專利名稱：閥金屬粉末和使用該閥金屬粉末的固體電解電容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及固體電解電容器以及用于該電容器的閥金屬(valve metal)粉末，該固體電解電容器使用通過燒結(jié)使金屬粉末和引線部分(lead section)一體化而制作的陽極，該陽極具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中閥金屬粉末在一閥金屬基體材料上積聚成一層。
背景技術(shù)：
在閥金屬基體材料上模制閥金屬粉末層的情況下，例如，如在日本未審專利公開號2003-209028中所描述的，通過使用閥金屬粉末制造分散液體(漿液)，利用工業(yè)方法比如金屬掩模印刷將其模制，并且在真空中燒結(jié)，使閥金屬基體材料和層狀粉末模制部分一體化，能夠使用它作為固體電解電容器的陽極。
然而，常規(guī)地，根據(jù)使用閥金屬粉末作為其陽極的電容器類型，例如鉭電容器，通過所謂干壓(dry press)的工業(yè)方法臨時(shí)模制閥金屬粉末，然后通過燒結(jié)制成陽極。此時(shí)，使用閥金屬粉末的凝聚粉末。然而，凝聚粉末的粒徑(particle size)分布具有大約100μm的中央粒徑，并且分布范圍從大約10μm到200μm。
如果在上述漿液上通過擴(kuò)散這種在干壓法中使用的凝聚粉末而形成粉末層，那么燒結(jié)時(shí)不會出現(xiàn)閥金屬基體材料和凝聚粉末之間的充分密合(welding)，而容易出現(xiàn)分層(flaking)。此外，孔隙(孔狀空腔)很可能出現(xiàn)在粉末模制部分的層中，這種孔隙的出現(xiàn)不僅降低產(chǎn)品合格率，而且已經(jīng)引起固體電解電容器性能的惡化。
下面將參考附圖描述孔隙的出現(xiàn)。圖2是說明使用用于干壓的粉末制成的固體電解電容器陽極的示例圖。
當(dāng)閥金屬粉末凝聚時(shí)，使用一種方法，其中通過加熱使該粉末(初級粒子)弱鍵合(bond)，以便得到凝聚粉末(次級粒子)。然而，在大凝聚粉末比如中央粒徑調(diào)節(jié)到大約100μm的用于干壓法的凝聚粉末的情況下，該粉末的燒結(jié)已經(jīng)通過凝聚工序中的加熱退化了。因此，如上所述，存在的問題是，燒結(jié)時(shí)在閥金屬基體材料和凝聚粉末之間不會出現(xiàn)充分的密合。
此外，由于孔隙來源于凝聚粉末粒子之間的間隙，那么在使用大凝聚粉末的情況下，這些間隙變大并且很可能會出現(xiàn)孔隙。
下面將參考附圖描述由于燒結(jié)收縮而導(dǎo)致的開裂和翹曲(warping)。圖3是說明使用非凝聚粉末制作的固體電解電容器陽極的示例圖。
在使用具有大約0.3μm的中央粒徑和大約0.2μm至1μm分布范圍的非凝聚粉末的情況下，不進(jìn)行加熱凝聚工序。因此，燒結(jié)度非常高，并且與閥金屬基體材料的密合能夠充分。然而，在燒結(jié)期間由于收縮而導(dǎo)致的變形變大，出現(xiàn)粉末層的開裂，或者上面密合有粉末層的閥金屬基體材料出現(xiàn)翹曲。因此，再次降低了電容器的性能和合格率。

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，關(guān)于制造具有在閥金屬基體材料上將閥金屬粉末積聚成一層的結(jié)構(gòu)的固體電解電容器的陽極，閥金屬粉末的粒徑分布對電容器的性能和合格率具有很大的影響。因此，本發(fā)明的目的是提供一種具有最優(yōu)化粒徑分布的閥金屬粉末以及使用該閥金屬粉末的固體電解電容器。
根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的閥金屬粉末是用于制造一陽極的凝聚粉末，該陽極具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中將閥金屬粉末在閥金屬基體材料上模制成一層，并且該閥金屬粉末含有至少90％的粉末其粒徑在1μm至50μm的范圍內(nèi)。
