專利名稱：半導體激光器腔面鍍膜用柔性夾具的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明屬于半導體激光器器件工藝技術(shù)領域，是一種于半導體激光器腔面鍍膜工序中的夾具，可實現(xiàn)對解理條的柔性夾持。
背景技術(shù)：
在半導體激光器器件制造過程中，需要對解理條腔面一端鍍反射膜，另一端鍍增透膜，如何固定解理條是一個技術(shù)問題，具體講就是設計一個怎樣的夾具。在現(xiàn)有技術(shù)中，申請?zhí)枮?2151295.7的一件中國發(fā)明專利申請公開了一項有關這方面夾具的技術(shù)方案，其具體方案見圖1所示，在一個厚2毫米的不銹鋼圓片1上，平行開若干條狹縫2，狹縫2要開透，在與狹縫2垂直的方向上拉上若干條細絲3，每根細絲3的兩端捆綁在捆綁點4處。操作中將一面系有細絲3的圓片1翻過來，將解理條放置在狹縫2中，放滿后，在圓片1此時朝上的一面也像另一面那樣系上細絲3，完成了對解理條的固定。這種夾具實現(xiàn)了無損傷、批量夾持解理條的技術(shù)目的。

發(fā)明內(nèi)容
現(xiàn)有技術(shù)中的夾具其主要弊端表現(xiàn)在，見圖2所示，為了能使夾具具有較寬的適用范圍，將狹縫2的寬度B設計為大于解理條的厚度T、小于解理條的高度h(該申請文件稱其為解理條的寬度，不管怎樣說都是解理條的腔長尺寸)，這樣的話就可以說只要解理條不倒，傾斜也是可以的。那么，在鍍膜過程中蒸鍍材料如二氧化硅等就不可避免地被鍍到解理條兩側(cè)面P、N兩電極上，這將嚴重影響器件的性能。另外，所放入的解理條長短不一，攔擋用的細絲3又很細，如0.01～0.10毫米，使得這種夾具使用起來并不得心應手，或者說有些拗手，細絲3本身還遮擋了一部分腔面，一定程度上影響了鍍膜質(zhì)量，而且，在鍍膜的過程中解理條還有可能脫落。為了提供一種即能無損傷、批量夾持解理條，又有一定的關于解理條厚度方面的適應范圍，還能確保各個解理條均處于垂直狀態(tài)、裝夾操作簡便準確、夾持牢固的夾具，我們發(fā)明了本發(fā)明之半導體激光器腔面鍍膜用柔性夾具。
本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，見圖3、圖4、圖5、圖6所示，在夾具箱體5的上部設置若干個相互等距的靜夾口6，若干個動夾口7插入到動夾口7的保持架8上面的插槽9中，動夾口7是具有一定彈性的薄片，然后將這一部分整體自夾具箱體5下部放入其中，各個動夾口7的上端穿入各個靜夾口6之間的狹縫10中，各個動夾口7與各個靜夾口6的上端齊平，將兩個滑塊11分別放入夾具箱體5兩側(cè)面的滑槽12中，并分別固定于保持架8的兩個側(cè)面上，滑塊11可以在滑槽12中在一定行程內(nèi)來回平移，在每個滑塊11的一端有一個推擋13，在推擋13與滑槽12之間放入一個施力彈簧14，在夾具箱體5的一個端面如右端面開一個絲孔15，自此旋入一個絲頂向左推移保持架8，可壓縮施力彈簧14，在動夾口7與靜夾口6之間形成縫隙，將待鍍膜的解理條插入該縫隙中，之后，將絲頂旋出一定程度，此時，由施力彈簧14施以的彈力通過具有彈性的動夾口7作用于解理條上，實現(xiàn)柔性、穩(wěn)固、準確的夾持。
本發(fā)明的效果在于，由于本發(fā)明之夾具仍開有若干個夾口，所以仍可以進行批量操作。本發(fā)明之柔性有兩層含義，一是它可以適用于一定厚度范圍的解理條；二是解理條所受到的夾持力是一種彈力。這是因為在靜夾口6之間留有較大空間，因而在動夾口7與靜夾口6之間也就存在較大回轉(zhuǎn)空間，再加上施以的夾持力來自施力彈簧14，并且還是通過具有彈性的動夾口7間接施加，而且還可通過調(diào)整絲頂來調(diào)整所施加的力的大小，因此，所說的柔性便產(chǎn)生了，因而也就實現(xiàn)了無損傷、寬厚度范圍、穩(wěn)固、操作簡便準確夾持解理條的發(fā)明目的。