專利名稱：密封－處理室－開口的方法與裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明有關于半導體制造，尤其是有關于用以密封一處理室開口的方法與設備。
背景技術：
一基材處理室典型與一基材傳送室經由一可密封開口相通，該開口為寬及相當短，以容許水平方向的基材插入與移除。已知使用一狹縫閥，以密封一開口。例如，狹縫閥的一密封板可以延伸以密封該開口，并縮回，以允許基材通過該開口。狹縫閥較佳被設計以避免(1)經由磨擦所產生的微粒，及(2)彈性封閉件的不均勻壓縮的問題。
在某些類型的基材處理步驟中，一壓力差動器可以存在于處理室與傳送室之間，使得在處理室內的高壓向外推擠狹縫閥的密封板。因而，使得狹縫閥受到應力并疲乏，其量隨著壓力差增加而增加。當涉及例如用于平面顯示器的大基材時，壓力差影響加劇(例如，因為較大的基材需要在處理室與傳送室間有一較大開口，及較大的密封板以密封此一開口)。傳統(tǒng)狹縫閥典型并未被設計以容許大壓力差動器。因此，有需要改良的密封一處理室的開口的方法與設備，特別是當使用大壓力差動器時。

發(fā)明內容
在本發(fā)明的第一實施例中，一狹縫閥被提供用以密封一開口。該狹縫閥包含一閥殼，其具有(1)一第一壁；(2)一第一開口，形成在第一壁中；(3)一第二壁；及(4)一第二開口，形成在第二壁中。該狹縫閥同時包含一封閉件，具有一密封部份，適用以接觸第二壁及密封第二開口，及一加強件，可相對于密封部份作移動，并適用以接觸第一壁。該狹縫閥更包含至少一致動機制，適用以(1)移動該密封部份向第二壁并與第二壁接觸；及(2)移動該加強件離開密封部份并與第一壁接觸，以加強該密封部份靠向第二壁。
在本發(fā)明第二實施例中，提供了一種用以密封一開口的方法。該方法包含提供一閥殼，其具有(1)一第一壁；(2)一第一開口，形成在第一壁中；(3)一第二壁；及(4)一第二開口，形成在第二壁中。該方法更包含一封閉件，具有一密封部份，適用以接觸第二壁并密封第二開口，及一加強件，可相對于該密封部份移動及適用以接觸第一壁。該方法同時包含(1)將該密封部份移動向第二壁并與第二壁接觸；及(2)將加強件由該密封部份移開并與第一壁接觸，以加強密封部份靠向第二壁。本案也提供多種其它情況。
本發(fā)明的其它特性及情況也可以由以下的詳細說明，隨附的權利要求范圍及附圖加以完全了解。


圖1A-1C為包含一室隔絕閥的依據(jù)本發(fā)明設備的一實施例。
圖2為代表圖1A-1C的室隔絕閥的例示實施例的本發(fā)明室隔絕閥的立體分解圖。
圖3A-3F為圖2的室隔絕閥的剖面?zhèn)纫晥D，其是在沿著室隔絕閥的長度所取的各種位置。
圖4為一流程圖，其例示用以密封圖2的室隔絕閥的第一開口的程序。
圖5為一流程圖，其例示用以放置圖2的室隔絕閥的封閉件在圖3F所示的封閉件的縱向縮回位置中。
圖6為一狹縫閥系統(tǒng)的代表圖，其包含圖2的室絕緣閥及適用以操作及/或協(xié)調室隔絕室的功能。
圖7為圖6的狹縫閥系統(tǒng)的特定實施例的代表圖。
附圖標記說明101室絕緣閥 101a室絕緣閥102處理室開口103封閉件105閥殼 107密封部份109加強件111延伸部份113密封體115第一開口
117第二開口 119背板121前板 123間隙125間隙 127上部份129下部份130彈性組件133第二埠134展開機制135致動器137風箱141第二致動器143第一支撐板145托架 147支撐板149支撐件151軌155軸承 157導槽159滾子部份 161加強板163第一側165輪轂167袋體 169非密封側171驅動板173加強致動器175驅動板風箱177安裝凸緣179壁部份181壓力槽183導管 185套筒187壓力埠189導管191密封部份接口 193延伸部份接口195彈性組件 197導管198彈性件199彈性件600狹縫系統(tǒng) 601控制模塊603輸入/輸出模塊 605信號導體607信號導體 609信號導體611信號導體 613信號導體615真空源導管617加壓氣體源導管619排出導管 621加強致動導管623夾持致動導管 625封閉件下降導管627封閉件上升導管629位置開關631指示器燈 635位置開關
637指示器燈641壓力開關643小孔651真空開關653壓力源閥655氣力導管657調整器 659真空源閥661氣力導管663調整器665開關連接器 667開關連接器669開關連接器 671致動機制673高壓側導體 675高壓側導體677高壓側導體 679接地導體681接地導體683接地導體685接地導體687位置開關具體實施方式
圖1A-1C為依據(jù)本發(fā)明的一設備實施例，其包含一室絕緣閥101。同時，當考慮上述說明時，圖1A-1C例示使用室絕緣閥101以密封一至鄰近處理室P(如圖1A的虛線所示)的開口102的本發(fā)明方法的實施例，以允許處理室P的加壓，用以處理包含在其中的基材。
室絕緣閥101可以包含一封閉件103，用以密封該處理室開口102。另外，該室絕緣閥101也可以包含一閥殼105，其中，至少封閉件103的一部份可以移動安排于其中。為了允許室絕緣閥101被用于配合一處理室的開口，室絕緣閥101的閥殼105可以放置靠著處理室，例如，使得一密封(未示出)被形成在閥殼105與處理室之間，在予以密封的處理室開口旁。
封閉件103可以包含一密封部份107，用以密封處理室開口102。例如，密封部份107可以用以間接密封處理室開口102，例如通過密封對準處理室開口102的閥殼105的開口?；蛘撸撁芊獠糠?07被放置于直接接觸處理室P(未示出)，使得密封部份107密封該處理室開口102旁。
所述封閉件103以還包含一加強件109，其可相對于密封部份107作移動。例如，加強件109可以適用以延伸離開或接近密封部份107。再者，加強件109也可以適用以加強或支撐密封部份107，例如，當密封部份107如上述在密封處理室開口102的位置時。此配置有效于其可以降低或最小化需要以對抗在處理室P內的正壓力量的大小，特別是其相較于常用的懸臂配置(未示出)。