而且，最好含有至少所有粉末的90％其粒徑范圍在1 μm至30μm之內(nèi)。
此外，優(yōu)選BET比表面積和比重(d25)的乘積大于17m2/g。
此外，最好上述閥金屬是鉭、鉭合金、鈮或者鈮合金。
使用根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的閥金屬粉末制造根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器陽極的示例圖。
圖2是表示使用干壓粉末制成的固體電解電容器陽極的示例圖。
圖3是表示使用非凝聚粉末制成的固體電解電容器陽極的示例圖。
圖4是在本發(fā)明的第一例中制成的固體電解電容器陽極的外觀照片。
圖5是在第一比較例中制成的固體電解電容器陽極的外觀照片。
圖6是在第三比較例中制成的固體電解電容器陽極的外觀照片。
具體實(shí)施例方式
圖1是表示根據(jù)本發(fā)明用于固體電解電容器的陽極的示例圖。
關(guān)于制造具有在閥金屬基體材料上將閥金屬粉末積聚成一層的結(jié)構(gòu)的固體電解電容器的陽極，在通過比如金屬掩模印刷的工藝?yán)瞄y金屬粉末分散液體形成粉末層之前，利用適當(dāng)?shù)姆椒ê蜅l件對在閥金屬粉末分散液體中使用的粉末進(jìn)行造粒(granulation)和煅燒，以便產(chǎn)生粒徑分布限制在恒定范圍內(nèi)的凝聚粉末。結(jié)果，能夠控制在該陽極的燒結(jié)和模制期間出現(xiàn)的該粉末層的開裂、翹曲、孔隙和分層，使得能夠改善固體電解電容器的性能和合格率。
用于根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的閥金屬粉末是用于制造一陽極的凝聚粉末，該陽極具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中閥金屬粉末在閥金屬基體材料上模制成一層，并且該閥金屬粉末中至少90％的粉末的粒徑在1μm至50μm的范圍內(nèi)。
此外，最好上述閥金屬是鉭、鉭合金、鈮或者鈮合金。根據(jù)所需要的電容特性、成本等選擇要使用的閥金屬。
作為獲得閥金屬凝聚粉末的一種方法，首先，有一種由預(yù)先經(jīng)過還原的閥金屬初級粉末制造凝聚粉末的方法；例如，包括利用金屬鈉還原氟鉭酸鉀以便制造金屬鉭初級粒子，此后，在真空或者惰性氣體氣氛中煅燒所得到的金屬鉭初級粒子，以便獲得金屬鉭塊(mass)，然后將其粉碎以便獲得凝聚粉末。其次，有一種通過最初轉(zhuǎn)化為氧化物形式的凝聚粉末并且將其還原來制造閥金屬凝聚粉末的方法；例如，包括造粒五氧化二鉭(tantalum pentoxide)初級粒子，并且在該氣氛中烘焙，以便轉(zhuǎn)化為五氧化二鉭凝聚粉末，然后利用金屬鎂還原，以便獲得閥金屬凝聚粉末。
不論是如在第一種方法中所描述的造粒閥金屬初級粒子，還是如在第二種方法中所描述的造粒閥金屬氧化物的初級粒子，都將取決于原料粉末(base powder)的粒徑及其粒徑分布，選擇和使用適當(dāng)?shù)姆椒ā?br> 作為造粒方法，存在干式造粒法和濕式造粒法。
關(guān)于干式造粒法，存在篩網(wǎng)(melt)造粒，其中在凝聚該粉末之后進(jìn)行粉碎，然后篩濾；攪拌混合造粒，其中在添加粘合劑的同時(shí)，通過使用攪拌葉片攪拌混合該粉末而進(jìn)行造粒；和滾動及流化(roll andfluidizing)干式造粒，其中在添加粘合劑的同時(shí)，通過使用壓縮空氣攪拌混合該粉末而進(jìn)行造粒。關(guān)于濕式造粒法，存在這樣一些方法，比如流化床造粒，其中通過反復(fù)噴射、干燥和涂覆由五氧化二鈮的精細(xì)粉末和純水構(gòu)成的懸浮液進(jìn)行造粒；和噴射干式造粒，其中通過類似地噴射和干燥該懸浮液進(jìn)行造粒。
通過至少將溶劑和可溶于溶劑的粘合劑包含到閥金屬凝聚粉末中來制造分散液體，所述閥金屬凝聚粉末是以上述方式得到的，其中至少所有粉末的90％包含在1μm至50μm的粒徑范圍內(nèi)，BET比表面積和比重(d25)的乘積優(yōu)選大于17m2/g。
