(dá)實(shí)現(xiàn)的,其中在定子上相互面對的致動(dòng)器被同時(shí)致動(dòng),而可動(dòng)元件可以在其上移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域位于可被同時(shí)致動(dòng)的致動(dòng)器之間。
      作為可被同時(shí)致動(dòng)的致動(dòng)器的結(jié)果,可以在移動(dòng)區(qū)域的表面內(nèi)產(chǎn)生合成波,所述合成波使得發(fā)生具有相當(dāng)小的縱向幅值和相對大的橫向幅值的局部表面波動(dòng),使得可動(dòng)元件可以用相當(dāng)?shù)偷乃俣纫苿?dòng),或可以具有相當(dāng)短的位移。
      按照本發(fā)明的波動(dòng)馬達(dá)的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,所述波動(dòng)馬達(dá)還包括和發(fā)生器相連的處理器,以及和所述處理器相連的測量系統(tǒng)。
      借助于所述測量系統(tǒng),可以通過處理器進(jìn)行關(guān)于可動(dòng)元件的實(shí)際位置和所需位置的反饋,使得可以進(jìn)行可動(dòng)元件的精確的定位。
      按照本發(fā)明的波動(dòng)馬達(dá)的另一個(gè)實(shí)施例的特征在于,至少兩個(gè)彼此面對的致動(dòng)器被設(shè)置在定子上,這些致動(dòng)器對相互包圍90度角。
      借助于這種表面波動(dòng)馬達(dá),可動(dòng)元件可以在定子的整個(gè)表面上精確地移動(dòng)。
      本發(fā)明還涉及一種適用于這種類型的波動(dòng)馬達(dá)中的移動(dòng)裝置,借助于這種移動(dòng)裝置,位于定子上的可動(dòng)元件可以精確地移動(dòng)。
      本發(fā)明還涉及一種包括至少兩個(gè)波動(dòng)馬達(dá)的組件,其可動(dòng)元件被剛性地彼此相連。
      借助于這種組件,可以驅(qū)動(dòng)波動(dòng)馬達(dá),使得可動(dòng)元件可以被略微不同的表面聲波驅(qū)動(dòng)。這樣的效果是,因?yàn)楸砻媛暡?,使得剛性連接的元件可以用與可以預(yù)期的兩個(gè)速度不同的速度運(yùn)動(dòng)。使得所謂的粘滑現(xiàn)象不會(huì)形成任何障礙,由于所述粘滑現(xiàn)象,在相當(dāng)?shù)偷乃俣认乱朔喈?dāng)大的急劇改變的摩擦系數(shù)。
      此時(shí)波動(dòng)馬達(dá)可以在相當(dāng)小的速度下沿相對方向驅(qū)動(dòng)可動(dòng)元件。
      本發(fā)明的這些和其它的目的參照下面說明的實(shí)施例可以清楚地看出。
      在附圖中

      圖1表示按照本發(fā)明的波動(dòng)馬達(dá)的第一實(shí)施例的透視圖;圖2表示定子的示意的截面圖,具有一個(gè)通過定子而運(yùn)動(dòng)的波;圖3表示在定子中的顆粒的兩個(gè)單獨(dú)的橢圓運(yùn)動(dòng)和一個(gè)由其引起的合成橢圓運(yùn)動(dòng);圖4表示按照本發(fā)明的波動(dòng)馬達(dá)的第二實(shí)施例的透視圖;以及圖5表示按照本發(fā)明的組件的平面圖。
      在附圖中相同的元件用相同的標(biāo)號表示。
      圖1表示一個(gè)波動(dòng)馬達(dá)1,其包括水平延伸的定子2和位于所述定子2上的可動(dòng)元件3。定子2的上表面包括例如壓電材料的薄層,具有兩個(gè)致動(dòng)器4,5,它們被安裝在定子2的上表面的兩側(cè)上。致動(dòng)器4,5例如是所謂的交叉指型變換器(IDT)。每個(gè)致動(dòng)器4,5和由處理器8驅(qū)動(dòng)的發(fā)生器6,7電相連。此外,測量系統(tǒng)9也和處理器8相連,借助于測量系統(tǒng)9可以確定可動(dòng)元件3相對于定子2的位置。
      可動(dòng)元件3具有在面向定子2的一側(cè)上的接觸塊10,借助于所述接觸塊,可動(dòng)元件3置于定子2的表面上。由于球形的接觸表面10,相當(dāng)?shù)叵拗屏丝蓜?dòng)元件和定子2的接觸的表面。
      致動(dòng)器4,5位于定子2的兩側(cè)上,同時(shí)在致動(dòng)器4,5之間可以看到致動(dòng)器3可以在其上方運(yùn)動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域13。
      借助于發(fā)生器6,7可以分別對致動(dòng)器4,5施加電波信號V1=V01sin(Tt+n1)和V2=V02sin(Tt+n2)。施加于致動(dòng)器4,5上的這些電波信號使得在定子2的表面上發(fā)生表面聲波。
