專利名稱：Tcp處理裝置以及在該裝置中的位置不正補正方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在試驗作為IC器件的1種的TCP(Tape CarrierPackage帶狀載體封裝)和COF(Chip On Film)(以下，把用TCP、COF、其他TAB(Tape Automated Bonding)安裝技術(shù)制造的器件統(tǒng)稱為“TCP”)中使用的TCP處理裝置，以及TCP處理裝置的TCP和接觸單元的位置補正方法。
背景技術(shù)：
在IC器件等的電子產(chǎn)品的制造過程中，需要試驗最終制作的IC器件和在其中間階段的器件等的性能和功能的電子零件試驗裝置，在TCP時，使用TCP用試驗裝置。
TCP用的試驗裝置一般由試驗主體、試驗頭、TCP處理裝置(以下有時稱為“TCP信息處理器”)構(gòu)成。該TCP信息處理器具備這樣的功能傳送在帶子(假設(shè)還包含薄膜的概念。下同。)上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的探針卡的探針上按壓承載帶，使探針接觸TCP的外部端子，據(jù)此順序把多個TCP交付試驗。
為了使用這樣的TCP信息處理器高效率地正確地進行試驗，需要使TCP的外部端子和探針卡的各探針可靠接觸。
以往，作為TCP和探針的對位法，已知有使承載帶和推進器以及夾板或者接觸加壓器一同在XY方向上移動的方法(實公平6-2271號公報，特開平9-92695號公報、特開平8-29484號公報)，和使探針卡在XY方向上移動的方法(特開平10-185996號公報，特開2002-181888號公報)。
但是，只在這樣的XY方向上的2軸控制中，不一定能正確地進行TCP和探針的對位，發(fā)生接觸不良的情況不少。特別是隨著將來的器件的多腳·窄芯片化，能預(yù)見這種接觸不良的發(fā)生頻度增大。
另一方面，在特開2002-181889號公報中，記載了通過把安放在旋轉(zhuǎn)載臺上的探針卡相對TCP只旋轉(zhuǎn)補正角度θ，補正TCP和探針卡的角度偏差的發(fā)明。
但是，在特開2002-181889號公報中記載的發(fā)明因為終歸是在初始設(shè)定時使探針卡旋轉(zhuǎn)進行對位，所以當在TCP試驗裝置的實際運行中產(chǎn)生了TCP與探針卡的偏離時或者初始設(shè)定本身的不正確在TCP試驗裝置的實際運行中被發(fā)現(xiàn)時就沒有辦法解決。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題的存在，本發(fā)明的目的在于提供一種能正確地進行TCP與接觸單元的對位，減少接觸不良發(fā)生的TCP處理裝置和TCP處理裝置的位置不正(位置偏離)補正方法。
為了實現(xiàn)上述目的，第1，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置，它傳送在帶子上形成多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能順序試驗多個TCP，其特征在于具備能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置(1)。
在本說明書中的“接觸單元”中，假設(shè)包含連接TCP的外部端子的連接端子(例如，探針)本身，和配備有這樣的連接端子的部件(例如探針卡)雙方的概念。
如果采用上述發(fā)明(1)，則通過用帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。
上述發(fā)明(1)的TCP處理裝置理想的是還包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶在其平面方向移動的帶平面移動裝置(2)。
如果采用上述發(fā)明(2)，則通過用帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或帶平面移動裝置使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，可靠地進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。
在上述發(fā)明(2)中，上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述帶平面移動裝置理想的是與把承載帶按壓在上述接觸單元上的按壓裝置一起，使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動(3)。
而且，在此所說的“按壓裝置”不僅按壓承載帶，還能具有保持承載帶的功能。
如果采用上述發(fā)明(3)，則不發(fā)生承載帶和按壓它的按壓裝置間的位置不正。
上述發(fā)明(2，3)的上述TCP處理裝置理想的是還包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置，根據(jù)由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅(qū)動上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述帶平面移動裝置，自動補正上述位置不正(4)。
在本說明書中的“位置不正信息”中，假設(shè)包含位置不正的方向(X·Y·θ)以及位置不正的量。
作為位置不正信息取得裝置，例如能列舉拍攝承載帶以及接觸單元的照相機和圖像處理裝置的組合等。
如果采用上述發(fā)明(4)，則不管操作員的技能等如何，都能自動地正確補正TCP和接觸單元的位置不正。
第2，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過把TCP的外部端子與上述接觸單元連接，能把多個TCP交付試驗，其特征在于，包括，能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置；能使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，在實際運行中(不是在初始設(shè)定，實際上是為了進行試驗而在運行的過程中)，根據(jù)由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，自動補正上述位置不正(5)。