又由于不管有怎樣厚度差別的解理條最后都是緊靠在靜夾口6的側(cè)壁上保持垂直狀態(tài)，緊緊貼在解理條兩側(cè)的靜夾口6、動夾口7不僅起到夾持作用，還有遮蔽作用，從而從根本上防止了將蒸鍍材料鍍在解理條的P、N兩電極上，克服了上文介紹的現(xiàn)有技術(shù)的最大弊端。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)之夾具示意圖。圖2是對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題所做分析示意圖。圖3是本發(fā)明之夾具主體三視圖。圖4是本發(fā)明之夾具動夾口保持架主、俯視圖。圖5是本發(fā)明之夾具動夾口主、左視圖。圖6是本發(fā)明之夾具滑塊主、附視圖。圖7是本發(fā)明之夾具夾口框主、左視圖。圖8是本發(fā)明之夾具動夾口插槽形態(tài)放大示意圖。圖9是本發(fā)明之夾具動夾口上端做倒角處理及動夾口、解理條、靜夾口三者狀態(tài)關系示意圖。圖10是本發(fā)明之夾具動夾口、解理條、靜夾口三者狀態(tài)關系的一種特殊形態(tài)示意圖。
具體實施例方式
夾具主體包括夾具箱體5、靜夾口6部分采用不銹鋼或者黃銅材料制作，靜夾口6厚度為1.5毫米，靜夾口6之間的距離為1.5～4.0毫米。設計一種夾口框16，見圖7所示，由黃銅材料制作，框內(nèi)尺寸與各靜夾口6的分布的周邊尺寸相同，其高度也與靜夾口6的高度相同，在插入完解理條之后，將夾口框16套在靜夾口6周邊，并用螺絲固定在夾具箱體5上，其作用有兩個，一是防止解理條從兩側(cè)滑落，進一步固定解理條；二是防止解理條暴露在外的側(cè)端面被鍍上膜層。動夾口7采用0.1～0.2毫米厚的磷青銅板或者聚四氟乙烯板制作。保持架8采用黃銅材料制作，上面的插槽9的形態(tài)見圖8所示，它做θ角傾斜，如2°，使得插入插槽9中的動夾口7隨著絲頂?shù)木徛龆鴥A斜接近解理條，由線接觸漸進發(fā)展為面接觸，接觸面由小到大，無損傷地夾持解理條，施加到解理條上的力一般控制在0.01千克力為佳。在保持架8上，對應每一個插槽9，都有一個有著圓錐形頭部的動夾口7固定絲頂17，當把動夾口7插入插槽9中后，旋緊該固定絲頂17即可將動夾口7固定住。各個固定絲頂17分散分布在保持架8的底部。動夾口7在插槽9中的固定方式還可以是，先在動夾口7插入插槽9的部分兩側(cè)各沖一個微小凸起，由于插槽9的寬度略比動夾口7的厚度大一些，因此，當將動夾口7插入到插槽9中時，靠這兩個微小凸起就能使動夾口7脹緊在插槽9中?；瑝K11也采用黃銅材料制作，它在滑槽12中的行程視靜夾口6之間的距離而定，可在2.0～4.5毫米范圍內(nèi)確定。施力彈簧14是一種耐熱彈簧。在將解理條插入靜夾口6和動夾口7之間的縫隙時，應將夾具箱體5翻過來，靜夾口6朝下，放在一個平面上，同時也要使動夾口7也都落在這一平面上，見圖9所示，插入的解理條18其待鍍膜腔面19與靜夾口6、動夾口7的端面處在同一平面上，靜夾口6、動夾口7既起到夾持解理條18的作用，也起到掩蔽解理條18N、P電極的作用。不過，為防止在從夾具中取下解理條18時因粘連而破壞有源區(qū)20腔面所鍍膜層，可將動夾口7上端面靠解理條18有源區(qū)20一側(cè)倒一θ′角，如45°。為解決這一問題，也可采取以下設計，見圖10所示，將夾具箱體5兩端的靜夾口6設計出一個臺階21，它高出其它靜夾口6上端面20～50微米，裝夾時使解理條18的腔面19與該臺階21高度相等，而其它靜夾口6、動夾口7的上端面都低于20～50微米，避免因粘連而破壞有源區(qū)20腔面所鍍膜層。
權(quán)利要求