為了提供相對于處理室開口102的封閉件103的方便移動，封閉件103可以包含一延伸部份111，其由密封部份107延伸。在此一實施例中，延伸部份111與密封部份107分隔開的一端可以適用以抓住及/或操控，例如通過安排在閥殼105內或外的致動器(見圖2)，以完成封閉件103可以移動成一單元(例如經由延伸部份111，移動密封部份107及加強件109)。例如，封閉件103也可以經由延伸部份111移動向及/或離開處理室開口102(橫向地于示于圖1B及1C的室絕緣閥101的個別架構間或者縱向地于圖1A及1B所示的室絕緣閥101的個別架構間)。
較佳地，封閉件103的延伸部份111相對于封閉件103的密封部份107是固定的。例如，密封部份107及延伸部份111可以為單體結構，如圖1A所示?；蛘撸由觳糠?11也可以固定地連接至密封部份107。
閥殼105可以定義一密封體113、一至密封體113的第一開口115、及一至密封體113的第二開口117。較佳地，第一開口115及密封體113是對準處理室開口102的共同軸并大小作成允許基材通過該閥殼105并進出處理室P。例如，第一開口115可以與處理室開口102分開，及第二開口117可以安排于密封體113的另一側上，鄰近處理室開口102及在共同軸上。在一或多數(shù)實施例中，第二開口117可以放置于與處理室開口102呈氣力相通，使得第二開口117基本上包含一處理室開口102的延伸。
閥殼105可以還包含一背板119，其內形成有第一開口115。該背板119可以轉接及適當?shù)囟ㄎ?，以允許加強件109接觸背板119并抵靠背板119，用以加強于密封時的封閉件103的密封部份107(如下所述)。
所述閥殼105還包含一前板121，其中形成第二開口117。該前板121可以轉接及適當?shù)囟ㄎ?，以允許封閉件103的密封部份107接觸前板121并密封第二開口117?；蛘?，如上所述，密封部份107也可以直接接觸處理室P，以密封開口102。
如圖1A所示，在操作中，室絕緣閥101的封閉件103適用以占用相對于第一及第二開口115、117的縮回位置，其中，該封閉件103是遠離開第一開口115、第二開口117(如在其下方)。此一架構允許基材被通過閥殼105并進出處理室P。
如圖1A所示，在至少一實施例中，閥殼105的密封體113可以包圍封閉件103的密封部份107，同時，允許基材通過閥殼105。如圖1A所示，閥殼105的密封體113可以以具有空出空間的方式，包含密封部份107及加強件109，例如，在加強件109及背板119間提供一第一間隙123及在密封部份107及前板121間提供一第二間隙125。
封閉件103可以相對于閥殼105作移動，以占用相對于第一開口115、第二開口117的展開位置，如圖1B所示，其中，密封部份107安排于第一開口115及第二開口117之間。較佳地，在此展開時，第一及第二間隙123、125被維持，以降低及/或免除在封閉件103及閥殼105間可能造成的粒子產生磨擦及/或擦拭。明顯地，基材(未示出)不再通過閥殼105，因為封閉件103阻擋其間的路徑。
如圖1B所示的相對于閥殼105的第二開口117的縮回位置的封閉件103可以被移入相對如圖1C所示的第二開口117的展開位置。如圖1C所示，封閉件103的密封部份107是與前板121接觸，并可以造成閥殼105的第二開口117的密封。較佳地，如圖1B及1C的室絕緣閥101所示，在封閉件103的密封部份107及閥殼105的前板121間的造成第二開口117的密封的相對移動被限制為對前板121的垂直方向，以降低及/或免除粒子經磨擦產生的可能。
可以相較于圖1C與1B看出，室絕緣閥101可以適用以產生一分離力，其將加強件109作相對于密封部份107的移動，以造成加強件109遠離開處理室開口102(圖1)并與閥殼105的背板背119接觸?；蛘?，加強件109也可以使得接觸傳送室(未示出)的一部份，或者，另一結構件的一部份。室絕緣閥101也可以然后產生一加強力，也傾向于迫使加強件109離開密封部份107，以加強或支撐封閉件103的密封部份107抵靠閥殼105的前板121，或如可能地靠著處理室P(圖1)。此一加強力可以以若干方式及位置加以相對于封閉件103產生。例如，加強力可以產生并直接施加于加強件109及密封部份107之間，例如通過安排或形成在其間的氣壓致動器(見圖2)。注意，本發(fā)明的至少一實施例中，加強件109并未密封第一開口115。
圖2為代表圖1A-1C的室絕緣閥101的例示實施例的本發(fā)明室絕緣閥101a的分解組裝圖。圖3A-3F為沿著室絕緣閥101a的長度方向不同位置所取的室絕緣閥101a的剖面組件圖，其描述室絕緣閥101a的結構及操作狀況。因此，參考室絕緣閥101的結構及功能說明也同樣適用于室絕緣閥101a，以相同參考數(shù)來指示于這些圖中(例如結構)的相關情況。
參考圖2及3A，閥殼105可以包含一上部份127及一連接至上部份127的下部份129。上部份127可以包含一彈性組件130(圖3A)，以允許閥殼105的背板119被封密在相關外部對應結構，例如一傳送室的一閥接口部份。下部份129可以包含單性組件131(圖3A)，用以密封閥殼105的下部份129至閥殼105的上部份。下部份129還包含一第一及第二埠133(圖2及3D)，適用以允封閉件103的延伸部份111向外延伸出閥殼105并允許封閉件103相對于閥殼105作縱向(例如垂直)及橫向(例如水平)移動?？梢砸辣匾蛳胍绞街付ㄝ^多或較少的埠133。
參考圖2，封閉件103可以包含兩延伸部份111，每一延伸部份111連接至密封部份107，及室絕緣閥101a被架構以使得每一延伸部份111延伸穿過一埠133?？梢砸辣匾蛳胍绞街付ㄝ^多或較少的延伸部份111。
參考圖2及3A-3F，室絕緣閥101a可以包含一展開機制134，用以例如相對于閥殼105及或處理室開口102(圖1A)移動封閉件103。例如，展開機制134可以包含一或多數(shù)第一致動器135(圖2及3A)，用以移動封閉件103在縱向縮回及縱向展開位置之間，如圖3F及3D所分別顯示。第一致動器135可以是很多不同類型適當裝置之一。例如，如圖2及3A的第一致動器135所示的氣力驅動線性致動器將可以適用的，如同為一皮帶或螺桿驅動致動器。
