專利名稱：各向異性導(dǎo)電薄板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及介于印刷基板等電路基板和各種電路部件之間的各向異性導(dǎo)電薄板。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著電子機(jī)器的小型化和薄型化，連接各細(xì)微的電路或連接細(xì)微的部件和電路的必要性飛躍性增大。作為進(jìn)行這樣的連接所使用的方法，有軟釬焊接合和使用各向異性的導(dǎo)電粘接劑的方法。另外，也使用使各向異性導(dǎo)電彈性體薄板(elastomer sheet)介于電子部件和電路基板之間，并使導(dǎo)電彈性體薄板導(dǎo)通的方法。
各向異性導(dǎo)電彈性體薄板是指僅在某個(gè)方向上具有導(dǎo)電性的彈性體薄板。在各向異性導(dǎo)電彈性體薄板中，有僅在厚度方向上表現(xiàn)出導(dǎo)電性的彈性體薄板，還有當(dāng)在厚度方向上加壓時(shí)僅在厚度方向上表現(xiàn)出導(dǎo)電性的彈性體薄板等。
如果使用各向異性導(dǎo)電彈性體薄板，則可以緊湊地實(shí)現(xiàn)電連接而不需使用焊接或機(jī)械嵌合等方法，并且，可以進(jìn)行消除機(jī)械沖擊或變形的軟連接。因此，各向異性導(dǎo)電彈性體薄板在例如液晶顯示器、移動(dòng)電話、電子計(jì)算器、電子式數(shù)字表、電子照相機(jī)以及計(jì)算機(jī)等中被廣泛使用。
另外，各向異性導(dǎo)電彈性體薄板也被廣泛用作用于對(duì)印刷電路基板那樣的電路裝置、和無(wú)引線芯片載體或液晶面板等進(jìn)行相互電連接的連接器。并且，彈性體連接器是使用了導(dǎo)電性橡膠等彈性體的連接器，是夾在電極間僅摁壓就能進(jìn)行電連接的類型的連接器。在這樣的彈性體連接器的1種中，具有在水平方向絕緣、在垂直方向?qū)щ姷母飨虍愋詫?dǎo)電薄板類型。
并且，在印刷電路基板或半導(dǎo)體集成電路等電路裝置的電檢查中，為了對(duì)作為檢查對(duì)象的、形成于電路裝置的至少一面上的被檢查電極，和形成于檢查用電路基板的表面上的檢查用電極進(jìn)行電連接，使各向異性導(dǎo)電彈性體薄板介于電路裝置的被檢查電極區(qū)域和檢查用電路基板的檢查用電極區(qū)域之間。
以往，作為這樣的各向異性導(dǎo)電彈性體薄板，公知的是，把通過(guò)利用絕緣體使并列放置的金屬細(xì)線形成一體而作成的各向異性導(dǎo)電塊，在與金屬細(xì)線延伸的方向成直角的方向上很薄地切斷，從而得到這樣的各向異性導(dǎo)電彈性體薄板(例如，特開(kāi)2000-340037號(hào)公報(bào))。
然而，在這樣的各向異性導(dǎo)電薄板中，由于使用金屬細(xì)線，很難使金屬細(xì)線間的距離變小，所以很難確保近年來(lái)的高集成化的電路基板和電子部件所要求的細(xì)間距的各向異性的導(dǎo)電性。另外，金屬細(xì)線由于使用中的壓縮力等原因容易被壓曲，如果重復(fù)使用就容易脫落，不能充分擔(dān)保各向異性導(dǎo)電薄板的功能。
另外，雖然布線的電感和電容極小，但在高頻率的應(yīng)用中，這些極小的電感和電容就成為問(wèn)題，成為產(chǎn)生噪聲的原因。在高頻電流流過(guò)布線的情況下，還存在電磁波的放射和集膚效應(yīng)的問(wèn)題。也有混合IC或微波用IC等設(shè)備的時(shí)鐘頻率達(dá)到10GHz的情況。
為了對(duì)應(yīng)這些問(wèn)題，在電線中，作為用于使互感為最小的方法，采用雙絞線，或采用通過(guò)與外部導(dǎo)體適當(dāng)?shù)亟拥乜梢詫?shí)現(xiàn)電磁屏蔽的同軸電纜。在印刷基板的圖形布線中，為了將電感保持恒定而形成有帶狀線路。
然而，對(duì)于彈性體連接器，還沒(méi)有提出針對(duì)上述問(wèn)題的對(duì)策，需要即使在高頻率的應(yīng)用中也不容易引起產(chǎn)生噪聲等問(wèn)題的彈性體連接器。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于以上的問(wèn)題，其目的是提供一種高頻用的各向異性導(dǎo)電薄板，其例如用作用于連接近年來(lái)的高集成電路基板和細(xì)間距的電子部件的彈性體連接器。具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的目的是提供一種各向異性導(dǎo)電薄板，其具有細(xì)間距的各向異性的導(dǎo)電性和電磁波的屏蔽性、即使重復(fù)使用也能夠擔(dān)保各向異性導(dǎo)電薄板的功能。
該各向異性導(dǎo)電薄板具有的優(yōu)點(diǎn)是不僅僅單純地利用彈性體連接器使傳送高頻信號(hào)的設(shè)備、電纜、以及印刷基板等電子部件導(dǎo)通，還通過(guò)針對(duì)彈性體連接器確保電磁波的屏蔽性，從而能夠防止電子部件間的接合部中的噪聲。并且，如果在信號(hào)線間隔著電介質(zhì)，則可能成為高導(dǎo)納。
另外，在印刷電路基板和半導(dǎo)體集成電路等電路裝置的電檢查中，通過(guò)對(duì)這種彈性體連接器確保電磁波的屏蔽性，可以提高測(cè)定性能。
更具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明提供如下的導(dǎo)電薄板。
(1)一種各向異性導(dǎo)電薄板，僅在某方向具有導(dǎo)電性，其特征在于，所述各向異性導(dǎo)電薄板包括具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體，在被所述薄板狀彈性體所包圍的狀態(tài)下形成有具有非導(dǎo)電性的1個(gè)或1個(gè)以上的第1貫通區(qū)域，在被所述第1貫通區(qū)域所包圍的狀態(tài)下形成有具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域。
(2)根據(jù)(1)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域分布在所述薄板狀彈性體中。
(3)根據(jù)(1)或(2)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域有規(guī)則性地排列在所述薄板狀彈性體中。
(4)根據(jù)(1)至(3)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域的電導(dǎo)率比所述薄板狀彈性體高。
(5)根據(jù)(1)至(4)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第1貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成同心圓。
(6)根據(jù)(1)至(4)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第1貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成為矩形，所述矩形的第1貫通區(qū)域和所述矩形的第2貫通區(qū)域被配置在同一重心上。
(7)一種各向異性導(dǎo)電薄板，僅在某方向上具有導(dǎo)電性，其特征在于，所述各向異性導(dǎo)電薄板包括具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體，在被所述薄板狀彈性體所包圍的狀態(tài)下形成有具有高介電常數(shù)的1個(gè)或1個(gè)以上的第3貫通區(qū)域，在被所述第3貫通區(qū)域所包圍的狀態(tài)下形成有具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域。
