專利名稱：：用于確定部件的殘留污染的化學物質(zhì)的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理的領(lǐng)域，更具體而言，本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理工具的易損部件的保護和處置。
背景技術(shù)：
：在當前的半導(dǎo)體工業(yè)實踐中，半導(dǎo)體處理裝置的很多部件被看作易損部件，這或者由于部件上的磨損，或者由于過大薄膜沉積(filmdeposit)的建立，這種薄膜沉積會引發(fā)半導(dǎo)體晶片工藝的特定污染。半導(dǎo)體處理裝置中的易損部件的一個示例是放在真空容器窗內(nèi)部的獨立窗插件。該獨立窗插件例如防止真空容器窗出現(xiàn)在不受保護的情況下可能建立在真空窗上的沉積。一旦該獨立窗插件的光學屬性變得不足以用于診斷目的，就隨時間替換該獨立窗插件。通過替換該獨立窗插件，可以避免花費時間和金錢來替換真空容器窗(該真空容器窗成本更高并且其安裝需要重建和核實真空密封)。半導(dǎo)體處理裝置中的易損部件的另一示例是放在例如反應(yīng)離子蝕刻機中的電容性驅(qū)動電極上的電極遮蓋物。反應(yīng)離子蝕刻機中的驅(qū)動電極通常是機器加工的金屬電極，其表面如果不被遮蓋，就會暴露于反應(yīng)離子蝕刻等離子氣體中，在高功率電平時或者在場強更高的邊緣處尤其如此。這樣的暴露會導(dǎo)致正被蝕刻的半導(dǎo)體晶片出現(xiàn)不希望看到的金屬污染。為了避免金屬污染，驅(qū)動電極具有用例如硅或石英制成的遮蓋物。隨著時間的流逝，遮蓋物會被被腐蝕或由于其他原因變得無法使用，從而需要被替換。例如，即使是遮蓋物的物理尺寸發(fā)生很小的改變，也可能影響反應(yīng)離子蝕刻機中產(chǎn)生的等離子均勻性。由于需要維持等離子均勻性，因此這種遮蓋物被頻繁更換并成為一種易損部件，其適當?shù)奶幹靡蕾囉谄湓诎雽?dǎo)體處理腔中暴露于侵蝕性化學物質(zhì)和有毒物質(zhì)的歷史。因此，對來自半導(dǎo)體處理工具的已用易損部件的處置已成為半導(dǎo)體工業(yè)中的一個重要的環(huán)境、健康和安全(EHS)問題。這些部件在工具上的易損部件的壽命期間頻繁暴露于有毒和危險化學物質(zhì)中。這些易損部件需要以安全的方式并根據(jù)所有可用規(guī)則來處置。易損部件可能暴露于其中的化學物質(zhì)包括極端有毒材料，例如氟化氫(HF)、砷化氫(AsH3)、氟化氮(NF3)等等。處置方法取決于部件曾暴露于其中的化學物質(zhì)。在不同晶片批次在同一工具上經(jīng)受不同工藝處理的環(huán)境中，例如在半導(dǎo)體制造代工廠中，難以跟蹤在工具中已使用的化學物質(zhì)，這是因為易損部件曾被替換。此外，當在工具上執(zhí)行維護時，通常不具有關(guān)于易損部件曾暴露于其中的化學物質(zhì)的知識，從而導(dǎo)致在某些情況下使用最安全并且總是最昂貴的處置方法。這種避免故障(fail-safe)的方法提高了半導(dǎo)體處理的成本。
發(fā)明內(nèi)容為了對易損部件進行適當?shù)沫h(huán)境處置，本發(fā)明提供了一種新型設(shè)備和方法，該設(shè)備和方法允許維護人員、EHS和處置人員確認易損部件在其壽命期間在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中暴露于其中的化學物質(zhì)的歷史，從而能夠使用適當?shù)奶幹梅椒āＲ虼?，本發(fā)明的一個目的在于提供一種監(jiān)視設(shè)備，用于監(jiān)視易損部件曾暴露于其中的化學歷史。本發(fā)明的另一目的在于使該監(jiān)視設(shè)備具有記錄易損部件曾暴露于其中的化學歷史(即處理歷史)的能力。本發(fā)明的另一目的在于在易損部件本身上提供這樣的監(jiān)視設(shè)備。本發(fā)明的另一目的在于提供這樣一種監(jiān)視設(shè)備，該監(jiān)視設(shè)備被配置為在易損部件處于處理腔中時，或在易損部件已被移走時傳輸已記錄的歷史，或者這兩種情況下都傳輸已記錄的歷史。因此，根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于保存半導(dǎo)體處理工具內(nèi)的易損部件的化學暴露的新型電子監(jiān)視設(shè)備。該電子監(jiān)視設(shè)備包括易損部件專用的存儲器單元，其被配置用于存儲易損部件的化學暴露的歷史；連接到存儲器單元的處理器，其被配置用于與存儲器單元通信；以及電源電路，其被配置用于向存儲器單元和處理器提供功率。