展開機制134還包含一或多數(shù)外部風箱137(圖2)，用以保護閥殼105的密封體113對抗污染物由埠133入侵。每一外部風箱137對應并適用以包含封閉件103的分離延伸部份111。當有更多或較少的延伸部份111出現(xiàn)時，外部風箱137的數(shù)量可以對應地增加或減少。每一137可以包含一第一安裝凸緣139，安裝在閥殼105上，在埠133旁，該對應延伸部份111延伸穿過該埠133。
展開機制134可以還包含一或多數(shù)第二致動器141(圖2及3C)，用以移動封閉件103在封閉件103的橫向縮回及橫向展開位置之間，如圖3D及3E所示。每一第二致動器141可以被安裝至第一支撐板143，其隨后可移動經由第一致動器135安裝至閥殼105。每一第二致動器141可以為很多不同適當裝置之一。例如，一例如圖2及3C所實施的氣力驅動線性致動器將可以適用，并將會是一皮帶或螺桿驅動致動器。
當?shù)谝恢聞悠?35縱向地相對于閥殼105移動第一支撐板143時，展開機制134可以適用以導引第一支撐板143。例如，一第一及第二支撐件149可以被固定至閥殼105并由閥殼105延伸，及第一支撐板143可以滑動地連接至每一安撐件149，例如，經由一軌道151及一第一及第二對車架153，軌道151較佳固定至每一支撐件149。每一對車架153可以固定連接至第一支撐板143并可移動地連接至一軌道151，以允許第一支撐板143的縱向移動。
參考圖2、3C及3D，展開機制134可以還包含一或多數(shù)托架145，每一托架145被固定至延伸部份111的一端，該端與封閉件103的密封部份107分開的。展開機制134可以還包含一第二支撐板147，第二支撐板147可移動地經由第二致動器141安裝至第一支撐板143(及/或閥殼105)。每一托架145可以連接至第二支撐板147，以提供一機構，使得展開機制134可以操縱及/或移動封閉件103(例如縱向或橫向或其組合)。
當?shù)诙聞悠?41相對于第一支撐板143及閥殼105橫向移動第二支撐板147時，展開機制134可以適用以導引第二支撐板147，并且，將第二致動器141與由封閉件103、第二支撐板147及托架145的組合重量所代表的垂直力隔離開(例如，促成封閉件103相對于閥殼105的平順橫向平移)。例如，如圖2及3B所示，展開機制134可以還包含軸承155，其由第一支撐板143的側延伸，及每一托架145可以包含一導槽157，適用以收納軸承155之一的滾子部份159。因此，當?shù)诙伟?47相對于第一支撐板143橫向移動時，軸承155及第一支撐板143可以承受封閉件103、托架145及第二支撐板147的實質所有重量，同時，允許該組件平順地經由在軸承滾子部份159及托架導槽157間的翻轉(滾動)信道平移。
例如，閥殼105的第一開口115可以相當?shù)亻L，如同圖2的室絕緣閥101a，加強件109可以包含一加強板161，其為長形。該加強板161可以包含一第一側163(圖3C)，其面向密封部份107，該密封部份107上提供有多數(shù)安裝輪轂165(圖3B)。每一安裝輪轂165可以適用以延伸入多數(shù)袋體167的個別一個(見圖2及3B)，這些袋體167形成在密封部份107的非密封側169中(圖2)。個別驅動板171(圖2)可以安排在每一袋體167(見圖3D)內，并較佳地固定至延伸在其中的加強板161的安裝輪轂165中。一次組件可以形成，其包含加強板161及每一驅動板171經由安裝輪轂165連接至加強板161。
封閉件103也可以前后移動加強件109在圖3D所示的縮回位置(橫向)及圖3E所示的展開或延伸位置之間。例如，一致動裝置可以展開于加強件109及/或封閉件103的密封部份107之內(例如，用以最小放大封閉件103的整體尺寸)。例如，該封閉件103可以包含至少一如以下參考圖2及3B-3F所述的加強致動器173(圖2及3E)。
當?shù)谝婚_口115相當長時，如同圖2的室絕緣閥101a般，封閉件103可以(例如取決所需以經由加強件109施加至密封部份107的加強力大小及/或形成袋體167的密封部份107的非密封側169的可用空間)包含多數(shù)加強致動器173。每一加強致動器173可以建入及/或整合入封閉件103內，以包含上述封閉件103的部份組件的一部份(例如密封部份107的袋體167及加強件109的驅動板171)。另外，每一加強致動器173可以包含一驅動板風箱175(圖3D)，其包含一安裝凸緣177，連接至密封部份107的非密封側169(例如在密封部份107的袋體167旁)；及一可延伸壁部份179附著至安裝凸緣177并延伸入袋體167，該可延伸壁部份179是在袋體167內附著至一驅動板171。
參考圖3E，每一加強致動器173可以包含一壓力槽181，其包含密封部份107的一袋體167(也見圖3B)、加強件109的驅動板171、驅動板風箱175的可延伸壁部份179及驅動板風箱175的安裝凸緣177(圖3D)。壓力槽181可以經由外部來源的加壓氣體(未示出)膨脹，以強迫加強件109靠向背板119。例如，圖3E例示室絕緣閥101a的架構，其中封閉件103的密封部份107被展開靠著閥殼105的前板121，封閉件103的加強件109被展開靠向閥殼105的背板119，每一驅動板風箱175的可延伸壁部份179是相關地壓縮，及壓力槽181的體積相當?shù)卮蟆?br> 或者，壓力槽181可以經由一外部來源真空壓力加以收縮。例如，圖3D例示室絕緣閥101a的架構，其中加強件109是縮回于密封部份107的袋體167(圖3B)內，驅動板風箱175相當?shù)嘏蛎?，及壓力?81(圖3)的體積相當?shù)匦?。可以如下所解釋，每一加強致動?73可以包含一此壓力槽181并可以通過在壓力槽181體積的變化及/或壓力槽181的壓力(例如空氣壓力或流體壓力)的變化，而致動(例如移動/定位/壓迫加強件109)。
每一加強致動器173可以被氣力激勵。例如，每一袋體167可以經由一導管183(圖3B)氣力連接，該導管穿透每一袋體167的壁。因此，當封閉件103的一加強致動器173的壓力槽181受到增加空氣或流體壓力而膨脹，或受到真空壓力而收縮時，每一加強致動器173的壓力槽181將傾向于類似地激勵。因此，依據(jù)存在于導管183中的壓力，為加強致動器173所施加的集合力量可以(例如接近或離開)相對于密封部份107移動加強件109。
