專利名稱：干燥裝置和具備此干燥裝置的工件處理單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及為了干燥用的通過具有液滴噴頭的繪圖裝置在板狀工件上所涂敷液滴的干燥裝置和具備此干燥裝置的工件處理單元。
背景技術(shù)：
以往，利用噴墨式打印機為代表的具有液滴噴頭的繪圖裝置來制造彩色濾光器或有機EL裝置的試驗。此時，在液滴噴頭內(nèi)引入含有濾光材料或發(fā)光功能材料的功能液，使液滴噴頭在作為板狀工件的彩色濾光器基板或有機EL裝置的基板上相對掃描，對基板上的多個像素區(qū)域涂敷成為濾光元件或有機EL功能層的功能液，然后，干燥固化功能液滴，形成濾光元件或有機EL功能層。
另外，為了提高生產(chǎn)性，考慮過同時利用三臺R(紅)·G(綠)·B(藍)三色的繪圖裝置，將基板按照順序輸送到這些繪圖裝置，按順序涂敷對應(yīng)于R·G·B三色的功能液滴的方法。此時，固化功能液滴的最終干燥是在后工程中進行，為使各個繪圖裝置中已涂敷的功能液滴在輸送到后邊繪圖裝置的輸送過程中不流動，有必要在各個繪圖裝置上同時設(shè)置干燥裝置，由干燥裝置進行涂敷在基板的功能液滴失去流動性程度的干燥，之后，將基板輸送到后部繪圖裝置。
另外，雖然不是同時設(shè)在繪圖裝置的干燥裝置，以往知道殼內(nèi)配置熱板，把工件放置在熱板上進行干燥的裝置(比如，特開平9-127330號公報(參照段落0134、圖18))。另外，該裝置中，堆積內(nèi)部安裝熱板的殼，可以同時干燥多個工件。
如上所述，繪圖裝置上同時設(shè)置干燥裝置時，因為干燥所需要的時間比繪圖裝置作業(yè)時間長幾倍，有必要在干燥裝置中同時干燥幾個以上的工件(基板)。
因此，如上述的以往例，內(nèi)部裝有熱板的殼的堆積來構(gòu)成干燥裝置時，因為裝置變?yōu)榇笮突?，最好是在一個干燥爐內(nèi)上下多層安裝熱板為好?？墒?，這種情況下，涂敷在工件的功能液滴所蒸發(fā)的溶劑容易滯留在干燥爐內(nèi)，不能有效干燥功能液滴。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是借鑒上述問題而進行的，其目的在于提供同時有效干燥多個工件的小型、簡單結(jié)構(gòu)的干燥裝置和具備這種干燥裝置的工件處理單元。
為了解決上述問題，本發(fā)明的干燥裝置具備上下多層放置板狀工件的熱板而組成的干燥爐；在上述的干燥爐前面，開設(shè)靠近上述多層熱板的常開放式工件出入口；并且，在上述干燥爐后面設(shè)置外罩箱，在這個外罩箱內(nèi)，借助于靠近上述多層熱板之間各間隙上形成通氣孔的分流板，連通上述干燥爐的爐內(nèi)空間的排氣機構(gòu)來劃分強制排氣的排氣室為特征。
根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，通過排氣室，排氣機構(gòu)的吸引力作用在分流板的各個通氣孔上，產(chǎn)生從干燥爐前面的出入口，通過多層熱板之間各間隙而流向通氣孔的換氣流。因此，干燥中蒸發(fā)的溶劑等隨著換氣流很快排出干燥爐外，可以有效進行干燥。
另外，在排氣室一處排氣時，換氣流在位于離開排氣地點的熱板間間隙上不容易流動，因此，最好是在換氣室里設(shè)置連接排氣機構(gòu)的上下多個排氣口，使所有熱板間的各個間隙之間流均勻的換氣流。
然而，根據(jù)工件的大小，有時需要交換熱板的情形，但是，因為干燥爐的前面配置工件的移動裝置，通過前面的出入口交換熱板是困難的。此時，在干燥爐的后面，開閉自由地安裝外罩箱，通過打開外罩箱所開放的干燥爐后面的開口，自由交換各個熱板的話，熱板的交換作業(yè)變得容易。還有，如果在干燥爐的側(cè)壁內(nèi)面固定設(shè)置各個熱板的側(cè)邊緣部在前后方向自由滑動配合的上下多個軌道，則，交換時的熱板的出入和熱板的定位變得容易，可以提高交換操作性。
另外，為了提高工件對于熱板上的拆裝作業(yè)性，最好是設(shè)置從多層熱板中選擇性提升工件可能的提升機構(gòu)，在熱板與工件之間形成轉(zhuǎn)移工件用間隙為好。這里，上述特開平9-127330號公報所記載的裝置中，把穿過熱板接觸在工件下表面的提升銷，豎立設(shè)置在對熱板下面自由升降安裝的升降板上；使之利用升降板的上升，通過提升銷，提升熱板上的工件。
在本發(fā)明中，也考慮過采用這樣的提升機構(gòu)，但此時，有必要在各個熱板的下側(cè)確保升降板的升降空間，干燥爐的高度尺寸變大。為了解決這一不合適情形，可以利用如下結(jié)構(gòu)來構(gòu)成提升機構(gòu)；即，該提升機構(gòu)包括上下多層配置在干燥爐側(cè)壁外面的，作升降運動的，上下方向長的升降部件、上下多層配置在干燥爐側(cè)壁內(nèi)面的，可以與突出于工件放置面的各個熱板工件側(cè)面邊緣部下表面配合可能的配合部件、使這些配合部件個別進退在進入工件的上述側(cè)面邊緣部的上下方向投影面內(nèi)的工作位置和退出這個投影面外方位置的進退機構(gòu)。
根據(jù)這些，從熱板拆裝任何一個工件時，只是把對應(yīng)的配合部件進出到工作位置狀態(tài)，提升升降部件的方法，可以利用配合部件選擇性提升相應(yīng)熱板上的工件。于是，在這個裝置中，沒有必要在各個熱板的下面確保提升機構(gòu)用升降空間，不增加干燥爐的高度尺寸。
另外，處理單元包括利用液滴噴頭向板狀工件涂敷液滴的繪圖裝置和干燥涂敷在工件上的液滴的干燥裝置，而把這些各處理單元之間，通過輸送工件的輸送裝置，并通過工件輸送裝置按順序輸送各個處理單元中處理的各個工件到后部的處理單元的工件處理成套設(shè)備中，作為干燥裝置采用上述本發(fā)明的干燥裝置，從而可以提高生產(chǎn)率。
此時，在繪圖裝置的液滴噴頭內(nèi)引入包含濾光材料的功能液，在作為工件的濾光器基板上的多個像素區(qū)域里，涂敷成為濾光元件的功能液，或是，在繪圖裝置的液滴噴頭內(nèi)引入包含發(fā)光材料的功能液，在作為有機EL裝置的基板上的多個像素區(qū)域里，涂敷將成為有機EL層的功能液，可以有效地制造彩色濾光器或有機EL裝置。
同樣，在繪圖裝置的液滴噴頭內(nèi)引入包含金屬配線材料的功能液，在作為工件的等離子顯示裝置基板上的多個像素區(qū)域里，涂敷成為元件電極功能層的功能液，或是，在繪圖裝置的液滴噴頭內(nèi)引入含有熒光功能材料的功能液，在作為工件的等離子顯示裝置基板上的多個像素區(qū)域里，涂敷成為熒光功能層的功能液，或是，在繪圖裝置的液滴噴頭內(nèi)引入含有導(dǎo)電性功能材料的功能液，在作為工件的電子放出裝置基板上的多個像素區(qū)域里，涂敷成為導(dǎo)電性功能層的功能液，可以有效地制造等離子顯示裝置(PDP裝置)、電子放出裝置(FED裝置、SED裝置)。
另外，如果在工件輸送裝置里配置暫時積存工件的積存機構(gòu)，則，即使是由于液滴噴頭的清理作業(yè)等而停止向后面的處理單元的繪圖裝置投入工件，也可以從前面的處理單元的干燥裝置取出工件，由工件輸送裝置的積存機構(gòu)來積存。這里，為了防止混色、脫色，在彩色濾光器或有機EL裝置的基板上，實施對像素區(qū)域賦予親液性、對像素區(qū)域周圍區(qū)域賦予疏液性的前處理，但是，如果干燥裝置中的工件的加熱溫度低，則，像素區(qū)域的周圍區(qū)域里殘留溶劑，成為后面的處理單元中發(fā)生混色、脫色的主要原因。另外，由于干燥時間的不一致，在功能液滴干燥而收縮過程中，厚度變?yōu)椴痪鶆颉?br> 可是，根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，在后面處理單元的繪圖裝置停止投入工件的期間，從前面處理單元的干燥裝置也可以取出工件，因此，在干燥裝置中的工件的干燥時間達到規(guī)定的一定時間時，從干燥裝置取出工件，工件的干燥時間管理一定，可以防止膜厚的不均勻。


圖1是表示涉及實施方式發(fā)光功能層制造線所有構(gòu)成的俯視圖。
圖2是表示涉及實施方式繪圖裝置的立體圖。
圖3是說明涉及實施方式繪圖裝置工作的工作說明圖。
圖4A-C是表示本實施方式繪圖裝置所噴出的發(fā)光功能液噴出模型的基板的放大俯視圖。
圖5A、B是表示本實施方式轉(zhuǎn)移裝置(轉(zhuǎn)移機器人)的結(jié)構(gòu)圖。
圖6是涉及實施方式發(fā)光功能層制造線中表示基板輸送形態(tài)的模式圖。
圖7是表示涉及實施方式干燥裝置的立體圖。
圖8是表示涉及實施方式干燥裝置的側(cè)視圖。
圖9是表示涉及實施方式干燥裝置的拆掉頂部狀態(tài)的立體圖。
圖10是表示涉及實施方式干燥裝置中使用的熱板的立體圖。
圖11是表示涉及實施方式工件輸送裝置的立體圖。
圖12是表示涉及實施方式工件輸送裝置的主視圖。
圖13是表示涉及實施方式冷卻板的俯視圖。
圖14是表示涉及實施方式冷卻板的側(cè)視圖。
圖15是表示涉及實施方式冷卻板的局部放大剖面圖。
圖16是表示涉及實施方式積存機構(gòu)的整體立體圖。
圖17是圖16的XVII-XVII線剖面圖。
圖18是表示涉及實施方式積存機構(gòu)用輸送機構(gòu)的整體立體圖。
圖19是表示涉及實施方式積存機構(gòu)用輸送機構(gòu)中拆掉外罩狀態(tài)的側(cè)視圖。