通過結(jié)合附圖參考以下詳細描述，可以更好地理解并容易獲知本發(fā)明的更完整評價和很多附帶優(yōu)點，其中圖1是本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備的示意圖；圖2是本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的一種放置方式的示意圖；圖3是本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的另一放置方式的示意圖；圖4是本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)外部的又一放置方式的示意圖；圖5是示出本發(fā)明的方法的示例性流程圖；以及圖6示出可被用于輔助本發(fā)明的處理器和/或數(shù)據(jù)讀出與解釋系統(tǒng)的功能的計算機系統(tǒng)的一個實施例。具體實施例方式現(xiàn)在參考附圖，圖1示出根據(jù)本發(fā)明一個實施例用在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12中的電子監(jiān)視設(shè)備10的示意圖。電子監(jiān)視設(shè)備10包括易損部件16(如圖2所示)專用的存儲器14，其存儲易損部件16的化學暴露的歷史。電子監(jiān)視設(shè)備10包括連接到存儲器14的電子監(jiān)視設(shè)備處理器18，并且包括用于向存儲器14和處理器18提供功率的電源電路20。電子監(jiān)視設(shè)備10的存儲器14優(yōu)選地是非易失性存儲器，例如FLASH存儲器。電源電路20可以包括諸如電池(未示出)之類的電源。電子監(jiān)視設(shè)備10可以包括氣體傳感器22。處理器18可以經(jīng)由作為處理器18的一部分的無線通信系統(tǒng)和天線28向和從工具控制器26(如圖2所示)傳輸數(shù)據(jù)。如圖2所示，電子監(jiān)視設(shè)備10可被嵌入在易損部件16中。在易損部件16的處理壽命期間，存儲器14存儲關(guān)于易損部件16曾暴露于其中的化學物質(zhì)的數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)是由易損部件16上的傳感器22提供的，或者從半導(dǎo)體處理工具12上的外部工具安裝傳感器24提供的。工具安裝傳感器12的位置被示為在工具排放線上。但是，它也可以被安裝在其他位置，例如直接安裝在處理腔上，或安裝在向腔體提供處理氣體的氣體提供系統(tǒng)中。在本發(fā)明的一個實施例中，一旦從工具14中移走易損部件16，存儲在電子監(jiān)視設(shè)備10中的數(shù)據(jù)可被讀取，以輔助使用最適當?shù)奶幹梅椒?。根?jù)本發(fā)明的一個實施例，存儲在電子監(jiān)視設(shè)備10中的數(shù)據(jù)可以從處理運行數(shù)據(jù)來記錄，該處理運行數(shù)據(jù)可以從半導(dǎo)體處理工具12的工具控制器26訪問。所記錄的數(shù)據(jù)存儲了易損部件16曾暴露于其中的化學物質(zhì)。因此，該數(shù)據(jù)可被處置人員獲得，并且無需共享專有(proprietary)半導(dǎo)體處理工具數(shù)據(jù)(例如運行時間工作狀況)就能夠被提供。將包含已存儲的數(shù)據(jù)的電子監(jiān)視設(shè)備10嵌入在易損部件16中確保了該數(shù)據(jù)可被處理易損部件16并且有權(quán)訪問已存儲的數(shù)據(jù)的所有人訪問。到電子監(jiān)視設(shè)備10的功率和通信可由天線28(如圖1所示)提供，該天線28可以接收例如來自被提供到半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12以維持半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12中的等離子的RF功率的RF能量，從而消除對獨立電源的需求。AC-DC功率轉(zhuǎn)換器(在處理器內(nèi))將RF能量轉(zhuǎn)換成DC功率，從而在等離子處理進行中和/或可選地對包括在電子監(jiān)視設(shè)備中的電池充電的同時對設(shè)備供電。此外，天線28可被配置為提供前述對外部世界的無線通信。實際上，電子監(jiān)視設(shè)備10可以采用與下述專利中公開的內(nèi)容非常類似的配置、通信方法和用于向設(shè)備無線地提供功率的系統(tǒng)，即美國專利No.5,457,447“PortablepowersourceandRFtagutilizingthesame”，這里通過參考并入了該專利的全部內(nèi)容；在半導(dǎo)體處理工具中，可以使用存在于工具內(nèi)的RF能量來對設(shè)備供電。在美國專利No.5,495,250“Battery-poweredRFtagsandapparatusformanufacturingthesame”中公開了一種類似的電池供電的設(shè)備，同樣這里通過參考并入了該專利的全部內(nèi)容。在本發(fā)明的一個實施例中，如圖3所示，電子監(jiān)視設(shè)備10可以專用于易損部件16，但是與易損部件16相分離并且位于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12中。