專利名稱：圖形的形成方法、圖形形成裝置以及器件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過在基板上配置液體材料的液滴來形成膜圖形的圖形形成方法和圖形形成裝置、器件的制造方法、導電膜布線、光電裝置及電子機器。
背景技術(shù)：
以前，多將光刻法用作半導體集成電路等具有細微布線圖形(膜圖形)的器件的制造方法，但使用液滴噴出法的器件的制造方法被注目。該液滴噴出法具有液體材料的浪費少，容易進行配置在基板上的液體材料的量或位置的控制等優(yōu)點。下述專利文獻中公開了關(guān)于液滴噴出法的技術(shù)。
專利文獻1特開平11-274671號公報專利文獻2特開2000-216330號公報但是，布線圖形的布線間距對應(yīng)于制造的器件而進行各種變更。一方面，在液滴噴出法中，從具有以規(guī)定間距排列的噴出噴嘴的液滴噴出頭向基板噴出液滴。因此，即使在設(shè)計值上對布線圖形的布線間距進行各種變更，也必需由1個液滴噴出頭高噴出量地形成布線圖形。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種在從具有排列多個的噴出噴嘴的液滴噴出頭分別噴出液滴來形成膜圖形時，即使圖形間距在設(shè)計值中進行各種變更也可高效形成膜圖形的圖形形成方法及圖形形成裝置、器件的制造方法。另外，本發(fā)明的目的在于通過高噴出量制造布線圖形來提供對成本有利的導電膜布線、光電裝置及使用其的電子機器。
為了解決上述問題，本發(fā)明的圖形形成方法通過在基板上配置液體材料的液滴來形成膜圖形，其特征在于在所述基板上排列設(shè)定多個形成所述膜圖形的圖形形成區(qū)域，在所述多個圖形形成區(qū)域中，設(shè)定從所述膜圖形的側(cè)部形成的第1圖形形成區(qū)域、和從所述膜圖形的中央部形成的第2圖形形成區(qū)域，在所述第1、第2圖形形成區(qū)域中分別配置所述液滴，形成所述膜圖形。
根據(jù)本發(fā)明，在多個排列的圖形形成區(qū)域中分別配置液滴來形成例如具有規(guī)定線寬的膜圖形時，在第1圖形形成區(qū)域中從側(cè)部形成膜圖形，在第2圖形形成區(qū)域中從中央部形成膜圖形，換言之，基板上的液滴配置順序(膜圖形的各部的形成位置順序)在每個圖形形成區(qū)域中設(shè)定的不同，所以即使液滴噴出頭的噴出噴嘴間距與制造的圖形間距不同，也可在各第1、第2圖形形成區(qū)域中高效形成膜圖形。即，在噴嘴間距與圖形間距各不相同的情況下，若對全部膜圖形都以相同的液滴配置順序來配置液滴，則多個噴出噴嘴中不噴出液滴的狀態(tài)(噴出休止狀態(tài)、配置休止狀態(tài))的噴出噴嘴的數(shù)量增加，導致低噴出量。但是，通過使液滴配置順序?qū)Ω鲌D形形成區(qū)域不同，即對第1圖形形成區(qū)域從側(cè)部開始形成，對第2圖形形成區(qū)域從中央部開始形成，所以即使噴嘴間距與圖形間距各不相同，也能降低噴出休止狀態(tài)的噴出噴嘴的數(shù)量，實現(xiàn)高噴出量。
在本發(fā)明的圖形形成方法中，其特征在于具有大致同時向所述第1、第2圖形形成區(qū)域分別配置所述液滴的工序。
根據(jù)本發(fā)明，即使噴嘴間距與圖形間距不同，也可通過變更噴出噴嘴與基板的相對位置，產(chǎn)生第1及第2圖形形成區(qū)域的位置與多個噴出噴嘴位置一致的狀態(tài)。因此，通過在所述狀態(tài)下在第1及第2圖形形成區(qū)域中分別同時配置液滴，可實現(xiàn)高噴出量化。
在本發(fā)明的圖形形成方法中，其特征在于具有在所述第1、第2圖形形成區(qū)域的任一方中配置所述液滴的工序。
根據(jù)本發(fā)明，即使噴嘴間距與圖形間距不同，也可通過變更噴出噴嘴與基板的相對位置，產(chǎn)生第1及第2圖形形成區(qū)域之一的位置與噴出噴嘴位置一致的狀態(tài)。因此，通過在所述狀態(tài)下在與噴出噴嘴的位置一致的第1及第2圖形形成區(qū)域之一中配置液滴，可抑制噴出休止狀態(tài)的噴出噴嘴的數(shù)量，實現(xiàn)噴出量化。
在本發(fā)明的圖形形成方法中，其特征在于在所述第1圖形形成區(qū)域中，在形成所述側(cè)部后，形成中央部，在所述第2圖形形成區(qū)域中，在形成所述中央部后，形成側(cè)部。
根據(jù)本發(fā)明，因為第1、第2圖形形成區(qū)域中液滴配置順序分別各不相同，所以即使噴嘴間距與圖形間距不同，也可通過在與噴出噴嘴位置一致的第1、第2圖形形成區(qū)域中配置液滴，降低噴出休止狀態(tài)的噴出噴嘴的數(shù)量，實現(xiàn)噴出量化。另外，通過在第1、第2圖形形成區(qū)域中分別形成中央部及側(cè)部，可形成寬幅的布線圖形，可形成有利于電傳導的膜圖形。
在本發(fā)明的圖形形成方法中，其特征在于對應(yīng)于所述第1、第2圖形形成區(qū)域，分別設(shè)置多個配置所述液滴的噴出部，邊沿所述圖形形成區(qū)域的排列方向移動所述噴出部，邊配置所述液滴。
根據(jù)本發(fā)明，分別對應(yīng)于多個排列的圖形形成區(qū)域來設(shè)置噴出部(噴出噴嘴)，邊移動該噴出部邊配置液滴，所以可在短時間內(nèi)形成多個膜圖形(布線圖形)。
在本發(fā)明的圖形形成方法中，其特征在于具有形成于所述第1圖形形成區(qū)域中的第1膜圖形的一方側(cè)部的工序；在形成所述第1膜圖形的另一側(cè)部的同時、形成在所述第2圖形形成區(qū)域中形成的第2膜圖形的中央部的工序；和在形成所述第1膜圖形的中央部的同時、形成所述第2膜圖形的一方及另一方的任一側(cè)部的工序。
根據(jù)本發(fā)明，可在第1、第2圖形形成區(qū)域中分別高效形成寬幅的膜圖形。
本發(fā)明的圖形形成方法通過在基板上配置液體材料的液滴來形成膜圖形，其特征在于具有第1工序，在所述基板上排列形成多個所述膜圖形時，形成所述多個膜圖形中第1膜圖形的第1區(qū)域；第2工序，在形成所述第1膜圖形的第2區(qū)域的同時，形成第2膜圖形的第1區(qū)域；和第3工序，在形成所述第1膜圖形的第3區(qū)域的同時，形成所述第2膜圖形的第2區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明，因為在形成第1膜圖形與第2膜圖形時，將形成位置順序、即液滴配置順序設(shè)定成各不相同的順序，所以可抑制噴出休止狀態(tài)的噴出噴嘴的數(shù)量，可實現(xiàn)高噴出量化。
在本發(fā)明的圖形形成方法中，其特征在于具有在所述第3工序后形成所述第2膜圖形的第3區(qū)域的第4工序。
根據(jù)本發(fā)明，可分別寬幅形成第1及第2膜圖形，可形成有利于電傳導的膜圖形。
在本發(fā)明的圖形形成方法中，其特征在于所述液體材料是包含導電性微粒子的液狀體。由此可形成具有導電性的布線圖形。
本發(fā)明的圖形形成裝置具備在基板上配置液體材料的液滴的液滴噴出裝置，由所述液滴來形成膜圖形，其特征在于所述液滴噴出裝置從側(cè)部形成在預先排列設(shè)定在所述基板上的、形成所述膜圖形的多個圖形形成區(qū)域中的、第1圖形形成區(qū)域中形成的第1膜圖形，從中央部形成第2圖形形成區(qū)域中形成的第2膜圖形。
另外，本發(fā)明的圖形形成裝置具備在基板上配置液體材料的液滴的液滴噴出裝置，由所述液滴在所述基板上形成多個膜圖形，其特征在于所述液滴噴出裝置在形成第1膜圖形的第1區(qū)域后，形成所述第1膜圖形的第2區(qū)域，同時，形成第2膜圖形的第1區(qū)域，接著，形成所述第1膜圖形的第3區(qū)域，同時，形成第2膜圖形的第2區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明，即使噴嘴間距與圖形間距各不相同，也可減少噴出休止狀態(tài)的噴出噴嘴的數(shù)量，可實現(xiàn)高噴出量化。
本發(fā)明的器件制造方法是一種具有布線圖形的器件的制造方法，其特征在于具有材料配置工序，通過對多個排列設(shè)定在所述基板上、形成所述布線圖形的圖形形成區(qū)域分別配置液體材料的液滴，形成所述布線圖形，所述材料配置工序設(shè)定所述多個圖形形成區(qū)域中、從所述布線圖形的側(cè)部形成的第1圖形形成區(qū)域、和從所述布線圖形的中央部形成的第2圖形形成區(qū)域，在所述第1、第2圖形形成區(qū)域中分別配置所述液滴，形成所述布線圖形。