封閉件103可以適用以將導管183曝露至一真空壓力源(未示出)，用以縮回加強件109在密封部份107之內，例如，當封閉件103在圖3F的縱向縮回位置時，或移動進出封閉件103時，防止于加強件109及閥殼105間的接觸。(封閉件103的密封部份107可以類似地由前板121縮回)。封閉件103可以適用以曝露導管183至加壓氣源(未示出)，用以延伸加強件109離開密封部份107及/或使得當完全延伸時，加強件109推向閥殼105的背板119，以加強密封部份107靠向閥殼105的前板121，如圖3E所示。
導管183曝露至真空壓力或加壓氣體源可以以若干方式加以完成。例如，一或兩個托架145可以包含一套筒185(圖2)，適用以接收一壓力配件(未示出)，例如一壓力軟管的端配置。壓力配件(未示出)可以適用以配合形成在封閉件103的延伸部份111內的壓力埠187(圖3E)，其同時與形成在延伸部份111內的延伸導管189(圖3C)相通，并導引至延伸部份111的密封部份接口191(圖3C)。密封部份接口191可以作成密封住密封部份107的延伸部份接口193。一彈性件195可以提供于兩接口間的密封。一在密封部份107內的饋送導管197可以由延伸部份界面193進行至密封部份107的導管183。此一配置提供一方便機構，用以氣力致動封閉件103的加強致動器173并用以相對于密封部份107的加強件109的位置進行正控制(例如如所需地施加真空或加壓氣體)(例如所有時間)。其它用以施加真空或加壓氣體至加強致動器173的架構也可以使用。
應注意的是，每一驅動板風箱175的可延伸壁部份179在壓力槽181膨脹時被壓縮。此一配置可以使得可延伸壁部份179較當壓力槽膨脹時該可延伸壁部份179受到較少應力及疲勞，因而，增加驅動板風箱175的有效壽命。相反配置也可以使用。
更應注意的是，在一實施例中，當封閉件103的密封部份107接觸閥殼105的前板121時，封閉件103的每一延伸部份111可以(見圖3E)接觸外部風箱137的第一安裝凸緣139的內表面154(圖3D)。此一配置可以對封閉件103移動向閥殼105的前板121，協(xié)助提供一正自對準限制(如下所述)。例如，當在延伸部份111及第一安裝凸緣139間建立接觸時，在閥殼105內的封閉件103的位置可以對應于在封閉件103的密封部份107及前板121間的彈性密封組件(未示出)的壓力的想要啟始程度，使得可能需要的其它壓力可以為加強件109所提供，該加強件109加強密封部份107靠向前板121。在其它實施例中，當封閉件103的密封部份107接觸前板121時，延伸部份111可以不與風箱137的內表面154接觸。
圖4為一流程圖，其例示用以密封室絕緣閥101a的第一開口115的例示程序400。參考圖4，程序400可以開始于步驟401。在步驟402，程序400可以取決于封閉件103的縱向位置(圖2)而進行至一步驟403或一步驟404。若封閉件103是在如圖3F所示的縱向縮回位置，則程序400將進行至步驟403。
在步驟403，10被由圖3F的縱向縮回位置移動向如圖3D所示的封閉件103的縱向展開位置。例如，展開機制134的第一致動器135可以用以將封閉件103由圖3F的縱向縮回位置升高至圖3D的縱向展開位置。在本發(fā)明方法的一或多數(shù)實施例中，在封閉件103的上述位置之前、之間及/或之后，展開機制134維持第二間隙125(圖1A)及一或多數(shù)加強致動器173維持在封閉件103及閥殼105間的第一間隙(圖1A)，以保護于封閉件103移動時，對抗磨擦及/或微粒產生。因此，在部份實施例中，展開機制134的第二致動器141被致動，以維持封閉件103在一離開閥殼105的前板121的橫向回縮位置中。
在結束步驟403時，封閉件103將會在圖3D的垂直展開位置。因此，程序400進行至步驟404。
在步驟404，封閉件103橫向展開，例如，被由圖3D的封閉件103的橫向縮回位置移動至圖3E所示的封閉件103的橫向展開位置。例如，展開機制134的一或多數(shù)第二致動器141(及/或一多數(shù)加強致動器173)可以使得封閉件103由圖3D的封閉件103的橫向縮回位置移動至圖3E的橫向展開位置。通過去化(例如減壓)第二致動器141，延伸部份111可以橫向移動，及一或多數(shù)加強致動器173的膨脹、延伸部份111或封閉件103等的彈簧偏壓可以將密封部份107移動向前板121。在本方法的一或多數(shù)實施例中，封閉件103的上述橫向展開造成封閉件103的密封部份107被移動與閥殼105的前板121接觸。在部份實施例及/或其它實施例中，上述封閉件103的橫向展開造成封閉件103的延伸部份111接觸外部風箱137的第一安裝凸緣139的對應內表面154。
進行至程序400的步驟405，封閉件103的加強件109被橫向展開，例如被移動至如圖3E所示的加強件109的橫向展開位置。例如，封閉件103的一或多數(shù)加強致動器173(圖2)可以使加強件109移動開加強件109的橫向縮回位置及/或在密封部份107之內(如圖3D所示)，至圖3E的橫向布置。
在本方法的一或多數(shù)實施例中，步驟405只開始在步驟404完成之后。在其它實施例中，步驟405及步驟404同時執(zhí)行及/或兩步驟在任一者完成前開始。在其它實施例中，步驟404只在步驟405開始后開始。另外，在本方法的一或多數(shù)實施例中，在封閉件103的上述橫向展開及封閉件103的加強件109的上述橫向展開之前、之間及/或之后，展開機制134被用以維持封閉件103在封閉件103的縱向展開位置(圖3E)。例如，第一致動器135可以在升高封閉件103后維持動作(見步驟402)。
進行至程序400的步驟406時，該密封部份107被加強靠著前板121，以密封形成在其中的第一開口115。例如，在每一加強致動器173的壓力槽181的壓力可以由足夠移動加強件109至靠著背板119的相當?shù)蛪毫υ黾又烈幌喈敻邏毫?見步驟405)，該壓力是成比例于為壓力室P所施加的壓力的期待大小。或者，若一用以在步驟405中，膨脹壓力槽181的壓力是足夠地高以抵抗期待壓力，或者，若壓力在步驟405中逐漸增加或步階式增加至一適當高壓力，則只要需要加強力量，則相同壓力可以維持。