如果采用本發(fā)明(5)，則在TCP處理裝置的執(zhí)行中，因為通過用接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置使接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，能對每個被試驗TCP進行在圍繞垂直軸移位的被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發(fā)生。
上述發(fā)明(5)的TCP處理裝置理想的是還包括能使上述接觸單元在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，在實際運行中，根據(jù)由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，自動補正上述位置不正(6)。
如果采用本發(fā)明(6)則在TCP處理裝置的實際運行中，因為通過用接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或接觸單元平面移動裝置使接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，能對每個被試驗TCP可靠地進行被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發(fā)生。
第3，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，能把多個TCP依次交付試驗，其特征在于，包括，能取得TCP與上述接觸單元的位置不正(位置偏離)的信息的位置不正信息取得裝置；能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置；能使上述接觸單元圍繞該垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，當用上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量(位置偏離量)比規(guī)定值大時或者在大于等于規(guī)定值時，驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，當上述位置不正量在小于等于規(guī)定值時或者滿足規(guī)定值時，通過驅(qū)動上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，自動補正上述位置不正(7)。
如果采用上述發(fā)明(7)，則通過驅(qū)動帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置或者接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。
在此，在TCP處理裝置的構(gòu)造上，和使具備有多個與試驗主體聯(lián)系的軟線的接觸單元移動的接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置相比，帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置能在短時間進行位置不正補正。但是，帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置因為使由導(dǎo)片滑輪和鏈輪等支撐的承載帶移動，所以如果其移動量大則在承載帶上產(chǎn)生應(yīng)力，有可能損傷承載帶上的TCP(特別是舌簧或者試驗襯墊)和承載帶本身(特別是鏈輪的爪進入的孔穴部分或者其周邊部分)。
因此，如果采用上述發(fā)明(7)，則在位置不正量大時，驅(qū)動接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置防止TCP和承載帶的損傷，在位置不正小時，驅(qū)動帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，能縮短位置不正補正的時間，進而縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
上述發(fā)明(7)的TCP處理裝置理想的是還包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶在其平面方向上移動的帶平面移動裝置；能使上述接觸單元在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，當由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量比規(guī)定值大時或者在大于等于規(guī)定值時，驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，當上述位置不正量在小于等于規(guī)定值時或者不足規(guī)定值時，驅(qū)動上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述帶平面移動裝置，通過使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，自動補正上述位置不正(8)。
如果采用上述發(fā)明(8)，則通過用帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或帶平面移動裝置，或者接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或接觸單元平面移動裝置，使承載帶或者接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，可靠地進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。另外，如果采用上述發(fā)明(8)，則當位置不正量大時，驅(qū)動接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或接觸單元平面移動裝置，防止TCP和承載帶的損傷，當位置不正量小時，驅(qū)動帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或帶平面移動裝置能縮短位置不正的補正的時間，進而縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