另外，本發(fā)明的器件制造方法是一種具有布線圖形的器件的制造方法，其特征在于具有材料配置工序，通過在基板上配置液體材料的液滴，形成多個布線圖形，所述材料配置工序具有第1工序，形成所述多個布線圖形中第1布線圖形的第1區(qū)域；第2工序，在形成所述第1布線圖形的第2區(qū)域的同時，形成第2膜圖形的第1區(qū)域；和第3工序，在形成所述第1布線圖形的第3區(qū)域的同時，形成所述第2布線圖形的第2區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明，即使噴嘴間距與圖形間距各不相同，也可減少噴出休止狀態(tài)的噴出噴嘴的數(shù)量，可實現(xiàn)高噴出量化。另外，因為可高效形成寬幅的布線圖形，所以可提供實現(xiàn)低成本化、具備有利于電傳導的布線圖形的器件。
本發(fā)明的導電膜布線的特征在于由上述的圖形形成裝置形成。
根據(jù)本發(fā)明，可低成本提供實現(xiàn)寬幅化的有利于電傳導的導電膜布線。
本發(fā)明的光電裝置的特征在于具備上述的導電膜布線。另外，本發(fā)明的電子機器的特征在于具備上述的光電裝置。根據(jù)這些發(fā)明，由于低成本具備有利于電傳導的導電膜布線，所以難以產(chǎn)生布線部的斷路或短路等故障。
這里，作為光電裝置，例如等離子體型顯示裝置、液晶顯示裝置及有機場致發(fā)光顯示裝置等。
作為上述液滴噴出裝置(噴墨裝置)的噴出方式，可以是通過壓電體元件的體積變化使液體材料噴出的壓電噴出方式，也可以是通過施加熱來急劇產(chǎn)生蒸氣，由此使液體材料的液滴噴出的方式。
所謂液體材料是指具備可從液滴噴出頭(噴墨頭)的噴出噴嘴噴出的粘度的媒體。不管是水性還是油性。只要具備可從噴嘴等噴出的流動性(粘度)即可，最好是即使混入固體物質(zhì)但作為整體仍為流動體。另外，包含于液體材料中的材料除作為微粒子分散到溶媒中外，也可加熱到融點以上被溶解，除溶媒外，也可添加染料或顏料等功能性材料。另外，基板除平基板外，也可以是曲面狀基板。并且，圖形形成面的硬度不必硬，除玻璃或塑料、金屬外，也可以是膜、紙、橡膠等具有柔性的材料的表面。


圖1是表示本發(fā)明的圖形形成方法一實施方式的流程圖。
圖2是表示本發(fā)明的圖形形成方法一實施方式的模式圖。
圖3是表示本發(fā)明的圖形形成方法一實施方式的模式圖。
圖4是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的模式圖。
圖5是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的模式圖。
圖6是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的模式圖。
圖7是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的模式圖。
圖8是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的其它實施例的模式圖。
圖9是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的其它實施例的模式圖。
圖10是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的其它實施例的模式圖。
圖11是表示根據(jù)設(shè)定于基板上的位圖數(shù)據(jù)來配置液滴的狀態(tài)的其它實施例的模式圖。
圖12是表示本發(fā)明的圖形形成裝置一實施方式的示意立體圖。
圖13是表示本發(fā)明的光電裝置一實施方式的圖，是表示適用于等離子體型顯示裝置中的實例的分解立體圖。
圖14是表示本發(fā)明的光電裝置一實施方式的圖，是表示適用于液晶裝置中的實例的俯視圖。
圖15是表示液晶顯示裝置的其它形態(tài)的圖。
圖16是說明FED的圖。
圖17是表示本發(fā)明的電子機器的一實施方式的圖。
圖中10-液滴噴出頭(液滴噴出裝置)、10A～10J-噴出噴嘴(噴出部)，11-基板，100-圖形形成裝置(液滴噴出裝置)，R1～R5-圖形形成區(qū)域，W1～W5-膜圖形(布線圖形、導電膜布線)，Wa-第1側(cè)部圖形(一方的側(cè)部)，Wb-第2側(cè)部圖形(另一方的側(cè)部)，Wc-中央圖形(中央部)。
具體實施例方式下面，參照附圖來說明本發(fā)明的圖形形成方法。圖1是表示本發(fā)明的圖形形成方法一實施方式的流程圖。
這里，在本實施方式中舉例說明在基板上形成導電膜布線圖形的情況。
圖1中，根據(jù)本實施方式的圖形形成方法，具有使用規(guī)定溶媒等清洗配置液體材料的液滴的基板的工序(步驟S1)；構(gòu)成基板表面處理工序一部分的疏液化處理工序(步驟S2)；調(diào)整進行疏液化處理后的基板表面的疏液性的、構(gòu)成表面處理工序一部分的疏液性降低處理工序(步驟S3)；基于液滴噴出法，在表面處理后的基板上配置包含導電膜布線形成用材料的液體材料的液滴，并描繪(形成)膜圖形的材料配置工序(步驟S4)；去除配置在基板上的液體材料的溶媒成分的至少一部分的、包含熱、光處理的中間干燥處理工序(步驟S5)、和燒結(jié)描繪了規(guī)定圖形的燒結(jié)工序(步驟S7)。另外，在中間干燥處理工序后，判斷規(guī)定的圖形描繪是否結(jié)束(步驟S6)，若圖形描繪結(jié)束，則進行燒結(jié)工序，另一方面，若圖形描繪未結(jié)束，則進行材料配置工序。
下面，說明基于作為本發(fā)明特征部分的液滴噴出法的材料配置工序(步驟S4)。
本實施方式的材料配置工序是通過從液滴噴出裝置的液滴噴出頭向基板上噴出包含導電膜布線形成用材料的液體材料的液滴，在基板上排列形成多個線性膜圖形(布線圖形)的工序。液體材料是將作為導電膜布線形成用材料的金屬等導電性微粒子分散到分散劑中的液狀體。在以下說明中，說明在基板11上形成兩個第1、第2膜圖形W1、W2的情況。
圖2中，材料配置工序(步驟S4)中，首先在基板11上排列設(shè)定作為形成第1膜圖形W1及第2膜圖形W2的圖形形成區(qū)域的第1圖形形成區(qū)域R1和第2圖形形成區(qū)域R2。之后，在第1圖形形成區(qū)域R1中從線寬方向側(cè)部形成應(yīng)形成于該第1圖形形成區(qū)域R1中的第1膜圖形W1，在第2圖形形成區(qū)域R2中從線寬方向中央部形成應(yīng)形成于該第2圖形形成區(qū)域R2中的第2膜圖形2。
另外，在基板11上的第1圖形形成區(qū)域R1中，配置從設(shè)置在液滴噴出裝置的液滴噴出頭10中的多個噴出噴嘴中的第1噴出噴嘴10A噴出的液體材料的液滴。另一方面，在基板11上的第2圖形形成區(qū)域R2中，配置從第1噴出噴嘴10A以外的第2噴出噴嘴10B噴出的液體材料的液滴。即，分別對應(yīng)于第1、第2圖形形成區(qū)域R1、R2來設(shè)置噴出噴嘴(噴出部)10A、10B。
首先，如圖2(a)所示，由從噴出噴嘴10A噴出的液滴形成應(yīng)形成于第1圖形形成區(qū)域R1中的第1膜圖形W1中作為線寬方向一方側(cè)部的第1側(cè)部的圖形Wa。從液滴噴出頭10的噴出噴嘴10A噴出的液體材料的液滴以一定距離間隔(間距)配置在基板11上。之后，通過重復該液滴配置動作，在膜圖形W1的圖形形成區(qū)域R1的一側(cè)形成構(gòu)成該膜圖形W1的一部分的線性第1側(cè)部圖形Wa。
這樣，在圖2(a)中，僅在第1圖形形成區(qū)域R1中配置液滴。
另外，基板11的表面事先通過步驟S2及S3加工成期望的疏液性，所以抑制配置在基板11上的液滴擴散。因此，可在確實將圖形形狀控制到良好狀態(tài)的同時，使厚膜化變?nèi)菀住?br> 這里，當在基板11上配置用于形成第1側(cè)部圖形Wa的液滴后，為了去除分散劑，必要時進行中間干燥處理(步驟S5)。中間干燥處理除使用例如加熱板、電爐及熱風發(fā)生機等加熱裝置等的一般熱處理外，也可以是使用燈退火的光處理。