(8)根據(jù)(7)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域分布在所述薄板狀彈性體中。
(9)根據(jù)(7)或(8)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域有規(guī)則性地排列在所述薄板狀彈性體中。
(10)根據(jù)(7)至(9)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域的電導(dǎo)率比所述薄板狀彈性體高。
(11)根據(jù)(7)至(10)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第3貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成同心圓。
(12)根據(jù)(7)至(10)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第3貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成為矩形，所述矩形的第3貫通區(qū)域和所述矩形的第2貫通區(qū)域被配置在同一重心上。
(13)根據(jù)(7)至(12)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第3貫通區(qū)域包括鐵電體。
(14)一種電子部件對(duì)，其特征在于，所述電子部件對(duì)與(1)至(13)中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板連接。
本發(fā)明是一種僅在某個(gè)方向具有導(dǎo)電性的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征可以是，在僅在某個(gè)方向具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體中，在周圍被該薄板狀彈性體所包圍的狀態(tài)下，至少形成1個(gè)具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域，在該具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域中，在周圍被該第1貫通區(qū)域所包圍的狀態(tài)下，形成有僅在所述某個(gè)方向上具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域。
“各向異性導(dǎo)電薄板”可以是具有規(guī)定的厚度、并且在該厚度的前后或上下具有規(guī)定的表面和背面的撓性的各向異性導(dǎo)電薄板。所謂“具有規(guī)定的厚度、并且在該厚度的前后或上下具有規(guī)定的表面和背面”可以是通常的薄板所具有的特征。即，該各向異性導(dǎo)電薄板具有一定厚度，在與厚度方向正交的方向上有表面和背面。所謂“撓性”可以認(rèn)為意味著薄板可以彎曲。
“具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體”可以認(rèn)為是薄板狀彈性體具有導(dǎo)電性，電導(dǎo)率可以非常高。另外，也可以是電阻非常低。薄板狀彈性體是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電薄板的主體，在后述的形成有貫通區(qū)域的部分具有1個(gè)或1個(gè)以上的穿過(guò)薄板的孔。在該孔的部分形成不具有導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域或第3貫通區(qū)域。因此，作為各向異性導(dǎo)電薄板整體，假設(shè)僅有某個(gè)特定方向(即，如果假設(shè)各向異性導(dǎo)電薄板延伸的方向?yàn)樗椒较?，則為與該水平方向正交的方向的垂直方向)為導(dǎo)電方向。本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電薄板因?yàn)榫哂袑?dǎo)電性的薄板狀彈性體，所以對(duì)于所述導(dǎo)電方向具有充分的導(dǎo)電性。
所謂非導(dǎo)電性可以是電導(dǎo)率非常低，另外，可以是電阻非常高。本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電薄板因?yàn)樵趯?dǎo)電性的薄板狀彈性體中，形成有不具有導(dǎo)電性的第1或第3貫通區(qū)域，所以作為各向異性導(dǎo)電薄板整體，具有不導(dǎo)電的非導(dǎo)電方向。本發(fā)明涉及的各向異性導(dǎo)電薄板因?yàn)榫哂斜槐“鍫顝椥泽w所包圍的非導(dǎo)電性的貫通區(qū)域，所以在各向異性導(dǎo)電薄板的非導(dǎo)電方向上具有充分的非導(dǎo)電性。
所謂“導(dǎo)電性彈性體”是指具有導(dǎo)電性的彈性體，通常，為了降低體積固有電阻(例如，小于等于1Ω·cm)，可以使用混入了具有導(dǎo)電性的材料的彈性體。具體來(lái)說(shuō)，可以是在沒(méi)有導(dǎo)電性的彈性體材料中混入導(dǎo)電性的材料而得到的彈性體。作為不具有導(dǎo)電性的彈性體材料，可以使用天然橡膠、聚異戊二烯橡膠，和丁二烯-苯乙烯、丁二烯-丙烯腈，以及丁二烯-異丁烯等丁二烯共聚物或共軛二烯系橡膠以及它們的加氫物等。并且，作為沒(méi)有導(dǎo)電性的彈性體材料，也可以使用苯乙烯-丁二烯-二烯嵌段共聚物橡膠或苯乙烯-異戊二烯嵌段共聚物等嵌段共聚物橡膠以及它們的加氫物、氯丁二烯聚合物、氯乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚氨酯橡膠、聚酯系橡膠、表氯醇橡膠、乙烯-丙烯共聚物橡膠、乙烯-丙烯-二烯共聚物橡膠、軟質(zhì)液態(tài)環(huán)氧橡膠、硅橡膠、或氟橡膠等。
在這些之中，優(yōu)選使用抗熱性、抗寒性、抗藥品性、抗風(fēng)化性、電絕緣性、以及安全性優(yōu)秀的硅橡膠。通過(guò)在這種沒(méi)有導(dǎo)電性的彈性體材料中混入純金屬、合金、非金屬粉末(可以是薄片、小片、箔等)等具有導(dǎo)電性的物質(zhì)，得到導(dǎo)電性彈性體。作為純金屬，可舉出金、銀、銅、鎳、鎢、鉑以及鈀等。作為其他的金屬，有SUS、磷青銅、鈹銅等。作為非金屬的粉末，有碳等，在碳的粉末中可以包括碳納米管(carbon nanotube)和富勒烯(fullerene)等。
“具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域”可以認(rèn)為意味著在具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域或具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域中占有一定面積地形成有1個(gè)導(dǎo)電薄層(在金屬制的情況下稱為“金屬層”)。金屬層的情況可以包括金屬層整體由1種金屬構(gòu)成的情況。另外，第2貫通區(qū)域可以具有與各向異性導(dǎo)電薄板的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)入娺B接的功能。
貫通區(qū)域形成為在各向異性導(dǎo)電薄板的表面和背面具有規(guī)定的面積，具有厚度(即，從各向異性導(dǎo)電薄板的表面貫通至背面)，作為實(shí)體可以認(rèn)為是具有體積的結(jié)構(gòu)。并且，關(guān)于貫通區(qū)域的形狀，在薄板狀彈性體的表面或背面(或其附近)具有任何形狀都可以。在薄板狀彈性體的表面或背面所表現(xiàn)出來(lái)的貫通區(qū)域的形狀例如可以是圓形的，也可以是矩形的。
