專利名稱：潔凈容器結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種潔凈容器結(jié)構(gòu)，尤指一種適用于合理化荷重承載作用力傳遞方式、并可提高結(jié)構(gòu)強度與精度、氣密性、及靜電防護的潔凈容器結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體廠所生產(chǎn)的晶圓片往往是容納并水平排列于一晶舟內(nèi)，此晶舟具有多個支撐凸緣而可用以插置多個晶圓片，此晶舟可再組設(shè)于一潔凈容器本體的下側(cè)板上，之后再通過潔凈容器本體的盒蓋加以罩蓋以保護各個晶圓片，使其于生產(chǎn)制造的傳送、儲放及載卸的過程中，保持超高潔凈度的環(huán)境，而不會受到微粒粉塵的污染。
請參閱圖1，其是公知潔凈容器結(jié)構(gòu)的立體分解圖，其中顯示有一潔凈容器本體91、一上取付板92、以及一晶舟93，且潔凈容器本體91的上側(cè)板911開設(shè)有一上組設(shè)孔913、下側(cè)板912開設(shè)有一下組設(shè)孔914，而晶舟93則是由下組設(shè)孔914置入并容置于潔凈容器本體91的內(nèi)部容室910內(nèi)，且上取付板92再穿經(jīng)上組設(shè)孔913而與晶舟93的頂部931相互組設(shè)。
然而，直接于潔凈容器本體91的上側(cè)板911與下側(cè)板912直接開設(shè)有一上組設(shè)孔913與一下組設(shè)孔914的設(shè)計方式，不僅于制造上及組裝上非常不易且成本高昂，且亦容易造成潔凈容器本體91的結(jié)構(gòu)強度受到破壞。此外，潔凈容器本體91的開孔過多且面積過大，其內(nèi)部容室910的氣密性亦容易受到影響，因而容易造成外界水氣或是微塵粒子進入，并非十分理想，僅能增設(shè)氣密墊圈以強化其氣密效果。此外，由于潔凈容器本體91等組件的死角過多，容易造成其利用相關(guān)清洗設(shè)備進行清洗時，清洗及烘干不易的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是在提供一種潔凈容器結(jié)構(gòu)，使能提高潔凈容器本體的結(jié)構(gòu)強度，且承載荷重時作用力傳遞方式較佳，潔凈容器于自動化傳送時，不會因荷重產(chǎn)生變形而影響精度，同時可維持潔凈容器本體內(nèi)部容室的氣密性，還可提供靜電防護的效果，并易于清洗、烘干等維護作業(yè)。
為達到上述目的，本發(fā)明的潔凈容器結(jié)構(gòu)主要包括有一潔凈容器本體、一支撐架、一上取付板、以及一下取付板。其中，潔凈容器本體還包括有一內(nèi)部容室、一前側(cè)開口、一上板、以及一下板，且于上板貫設(shè)有數(shù)個通孔，于下板貫設(shè)有數(shù)個穿孔。
此外，支撐架是容設(shè)于上述潔凈容器本體的內(nèi)部容室內(nèi)部，且此支撐架包括有一上橫板、以及二側(cè)板，其中的二側(cè)板是分別由上橫板的二側(cè)向下延伸，而上橫板的上方還向上凸設(shè)有數(shù)個上固定結(jié)構(gòu)，二側(cè)板的底部還分別向下凸設(shè)有數(shù)個下固定結(jié)構(gòu)，且二側(cè)板還分別包括有一內(nèi)側(cè)面，于二內(nèi)側(cè)面上還分別設(shè)有數(shù)條插槽。
另外，上取付板是設(shè)置于上述潔凈容器本體上板的上方，且此上取付板包括有數(shù)個上固定組件，其是分別對應(yīng)穿經(jīng)潔凈容器本體上板的數(shù)個通孔且分別固定于支撐架上橫板的數(shù)個上固定結(jié)構(gòu)。而下取付板則是設(shè)置于上述潔凈容器本體下板的下方，且此下取付板包括有數(shù)個下固定組件，其是分別對應(yīng)穿經(jīng)潔凈容器本體下板的數(shù)個穿孔分別固定于支撐架二側(cè)板底部的數(shù)個下固定結(jié)構(gòu)。
由上述可知，本發(fā)明的支撐架可由潔凈容器本體的前側(cè)開口直接置入并容設(shè)于潔凈容器本體的內(nèi)部容室內(nèi)部，因此，本發(fā)明的潔凈容器本體并無須如公知技術(shù)般再于其它位置開設(shè)開孔以作為組裝時容置支撐架之用，于此情形下，潔凈容器本體不僅于制造上以及組裝上極為方便，承載荷重時作用力傳遞方式較為優(yōu)異，且潔凈容器本體的結(jié)構(gòu)強度亦不會受到破壞，有助于潔凈容器于自動化傳送時，不會因荷重產(chǎn)生變形而影響支撐架插槽位置精度。同時，于潔凈容器本體開孔面積減少的情形下，亦可維持潔凈容器本體內(nèi)部容室的氣密性，有效隔離外界水氣或是微塵粒子進入潔凈容器本體，還可提高潔凈容器因功能或制造工藝需求須進行惰性氣體充填時的保持效果。此外，支撐架更因模塊化的組設(shè)方式與創(chuàng)新概念，對潔凈容器本體整體的制作質(zhì)量、材料選用的彈性、與生產(chǎn)成本的降低，皆有顯著的效益。