本發(fā)明的該實施例尤其可應(yīng)用于監(jiān)視設(shè)備無法被容易地嵌入其中的易損部件(例如由于易損部件的大小所致)。電子監(jiān)視設(shè)備10所位于的位置被選擇以代表易損部件16暴露于其中的氣體化學物質(zhì)，和/或基于易損部件16被移走時服務(wù)的便利性來選擇。電子監(jiān)視設(shè)備10所位于的位置也可以基于電子監(jiān)視設(shè)備10本身的壽命來選擇，因為到易損部件16的直接附接可能使電子監(jiān)視設(shè)備10在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12內(nèi)暴露于極端溫度中。相應(yīng)地，在一個實施例中的電子監(jiān)視設(shè)備10可被放置在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12中離高溫區(qū)域很遠的位置上。與易損部件相分離的電子監(jiān)視設(shè)備10優(yōu)選地被標識以一個標記，該標記使設(shè)備與其各自的部件相關(guān)聯(lián)。與上述嵌入式的實施例一樣，當易損部件被移走時，其中存儲有部件歷史的設(shè)備10可以與部件一起被移走和被處理以提供已存儲的歷史。如上所述，在本發(fā)明的一個實施例中，電子監(jiān)視設(shè)備10被配置為無線地傳輸數(shù)據(jù)(即經(jīng)由無線鏈路)，從而消除了對向半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12添加任意附加基礎(chǔ)設(shè)施的需求(即無需添加例如通信線纜、觸點等等)。這種無線傳輸能力使本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備10能夠被用作現(xiàn)有半導(dǎo)體處理工具中的革新產(chǎn)品。例如，電子監(jiān)視設(shè)備10可以作為分立組件提供，其具有使設(shè)備10能夠被附接到易損部件本身或半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的內(nèi)部或外部對象的附接特征。該附接特征可以是諸如用螺絲擰入對象的雙頭螺栓這樣的緊固件、粘結(jié)劑或本領(lǐng)域普通技術(shù)人員公知的任意其他附接特征。因此，在該實施例中，本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備10不需要改變現(xiàn)有的裝備配置。可替換地，在沒有無線通信的情況下，電子監(jiān)視設(shè)備10將經(jīng)由例如易損部件16和工具控制器26之間的電線通信。這些相同的線路可被用于向電子監(jiān)視設(shè)備10供電。由于在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中存在高RF區(qū)域，因此電線易受來自這些區(qū)域的感應(yīng)噪聲拾波(inductivepickup)的影響，從而對發(fā)送的信號產(chǎn)生干擾。為了緩解這個問題，在至少一個實施例中，可以用光纖代替電線，并且通過經(jīng)由光纖向設(shè)備發(fā)送光能量來對設(shè)備供電，在該設(shè)備中，光能量被轉(zhuǎn)換成電功率。同樣的光線可被用于向工具控制器26發(fā)送數(shù)據(jù)。在本發(fā)明的另一實施例中，如圖4所示，電子監(jiān)視設(shè)備10位于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12外部。在該實施例中，每個易損部件16有一個專用的電子監(jiān)視設(shè)備10，該電子監(jiān)視設(shè)備10被放在系統(tǒng)12外部并被標記以一個標識號30，該標識號30將電子監(jiān)視設(shè)備10與半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12中的相應(yīng)易損部件16相關(guān)聯(lián)。處置人員可以在從半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12中移走易損部件之前評估易損部件的化學暴露。在從半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12移走易損部件16之后，與被移走的易損部件相關(guān)聯(lián)的那個適當?shù)碾娮颖O(jiān)視設(shè)備可以被附接到易損部件。根據(jù)本發(fā)明，數(shù)據(jù)由易損部件上的氣體傳感器(即氣體傳感器22)或從半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12上的外部源(例如排放化學物質(zhì)診斷器24)提供到本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備10。