接著，如圖2(b)所示，液滴噴出頭10與基板11沿第1、第2圖形形成區(qū)域R1、R2的排列方向、即X軸方向相對移動。這里，液滴噴出頭10沿+X方向步進移動。與此同時，噴出噴嘴10A、10B也沿X軸方向移動。另外，如圖2(b)所示，由從噴出噴嘴10A噴出的液滴形成應(yīng)形成于第1圖形形成區(qū)域R1中的第1膜圖形W1中作為線寬方向另一方側(cè)部的第2側(cè)部圖形Wb。從液滴噴出頭10的噴出噴嘴10A噴出的液體材料的液滴以一定距離間隔(間距)配置在基板11上。之后，通過重復該液滴配置動作，在膜圖形W1的第1圖形形成區(qū)域R1的另一側(cè)形成構(gòu)成該膜圖形W1的一部分的線性第2側(cè)部圖形Wb。
與此同時，由從噴出噴嘴10B噴出的液滴形成應(yīng)形成于第2圖形形成區(qū)域R2中的第2膜圖形W2中作為線寬方向中央部的中央圖形Wc。從液滴噴出頭10的噴出噴嘴10B噴出的液體材料的液滴以一定距離間隔(間距)配置在基板11上。之后，通過重復該液滴配置動作，在第2圖形形成區(qū)域R2的中央部形成構(gòu)成該膜圖形W2的一部分的線性中央圖形Wc。這樣，在圖2(b)中，分別對第1、第2圖形形成區(qū)域R1、R2同時配置液滴。
這里，也當在基板11上配置用于形成第1圖形形成區(qū)域R1的第2側(cè)部圖形Wb及第2圖形形成區(qū)域R2的中央圖形Wc的液滴后，為了去除分散劑，必要時進行中間干燥處理。
接著，如圖2(c)所示，液滴噴出頭10沿-X方向步進移動。
與此同時，噴出噴嘴10A、10B也沿-X方向移動。另外，如圖2(c)所示，由從噴出噴嘴10A噴出的液滴形成應(yīng)形成于第1圖形形成區(qū)域R1中的第1膜圖形W1中作為線寬方向中央部的中央圖形Wc。從液滴噴出頭10的噴出噴嘴10A噴出的液體材料的液滴以一定距離間隔(間距)配置在基板11上。之后，通過重復該液滴配置動作，在第1圖形形成區(qū)域R1的中央部形成線性的中央圖形Wc。通過配置形成中央圖形Wc的液滴，液滴充滿(液體材料)第1側(cè)部圖形Wa與第2側(cè)部圖形Wb之間的凹部，從而第1側(cè)部圖形Wa與第2側(cè)部圖形Wb一體化，形成第1膜圖形W1。
與此同時，由從噴出噴嘴10B噴出的液滴形成應(yīng)形成于第2圖形形成區(qū)域R2中的第2膜圖形W2中作為線寬方向一側(cè)部的第1側(cè)部圖形Wa。從液滴噴出頭10的噴出噴嘴10B噴出的液體材料的液滴以一定距離間隔(間距)配置在基板11上。之后，通過重復該液滴配置動作，在第2圖形形成區(qū)域R2的中央部形成線性的第1側(cè)部圖形Wa。這樣，在圖2(c)中，分別對第1、第2圖形形成區(qū)域R1、R2同時配置液滴。
這里，當形成鄰接中央圖形Wc一側(cè)的線性第1側(cè)部圖形Wa時，配置液滴，使配置的液滴與形成于基板11上的中央圖形Wc的至少一部分重疊。由此，中央圖形Wc與形成第1側(cè)部圖形Wa的液滴確實連接，在形成的膜圖形W2中不會產(chǎn)生導電膜形成用材料的不連續(xù)部。
另外，這里也當在基板11上配置用于形成第1圖形形成區(qū)域R1的中央圖形Wc及第2圖形形成區(qū)域R2的第1側(cè)部圖形Wa的液滴后，為了去除分散劑，必要時進行中間干燥處理。
接著，如圖2(d)所示，液滴噴出頭10沿+X方向步進移動。
與此同時，噴出噴嘴10A、10B也沿-X方向移動。另外，如圖2(d)所示，由從噴出噴嘴10B噴出的液滴形成應(yīng)形成于第2圖形形成區(qū)域R2中的第2膜圖形W2中作為線寬方向另一側(cè)部的第2側(cè)部圖形Wb。從液滴噴出頭10的噴出噴嘴10B噴出的液體材料的液滴以一定距離間隔(間距)配置在基板11上。之后，通過重復該液滴配置動作，在膜圖形W2的第2圖形形成區(qū)域R2的另一側(cè)形成構(gòu)成該膜圖形W2的一部分的線性的第2側(cè)部圖形Wb。這樣，在圖2(d)中，僅對第2圖形形成區(qū)域R2配置液滴。
這里，當形成鄰接中央圖形Wc另一側(cè)的線性第2側(cè)部圖形Wb時，噴出液滴，使噴出的液滴與形成于基板11上的中央圖形Wc的至少一部分重疊。由此，中央圖形Wc與形成第2側(cè)部圖形Wb的液滴確實連接，在形成的膜圖形W2中不會產(chǎn)生導電膜形成用材料的不連續(xù)部。這樣，在第2圖形形成區(qū)域R2中，中央圖形Wc與第1、第2側(cè)部圖形Wa、Wb一體化，形成寬幅的第2膜圖形W2。
下面，參照圖3(a)-(c)來說明形成線性中央圖形Wc及側(cè)部圖形Wa、Wb的步驟。
首先，如圖3(a)所示，空出規(guī)定間隔在基板11上依次配置從液滴噴出頭10噴出的液滴L1。即，液滴噴出頭10配置成在基板11上液滴L1彼此不重疊。本例中，設(shè)定液滴L1的配置間距P1比配置在基板11上之后的液滴L1的直徑大。由此，配置在基板11上之后的液滴L1彼此不重疊(不接觸)，防止液滴L1彼此合在一起后在基板11上擴散。另外，將液滴L1的配置間距P1設(shè)定成配置在基板11上之后的液滴L1的直徑的2倍以下。
這里，在基板11上配置液滴L1后，為了去除分散劑，必要時進行中間干燥處理(步驟S5)。中間干燥處理除使用例如加熱板、電爐及熱風發(fā)生機等加熱裝置等的一般熱處理外，也可以是使用燈退火的光處理。
接著，如圖3(b)所示，重復上述液滴配置動作。即，與圖3(a)所示的上次一樣，從液滴噴出頭10噴出液體材料，作為液滴L2，在基板11上每隔一定距離配置液滴L2。此時，液滴L2的體積(每1個液滴的液體材料量)及其配置間距P2與上次的液滴L1一樣。另外，液滴L2的配置位置從上次的液滴L1位移1/2間距，在配置于基板11上的上次液滴L1彼此的中間位置上配置這次的液滴L2。
如上所述，基板11上的液滴L1的配置間距P1比配置在基板11上之后的液滴L1的直徑大，并且為該直徑的2倍以下。因此，通過在液滴L1的中間位置配置液滴L2，液滴L2部分重疊在液滴L1上，填埋液滴L1彼此間的間隙。此時，這次的液滴L2與上次的液滴L1接觸，但由于上次的液滴L1已完全或某種程度上去除了分散劑，所以很少兩者合在一起后在基板11上擴散。
另外，圖3(b)中，設(shè)開始配置液滴L2的位置為與上次相同的一側(cè)(圖3(a)所示左側(cè))，但也可以是相反側(cè)(右側(cè))。通過在往復動作向各方向移動時配置液滴，可減少液滴噴出頭10與基板11的相對移動距離。
當在基板11上配置液滴L2后，為了去除分散劑，必要時與上述一樣進行干燥處理。
通過反復多次上述一系列液滴配置動作，填埋配置在基板11上的液滴彼此的間隙，如圖3(c)所示，在基板11上形成作為線性連續(xù)圖形的中央圖形Wc及側(cè)部圖形Wa、Wb。此時，通過增加液滴配置動作的重復次數(shù)，液滴依次重合在基板11上，線性圖形Wa、Wb、Wc的膜厚、即距基板11表面的高度(厚度)增加。
對應(yīng)于最終的膜圖形所需的期望膜厚來設(shè)定線性圖形Wa、Wb、Wc的高度(厚度)，對應(yīng)于該設(shè)定的膜厚來設(shè)定上述液滴配置動作的重復次數(shù)。
另外，線性圖形的形成方法不限于圖3(a)-(c)所示。
例如，可任意設(shè)定液滴的配置間距或重復時的位移量等，也可將形成圖形Wa、Wb、Wc時的液滴在基板P上的配置間距設(shè)定為各不相同的值。例如，在形成中央圖形W1時的液滴間距為P1的情況下，將形成側(cè)部圖形Wa、Wb時的液滴間距P設(shè)為比P1寬的間距。不用說，也可設(shè)為比P1窄的間距。另外，也可將形成圖形Wa、Wb、Wc時的液滴體積設(shè)定為各不相同的值?；蛘撸瑢⒆鳛楦鲊姵鰟幼髦信渲没?1或液滴噴出頭10的氣氛的液滴噴出氣氛(溫度或濕度等)設(shè)定成各不相同的條件。
另外，本實施方式中，每次1條地形成多個側(cè)部圖形Wa、Wb，但也可同時形成兩條。這里，在每次1條地形成多個圖形Wa、Wb的情況與同時形成兩條的情況下，干燥處理的次數(shù)總計可能不同，所以最好設(shè)定干燥條件，以不損害基板11的疏液性。