另外，上述用以承載晶圓片的支撐架可以使用導(dǎo)電材質(zhì)所制成，如此即可形成一靜電防護功能(Electrostatic Discharge，ESD)，因此，對于潔凈容器本體與支撐架的靜電防護功能亦可獲得良好的建立。
又本發(fā)明的支撐架尚可于其二側(cè)板的底部連接有一下橫板。此外，前述的支撐架其上橫板、二側(cè)板、與下橫板則可以一體成形方式制造。


圖1是公知潔凈容器結(jié)構(gòu)的立體分解圖。
圖2是本發(fā)明第一較佳實施例的立體分解圖。
圖3是本發(fā)明第一較佳實施例的立體組合圖。
圖4是圖3的固定結(jié)構(gòu)與固定組件的剖面圖。
圖5是本發(fā)明第二較佳實施例的立體分解圖。
圖6是本發(fā)明第二較佳實施例的立體組合圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下1潔凈容器本體 11內(nèi)部容室12前側(cè)開口13上板 131通孔 14下板141穿孔15左側(cè)板 151左側(cè)握把16右側(cè)板 2支撐架 21上橫板211上固定結(jié)構(gòu) 212扣合孔 22側(cè)板221底部222下固定結(jié)構(gòu) 223頂部224扣合勾 225內(nèi)側(cè)面 226插槽3上取付板 31上固定組件 311上螺栓312上貫孔 4下取付板 41下固定組件411下螺栓 412下貫孔 5支撐架51上橫板 52側(cè)板521底部53下橫板 61，62晶圓片 7O形環(huán)
8接地件具體實施方式
為使本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容得到更進一步的了解，特舉二較佳具體實施例說明如下。
請同時參閱圖2是本發(fā)明第一較佳實施例的立體分解圖、圖3是本發(fā)明第一較佳實施例的立體組合圖、及圖4是圖3的固定結(jié)構(gòu)與固定組件的剖面圖，其中顯示有一潔凈容器結(jié)構(gòu)，其包括有一潔凈容器本體1、一支撐架2、一上取付板3、以及一下取付板4。
所附附圖中的潔凈容器本體1還包括有一內(nèi)部容室11、一前側(cè)開口12、一上板13、一下板14、一左側(cè)板15、以及一右側(cè)板16，于左側(cè)板15的外側(cè)組設(shè)有一左側(cè)握把151，于右側(cè)板16的外側(cè)相對組設(shè)有一右側(cè)握把(圖未示)，且于上板13貫設(shè)有數(shù)個通孔131，于下板14的二側(cè)貫設(shè)有數(shù)個穿孔141。
此外，附圖中的支撐架2于本實施例中是為一用以插置晶圓片61的晶舟，且其是由潔凈容器本體1的前側(cè)開口12直接置入并容設(shè)于潔凈容器本體1的內(nèi)部容室11內(nèi)部，且此支撐架2包括有一上橫板21、以及二側(cè)板22，其中的二側(cè)板22是分別由上橫板21的二側(cè)向下延伸，且此二側(cè)板22分別包括有一內(nèi)側(cè)面225，于二內(nèi)側(cè)面225上則分別設(shè)有數(shù)條插槽226，其是用以插置數(shù)個晶圓片61。而上橫板21的上方向上凸設(shè)有數(shù)個上固定結(jié)構(gòu)211，二側(cè)板22的底部221分別向下凸設(shè)有數(shù)個下固定結(jié)構(gòu)222，且于本實施例中，上固定結(jié)構(gòu)211與下固定結(jié)構(gòu)222分別使用一螺孔。
另外，附圖中的上取付板3設(shè)置于潔凈容器本體1上板13的上方，且此上取付板3包括有數(shù)個上固定組件31，于本實施例中，每一上固定組件31分別包括有一上螺栓311、以及一上貫孔312，每一上螺栓311則分別穿經(jīng)每一上貫孔312與潔凈容器本體1上板13的每一通孔131，并再對應(yīng)螺鎖于支撐架2上橫板21的每一上固定結(jié)構(gòu)211的螺孔。
同樣的，下取付板4是設(shè)置于潔凈容器本體1下板14的下方，且此下取付板4的二側(cè)分別包括有數(shù)個下固定組件41，于本實施例中，每一下固定組件41分別包括有一下螺栓411、以及一下貫孔412，每一下螺栓411則分別穿經(jīng)每一下貫孔412與潔凈容器本體1下板14的每一穿孔141，并再對應(yīng)螺鎖于支撐架2二側(cè)板22底部221的每一下固定結(jié)構(gòu)222的螺孔。