第4，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動來補正TCP與上述接觸單元的位置不正(9)。
如果采用上述發(fā)明(9)，則通過使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。
第5，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的在處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，補正TCP與上述接觸單元的位置不正(10)。
如果采用上述發(fā)明(10)，則通過使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，可靠地進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。
第6，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據(jù)上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，補正上述位置不正(11)。
如果采用上述發(fā)明(11)，則通過根據(jù)取得的位置不正信息使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，能可靠補正圍繞垂直軸移位的TCP和接觸單元的位置不正。
第7，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據(jù)上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞該垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面上移動，補正上述位置不正(12)。
如果采用上述發(fā)明(12)，則通過根據(jù)已取得的位置不正信息使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，能可靠補正TCP和接觸單元的位置不正。
第8，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，在TCP處理處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息，根據(jù)上述取得的位置不正信息，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，補正上述位置不正(13)。
如果采用上述發(fā)明(13)，則通過在TCP處理裝置的運行中使接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，因為能對每個被試驗TCP進行圍繞垂直軸移位的被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發(fā)生。
第9，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，在TCP處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息，根據(jù)上述已取得的位置不正信息，通過使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，補正位置不正(14)。
如果采用上述發(fā)明(14)，則在TCP處理裝置的實際運行中，通過使接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，因為能對每個被試驗TCP可靠進行被試驗TCP與接觸單元的對位，所以能顯著減少接觸不良的發(fā)生。
第10，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，在取得的位置不正量比規(guī)定值大時或者在大于等于規(guī)定值時，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，當取得的位置不正量在小于等于規(guī)定值時或者不足規(guī)定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)，補正上述位置不正(15)。
如果采用上述發(fā)明(15)，則進行圍繞垂直軸移位的TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。
在此，在TCP處理裝置的構(gòu)造上，一般是與使具備有多個和試驗主體聯(lián)系的軟線的接觸單元移動進行位置不正補正的時間相比，還是使承載帶移動進行位置不正補正的時間一方短。但是，因為承載帶通常用導(dǎo)片滑輪和鏈輪等支撐，所以如果承載帶的移動量大則在承載帶上產(chǎn)生應(yīng)力，有可能損傷承載帶上的TCP(特別是舌簧(reed)或者試驗襯墊(pad))和承載帶本身(特別是鏈輪的爪進入的孔穴部分或者其周邊部分)。
因此，如果采用上述發(fā)明(15)，則在位置不正量大時，使接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，防止TCP和承載帶的損傷，在位置不正量小時，使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，能縮短位置不正補正的時間，進而縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