如上所述，數(shù)據(jù)優(yōu)選地被存儲在電子監(jiān)視設(shè)備10上的非易失性存儲器芯片中，但是易失性存儲器設(shè)備(如下所述)也可被利用。一旦易損部件12被從工具移走，就可以使用與上述類似的通信技術(shù)(例如無線的或通過電線或光纖)讀取存儲的數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)向維護、EHS和處置人員提供化學歷史信息，基于該化學歷史信息，可以確定最適當?shù)囊讚p部件處置方法。安全的通信可被建立，在安全的通信中，只有經(jīng)授權(quán)的人員可以例如通過提供使能數(shù)據(jù)傳輸?shù)拿艽a來讀取電子監(jiān)視設(shè)備10，從而避免電子監(jiān)視設(shè)備成為關(guān)于在半導(dǎo)體制造線中運行的處理化學物質(zhì)的機密處理信息的源。此外，安全性特征可以包括這樣的規(guī)定，其用于在不再需要數(shù)據(jù)的情況下刪除電子監(jiān)視設(shè)備10上的數(shù)據(jù)。例如，在電子監(jiān)視設(shè)備被轉(zhuǎn)交給處置人員之前，可以檢查并刪除電子監(jiān)視設(shè)備10上的無用數(shù)據(jù)?？商鎿Q地，如果電子監(jiān)視設(shè)備10遠離易損部件16，那么一旦為了告知處置人員正被處置的易損部件的化學歷史而下載了被存儲的數(shù)據(jù)，如果存儲器14利用易失性存儲器或可擦除的非易失性存儲器(例如FLASH存儲器)的話，電子監(jiān)視設(shè)備10的存儲器14就可被擦除。在本發(fā)明的另一實施例中，電子監(jiān)視設(shè)備10上的處理器18可被編程為只在電子監(jiān)視設(shè)備10的存儲器14中存儲特定的非機密處理信息。如上所述，當在電子監(jiān)視設(shè)備10上不存在氣體傳感器時，工具控制器26可以將處理化學物質(zhì)配方數(shù)據(jù)下載到電子監(jiān)視設(shè)備，或者工具控制器26可以下載由半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12的排放化學物質(zhì)診斷器24測量出的化學種類濃度的實際讀數(shù)。例如，由半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12的殘留氣體分析儀或紅外光譜系統(tǒng)獲得的數(shù)據(jù)可存儲在電子監(jiān)視設(shè)備10的存儲器14中。這些讀數(shù)優(yōu)選地在來自半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12的排放氣體通過消減系統(tǒng)32之前獲得，以確保記錄的數(shù)據(jù)準確地反映易損部件16被暴露于其中的化學歷史。通過存儲配方數(shù)據(jù)和測量數(shù)據(jù)，可以對不同輪次的數(shù)據(jù)進行比較，以識別由于氣體提供系統(tǒng)故障等造成的更高污染的情形。由于系統(tǒng)故障而經(jīng)歷過多污染的部件隨后可以以比根據(jù)配方運行的處理更小心的方式被處置。通過在本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備10上提供氣體傳感器22，可以添加第三數(shù)據(jù)跟蹤，從而對從工具控制器26下載的測量數(shù)據(jù)提供冗余。因此，本發(fā)明的一個實施例涉及用于處置來自半導(dǎo)體處理工具的易損部件的方法。該方法的步驟如圖5所示。在步驟502中，與易損部件在半導(dǎo)體處理工具內(nèi)時的化學暴露相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)被獲取。在步驟504，數(shù)據(jù)被存儲在易損部件專用的存儲器單元中，作為易損部件的化學暴露的歷史。在步驟506中，化學暴露的歷史被讀取，以識別易損部件在半導(dǎo)體處理工具內(nèi)時暴露于其中的有毒物質(zhì)。在步驟508中，易損部件基于從歷史中識別出的有毒物質(zhì)被處置。在步驟502中，可以從被配置用于感應(yīng)易損部件附近的氣體環(huán)境的氣體傳感器獲取數(shù)據(jù)。該氣體傳感器可被附接到易損部件，也可與易損部件相分離。該氣體傳感器可被連接到半導(dǎo)體處理工具。在此情況下，氣體傳感器數(shù)據(jù)和/或處理運行數(shù)據(jù)可被從半導(dǎo)體處理工具發(fā)送(無線地或通過電線或光纖)到易損部件專用的存儲器單元?？商鎿Q地，存儲器單元可以從半導(dǎo)體處理工具控制器獲得處理運行數(shù)據(jù)(例如配方數(shù)據(jù))。