所謂“薄板狀”意味著形成為一般認(rèn)為的薄板的形狀的平板，可以是圓形板，也可以是矩形板。然而，優(yōu)選使薄板狀彈性體的板厚較薄且盡可能均勻。
所謂非導(dǎo)電性彈性體是指沒(méi)有導(dǎo)電性的彈性體，可以是沒(méi)有混入具有導(dǎo)電性的材料的彈性體。
所謂“在薄板狀彈性體中在周圍被該薄板狀彈性體所包圍的狀態(tài)下形成有第1貫通區(qū)域”，可以認(rèn)為第1貫通區(qū)域的外緣被薄板狀彈性體所包圍。同樣，所謂“在第1貫通區(qū)域中在周圍被該第1貫通區(qū)域所包圍的狀態(tài)下形成有第2貫通區(qū)域”，可以認(rèn)為是第2貫通區(qū)域的外緣被第1貫通區(qū)域所包圍，第2貫通區(qū)域的外緣不直接與薄板狀彈性體接觸。并且，可以認(rèn)為把第1貫通區(qū)域置換成第3貫通區(qū)域意味著同樣的意思。
本發(fā)明的特征在于，在所述具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體中至少形成有1個(gè)具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域，在該具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域中形成有所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域。
這里所謂的“介電常數(shù)”可以認(rèn)為意味著相對(duì)介電常數(shù)。該介電常數(shù)根據(jù)第3貫通區(qū)域的物理性能的不同而不同。可以認(rèn)為具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域具有比具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域的介電常數(shù)高的介電常數(shù)。
因此，具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域也可以由具有高介電常數(shù)的材質(zhì)構(gòu)成。具有高介電常數(shù)的材質(zhì)例如有鐵電體。
作為“鐵電體”的例子，例如可以舉出作為鈣鈦礦(灰鈦石)氧化物的鈦酸鋇(BaTiO3)、鈦酸鉛(PbTiO3)、鈮酸鋰(LiNbO3)以及鉭酸鋰(LiTaO3)等。第3貫通區(qū)域可以包括由這些材質(zhì)構(gòu)成的小片、顆粒、薄片或粉末。
另外，本發(fā)明的特征在于，所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域在被所述第1或第3貫通區(qū)域所包圍的狀態(tài)下，分布在所述具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體中。
所謂“第2貫通區(qū)域分布”，并不限于意味著第2貫通區(qū)域無(wú)秩序地分布。即，第2貫通區(qū)域在薄板狀彈性體上，可以無(wú)秩序地、或有規(guī)則地以任何一種方式來(lái)配置。在有多個(gè)第2貫通區(qū)域的情況下，這些第2貫通區(qū)域在薄板狀彈性體上被分散地適當(dāng)配置。另外，對(duì)應(yīng)于第2貫通區(qū)域的配置，第1貫通區(qū)域或第3貫通區(qū)域也在薄板狀彈性體上被分散地適當(dāng)配置。即，在同種的多個(gè)貫通區(qū)域在同一薄板狀彈性體上被設(shè)置在多處的情況下，相鄰的同種貫通區(qū)域之間(第1貫通區(qū)域之間、第2貫通區(qū)域之間、或第3貫通區(qū)域之間)均不具有共有區(qū)域。
并且，本發(fā)明的特征在于，所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域有規(guī)則性地排列在所述具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體中。
所謂“有規(guī)則性地排列”是適當(dāng)配置的一種方式，具體來(lái)說(shuō)，可以考慮在各向異性導(dǎo)電薄板上把以圓形或矩形而形成的第2貫通區(qū)域排列成格子狀。這種情況下的格子形狀也可以是矩形或菱形。另外，也可以在一列上等間隔地排列圓形或矩形的第2貫通區(qū)域。并且，也可以優(yōu)選矩陣狀地排列第2貫通區(qū)域。
關(guān)于第2貫通區(qū)域的排列間距，如果使其適合于所述印刷基板的連接盤圖形(land pattern)配置，則考慮以1/10英寸即2.54mm的等間隔來(lái)排列。
另外，如果使其適合于內(nèi)部引線、外引線或IC芯片上的排列間距很狹窄的細(xì)間距，則優(yōu)選使第2貫通區(qū)域的排列間距例如小于等于約70微米。
另外，本發(fā)明的特征在于，所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域的電導(dǎo)率比具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體的電導(dǎo)率高。
這里，具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體通常連接的端子間的電阻可以是100～1000Ω，優(yōu)選使具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域通常連接的端子間的電阻小于等于30mΩ。具有導(dǎo)電性的彈性體也可以是包括其自身具有導(dǎo)電性的彈性體、通過(guò)壓接而具有導(dǎo)電性的彈性體、僅在一定的方向上具有導(dǎo)電性的各向異性導(dǎo)電性彈性體的彈性體。具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體例如可以是使通過(guò)把石墨等具有導(dǎo)電性的材料混入到?jīng)]有導(dǎo)電性的彈性體材料中而得到的彈性體成形為薄板狀的薄板狀彈性體。具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域例如可以是把金或銀等具有良好導(dǎo)電性的材料混入到?jīng)]有導(dǎo)電性的彈性體材料中而得到的彈性體，也可以是1個(gè)導(dǎo)電薄層(金屬制的情況下為金屬層)。
并且，關(guān)于這些導(dǎo)電性物質(zhì)的選擇，可以根據(jù)該導(dǎo)電性物質(zhì)混入到?jīng)]有導(dǎo)電性的彈性體材料中的混合比率，來(lái)適宜地設(shè)定具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域的體積固有電阻值。
并且，本發(fā)明的特征在于，所述具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域和所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域形成為同心圓。
這樣的各向異性導(dǎo)電薄板中的具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域、具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體、具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域，分別對(duì)應(yīng)于同軸電纜中的由絞線(芯線)構(gòu)成的內(nèi)部導(dǎo)體、由利用細(xì)導(dǎo)線作成的編網(wǎng)構(gòu)成的外部導(dǎo)體、作為內(nèi)部導(dǎo)體和外部導(dǎo)體間的隔離物的非導(dǎo)體，使在電子部件間的接合部中針對(duì)彈性體連接器確保電磁波的屏蔽性。