第11，本發(fā)明提供一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，當取得的位置不正量比規(guī)定值大時或者大于等于規(guī)定值時，驅(qū)動上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)和/或其平面方向上移動，在取得的位置不正量在小于等于規(guī)定值時或者不足規(guī)定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，補正上述位置不正(16)。
如果采用上述發(fā)明(16)，則通過使接觸單元或者承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，進行TCP與接觸單元的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。另外，如果采用上述發(fā)明(16)，則在位置不正量大時，使接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，防止TCP和承載帶的損傷，當位置不正量小時，使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，能縮短位置補正的時間，進而縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。


圖1是表示使用了本發(fā)明的一種實施方式的TCP信息處理器的TCP試驗裝置的主視圖。
圖2是同一實施方式的TCP信息處理器的推進器組件的側(cè)視圖。
圖3是同一實施方式的TCP信息處理器的推進器組件的平面圖。
圖4是同一實施方式的TCP信息處理器中的探針卡載臺的平面圖。
圖5是同一實施方式的TCP信息處理器中的探針卡載臺的主視圖。
圖6是說明同一實施方式的TCP信息處理器的主要動作的流程圖。
具體實施例方式
以下，根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。
圖1表示使用了本發(fā)明的一種實施方式的TCP信息處理器的TCP試驗裝置。
TCP試驗裝置1由未圖示的試驗主體、與試驗主體電連接的試驗頭10、被設(shè)置在試驗頭10的上側(cè)的TCP信息處理器2構(gòu)成。
TCP信息處理器2是多個被形成在承載帶5上各TCP依次交付試驗的設(shè)備，在本實施方式中，為了說明的簡化，假設(shè)每次1個進行TCP試驗。但是，本發(fā)明并不限于此，也能對在承載帶5上以串連方向和/或并列方向上排列的多個TCP同時進行試驗。
TCP信息處理器2具備繞下帶軸21和繞上帶軸22，在繞下帶軸21上繞著試驗前的承載帶5。承載帶5從繞下帶軸21上繞下，在進行試驗后卷繞到繞上帶軸22上。
在繞下帶軸21和繞上帶軸22之間設(shè)置把從承載帶5上玻璃的保護帶51從繞下帶軸21跨越到繞上帶軸22的3個中介滾輪23a、23b、23c。各中介滾輪23a、23b、23c如能調(diào)整保護帶51的張力那樣分別能上下移動。
在繞下帶軸21的下側(cè)設(shè)置導(dǎo)帶滾24a、繞下限制滾25a、內(nèi)側(cè)子鏈輪25b以及內(nèi)側(cè)導(dǎo)片滑輪25c，從繞下帶軸21繞下的承載帶5用導(dǎo)帶滾24a引導(dǎo)，經(jīng)由繞下限制滾25a、內(nèi)側(cè)子鏈輪25b以及內(nèi)側(cè)導(dǎo)片滑輪25c傳送到推進器組件3。
另外，在繞上帶軸22的下側(cè)設(shè)置導(dǎo)帶滑輪24b、繞上限制滾25f、外側(cè)子鏈輪25e以及外測導(dǎo)片滑輪25d，試驗以后的承載帶5經(jīng)由外測導(dǎo)片滑輪25d、外測子鏈輪25e以及繞上限制滾25f，用導(dǎo)片滑輪24b引導(dǎo)，卷繞在繞上帶軸22上。
在內(nèi)側(cè)導(dǎo)片滑輪25c和外測導(dǎo)片滑輪25d之間設(shè)置推進器組件3，在推進器組件3的前段側(cè)(圖1中左側(cè))上設(shè)置第1照相機6a，在推進器組件3的下側(cè)(以后敘述的探針卡載臺7的內(nèi)側(cè))上設(shè)置第2照相機6b，在推進器組件3的后段側(cè)(圖1中右側(cè))上設(shè)置第3照相機6c。另外，在推進器組件3和第3照相機6c之間設(shè)置標志穿孔機26a以及廢品穿孔機26b。
標志穿孔機26a是根據(jù)試驗的結(jié)果對符合的TCP在規(guī)定的位置上開1個或者多個孔的裝置，廢品穿孔機26b是打穿判斷為試驗結(jié)果被為次品的TCP的裝置。
各照相機6a、6b、6c與未圖示的圖像處理裝置連接，第1照相機6a以及第3照相機6c是用于判斷在承載帶5上的TCP的有無以及標志穿孔機26a的穿孔的位置和數(shù)的設(shè)備，第2照相機6b是用于取得承載帶5上的TCP和探針的位置不正的信息的設(shè)備。本實施方式中的第2照相機6b能取得有關(guān)視野內(nèi)的多個對象的位置不正的信息。
第2照相機6b被安裝在照相機載臺61上，能通過照相機載臺61具有的傳動器在平面看縱橫方向(X軸-Y軸方向)以及上下方向(Z軸方向)上移動。
如圖1以及圖2所示，在推進器組件3的框架(推進器框架)36上，在經(jīng)由托架361安裝能使?jié)L珠絲杠32轉(zhuǎn)動的伺服電動機31的同時，經(jīng)由2條Z軸方向的線性進給導(dǎo)向器(以下稱為“LM導(dǎo)向器”)37安裝滾珠絲杠32螺紋連接的推進器主體單元33。該推進器主體單元33通過驅(qū)動伺服電動機31，在被線性進給導(dǎo)向器37引導(dǎo)下能在上下方向(Z軸方向)上移動。
在該推進器主體單元33的下端部分上，設(shè)置通過吸引空氣能吸引保持承載帶5的吸附板34。
在推進器主體單元33的前段一側(cè)(圖1中左側(cè))上設(shè)置牽引鏈輪35a，在推進器主體單元33的后段側(cè)(圖1中右側(cè))上，設(shè)置主鏈輪35b。
如圖2以及圖3所示，在推進器空間36中的推進器主體單元33的背面?zhèn)壬?，被基臺38裝載設(shè)置推進器載臺4，作為推進器4的旋轉(zhuǎn)臺的頂端工作臺48被固定在推進器框架36上。
在推進器載臺4的基座40上設(shè)置有使在X軸方向上具有軸的滾珠絲杠42a旋轉(zhuǎn)的伺服電動機41a；使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲杠42b旋轉(zhuǎn)的伺服電動機41b；使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲杠42c旋轉(zhuǎn)的伺服電動機41c，伺服電動機41b以及伺服電動機41c分別位于基座40上的兩端部分。