隨著封閉件103被縱向及橫向地展開，加強件109被橫向展開及密封部份107被加強靠向前板121，以密封住第一開口115，則程序400結束于步驟407。
程序400也可以以一或多數(shù)步驟開始，以確保在封閉件103為展開機制134的第一致動器135所縱向展開(例如升高)前，在封閉件103及閥殼105間存在有第一及第二間隙123、125。例如，一或多數(shù)加強致動器173的可以展開于相反加強方向的方向，例如，通過真空壓力的施加，以確保在封閉件103的縱向展開時，加強件109仍保持縮回靠著及/或在密封部份107之內(及離開閥殼105的背板119)。再者，一或多數(shù)第二致動器141可以展開于相反密封方向的一方向中，例如，經由正壓力的施加(發(fā)生密封方向中的移動，例如通過一偏壓組件的力量，如線圈彈簧(未示出)或壓力槽181的膨脹)，以確保在封閉件103的縱向展開時，封閉件103的密封部份107保持離開閥殼105的前板121。
圖5為一流程圖，例如，用以放置室絕緣閥101a的封閉件103在如圖3F所示的封閉件103的縱向縮回位置的例示程序500。參考圖5，程序500可以開始于步驟501。在步驟502，取決于加強件109的橫向位置(圖2)，程序500進行至步驟503或步驟504。若加強件109并未在橫向縮回位置，則程序500進行至步驟503。
在步驟503，加強件109被橫向縮回，例如移動至一如圖3D所示的橫向縮回位置。例如，一或多數(shù)加強致動器173可以使得加強件109移動離開加強件109的如圖3E所示的橫向展開位置至一如圖3D所示的橫向縮回位置。
進行至步驟504，程序500取決于1103的橫向位置(圖2)，而進行至步驟505或步驟506。若封閉件103并未在一橫向縮回位置，則程序500進行至步驟505。
在步驟505，封閉件103橫向縮回，例如被移動至一如圖3D所示的橫向縮回位置。例如，一或多數(shù)第二致動器141可以移動封閉件103由如圖3E所示的封閉件103的橫向展開位置至如圖3D所示的橫向縮回位置。
在程序500的一或多數(shù)實施例中，兩或多數(shù)步驟502、503、504及505可以同時或不同順序進行。另外，步驟505并不需要在步驟503完成后開始。同時，在本程序500的一或多數(shù)實施例中，在加強件109及/或封閉件103的縮回之前、之間及之后，展開機制134可以用以主動地保持在封閉件103的垂直展開位置中(圖3E)。例如，展開機制134的135可以為此目的連續(xù)動作。
進行至步驟506，封閉件103被移動至如圖3F所示的封閉件103的縱向縮回位置。例如，展開機制134的135可以移動封閉件103由圖3D所示的縱向展開位置移動至如圖3F所示的縱向縮回位置。在程序500的一或多數(shù)實施例中，在封閉件103的上述縮回之前、之間及/或之后，展開機制134及一或多數(shù)加強致動器173可以在封閉件103及閥殼105之間維持第一及第二間隙123、125(圖1A)，以保護對抗在封閉件103的縱向移動時的磨擦及/或微粒產生。例如，在部份實施例中，第二致動器141可以防止封閉件103橫向移動向閥殼105的前板121。另外，在一或多數(shù)實施例中，加強致動器173可以防止加強件109橫向移動向閥殼105的背板119。同時，在一或多數(shù)實施例中，一或多數(shù)加強致動器173可以例如經由真空壓力的施加而動作，以在封閉件103的縱向縮回時，維持在密封部份107內的加強件109的縮回位置。
封閉件103被縱向及橫向地縮回，室絕緣閥101a現(xiàn)在被架構以允許基材的通過進出室絕緣閥101a的閥殼105，及程序500結束于步驟507。當有利及想要時，也可以采行其它步驟，以確保封閉件103維持離開閥殼105的空間，即使在縮回及不移動時。例如，一或多數(shù)加強致動器173及一或多數(shù)第二致動器141可以連續(xù)動作，以維持第一及/或第二間隙123、125(圖1A)。
至于，有關于圖4及5的程序400、500，在室絕緣閥101a的部份實施例中，135適用以經由正壓力的施加，在封閉件103的縱向展開及縱向縮回時加以動作。在室絕緣閥101a的其它實施例中，第一致動器135可以適用以在縱向展開時經由正壓力加以動作，以重力作為垂直縮回。在室絕緣閥101a的其它實施例中，每一加強致動器173可以適用以在封閉件103的橫向展開時，經由彈簧預設加以動作，及在部份實施例中，每一第二致動器141可以適用以在封閉件103橫向縮回時，經由正壓力加以動作(例如，在封閉件103的縱向移動時，維持封閉件103的橫向縮回)。在室絕緣閥101a的其它實施例中，每一加強致動器173可以適用以在加強件109的橫向展開經由正壓力及在加強件109的橫向縮回時經由真空壓力(例如沒有彈簧預設)動作(例如避免使用加強件109時，必須克服彈簧預設的力量)。也可以使用其它架構。
圖6為一狹縫閥系統(tǒng)600的示意圖，其包含圖2的室絕緣閥101a及適用以操作及/或協(xié)調室絕緣閥101a功能的一狹縫閥控制模塊601。例如，狹縫閥601可以適用以與室絕緣閥101a互動，以執(zhí)行如圖4的流程圖所示的程序400及/或由圖5流程圖所示的程序500。
狹縫閥控制模塊601可以包含一輸入/輸出模塊603，適用以產生及/或接收信號。例如，該輸入/輸出模塊603可以適用以(1)決定是否封閉件103在如圖3F所示的縱向縮回位置；(2)沿著一第一信號導體605，產生及發(fā)射一電信號至在圖3F的縱向縮回位置的封閉件103；(3)發(fā)出一對應于封閉件103在圖3F的縱向縮回位置的指示器燈光(例如綠LED)；(4)決定是否封閉件103在圖3D所示的縱向展開位置中；(5)沿著一第二信號導體607產生及發(fā)射一電氣信號，其對應于封閉件103的在圖3D的縱向展開位置；(6)發(fā)出對應于封閉件103在圖3D的縱向展開位置的指示器燈光(例如紅LED)；(7)決定是否加強件109是在如圖3E所示的橫向展開位置；(8)對應加強件109在圖3E的橫向展開位置，沿著第三信號導體609而產生及發(fā)射一電信號；(9)防止上述信號(5)被產生及發(fā)射，及上述(6)的指示器燈光被發(fā)出，直到加強件109被決定為在上述(7)的橫向展開位置為止；(10)沿著第四信號導體611接收一電信號，例如，使得狹縫閥控制模塊601操作室絕緣閥101a，以執(zhí)行上述參考圖4的程序400(例如密封如圖3E所示的室絕緣閥101a的第一開口115)；