并且，本發(fā)明的特征在于，所述具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域形成為矩形，所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域形成為矩形，所述矩形的第1貫通區(qū)域和所述矩形的第2貫通區(qū)域被配置在同一重心上，和前面所述同樣，使在電子部件間的接合部中針對(duì)彈性體連接器確保電磁波的屏蔽性。
這些具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域和具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域也可以形成為一體化的元件。使這些導(dǎo)電性彈性體和非導(dǎo)電性彈性體結(jié)合的偶聯(lián)劑是使這些元件結(jié)合的接合劑，可以包括通常的市場(chǎng)銷售的粘接劑。具體來(lái)說(shuō)，可以是硅烷系、鋁系、以及鈦酸酯系等偶聯(lián)劑，硅烷偶聯(lián)劑被良好地使用。
并且，本發(fā)明的特征在于，所述具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域和所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域形成同心圓。
這樣的各向異性導(dǎo)電薄板中的具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域、具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體、具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域，分別對(duì)應(yīng)于同軸電纜中的由絞線(芯線)構(gòu)成的內(nèi)部導(dǎo)體、由利用細(xì)導(dǎo)線作成的編網(wǎng)構(gòu)成的外部導(dǎo)體、作為內(nèi)部導(dǎo)體和外部導(dǎo)體間的隔離物的電介質(zhì)，在電子部件間的接合部中針對(duì)彈性體連接器確保電磁波的屏蔽性，成為高導(dǎo)納。
并且，該發(fā)明的特征在于，所述具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域形成為矩形，所述具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域形成為矩形，所述矩形的第3貫通區(qū)域和所述矩形的第2貫通區(qū)域被配置在同一重心上，和上述同樣，在電子部件間的接合部中針對(duì)彈性體連接器確保電磁波的屏蔽性，成為高導(dǎo)納。
作為本發(fā)明的應(yīng)用例，各向異性導(dǎo)電薄板被連接到電子部件對(duì)上。所謂電子部件對(duì)，是指成為一組的電子部件，并且在該一組電子部件之間夾著各向異性導(dǎo)電薄板的部件。作為這樣的電子部件，例如有印刷基板或細(xì)間距的電子部件(例如，半導(dǎo)體集成電路)。成對(duì)的電子部件可以是同種電子部件，也可以是印刷基板和半導(dǎo)體集成電路等那樣的不同的電子部件對(duì)。


圖1A是本發(fā)明的第1實(shí)施方式涉及的各向異性導(dǎo)電薄板的立體圖。
圖1B是本發(fā)明的第2實(shí)施方式涉及的各向異性導(dǎo)電薄板的立體圖。
圖2A是本發(fā)明涉及的各向異性導(dǎo)電薄板，即形成有多個(gè)矩形的貫通區(qū)域的各向異性導(dǎo)電薄板的立體圖。
圖2B是本發(fā)明涉及的各向異性導(dǎo)電薄板，即形成有多個(gè)圓形的貫通區(qū)域的各向異性導(dǎo)電薄板的立體圖。
圖3是用于表示圖2A的各向異性導(dǎo)電薄板的制造工序的立體圖。
圖4A是用于表示圖3的后續(xù)的制造工序的立體圖。
圖4B是用于表示圖4A的后續(xù)的制造工序的立體圖。
圖5是用于表示圖2B的各向異性導(dǎo)電薄板的制造方法的立體圖。
圖6A是用于表示圖5的后續(xù)的制造工序的立體圖。
圖6B是用于表示圖6A的后續(xù)的制造工序的立體圖。
圖7是表示本發(fā)明的使用金屬制的金屬層作為第2貫通區(qū)域的實(shí)施方式涉及的各向異性導(dǎo)電薄板的立體圖。
圖8是把圖7的各向異性導(dǎo)電薄板的左上角放大后的局部放大圖。
圖9是用于表示圖7的各向異性導(dǎo)電薄板的制造工序的圖。
圖10是關(guān)于圖7的各向異性導(dǎo)電薄板的制造工序的圖，表示把由帶金屬的非導(dǎo)電性材料構(gòu)成的板和非導(dǎo)電性橋型元件層疊而作成層疊體的狀況。
圖11是在圖10的層疊體上再層疊由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的板而作成層疊體的圖。
圖12是表示排列多個(gè)通過(guò)圖11的工序而作成的層疊體的狀態(tài)的圖。
圖13是表示在圖12的層疊體中再夾進(jìn)導(dǎo)電性薄板元件而作成塊的狀況以及切斷層疊體的工序。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式，但本實(shí)施方式是作為本發(fā)明的優(yōu)選例而舉出具體的材料和數(shù)值的，所以本發(fā)明并不限于本實(shí)施方式。并且，下面對(duì)于同一元件賦予同一符號(hào)，省略或簡(jiǎn)化對(duì)其的說(shuō)明。
圖1A是本發(fā)明的第1實(shí)施方式涉及的矩形的各向異性導(dǎo)電薄板10的外觀圖，圖1B是本發(fā)明的第2實(shí)施方式涉及的圓形的各向異性導(dǎo)電薄板20的外觀圖。各向異性導(dǎo)電薄板10和20是薄板狀，分別包括具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體1a和1b。在各向異性導(dǎo)電薄板10中，在周圍被薄板狀彈性體1a所包圍的狀態(tài)下形成有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域11。同樣，在各向異性導(dǎo)電薄板20中，在周圍被薄板狀彈性體1b所包圍的狀態(tài)下形成有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域21。
在各向異性導(dǎo)電薄板10中，還在被第1貫通區(qū)域11所包圍的狀態(tài)下形成有具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域12，在各向異性導(dǎo)電薄板20中，也在被第1貫通區(qū)域21所包圍的狀態(tài)下形成有具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域22。
構(gòu)成各向異性導(dǎo)電薄板10的薄板狀彈性體1a、第1貫通區(qū)域11以及第2貫通區(qū)域12的任意一個(gè)都形成為矩形。另一方面，構(gòu)成圖1B的各向異性導(dǎo)電薄板20的薄板狀彈性體1b、第1貫通區(qū)域21以及第2貫通區(qū)域22的任意一個(gè)都形成為圓形。薄板狀彈性體1a、第1貫通區(qū)域11和第2貫通區(qū)域12中心點(diǎn)重合，即被配置在同一重心上，薄板狀彈性體1b、第1貫通區(qū)域21和第2貫通區(qū)域22被配置成同心圓狀。
在第1和第2實(shí)施方式中，示出了第1和第2貫通區(qū)域?yàn)閳A形或矩形的示例，但第1和第2貫通區(qū)域的形狀根據(jù)期望也可以是其他的形狀。例如，可以是多邊形，可以是橢圓形，也可以是其他的閉合的曲面。