下面，參照圖4-圖7來說明向基板上噴出液滴的順序一例。如這些圖所示，在基板11上設(shè)定具有配置液體材料的液滴的格狀的作為多個單位區(qū)域的象素的位圖。液滴噴出頭10向由位圖設(shè)定的象素位置配置液滴。這里，將1個象素設(shè)定成正方形。另外，設(shè)液滴噴出頭10邊沿Y軸方向掃描基板11，邊從噴出噴嘴10A、10B噴出液滴。另外，在用圖4-圖7的說明中，向第1次掃描時配置的液滴附加[1]，向第2次、第3次、...、第n次掃描時配置的液滴附加[2]、[3]、...、[n]。
另外，在以下說明中，在圖4的灰色所示的各區(qū)域(第1及第2圖形形成區(qū)域R1、R2)中配置液滴，形成第1及第2膜圖形W1、W2。
如圖4(a)所示，在第1次掃描時，為了形成第1圖形形成區(qū)域R1的第1側(cè)部圖形Wa，在第1側(cè)部圖形形成預定區(qū)域中，空出一個象素，從第1噴出噴嘴10A配置液滴。這里，通過向基板11配置的液滴落在基板11上，在基板11上擴散。即，如圖4(a)中圓形所示，落在基板11上的液滴具有比1個象素大小大的直徑c地擴散。這里，由于液滴在Y軸方向上空出規(guī)定間隔(1個象素)配置，所以被設(shè)定成配置在基板11上的液滴彼此不重疊。由此，可防止液滴材料在Y軸方向上過剩設(shè)置在基板11上，可防止產(chǎn)生凸出。
另外，圖4(a)中，配置成配置在基板11上時的液滴彼此不重疊，但也可將液滴配置得稍稍重疊。另外，這里空出1個象素來噴出液滴，但也可空出兩個以上任意個數(shù)的象素間隔來配置液滴。此時，最好增加液滴噴出頭10對基板11的掃描動作及配置動作(噴出動作)，插入在基板上的液滴之前。
這里，在圖4所示狀態(tài)下，因為第2噴出噴嘴10B位于錯位于第2圖形形成區(qū)域R2的位置上，所以不會從第2噴出噴嘴10B噴出液滴。即，在圖4所示狀態(tài)下，第2噴出噴嘴10B為噴出休止狀態(tài)。
圖4(b)是通過第2次掃描從液滴噴出頭10向基板11配置液滴時的模式圖。另外，圖4(b)中，向第2次掃描時配置的液滴附加[2]。在第2次掃描時，從第1噴出噴嘴10A噴出液滴，以插入第1次掃描時配置的液滴[1]之間。另外，在第1次及第2次掃描及噴出動作下液滴彼此連續(xù)，形成第1膜圖形W1的第1側(cè)部圖形(第1區(qū)域)Wa(第1工序)。
接著，液滴噴出頭10與基板11沿X方向相對移動2個象素大小。這里，液滴噴出頭10相對基板11沿+X方向步進移動2個象素大小。同時，噴出噴嘴10A、10B也移動。之后，液滴噴出頭10進行第3次掃描。由此，如圖5(a)所示，沿X軸方向，從第1噴出噴嘴10A相對第1側(cè)部圖形Wa空出間隔，在基板11上配置形成第構(gòu)成第1膜圖形W1的一部分的第2側(cè)部圖形Wb的液滴[3]。這里，也沿Y軸方向空出1象素后配置液滴[3]。與此同時，在基板11上的第2圖形形成區(qū)域R2中的中央圖形形成預定區(qū)域中，從第2噴出噴嘴10B配置形成構(gòu)成第2膜圖形W2的一部分的中央圖形Wc的液滴[3]。這里也沿Y軸方向空出1個象素來配置液滴[3]。
圖5(b)是通過第4次掃描從液滴噴出頭10向基板11配置液滴時的模式圖。另外，圖5(b)中，向第4次掃描時配置的液滴附加[4]。在第4次掃描時，從第1、第2噴出噴嘴10A、10B配置液滴，以插入第3次掃描時配置的液滴[3]之間。另外，在第3次及第4次掃描及配置動作下液滴彼此連續(xù)，形成第1膜圖形W1的第2側(cè)部圖形(第2區(qū)域)Wb，同時，形成第2膜圖形W2的中央圖形(第1區(qū)域)Wc(第2工序)。
接著，液滴噴出頭10相對基板11沿-X方向步進相對移1個象素大小，同時，噴出噴嘴10A、10B也沿-X方向移動1個象素。之后，液滴噴出頭10進行第5次掃描。由此，如圖6(a)所示，在基板上配置形成構(gòu)成第1膜圖形W1的一部分的中央圖形Wc的液滴[5]。這里，也沿Y軸方向空出1象素后配置液滴[5]。與此同時，在基板11上的第2圖形形成區(qū)域R2中的第1側(cè)部圖形形成預定區(qū)域中，從第2噴出噴嘴10B配置形成構(gòu)成第2膜圖形W2的一部分的第1側(cè)部圖形Wa的液滴[5]。這里也沿Y軸方向空出1個象素來配置液滴[5]。
圖6(b)是通過第6次掃描從液滴噴出頭10向基板11配置液滴時的模式圖。另外，圖6(b)中，向第6次掃描時配置的液滴附加[6]。在第6次掃描時，從第1、第2噴出噴嘴10A、10B配置液滴，以插入第5次掃描時配置的液滴[5]之間。另外，在第5次及第6次掃描及配置動作下液滴彼此連續(xù)，形成第1膜圖形W1的中央圖形(第3區(qū)域)Wc，同時，形成第2膜圖形W2的第1側(cè)部圖形(第2區(qū)域)Wa(第3工序)。
接著，液滴噴出頭10相對基板沿+X方向步進移動2個象素大小，同時，噴出噴嘴10A、10B也沿+X方向移動2個象素大小。之后，液滴噴出頭10進行第7次掃描。由此，如圖7(a)所示，在基板上配置形成第構(gòu)成第2膜圖形W2的一部分的第2側(cè)部圖形Wb的液滴[7]。這里，也沿Y軸方向空出1象素后配置液滴[7]。此時，在完成第1膜圖形W1的同時，第1噴出噴嘴10A位于相對第1圖形形成區(qū)域R1錯位的位置，所以不會從第1噴出噴嘴10A噴出液滴。即，在圖7所示狀態(tài)下，第1噴出噴嘴10A變?yōu)閲姵鲂葜範顟B(tài)。
圖7(b)是通過第8次掃描從液滴噴出頭10向基板11配置液滴時的模式圖。另外，圖7(b)中，向第8次掃描時配置的液滴附加[8]。在第8次掃描時，從第2噴出噴嘴10B配置液滴，以插入第7次掃描時配置的液滴[7]之間。另外，第1噴出噴嘴10A為噴出休止狀態(tài)。之后，在第7次及第8次掃描及配置動作下液滴彼此連續(xù)，形成第2膜圖形W2的第2側(cè)部圖形(第3區(qū)域)Wb(第4工序)。
下面，參照圖8-圖11來說明圖形形成方法的另一實施例。這里，設(shè)噴出噴嘴有10A-10J等10個，噴嘴間距設(shè)定成4個象素大小。換言之，1個噴出噴嘴在X軸方向上的對應(yīng)格子數(shù)為4個。即，在基板上，1個噴出噴嘴可配置液滴的范圍(即1個噴出噴嘴的負責的圖形可形成區(qū)域)在X軸方向上為4個象素大小(4列)。例如，第1噴出噴嘴10A在圖8中，可對第1列-第4列的象素范圍配置液滴，第2噴出噴嘴10B可對第5列-第8列的象素范圍配置液滴。同樣，噴出噴嘴10C可對第9列-第12列、噴出噴嘴10D可對第13列-第16列、...、噴出噴嘴10H可對第29列-第32列、噴出噴嘴10I可對第33列-第36列、噴出噴嘴10J可對第37列-第40列配置液滴。另外，在本實施方式中，以布線間距為6個象素的大小形成設(shè)計值上具有3外象素大小線寬的布線圖形(膜圖形)W1-W5。即，將形成布線圖形的圖形形成區(qū)域R1-R5設(shè)定在圖8的灰色所示區(qū)域中。因此，在本實施方式中，在第1圖形形成區(qū)域R1中配置從第1噴出噴嘴10A噴出的液滴，在第2圖形形成區(qū)域R2中配置從第3噴出噴嘴10C噴出的液滴，在第3圖形形成區(qū)域R3中配置從第6噴出噴嘴10F噴出的液滴，在第4圖形形成區(qū)域R4中配置從第8噴出噴嘴10H噴出的液滴，在第5圖形形成區(qū)域R5中配置從第10噴出噴嘴10J噴出的液滴。
圖8中，使噴出噴嘴10A與圖形形成區(qū)域R1位置一致，使噴出噴嘴10F與圖形形成區(qū)域R3位置一致，使噴出噴嘴10H與圖形形成區(qū)域R4位置一致，使噴出噴嘴10J與圖形形成區(qū)域R5位置一致。因此，就圖形形成區(qū)域R1、R3、R4、R5而言，為可配置液滴狀態(tài)。另一方面，沒有與圖形形成區(qū)域R2位置一致的噴出噴嘴。因此，就圖形形成區(qū)域R2而言，為液滴配置休止狀態(tài)。
下面，按與參照圖4-圖7說明的步驟一樣的步驟，液滴噴出頭10對基板11進行掃描，并從噴出噴嘴10A、10F、10H、10J噴出液滴。之后，通過第1、第2次掃描，如圖8的[1]、[2]所示，配置液滴。由此，在圖形形成區(qū)域R1中形成第1側(cè)部圖形Wa，在圖形形成區(qū)域R3中形成第2側(cè)部圖形Wb，在圖形形成區(qū)域R4中形成中央圖形Wc，在圖形形成區(qū)域R5中形成第1側(cè)部圖形Wa。