圖20A、B是說明對實施方式中冷卻板上的基板的放置工作的說明圖。
圖21A-C是說明其他實施方式冷卻板上的基板的放置工作的說明圖。
圖22是表示涉及實施方式干燥裝置中的干燥時間管理處理的流程圖。
圖23是說明彩色濾光器制造工藝的流程圖。
圖24A-E是表示按制造工藝順序表示的彩色濾光器的模式剖面圖。
圖25是表示采用本發(fā)明的彩色濾光器的液晶裝置大體結(jié)構(gòu)主要部分剖面圖。
圖26是表示采用適用了本發(fā)明的彩色濾光器的第二例子液晶裝置大體結(jié)構(gòu)主要部分剖面圖。
圖27是表示采用適用了本發(fā)明的彩色濾光器的第三例子液晶裝置大體結(jié)構(gòu)主要部分剖面圖。
圖28是作為有機EL裝置的顯示裝置主要部分的剖面圖。
圖29是說明作為有機EL裝置的顯示裝置的制造工藝的流程圖。
圖30是說明無機物堤岸層形成的工藝圖。
圖31是說明有機物堤岸層形成的工藝圖。
圖32是說明空穴注入/輸送層形成過程的工藝圖。
圖33是說明已形成空穴注入/輸送層狀態(tài)的工藝圖。
圖34是說明藍色發(fā)光層形成過程的工藝圖。
圖35是說明已形成藍色發(fā)光層狀態(tài)的工藝圖。
圖36是說明已形成各顏色發(fā)光層狀態(tài)的工藝圖。
圖37是說明陰極形成的工藝圖。
圖38是作為等離子型顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置主要部分的分解立體圖。
圖39是作為電子放出裝置(FED裝置)的顯示裝置主要部分的剖面圖。
圖40A是顯示裝置的電子放出部周圍的俯視圖裝置，圖40B表示其形成方法的俯視圖。
圖中，A、基板(工件)1a、1b、1c、處理單元 2、2a、2b、2c、繪圖裝置 4、4a、4b、4c、干燥裝置 5、5a、5b、5c、工件輸送裝置26、液滴噴頭 45、暫存機構(gòu) 51、干燥爐 51a、出入口52、熱板 52a、工件放置面 53、外罩箱 54、分流板 54a、通氣孔 55、排氣室 55a、排氣口 56、排氣鼓風(fēng)機(排氣機構(gòu))58、軌道部件 59、提升機構(gòu) 60、升降部件 61、配合部件62、進退機構(gòu)具體實施方式
下面，結(jié)合

本發(fā)明的實施方式。圖1是構(gòu)成有機EL裝置制造線一部分的發(fā)光功能層制造線(工件處理裝置)。這個發(fā)光功能層制造線是引入前面工藝中已形成電路元件、堤岸和像素電極的基板(玻璃基板)之后，在這個基板上，利用所謂的噴墨方式，制作有機EL中的R·G·B三色的發(fā)光層和空穴注入層(有機EL功能層)的制造線。另外，因為有機EL厭氧、厭水分，這個發(fā)光功能層制造線中的基板處理是全在惰性氣體(氮氣)氣氛中進行的。
如圖1所示，這個發(fā)光功能層制造線1中，圖的左側(cè)為搬入的一側(cè)，右側(cè)為搬出的一側(cè)，經(jīng)過制造線內(nèi)的各個處理裝置，基板(工件)A從搬入一側(cè)輸送到搬出一側(cè)方向。發(fā)光功能層制造線1的主要處理裝置，由位于搬入一側(cè)的形成B色發(fā)光層的B色繪圖裝置2a、位于中間的形成R色發(fā)光層的R色繪圖裝置2b、位于搬出一側(cè)的形成G色發(fā)光層的G色繪圖裝置2c構(gòu)成。另外，圖中省略了形成空穴注入層的繪圖裝置。
另外，對應(yīng)于B色繪圖裝置2a，夾住B色轉(zhuǎn)移裝置3a設(shè)置B色干燥裝置4a，由這些裝置2a、3a、4a來構(gòu)成B色處理單元1a；另外，對應(yīng)于R色繪圖裝置2b，夾住R色轉(zhuǎn)移裝置3b設(shè)置R色干燥裝置4b，這些裝置2b、3b、4b來構(gòu)成R色處理單元1b；對應(yīng)于G色繪圖裝置2c，夾住G色轉(zhuǎn)移裝置3c設(shè)置G色干燥裝置4c，這些裝置2c、3c、4c來構(gòu)成G色處理單元1c。另一方面，B色處理單元1a與R色處理單元1b之間設(shè)有把B色處理單元1a處理的基板A輸送到R色處理單元1b的第一輸送裝置5a，同樣，R色處理單元1b與G色處理單元1c之間設(shè)有把R色處理單元1b中處理的基板A輸送到G色處理單元1c的第二輸送裝置5b。
另外，搬入一側(cè)設(shè)有把積存處理之前的基板A輸送到搬入一側(cè)的供應(yīng)輪6和從供應(yīng)輪6接受基板A并使其靠近B色轉(zhuǎn)移裝置3a的搬入一側(cè)轉(zhuǎn)移機構(gòu)7。同樣，搬出一側(cè)設(shè)有把處理后的基板A積存的搬出一側(cè)供應(yīng)輪8和從G色轉(zhuǎn)移裝置3c接受工件并把它輸送到搬出一側(cè)供應(yīng)輪8的搬出一側(cè)轉(zhuǎn)移裝置9。
然而，在本實施方式中，存在相對于繪圖裝置2縱向引入的基板A和橫向引入的基板A(參照圖6)。因此，在搬入一側(cè)轉(zhuǎn)移機構(gòu)7上裝有使基板保持水平的姿勢狀態(tài)，直接旋轉(zhuǎn)90°之后，使其靠近B色轉(zhuǎn)移裝置3a的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(省略圖示)。同樣，在搬出一側(cè)轉(zhuǎn)移裝置9上也裝有輸送到搬出一側(cè)供應(yīng)輪8之前，把基板A保持水平的姿勢狀態(tài)，直接旋轉(zhuǎn)90°的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
另一方面，因為在惰性氣體氣氛中進行基板A的處理，R·G·B各色的繪圖裝置2a、2b、2c分別容納在凈化室形式的主箱11、11、11。同樣，因為在惰性氣體氣氛中輸送基板A，在各個轉(zhuǎn)移機構(gòu)3a、3b、3c、7、9、第一輸送裝置5a和第二輸送裝置5b上分別設(shè)有支箱12。另外，把各個干燥裝置4a、4b、4c的面向各個轉(zhuǎn)移裝置3a、3b、3c的前面部分插入在支箱12中，使之置于內(nèi)部為惰性氣體氣氛中。于是，這些多個主箱11和多個支箱12在界面部分有快門(省略圖示)，隧道形狀連接。
如圖2和圖3所示，各顏色的繪圖裝置2是以噴墨方式噴出發(fā)光功能液的裝置，包括機座21上設(shè)置的X軸臺子22、垂直于X軸臺子22的Y軸臺子23、吊掛安裝在Y軸臺子23的主架24。在主架24的下面，通過支架25安裝面向向下的多個液滴噴頭26(參照圖3)。
如圖3所示，這個繪圖裝置2是和液滴噴頭26驅(qū)動(選擇性噴出發(fā)光功能液)同步移動基板A的結(jié)構(gòu)，液滴噴頭26的所謂主掃描是X軸臺子22的X軸方向的往復(fù)工作來進行。另外，與其相對應(yīng)，所謂的副掃描是通過Y軸臺子23的液滴噴頭26的Y軸方向的往復(fù)工作來進行的。即，使引入發(fā)光功能液的液滴噴頭26相對于基板A在X軸方向和Y軸方向相對掃描，在基板A的多個像素區(qū)域內(nèi)選擇性地噴出含有發(fā)光功能材料的功能液，分別形成發(fā)光功能層。
此時，后面要詳細敘述，發(fā)光功能層中作為形成空穴注入層的功能液，空穴注入層形成材料可以利用溶解在極性溶劑的組合物。另外，作為形成發(fā)光層的功能液，發(fā)光層功能材料可以利用溶解在非極性溶劑的組合物。
并且，如圖4A-4C所示，形成發(fā)光層的R·G·B各顏色的像素區(qū)域的配置可以利用帶狀配置、鑲嵌配置和三角形配置。另外，對基板A實施前處理，以便各個像素區(qū)域具有對功能液的親液性、各個像素區(qū)域的周圍具有疏液性。
如圖5A、5B所示，R·G·B各轉(zhuǎn)移裝置3是具有回轉(zhuǎn)和伸縮自在的一對機器人臂31、31的轉(zhuǎn)移機器人構(gòu)成，設(shè)在各個機器人臂31前端的薄板鉤狀的機器人手32的支撐來放置基板A，進行轉(zhuǎn)移作業(yè)。另外，在支撐一對機器人臂31、31的立柱33內(nèi)部，裝有升降裝置(省略圖示)，為了接受基板A(上升)和轉(zhuǎn)交(下降)，可以適當(dāng)升降一對機器人臂31、31。
比如，中間的R色轉(zhuǎn)移裝置3b中，驅(qū)動一側(cè)機器人臂31，使從第一輸送裝置5a接受的基板A保持水平姿勢狀態(tài)，作回轉(zhuǎn)，在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)90°之后，輸送到R色繪圖裝置2b的X軸臺子22上。另外，驅(qū)動另一側(cè)機器人臂31，使X軸臺子22接受R色繪圖裝置2b中處理完了的基板A，并把它大旋轉(zhuǎn)，在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)180°，輸送到R色干燥裝置4b。但是，基板A為橫向的基板A時，暫時轉(zhuǎn)移到第二輸送裝置5b的后面要敘述的90°旋轉(zhuǎn)裝置42之后，在這里轉(zhuǎn)90°之后，再度接受這個，并輸送到R色干燥裝置4b。于是，驅(qū)動另一方機器人臂31從R色干燥裝置4b接受基板A，在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)90°而旋轉(zhuǎn)R色干燥裝置4b中所處理完了的基板A之后，輸送到第二輸送裝置5b(參照圖6)。