1.一種半導體激光器腔面鍍膜用夾具，在夾具上形成若干條縫隙，用于夾持解理條，其特征在于，在夾具箱體(5)的上部設置若干個相互等距的靜夾口(6)，若干個動夾口(7)插入到動夾口(7)的保持架(8)上面的插槽(9)中，動夾口(7)是具有一定彈性的薄片，然后將這一部分整體自夾具箱體(5)下部放入其中，各個動夾口(7)的上端穿入各個靜夾口(6)之間的狹縫(10)中，各個動夾口(7)與各個靜夾口(6)的上端齊平，將兩個滑塊(11)分別放入夾具箱體(5)兩側(cè)面的滑槽(12)中，并分別固定于保持架(8)的兩個側(cè)面上，滑塊(11)可以在滑槽(12)中在一定行程內(nèi)來回平移，在每個滑塊(11)的一端有一個推擋(13)，在推擋(13)與滑槽(12)之間放入一個施力彈簧(14)，在夾具箱體(5)的一個端面如右端面開一個絲孔(1)5，自此旋入一個絲頂向左推移保持架(8)，可壓縮施力彈簧(14)，在動夾口(7)與靜夾口(6)之間形成縫隙，將待鍍膜的解理條插入該縫隙中，之后，將絲頂旋出一定程度，此時，由施力彈簧(14)施以的彈力通過具有彈性的動夾口(7)作用于解理條上，實現(xiàn)柔性、穩(wěn)固、準確的夾持。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，設計一種夾口框(16)，框內(nèi)尺寸與各靜夾口(6)的分布的周邊尺寸相同，其高度也與靜夾口(6)的高度相同，夾口框(16)套在靜夾口(6)周邊，并用螺絲固定在夾具箱體(5)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，動夾口(7)可采用0.1～0.2毫米厚的磷青銅板或者聚四氟乙烯板制作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，動夾口(7)可采用0.1～0.2毫米厚的聚四氟乙烯板制作。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，保持架(8)上面的插槽(9)做θ角傾斜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，在保持架(8)上，對應每一個插槽(9)，都有一個有著圓錐形頭部的動夾口(7)固定絲頂(17)，當把動夾口(7)插入插槽(9)中后，旋緊該固定絲頂(17)即可將動夾口(7)固定住，并且，各個固定絲頂(17)分散分布在保持架(8)的底部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，動夾口(7)插入插槽(9)的部分兩側(cè)各被沖有一個微小凸起。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，滑塊(11)在滑槽(12)中的行程視靜夾口(6)之間的距離而定，可在2.0～4.5毫米范圍內(nèi)確定。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，動夾口(7)上端面靠解理條(18)有源區(qū)(20)一側(cè)倒一θ′角。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，夾具箱體(5)兩端的靜夾口(6)被設計出一個臺階(21)，它高出其它靜夾口(6)上端面20～50微米。
全文摘要
半導體激光器腔面鍍膜用柔性夾具屬于半導體激光器器件工藝技術(shù)領域，是一種于半導體激光器腔面鍍膜工序中的夾具，可實現(xiàn)對解理條的柔性夾持?，F(xiàn)有技術(shù)中的相關夾具存在夾持松散、裝夾拗手、易使鍍膜材料鍍在解理條電極上等弊端。本發(fā)明之夾具由夾具箱體、靜夾口、動夾口、保持架、滑塊、施力彈簧、夾口框等部件組成，動夾口是一種具有彈性的薄片，它傾斜地固定在保持架上，保持架經(jīng)滑塊可在夾具箱體中左右平移，夾持力源于施力彈簧，解理條插入靜夾口與動夾口之間的縫隙中，這一縫隙有一定的寬度適應范圍，解理條受到的夾持力是一種彈力，并且再次通過彈性的動夾口漸進施加，實現(xiàn)了柔性、穩(wěn)固、輕易夾持。
文檔編號H01S5/00GK1563476SQ20041002971
公開日2005年1月12日 申請日期2004年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月24日
發(fā)明者趙英杰, 王玉霞, 張寶順, 晏長嶺, 王曉華, 楊立保 申請人:長春理工大學