在第1和第2實(shí)施方式中，非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域11和21可以置換成具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域。這種情況下，第3貫通區(qū)域可以由使薄板狀彈性體中包含具有高介電常數(shù)的鐵電體顆粒的電介質(zhì)薄板形成。具體來(lái)說(shuō)，可以使用在硅橡膠中混入了鈦酸鋇(BaTiO3)顆粒的材料等來(lái)形成。并且，第3貫通區(qū)域和第1貫通區(qū)域11和21為相同形狀，未作圖示。
在第1和第2實(shí)施方式中，薄板狀彈性體1a和1b由在硅橡膠中混入了導(dǎo)電性顆粒的元件形成。具體來(lái)說(shuō)，作為導(dǎo)電性顆粒使用把石墨等炭的同素異形體的微粒子混入到硅橡膠而形成的物質(zhì)。另外，第2貫通區(qū)域12和22由在硅橡膠中混入了作為具有導(dǎo)電性的金屬微粒子的銀(Ag)的微粒子的、具有導(dǎo)電性的材料形成。
所述的各向異性導(dǎo)電薄板10和20的制造方法的一例如下所述。從薄板狀彈性體1a或1b打通與第1貫通區(qū)域11或21的形狀對(duì)應(yīng)的模腔，在該模腔中填入由非導(dǎo)電性元件成形的第1貫通區(qū)域11或21。并且，使用偶聯(lián)劑把作為成形元件的第1貫通區(qū)域11或21分別與薄板狀彈性體1a或1b結(jié)合起來(lái)。
從第1貫通區(qū)域11或21，打通與第2貫通區(qū)域12或22的形狀對(duì)應(yīng)的模腔，在該模腔中填入由導(dǎo)電性元件成形的第2貫通區(qū)域12或22。并且，使用偶聯(lián)劑把作為成形元件的第2貫通區(qū)域12或22分別與第1貫通區(qū)域11或21結(jié)合起來(lái)。
并且，設(shè)定薄板狀彈性體1a、第1貫通區(qū)域11、第2貫通區(qū)域12的厚度相同。同樣，設(shè)定薄板狀彈性體1b、第1貫通區(qū)域21、第2貫通區(qū)域22的厚度相同。具體來(lái)說(shuō)，設(shè)定圖中的厚度t為0.5～1mm左右。
作為彈性體，使用三菱樹(shù)脂株式會(huì)社制造的硅橡膠或信越聚合物株式會(huì)社制造的硅橡膠等，偶聯(lián)劑使用信越聚合物株式會(huì)社制造的硅烷偶聯(lián)劑。
所述的各向異性導(dǎo)電薄板10和20也可以理解為是把現(xiàn)有的各向異性導(dǎo)電薄板類型的彈性體連接器的絕緣部置換成具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域11或21，把各向異性導(dǎo)電薄板類型的彈性體連接器的導(dǎo)電部置換成具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域12或22。
然而，相對(duì)于各向異性導(dǎo)電薄板類型的彈性體連接器主要以電子部件間簡(jiǎn)單的電導(dǎo)通作為主要目的，本發(fā)明涉及的各向異性導(dǎo)電薄板10和20的目的在于，利用成為絕緣體的第1貫通區(qū)域11和21來(lái)包圍成為信號(hào)傳送部的第2貫通區(qū)域12和22，進(jìn)一步利用成為接地用導(dǎo)通部的具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體1a和1b包圍第1貫通區(qū)域11和21，對(duì)電子部件間進(jìn)行連接。
例如，如果利用矩形的各向異性導(dǎo)電薄板10來(lái)連接印刷基板和印刷基板，則其優(yōu)點(diǎn)是在印刷基板間的接合部中，電磁波的屏蔽性得到確保，可以防止印刷基板間的噪聲的產(chǎn)生。
另外，把本發(fā)明涉及的各向異性導(dǎo)電薄板10和20的具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域11和21置換成高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域，把第2貫通區(qū)域12和22作為信號(hào)傳送部，把包圍第2貫通區(qū)域12和22而形成的第3貫通區(qū)域作為電介質(zhì)，并且利用導(dǎo)電性的薄板狀彈性體1a和1b包圍第3貫通區(qū)域，并把薄板狀彈性體1a和1b作為接地用導(dǎo)通部。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，例如，如果利用圓形的各向異性導(dǎo)電薄板來(lái)連接一個(gè)同軸電纜和另一個(gè)同軸電纜，則在同軸電纜的接合部中，電磁波的屏蔽性得到確保，可以防止由同軸電纜中斷引起的噪聲的發(fā)生，可以成為高導(dǎo)納。
接著，使用圖2A和圖2B來(lái)說(shuō)明形成有多個(gè)第2貫通區(qū)域的各向異性導(dǎo)電薄板。
在圖2A所示的各向異性導(dǎo)電薄板30中，在周圍被具有導(dǎo)電性的矩形的薄板狀彈性體1C所包圍的狀態(tài)下，縱橫地形成多個(gè)具有非導(dǎo)電性的矩形第1貫通區(qū)域11。并且，在周圍被第1貫通區(qū)域11所包圍的狀態(tài)下，形成矩形的具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域12。對(duì)應(yīng)1個(gè)第1貫通區(qū)域11形成1個(gè)第2貫通區(qū)域12，矩形的第1貫通區(qū)域11和矩形的第2貫通區(qū)域12被配置在同一重心上。并且，代替矩形的第1貫通區(qū)域11，也可以形成由具有高介電常數(shù)的材料形成的矩形的第3貫通區(qū)域。矩形的第3貫通區(qū)域和第1貫通區(qū)域11為相同形狀，未作圖示。
在圖2B所示的各向異性導(dǎo)電薄板40中，在周圍被具有導(dǎo)電性的矩形的薄板狀彈性體1d所包圍的狀態(tài)下，縱橫地形成多個(gè)具有非導(dǎo)電性的圓形的第1貫通區(qū)域21。并且，在周圍被圓形的第1貫通區(qū)域21所包圍的狀態(tài)下，形成圓形的具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域22。對(duì)應(yīng)1個(gè)第1貫通區(qū)域21形成1個(gè)第2貫通區(qū)域22，圓形的第1貫通區(qū)域21和圓形的第2貫通區(qū)域22被配置成同心圓狀。并且，圓形的第1貫通區(qū)域21也可以置換成由具有高介電常數(shù)的材料形成的圓形的第3貫通區(qū)域。因?yàn)榈?貫通區(qū)域和第1貫通區(qū)域?yàn)橄嗤螤睿晕磮D示出具有第3貫通區(qū)域的各向異性導(dǎo)電薄板。
在所述的各向異性導(dǎo)電薄板30和40中，第2貫通區(qū)域12和22被具有規(guī)則性地配置成矩陣，但第2貫通區(qū)域12和22可以根據(jù)希望配置成隨意的分布。另外，第2貫通區(qū)域12和22也可以在1列上被等間隔地配置。
在把圖2A所示的各向異性導(dǎo)電薄板30用于接合細(xì)間距的電子機(jī)器間的情況下，優(yōu)選使具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域11(或第3貫通區(qū)域)的長(zhǎng)度D1小于等于100μm，使第2貫通區(qū)域12的長(zhǎng)度D2小于等于50μm。另外，優(yōu)選使相鄰的第1貫通區(qū)域11(或第3貫通區(qū)域)間的間隔D3小于等于30μm。當(dāng)在該范圍內(nèi)時(shí)，可以使相鄰的第2貫通區(qū)域12間的排列間距的間隔PX大于等于130μm。