      圖2表示來自致動(dòng)器4的這種表面聲波11。波11通過定子2的表面沿箭頭P1所示的方向傳播,同時(shí)引起表面的單獨(dú)的顆粒振動(dòng)。圖2利用橢圓12示出了單獨(dú)的顆粒的運(yùn)動(dòng)。
      由于表面聲波11,顆粒受到沿與L所示的方向相同或相反的方向的縱向波動(dòng),同時(shí)受到沿與T所示的方向相同或相反的方向的橫向波動(dòng)。橫向波動(dòng)相對于縱向波動(dòng)具有90度的相位差,這引起沿箭頭E1所示的方向的橢圓運(yùn)動(dòng)。如圖2所示,在橢圓12的頂部附近的顆粒沿和箭頭P1相反的方向移動(dòng)??蓜?dòng)元件3的球形接觸表面10處于顆粒的頂部,這些顆粒局部地被推動(dòng),所述接觸表面由于顆粒的運(yùn)動(dòng)而移動(dòng),使得可動(dòng)元件沿著致動(dòng)器4的方向也是和箭頭P1所示的方向相反的方向移動(dòng)。
      按照本發(fā)明的方法,電信號被同時(shí)施加到波動(dòng)馬達(dá)的致動(dòng)器4,5上,所述信號使每個(gè)表面聲波出現(xiàn)在定子2的表面內(nèi)。
      圖3表示由單獨(dú)的波動(dòng)引起的一個(gè)顆粒的橢圓運(yùn)動(dòng)12,來自致動(dòng)器4的表面聲波使得在表面內(nèi)發(fā)生顆粒的橢圓運(yùn)動(dòng)12,因此顆粒沿箭頭E1所示的方向運(yùn)動(dòng)。由面向致動(dòng)器4的致動(dòng)器5產(chǎn)生的表面聲波使得橢圓運(yùn)動(dòng)14強(qiáng)加到同一個(gè)顆粒上,使得顆粒沿箭頭E2所示的方向運(yùn)動(dòng)。
      如果兩個(gè)表面聲波的振幅相等,則可動(dòng)元件保持靜止。
      現(xiàn)在如果,如圖3所示的例子,來自致動(dòng)器4的表面聲波的振幅超過了來自致動(dòng)器5的表面聲波的振幅,橢圓運(yùn)動(dòng)12的橫向波動(dòng)和縱向波動(dòng)將超過橢圓14的縱向波動(dòng)和橫向波動(dòng)。因?yàn)楦鱾€(gè)顆粒同時(shí)受到兩個(gè)橢圓的波動(dòng),這將引起由箭頭E3所示的方向的橢圓運(yùn)動(dòng)15??v向波動(dòng)的振幅此時(shí)等于橢圓12和14的縱向波動(dòng)的振幅之差,而橫向波動(dòng)的振幅將等于橢圓12和14的橫向波動(dòng)的振幅之和。由圖3可以看出,縱向波動(dòng)的的合成振幅相當(dāng)小,而橫向波動(dòng)的振幅相當(dāng)大。這意味著,利用這種縱向波動(dòng),將沿和箭頭P1相反的方向?qū)崿F(xiàn)可動(dòng)元件3的相當(dāng)小的位移。與此同時(shí),由于橫向波動(dòng)的相對大的振幅,定子2的任何表面粗糙都不會(huì)引起太多的干擾。
      如果要使可動(dòng)元件3沿致動(dòng)器5的方向移動(dòng),則施加于致動(dòng)器5的電波信號的幅值將超過施加于致動(dòng)器4的電波信號的幅值。
      圖4表示按照本發(fā)明的波動(dòng)馬達(dá)21的第二實(shí)施例,除去具有彼此面對的第一對致動(dòng)器24,25之外,其具有兩對致動(dòng)器,分別為26,27和28,29,它們位于定子22上。其上設(shè)置有致動(dòng)器24-29的定子22形成一個(gè)移動(dòng)裝置,用于位于其上并利用球形接觸表面30置于定子表面22上的可動(dòng)元件23??蓜?dòng)元件23可以在致動(dòng)器24-30之間的運(yùn)動(dòng)區(qū)域上移動(dòng)。
      以和圖1所示的方式同等的方式,使致動(dòng)器和發(fā)生器相連,以便向致動(dòng)器提供電波信號。發(fā)生器和一個(gè)處理器相連,用于以所需的方式驅(qū)動(dòng)發(fā)生器。此外,一個(gè)測量系統(tǒng)和處理器相連。
      致動(dòng)器對26,27和28,29分別垂直于致動(dòng)器對24,25延伸。作為驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器24,25的結(jié)果,可動(dòng)元件23可以沿和箭頭P1指示的方向相同或相反的方向移動(dòng),而當(dāng)致動(dòng)器26,29被驅(qū)動(dòng)時(shí),可動(dòng)元件23可以沿和箭頭P2指示的方向相同或相反的方向移動(dòng)。