在絲杠42a上螺紋連接被X軸方向的LM導(dǎo)向器43a、43a導(dǎo)向能在X軸方向上滑動的滑動塊44a。在滑動塊44a上經(jīng)由Y軸方向的LM導(dǎo)向器45a把滑動板46a安裝在Y軸方向上能滑動。在滑動板46a的上側(cè)固定在內(nèi)部具有輥環(huán)的旋轉(zhuǎn)部件47a，旋轉(zhuǎn)部件47a被安裝在頂端工作臺48上能自如旋轉(zhuǎn)。
在絲杠42b上螺紋連接被Y軸方向的LM導(dǎo)向器43b、43b導(dǎo)向能在Y軸方向上滑動的滑動塊44b。在滑動塊44b上經(jīng)由X軸方向的LM導(dǎo)向器45b把滑動板46b安裝在X軸方向上能滑動。在滑動板46b的上側(cè)固定在內(nèi)部具有輥環(huán)的旋轉(zhuǎn)部件47b，旋轉(zhuǎn)部件47b被安裝在頂端工作臺48上能自如旋轉(zhuǎn)。
在絲杠42c上螺紋連接被Y軸方向的LM導(dǎo)向器43c、43c導(dǎo)向能在Y軸方向上滑動的滑動塊44c。在滑動塊44c上經(jīng)由X軸方向的LM導(dǎo)向器45c把滑動板46c安裝在X軸方向上能滑動。在滑動板46c的上側(cè)固定在內(nèi)部具有輥環(huán)的旋轉(zhuǎn)部件47c，旋轉(zhuǎn)部件47c被安裝在頂端工作臺48上能自如旋轉(zhuǎn)。
在具有這樣的結(jié)構(gòu)的推進器載臺4上，通過驅(qū)動伺服電動機41a，使滑動塊44a、滑動板46b以及滑動板46c在X軸方向上滑動，能使頂端工作臺48在X軸方向上移動。另外，通過驅(qū)動伺服電動機41b以及伺服電動機41c，使滑動塊44b、滑動塊44c以及滑動板46a在Y軸方向上滑動，能使頂端工作臺48在Y方向上移動。而且，在驅(qū)動伺服電動機41a使滑動塊44a向X軸方向滑動的同時，驅(qū)動伺服電動機41b以及伺服電動機41c，使滑動塊44b以及滑動塊44c相互在Y軸相反方向上移動，而后通過使各旋轉(zhuǎn)零件47a、45b、45c旋轉(zhuǎn)，能使頂端工作臺48圍繞該垂直軸旋轉(zhuǎn)。
如果采用該推進器載臺4，則能使推進器組件3在X軸-Y軸方向上移動，以及能圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動。而且，本實施方式中的推進器載臺4在構(gòu)造上能同時進行X軸-Y軸方向的移動以及圍繞垂直軸的旋轉(zhuǎn)移動，另外，因為作為移動對象的推進器組件3重量比較輕，所以具有能在短時間補正位置不正的特征。
另一方面，如圖1所示，在推進器組件3的下側(cè)，在試驗頭10的上部設(shè)置有安裝著探針卡8的探針卡載臺7。
如圖4以及圖5所示，在探針卡載臺7的基臺71上設(shè)置使在X軸方向上具有軸的絲杠712旋轉(zhuǎn)的伺服電動機711、4個X軸方向的LM導(dǎo)向器713。在這4個LM導(dǎo)向器713上，設(shè)置用各LM導(dǎo)向器713能在X軸方向上滑動的矩形的X基座72。在該X基座72的一側(cè)部分上形成滾珠絲杠712螺紋連接的螺紋連接單元721。
在X基座72上設(shè)置使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲杠723旋轉(zhuǎn)的伺服電動機722、2條Y軸方向的LM導(dǎo)向器724。在這2條LM導(dǎo)向器724上設(shè)置用各LM導(dǎo)向器724能在Y軸方向上滑動導(dǎo)向的矩形的Y基座73。在該Y基座73的一側(cè)部分上形成滾珠絲杠723螺紋連接的螺紋連接單元731。
在Y基座73上，設(shè)置使在Y軸方向上具有軸的滾珠絲杠733旋轉(zhuǎn)的伺服電動機732，和支撐導(dǎo)向環(huán)735能自如旋轉(zhuǎn)的連接環(huán)734。在導(dǎo)向環(huán)735的一部分上形成滾珠絲杠733螺紋連接的螺紋連接單元736。具備多個探針81的探針卡8用4個銷釘82安裝在導(dǎo)向環(huán)735上能自由裝拆。
而且，在圖4以及圖5上雖然未圖示，但探針卡8的各探針81經(jīng)由試驗頭10與探針主體電連接，在探針卡8的下側(cè)，第2照相機位于探針卡載臺7的內(nèi)側(cè)。
在具有這樣結(jié)構(gòu)的探針卡載臺7中，通過驅(qū)動伺服電動機711，能使X基座72，進一步使探針卡8在X軸方向上移動，通過驅(qū)動伺服電動機722，能使Y基座73，進而使探針卡8在Y軸方向上移動。另外，驅(qū)動伺服電動機732使?jié)L珠絲杠733旋轉(zhuǎn)，通過使螺紋連接單元736移動，能使導(dǎo)向環(huán)735以及探針卡8圍繞該垂直軸旋轉(zhuǎn)。
在此，上述的推進器載臺3在構(gòu)造上能在短時間進行位置不正補正，而在平面方向上具備多個部件，平面方向的尺寸增大。探針卡載臺7因為限制平面方向的空間，所以設(shè)置成和推進器載臺3同樣的結(jié)構(gòu)困難，因為假設(shè)和推進器載臺3是同樣的結(jié)構(gòu)，所以如果小型化伺服電動機711、722、732，則伺服電動機711、722、733的驅(qū)動力弱，不能可靠地驅(qū)動具備多條與試驗主體聯(lián)系的軟線的探針卡8。即，本實施方式中的探針卡載臺7在其結(jié)構(gòu)上，必須分別進行X軸-Y軸方向的移動和圍繞垂直軸的旋轉(zhuǎn)移動，與推進器載臺3相比還是位置不正補正需要時間，但具有能在狹窄的空間上可靠移動探針卡8的特征。
以下，說明TCP信息處理器2的使用方法以及動作。
在使用TCP信息處理器2時，在使TCP信息處理器2實際運行前，需要預(yù)先進行初始設(shè)定。即，當變更TCP的品種，和隨之變更探針卡8時，需要如TCP的外部端子(以下有時稱為“試驗襯墊(pad)”)和探針卡8的探針81接觸那樣，確定并登記推進器載臺4以及探針卡載臺7的基準位置(把該位置稱為“登記位置”)。