在圖2A的實(shí)施方式中，使具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域11(或第3貫通區(qū)域)的寬度W1為約80μm，使到相鄰的第1貫通區(qū)域11為止的排列間距的間隔PY為約130μm，使第2貫通區(qū)域12的寬度W2為約50μm。然而，在其他的實(shí)施方式中，當(dāng)然也可以使寬度W1、W2和間隔PY比這些更長(zhǎng)(或更大)。
在圖2B的實(shí)施方式中，關(guān)于第2貫通區(qū)域22的排列間距PX以及PY，在使其適合于印刷基板的連接盤圖形配置的情況下，考慮以1/10英寸即2.54mm的等間隔來(lái)排列第2貫通區(qū)域22。在其他的實(shí)施方式中，關(guān)于第2貫通區(qū)域22的排列間距PX和PY，當(dāng)然也可以比那些更長(zhǎng)(或更大)或更短(或更小)。
接著，根據(jù)圖3、圖4A和圖4B來(lái)說(shuō)明圖2A的各向異性導(dǎo)電薄板30的制造方法。
首先，在箱形的長(zhǎng)方體的形框(未圖示)中縱橫地立設(shè)多個(gè)四棱柱的芯子31。并且，在生橡膠中混入石墨等導(dǎo)電性微粒子，并且在該形框中放入加有少量的硫和輔助材料的配合橡膠而成形。并且，通過(guò)加熱進(jìn)行硫化，從而得到圖3所示的導(dǎo)電性塊1e。
接著，如圖4A所示，從導(dǎo)電性塊1e中取出芯子31，在矩形的貫通孔32內(nèi)立設(shè)四棱柱的第2芯子33。并且，在貫通孔32內(nèi)注入未硫化的非導(dǎo)電性橡膠(或混入了鈦酸鋇等鐵電體的微粒子的橡膠)，形成未硫化的非導(dǎo)電性塊12a(或電介質(zhì)塊)。并且，通過(guò)加熱未硫化的非導(dǎo)電性塊12a(或電介質(zhì)塊)和已硫化的導(dǎo)電性塊1e來(lái)進(jìn)行粘接。
接著，從導(dǎo)電性塊1e中取出第2芯子33，在已取出了第2芯子33的第2貫通孔內(nèi)，注入混入了銀等導(dǎo)電材料的未硫化的導(dǎo)電性橡膠11a。并且，通過(guò)加熱未硫化的導(dǎo)電性橡膠11a和已硫化的非導(dǎo)電性塊12a(或電介質(zhì)塊)來(lái)進(jìn)行粘接。
通過(guò)利用X-X切斷線切斷這樣所制造的圖4B所示的各向異性導(dǎo)電塊50，得到圖2A所示的各向異性導(dǎo)電薄板30。
各向異性導(dǎo)電塊50，可以通過(guò)硬質(zhì)鋼切割機(jī)和陶瓷切割機(jī)等用刀刃來(lái)進(jìn)行切斷、如細(xì)切割機(jī)那樣使用砂輪來(lái)進(jìn)行切斷、如鋸齒那樣通過(guò)切細(xì)進(jìn)行切斷、通過(guò)其他的切削機(jī)器或切斷器具(也可以包括激光切斷機(jī)那樣的非接觸形的切斷裝置)來(lái)進(jìn)行切斷。
另外，在切斷時(shí)，為了防止過(guò)熱，并且為了得到整齊的切斷面，以及為了其他的目的，可以使用切削油等切削液，也可以進(jìn)行干式切斷。
這樣，能夠容易地作成通常情況下很難的以很薄的薄板狀彈性體為主體的各向異性導(dǎo)電薄板、以及作成以厚的薄板狀彈性體為主體的各向異性導(dǎo)電薄板。薄板狀彈性體的厚度通常為約1mm左右，但在變薄的情況下，可以使其小于等于約100μm(在特別需要時(shí)小于等于約50μm)，也可以使其為幾個(gè)mm。在本實(shí)施例中，假設(shè)約為1mm。
接著，通過(guò)圖5、圖6A以及圖6B來(lái)說(shuō)明圖2B的各向異性導(dǎo)電薄板40的制造方法。
首先，在箱形的長(zhǎng)方體的形框(未圖示)中縱橫地立設(shè)多個(gè)圓柱芯子41。并且，在生橡膠中混入石墨等導(dǎo)電性微粒子，并且在該形框中放入加有少量的硫和輔助材料的配合橡膠而成形。并且，通過(guò)加熱進(jìn)行硫化，從而得到圖5所示的導(dǎo)電性塊1f。
接著，如圖6A所示，從導(dǎo)電性塊1f中取出圓柱芯子41，在圓形的貫通孔42內(nèi)立設(shè)第2圓柱芯子43。并且，在圓形貫通孔42內(nèi)注入未硫化的非導(dǎo)電性橡膠(或混入了鈦酸鋇等鐵電體的微粒子的橡膠)，形成未硫化的非導(dǎo)電性塊22a(或電介質(zhì)塊)。并且，通過(guò)加熱未硫化的非導(dǎo)電性塊22a(或電介質(zhì)塊)和已硫化的導(dǎo)電性塊1f來(lái)進(jìn)行粘接。
接著，從導(dǎo)電性塊1f中取出第2圓柱芯子43，在已取出了第2圓柱芯子43的第2貫通孔內(nèi)，注入混入了銀等導(dǎo)電材料的未硫化的導(dǎo)電性橡膠21a。并且，通過(guò)加熱未硫化的導(dǎo)電性橡膠21a和已硫化的非導(dǎo)電性塊22a(或電介質(zhì)塊)來(lái)進(jìn)行粘接。
通過(guò)利用X-X切斷線切斷這樣所制造的圖6B所示的各向異性導(dǎo)電塊60，得到圖2B所示的各向異性導(dǎo)電薄板40。
接著，說(shuō)明用于得到和圖2A所示的各向異性導(dǎo)電薄板30同樣的各向異性導(dǎo)電薄板的其他的制造方法。圖7表示使用金屬制的金屬層作為第2貫通區(qū)域的各向異性導(dǎo)電薄板70。
本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電薄板70雖然為矩形狀的薄板，但也可以適用于矩形以外的形狀的薄板狀元件。各向異性導(dǎo)電薄板70利用由非導(dǎo)電性元件構(gòu)成的非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73相包圍地夾著金屬制的金屬層71。并且，通過(guò)利用由導(dǎo)電性部件構(gòu)成的導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件74、75和76相包圍地夾著非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73來(lái)構(gòu)成。
在本實(shí)施方式中，非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73形成矩形的第1貫通區(qū)域，金屬層71形成矩形的第2貫通區(qū)域。
并且，在各向異性導(dǎo)電薄板70中形成高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域以代替非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域的情況下，非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72可以利用由電介質(zhì)元件構(gòu)成的長(zhǎng)方形狀元件來(lái)置換。同樣，非導(dǎo)電性的凹型元件73可以利用由電介質(zhì)元件構(gòu)成的長(zhǎng)方形狀元件來(lái)置換。
金屬制的金屬層71、非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73、導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件74～76通過(guò)偶聯(lián)劑相結(jié)合。本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電薄板70使用三菱樹(shù)脂株式會(huì)社制造的硅橡膠或信越聚合物株式會(huì)社制造的硅橡膠等作為非導(dǎo)電性的彈性體，而偶聯(lián)劑使用信越聚合物株式會(huì)社制造的硅烷偶聯(lián)劑。并且，金屬制的金屬層71可以包括金屬層整體由1種金屬構(gòu)成的情況，也可以使用多層導(dǎo)電薄層。