處理專有數(shù)據(jù)可被區(qū)分出并從處理運行數(shù)據(jù)中刪除，以僅將非機密數(shù)據(jù)作為化學暴露的歷史被存儲在存儲器單元中。存儲數(shù)據(jù)的步驟504將數(shù)據(jù)優(yōu)選地存儲在非易失性存儲器單元中。但是，如下面說明電子監(jiān)視設(shè)備處理器18時所述，數(shù)據(jù)也可被存儲在易失性存儲器單元中。在讀取歷史的步驟506中，可以在密碼確認之后從存儲器單元中讀取歷史，從而防止對數(shù)據(jù)進行未經(jīng)授權(quán)的讀取。在授權(quán)之后，可以無線地或有線地將來自存儲器單元的歷史發(fā)送到接收者，例如安全或處置人員。圖6示出可與根據(jù)本發(fā)明的電子監(jiān)視設(shè)備一起使用的計算機系統(tǒng)1201的一個實施例。例如，計算機系統(tǒng)1201可以被用作工具控制器26的一部分來向電子監(jiān)視設(shè)備傳輸數(shù)據(jù)和/或指令，以輔助上述電子監(jiān)視設(shè)備的任意或全部功能。雖然監(jiān)視設(shè)備處理器18和監(jiān)視設(shè)備存儲器14相分離并遠離計算機系統(tǒng)1201，但是處理器18和存儲器14一般在概念上是系統(tǒng)1201的一部分。因此，下述處理器和存儲器配置的變化應(yīng)用于監(jiān)視設(shè)備10和計算機系統(tǒng)1201。計算機系統(tǒng)1201包括用于傳輸信息的總線1202或其他通信機制以及與總線1202耦合的用于處理信息的內(nèi)部處理器1203。計算機系統(tǒng)1201包括耦合到總線1202的用于存儲信息和將由內(nèi)部處理器1203執(zhí)行的指令的存儲器1204，例如隨機訪問存儲器(RAM)或其他動態(tài)存儲設(shè)備(例如動態(tài)RAM(DRAM)、靜態(tài)RAM(SRAM)和同步DRAM(SDRAM))。另外，存儲器1204可被用于存儲在由內(nèi)部處理器1203執(zhí)行指令期間的臨時變量或其他中間信息。計算機系統(tǒng)1201優(yōu)選地包括耦合到總線1202的用于存儲用于內(nèi)部處理器1203的靜態(tài)信息和指令的非易失性存儲器，例如只讀存儲器(ROM)1205或其他靜態(tài)存儲設(shè)備(例如可編程的ROM(PROM)、可擦除的PROM(EPROM)和電可擦除PROM(EEPROM))。計算機系統(tǒng)1201可以包括專用邏輯器件(例如專用集成電路(ASIC))或可配置的邏輯器件(例如簡單可編程邏輯器件(SPLD)、復(fù)雜可編程邏輯器件(CPLD)和現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA))。計算機系統(tǒng)1201可以響應(yīng)于內(nèi)部處理器1203執(zhí)行包含在存儲器(例如主存儲器1204)中的一個或多個指令的一個或多個序列而執(zhí)行本發(fā)明的處理步驟的一部分。這些指令可能是從另一計算機可讀介質(zhì)(例如硬盤1207或可移動的介質(zhì)驅(qū)動器1208)讀入主存儲器1204中。這種能力最多地與電子監(jiān)視設(shè)備在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)12外部的實施例兼容。多處理布置中的一個或多個處理器也可被采用來執(zhí)行包含在主存儲器1204中的指令序列。在替換實施例中，可以使用硬連線電路來取代軟件指令或與軟件指令相結(jié)合。因此，實施例并不局限于硬件電路和軟件的任意特定組合。如上所述，計算機系統(tǒng)1201包括至少一個計算機可讀介質(zhì)或存儲器，用于保存根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)被編程的指令和用于包含這里描述的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)、表、記錄或其他數(shù)據(jù)。適用于本發(fā)明的計算機可讀介質(zhì)的示例包括壓縮盤、硬盤、軟盤、磁帶、磁光盤、PROM(EPROM、EEPROM、flashEPROM)、DRAM、SRAM、SDRAM或任意其他磁介質(zhì)、壓縮盤(例如CD-ROM)或任意其他光介質(zhì)、打孔卡、紙帶或其他帶孔狀圖案的物理介質(zhì)、載波(下面將描述)或計算機可從其讀取的任意其他介質(zhì)。本發(fā)明包括用于控制計算機系統(tǒng)1201，用于驅(qū)動用于實現(xiàn)本發(fā)明的設(shè)備以及用于使計算機系統(tǒng)1201能夠與人類用戶交互(例如與易損部件的處置人員交互)的軟件，這樣的軟件被存儲在計算機可讀介質(zhì)中的任意一種或其組合上。這樣的軟件可以包括(但不局限于)設(shè)備驅(qū)動器、操作系統(tǒng)、開發(fā)工具和應(yīng)用軟件。