例如，在手動操作中，選擇多個位置(例如3個位置)的探針81和與之對應(yīng)的試驗襯墊粗略確定位置，接著，通過利用第2照相機6b以及圖形處理裝置，如使各個探針81盡可能在各試驗襯墊的中央那樣，在自動控制下移動推進器載臺4和/或探針卡載臺7，能確定登記基準位置。而且，根據(jù)需要，對上述粗略位置的確定也能不進行手動操作而通過自動控制進行。
此時，一并登記在第2照相機6b的視野內(nèi)的規(guī)定的對象的位置坐標。位置坐標理想的是對于多個位置，特別使在照相機的視野內(nèi)偏離的對象登記大于等于3個位置。據(jù)此，能高精度地取得位置不正信息。作為規(guī)定的導(dǎo)向，例如，能選擇在承載帶5中的定位標志、TCP的對角線上的大于等于2個的試驗襯墊或者有特征的舌簧(reed)、與它們對應(yīng)的大于等于2個的探針81前端部分等。
參照圖6的流程圖說明在使TCP信息處理器2實際運行時的TCP信息處理器2的主動作。
如果TCP信息處理器2開始主動作，則推進器載臺4以及探針卡載臺7移動到登記位置(步驟S01)。而后，通過繞下帶軸21以及繞上帶軸22旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度使承載帶5移動，把第1個TCP傳送到吸附板34的下側(cè)的規(guī)定位置(步驟S02)。
在TCP被吸引到吸附板34的下側(cè)后，推進器組件3的伺服電動機31驅(qū)動，經(jīng)由推進器主體單元33使吸附板34向Z軸下方向移動。吸附板34吸引承載帶5，下降到攝像位置(步驟S03)。而且，牽引鏈輪35a通過在和承載帶5的行進方向相反的方向上轉(zhuǎn)動，在承載帶5上加上規(guī)定的牽引力提高承載帶5的位置精度。
在該狀態(tài)下第2照相機6b進行攝像(步驟S04)，把圖像信息發(fā)送到圖像處理裝置。圖像處理裝置從接收到的圖像信息中，取得預(yù)先登記的規(guī)定的對象的位置坐標，和實際拍攝的對象的位置坐標的位置不正的信息(位置不正的方向(X·Y·θ)以及位置不正的量)。例如，如果登記定位標志、大于等于2個的試驗襯墊以及與它們對應(yīng)的大于等于2個的探針前端部分的位置坐標，則取得這些登記的位置坐標、實際攝像的定位標志、大于等于2個的試驗襯墊以及與它們對應(yīng)的大于等于2個的探針前端部分的位置坐標的位置不正的信息。
圖像處理裝置根據(jù)已取得的位置不正信息，計算X軸方向、Y軸方向以及圍繞垂直軸的位置不正的量(步驟S05)。
而且，當同時試驗多個TCP時，假設(shè)輸出對各TCP的位置不正量的平均值。
計算的結(jié)果，當判定為不需要位置不正的補正時(步驟S06-No)，進入到以后敘述的步驟S10。
計算的結(jié)果，當判斷為需要位置不正補正時(步驟S06-Yes)，判斷位置不正量是否大于等于規(guī)定值T(步驟S07)。這種情況下的“位置不正量”能只把圍繞垂直軸的位置不正的量作為對象，也能把圍繞垂直軸的位置不正量以及Y軸方向的位置不正量作為對象，還能把圍繞垂直軸的位置不正量、Y軸方向的位置不正量以及X軸方向的位置不正量作為對象。當有多個位置不正量的要素時，只要適宜地組合它們判斷即可。
當位置不正量在大于等于規(guī)定值T時(步驟正S07-Yes)，探針卡載臺7的伺服電動機711、722、732驅(qū)動，使X基座72、Y基座73或者導(dǎo)向環(huán)735動作，通過使探針卡8在X軸-Y軸方向上移動和/或圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動補正位置不正(步驟S08)。
與此相反，當位置不正量不足規(guī)定值T時(步驟S07的-No)，推進器載臺4的伺服電動機41a、41b、41c驅(qū)動，使頂端工作臺48，進而使推進器組件3動作，通過使用吸附板34吸引的承載帶5在X軸方向-Y軸方向移動和/或圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，補正位置不正(步驟S09)。
當位置不正量大時，如果用推進器載臺4使承載帶5移動，則在用內(nèi)側(cè)導(dǎo)片滑輪25c、牽引鏈輪35a、主鏈輪35b以及外測導(dǎo)片滑輪25d支撐的承載帶5上施加應(yīng)力，有可能損傷承載帶5上的TCP，特別是舌簧(reed)或者試驗襯墊(pad))，和承載帶本身，特別是牽引鏈輪35a以及主鏈輪35b的爪進入的孔穴部分或者其周邊部分。這樣的問題特別容易發(fā)生在使承載帶5圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動時，另外還發(fā)生在使承載帶5在Y軸方向上移動時。
在本實施方式中，當位置不正量大時(大于等于T時)，因為用探針卡載臺7使探針卡8移動進行位置不正補正，所以沒有上述那樣的問題。T的值因TCP的大小(特別是X軸方向的穿孔尺寸和試驗襯墊尺寸)等而不同，但如上所述，只要考慮TCP和承載帶5的損傷危險適宜設(shè)定即可。通常，作為圍繞垂直軸的位置不正量(度)的T的值在0.1(度)以內(nèi)。
另一方面，當位置不正量小時(不足T時)，通過用位置不正補正所需要的時間短的推進器載臺4使承載帶5移動，能縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間(從試驗結(jié)束到試驗開始的時間)。
在用步驟S08或者步驟S09進行位置不正的補正后，推進器組件3的伺服電動機31驅(qū)動，經(jīng)由推進器主體單元33使吸附板34進一步向Z軸下方向移動。吸引著承載帶5的吸附板34下降到接觸位置，使TCP對探針卡8的探針81按壓(步驟S10)。
在TCP的試驗襯墊與探針81接觸后，在TCP上從試驗主體通過試驗頭10施加試驗信號，從TCP讀出的應(yīng)答信號通過試驗頭10送到試驗主體中。據(jù)此試驗TCP的性能和功能等，根據(jù)該試驗結(jié)果標志穿孔器26a或者廢品穿孔器26b驅(qū)動。
TCP信息處理器2判斷進行試驗的TCP是否是最后的器件(步驟S11)，當判斷為是最后的器件時(步驟S11-Yes)，結(jié)束主動作。另一方面，當判斷為不是最后的器件時(步驟S11-No)，推進器組件3的伺服電動機31驅(qū)動，在經(jīng)由推進器主體單元33使吸附板34向Z軸上方向移動的同時，推進器載臺4以及探針卡載臺7移動到登記位置(步驟S12)。而后，吸附板34在停止吸引承載帶5解放承載帶5的同時，進一步向Z軸上方向移動(步驟S13)。其后返回步驟S02。