圖8是把圖7的左上角放大后的局部放大圖，更詳細(xì)地表示非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73。如圖8所示，隔著粘接層91，非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀部件72和凹型部件73通過(guò)偶聯(lián)劑相互結(jié)合。
在金屬層71與非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀部件72或凹型部件73沒(méi)有正確地匹配的情況下，在金屬層71的兩邊產(chǎn)生空隙92。但是，如果金屬層71足夠薄，則這樣的空隙就不存在。對(duì)于這些空隙，可以僅僅作為空隙而空著，另外，也可以使用偶聯(lián)劑或其他的填充劑來(lái)填塞。一般情況下，如果使其保持空著的狀態(tài)，則銳角的龜裂尖端狀部作為裂紋，容易擴(kuò)大，結(jié)果使有時(shí)已被結(jié)合的非導(dǎo)電性長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73相分離，所以基于該觀點(diǎn)優(yōu)選填塞填充劑。
在圖8中，由金屬層71形成的第2貫通區(qū)域的長(zhǎng)度為D2，寬度為W2。由非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73形成的第1貫通區(qū)域的長(zhǎng)度和寬度分別是D1、W1。另外，導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件74的寬度為t11，導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件75的寬度為t12，導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件76的寬度為t21或t22。
雖然可以任意地設(shè)定這些尺寸，但在本實(shí)施方式中，設(shè)定t11＝t12，t21＝t22。另外，雖然可以任意地設(shè)定由金屬層71形成的第2貫通區(qū)域的長(zhǎng)度D2和寬度W2，但例如可以把長(zhǎng)度D2設(shè)定成50μm左右。
雖然本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電薄板對(duì)厚度、寬度和長(zhǎng)度沒(méi)有限制，但在用于連接電路基板和電子部件的端子之間的情況下，優(yōu)選是與它們的尺寸相匹配的大小。在這種情況下，通常寬度和長(zhǎng)度為0.5～3.0cm×0.5～3.0cm，厚度為0.5～2.0cm。
這些長(zhǎng)方形狀元件的厚度在本實(shí)施例中大致相同，因此薄板的厚度是圖8中T所表示的厚度。如上所述，相鄰的非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73通過(guò)偶聯(lián)劑結(jié)合，構(gòu)成如圖7所示的1張薄板。這里，所結(jié)合的偶聯(lián)劑是非導(dǎo)電性的，確保了薄板的面方向上的非導(dǎo)電性。
接著，參照?qǐng)D9至圖13，說(shuō)明制造上述實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電薄板70的方法。圖9表示由金屬制的金屬棒71a、非導(dǎo)電性的板狀元件72a構(gòu)成的帶金屬板712。金屬棒71a成為圖7的金屬層71，非導(dǎo)電性的板狀元件72a成為圖7的非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72。
在圖9中，金屬棒71a雖然可以利用各種方法來(lái)安裝，但在本實(shí)施方式中，利用濺射來(lái)進(jìn)行安裝。即，把非導(dǎo)電性的板狀元件72a作為基板，調(diào)整與所制作的金屬棒71a的成分相符合的靶，通過(guò)濺射裝置來(lái)安裝金屬棒71a。金屬棒71a的寬度和間隔可以通過(guò)形成與其相符的掩模(masking)來(lái)調(diào)整。因?yàn)楸緦?shí)施方式的非導(dǎo)電性的板狀元件72a是非導(dǎo)電性彈性體，所以可以使用不會(huì)使得基板溫度過(guò)高的方法。例如，使用磁控濺射或離子束濺射等。
圖10表示在帶金屬板712上，層疊成為圖7的凹型元件73的非導(dǎo)電性橋型元件73a而作成層疊體100的狀況的圖。在帶有金屬的板712和非導(dǎo)電性橋型元件73a之間，施加偶聯(lián)劑，把兩元件間結(jié)合起來(lái)制作層疊體100。
圖11表示再把層疊體100、由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的導(dǎo)電性板74a和75a進(jìn)行層疊的狀況。導(dǎo)電性板74a成為圖7的導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件74，導(dǎo)電性板75a成為圖7的導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件75。對(duì)多個(gè)層疊體100和導(dǎo)電性板75a進(jìn)行層疊使得金屬棒71a平行地排列。層疊體100與導(dǎo)電性板74a和75a寬度相同，在層疊體100與導(dǎo)電性板74a或75a之間施加偶聯(lián)劑，層疊體100與導(dǎo)電性板74a或75a被偶聯(lián)劑結(jié)合，從而制作圖12所示的層疊體102。
對(duì)通過(guò)上述的工序所制作的層疊體102進(jìn)行切斷，使得圖13所示的各向異性導(dǎo)電薄板70的第1貫通區(qū)域(即，由非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72和凹型元件73形成的區(qū)域)的寬度成為希望的W1。并且，如圖12所示排列已切齊的使得寬度成為W1的多個(gè)層疊體102。
圖13表示在多個(gè)層疊體102之間再夾進(jìn)導(dǎo)電性薄板元件76a而作成層疊體103的狀況。導(dǎo)電性薄板元件76a的縱深和高度與層疊體102的切斷面的縱深和高度相同，進(jìn)行重疊使得金屬棒71a的朝向全部一致(使其并行)。導(dǎo)電性薄板元件76a成為圖7的導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件76。在這些層疊體102和導(dǎo)電性薄板元件76a之間施加偶聯(lián)劑，層疊體102和導(dǎo)電性薄板元件76a之間被偶聯(lián)劑所結(jié)合，形 成塊103。
圖13表示切斷通過(guò)上述工序所制作的塊103的工序。根據(jù)希望的厚度T沿著X-X線切斷塊103，得到厚度為T的各向異性導(dǎo)電薄板70。該厚度T與圖7中的T，或圖1A、圖1B、圖2A和圖2B中的t相當(dāng)。因此，可以容易地作成通常情況下較難的薄的各向異性導(dǎo)電薄板和厚的各向異性導(dǎo)電薄板。通常情況下，約為1mm左右，但在更薄的情況下，也可以使得厚度約為小于等于100μm(在特別需要的時(shí)候小于等于約50μm)，也可以使得厚度為幾mm。在本實(shí)施例中，設(shè)定約為1mm。