這樣的計算機可讀介質(zhì)還包括本發(fā)明的用于執(zhí)行在實現(xiàn)本發(fā)明時執(zhí)行的處理的全部或一部分(如果處理是分散的的話)的計算機程序產(chǎn)品。本發(fā)明的計算機代碼設(shè)備可以是任意可解釋或可執(zhí)行的代碼機制，包括但不局限于腳本、可解釋程序、動態(tài)鏈接庫(DLL)、Java類和完整的可執(zhí)行程序。此外，本發(fā)明的處理的某些部分可被分散，以用于實現(xiàn)更好的性能、可靠性和/或成本。這里使用的術(shù)語“計算機可讀介質(zhì)”指的是參與向內(nèi)部處理器1203或處理器18提供指令以供執(zhí)行的任意介質(zhì)。計算機可讀介質(zhì)可以采取很多形式，包括但不局限于非易失性介質(zhì)、易失性介質(zhì)和傳輸介質(zhì)。非易失性介質(zhì)例如包括光盤、磁盤和磁光盤，例如硬盤1207或可移動的介質(zhì)驅(qū)動器1208。易失性介質(zhì)包括動態(tài)存儲器，例如主存儲器1204。傳輸介質(zhì)包括同軸電纜、銅線和光纖，包括構(gòu)成總線1202的電線。傳輸介質(zhì)還可以采取聲波或光波的形式，例如那些在無線電波和紅外數(shù)據(jù)通信期間生成的聲波或光波。在執(zhí)行被提供到內(nèi)部處理器1203以供執(zhí)行的一個或多個指令的一個或多個序列時可能涉及各種形式的計算機可讀介質(zhì)。例如，指令可能最初被承載在遠程計算機的磁盤上。諸如工具控制器26之類的遠程計算機可以將用于實現(xiàn)本發(fā)明的全部或一部分的指令遠程加載到動態(tài)存儲器中并將指令發(fā)送到電子監(jiān)視設(shè)備10。耦合到總線1202的紅外檢測器可以接收在紅外信號中承載的數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)放在總線1202上?？偩€1202將數(shù)據(jù)運載到主存儲器1204，內(nèi)部處理器1203可以從主存儲器1204獲取并執(zhí)行指令。由主存儲器1204接收的指令可以可選地在由內(nèi)部處理器1203執(zhí)行之前或之后被存儲在存儲設(shè)備1207或1208上。計算機系統(tǒng)1201還包括耦合到總線1202的通信接口1213。通信接口1213提供耦合到網(wǎng)絡(luò)鏈路1214的雙向數(shù)據(jù)通信，網(wǎng)絡(luò)鏈路1214例如被連接到局域網(wǎng)(LAN)1215或另一通信網(wǎng)絡(luò)1216(例如因特網(wǎng))。例如，通信接口1213可以是附接到任意分組交換LAN的網(wǎng)絡(luò)接口卡。作為另一示例，通信接口1213可以是非對稱數(shù)字訂戶線(ADSL)卡、集成服務(wù)數(shù)字網(wǎng)絡(luò)(ISDN)卡或調(diào)制解調(diào)器，用于向相應(yīng)類型的通信線路提供數(shù)據(jù)通信連接。無線鏈路也可以被實現(xiàn)。在任意這樣的實現(xiàn)方式中，通信接口1213發(fā)送和接收電、電磁或光信號，該信號運載代表各種類型的信息的數(shù)字數(shù)據(jù)流。網(wǎng)絡(luò)鏈路1214通常通過一個或多個網(wǎng)絡(luò)向其他數(shù)據(jù)設(shè)備提供數(shù)據(jù)通信。例如，網(wǎng)絡(luò)鏈路1214可以通過局域網(wǎng)1215(例如LAN)或通過由服務(wù)提供商操作的設(shè)備向另一計算機提供連接，所述服務(wù)提供商通過通信網(wǎng)絡(luò)1216提供通信服務(wù)。局域網(wǎng)1214和通信網(wǎng)絡(luò)1216例如使用運載數(shù)字數(shù)據(jù)流的電、電磁或光信號和相關(guān)的物理層(例如CAT5電纜、同軸電纜、光纖等等)。通過各種網(wǎng)絡(luò)的信號和在網(wǎng)絡(luò)鏈路1214上并且通過通信接口1213的信號(它們運載去往和來自計算機系統(tǒng)1201的數(shù)字數(shù)據(jù))可以以基帶信號或基于載波的信號的形式實現(xiàn)?；鶐盘枌⒃摂?shù)字數(shù)據(jù)作為未經(jīng)調(diào)制的電脈沖傳遞，該電脈沖描述了數(shù)字數(shù)據(jù)比特流，其中術(shù)語“比特”被寬泛地解釋為指符號，其中每個符號傳遞至少一個或多個信息比特。數(shù)字數(shù)據(jù)還可以被用于調(diào)制載波，例如利用通過傳導(dǎo)介質(zhì)傳播的或作為電磁波通過傳播介質(zhì)傳送的幅移、相移和/或頻移鍵控信號。因此，數(shù)字數(shù)據(jù)可以通過“有線的”通信信道作為未經(jīng)調(diào)制的基帶數(shù)據(jù)發(fā)送和/或通過調(diào)制載波而在不同于基帶的預(yù)定頻帶中發(fā)送。