接著，如圖9所示，液滴噴出頭10沿+X方向步進移動2個象素大小，同時，噴出噴嘴10A-10J也移動。圖9中，使噴出噴嘴10A與圖形形成區(qū)域R1位置一致，使噴出噴嘴10C與圖形形成區(qū)域R2位置一致，使噴出噴嘴10E與圖形形成區(qū)域R3位置一致，使噴出噴嘴10J與圖形形成區(qū)域R5位置一致。因此，就圖形形成區(qū)域R1、R2、R3、R5而言，為可配置液滴狀態(tài)。另一方面，沒有與圖形形成區(qū)域R4位置一致的噴出噴嘴。因此，就圖形形成區(qū)域R4而言，為液滴配置休止狀態(tài)。
之后，液滴噴出頭10對基板11進行掃描，并從噴出噴嘴10A、10C、10E、10J噴出液滴。之后，通過第3、第4次掃描，如圖8的[3]、[4]所示，配置液滴。由此，在圖形形成區(qū)域R1中形成第2側(cè)部圖形Wb，在圖形形成區(qū)域R2中形成中央圖形Wc，在圖形形成區(qū)域R3中形成第1側(cè)部圖形Wa，在圖形形成區(qū)域R5中形成第2側(cè)部圖形Wb。
接著，如圖10所示，液滴噴出頭10沿-X方向步進移動1個象素大小，同時，噴出噴嘴10A-10J也移動。圖10中，使噴出噴嘴10A與圖形形成區(qū)域R1位置一致，使噴出噴嘴10C與圖形形成區(qū)域R2位置一致，使噴出噴嘴10H與圖形形成區(qū)域R4位置一致，使噴出噴嘴10J與圖形形成區(qū)域R5位置一致。因此，就圖形形成區(qū)域R1、R2、R4、R5而言，為可配置液滴狀態(tài)。另一方面，沒有與圖形形成區(qū)域R3位置一致的噴出噴嘴。因此，就圖形形成區(qū)域R3而言，為液滴配置休止狀態(tài)。
之后，液滴噴出頭10對基板11進行掃描，并從噴出噴嘴10A、10C、10H、10J噴出液滴。之后，通過第5、第6次掃描，如圖10的[5]、[6]所示，配置液滴。由此，在圖形形成區(qū)域R1中形成中央圖形Wc，在圖形形成區(qū)域R2中形成第1側(cè)部圖形Wa，在圖形形成區(qū)域R4中形成第2側(cè)部圖形Wb，在圖形形成區(qū)域R5中形成中央圖形Wc。
接著，如圖11所示，液滴噴出頭10沿+X方向步進移動2個象素大小，同時，噴出噴嘴10A-10J也移動。圖11中，使噴出噴嘴10C與圖形形成區(qū)域R2位置一致，使噴出噴嘴10E與圖形形成區(qū)域R3位置一致，使噴出噴嘴10G與圖形形成區(qū)域R4位置一致。因此，就圖形形成區(qū)域R2、R3、R4而言，為可配置液滴狀態(tài)。另一方面，沒有與圖形形成區(qū)域R1、R5位置一致的噴出噴嘴。因此，就圖形形成區(qū)域R1、R5而言，為液滴配置休止狀態(tài)。另外，在該狀態(tài)下，已完成圖形形成區(qū)域R1、R5的膜圖形W1、W5。
之后，液滴噴出頭10對基板11進行掃描，并從噴出噴嘴10C、10E、10G噴出液滴。之后，通過第7、第8次掃描，如圖11的[7]、[8]所示，配置液滴。由此，在圖形形成區(qū)域R2中形成第2側(cè)部圖形Wb，在圖形形成區(qū)域R3中形成中央圖形Wc，在圖形形成區(qū)域R4中形成第1側(cè)部圖形Wa。
如上所述，形成第1-第5膜圖形W1-W5。之后，如本實施方式那樣，即使在噴出噴嘴間距與布線圖形間距不一致的狀態(tài)下，通過適用本發(fā)明的圖形形成方法，也可如用圖8-圖11說明的那樣，將各掃描時每次變?yōu)橐旱闻渲眯葜範顟B(tài)的圖形形成區(qū)域例如僅設(shè)為1個。因此，可在短時間(本實施方式下為8次掃描)高效形成多個膜圖形。
另外，在上述實施方式中，作為導電膜布線用基板，可使用玻璃、石英玻璃、Si晶片、塑料膜、金屬板等各種基板。另外，還包含在這些各種原料基板的表面中形成半導體膜、金屬膜、電介質(zhì)膜、有機膜等作為襯底層。
作為導電膜布線用液體材料，在本例中使用使導電性微粒子分散到分散劑中的分散液(液狀體)，無論它是水性還是油性。這里使用的導電性微粒子除含有金、銀、銅、鈀及鎳中之一的金屬微粒子外，還使用導電性聚合物或超導電體的微粒子等。這些導電性微粒子也可為了提高分散性而在表面涂布有機物等來使用。作為涂布在導電性微粒子表面的涂布材料，例如二甲苯、甲苯等有機溶劑或檸檬酸等。
導電性微粒子的粒徑最好為5nm以上、0.1μm以下。若大于0.1μm，則擔心上述液滴噴出頭的噴嘴中會產(chǎn)生堵塞。另外，若小于5nm，則涂布劑相對導電性微粒子的體積變大，得到的膜中的有機物的比例過高。
作為含有導電性微粒子的液體的分散劑，最好在室溫下的蒸氣壓為0.001mmHg以上、200mmHg以下(約0.133Pa以上、26600Pa以下)。在蒸氣壓高于200mmHg的情況下，配置后分散劑急劇蒸發(fā)，難以形成良好的膜。另外，分散劑的蒸氣壓最好為0.001mmHg以上、50mmHg以下(約0.133Pa以上、6650Pa以下)。在蒸氣壓高于50mmHg的情況下，當用噴墨法噴出液滴時，容易由于干燥引起噴嘴堵塞。另一方面，在室溫下的蒸氣壓比0.001mmHg低的分散劑的情況下，干燥慢，膜中易殘留分散劑，在后工序的熱、光處理后，難以得到好的導電膜。
作為上述分散劑，只要可分散上述導電性微粒子，難以引起凝聚，則不特別限定。例如，除水外，可示例甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等的醇類、正庚烷、正辛完、癸烷、甲苯、二甲苯、異丙基甲苯、均四甲苯、茚、二戊烯、四氫萘、十氫萘、環(huán)己基苯等烴類化合物；或聚乙二醇二甲醚、聚乙二醇二乙醚、聚乙二醇甲基乙基醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲基乙基醚、1，2-二甲氧基乙烷、雙(2-甲氧基乙基)醚、p-二惡烷等的醚類化合物；以及碳酸丙烯酯、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、環(huán)己酮等極性化合物。其中，從微粒子的分散性與分散液的穩(wěn)定性、或?qū)姾诜ǖ倪m用難易性出發(fā)，最好是水、醇類、烴類化合物、醚類化合物，作為更優(yōu)選的分散劑，可舉出水、烴類化合物。這些分散劑既可單獨使用，也可作為兩種以上的混合物來使用。
將上述導電性微粒子分散到分散劑中的情況下的分散質(zhì)濃度為1質(zhì)量％以上80質(zhì)量％以下，最好對應(yīng)于期望的導電膜膜厚進行調(diào)整。若超過80質(zhì)量％，則易引起凝聚，難以得到均勻的膜。
上述導電性微粒子的分散液的表面張力最好在0.02N/m以上0.07N/m以下的范圍內(nèi)。當由噴墨法噴出液體時，若表面張力不足0.02N/m，則由于墨水組合物對噴嘴面的浸濕性增大，所以容易產(chǎn)生飛行彎曲，若超過0.07N/m，則噴嘴前端的彎月型形狀不穩(wěn)定，所以難以控制配置量或配置定時。
為了調(diào)整表面張力，最好在不使與基板的接觸角過大降低的范圍內(nèi)，在上述分散液中添加微量氟類、硅酮類、非離子類等表面張力調(diào)節(jié)劑。
非離子類表面張力調(diào)節(jié)劑使液體對基板的浸濕性提高，改良膜的水平性，可防止膜的細微凹凸的產(chǎn)生等。上述分散液必要時也可包含醇、醚、酯、酮等有機化合物。
上述分散液的粘度最好在1mPa·s以上、50mPa·s以下。在使用噴墨法將液體材料作為液滴噴出時，在粘度小于1mPa·s的情況下，噴嘴周圍由于墨水的流出而容易被污染，另外，在粘度大于50mPa·s的情況下，噴嘴孔的堵塞頻度變高，難以順利地配置液滴。
下面，說明圖1所示表面處理工序S2、S3。在表面處理工序中，將形成導電膜布線的基板表面加工成對液體材料具有疏液性(步驟S2)。
具體而言，對基板實施表面處理，使相對含有導電性微粒子的液體材料的規(guī)定接觸角在60[deg]以上，最好在90[deg]以上110[deg]以下。作為控制表面疏液性(浸濕性)的方法，例如可采用在基板表面形成自組織化膜的方法、等離子體處理法等。
在自組織膜形成法中，在應(yīng)形成導電膜布線的基板表面中形成由有機分子膜等構(gòu)成的自組織化膜。處理基板表面的有機分子膜，具備可與基板耦合的官能團、在其相反側(cè)將親液基或疏液基等基板的表面性改質(zhì)的(控制表面能量)的官能團、和連結(jié)這些官能團的碳的直鏈或局部分支的碳鏈，耦合在基板上后，進行自組織化，形成分子膜、例如單分子膜。