在通過如下所述使閥金屬基體材料和粉末模制部分的一層一體化而獲得固體電解電容器陽極的燒結(jié)期間，具有超過90％的粉末在1μm至50μm的粒徑范圍內(nèi)用于防止變形、開裂和翹曲。
使用所獲得的分散液體，通過工業(yè)方法比如金屬掩模印刷在閥金屬基體材料上形成粉末層。此外，通過干燥除去溶劑之后，在真空中燒結(jié)產(chǎn)物，通過分解除去粘合劑，使閥金屬基體材料和粉末模制部分的一層一體化，由此獲得固體電解電容器的陽極。
關(guān)于以上述方式獲得的固體電解電容器的陽極，使用稱為陽極氧化的方法，其中在電解溶液中施加電壓，在陽極表面上形成作為電介質(zhì)的化學(xué)轉(zhuǎn)化涂層。然后在該化學(xué)轉(zhuǎn)化涂層上形成公知的作為固體電解質(zhì)層的半導(dǎo)體層，該半導(dǎo)體層由二氧化錳、聚吡咯(polypyrrole)等構(gòu)成。然后形成由石墨、銀等構(gòu)成的、被稱作陰極層的導(dǎo)電層，以便獲得固體電解電容器的元件(element)部分。在該元件部分上，附著用于安裝的外部電極端子和用于元件保護(hù)的樹脂外殼，并且進(jìn)行與最初的缺陷剔除(defect removal)相結(jié)合的高溫加壓老化，以便獲得根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器。
此外，對于將使用的閥金屬凝聚粉末來說，最好BET比表面積和比重(d25)的乘積大于17m2/g。
如果BET比表面積和比重(d25)的乘積大于17m2/g，那么在使用期間將充分證明要得到的固體電解電容器的電容。因此這是所期望的。
使用用于本發(fā)明的固體電解電容器的閥金屬粉末制造根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的陽極。
使用用于本發(fā)明的固體電解電容器的閥金屬粉末制造本發(fā)明的固體電解電容器。
第一例將比表面積為3.2m2/g、粒徑分布為0.3μm至5.0μm、和D50＝0.9μm的五氧化二鈮粉末300g和400g的純水裝到由氧化鋯制成的2升球磨機(jī)中之后，然后混合和擴(kuò)散15小時(shí)，得到混合和擴(kuò)散的五氧化二鈮精細(xì)粉末的懸浮液。
對于所得到的懸浮液，添加PVA以便構(gòu)成質(zhì)量百分濃度為0.5的固體。然后在流化床造粒裝置內(nèi)部重復(fù)懸浮液的噴射、干燥和涂覆，在80℃干燥所得到的粉末之后，在1250℃的溫度下烘焙，以便制造氧化鈮粉末的凝聚粉末。使用Mg蒸汽在1000℃的溫度下還原所得到的凝聚粉末之后，用鹽酸酸洗，然后進(jìn)一步與鎂(Mg)混合并且用鎂(Mg)還原、酸洗及在水中清洗，此后進(jìn)行真空干燥，以便獲得100g鈮金屬凝聚粉末。
表1和表2中示出了所得到的鈮金屬凝聚粉末的特性，比如粒徑分布?；旌弦陨鲜龇绞降玫降?00g的鈮金屬凝聚粉末、55g的由5％聚乙烯醇(Kuraray公司，PVA205-C)溶液和甲醇組成的混合溶劑，其中聚乙烯醇作為粘合劑，然后使用振動器(shaker)揉捏兩個(gè)小時(shí)，由此得到分散液體。
然后，使用通過在200μm厚的塑料片上提供3.0×4.0mm的矩形開口制成的印刷掩模，在作為基體材料的3.1mm×4.0mm×50μm厚的鈮箔上形成鈮分散液體層。然后在通過在105℃干燥10分鐘除去溶劑和水氣之后，在1×10-5托(Torr)的真空內(nèi)部在100℃烘焙20分鐘，以便產(chǎn)生鈮粉末中的燒結(jié)以及鈮箔和鈮粉末之間的燒結(jié)。結(jié)果，得到了粉末層的平均厚度為150μm(其中，50μm是基體材料的厚度)的固體電解電容器的陽極。
圖4示出了所得到的固體電解電容器陽極表面的外觀照片。這是沒有開裂、孔隙等的陽極。