如圖7至圖9所示，R·G·B的各個干燥裝置4是在一個干燥爐51內(nèi)上下多層(圖示例中為六層)容納熱板52而組成的裝置，在這些熱板52上面放置基板A，可以同時進行多個基板的干燥。另外，這些各干燥裝置4是為了防止通過繪圖裝置2涂敷在基板A的功能液滴在基板A輸送過程中的流動而發(fā)生混色或溶劑的急劇蒸發(fā)引起的膜厚度不均勻而進行使功能液滴失去流動性程度干燥的臨時干燥目的設(shè)置的；而固化功能液滴形成發(fā)光層的最終干燥是在圖示的制造線的后段工藝中進行。干燥裝置4中的基板A的加熱溫度在40±2℃～200±2℃為好。
在干燥爐51的前面，開設(shè)靠近上述多層熱板52的出入口51a。出入口51a是常開放式，通過出入口51a，由轉(zhuǎn)移裝置3對各個熱板52進行基板A的送進和取出。
另外，在干燥爐51的背面，通過活頁開閉自由地安裝外罩箱53。外罩箱53的往里方向的中間設(shè)有靠近多層熱板52各層間間隙中形成多個通氣孔54a的分流板54；分流板54與外罩箱53的背面之間，劃分成通過分流板54連通于干燥爐51的排氣室55。于是，在外罩箱53的背面，設(shè)有連通于排氣室55的上下多個(圖示例中為三個)排氣口55a，通過有多個流入一側(cè)連接口57a的合流箱57，把這些排氣口55a連接在干燥爐51上的作為排氣機構(gòu)的排氣鼓風(fēng)機56。另外，排氣口55a、合流箱57和排氣鼓風(fēng)機56分別通過排氣管連接，但在圖中省略。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，通過排氣室55，排氣鼓風(fēng)機56的吸引力作用在分流板54的通氣孔54a，支箱12內(nèi)的惰性氣體從干燥爐51的前面的出入口51a流入到爐內(nèi)，產(chǎn)生通過多層次熱板52各層間間隙流向通氣孔54a的惰性氣體換氣流。因此，干燥爐中蒸發(fā)的功能液滴中的溶劑隨換氣流迅速排出干燥爐51外，可以有效進行干燥。并且，因為設(shè)置上下多個排氣口55a，所以吸引力均勻作用在上下任何的通氣孔54a，所有熱板52之間的間隙里均勻流動換氣流，在任何熱板52上，也可以有效進行干燥。
另外，本實施方式中，熱板52的各層間的各間隙一列里形成大的通氣孔54a的同時，在分流板54上加設(shè)調(diào)整各列通氣孔54a開口面積的滑動式調(diào)整板54b，從而可以調(diào)整換氣流。另外，可以在分流板54上分散形成小口徑的多個通氣孔。
如圖10所示，各個熱板52具有上面的工件放置面52a上定位基板A的多個定位銷52b和向板內(nèi)的加熱器供應(yīng)電力的后部接線柱52c，并且，在側(cè)邊緣部，形成對工件放置面52a有上下高度差且向側(cè)面凸出的耳邊部52d。并且，設(shè)置相對于耳邊部52d可以前后方向滑動自由地配合的槽型軌道58；通過絕熱材料58a和固定部件58b，在干燥爐51側(cè)壁內(nèi)面，上下多層固定軌道58；通過拆卸耳邊部52d后端設(shè)置的止動螺絲52e的方法，對各個軌道58，即對干燥爐51可以自由抽出和插入各個熱板52。這里的外罩箱53是開閉自由地安裝的，打開外罩箱53的方法可以開放干燥爐51后面。因此，變更基板A的機種時，從干燥爐51背面可以容易更換適應(yīng)于基板A大小的熱板52。
另外，在各個熱板52與轉(zhuǎn)移裝置3之間轉(zhuǎn)交基板A時，為了各個熱板52與基板A之間確保機器人手32插入可能的間隙，所以在干燥爐51里裝有從多層熱板52選擇性提升基板A而支持可能的提升機構(gòu)59。提升機構(gòu)59由升降部件60、配合部件61、進退機構(gòu)62所構(gòu)成；其中所述升降部件60配置在干燥爐51側(cè)壁外面，是上下方向長的作升降運動的部件；所述配合部件61上下多層配置在干燥爐51側(cè)壁內(nèi)面，是可以配合從各個熱板52工件放置面52a伸出的基板A的下表面的部件；而所述進退機構(gòu)62聯(lián)接在升降部件60，使這些配合部件61各自進退在進入基板A的上述側(cè)邊緣部的上下方向投影面內(nèi)的工作位置和退出這個投影面外部的退出位置之間。
另外，如圖10所示，本實施方式中，在熱板52的各側(cè)面上前后三處形成有缺口52f，在配合部件61的前后三處凸出設(shè)有爪部61a，以便配合從工件放置面52a伸出在這些缺口52f的基板A側(cè)邊緣部分。
進退機構(gòu)62由上下多層安裝在升降部件60的帶有導(dǎo)向塊63a的汽缸63和聯(lián)接在各個汽缸63的活塞桿63b的、橫向進退的、前后方向長的可動臂64所構(gòu)成；通過形成在干燥爐51側(cè)壁的通孔51b，把固定在各個配合部件61前后兩端的聯(lián)接片61b聯(lián)接在可動臂64兩端。于是，使多個汽缸63選擇性地工作，對應(yīng)的配合部件61選擇性進出在工作位置。
在升降部件60下端裝有與配置在干燥爐51下方的偏心凸輪65接觸的凸輪從動件66，由配置在干燥爐51下方的汽缸67，通過連桿68和圖外的齒輪，旋轉(zhuǎn)偏心凸輪65的方法，使升降部件60沿著固定在干燥爐51側(cè)壁外面的軌道69而升降。另外，在干燥爐51側(cè)壁，裝有外罩51c，以便覆蓋提升機構(gòu)59。
根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，在對于任何一個熱板52上裝卸基板A時，只進退對應(yīng)的配合部件61狀態(tài)，提升升降部件60的方法，可以利用配合部件61選擇性地提升該熱板52上的基板A。于是，這樣結(jié)構(gòu)中沒有必要在各個熱板52下面確保提升機構(gòu)用升降空間，干燥爐51的高度尺寸不會變大。
如圖11和圖12清楚所示，作為第一·第二的各輸送裝置5a、5b所利用的工件輸送裝置5由柜式公用機座41上配置水平面內(nèi)90°旋轉(zhuǎn)的基板A的上流一側(cè)的90°旋轉(zhuǎn)裝置42和水平面內(nèi)180°旋轉(zhuǎn)基板A的下流一側(cè)180°旋轉(zhuǎn)機構(gòu)43，并且，在兩個旋轉(zhuǎn)裝置42、43之間，配置有冷卻基板A的冷卻機構(gòu)44和為了等待基板A處理而積存的積存機構(gòu)45而構(gòu)成的。
如上所述，90°旋轉(zhuǎn)裝置42為了適當(dāng)輸送基板A到各個干燥裝置4，和R·G·B的各個轉(zhuǎn)移裝置3協(xié)同，使橫向的基板旋轉(zhuǎn)90°而變?yōu)榭v向。另外，通過轉(zhuǎn)移裝置3將從干燥裝置4接受的基板A輸送到冷卻機構(gòu)44。緩沖裝置45暫存冷卻機構(gòu)44所冷卻的基板A，因液滴噴頭26的清理等而停止向下一個繪圖裝置2的基板投入時，使基板A在輸送裝置5上待機。將根據(jù)各個轉(zhuǎn)移裝置3的轉(zhuǎn)移形態(tài)，180°旋轉(zhuǎn)裝置43進行應(yīng)該進行姿勢變更的基板A轉(zhuǎn)180°，基板A以完全相同的姿勢進入R·G·B各個繪圖裝置2。
這里，結(jié)合圖1和圖6簡單說明實施方式的發(fā)光功能層制造線1中的基板A輸送和處理順序。
如果搬入一側(cè)轉(zhuǎn)移裝置7把從搬入一側(cè)供應(yīng)輪6所接受的基板A靠近B色轉(zhuǎn)移裝置3a，則B色轉(zhuǎn)移裝置3a一方的機器人臂31接受基板A，輸送到B色繪圖裝置2a。在B色繪圖裝置2a中，把接受的基板A向X軸方向和Y軸方向相對移動，對此選擇性地噴出B色發(fā)光功能液滴。B色轉(zhuǎn)移裝置3a的另一方機器人臂31靠近噴出工作結(jié)束后回到原來位置的基板A而接受，并輸送到B色干燥裝置4a。
如果完成基板干燥，則，另一方的機器人臂31接受這個，轉(zhuǎn)移到第一輸送裝置5a的90°旋轉(zhuǎn)裝置42，由90°旋轉(zhuǎn)裝置42輸送基板A到冷卻機構(gòu)44。然后，在冷卻機構(gòu)44中冷卻的基板A輸送到緩沖裝置45。接著，等待R色繪圖裝置2b中的基板A的處理狀況，從緩沖裝置45輸送基板A到180°旋轉(zhuǎn)裝置43，將其旋轉(zhuǎn)180°而把它靠近R色轉(zhuǎn)移裝置3b。
以后，進行如上所述同樣處理，即，由R色轉(zhuǎn)移裝置3b的基板A的轉(zhuǎn)移、由R色繪圖裝置2b和R色干燥裝置4b的基板A的處理。進而，從R色干燥裝置4b轉(zhuǎn)移到第二輸送裝置5b的基板A，通過G色轉(zhuǎn)移裝置3c，從第二輸送裝置5b適當(dāng)輸送到G色繪圖裝置2c和G色干燥裝置4c之后，進行處理。這樣，形成R·G·B發(fā)光功能層的基板A最后通過G色轉(zhuǎn)移裝置3c，從G色干燥裝置4c轉(zhuǎn)移到搬出一側(cè)轉(zhuǎn)移裝置9，從此送入到搬出一側(cè)供應(yīng)輪8。