于上述組裝過程中，左側(cè)握把151與右側(cè)握把(圖未示)分別與下取付板4之間連接有一左接地件8與一右接地件(圖未示)，其分別是由導(dǎo)電材質(zhì)所制成，且左側(cè)握把151、右側(cè)握把(圖未示)亦由導(dǎo)電材質(zhì)所制成。此外，于每一上固定組件31與每一上固定結(jié)構(gòu)211之間、以及于每一下固定組件41與每一下固定結(jié)構(gòu)222之間，可分別組設(shè)有三個O形環(huán)7，其可用以密封潔凈容器本體1的內(nèi)部容室11而形成氣密。
另上述結(jié)構(gòu)于組裝完成后，上、下取付板3，4與支撐架2之間是彼此直接組設(shè)而可形成一體受力的情形，如此當(dāng)施力于上取付板3時，是直接由支撐架2受力而與潔凈容器本體1無關(guān)，故可避免潔凈容器本體1因為受不當(dāng)外力而造成變形而影響支撐架的精度功能或損壞的問題。
由上述可知，支撐架2是直接由潔凈容器本體1的前側(cè)開口12置入并容設(shè)于潔凈容器本體1的內(nèi)部容室11內(nèi)部，因此，潔凈容器本體1無須如公知技術(shù)般再于其它位置開設(shè)開孔以作為容置支撐架2之用，于此情形下，潔凈容器本體1不僅于制造上以及組裝上皆極為方便，且潔凈容器本體1的結(jié)構(gòu)強度亦不會受到破壞，同時，于潔凈容器本體1開孔面積減少的情形下，亦可維持潔凈容器本體1內(nèi)部容室11的氣密性，而可避免外界水氣或是微塵粒子進入潔凈容器本體1。此外，支撐架2更因模塊化的組設(shè)方式與創(chuàng)新概念，對潔凈容器本體1整體的制作質(zhì)量、材料選用的彈性、與生產(chǎn)成本的降低，皆有顯著的效益。另外，由于潔凈容器本體1的開孔面積已大為減少，相對使其不會產(chǎn)生死角過多的問題，因此于利用相關(guān)清洗設(shè)備進行清洗時，可易于清洗以及烘干。
請再參閱圖2，于本實施例中，上述的支撐架2的上橫板21的二側(cè)是分別包括有二扣合孔212，且二側(cè)板22的頂部223分別包括有二扣合勾224，其是可分別對應(yīng)扣合于上橫板21二側(cè)的二扣合孔212，亦即上橫板21與二側(cè)板22于本實施例中是采用分件方式設(shè)計，當(dāng)然亦可以一體成形方式設(shè)計。
請再參閱圖3，上述用以承載晶圓片61的支撐架2于本實施例中是使用聚醚酰亞胺加碳纖(Polyetherimide，PEI&Carbon Fiber)的導(dǎo)電材質(zhì)所制成，借此即可形成一靜電防護功能(Electrostatic Discharge，ESD)，當(dāng)然亦可使用聚醚醚酮加碳纖(Polyetheretherketon，PEEK&Carbon Fiber)等其它等效材質(zhì)。通過前述設(shè)計方式，潔凈容器本體1與支撐架2的靜電防護功能亦可獲得良好的建立。當(dāng)然，上、下取付板3，4亦可使用導(dǎo)電材質(zhì)所制成，如此可進一步增加靜電防護功能。同時，左側(cè)握把151與右側(cè)握把(圖未示)可配合亦由導(dǎo)電材質(zhì)所制成的左、右接地件8而增加其靜電防護功能。
請同時參閱圖5是本發(fā)明第二較佳實施例的立體分解圖、及圖6是本發(fā)明第二較佳實施例的立體組合圖，其主要結(jié)構(gòu)皆與上述第一較佳實施例相同，差別僅在于本實施例中用以承載晶圓片62的支撐架5還包括有一下橫板53，此下橫板53是連接于支撐架5二側(cè)板52的底部521，且此支撐架5的上橫板51、二側(cè)板52、與下橫板53是以一體成形方式制造。當(dāng)然，前述的上橫板51、二側(cè)板52、與下橫板53亦可如同上述第一較佳實施例以分件方式制造。
上述實施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以權(quán)利要求所述為準，而非僅限于上述實施例。本發(fā)明的承載物自然亦不限于半導(dǎo)體，如晶圓片，其它如光罩、玻璃基板等需要潔凈制造工藝環(huán)境的產(chǎn)品皆是其應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.