關(guān)于上述固體電解電容器的陽極，通過使用0.1％的磷酸溶液和施加20V的電壓進(jìn)行陽極化處理，從而在該表面上形成作為電介質(zhì)的化學(xué)轉(zhuǎn)化涂層。將該條件下的陽極浸泡在質(zhì)量百分濃度為10的十二烷基苯磺酸鐵甲醇(iron dodecylbenzensulfonate methanol)溶液中5分鐘，取出之后，在空氣中使溶劑變干，然后在吡咯單體液體中浸泡5分鐘，取出之后，放置1小時(shí)，此后用甲醇清洗，從而在該化學(xué)轉(zhuǎn)化涂層上形成作為固體電解質(zhì)的導(dǎo)電的聚吡咯層。在該聚吡咯層上面通過漿液沉浸涂覆法按順序形成石墨層和銀層。然后在附著一外部電極端子之后，施加樹脂外殼，此后，通過在85℃的氣氛中施加6V電壓10個(gè)小時(shí)進(jìn)行老化，以便得到鈮固體電解電容器。
表3示出了所得到的鈮固體電解電容器的特性和合格率。
第一比較例以與第一例相同的方式得到100g的鈮金屬凝聚粉末，除了添加到懸浮液中的PVA的質(zhì)量百分濃度為3.0。
表1和表2示出了所得到的鈮金屬凝聚粉末的粒徑分布。與在第一例中得到的鈮金屬凝聚粉末比較，中心粒徑(D50)和分布范圍都更大。
此外，以與第一例相同的方式得到固體電解電容器的陽極。
圖5示出了所得到的固體電解電容器的陽極表面的外觀照片。與第一例不同，顯然存在許多稱作孔隙的孔狀空腔。此外，盡管從外觀照片看不明顯，但是當(dāng)碾碎時(shí)，會發(fā)現(xiàn)整個(gè)樣品的30％清楚地表現(xiàn)出基體材料和粉末層之間的局部分層。
使用所得到的固體電解電容器的陽極，以與第一例相同的方式得到鈮固體電解電容器。
表3示出了所得到的鈮固體電解電容器的特性和合格率。
與第一例比較，ESR(等效串聯(lián)電阻)和漏電流特性差，并且發(fā)現(xiàn)合格率有很大的差異。這是由于下列事實(shí)，即由于固體電解電容器陽極中的孔隙和分層，則首先增大了漏電流，相應(yīng)地在產(chǎn)品老化期間惡化了固體電解質(zhì)。



*1)比重(d25)是在25℃相對于水的質(zhì)量比*2)乘積是比表面積和比重(d25)的乘積[表3]

*1)電容測量條件120Hz，1Vrms，偏置電壓1.5V*2)漏電流測量條件施加額定電壓4V，1分鐘*3)ESR測量條件100Hz，1Vrms，偏置電壓1.5V第二例在850℃使用金屬鈉在400g的氟鉭酸鉀上進(jìn)行還原。然后在酸洗和水洗之后，在1200℃溫度下在1×10-5托的真空中經(jīng)過真空熱處理0.5小時(shí)，從而得到燒結(jié)塊。在8000rpm的轉(zhuǎn)速下使用錘型造粒機(jī)在燒結(jié)塊上進(jìn)行粉碎。然后，經(jīng)過與鎂(Mg)混合并且用鎂(Mg)還原、酸洗、水洗和真空干燥，從而得到100g的鉭金屬凝聚粉末。
表4和表5示出了所得到的鉭金屬凝聚粉末的特性，比如粒徑分布。
由于從鈮到鉭的變化，在固體電解電容器陽極的燒結(jié)期間使用1300℃的溫度。除此之外，以與第一工作例相同的方式得到固體電解電容器的陽極。
所得到的固體電解電容器陽極的外觀與第一例幾乎相同。
使用所得到的固體電解電容器的陽極，以與第一例相同的方式得到鉭固體電解電容器。
表6示出了所得到的鉭固體電解電容器的特性和合格率。
第二比較例除了將錘型造粒機(jī)的轉(zhuǎn)速變?yōu)?000rpm之外，以與第二例相同的方式得到100g的鉭金屬凝聚粉末。
表4和表5示出了所得到的鉭金屬凝聚粉末的特性，比如粒徑分布。與在第二例中得到的鉭金屬凝聚粉末相比，中心粒徑(D50)和范圍都更大。
此外，以與第二例相同的方式得到固體電解電容器的陽極。其外觀和分層程度與第一比較例幾乎相同。
使用所得到的固體電解電容器的陽極，以與第一例相同的方式得到鉭固體電解電容器。
表6示出了所得到的鉭固體電解電容器的特性和合格率。
當(dāng)比較第二例及第二比較例的電容器特性和合格率時(shí)，則以與第一例和第一比較例的方式相同，對于那些使用較大粒徑粉末的比較例來說，電容器性能和合格率差。



*1)比重(d25)是在25℃相對于水的質(zhì)量比*2)乘積是比表面積和比重(d25)的乘積