計算機系統(tǒng)1201可以通過網(wǎng)絡(luò)1215和1216、網(wǎng)絡(luò)鏈路1214和通信接口1213來發(fā)送和接收數(shù)據(jù)，包括程序代碼。此外，網(wǎng)絡(luò)鏈路1214可以通過LAN1215提供到諸如個人數(shù)字助理(PDA)、膝上型計算機或蜂窩電話之類移動設(shè)備1217的連接。根據(jù)以上教導(dǎo)，可以對本發(fā)明執(zhí)行各種修改和改變。因此，將會理解，在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可以以不同于這里具體描述的內(nèi)容的方式實施本發(fā)明。權(quán)利要求1.一種用于保存半導(dǎo)體處理工具內(nèi)的易損部件的化學暴露的電子監(jiān)視設(shè)備，包括所述易損部件專用的存儲器單元，其被配置用于存儲所述易損部件的所述化學暴露的歷史；連接到所述存儲器單元的處理器，其被配置用于與所述存儲器單元通信以存儲所述歷史；以及連接到所述存儲器單元和所述處理器的電源電路，其被配置用于向所述存儲器單元和所述處理器傳輸功率。2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括氣體傳感器，其被配置用于感應(yīng)所述易損部件暴露于其中的氣體環(huán)境。3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括包括所述存儲器單元、所述電源電路和所述處理器的芯片封裝；以及所述芯片封裝被附接到所述易損部件。4.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括包括所述存儲器單元、所述電源電路和所述處理器的芯片封裝；以及所述芯片封裝被嵌入在所述易損部件中。5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括包括所述存儲器單元、所述電源電路和所述處理器的芯片封裝；以及所述芯片封裝與所述易損部件相分離。6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括包括所述存儲器單元、所述電源電路和所述處理器的芯片封裝；以及所述芯片封裝被布置在所述半導(dǎo)體處理工具外部。7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述芯片封裝包括與所述易損部件相關(guān)聯(lián)的標識號。8.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述處理器被配置為從所述電子監(jiān)視設(shè)備的存儲器單元和向所述電子監(jiān)視設(shè)備的存儲器單元無線地傳輸數(shù)據(jù)。9.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述處理器被配置為在密碼確認后傳輸所述歷史。10.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述處理器被配置為與半導(dǎo)體處理工具控制器通信，以從所述半導(dǎo)體處理工具控制器下載半導(dǎo)體處理數(shù)據(jù)，并且將從所述半導(dǎo)體處理數(shù)據(jù)中選出的一部分存儲在所述存儲器單元中，作為所述易損部件的所述化學暴露的所述歷史。11.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中所述處理器被配置為傳輸處理運行數(shù)據(jù)和氣體傳感器數(shù)據(jù)中的至少一個，作為所述半導(dǎo)體處理數(shù)據(jù)。12.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述存儲器單元包括非易失性存儲器。13.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括電池，其被配置用于向所述電源電路提供功率以使所述存儲器單元和所述處理器工作。14.如權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其中所述電池包括可充電電池。15.如權(quán)利要求14所述的設(shè)備，還包括RF天線，其被配置用于接收來自半導(dǎo)體等離子處理工具內(nèi)的RF區(qū)域的RF能量；功率轉(zhuǎn)換器，其被配置用于將所述RF能量轉(zhuǎn)換成DC功率；以及所述可充電電池被配置為從所述DC功率充電。16.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括RF天線，其被配置用于接收來自半導(dǎo)體等離子處理工具內(nèi)的RF區(qū)域的RF能量；功率轉(zhuǎn)換器，其被配置用于將所述RF能量轉(zhuǎn)換成DC功率，以使所述存儲器單元和所述處理器工作。17.