如果采用本實施方式的TCP信息處理器2，因為用推進器載臺4和/或探針卡載臺7，在TCP信息處理器2的實際運行中，不僅能在X軸方向-Y軸方向上，而且能圍繞垂直軸使承載帶5和/或探針卡8移動進行位置不正補正，所以可靠地進行TCP和探針81的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。另外，通過分開使用推進器載臺4以及探針卡載臺7，不會損傷TCP和承載帶，能盡可能縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
以上說明的實施方式是為了容易理解本發(fā)明而記載的，并不限定本發(fā)明。因此，在上述實施方式中公開的各要素是還能包含屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍的全部的設(shè)計變更和等效物的宗旨。
例如，推進器載臺4以及探針卡載臺7的結(jié)構(gòu)并沒有特別限定，能更改兩者的結(jié)構(gòu)，也能兩者都設(shè)置成同樣的結(jié)構(gòu)。
另外，在上述TCP信息處理器2中，也能省略探針卡載臺7，只用探針載臺4進行位置不正補正。即使在這種情況下，因為能用推進器載臺4使承載帶5圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，所以和只是X軸-Y軸方向的2軸控制相比，能正確地進行TCP和探針81的對位。
而且，在上述TCP信息處理器2中，也能省略推進器載臺4，只用探針卡載臺7進行位置不正補正。即使在這種情況下，因為能用探針卡載臺7在TCP信息處理器2的實際運行中使探針卡8在X軸方向-Y軸方向移動以及圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，所以能減輕TCP和探針81的接觸不良的發(fā)生。
而且，在上述TCP信息處理器2的探針卡載臺7中，只是把圍繞垂直軸的旋轉(zhuǎn)移動機構(gòu)設(shè)置成使用了第2照相機6b以及圖像處理裝置的自動控制，X軸-Y軸方向的移動機構(gòu)也能設(shè)置成看著用第2照相機6b拍攝的圖像的手動操作式。另外在該情況下，推進器載臺3也能省略圍繞垂直軸的旋轉(zhuǎn)移動機構(gòu)，只自動控制X軸-Y軸方向的移動機構(gòu)。
綜上所述，如果采用本發(fā)明的TCP處理裝置或者位置不正補正方法，則能正確地進行TCP與接觸單元的對位，減少接觸不良的發(fā)生。即本發(fā)明的TCP處理裝置和位置不正補正方法用于正確、可靠、高效地進行TCP的試驗。
權(quán)利要求
1.一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，據(jù)此把多個TCP依次交付試驗，其特征在于，包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的TCP處理裝置，其特征在于，上述TCP處理裝置還包括能使按壓在上述接觸單元上的承載帶在其平面方向上移動的帶平面移動裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的TCP處理裝置，其特征在于，上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述帶平面移動裝置與把承載帶按壓在上述接觸單元上的按壓裝置一起，使承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動。
4.如權(quán)利要求2或3所述的TCP處理裝置，其特征在于，上述TCP處理裝置還包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置，根據(jù)由上述位置信息取得裝置取得的位置不正信息來驅(qū)動上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述帶平面移動裝置，自動補正上述位置不正。
5.一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，據(jù)此把多個TCP依次交付試驗，其特征在于，包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置；和使上述接觸單元能圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，在實際運行中，根據(jù)由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，自動補正上述位置不正。
6.如權(quán)利要求5所述的TCP處理裝置，其特征在于，上述TCP處理裝置還包括能使上述接觸單元在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，在實際運行中，根據(jù)由上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正信息來驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，自動補正上述位置不正。
7.一種TCP處理裝置，它傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元連接，據(jù)此把多個TCP依次交付試驗，其特征在于，包括能取得TCP與上述接觸單元的位置不正信息的位置不正信息取得裝置；能使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞該垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置；和能使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，當用上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量比規(guī)定值大時或者在大于等于規(guī)定值時，驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，當上述位置不正量小于等于規(guī)定值時或者不足規(guī)定值時，驅(qū)動上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置，使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)，據(jù)此自動補正上述位置不正。