90°旋轉(zhuǎn)裝置42和180°旋轉(zhuǎn)裝置43具有相同的結(jié)構(gòu)，分別包括水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)基板A的旋轉(zhuǎn)部71、81和搬出或搬入基板A的輸送部72、82。在旋轉(zhuǎn)部71、81上設(shè)有具有對準基板A中心的對中機構(gòu)的、旋轉(zhuǎn)和升降自在的工件臺子73、83。從轉(zhuǎn)移裝置3轉(zhuǎn)移基板A到90°旋轉(zhuǎn)裝置42時，把工件臺子73上升到輸送部72上方狀態(tài)，基板A轉(zhuǎn)移到工件臺子73。
并且，把基板A旋轉(zhuǎn)90°時，由對中機構(gòu)進行基板A的對中旋轉(zhuǎn)中心之后，旋轉(zhuǎn)工件臺子73。另一方面，從90°旋轉(zhuǎn)裝置42搬出基板A時，下降工件臺子73，轉(zhuǎn)交基板A給設(shè)在輸送部72的多個輸送輪74，接著，利用輸送輪74旋轉(zhuǎn)輸送，輸送基板A到冷卻機構(gòu)44。
從緩沖裝置45送出基板A到180°旋轉(zhuǎn)裝置43時，在下降工件臺子83的狀態(tài)，由輸送部82的多個輸送輪84搬入基板A到工件臺子83的正上方，接著，上升工件臺子83，使工件臺子83接受基板A。并且，由對中機構(gòu)對中基板A旋轉(zhuǎn)中心之后，使工件臺子83旋轉(zhuǎn)180°，在這個狀態(tài)，使轉(zhuǎn)移裝置3接受基板A。
為了把在前面的處理單元的干燥裝置4中被加熱的基板A冷卻至繪圖裝置2的設(shè)定管理溫度(比如20℃)，在后面處理單元的繪圖裝置2中防止由于基板A熱膨脹引起的定位精度或液滴涂敷位置精度的降低，設(shè)置了冷卻機構(gòu)44。本實施方式的冷卻機構(gòu)44是被冷卻劑強制冷卻的冷卻板91來構(gòu)成；豎立設(shè)在公用機座41中間部位公用機座41內(nèi)部的支柱(省略圖示)來浮動支撐冷卻板91，將從90°旋轉(zhuǎn)裝置42輸送的基板A放置在冷卻板91的方法來進行冷卻。
冷卻板91的詳細情況如同圖13至圖15所示，由厚度大的冷卻板主體92、固定在冷卻板主體92上面的厚度薄的上板93、固定在冷卻板主體92下表面的臺座94所構(gòu)成。在冷卻板主體92上有多個平行的冷卻劑流動的冷卻劑通道95，通過流入一側(cè)和流出一側(cè)的聯(lián)管96a、96b連接在冷卻劑循環(huán)回路96上。
作為冷卻劑可以使用冷卻水，但是本實施方式中，空氣作為冷卻劑，冷卻劑循環(huán)回路96上設(shè)置循環(huán)風(fēng)機96c和制冷機96d。另外，各個冷卻劑通道95連接在聯(lián)管96a、96b的一觸式接頭95a，安裝在冷卻板主體92兩端。另外，本實施方式中，利用穿孔加工方法，在冷卻板主體92上形成冷卻劑通道95，但是，也可以把作為冷卻劑通道的管子鑄入在冷卻板主體92。
上板93上有多個吸引孔97。并且，在冷卻板主體92上面上形成連通這些吸引孔97的網(wǎng)格狀的槽98，通過安裝在臺座94的接頭98a，圖外面的負壓源連接在槽98。于是，槽98作為空氣吸引通道，進行從吸引孔97的空氣吸引，基板A吸引固定在上板93，有效地冷卻基板A。
另外，冷卻板91的寬度稍微窄于基板A，另外，對后面要敘述的輸送部件144形成躲避穴99。
如圖16和圖17所示，緩沖裝置45是由上下多層支撐基板A可能的供應(yīng)機架101和升降供應(yīng)機架101的升降機構(gòu)102所構(gòu)成。供應(yīng)機架101是由上框架111、下框架112、連接框架111和下框架112的上下方向延伸的三根框架部件113a所組成的兩側(cè)框架113、113來形成中空的箱子形狀；在各個側(cè)框架113的框件113a上，上下多層安裝爪狀的工件接受部114，以配合基板A側(cè)邊部下表面而支撐基板A。另外，供應(yīng)機架101是對應(yīng)基板A大小的專用部件，在上框架111的兩側(cè)安裝把手115，以便交換供應(yīng)機架101時的搬運。另外，冷卻板91也是對應(yīng)基板A大小的專用部件，和供應(yīng)機架101一起交換。
以基板A的輸送方向為X軸方向，與此垂直的水平方向作為Y軸方向，二個側(cè)框架113、113位于冷卻板91的Y軸方向兩側(cè)，下框架112位于冷卻板91的下方狀態(tài)，供應(yīng)機架101支承在升降機構(gòu)102上。換句話說，冷卻板91配置在供應(yīng)機架101的兩個側(cè)框架113，113之間的空間內(nèi)。并且，由于供應(yīng)機架101的上升，使放置在冷卻板91的基板A的側(cè)邊緣部下表面，即突出于冷卻板91的基板A的下表面-配合在工件接受部114，把基板A抬到冷卻板91的上方空間，在這個狀態(tài)暫存基板A。
于是，冷卻板91的上方空間可以有效利用于緩沖裝置45的基板A暫存空間。從而，使冷卻機構(gòu)44和緩沖裝置45可以在同一處重疊有效配置，有利于輸送裝置5的小型化。另外，供應(yīng)機架101從上方的工件接受部114依次往下方的工件接受部114暫存(stock)基板A。
升降機構(gòu)102具備公用機座41內(nèi)Y軸方向互相隔開固定的一對支持板121、121和通過一對的導(dǎo)向桿122、122升降自在地支承在各支持板121的升降框123；其中，供應(yīng)機架101的下框架112放置在升降框123上的接受座124上。另外，公用機座41內(nèi)固定用安裝托架121a固定在支持板121的外側(cè)面。
在支持板121所軸支承的螺桿125相配合的螺母126就固定在升降框123上。由于螺桿125旋轉(zhuǎn)，升降框123升降。在一方的支持板121所軸支承的螺桿125，直接聯(lián)接在這個支持板121下端安裝的齒輪傳動馬達127；另一方的支持板121所軸支承的螺桿125通過傳動帶128聯(lián)接在齒輪傳動馬達127；通過齒輪傳動馬達127，支持在兩個支持板121、121的Y軸方向兩側(cè)的升降框123、123同步升降，使供應(yīng)機架101保持水平姿勢升降。
由汽缸129a在Y軸方向進退的一對壓爪129、129和由汽缸130a通過臂130b在X軸方向進退的一對定位銷130、130分別設(shè)在各個升降框123上。并且，由兩個定位銷130、130從X軸方向兩側(cè)夾住供應(yīng)機架101的下框架112的方法，不僅在X軸方向定位供應(yīng)機架101，而且由兩個升降框123、123的壓爪129、129從Y軸方向兩側(cè)夾住并往下壓供應(yīng)機架101的下框架112，以在Y軸方向上也定位供應(yīng)機架101的狀態(tài)，固定在升降框123上。
上下方向長度大的狹縫架131固定在各個支持板121的X軸方向的一端部，讀出狹縫架131的縫隙的光學(xué)傳感器132安裝在各個升降框123，從這個光學(xué)傳感器132的信號識別供應(yīng)機架101的上下方向的位置。
還有，由汽缸133在Y軸方向進退的可動框134設(shè)在各個支持板121的上端部。靠近供應(yīng)機架101側(cè)框架113的框組空隙的多個導(dǎo)向輪135安裝在可動框134，利用后面要敘述的輸送機構(gòu)103來進行機架箱內(nèi)空間的基板A的輸送時，由可動框134的Y軸方向內(nèi)部方向的移動，使導(dǎo)向輪135通過側(cè)框架113的框組空隙進入機架箱內(nèi)部空間，由導(dǎo)向輪135導(dǎo)向基板A的側(cè)邊緣，以防止輸送時的基板A的斜行。另外，如圖16、17左側(cè)的支持板121所示，支持板121上的罩136來覆蓋汽缸133。
另外，雖然圖16、17中省略圖示，機架箱內(nèi)部空間中進行基板A輸送的圖18、圖19所示的輸送機構(gòu)103設(shè)在兩個支持板121、121之間空間中。輸送機構(gòu)103包括圖面以外的汽缸來升降的升降臺141上安裝的輸送機架142。在X軸方向隔開距離的一對起立框架143、143豎立設(shè)在輸送機架142的Y軸方向兩側(cè)，作為各自輸送部件的多個(圖中三個)輸送輪144安裝在這些起立框架143的上端部內(nèi)側(cè)面。輸送機架142下面安裝的電動機145通過帶式動力傳動機構(gòu)146旋轉(zhuǎn)這些輸送輪144。另外，起立框架143、143外側(cè)的罩覆蓋動力傳動機構(gòu)146。
起立框架143和輸送輪144靠近形成在冷卻板91的躲避穴99，由于升降臺141的上升，輸送輪144通過躲避穴99凸出在冷卻板91的上面，在高于冷卻板91上面上方的規(guī)定輸送高度位置，進行機架箱內(nèi)部空間中的基板A的輸送。另外，這個輸送高度位置設(shè)定為90°旋轉(zhuǎn)裝置42和180°旋轉(zhuǎn)裝置43的輸送部72、82輸送高度相同的高度。
如圖20A所示，本實施方式中，上述輸送高度位置設(shè)定成供應(yīng)機架101的多層工件接受器114中的應(yīng)該支持下一個基板A的工件接受器114a位于稍微低于冷卻板91上面位置的狀態(tài)，這個工件接受器114a與其上面的工件接受器114b之間的間隔內(nèi)可以容納位于該輸送高度的基板A。