      當(dāng)實(shí)現(xiàn)沿和由箭頭P2指示的方向相同或相反的方向驅(qū)動(dòng)時(shí),當(dāng)執(zhí)行沿和由箭頭P2指示的方向相同或相反的方向的驅(qū)動(dòng)時(shí),電波信號被同時(shí)分別施加到致動(dòng)器對26,27和28,29上,與此同時(shí),所述波動(dòng)信號以參照圖3所述的方式在定子22的表面內(nèi)產(chǎn)生表面聲波。這些波形成一個(gè)合成波,借助于這個(gè)合成波使可動(dòng)元件23沿和箭頭P2指示的方向相同或相反的方向移動(dòng)。
      借助于對致動(dòng)器26,27施加電信號而產(chǎn)生沿箭頭P2所示方向的合成波,并對致動(dòng)器28,29施加電信號而產(chǎn)生沿與箭頭P2所示方向相反的方向的合成波,在定子表面22內(nèi)產(chǎn)生使可動(dòng)元件23沿箭頭R所示方向轉(zhuǎn)動(dòng)的合成波。
      用這種方式,借助于處理器8,可以獲得可動(dòng)元件在定子22上的運(yùn)動(dòng)區(qū)域33內(nèi)的任何所需的位置和方位。然后,借助于和處理器8相連的測量系統(tǒng)9,使可動(dòng)元件23的實(shí)際位置和所需的位置比較,可以對致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行可能的校正。
      圖5表示按照本發(fā)明的組件40的平面圖,其包括3個(gè)波動(dòng)馬達(dá)21’,21”,21,它們具有3個(gè)可動(dòng)元件23’,23”,23??蓜?dòng)元件23’,23”,23由3個(gè)桿41剛性地互連。每個(gè)桿41具有相同的長度,并圍住相等的角度。不過這些角度也可以是不同的。
      為清楚起見,圖5中未示出致動(dòng)器、發(fā)生器、處理器和測量系統(tǒng)。
      為了得到例如桿41的連接點(diǎn)42沿箭頭P1所示的方向的精確的位移,在波動(dòng)馬達(dá)21’,21”,21中產(chǎn)生合成波,借助于這個(gè)合成波,可以使連接點(diǎn)42沿箭頭P1,P2,R所示的方向移動(dòng)。當(dāng)以相當(dāng)?shù)偷乃俣葘?shí)現(xiàn)移動(dòng)時(shí),由波動(dòng)馬達(dá)產(chǎn)生不同的合成波,使得連接點(diǎn)42借助于這些合成波的組合被移動(dòng)。此時(shí)連接點(diǎn)42的速度和單獨(dú)的合成波的速度不同。結(jié)果,避免了所謂的粘滑(stick-slip)現(xiàn)象的危險(xiǎn),粘滑使得在可動(dòng)元件發(fā)生移動(dòng)之前要克服急劇改變的摩擦系數(shù)。在表面內(nèi)已經(jīng)存在的波使得這種粘滑現(xiàn)象不會(huì)發(fā)生。
      另外,可以使定子具有3對致動(dòng)器,它們彼此成60度角,或者具有另一種成對的部件,它們相互之間形成另一個(gè)所需的角度。
      還可以使圖5所示的組件40只具有兩個(gè)波動(dòng)馬達(dá)代替3個(gè)波動(dòng)馬達(dá)。
      另一種可能性是使整個(gè)定子由壓電材料制成。
      權(quán)利要求
      1.一種利用至少兩個(gè)在定子上彼此面對的致動(dòng)器移動(dòng)可動(dòng)元件的方法,電波信號被施加到至少一個(gè)致動(dòng)器上,使得產(chǎn)生在定子的表面內(nèi)運(yùn)動(dòng)的波,利用所述波,可動(dòng)元件被移動(dòng),其特征在于,電波信號被同時(shí)施加到至少兩個(gè)彼此面對的致動(dòng)器上,使得在定子的表面內(nèi)產(chǎn)生相反方向的波,兩個(gè)相反方向的波在定子表面內(nèi)形成一合成波,借助于該合成波,可動(dòng)元件在位于所述致動(dòng)器之間的運(yùn)動(dòng)區(qū)域上移動(dòng)。
      2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述電波信號的幅值是不同的。
      3.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,至少一個(gè)電波信號的幅值被改變。
      4.如權(quán)利要求1到3中任何一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述電波信號的相位是不同的。
      5.如權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,至少一個(gè)電波信號的相位被改變。
      6.如權(quán)利要求1到5中任何一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,至少一個(gè)電波信號被間歇地驅(qū)動(dòng)。