(11)沿著第五信號導體613接收一電信號，例如，使得狹縫閥控制模塊601操作室絕緣閥101a，以執(zhí)行上述參考圖5的程序500(例如放置封閉件103在如圖3F所示的封閉件103的縱向縮回位置)；(12)控制及導引功率，至狹縫閥控制模塊601的一或多數(shù)氣力開關(未示出)，其適用以選擇在多數(shù)氣力導管間的重組連接，以連接至狹縫閥控制模塊601，例如(a)一真空源導管615；(b)一加壓源氣體導管617；(c)一環(huán)境(大氣)排出導管619；(d)一加強致動導管621；(e)一夾持致動導管623；(f)一封閉件下降導管625；(g)一封閉件升高導管627；(13)檢測在加強致動導管621中的升高壓力(例如加壓化)的出現(xiàn)；(14)執(zhí)行上述(7)的功能，至少部份經由上述(13)的功能；及/或(15)檢測在加強致動導管621中，減壓壓力(例如真空)的出現(xiàn)。
該狹縫閥控制模塊601也可以適用以執(zhí)行以下功能(16)選擇地連接加壓氣體源617至加強致動導管621，例如，以致動每一加強致動器173，及移動加強件109進入圖3E所示的橫向展開位置中；(17)選擇地連接真空源導管615至加強致動導管621，例如，以致動每一加強致動器173，借以移動加強件109進入圖3D所示的橫向縮回位置中；(18)當上述(16)的氣力連接存在時，正面防止上述(17)的功能發(fā)生；(19)當上述(17)的氣力連接存在時，正面防止上述(16)的功能發(fā)生；(20)選擇地連接加壓氣體源導管617至夾持致動導管623，例如，以致動展開機制134的每一第二致動器141，并借以移動封閉件103進入圖3D所示的橫向縮回位置(例如通過打敗傾向于展開封閉件103的彈簧預設)；(21)選擇地連接大氣排氣導管619至夾持致動導管623，例如停止展開機制134的每一第二致動器141并允許一彈簧預設(例如建立在每一展開機制134)或加強致動器173的動作以管理，借以將封閉件103移動至如圖3E所示的橫向展開位置；(22)選擇地連接加壓氣體源導管617至封閉件下降導管625，例如，以致動第一致動器135(圖3A)，借以移動封閉件103至圖3F所示的縱向縮回位置中；(23)選擇地連接大氣排氣導管619至封閉件升高導管627，例如完成上述(22)的功能；(24)選擇地連接加壓氣體源導管617至封閉件升高導管627，例如，借以致動第一致動器135(圖3A)及借以移動封閉件103進入圖3D所示的縱向展開位置；(25)選擇地連接大氣排氣導管619至封閉件下降導管615，例如，完成上述(24)的功能；(26)同時執(zhí)行上述的(22)及(23)；(27)同時執(zhí)行上述的(24)及(25)；(28)選擇地由上述(26)切換至上述(27)；(29)選擇地由上述(27)切換至上述(26)；(30)同時執(zhí)行上述的(17)及(20)；(31)同時執(zhí)行上述的(16)及(21)；(32)選擇地由上述(30)切換至上述(31)；(33)選擇地由上述(31)切換至上述(30)；(34)在(22)的氣力連接存在時，正面防止(16)及(21)發(fā)生；(35)除非封閉件103是在如圖3D所示的垂直展開位置中，正面防止(16)及(21)發(fā)生；(36)除非上述(17)的氣力連接存在，否則正面防止(28)及(29)發(fā)生；(37)在狹縫閥控制模塊601沒有電力時，預設至(31)；(38)通過執(zhí)行上述的(28)、(27)、(35)、(16)、(21)及(36)，而執(zhí)行圖4的程序400；(39)通過執(zhí)行上述的(28)、(27)、(35)、(16)、(21)、(36)、(32)及(31)，而執(zhí)行圖4的程序400；(40)通過執(zhí)行上述的(36)、(20)、(17)、(29)、(22)、(23)、(26)及(34)，而執(zhí)行圖5的程序500；及/或(41)通過執(zhí)行上述的(36)、(33)、(20)、(17)、(29)、(23)、(26)、(34)及(30)，而執(zhí)行圖5的程序500。
各種其它功能也可以加以執(zhí)行。
圖7為圖6的狹縫閥系統(tǒng)600的一特定實施例600a的示意圖，其包含圖2的室絕緣閥101a及狹縫閥控制模塊601的特定實施例601a，其中狹縫閥控制模塊601a被詳細顯示。參考圖7，狹縫閥控制模塊601a被適用以執(zhí)行上述的功能1-41。適用以執(zhí)行這些功能的狹縫閥控制模塊601a的情況及結構將以功能的大致順序加以介紹及解釋。
功能1至3有關第一位置開關629、一第一指示器燈631及一第一信號導體605中。該第一位置開關629可以架構為常開，并可以安裝在室絕緣閥101a內或附近，使得當封閉件103到達圖3F縱向縮回位置時，其被致動或關閉。該第一指示器燈631可以為至人類操作員的信號。第一信號導體605可以承載一信號至遙控器(未示出)。第一指示器燈631及/或第一信號導體605的其它用途也有可能。
功能4至6類似地有關一第二位置開關635、一第二指示器光637及該第二信號導體607。該第二位置開關635可以架構為常開，并可以安裝在室絕緣閥101a內或附近，使得當封閉件103到達圖3D的縱向展開位置時，其可以動作或關閉。第二指示器燈637及第二信號導體607可以類似于第一指示器燈631及第一信號導體605般地動作。
功能7可以有關壓力開關641。壓力開關641可以架構為常開，并可以氣力地連接至加強致動導管621(例如經由一適用以緩慢地等化在小孔643任一側上的壓力的小孔643)，以當加強作用導管621相較于室壓為正壓力時，被動作或閉合。因為在加強動作導管621中的正壓經由每一加強致動器173的動作，而造成加強件109的橫向展開，及小孔643可以被動作，以在加強件109展開后，等化壓力，及壓力開關641可以執(zhí)行功能7。