并且，把從90°旋轉(zhuǎn)裝置42的輸送部72所送出的基板A，由輸送輪144搬入到機架箱內(nèi)部空間后，如圖20B所示，輸送輪144下降到低于冷卻板91上面的下方位置，在冷卻板91上面上放置基板A，進行基板A的冷卻。其次，在時間管理或?qū)錋的直接溫度檢測來判定基板A已冷卻到規(guī)定溫度時，提升供應(yīng)機架101。如圖20C所示，根據(jù)這些，工件接受器114a支持基板A，在這個狀態(tài)，基板A從冷卻板91抬起。
這樣，暫存在供應(yīng)機架101的基板A輸送到180°旋轉(zhuǎn)裝置43時，使輸送輪144凸出在冷卻板91上方的狀態(tài)，使供應(yīng)機架101下降到圖20A所示的位置，使基板A搭在輸送輪144，從輸送輪144把基板A輸送到180°旋轉(zhuǎn)裝置43的輸送部82。
如上所述，設(shè)置緩沖裝置45的方法，由于液滴噴頭26的清理作業(yè)，即使是暫停向后段處理單元的繪圖裝置2的基板A投入，前段處理單元的干燥裝置4中也可以取出工件，可以暫存在緩沖裝置45。這里，如果干燥裝置4中的基板A的加熱溫度低，則，像素區(qū)域的周圍區(qū)域殘留溶劑，成為后段處理單元的繪圖裝置2中發(fā)生混色、脫色的主要原因；另外，由于干燥時間的不均勻，功能液滴的干燥收縮過程中，膜的厚度變?yōu)椴痪鶆颉Ｒ虼?，本實施方式中，在暫停向前段處理單元的繪圖裝置2的基板A投入期間，前段處理單元的干燥裝置4中的基板A的干燥時間達到規(guī)定的一定時間時，從干燥裝置4中取出基板A，基板A暫存在緩沖裝置45。
具體地，在圖面以外的控制機構(gòu)內(nèi)部，安裝對應(yīng)于干燥裝置4的多層熱板52的定時器，如圖22所示，基板A投入在任何一個熱板52時(步驟S1)，使對應(yīng)于該熱板52的定時器開始計時(步驟S2)，基板投入時間經(jīng)過設(shè)定的時間而超過定時時(步驟S3)，向轉(zhuǎn)移裝置3指令從上述的熱板52取出基板A(步驟S4)。以這樣的方法，管理一定時間的基板A的干燥時間，可以防止膜的厚度不均勻。
但是，上述的實施方式中，因為冷卻板91上形成防止干擾輸送輪144的躲避穴99，多少降低基板A的冷卻效率。此時，設(shè)在升降框123的可動框134上也可以安裝如圖21A-21C所示的輸送輪144′，由此進行機架箱內(nèi)部空間的基板A的輸送，來替代導(dǎo)向輪135。
由于可動框134的工作，這個輸送輪144′在機架箱內(nèi)部空間的外部自由退避，如圖21A所示，即使是機架箱內(nèi)部空間中的基板A的輸送高度位置設(shè)定成應(yīng)該支持下一個基板A的工件接受器114a位于冷卻板91上面上方位置狀態(tài)，這個工件接受器114a與其上層工件接受器114b之間的間隙里可以容納該輸送高度位置存在的基板A，也可以在以下的工作中使基板A放置在冷卻板91。
首先，以上述的輸送高度位置，把基板A搬入到機架箱內(nèi)部空間后，如圖21B所示，提升供應(yīng)機架101，以便應(yīng)該支持下一個工件的工件接受器114a支持位于上述輸送高度位置的基板A。然后，把輸送輪144′退避到機架箱內(nèi)部空間外部的狀態(tài)，如圖21C所示，下降供應(yīng)機架101，使基板A放置在冷卻板91上?；錋冷卻后，再度提升供應(yīng)機架101，和上述的實施方式相同，在工件接受器114a上支持基板A的狀態(tài)，從冷卻板91抬起基板A。
這樣，作為機架箱內(nèi)部空間中的輸送基板A的輸送部件，利用可以退避到機架箱內(nèi)部空間外部的輸送輪144′，就在冷卻板91上沒有必要形成躲避穴99，可以提高基板A的冷卻效率。
另外，利用升降自在的輸送輪144的上述實施方式中，如圖21A所示設(shè)定輸送高度，搬入基板后，先提升供應(yīng)機架101而在工件接受器114a上面支持基板A，然后，下降輸送輪144的同時，下降供應(yīng)機架101，使基板A可以放置在冷卻板91。但是，如上述實施方式，搬入基板后，只下降輸送輪144，使基板A放置在冷卻板91的方式效率高。
利用本實施方式的發(fā)光功能層制造線1來可以制造各種電光學(xué)裝置(平板顯示器)。因此，作為電光學(xué)裝置，以彩色濾光器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子顯示器(PDP裝置)、電子放出裝置(FED裝置、SED裝置)為例，說明其結(jié)構(gòu)和制造方法。另外，電子放出裝置是包含所謂的FED(場發(fā)射顯示器)或SED(表面導(dǎo)電電子射極顯示)的概念。
首先，說明安裝在液晶顯示裝置或有機EL裝置的彩色濾光器的制造方法。圖23是表示彩色濾光器制造工藝的流程圖，圖24A-24E是按照制造工藝順序表示的本實施方式彩色濾光器500(濾光器主體500A)的模式剖面圖。
首先，如圖24A所示，首先在黑底形成工藝(步驟S11)中，基板(W)501上形成黑底(blackmatrix)502。黑底502是由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層疊體或樹脂黑等而形成。為了形成金屬薄膜的黑底502，可以利用濺射法或真空鍍敷法。另外，由樹脂薄膜形成黑底502時，可以利用凹版印刷法、光刻法、熱復(fù)制法。
接著，堤岸(bank)形成工藝(步驟S12)中，在黑底502上以重疊的形狀形成堤岸503。即，如圖24B所示，以覆蓋基板501和黑底502形成底片型(negative)透明感光性樹脂制作的保護層504。然后，在其上面進行以矩陣模型形成的膜片505被覆狀態(tài)的暴光處理。
如圖24C所示，進一步進行保護層504未暴光部分的蝕刻處理的方法，圖案形成保護層504，從而形成堤岸503。另外，樹脂黑來制作黑底時，黑底和堤岸兼用成為可能。
該堤岸503和其下面的黑底502成為劃分各像素區(qū)域507a的劃區(qū)隔壁507b，在以后的著色層形成工藝中，形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時，規(guī)定液滴噴頭26的功能液滴噴著區(qū)域。
經(jīng)過以上的黑底形成工藝和堤岸形成工藝，獲得上述的濾光器主體500A。
另外，本實施方式中，作為堤岸503的材料利用了涂膜表面為疏液(疏水)性的樹脂材料。并且，基板(玻璃基板)501的表面為親液(親水)性的，因此，在后面要敘述的著色層形成工藝中，可以提高向被堤岸503(劃區(qū)隔壁507b)所包圍的像素區(qū)域507a內(nèi)的液滴噴著位置精度。
其次，如圖24D所示，著色層形成工藝(步驟S13)中，利用液滴噴頭26把功能液滴噴著到被劃區(qū)隔壁507b所包圍的像素區(qū)域507a內(nèi)。這時，利用液滴噴頭26引入R·G·B三色的功能液(濾光材料)，進行功能液滴的噴出。
然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等的處理)來固定功能液，形成三色的著色層508R、508G、508B。形成著色層508R、508G、508B之后，轉(zhuǎn)移到保護膜形成工藝(步驟S14)，如圖24E所示，形成保護膜509，以覆蓋基板501、劃區(qū)隔壁507b和著色層508R、508G、508B。
即，在基板501的形成有著色層508R、508G、508B的全部面上，噴出保護膜用涂敷液之后，經(jīng)過干燥處理形成保護膜509。
然后，形成保護膜509之后，把基板501切斷成各的有效像素區(qū)域的方法，獲得彩色濾光器500。
圖25是利用上述彩色濾光器500的作為液晶顯示裝置一例的無源陣列型液晶裝置(液晶裝置)的表示大體結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。該液晶裝置520上附加安裝液晶驅(qū)動用IC、背照燈、支撐體等的附加零件的方法，可以獲得最終產(chǎn)品的透射型液晶顯示裝置。另外，彩色濾光器500是如同圖24A-24E所示的濾光器，因此，對應(yīng)部位附以相同的符號，省略其說明。
該液晶裝置520大體上由彩色濾光器500、玻璃基板等組成的對置基板521和夾持在其間的STN(超級雙絞向列)液晶組合物而形成的液晶層522所組成，把彩色濾光器500配置在圖中的上方(觀測者一側(cè))。
另外，雖然圖中未示，在對置基板521和彩色濾光器500的外面(相反于液晶層522的面)上分別設(shè)有偏光板，另外，位于對置基板521一側(cè)的偏光板的外側(cè)設(shè)有背照燈。
彩色濾光器500的保護膜509(液晶層一側(cè))上按規(guī)定間隔形成多個圖25中左右方向的細長形狀的第一電極523，覆蓋該第一電極523的相反于彩色濾光器500的面而形成第一定向膜524。
另一方面，對置基板521中的面對彩色濾光器500的面上，在垂直于彩色濾光器500的第一電極523方向上按規(guī)定間隔形成多個細長形狀的第二電極526，覆蓋該第二電極526的液晶層522一側(cè)的面而形成第二定向膜527。這些第一電極523和第二電極526是由ITO(銦錫氧化物)等的透明導(dǎo)電材料形成。
設(shè)在液晶層522內(nèi)的墊片528是為了保持液晶層522一定厚度(單元間隔)的部件。另外，密封件529是為了防止液晶層522內(nèi)的液晶組合物向外漏出的部件。另外，第一電極523的一端部是作為引出的配電線延伸到密封件529的外側(cè)。