并且，金屬制的金屬層71例如為銅(Cu)，可以預(yù)先對(duì)銅施加導(dǎo)電性的鍍覆，也可以在各向異性導(dǎo)電性薄板完成后實(shí)施鍍覆。另外，在各向異性導(dǎo)電薄板70上代替非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域而形成高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域的情況下，代替構(gòu)成帶有金屬的板712的非導(dǎo)電性的板狀元件72a，使用由電介質(zhì)元件構(gòu)成的電介質(zhì)薄板，代替非導(dǎo)電性橋型元件73a，使用由電介質(zhì)元件構(gòu)成的電介質(zhì)橋型元件，從而代替非導(dǎo)電性的長(zhǎng)方形狀元件72形成由電介質(zhì)元件構(gòu)成的長(zhǎng)方形狀元件，代替非導(dǎo)電性的凹型元件73形成由電介質(zhì)元件構(gòu)成的凹型元件。這種情況下，由電介質(zhì)元件構(gòu)成的長(zhǎng)方形狀元件和由電介質(zhì)元件構(gòu)成的凹型元件形成第3貫通區(qū)域。
如上所述，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電薄板，作為彈性體連接器能確保面方向的絕緣性和彈性，同時(shí)利用具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域包圍具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域，并且利用導(dǎo)電性彈性體包圍所述具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域，所以獲得實(shí)施了與該各向異性導(dǎo)電薄板連接的電子部件間的靜電屏蔽的效果。例如，通過(guò)向同軸電纜和電路基板間的連接元件提供該各向異性導(dǎo)電薄板，可以防止屏蔽被破壞。
另外，可以自由地設(shè)定具有非導(dǎo)電性的第1貫通區(qū)域(或具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域)和具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域的面積和間距，可以容易地達(dá)到通過(guò)高集成化所期望的細(xì)間距。另外，因?yàn)榈?貫通區(qū)域和第2貫通區(qū)域與薄板狀彈性體被化學(xué)結(jié)合(橡膠的交聯(lián))，所以獲得如下效果能夠降低在導(dǎo)電部中使用線狀的金屬等時(shí)容易產(chǎn)生的、因?qū)щ姴康陌纬龅榷鹈撀涞目赡苄浴?br> 在各向異性導(dǎo)電薄板中，利用具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域包圍具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域，并且利用導(dǎo)電性彈性體包圍所述具有高介電常數(shù)的第3貫通區(qū)域，所以通過(guò)使該各向異性導(dǎo)電薄板的厚度為0.5mm～2mm左右，可以實(shí)現(xiàn)電子部件的連接間的低感性系數(shù)。并且，也可以期待鐵電體的高導(dǎo)納。
權(quán)利要求
1.一種各向異性導(dǎo)電薄板，僅在某個(gè)方向上具有導(dǎo)電性，其特征在于，所述各向異性導(dǎo)電薄板包括具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體，在被所述薄板狀彈性體所包圍的狀態(tài)下形成有具有非導(dǎo)電性的1個(gè)或1個(gè)以上的第1貫通區(qū)域，在被所述第1貫通區(qū)域所包圍的狀態(tài)下形成有具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域分布在所述薄板狀彈性體中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域有規(guī)則性地排列在所述薄板狀彈性體中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域的電導(dǎo)率比所述薄板狀彈性體的電導(dǎo)率高。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第1貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成同心圓。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第1貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成為矩形，所述矩形的第1貫通區(qū)域和所述矩形的第2貫通區(qū)域被配置在同一重心上。
7.一種各向異性導(dǎo)電薄板，僅在某方向上具有導(dǎo)電性，其特征在于，所述各向異性導(dǎo)電薄板包括具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體，在被所述薄板狀彈性體所包圍的狀態(tài)下形成有具有高介電常數(shù)的1個(gè)或1個(gè)以上的第3貫通區(qū)域，在被所述第3貫通區(qū)域所包圍的狀態(tài)下形成有具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域分布在所述薄板狀彈性體中。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域有規(guī)則性地排列在所述薄板狀彈性體中。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第2貫通區(qū)域的電導(dǎo)率比所述薄板狀彈性體的電導(dǎo)率高。
11.根據(jù)權(quán)利要求7至10中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第3貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成同心圓。
12.根據(jù)權(quán)利要求7至10中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第3貫通區(qū)域和所述第2貫通區(qū)域形成為矩形，所述矩形的第3貫通區(qū)域和所述矩形的第2貫通區(qū)域被配置在同一重心上。
13.根據(jù)權(quán)利要求7至12中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板，其特征在于，所述第3貫通區(qū)域包括鐵電體。
14.一種電子部件對(duì)，其特征在于，所述電子部件對(duì)與權(quán)利要求1至13中的任意一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電薄板連接。
全文摘要
提供作為用于連接近年來(lái)的高集成電路基板和細(xì)間距的電子部件的彈性體連接器的高頻用的各向異性導(dǎo)電薄板。各向異性導(dǎo)電薄板(30)包括具有導(dǎo)電性的薄板狀彈性體(1c)，在被薄板狀彈性體(1c)所包圍的狀態(tài)下，縱橫地形成具有非導(dǎo)電性的矩形的第1貫通區(qū)域(11)。另外，在被第1貫通區(qū)域(11)所包圍的狀態(tài)下形成矩形的具有導(dǎo)電性的第2貫通區(qū)域(12)。第1貫通區(qū)域(11)也可以作為具有高介電常數(shù)的矩形的第3貫通區(qū)域。各向異性導(dǎo)電薄板(30)具有實(shí)施了所連接的電子部件間的靜電屏蔽的效果。
文檔編號(hào)H01R11/01GK1754286SQ200480005298
公開(kāi)日2006年3月29日 申請(qǐng)日期2004年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月28日
發(fā)明者長(zhǎng)谷川美樹(shù) 申請(qǐng)人:日本壓著端子制造株式會(huì)社