功能8及9有關第三信號導體609及壓力開關641必須閉合，用以使第二指示器燈637發(fā)光或用以第三信號導體609，以接收電力。
功能10及11分別有關第四信號導體611及第五信號導體613。
功能12有關第四信號導體611及第五信號導體613，其可以適用以接收一信號(例如呈+24伏或另一功率標準信號)。
功能13有關于壓力開關641，及功能14為自行說明。
功能15有關于真空開關651。真空開關651可以架構為常開，及可以氣力連接至加強導管621(例如經由小孔643)，以當加強致動導管621被相較于環(huán)氣時為真空壓力時，被動作或關閉。
功能16有關于主功力源閥653。該主壓力源閥653可以被架構為常閉，及可以連接加強動作導管621與加壓氣體源導管617。主壓力源閥653可以更架構以當經由一氣力導管655曝露一致動埠至一正壓力時，被動作或開啟。氣力導管655可以選擇地經由一第一流調整器657(及經由如下所述的一對氣力開關連接器)連接至加壓氣體源導管617或大氣排氣導管619。
功能17可以有關于主真空源閥659。主真空源閥659可以架構為常閉，并可以連接加強致動導管621與真空源導管615。主真空源閥659可以進一步架構以當曝露至動作埠，以經由一氣力導管661進行正壓力。該氣力導管661可以選擇地經由一第二流調整器663(及經由如下所述的一對氣力開關連接器)連接至加壓氣體源導管617或大氣排氣導管619。
狹縫閥控制模塊601a可以包含一第一氣力開關連接器665、一第二氣力開關連接器667及一第二氣力開關連接器669，這些均適用以加入上述的功能12的接口中。該第一氣力開關連接器665及第二氣力開關連接器667適用以在五個分離氣力導管(其兩者一直與大氣排氣導管619相通，及其中之一是一直與加壓氣體源導管617相通)間建立及選擇地變化氣力連接架構，及該第二氣力開關連接器667適用以建立及選擇地變化在三個分離氣力導管(其一是一直與大氣排氣導管619相通)間的氣力連接架構。
第二氣力開關連接器667適用以通過預定來假設氣力架構A，其中預設機制可以為例如一彈簧并適用以選擇地假設氣力架構B，例如經由被施加至致動線圈上的高側電壓，該致動線圈適用以移位氣力架構B進入為圖7所示的架構A所占用的位置。第三氣力開關連接器669適用以預定來呈現(xiàn)氣力架構C，其中預設機制可以為例如彈簧，并適用以選擇地假設氣力構架D，如圖7所示，例如，通過施加至氣力致動機制671的正壓力，因此，氣力致動機制671動作，以移位氣力架構D進入所示位置(例如，將架構C移出及將架構D移入)。第一氣力開關連接器665適用以選擇地假設如圖7所示的氣力架構E或者氣力架構F，例如通過兩不同高側導體(例如+24伏)被施加至個別致動線圈，其適用以將第一氣力開關連接器665由架構E移動至架構F，或由架構F移動至架構E。
該狹縫閥601a可以包含其它高側電壓導體673、675及677，返回或接地導體679、781、683及685，及一第三位置開關687。該第三位置開關687可以架構為常閉，并可以安裝在室絕緣閥101a的內或附近，使得當封閉件103到達圖3D縱向展開位置時，其被動作或關閉。
可以為熟悉于本技術者讀取本案及本案的附圖，特別是圖7了解，通過選擇地經由第四信號導線611或第五信號導線615，接收一高側電壓信號，并允許狹縫閥控制模塊601a的其它組件動作以依據(jù)圖7所示的功能，該狹縫閥控制模塊601a適用以執(zhí)行上述功能16-41。例如，主真空源閥659及主壓力源閥653適用以相互排斥方式開啟，防止真空壓力及正壓力同時施加至加強動作導管621及每一加強致動器173。同時，第四信號導體611及返回或接地導體683間及第五信號導體613與返回及接地導體683間的電路并不會閉合，除非經由主真空源閥659，加強動作導管621被曝露至真空壓力，因此，真空開關651閉合(此允許于第一氣力開關連接器665中，由架構E切換至架構F，反之亦然)。另外，第三氣力開關連接器669可以不假設架構D，除非正壓力被接收在氣力作用機制671上，及后者并不可能，除非第一氣力開關連接器665是如所示的架構E。再者，如圖7所示的開啟的第三位置開關687，使得第二氣力開關連接器667以維持在架構B(造成真空壓力被施加至加強作用導管621及加強件109，以維持在圖3F的橫向縮回位置中)，直到封閉件103到達圖3D的縱向展開位置，在此時，第三位置開關開啟；觸發(fā)第二氣力開關連接器667的彈簧預設；及使得第二氣力開關連接器667切換至架構A。其它用以控制本發(fā)明的閥101、101a的架構/系統(tǒng)也可以使用。
前述說明只揭示本發(fā)明的例示實施例。上述揭示設備與方法的修改可以為熟悉于本技術者所知仍落在本發(fā)明的范圍內。例如，依據(jù)一或多數(shù)實施例，在處理室P的功力傾向于將密封部份107推進開處理室P，并只可能為加強致動器173所產生的加強力所反抗。在其它實施例中，加強力的大小可能低于需要反抗在處理室P內的壓力者，來自其它來源的力量也可以加入其中，以維持對處理室開口102的密封。
在本發(fā)明的至少一實施例中，密封部份107的主體可以由一金屬，例如鋁等所形成。在此等實施例中，密封部份107可以包含一彈性件198(圖3E)，其接觸前板121并防止密封部份107的金屬部份接觸前板121(例如防止金屬至金屬接觸產生微粒)。彈性件198可以包含例如聚芳醚酮(PEEK)或其它適當材料(例如形狀呈o型環(huán)或類似封閉件)。同樣地，在至少一實施例中，加強件109的主體可以由一金屬形成，例如鋁或其它適當材料，并包含一彈性件199(圖3E)，其接觸背板119(以防止金屬至金屬接觸產生微粒)。彈性件199可以包含例如聚芳醚酮(PEEK)或其它適當材料(例如形狀呈o型環(huán)或類似封閉件)?？梢粤私獾氖牵魪椥约?98或密封部份107的其它部份接觸前板121，則密封部份107可以被說成接觸前板121。同樣地，若其彈性件199或加強件109的其它部份接觸背板119，則加強件109可以被說成接觸背板119。