      7.如權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,兩個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的頻率是不同的。
      8.如權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,至少一個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的頻率被改變。
      9.如權(quán)利要求1到8中任何一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,兩個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的脈沖持續(xù)時(shí)間是不同的。
      10.如權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,至少一個(gè)電波信號的間歇驅(qū)動(dòng)的脈沖持續(xù)時(shí)間被改變。
      11.如權(quán)利要求1到10中任何一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,至少兩對相互包圍90度角的相互面對的致動(dòng)器產(chǎn)生兩個(gè)合成波,借助于所述合成波,可動(dòng)元件沿著平行于定子表面的兩個(gè)相互垂直的方向移動(dòng)。
      12.如權(quán)利要求1到11中任何一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,測量系統(tǒng)確定可動(dòng)元件的位置,接著利用處理器使測量的位置和所需的位置進(jìn)行比較,此后,根據(jù)測量的位置和所需的位置之間的差值,由所述處理器把至少一個(gè)電波信號施加到致動(dòng)器上。
      13.一種波動(dòng)馬達(dá),其包括可動(dòng)元件以及包括在定子上彼此面對的至少兩個(gè)致動(dòng)器的移動(dòng)裝置,所述致動(dòng)器和至少一個(gè)發(fā)生器相連,其特征在于,在定子上相互面對的致動(dòng)器可被同時(shí)致動(dòng),而可動(dòng)元件可以在其上移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域位于可被同時(shí)致動(dòng)的致動(dòng)器之間。
      14.如權(quán)利要求13所述的波動(dòng)馬達(dá),其特征在于,所述波動(dòng)馬達(dá)還包括和發(fā)生器相連的處理器,以及和所述處理器相連的測量系統(tǒng)。
      15.如權(quán)利要求13或14所述的波動(dòng)馬達(dá),其特征在于,至少兩對彼此面的致動(dòng)器被定位在定子上,這些致動(dòng)器對相互包圍90度角。
      16.一種適用于如前述權(quán)利要求13-15中任何一項(xiàng)所述的波動(dòng)馬達(dá)中的移動(dòng)裝置,所述移動(dòng)裝置包括彼此面對并且定位于定子上的至少兩個(gè)致動(dòng)器,所述致動(dòng)器和至少一個(gè)發(fā)生器相連,其特征在于,在定子上相互面對的致動(dòng)器可以被同時(shí)致動(dòng),一移動(dòng)區(qū)域位于可被同時(shí)致動(dòng)的致動(dòng)器之間。
      17.一種包括至少如前述權(quán)利要求13-15中任何一項(xiàng)所述的波動(dòng)馬達(dá)的組件,其特征在于,所述組件包括至少兩個(gè)波動(dòng)馬達(dá),這些馬達(dá)的可動(dòng)元件被剛性地彼此相連。
      全文摘要
      一種利用在定子(2)上的至少兩個(gè)彼此面對的致動(dòng)器(4,5)移動(dòng)可動(dòng)元件(3)的方法。電波信號被同時(shí)施加到至少兩個(gè)彼此面對的致動(dòng)器上,使得在定子的表面內(nèi)產(chǎn)生相反方向的波。兩個(gè)相反方向的波在定子表面內(nèi)形成一個(gè)合成波,借助于該合成波,可動(dòng)元件在位于所述致動(dòng)器之間的運(yùn)動(dòng)區(qū)域內(nèi)移動(dòng)。
      文檔編號H01L41/09GK1643770SQ03805995
      公開日2005年7月20日 申請日期2003年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月15日
      發(fā)明者M·M·P·A·維穆倫, F·G·P·皮特斯 申請人:皇家飛利浦電子股份有限公司
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