于是，第一電極523與第二電極526交叉的部分為像素，使其構(gòu)成為使彩色濾光器500的著色層508R、508G、508B位于成為該像素部分。
通常的制造工藝中，在彩色濾光器500上進行第一電極523的圖像和第一定向膜524的涂敷而制作彩色濾光器500一側(cè)的部分，并且，在對置基板521上另外單獨進行第二電極526的圖像形成和第二定向膜527的涂敷而制作對置基板521一側(cè)的部分。然后，在對置基板521一側(cè)的部分里制作墊片528和密封件529，在這個狀態(tài)，粘合彩色濾光器500一側(cè)的部分。接著，從密封件529的注入口注入構(gòu)成液晶層522的液晶之后，封閉注入口。再后，層疊兩個偏光板和背照燈。
實施方式的繪圖裝置2，例如是涂敷上述的構(gòu)成單元間隔的墊片材料(功能液)的同時，在對置基板521的部分粘合彩色濾光器500一側(cè)的部分之前，由密封件529所包圍的區(qū)域內(nèi)，可以均勻地涂敷液晶(功能液)。另外，利用液滴噴頭26也能夠進行上述密封件529的印刷。還有，利用液滴噴頭26也能夠進行第一定向膜524和第二定向膜527的涂敷。
圖26是采用本實施方式中制造的彩色濾光器500的液晶裝置第二例大體結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。
該液晶裝置530大不相同于上述的液晶裝置520的點是彩色濾光器500配置在圖中的下面(相反于觀察者一側(cè))。
該液晶裝置530大體上在彩色濾光器500和玻璃基板等組成的對置基板531之間夾持由STN液晶組合物而成的液晶層532所構(gòu)成。另外，雖然圖中未示，在對置基板531和彩色濾光器500的外面，分別設(shè)有偏光板。
在彩色濾光器500的保護膜509上(液晶層532一側(cè))，按規(guī)定間隔形成多個圖中往里方向的細長形狀的第一電極533，以覆蓋該第一電極533的液晶層532一側(cè)面而形成第一定向膜534。
在對置基板531中的面對彩色濾光器500的面上，垂直于彩色濾光器500一側(cè)的第一電極533方向延伸，按規(guī)定間隔形成多個細長形狀的第二電極536，覆蓋該第二電極536的液晶層532一側(cè)的面而形成第二定向膜537。
在液晶層532上設(shè)有為了保持液晶層532為一定厚度的墊片538和為了防止液晶層532內(nèi)部的液晶組合物向外漏出的密封件539。
于是，和上述的液晶裝置520同樣，第一電極533與第二電極536交叉的部分為像素，使彩色濾光器500的著色層508R、508G、508B位于成為該像素的位置。
圖27是表示采用本發(fā)明彩色濾光器500的液晶裝置來構(gòu)成液晶裝置的第三例中，透射型TFT(薄膜晶體管)型液晶裝置大體結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
該液晶裝置550是把彩色濾光器500配置在圖中上面(觀測者一側(cè))的裝置。
該液晶裝置550是大體上由彩色濾光器500、以面向彩色濾光器500而配置的對置基板551、夾持在這些之間的圖中未示的液晶層、配置在彩色濾光器500上面一側(cè)的(觀測者一側(cè))偏光板555、配置在對置基板551下表面的偏光板(圖中未示)所構(gòu)成。
彩色濾光器500的保護膜509的表面(對置基板551一側(cè)的面)上形成有液晶驅(qū)動用電極556。該電極556是由ITO等的透明導(dǎo)電材料制作，覆蓋后面要敘述的像素電極560所形成的區(qū)域全部的全面電極。另外，與覆蓋該電極556的像素電極相反一側(cè)面的狀態(tài)，設(shè)有定向膜557。
面向?qū)χ没?51的彩色濾光器500的面上形成絕緣層558，在該絕緣層558上面，互相垂直狀態(tài)，形成掃描線561和信號線562。于是，包圍在這些掃描線561和信號線562區(qū)域內(nèi)形成像素電極560。另外，實際的液晶裝置中，在像素電極560上面設(shè)有定向膜，但省略了圖示。
另外，像素電極560的缺口部、掃描線561和信號線562所包圍的部分里裝有具備源電極、漏電極、半導(dǎo)體和柵電極的薄膜晶體管563。于是，對掃描線561和信號線562施加信號的方法，使薄膜晶體管接通·斷開，從而可以進行像素電極560的通電控制。
另外，上述各實施方式的液晶裝置520、530、550是透射型的結(jié)構(gòu)，但是，設(shè)置反射層或半透射反射層，也可以作成反射型液晶裝置或半透射反射型液晶裝置。
下面，圖28是有機EL裝置的顯示區(qū)域(以下簡稱顯示裝置600)主要部分的剖面圖。
該顯示裝置600大體上是在基板(W)601上，層疊電路元件部602、發(fā)光元件部603和陰極604狀態(tài)而構(gòu)成的。
在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601一側(cè)發(fā)出的光，透射電路元件部602和基板601而向觀測者一側(cè)射出的同時，從發(fā)光元件部603向基板601的相反一側(cè)發(fā)出的光，由陰極604反射之后，透射電路元件部602和基板601，向觀測者一側(cè)射出。
電路元件部602和基板601之間形成由硅氧化膜而成的基底保護膜606，該基底保護膜606上(發(fā)光元件部603一側(cè))形成多晶硅的晶核狀半導(dǎo)體膜607。該半導(dǎo)體膜607的左右區(qū)域上，利用高濃度陽離子打入配合法分別形成源區(qū)域607a和漏區(qū)域607b。并且沒有打入陽離子的中央部位成為槽區(qū)域607c。
另外，在電路元件部602上，形成覆蓋基底保護膜606和半導(dǎo)體膜607的透明的柵絕緣膜608，在柵絕緣膜608上的對應(yīng)于半導(dǎo)體膜607槽區(qū)域607c位置上形成如Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極609。該柵電極609和柵絕緣膜608上形成透明的第一層間絕緣膜611a、第二層間絕緣膜611b。另外，穿過第一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b形成分別連通半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a和漏區(qū)域607b的觸點孔612a、612b。
于是，在第二層間絕緣膜611b上，由ITO等而成的透明的像素電極613按規(guī)定形狀形成圖案，這個像素電極613通過觸點孔612a連接在源區(qū)域607a。
另外，在第一層間絕緣膜611a上，配置電源線614，這個電源線614通過觸點孔612b連接在漏區(qū)域607b。
這樣，在電路元件部602上，分別形成連接在各個像素電極613的驅(qū)動用薄膜晶體管615。
上述的發(fā)光元件部603大體上由多個像素電極613上的各自層疊的功能層617、各像素電極613和功能層617之間具備的劃分功能層617的堤岸部618所構(gòu)成。
這些像素電極613、功能層617和配置在功能層617上的陰極604來構(gòu)成發(fā)光元件。另外，像素電極613在俯視圖上以近似矩形形成圖案，各像素電極613之間形成堤岸部618。
堤岸部618是由如SiO、SiO2、TiO2等無機材料形成的無機物堤岸部618a(第一堤岸層)和層疊在這個無機物堤岸部618a的由丙烯樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)越的抗蝕劑形成的斷面臺子形狀的有機物堤岸部618b(第二堤岸層)所構(gòu)成。該堤岸部618的一部分搭在像素電極613邊緣部位的狀態(tài)而形成。
于是，各堤岸部618之間形成面對像素電極613往上逐漸擴大的開口部619。
上述的功能層617是在開口部619內(nèi)部，由像素電極613上層疊狀態(tài)形成的空穴注入/輸送層617a和這個空穴注入/輸送層617a上形成的發(fā)光層617b所構(gòu)成。另外，還可以形成鄰接在這個發(fā)光層617b的具有另外作用的另一功能層。比如，形成電子輸送層等也成為可能。
空穴注入/輸送層617a具有從像素電極613一側(cè)輸送空穴之后，注入到發(fā)光層617b的功能。這個空穴注入/輸送層617a是噴出空含有穴注入/輸送層形成材料的第一組合物(功能液)來形成的。作為空穴注入/輸送層形成材料可以利用例如，聚乙烯二羥基噻吩等的噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物。
發(fā)光層617b是發(fā)紅色(R)、綠色(G)或藍色(B)的任意光的層，利用噴出含有發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第二組合物(功能液)的方法來形成。作為第二組合物的溶劑(非極性溶劑)最好是利用不溶于空穴注入/輸送層617a的物質(zhì)，比如可以利用環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲苯、四甲基苯等。利用這樣的非極性溶劑作為發(fā)光層617b的第二組合物，不會再溶解空穴注入/輸送層617a而可以形成發(fā)光層617b。