在本發(fā)明的至少一實施例中，風箱137及/或可延伸壁部份179可以由不銹鋼形成。也可以使用其它類似材料。
因此，雖然本發(fā)明以其例示實施例加以公開，但可以了解的是，本發(fā)明其它實施例仍在隨附權利要求所界定的本案精神及范圍內。
權利要求
1.一種用以密封一開口的狹縫閥，其至少包含一閥殼，具有一第一壁；一第一開口，形成在第一壁中；一第二壁；及一第二開口，形成在第二壁中；一封閉件，其具有一密封部份，用以接觸第二壁并密封第二開口；及一加強件，可相對該密封部份移動并用以接觸第一壁；及至少一致動機制，用以將該密封部份移向第二壁并與第二壁接觸；及將該加強件移動離開該密封部份并與第一壁接觸，以加強密封部份靠向第二壁。
2.如權利要求1所述的狹縫閥，其特征在于，上述的至少一致動機制包含一致動器，其包含所述封閉件的一部份并安排于加強件與密封部份之間。
3.如權利要求1所述的狹縫閥，其特征在于，所述密封部份包含一彈性組件，用以接觸并密封所述第二壁。
4.如權利要求1所述的狹縫閥，其特征在于，所述加強件包含一彈性組件，用以接觸所述第一壁。
5.如權利要求1所述的狹縫閥，其特征在于，所述加強件用以在所述密封部份內呈現(xiàn)一縮回橫向位置。
6.如權利要求1所述的狹縫閥，其特征在于，所述至少一致動機制包含一氣力致動器，用以經由正壓力及真空壓力選擇地致動。
7.如權利要求6所述的狹縫閥，其特征在于，所述氣力致動器適用以采用正壓力，以將該加強件由靠著密封部份的縮回橫向位置移動向靠著第一壁的展開橫向位置。
8.如權利要求6所述的狹縫閥，其特征在于，所述氣力致動器適用以采用真空壓力，以將該加強件由靠著第一壁的展開橫向位置移動向靠著密封部份的縮回橫向位置。
9.如權利要求1所述的狹縫閥，其特征在于，所述至少一致動機制包含一氣力致動器，其包含一壓力槽。
10.如權利要求9所述的狹縫閥，其特征在于，所述加強件的一部份定義所述壓力槽的邊界。
11.如權利要求9所述的狹縫閥，其特征在于，所述密封部份的一部份定義所述壓力槽的邊界。
12.如權利要求10所述的狹縫閥，其特征在于，所述至少一致動機制還包含一風箱，及其中所述風箱也定義所述壓力槽的一邊界。
13.如權利要求12所述的狹縫閥，其特征在于，所述加強件經由風箱耦接至密封部份。
14.如權利要求13所述的狹縫閥，其特征在于，除了經由風箱外，在加強件與密封部份之間并沒有耦接。
15.如權利要求12所述的狹縫閥，其特征在于，所述風箱被定位為使得所述壓力槽的膨脹產生風箱的收縮。
16.如權利要求12所述的狹縫閥，其特征在于，所述加強件包含一板，及其中所述板也定義所述壓力槽的一邊界。
17.如權利要求16所述的狹縫閥，其特征在于，所述加強件用以呈現(xiàn)一縮回橫向位置遠離第一壁，使得加強件的板在所述密封部份內。
18.如權利要求16所述的狹縫閥，其特征在于，所述加強件用以靠著第一壁呈現(xiàn)一展開橫向位置，使得加強件的板保持在所述密封部份內。
19.如權利要求1所述的狹縫閥，其特征在于，所述至少一致動機制包含一第一致動機制，其是在所述狹縫閥殼外。
20.如權利要求19所述的狹縫閥，其特征在于，所述第一致動機制包含一氣力致動器，適用以經由正壓力而被致動。
21.如權利要求20所述的狹縫閥，其特征在于，所述氣力致動器用以利用正壓力以移動封閉件，進而移動所述密封部份離開靠著第二壁的展開橫向位置至所述第一及第二壁間的縮回橫向位置。
22.如權利要求1所述的狹縫閥，還包含另一致動機制，用以移動封閉件，使得密封部份移動于一縮回縱向位置與一展開縱向位置之間，所述縮回縱向位置是離開第一及第二開口，及所述展開縱向位置是在第一及第二開口之間。
23.如權利要求22所述的狹縫閥，其特征在于，所述另一致動機制在所述閥殼外。
24.如權利要求22所述的狹縫閥，其特征在于，所述另一致動機制包含一氣力致動器，適用以經由正壓力而被致動。
25.如權利要求24所述的狹縫閥，其特征在于，所述氣力致動器用以利用正壓力以移動封閉件，以將密封部份移動離開縮回縱向位置至密封部份的展開縱向位置。
26.如權利要求25所述的狹縫閥，其特征在于，所述氣力致動器還用以利用正壓力，以移動封閉件，以將密封部份移動離開展開縱向位置至密封部份的縮回縱向位置。
27.一種密封一狹縫閥殼的一開口的方法，至少包含步驟提供一閥殼，其具有一第一壁；一第一開口，形成在第一壁內；一第二壁；及一第二開口，形成在第二壁內；提供一封閉件，其具有一密封部份，用以接觸第二壁并密封第二開口；及一加強件，可相對于該密封部份移動并用以接觸第一壁；移動該密封部份向第二壁并與第二壁接觸；及移動該加強件離開密封部份，并與第一壁接觸，以加強密封部份靠向第二壁。
28.如權利要求27所述的方法，其特征在于，上述的第一及第二開口為橫向對準。
29.如權利要求28所述的方法，其特征在于，上述的移動該密封部份包含橫向移動所述封閉件。
30.如權利要求28所述的方法，其特征在于，上述的移動該加強件離開密封部份包含橫向地移動加強件。
31.如權利要求28所述的方法，還包含縱向地移動封閉件，以使得加強件與密封部份移動而橫向對準這些開口。
32.如權利要求31所述的方法，其特征在于，上述的縱向地移動所述封閉件包含防止密封部份接觸第二壁；及防止加強件接觸第一壁。
33.如權利要求27所述的方法，其特征在于，上述的移動加強件離開密封部份包含壓縮一風箱。
全文摘要
在一實施例中，一狹縫閥被提供用以密封一開口，該狹縫閥包含一閥殼，其具有一第一壁、一形成在該第一壁中的第一開口、一第二壁及一形成在該第二壁中的第二開口。該狹縫閥同時也包含一封閉件，具有一密封部分，用以接觸第二壁及密封第二開口，及一加強件，可相對于該密封部分移動并用以接觸第一壁。該狹縫閥還包含至少一致動機制，用以(1)將密封部分移向第二壁并與第二壁接觸；及(2)移動該加強件離開該密封部分，并與第一壁接觸，以加強該密封部分靠向第二壁。本案也提供多種其它情況。
文檔編號H01L21/00GK1788175SQ200480012820
公開日2006年6月14日 申請日期2004年5月12日 優(yōu)先權日2003年5月13日
發(fā)明者栗田四日, 李可齡, 溫德爾·T·布倫尼格 申請人:應用材料股份有限公司