這里，所謂自組織化膜，由可與基板的襯底層等的構(gòu)成原子反應(yīng)的耦合性官能基和其外的直鏈分子構(gòu)成，是通過直鏈分子的相互作用而使具有極高取向性的化合物取向后所形成的膜。由于該自組織化膜使單分子取向后形成，所以可將膜厚變得極薄，并且可形成分子級的均勻膜。即，因為相同分子位于膜表面，所以可向膜表面賦予均勻且好的疏液性或親液性。
作為上述具有高取向性的化合物，通過使用例如氟代烷基硅烷，取向各化合物，使氟代烷基位于膜表面上，形成自組織化膜，向膜表面賦予均勻的疏液性。
作為形成自組織化膜的化合物，示例十七氟-1，1，2，2-四氫癸基三乙氧基硅烷、十七氟-1，1，2，2-四氫癸基三甲氧基硅烷、十七氟-1，1，2，2-四氫癸基三氯硅烷、十三氟-1，1，2，2-四氫辛基三乙氧基硅烷、十三氟-1，1，2，2-四氫辛基三甲氧基硅烷、十三氟-1，1，2，2-四氫辛基三氯基硅烷、三氟丙基三甲氧基硅烷等的氟代烷基硅烷(下面稱為[FAS])。這些化合物可單獨使用，也可組合兩種以上來使用。另外，通過使用FAS，可得到與基板的緊貼性和良好的疏液性。
FAS一般以結(jié)構(gòu)式RnSiX(4-n)來表示。這里，n表示1以上3以下的整數(shù)，X是甲氧基、乙氧基、鹵原子等水解基團。另外，R是氟代烷基基，具有(CF3)(CF2)x(CH2)y的(這里x表示0以上10以下的整數(shù)，y表示0以上4以下的整數(shù))結(jié)構(gòu)，在多個R或X與Si耦合的情況下，R或X既可彼此相同，也可不同。由X表示的水解基團通過水解形成硅醇，與基板(玻璃、硅)的基底羥基反應(yīng)后，通過硅氧烷鍵與基板耦合。另一方面，由于R在表面具有(CF3)等氟代基，所以將基板的底表面改質(zhì)成不浸濕(表面能量低)的表面。
將上述原料化合物和基板一起封入相同的密閉容器中，在室溫下放置2-3天左右的時間，由此在基板上形成由有機分子膜等構(gòu)成的自組織化膜。另外，通過江整個密閉容器保持在100℃下3小時左右，在基板上形成。這些是氣相的形成法，也可由液相來形成自組織化膜。例如，將基板浸漬在包含原料化合物的溶液中，清洗、干燥，由此在基板上形成自組織化膜。另外，期望在形成自組織化膜之前，向基板表面照射紫外線，或由溶媒清洗，實施基板表面的預處理。
在實施FAS處理后，必要時進行處理成期望疏液性的疏液性降低處理(步驟S3)。即，當作為疏液化處理實施FAS處理時，疏液性的作用過強，基板與形成于該基板上的膜圖形W容易剝離。因此，進行降低(調(diào)整)疏液性的處理。作為降低疏液性的處理，例如波長為170-400nm左右的紫外線(UV)照射處理。通過向基板照射規(guī)定時間的規(guī)定功率的紫外線，降低FAS處理后的基板的疏液性，基板具有期望的疏液性?；蛘?，也可通過將基板曝露在臭氧氣氛下，控制基板的疏液性。
另一方面，在等離子體處理法中，在常壓或真空中對基板進行等離子體照射。用于等離子體處理中的氣體種類可以考慮應(yīng)形成導電膜布線的基板的表面材質(zhì)等選擇各種氣體。作為處理氣體，示例4氟甲烷、全氟己烷、全氟癸烷等。
另外，將基板表面加工成疏液性的處理也可通過例如將4氟乙烯加工后的聚酰亞胺膜等貼在基板表面上來進行。另外，也可將疏液性高的聚酰亞胺膜原樣用作基板。
下面，說明圖1中所示的中間干燥工序S5。在中間干燥工序(熱、光處理工序)中，去除配置在基板上的液滴中包含的分散劑或涂布材料。即，配置在基板上的導電膜形成用的液體材料為了更好地進行微粒子間的電接觸，必需完全去除分散劑。另外，為了提高分散性而在導電性微粒子表面涂布有機物等涂布材料的情況下，也必需去除該涂布材料。
熱、光處理通常在大氣中進行，但必需時也可在氮、氬、氦等惰性氣氛中進行。熱/光處理的處理溫度考慮分散劑的沸點(蒸氣壓)、氣氛氣體的種類或壓力、微粒子的分散性或氧化性等熱運動、涂布材料的有無或數(shù)量、基材的耐熱溫度等來適當決定。例如，為了去除由有機物構(gòu)成的涂布材料，必需在約300度下進行燒結(jié)。另外，在使用塑料等基板的情況下，最好在室溫以上100度以下進行。
在熱處理中可使用加熱板、電爐等加熱裝置。在光處理中可使用燈退火。作為用于燈退火中的光的光源，不特別限定，可使用紅外線燈、氙燈、YAG激光器、氬氣激光器、碳酸氣體激光器、XeF、XeCl、XeBr、KrF、KrCl、ArF、ArCl等激元激光器等。這些光源一般使用輸出在10W以上5000W以下范圍的光源，但在本實施方式中在100W以上1000W以下的范圍內(nèi)就足以。通過上述熱、光處理，確保微粒子間的電接觸，變換為導電膜。
此時，不僅去除分散劑，即使提高加熱或光照射程度直至將分散液變換為導電膜也無妨。其中，導電膜的變換從全部液體材料的配置結(jié)束開始，在熱處理、光處理工序中一并進行即可，所以這里只要能一定程度去除分散劑即可。例如，在熱處理的情況下，通常只要進行數(shù)分鐘的100度左右的加熱即可。另外，也可與液體材料的噴出并行同時進行干燥處理。例如，事先加熱基板，在液滴噴出頭冷卻的同時使用沸點低的分散劑，由此可在基板上配置液滴之后，進行該液滴的干燥。
通過以上說明的一系列工序，在基板上形成線性的導電膜圖形。在本例的布線形成方法中，在可一次形成的線性圖形的線寬受限的情況下，也可通過形成多個線性圖形并將其一體化，實現(xiàn)線性圖形的幅度拓寬。因此，可形成有利于電傳導、且難以產(chǎn)生布線部的斷路或短路等故障的導電膜圖形。
下面，說明本發(fā)明的圖像形成裝置的一例。圖12是表示本發(fā)明的圖形形成裝置的示意立體圖。如圖12所示，圖像形成裝置100具備液滴噴出頭10、沿X方向驅(qū)動液滴噴出頭10的X方向引導軸2、使X方向引導軸2旋轉(zhuǎn)的X方向驅(qū)動電機3、裝載基板11的裝載臺4、使沿Y方向驅(qū)動裝載臺4的Y方向引導軸5、使Y方向引導軸5旋轉(zhuǎn)的Y方向驅(qū)動電機6、清潔機構(gòu)部14、加熱器15及統(tǒng)一控制這些部件的控制裝置8等。X方向引導軸2及Y方向引導軸5分別被固定在基臺7上。圖12中，液滴噴出頭10被配置成與基板11的前進方向成直角，但也可調(diào)整液滴噴出頭10的角度，與基板11的前進方向交叉。由此，通過調(diào)整液滴噴出頭10的角度，可調(diào)節(jié)噴嘴間的間距。另外，也可任意調(diào)節(jié)基板11與噴嘴面的距離。
液滴噴出頭10從噴出噴嘴中噴出由含有導電性微粒子的分散液所構(gòu)成的液體材料，液滴噴出頭10固定在X方向引導軸2上。X方向驅(qū)動電機3是步進電機等，若從控制裝置8提供X軸方向的驅(qū)動脈沖信號，則使X方向引導軸2旋轉(zhuǎn)。通過X方向引導軸2的旋轉(zhuǎn)，液滴噴出頭10相對基臺7沿X軸方向移動。
作為液滴噴出方式，可適用使用作為壓電體元件的壓電元件使墨水噴出的壓電方式、加熱液體材料并通過產(chǎn)生的氣泡(發(fā)泡)使液體材料噴出的發(fā)泡方式等公知的各種技術(shù)。其中，壓電方式由于不對液體材料加熱，所以具有不會對材料的組成等造成影響的優(yōu)點。另外，本例中，從液體材料選擇的自由度高、及液滴的控制性好出發(fā)，使用上述壓電方式。
裝載臺4固定在Y方向引導軸5上，在Y方向引導軸5上連接Y方向驅(qū)動電機6、16。Y方向驅(qū)動電機6、16是步進電機等，若從控制裝置8提供Y軸方向的驅(qū)動脈沖信號，則使Y方向引導軸5旋轉(zhuǎn)。通過Y方向引導軸5的旋轉(zhuǎn)，裝載臺4相對基臺7沿Y軸方向移動。清潔機構(gòu)部14清潔液滴噴出頭10，防止噴嘴堵塞等。清潔機構(gòu)部14在上述清潔時，通過Y方向驅(qū)動電機16沿Y方向引導軸5移動。加熱器15使用燈退火等加熱手段熱處理基板11，在進行配置到基板11上的液體的蒸發(fā)、干燥的同時，進行變換成導電膜的熱處理。
在本實施方式的圖形形成裝置100中，邊從液滴噴出頭10噴出液體材料，邊經(jīng)X方向驅(qū)動電機3及Y方向驅(qū)動電機6使基板11與液滴噴出頭10相對移動，從而在基板11上配置液體材料。液滴從液滴噴出頭10的各噴嘴的噴出量由從控制裝置8提供給所述壓電元件的電壓控制。另外，配置在基板11上的液滴間距由上述相對移動的速度、及液滴噴出頭10的噴出頻率(對壓電元件的驅(qū)動電壓的頻率)控制。另外，在基板11上開始滴液的位置由上述相對移動的方向、及上述相對移動時的液滴噴出頭10的液滴噴出開始定時控制等控制。由此，在基板11上形成上述布線用的導電膜圖形。