8.如權(quán)利要求7所述的TCP處理裝置，其特征在于，上述TCP處理裝置還包括使按壓在上述接觸單元上的承載帶能在其平面方向上移動的帶平面移動裝置；和使上述接觸單元能在其平面方向上移動的接觸單元平面移動裝置，當用上述位置不正信息取得裝置取得的位置不正量比規(guī)定值大時或者大于等于規(guī)定值時，驅(qū)動上述接觸單元垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述接觸單元平面移動裝置，使上述接觸單元圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動以及或者在平面方向上移動，當上述位置不正量小于等于規(guī)定值時或者不足規(guī)定值時，驅(qū)動上述帶垂直軸旋轉(zhuǎn)裝置和/或上述帶平面移動裝置，使上述承載帶圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在平面方向上移動，據(jù)此自動補正上述位置不正。
9.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動來補正TCP與上述接觸單元的位置不正。
10.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，來補正TCP與上述接觸單元的位置不正。
11.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據(jù)上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動來補正上述位置不正。
12.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據(jù)上述取得的位置不正信息，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，來補正上述位置不正。
13.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳迭在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，在TCP處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據(jù)上述取得的位置不正信息，通過使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，來補正上述位置不正。
14.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，通過使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置中的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，在TCP處理裝置的實際運行中，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，根據(jù)上述取得的位置不正信息，通過使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，來補正上述位置不正。
15.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，當取得的位置不正量比規(guī)定值大時或者大于等于規(guī)定值時，使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動，當取得的位置不正量小于等于規(guī)定值時或者不足規(guī)定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動來補正上述位置不正。
16.一種TCP處理裝置的位置不正補正方法，它是傳送在帶上形成有多個TCP的承載帶，在與試驗頭電連接的接觸單元上按壓承載帶，使TCP的外部端子與上述接觸單元接觸，據(jù)此能把多個TCP依次交付試驗的TCP處理裝置的TCP與上述接觸單元的位置不正補正方法，其特征在于，取得TCP與上述接觸單元的位置不正的信息，當取得的位置不正量比規(guī)定值大時或者大于等于規(guī)定值時，使上述接觸單元圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，當取得的位置不正量小于等于規(guī)定值時或者不足規(guī)定值時，通過使按壓在上述接觸單元上的承載帶圍繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)移動和/或在其平面方向上移動，來補正上述位置不正。
全文摘要
在TCP信息處理器2上設(shè)置在TCP信息處理器2的實際運行中，在能使由吸附板34吸附的承載帶5在X軸－Y軸方向上移動的同時，能使其圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)的推進器載臺4；在TCP信息處理器2的實際運行中，在能使探針卡8在X軸－Y軸方向移動的同時，能使其圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)移動的探針卡載臺7。如果采用具有這樣構(gòu)成的TCP信息處理器2，則能正確地進行TCP和探針卡8的對位，能減少接觸不良的發(fā)生。
文檔編號H01L21/02GK1745311SQ03826028
公開日2006年3月8日 申請日期2003年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月31日
發(fā)明者金子修一, 東山健二, 金子浩之, 村野壽 申請人:日商·日本工程技術(shù)股份有限公司, 株式會社愛德萬測試