*1)電容測量條件120Hz，1Vrms，偏置電壓1.5V*2)漏電流測量條件施加額定電壓4V，1分鐘*3)ESR測量條件100Hz，1Vrms，偏置電壓1.5V第三例將比表面積為5.1m2/g、粒徑分布為0.2μm至3.0μm、和D50＝0.6μm的五氧化二鈮粉末300g和400g的純水裝到由氧化鋯制成的2升球磨機(jī)中之后，然后混合和擴(kuò)散15小時(shí)，得到懸浮液。
然后通過在200℃的溫度和14000rpm的盤轉(zhuǎn)速下將得到的懸浮液噴射到噴霧干燥器中使其干燥，然后在1200℃的溫度下烘焙所得到的粉末以制成氧化鈮粉末的凝聚粉末，從而制成氧化鈮凝聚粉末。使用Mg蒸汽在1000℃的溫度下還原所得到的凝聚粉末之后，用鹽酸酸洗，并進(jìn)一步與鎂(Mg)混合并且用鎂(Mg)還原、酸洗和水洗，此后進(jìn)行真空干燥，以便得到100g鈮金屬凝聚粉末。
表7和表8中示出了所得到的鈮凝聚粉末的特性，比如粒徑分布。
此外，以與第一例相同的方式，得到固體電解電容器的陽極。所得到的固體電解電容器陽極表面的外觀與第一例幾乎相同。
使用所得到的固體電解電容器的陽極，以與第一例相同的方式得到鈮固體電解電容器。
表9示出了所得到的鈮固體電解電容器的特性和合格率。所得到的鈮固體電解電容器的性能和合格率與第一例幾乎相同。
第三比較例對在第三例中使用的非凝聚五氧化二鈮粉末300g在1000℃的溫度下進(jìn)行Mg蒸汽還原之后，用鹽酸酸洗產(chǎn)物。此外，進(jìn)行與鎂(Mg)混合并且用鎂還原、酸洗、水洗和真空干燥，得到100g鈮金屬凝聚粉末。
表7和表8示出了所得到的鈮金屬凝聚粉末的粒徑分布。凝聚程度明顯減弱，中心粒徑(D50)以及范圍表現(xiàn)出接近于初級粒子的粒徑分布。
此外，以與第一例相同的方式得到固體電解電容器的陽極。
圖5示出了所得到的固體電解電容器的陽極表面的外觀照片。實(shí)際上所得到的所有的固體電解電容器陽極都出現(xiàn)了大的裂縫。這是由于下列事實(shí)，即由于在本比較例中使用的粉末沒有經(jīng)過熱凝聚工序，因此燒結(jié)程度非常高，粉末層在陽極燒結(jié)期間明顯收縮。
使用所得到的固體電解電容器的陽極，以與第一例相同的方式得到鈮固體電解電容器。
表9示出了所得到的鈮固體電解電容器的特性和合格率。
參照表9，與第三例比較，第三比較例的特性和合格率都差。



*1)比重(d25)是在25℃相對于水的質(zhì)量比*2)乘積是比表面積和比重(d25)的乘積[表9]

*1)電容測量條件120Hz，1Vrms，偏置電壓1.5V*2)漏電流測量條件施加額定電壓4V，1分鐘*3)ESR測量條件100Hz，1Vrms，偏置電壓1.5V在下列情況之間進(jìn)行比較關(guān)于制造固體電解電容器的陽極所要使用的閥金屬粉末的粒徑分布進(jìn)行優(yōu)化的情況(第一例)，其中該陽極具有將閥金屬粉末層積在閥金屬基體材料上的結(jié)構(gòu)；使用具有適用于干壓法粒徑分布的閥金屬粉末的情況(第一比較例)，所述干壓法是常規(guī)的固體電解電容器陽極的制造方法。由于適于干壓法的粉末需要高的流動性，因此粒徑變得比適于分散液體的粉末大(下文將具有適于干壓法粒徑的粉末稱為壓粉，將具有適于分散的粒徑的粉末稱為分散液體粉末)。
在第一比較例中，其中使用壓粉制造分散液體(漿液)，通過工業(yè)方法，比如金屬掩模印刷，在閥金屬基體材料上形成粉末層，在燒結(jié)時(shí)，在閥金屬基體材料和粉末之間沒有出現(xiàn)充分的密合，很可能出現(xiàn)分層。此外，燒結(jié)之后很可能在該粉末層上形成孔隙(孔狀空腔)。由于這些原因，如表3所示，降低了第一比較例的電容器性能和產(chǎn)品合格率。
與第一比較例相反，在通過使用具有適當(dāng)粒徑分布的粉末制成分散液體，而在閥金屬基體材料上形成粉末層的第一例中，沒有出現(xiàn)在第一比較例中出現(xiàn)的與燒結(jié)有關(guān)的問題，而且關(guān)于第一例的電容器性能和產(chǎn)品合格率，如表3所示，示出了良好的結(jié)果。