下面，說明等離子體型顯示裝置，作為本發(fā)明的光電裝置的一例。圖13表示本實施方式的等離子體型顯示裝置500的分解立體圖。等離子體型顯示裝置500包含彼此相對配置的基板501、502及形成于其間的放電顯示部510。放電顯示部510聚合多個放電室516。多個放電室516中，紅色放電室516(R)、綠色放電室516(G)、藍色放電室516(B)等3個放電室516成對配置，構(gòu)成1象素。
在基板501的上面以規(guī)定間隔形成帶狀尋址電極511，形成電介質(zhì)層519，覆蓋尋址電極511與基板501的上面。
在電介質(zhì)層519上，位于尋址電極511、511之間并且沿各尋址電極511地形成隔壁515。隔壁515包含鄰接于尋址電極511的寬度方向左右兩側(cè)的隔壁、和沿與尋址電極511正交的方向延伸設(shè)置的隔壁。另外，對應(yīng)于隔壁515分割的長方形狀的區(qū)域，形成放電室516。另外，在由隔壁515區(qū)分的長方形狀的區(qū)域內(nèi)側(cè)配置熒光體517。熒光體517發(fā)光紅、綠、藍之一的熒光，分別在紅色放電室516(R)的底部配置紅色熒光體517(R)，在綠色放電室516(G)的底部配置綠色熒光體517(G)，在藍色放電室516(B)的底部配置藍色熒光體517(B)。
另一方面，在基板502中沿與在先的尋址電極511正交的方向以規(guī)定間隔形成帶狀的多個顯示電極512。并且，覆蓋這些電極地形成電介質(zhì)層513及由MgO等構(gòu)成的保護膜514?；?01與基板502相對彼此緊貼，使所述尋址電極511...與顯示電極512...彼此正交。上述尋址電極511與顯示電極512連接于未圖示的交流電源上。通過向各電極通電，在放電顯示部510中熒光體517激勵發(fā)光，可進行彩色顯示。
在本實施方式中，上述尋址電極511及顯示電極512分別使用在先的圖12所示的圖形形成裝置，根據(jù)在先的圖1-圖11所示圖形形成方法形成。因此，難以產(chǎn)生上述各布線類的斷路或短路等故障，并且可高噴出量地制造。
下面說明液晶裝置，作為本發(fā)明的光電裝置的另一例。圖14表示本實施方式的液晶裝置第1基板上的信號電極等的平面布置。本實施方式的液晶裝置大致由該第1基板、設(shè)置掃描電極等的第2基板(未圖示)、和封入第1基板與第2基板之間的液晶(未圖示)構(gòu)成。
如圖14所示，在第1基板300上的象素區(qū)域303中，將多個信號電極310...設(shè)置成多重矩陣狀。具體而言，各信號電極310...由對應(yīng)于各象素設(shè)置的多個象素電極部分310a...、和將這些象素電極部分連接成多重矩陣狀的信號布線部分310b...構(gòu)成，沿Y方向延伸。另外，符號350是單芯片結(jié)構(gòu)的液晶驅(qū)動電路，該液晶驅(qū)動電路350與信號布線部分310b...的一端側(cè)(圖中下側(cè))經(jīng)第1繞回布線331...連接。另外，符號340...是上下導通端子，該上下導通端子340...與未圖示的設(shè)置在第2基板上的端子由上下導通材料341連接。另外，上下導通端子340...與液晶驅(qū)動電路350經(jīng)第2繞回布線332...連接。
在本實施方式中，設(shè)置在上述第1基板300上的信號布線部分310b...、第1繞回布線331...及第2繞回布線332...分別使用在先的圖12所示的圖形形成裝置，根據(jù)用在先的圖1-圖11所示的圖形形成方法形成。因此，難以產(chǎn)生上述各布線類的斷路或短路等故障，并且可高噴出量制造。另外，即使在適用于大型化的液晶用基板的制造的情況下，也可有效使用布線用材料，實現(xiàn)低成本化。另外，本發(fā)明可適用的器件不限于這些光電裝置，例如也可適用于形成導電膜布線的電路基板、或半導體安裝布線等其它器件制造。
下面，說明作為本發(fā)明的光電裝置的液晶顯示裝置的另一形態(tài)。
圖15所示液晶顯示裝置(光電裝置)901大體上具備彩色的液晶面板(光電面板)902、和連接于液晶面板902上的電路基板903。另外，必要時，在液晶面板902中附設(shè)背景燈等照明裝置等附帶機器。
液晶面板902具有由密封材料904粘接的一對基板905a及基板905b，在形成于這些基板905a及基板905b之間的間隙、所謂的單元間隙中封入液晶。這些基板905a及基板905b一般由透光性材料、例如玻璃、合成樹脂等形成。在基板905a及基板905b的外側(cè)表面粘貼偏振光板906a及偏振光板906b。另外，圖15中省略偏振光板906b的圖示。
另外，在基板905a的內(nèi)側(cè)表面形成電極907a，在基板905b的內(nèi)側(cè)表面形成電極907b。這些電極907a、907b形成為帶狀或文字、數(shù)字等適宜圖形狀。另外，這些電極907a、907b例如由ITO(Indium Tin Oxide銦錫氧化物)等透光性材料形成。基板905a具有相對基板905b伸出的伸出部，在該伸出部形成多個端子908。這些端子908在基板905a上形成電極907a的同時，與電極907a同時形成。因此，這些端子908例如由ITO形成。這些端子908中包含從電極907a一體延伸的端子、和經(jīng)導電材料(未圖示)連接于電極907b上的端子。
在電路基板903中，在布線基板909上的規(guī)定位置上安裝作為液晶驅(qū)動用IC的半導體元件900。另外，雖然省略圖示，但也可在安裝半導體元件900的部位以外的部位的規(guī)定位置上安裝阻抗、電容等芯片部件。布線基板909例如通過對在聚酰亞胺等具有柔性的基體基板911上形成的Cu等金屬膜進行圖形化而形成布線圖形912來制造。
在本實施方式中，通過上述器件制造方法來形成液晶面板902中的電極907a、907b及電路基板903中的布線圖形912。
根據(jù)本實施方式的液晶顯示裝置，可得到消除電氣特性不均勻的高品質(zhì)液晶顯示裝置。
另外，上述實例是無源型液晶面板，但也可是有源矩陣型液晶面板。即，在一個基板上形成薄膜晶體管(TFT)，對各TFT形成象素電極。另外，如上所述使用噴墨技術(shù)，可形成電連接于各TFT上的布線(柵極布線、源極布線)。另一方面，在相對的基板上形成相對電極等。本發(fā)明也可適用于這種有源矩陣型液晶面板。
下面，說明具備場致發(fā)射元件(放電元件)的場致發(fā)射顯示器(FieldEmission Display，下面稱為FED。)，作為光電裝置的其它實施方式。
圖16是說明FED的圖，圖16(a)是表示構(gòu)成FED的陰極基板與陽極基板的配置的示意結(jié)構(gòu)圖，圖16(b)是FED中陰極基板具備的驅(qū)動電路的模式圖，圖16(c)是表示陰極基板主要部分的立體圖。
如圖16(a)所示，F(xiàn)ED(光電裝置)200為相對配置陰極基板200a與陽極基板200b的結(jié)構(gòu)。陰極基板200a如圖16(b)所示，具備柵極線201、發(fā)射極線202和連接于柵極線201與發(fā)射極線202上的場致發(fā)射元件203，即為所謂的簡單矩陣驅(qū)動電路。在柵極線201中提供柵極信號V1、V2、...Vm，在發(fā)射極線202中提供發(fā)射極信號W1、W2、...Wn。另外，陽極基板200b具備由RGB構(gòu)成的熒光體，該熒光體具有通過電子沖擊而發(fā)光的性質(zhì)。
如圖16(c)所示，場致發(fā)射元件203具備連接于發(fā)射極線202上的發(fā)射極電極203a、和連接于柵極線201上的柵極電極203b。并且，發(fā)射極電極203a具備從發(fā)射極電極203a側(cè)向柵極電極203b直徑變小的被稱為發(fā)射極錐面205的突起部，在與該發(fā)射極錐面205對應(yīng)的位置上，于柵極電極203b中形成孔部204，在孔部204內(nèi)配置發(fā)射極錐面205的前端。