一種潔凈容器結(jié)構(gòu)，包括一潔凈容器本體，包括有一內(nèi)部容室、一前側(cè)開口、一上板、及一下板，且該上板貫設(shè)有數(shù)個通孔，該下板貫設(shè)有數(shù)個穿孔；一支撐架，容設(shè)于該潔凈容器本體的內(nèi)部容室內(nèi)部，且該支撐架包括有一上橫板、及二側(cè)板其是分別由該上橫板二側(cè)向下延伸，該上橫板的上方向上凸設(shè)有數(shù)個上固定結(jié)構(gòu)，該二側(cè)板的底部分別向下凸設(shè)有數(shù)個下固定結(jié)構(gòu)，且該二側(cè)板分別包括有一內(nèi)側(cè)面，該二內(nèi)側(cè)面分別設(shè)有數(shù)條插槽；一上取付板，設(shè)置于該潔凈容器本體上板的上方，且該上取付板包括有數(shù)個上固定組件其是分別對應(yīng)穿經(jīng)該潔凈容器本體上板的所述通孔分別固定于該支撐架上橫板的所述上固定結(jié)構(gòu)；以及一下取付板，設(shè)置于該潔凈容器本體下板的下方，且該下取付板包括有數(shù)個下固定組件其是分別對應(yīng)穿經(jīng)該潔凈容器本體下板的所述穿孔分別固定于該支撐架二側(cè)板底部的所述下固定結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架的該上橫板與該二側(cè)板是以一體成形方式制造。
3.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架上橫板的所述上固定結(jié)構(gòu)是分別為一螺孔，且該上取付板的所述上固定組件分別包括有一上螺栓、及一上貫孔，所述上螺栓分別穿經(jīng)所述上貫孔而對應(yīng)螺鎖于所述螺孔。
4.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架二側(cè)板底部的所述下固定結(jié)構(gòu)分別為一螺孔，且該下取付板的所述下固定組件分別包括有一下螺栓、及一下貫孔，所述下螺栓分別穿經(jīng)所述下貫孔而對應(yīng)螺鎖于所述螺孔。
5.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，所述上固定組件與所述上固定結(jié)構(gòu)之間組設(shè)有至少一O形環(huán)，且所述下固定組件與所述下固定結(jié)構(gòu)之間亦組設(shè)有至少一O形環(huán)。
6.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架的上橫板的二側(cè)分別包括有至少一扣合孔，且該二側(cè)板的頂部分別包括有至少一扣合勾其是分別對應(yīng)扣合于該上橫板二側(cè)的該至少一扣合孔。
7.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架、該上取付板、及該下取付板是由導(dǎo)電材質(zhì)所制成。
8.如權(quán)利要求1所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該潔凈容器本體還包括有一左側(cè)板、及一右側(cè)板，且該左側(cè)板的外側(cè)組設(shè)有一左側(cè)握把，該右側(cè)板的外側(cè)組設(shè)有一右側(cè)握把。
9.如權(quán)利要求8所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該潔凈容器本體還包括有一左接地件、及一右接地件，該左接地件是連接于該左側(cè)握把與該下取付板之間，該右接地件是連接于該右側(cè)握把與該下取付板之間。
10.如權(quán)利要求9所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該左側(cè)握把、該右側(cè)握把、該左接地件、及該右接地件是分別由導(dǎo)電材質(zhì)所制成。
11.一種潔凈容器結(jié)構(gòu)，包括一潔凈容器本體，包括有一內(nèi)部容室、一前側(cè)開口、一上板、及一下板，且該上板貫設(shè)有數(shù)個通孔，該下板貫設(shè)有數(shù)個穿孔；一支撐架，是容設(shè)于該潔凈容器本體的內(nèi)部容室內(nèi)部，且該支撐架包括有一上橫板、二側(cè)板、及一下橫板，其中該二側(cè)板是分別由該上橫板二側(cè)向下延伸，該下橫板是連接于該二側(cè)板的底部，該上橫板的上方向上凸設(shè)有數(shù)個上固定結(jié)構(gòu)，該二側(cè)板的底部分別向下凸設(shè)有數(shù)個下固定結(jié)構(gòu)，且該二側(cè)板分別包括有一內(nèi)側(cè)面，該二內(nèi)側(cè)面分別設(shè)有數(shù)條插槽；一上取付板，是設(shè)置于該潔凈容器本體上板的上方，且該上取付板包括有數(shù)個上固定組件其分別對應(yīng)穿經(jīng)該潔凈容器本體上板的所述通孔并分別固定于該支撐架上橫板的所述上固定結(jié)構(gòu)；以及一下取付板，設(shè)置于該潔凈容器本體下板的下方，且該下取付板包括有數(shù)個下固定組件其是分別對應(yīng)穿經(jīng)該潔凈容器本體下板的所述穿孔并分別固定于該支撐架二側(cè)板底部的所述下固定結(jié)構(gòu)。