這些結(jié)果表示出與在第一例和第一比較例中看到的使用鈮作為閥金屬的情況、甚至在第二例和第二比較例中看到的使用鉭作為閥金屬的情況類似的結(jié)果。
如表7和表8的粒徑分布所示出的，第三比較例是將非凝聚初級粒子粉末用于閥金屬粉末的情況。在使用初級粒子的第三比較例中，雖然閥金屬基體材料和粉末層之間的密合變得充分了，但是由于燒結(jié)期間的收縮，變形很大，這樣引起該粉末層的開裂和上面密合有粉末層的基體材料的翹曲。由于這些原因，如表9所示，降低了第三比較例的電容器性能和產(chǎn)品合格率。
與第三比較例相反，在使用如表7和表8所示的具有適當(dāng)粒徑分布的燒結(jié)和凝聚過的分散液體粉末的第三例中，沒有出現(xiàn)在第三比較例中出現(xiàn)的與燒結(jié)相關(guān)的問題，而且關(guān)于第三例的電容器性能和產(chǎn)品合格率，如表9所示，示出了良好的結(jié)果。
雖然上面已經(jīng)描述和說明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但是應(yīng)理解，這些都是本發(fā)明的例子，不應(yīng)認(rèn)為是對本發(fā)明的限制。此外，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進(jìn)行省略、替代和其它改型。因此，本發(fā)明不應(yīng)認(rèn)為由前面的描述來限制，而是僅由權(quán)利要求的范圍限定。
權(quán)利要求
1.一種用于固體電解電容器的閥金屬粉末，該閥金屬粉末是用于制造一陽極的凝聚粉末，該陽極具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中閥金屬粉末在一閥金屬基體材料上形成為一層，并且該閥金屬粉末中至少所有粉末的90％的粉末粒徑在1μm至50μm的范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體電解電容器的閥金屬粉末，其中BET比表面積和比重(d25)的乘積大于17m2/g。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體電解電容器的閥金屬粉末，其中所述閥金屬是鉭、鉭合金、鈮或者鈮合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體電解電容器的閥金屬粉末，其中通過噴射和干燥在純水中混合和擴(kuò)散的五氧化二鈮粉末的懸浮液，獲得所述粉末。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體電解電容器的閥金屬粉末，其中通過在真空中燒結(jié)和粉碎還原的氟鉭酸鉀，獲得所述粉末。
6.使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于固體電解電容器的閥金屬粉末制造的固體電解電容器。
全文摘要
提供一種閥金屬粉末和使用該閥金屬粉末的固體電解電容器，該閥金屬粉末具有優(yōu)化的粒徑分布。使用的固體電解電容器的閥金屬粉末是一種用于制造一陽極的凝聚粉末，該陽極具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中在閥金屬基體材料上將閥金屬粉末形成為一層，并且該閥金屬粉末中至少所有粉末的90％的粉末粒徑在1微米至50微米范圍。最好至少所有粉末的90％包含在1微米至30微米的粒徑范圍內(nèi)。此外，優(yōu)選BET比表面積和比重(d
文檔編號H01G9/052GK1591721SQ20041006447
公開日2005年3月9日 申請日期2004年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月29日
發(fā)明者吉田勝洋, 朝見忠昌, 幕田富士雄, 大迫敏行, 十村富雄 申請人:Nec東金株式會社