在這種FED200中，通過控制柵極線201的柵極信號V1、V2、...Vm及發(fā)射極線202的發(fā)射極信號W1、W2、...Wn，向發(fā)射極電極203a與柵極電極203b之間提供電壓，電子210由于電解的作用而從發(fā)射極錐面205向孔部204移動，從發(fā)射極錐面205的前端發(fā)射電子210。這里，由于該電子210與陰極基板200b的熒光體通過沖擊而發(fā)光，所以可期望地驅(qū)動FED200。
在如此構(gòu)成的FED中，例如通過上述器件制造方法來形成發(fā)射極電極203a或發(fā)射極線202、及柵極電極203b或柵極線201。
根據(jù)本實施方式的FED，可得到消除電氣特性不均勻的高品質(zhì)FED。
下面，說明本發(fā)明的電子機器。圖17是表示具備上述實施方式的顯示裝置的移動型個人計算機(信息處理裝置)的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖中，個人計算機1100由具備鍵盤1102的主體部1104、和具備上述光電裝置1106的顯示裝置單元構(gòu)成。因此，可提供具備發(fā)光效率高的亮的顯示部的電子機器。
另外，除上述實例外，作為其它實例，例如便攜電話、手表型電子機器、液晶電視、取景器型或監(jiān)視器直視型磁帶錄像機、汽車導航裝置、尋呼機、電子計算器、電腦、文字處理器、工作站、電視電話、POS終端、電子報紙、具備觸板的設(shè)備等。本發(fā)明的光電裝置也可適用為電子機器的顯示部。另外，本實施方式的電子機器具備液晶裝置，也可以是具備有機場致發(fā)光顯示裝置、等離子體型顯示裝置等其它光電裝置的電子機器。
上面，參照附圖來說明根據(jù)本發(fā)明的最佳實施方式，但本發(fā)明不限于此。上述示例所示的各結(jié)構(gòu)部件的諸形狀或組合等是一例，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思的范圍下，可根據(jù)設(shè)計要求等進行各種變更。
權(quán)利要求
1.一種圖形形成方法，通過在基板上配置液體材料的液滴來形成膜圖形，其特征在于，在所述基板上排列設(shè)定多個形成所述膜圖形的圖形形成區(qū)域，在所述多個圖形形成區(qū)域中，設(shè)定從所述膜圖形的側(cè)部形成的第1圖形形成區(qū)域、和從所述膜圖形的中央部形成的第2圖形形成區(qū)域，在所述第1、第2圖形形成區(qū)域中分別配置所述液滴，形成所述膜圖形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形形成方法，其特征在于，具有大致同時向所述第1、第2圖形形成區(qū)域分別配置所述液滴的工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的圖形形成方法，其特征在于，具有在所述第1、第2圖形形成區(qū)域的任一方中配置所述液滴的工序。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的圖形形成方法，其特征在于，在所述第1圖形形成區(qū)域中，在形成所述側(cè)部后，形成中央部，在所述第2圖形形成區(qū)域中，在形成所述中央部后，形成側(cè)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的圖形形成方法，其特征在于，對應(yīng)于所述第1、第2圖形形成區(qū)域，分別設(shè)置多個配置所述液滴的噴出部，在所述圖形形成區(qū)域的排列方向上邊移動所述噴出部，邊配置所述液滴。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的圖形形成方法，其特征在于，具有形成在所述第1圖形形成區(qū)域中形成的第1膜圖形的一方側(cè)部的工序；在形成所述第1膜圖形的另一方側(cè)部的同時、形成在所述第2圖形形成區(qū)域中形成的第2膜圖形的中央部的工序；和在形成所述第1膜圖形的中央部的同時、形成所述第2膜圖形的一方及另一方中任一側(cè)部的工序。
7.一種圖形形成方法，通過在基板上配置液體材料的液滴來形成膜圖形，其特征在于，具有第1工序，在所述基板上排列形成多個所述膜圖形時，形成所述多個膜圖形中第1膜圖形的第1區(qū)域；第2工序，在形成所述第1膜圖形的第2區(qū)域的同時，形成第2膜圖形的第1區(qū)域和第3工序，在形成所述第1膜圖形的第3區(qū)域的同時，形成所述第2膜圖形的第2區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖形形成方法，其特征在于，具有在所述第3工序后形成所述第2膜圖形的第3區(qū)域的第4工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的圖形形成方法，其特征在于，所述液體材料是包含導電性微粒子的液狀體。
10.一種圖形形成裝置，具備在基板上配置液體材料的液滴的液滴噴出裝置，由所述液滴來形成膜圖形，其特征在于，所述液滴噴出裝置，從側(cè)部形成在事先排列設(shè)定在所述基板上的、形成所述膜圖形的多個圖形形成區(qū)域中第1圖形形成區(qū)域中形成的第1膜圖形，從中央部形成在第2圖形形成區(qū)域中形成的第2膜圖形。
11.一種圖形形成裝置，具備在基板上配置液體材料的液滴的液滴噴出裝置，由所述液滴在所述基板上形成多個膜圖形，其特征在于，所述液滴噴出裝置，在形成第1膜圖形的第1區(qū)域后，形成所述第1膜圖形的第2區(qū)域，同時，形成第2膜圖形的第1區(qū)域，接著，形成所述第1膜圖形的第3區(qū)域，同時，形成第2膜圖形的第2區(qū)域。
12.一種器件的制造方法，所述器件具有布線圖形，其特征在于，具有材料配置工序，通過對多個排列設(shè)定在所述基板上的、形成所述布線圖形的圖形形成區(qū)域分別配置液體材料的液滴，形成所述布線圖形，所述材料配置工序，在所述多個圖形形成區(qū)域中，設(shè)定從所述布線圖形的側(cè)部形成的第1圖形形成區(qū)域、和從所述布線圖形的中央部形成的第2圖形形成區(qū)域，在所述第1、第2圖形形成區(qū)域中分別配置所述液滴，形成所述布線圖形。
13.一種器件的制造方法，所述器件具有布線圖形，其特征在于，具有材料配置工序，通過在基板上配置液體材料的液滴，形成多個布線圖形，所述材料配置工序具有第1工序，形成所述多個布線圖形中第1布線圖形的第1區(qū)域；第2工序，在形成所述第1布線圖形的第2區(qū)域的同時，形成第2布線圖形的第1區(qū)域；和第3工序，在形成所述第1布線圖形的第3區(qū)域的同時，形成所述第2布線圖形的第2區(qū)域。
14.一種導電膜布線，其特征在于，由權(quán)利要求10或11所述的圖形形成裝置形成。
15.一種光電裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求14所述的導電膜布線。
16.一種電子機器，其特征在于，具備權(quán)利要求15所述的光電裝置。
全文摘要
一種圖形形成方法，通過在基板(11)上配置液體材料的液滴來形成線性膜圖形(W1)、(W2)，在基板(11)上排列設(shè)定多個形成膜圖形的圖形形成區(qū)域(R1)、(R2)，在多個圖形形成區(qū)域(R1)、(R2)中，設(shè)定從膜圖形的線寬方向側(cè)部形成的第1圖形形成區(qū)域(R1)、和從膜圖形的線寬方向中央部形成的第2圖形形成區(qū)域(R2)，在第1、第2圖形形成區(qū)域(R1)、(R2)中分別配置液滴，形成膜圖形(W1)、(W2)。根據(jù)本發(fā)明的圖形形成方法，在從多個排列的噴出噴嘴中分別噴出液滴來形成膜圖形時，即使膜圖形間距在設(shè)計值上進行各種變更也可高效形成膜圖形。
文檔編號H01L21/00GK1538799SQ20041000783
公開日2004年10月20日 申請日期2004年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月11日
發(fā)明者平井利充, 長谷井宏宣, 宏宣 申請人:精工愛普生株式會社