于是，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴和從陰極604注入的電子在發(fā)光層中重新結(jié)合而發(fā)光。
陰極604是全面覆蓋發(fā)光元件部603的狀態(tài)來形成，和像素電極613成對，起使功能層617中通電流的作用。另外，在這個陰極604上面配置圖中未示的封閉部件。
下面，結(jié)合圖29～圖37說明上述顯示裝置600的制造工藝。
如圖29所示，這個顯示裝置600是經(jīng)過堤岸部形成工藝(步驟S21)、表面處理工藝(步驟S22)、空穴注入/輸送層形成工藝(步驟S23)、發(fā)光層形成工藝(步驟S24)和對置電極形成工藝(步驟S25)來制造的。另外，制造工藝不限于例示的工藝，可以根據(jù)需要增減一些工藝。
首先，如圖30所示，在堤岸部形成工藝(步驟S21)中，在第二層間絕緣膜611b上，形成無機物堤岸部618a。該無機物堤岸部618a是在形成位置上形成無機物膜之后，把這個無機物膜用光刻技術(shù)來形成圖案而形成。此時，使無機物堤岸部618a的一部分和像素電極613邊緣部重疊地形成。
形成無機物堤岸部618a之后，如圖31所示，在無機物堤岸部618a上形成有機物堤岸部618b。這個有機物堤岸部618b也和無機物堤岸部618a同樣，利用光刻技術(shù)來形成圖案的。
這樣形成堤岸部618。另外，伴隨這些，在各堤岸部618之間形成面對像素電極613上方開口的開口部619。這個開口部619就規(guī)定像素區(qū)域。
表面處理工藝(步驟S22)中，進行親液化處理和疏液化處理。實施親液化處理區(qū)域是無機物堤岸部618a的第一層疊部618aa和像素電極613的電極面613a，這些區(qū)域是利用氧為處理氣體的等離子處理來進行親液性表面處理。這個等離子處理兼有清洗作為像素電極613的ITO的作用。
另外，疏液化處理實施在有機物堤岸部618b的壁面618s和有機物堤岸部618b上面618t，比如，四氟化甲烷為處理氣體的等離子處理來進行表面氟化處理(處理成疏液性)。
由于進行了這個表面處理，利用液滴噴頭26形成功能層617時，把功能液滴更可靠地噴著到像素區(qū)域，另外，可以防止從開口部619溢出噴著到像素區(qū)域的功能液滴。
這樣，經(jīng)過以上的工藝獲得顯示裝置主體600A。這個顯示裝置主體600A放置在圖2所示的繪圖裝置2的X軸臺子22上，進行如下的空穴注入/輸送層形成工藝(步驟S23)和發(fā)光層形成工藝(步驟S24)。
如圖32所示，在空穴注入/輸送層形成工藝(步驟S23)中，液滴噴頭26向作為像素區(qū)域的各開口部619內(nèi)噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物。然后，如圖33所示，進行干燥處理和熱處理，蒸發(fā)包含在第一組合物中的極性溶劑，在像素電極(電極面613a)613上形成空穴注入/輸送層617a。
下面，說明發(fā)光層形成工藝(步驟S24)。如上所述，這個發(fā)光層形成工藝中，為了防止空穴注入/輸送層617a重新溶解，作為形成發(fā)光層時所使用的第二組合物，利用不溶空穴注入/輸送層617a的非極性溶劑。
可是，另一方面，空穴注入/輸送層617a對非極性溶劑的化合性低，因此，即使是包含非極性溶劑的第二組合物噴著在空穴注入/輸送層617a上面，空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b也不能密接或著有可能不能均勻涂敷發(fā)光層617b。
因此，為了提高空穴注入/輸送層617a表面的對非極性溶劑和發(fā)光層形成材料的化合力，形成發(fā)光層之前，最好是進行表面處理(表面改善質(zhì)處理)。這個表面處理是在空穴注入/輸送層617a上涂敷相同于形成發(fā)光層時所使用第二組合物的非極性溶劑或類似于這些溶劑的表面改質(zhì)材料之后，干燥這些的方法來進行的。
實施這樣的處理之后，空穴注入/輸送層617a的表面容易溶合于非極性溶劑，在以后的工藝中，在空穴注入/輸送層617a上可以均勻涂敷包含發(fā)光層形成材料的第二組合物。
然后，如圖34所示，包含對應(yīng)各顏色中的任何一種(圖34中為藍色(B))顏色發(fā)光層形成材料的第二組合物，作為功能液打入像素區(qū)域(開口部619)內(nèi)部。打入到像素區(qū)域內(nèi)的第二組合物在空穴注入/輸送層617a上擴展，充滿開口部619內(nèi)。另外，即使是第二組合物偏離像素區(qū)域而落在堤岸部618的上面618t時，因為這個上面618t已經(jīng)實施了上述的疏液處理，第二組合物容易滾進開口部619內(nèi)部。
然后，進行干燥工藝的方法，干燥處理噴出后的第二組合物而蒸發(fā)包含在第二組合物中的非極性溶劑，如圖35所示，在空穴注入/輸送層617a上形成發(fā)光層617b。這個圖的情況是形成對應(yīng)于藍色(B)的發(fā)光層617b。
同樣，如圖36所示，利用液滴噴頭26按順序進行如同上述對應(yīng)于藍色(B)的發(fā)光層617b的工藝，形成對應(yīng)于其他顏色(紅色(R)以及綠色(G))的發(fā)光層617b。另外，發(fā)光層617b的形成順序不限于例示的順序，任何順序形成都可以。比如，對應(yīng)于發(fā)光層形成材料決定形成順序也是可能的。
如上所述，在像素電極613上形成功能層617即空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b。然后轉(zhuǎn)移到對置電極形成工藝(步驟S25)。
如圖37所示，在對置電極形成工藝(步驟S25)中，在發(fā)光層617b和有機物堤岸部618b的全表面上，利用真空鍍敷法、濺射法、CVD法形成陰極604。這個陰極604在本實施方式中是鈣層和鋁層的層疊而構(gòu)成的。
這個陰極604上面適當(dāng)設(shè)置作為電極的Al膜、Ag膜或為防止其氧化的SiO2、SiN等的保護層。
這樣形成陰極604之后，實施利用封閉部件來封閉這個陰極604上面的封閉處理等的其他處理，獲得顯示裝置600。
下面，圖38是等離子型顯示裝置(PDP裝置以下稱顯示裝置700)的主要部分的剖面圖。該圖是切去一部分狀態(tài)表示顯示裝置700的。
這個顯示裝置700大體上包括互相面對配置的第一基板701、第二基板702和其間形成的放電顯示部703而構(gòu)成。放電顯示部703由多個放電室705所構(gòu)成。這些放電室705中的紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍色放電室705B配置成使三個放電室705組成一組來構(gòu)成一個像素。
第一基板701的上面上按規(guī)定間隔形成格紋狀地址電極706，覆蓋這個地址電極706和第一基板701上面而形成電介體層707。電介體層707的上面，豎立設(shè)有位于各地址電極706之間位置且沿著各地址電極706的隔壁708。這個隔壁708包括如圖所示的延伸到地址電極706寬度方向兩側(cè)的部分和圖中未示的垂直于地址電極706方向延伸的部分。
于是，由這個隔壁708所劃分的區(qū)域就成為放電室705。
在放電室705內(nèi)部配置熒光體709。熒光體709是發(fā)紅(R)、綠(G)、藍(B)色中任一色的熒光，紅色放電室705R的底部配置紅色熒光體709R、綠色放電室705G的底部配置綠色熒光體709G、藍色放電室705B的底部配置藍色熒光體709B。
在第二基板702的圖中下面的面，垂直于上述的地址電極706方向，隔規(guī)定間隔形成格紋狀的多個顯示電極711。然后，覆蓋這些，形成由電介體層712和MgO等而成的保護膜713。
使地址電極706與顯示電極711互相垂直的狀態(tài)，面向粘合第一基板701和第二基板702。另外，上述地址電極706和顯示電極711連接在圖中未示的交流電源。
于是，使各個電極706、711通電的方法，可以使放電顯示部703內(nèi)的熒光體709激勵發(fā)光，彩色顯示成為可能。
在本實施方式中，上述的地址電極706、顯示電極711和熒光體709可以利用圖2所示的繪圖裝置2來形成。下面，第一基板701中的地址電極706形成工藝為例進行說明。
此時，把第一基板126裝在繪圖裝置2的X軸臺子22的狀態(tài)，進行如下的工藝。
首先，含有導(dǎo)電膜電線形成用形成材料的液體材料作為功能液，通過液滴噴頭26噴著在地址電極形成區(qū)域。這個液體材料是作為導(dǎo)電膜電線形成用形成材料把金屬等的導(dǎo)電性微粒子分散在分散介質(zhì)的液體材料。這個導(dǎo)電性微粒子可以利用含有金、銀、銅、鈀或鎳的金屬微粒子或?qū)щ娦跃酆衔锏取?br> 如果完成作為補充對象的所有地址電極形成區(qū)域的液體材料的補充，則，干燥處理噴出后的液體材料，蒸發(fā)包含在液體材料中的分散介質(zhì)而形成地址電極706。