12.如權(quán)利要求11所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架的上橫板、二側(cè)板、與下橫板是以一體成形方式制造。
13.如權(quán)利要求11所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架上橫板的所述上固定結(jié)構(gòu)分別為一螺孔，且該上取付板的所述上固定組件分別包括有一上螺栓、及一上貫孔，所述上螺栓分別穿經(jīng)所述上貫孔而對應(yīng)螺鎖于所述螺孔。
14.如權(quán)利要求11所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架二側(cè)板底部的所述下固定結(jié)構(gòu)分別為一螺孔，且該下取付板的所述下固定組件分別包括有一下螺栓、及一下貫孔，所述下螺栓分別穿經(jīng)所述下貫孔而對應(yīng)螺鎖于所述螺孔。
15.如權(quán)利要求11所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，所述上固定組件與所述上固定結(jié)構(gòu)之間組設(shè)有至少一O形環(huán)，且所述下固定組件與所述下固定結(jié)構(gòu)之間亦組設(shè)有至少一O形環(huán)。
16.如權(quán)利要求11所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架的上橫板的二側(cè)分別包括有至少一扣合孔，且該二側(cè)板的頂部分別包括有至少一扣合勾其是分別對應(yīng)扣合于該上橫板二側(cè)的該至少一扣合孔。
17.如權(quán)利要求11所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該支撐架、該上取付板、及該下取付板是由導(dǎo)電材質(zhì)所制成。
18.如權(quán)利要求11所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該潔凈容器本體還包括有一左側(cè)板、及一右側(cè)板，且該左側(cè)板的外側(cè)組設(shè)有一左側(cè)握把，該右側(cè)板的外側(cè)組設(shè)有一右側(cè)握把。
19.如權(quán)利要求18所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該潔凈容器本體還包括有一左接地件、及一右接地件，該左接地件連接于該左側(cè)握把與該下取付板之間，該右接地件連接于該右側(cè)握把與該下取付板之間。
20.如權(quán)利要求19所述的潔凈容器結(jié)構(gòu)，其中，該左側(cè)握把、該右側(cè)握把、該左接地件、及該右接地件分別由導(dǎo)電材質(zhì)所制成。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種潔凈容器結(jié)構(gòu)，是將一支撐架直接由一潔凈容器本體的前側(cè)開口置入、并容設(shè)于潔凈容器本體的內(nèi)部容室內(nèi)部，并再于潔凈容器本體的上、下方分別設(shè)置有上、下取副板，且上、下取副板則再與支撐架相互組設(shè)。由于潔凈容器本體并無須如傳統(tǒng)般再于其它位置開設(shè)開孔以作為容置支撐架之用，因此，潔凈容器本體不僅于制造上以及組裝上極為方便，且潔凈容器本體的結(jié)構(gòu)強度亦不會受到破壞，同時，于潔凈容器本體開孔面積減少的情形下，亦可維持潔凈容器本體內(nèi)部容室的氣密性，而可避免外界水氣或是微塵粒子進入潔凈容器本體。
文檔編號H01L21/00GK1743248SQ20041007488
公開日2006年3月8日 申請日期2004年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月30日
發(fā)明者吳宗明, 何天露 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院