上述中雖然是以形成地址電極706為例說明，但是，經(jīng)過上述各個工藝也可以形成上述的顯示電極711和熒光體709。
形成顯示電極711時，和形成地址電極706同樣，含有導(dǎo)電膜配線形成用形成材料的液體材料(功能液)作為功能液噴著在顯示電極形成區(qū)域。
另外，形成熒光體709時，從液滴噴頭26作為液滴噴著含有對應(yīng)于各顏色(R、G、B)熒光材料的液體材料(功能液)，噴著在對應(yīng)顏色的放電室705內(nèi)。
下面，圖39是電子放出裝置(FED裝置以下稱顯示裝置800)的主要部分的剖面圖。另外，該圖是表示顯示裝置800的局部剖面圖。
這個顯示裝置800大體上包括互相面向配置的第一基板801、第二基板802和其間形成的電場放出顯示部803。電場放出顯示部803是由矩陣狀配置的多個電子放出部805所構(gòu)成。
第一基板801上面上互相垂直地形成有構(gòu)成陰極806的第一元件電極806a和第二元件電極806b。另外，在由第一元件電極806a和第二元件電極806b所劃分的部分里，有形成間隙808的導(dǎo)電性膜807。即，由第一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807構(gòu)成多個電子放出部805。導(dǎo)電性膜807，例如由氧化鈀(PdO)制作，間隙808是形成導(dǎo)電性膜807之后，以成形法等形成。
在第二基板802的下表面，形成有與陰極806對峙的陽極809。在陽極809下表面，形成格子狀堤岸部811，這個堤岸部811所包圍的向下開口的各個開口部812的對應(yīng)于電子放出部805上配置熒光體813。熒光體813是發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(B)的任意色熒光的物質(zhì)，在各個開口部812上按上述規(guī)定的模型配置紅色熒光體813(R)、綠色熒光體813(G)以及藍色熒光體813(B)。
于是，這樣構(gòu)成的第一基板801和第二基板802是保持微小間隙而粘合的。這個顯示裝置800中，通過導(dǎo)電性膜(間隙808)807，從作為陰極的第一元件電極806a或第二元件電極806b飛出的電子碰撞在作為陽極的陽極電極809上所形成的熒光體813，使其激勵發(fā)光，彩色顯示成為可能。
這時，也和其他的實施方式同樣，可以利用繪圖裝置2來形成第一元件電極806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807和陽極809的同時，利用繪圖裝置2來形成各顏色的熒光體813R、813G、813B。
第一元件電極806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807具有圖40A所示的平面形狀，形成這些膜時，如圖40B所示，預(yù)先留出第一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807的制作部分，形成堤岸部BB(光刻法)。接著，由堤岸部BB所構(gòu)成的溝部分里形成第一元件電極806a、第二元件電極806b(繪圖裝置2的噴墨法)，干燥溶劑而形成膜之后，形成導(dǎo)電性膜807(繪圖裝置2的噴墨法)。然后，形成導(dǎo)電性膜807之后，去掉堤岸部BB(磨光剝離處理)，轉(zhuǎn)移到上述的成形法。另外，和上述的有機EL裝置的情形同樣，最好是進行第一基板801、第二基板802的親液化處理和對堤岸部811、BB的疏液化處理。
另外，作為其他的電光學(xué)裝置，可以考慮金屬配線的形成、透鏡形成、保護膜形成和光擴散體形成等的裝置。上述的發(fā)光功能層制造線1利用于各種電光學(xué)裝置(設(shè)備)的制造上，可以有效制造各種電光學(xué)裝置。
從以上說明可以清楚根據(jù)本發(fā)明，干燥爐內(nèi)部的上下多層的熱板之間流動換氣流，從爐內(nèi)很快排出干燥中蒸發(fā)的溶劑，以小型簡單的結(jié)構(gòu)來有效同時干燥多個工件。
權(quán)利要求
1.一種干燥裝置，具備上下多層容納放置板狀工件的熱板所組成的干燥爐，其特征在于在上述的干燥爐前面，開設(shè)靠近上述多層熱板的常開放工件出入口，同時，在上述干燥爐后面設(shè)置外罩箱，在這個外罩箱內(nèi)，借助于靠近上述多層熱板之間的各間隙上形成通氣孔的分流板來連通上述干燥爐的爐內(nèi)空間的排氣機構(gòu)來劃分強制排氣的排氣室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于設(shè)置連接在上述排氣機構(gòu)的上下多個排氣口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于在上述干燥爐后面，開閉自在地安裝上述外罩箱，通過打開上述外罩箱所開放的上述干燥爐后面的開口，可以自由交換上述各熱板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干燥裝置，其特征在于在上述干燥爐側(cè)壁內(nèi)部，上下多層固定上述各熱板側(cè)邊緣部在前后方向滑動自由地配合的軌道部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于還設(shè)置從上述多層熱板選擇性地提升支撐工件可能的提升機構(gòu)，而上述提升機構(gòu)由配置在上述干燥爐側(cè)壁外面的作升降運動的上下方向長的升降部件、在上述側(cè)壁內(nèi)側(cè)上下多層配置的，與突出于上述各熱板工件放置面的工件側(cè)緣部下表面配合可能的配合部件、使這些配合部件聯(lián)接在上述升降機構(gòu)的進退機構(gòu)所構(gòu)成；該進退機構(gòu)可以使這些配合部件個別地進入在工件的上述側(cè)緣部上下方向投影面內(nèi)的工作位置和退出在投影面外部的退出位置之間進和退。
6.一種工件處理裝置，是把包括液滴噴頭來向板狀的工件涂敷液滴的繪圖裝置和干燥涂敷在工件的液滴的干燥裝置的多臺處理單元，其處理單元之間利用工件輸送裝置來連接，各個處理單元中被處理的工件通過各個工件輸送裝置依次輸送到后部的處理單元的工件處理裝置，其特征在于作為上述干燥裝置，利用根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工件處理裝置，其特征在于上述工件是彩色濾光器的基板，上述繪圖裝置在上述液滴噴頭內(nèi)引入含有濾光材料的功能液之后，在上述基板上的多個像素區(qū)域內(nèi)涂敷成為濾光元件的功能液。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工件處理裝置，其特征在于上述工件是有機EL裝置基板，上述繪圖裝置在上述液滴噴頭內(nèi)引入含有發(fā)光功能材料的功能液之后，在上述基板上的多個像素區(qū)域內(nèi)涂敷成為有機EL功能層的功能液。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工件處理裝置，其特征在于上述工件是等離子顯示裝置的基板，上述繪圖裝置在上述液滴噴頭內(nèi)引入含有金屬配線材料的功能液之后，在上述基板上的多個像素區(qū)域內(nèi)涂敷成為元件電極功能層的功能液。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工件處理裝置，其特征在于上述工件是等離子顯示裝置的基板，上述繪圖裝置在上述液滴噴頭內(nèi)引入含有熒光功能材料的功能液之后，在上述基板上的多個像素區(qū)域內(nèi)涂敷成為熒光功能層的功能液。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工件處理裝置，其特征在于上述工件是電子放出裝置的基板，上述繪圖裝置在上述液滴噴頭內(nèi)引入含有導(dǎo)電性功能材料的功能液之后，在上述基板上的多個像素區(qū)域內(nèi)涂敷成為導(dǎo)電性功能層的功能液。
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工件處理裝置，其特征在于在上述輸送裝置上配置暫時積存工件的積存機構(gòu)，在上述干燥裝置的干燥時間達到一定的時間時，從上述的干燥裝置中排出工件。
全文摘要
在一個干燥爐(51)內(nèi)部容納上下多層熱板(52)。在干燥爐(51)前面，靠近上下多層熱板(52)開設(shè)常開式工件出入口(51a)。另外，在干燥爐(51)后面設(shè)置外罩箱(53)，在該外罩箱(53)內(nèi)部，通過靠近多層熱板(52)之間的各個間隙里形成通氣孔(54a)的分流板連通于爐內(nèi)空間的排氣機構(gòu)來劃分強制排氣的排氣室(55)。利用這樣的干燥裝置，可以同時有效干燥多個工件。
文檔編號H01L51/50GK1501104SQ200310102940
公開日2004年6月2日 申請日期2003年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月18日
發(fā)明者中村真一, 山田善昭, 昭 申請人:精工愛普生株式會社