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括連接到所述處理器、所述電源電路和所述存儲器單元中的至少一個的連接端口。18.如權(quán)利要求17所述的設(shè)備，其中所述連接端口被配置為向所述電源電路提供功率，以使所述存儲器單元和所述處理器工作。19.如權(quán)利要求17所述的設(shè)備，其中所述連接端口被配置為與所述存儲器單元通信。20.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括連接到所述電源電路、所述處理器和所述存儲器單元的氣體傳感器。21.一種用于處置半導(dǎo)體處理工具的易損部件的方法，包括獲取與所述易損部件在所述半導(dǎo)體處理工具內(nèi)時的化學暴露相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)；將所述數(shù)據(jù)存儲在所述易損部件專用的存儲器單元中，作為所述易損部件的所述化學暴露的歷史；讀取所述化學暴露的所述歷史，以從所述歷史中識別出所述易損部件在所述半導(dǎo)體處理工具內(nèi)時暴露于其中的有毒物質(zhì)；以及基于從所述歷史中識別出的有毒物質(zhì)來處置所述易損部件。22.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述獲取數(shù)據(jù)的步驟包括從被配置為感應(yīng)關(guān)于所述易損部件的氣體環(huán)境的氣體傳感器獲取所述數(shù)據(jù)。23.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述獲取數(shù)據(jù)的步驟包括從附接到所述易損部件的所述氣體傳感器獲取所述數(shù)據(jù)。24.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述獲取數(shù)據(jù)的步驟包括從連接到所述半導(dǎo)體處理工具的所述氣體傳感器獲取所述數(shù)據(jù)。25.如權(quán)利要求24所述的方法，其中所述獲取數(shù)據(jù)的步驟包括將來自所述半導(dǎo)體處理工具的氣體傳感器數(shù)據(jù)和處理運行數(shù)據(jù)中的至少一個發(fā)送到所述易損部件專用的存儲器單元。26.如權(quán)利要求25所述的方法，其中所述發(fā)送步驟將來自連接到所述半導(dǎo)體處理工具的所述氣體傳感器的所述數(shù)據(jù)無線地發(fā)送到所述易損部件專用的存儲器單元。27.如權(quán)利要求25所述的方法，其中所述發(fā)送步驟將來自連接到所述半導(dǎo)體處理工具的所述氣體傳感器的所述數(shù)據(jù)通過電線發(fā)送到所述易損部件專用的存儲器單元。28.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述獲取數(shù)據(jù)的步驟包括從所述半導(dǎo)體處理工具獲取處理運行數(shù)據(jù)；以及從所述處理運行數(shù)據(jù)中區(qū)分出并刪除處理專有數(shù)據(jù)，以使得非機密數(shù)據(jù)被存儲作為所述化學暴露的所述歷史。29.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述存儲所述數(shù)據(jù)的步驟包括將所述數(shù)據(jù)存儲在非易失性存儲器單元中。30.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述讀取所述歷史的步驟包括在密碼確認之后從所述存儲器單元讀取所述歷史。31.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述讀取所述歷史的步驟包括將來自所述存儲器單元的所述歷史無線地發(fā)送到接收者。32.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述讀取所述歷史的步驟包括將來自所述存儲器單元的所述歷史通過電線發(fā)送到接收者。33.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述讀取所述歷史的步驟包括標識對所述有毒物質(zhì)的暴露級別。34.如權(quán)利要求21所述的方法，其中所述處置所述易損部件的步驟包括基于所述易損部件暴露于其中的主要有毒物質(zhì)來選擇處置技術(shù)。全文摘要一種用于保存半導(dǎo)體處理工具內(nèi)的易損部件的化學暴露的電子監(jiān)視設(shè)備。該監(jiān)視設(shè)備包括易損部件專用的存儲了易損部件的化學暴露的歷史的存儲器單元、與存儲器單元通信的處理器以及向存儲器單元和處理器提供功率的電源電路。文檔編號H01L21/00GK1906620SQ200480041005公開日2007年1月31日申請日期2004年11月10日優(yōu)先權(quán)日2004年1月30日發(fā)明者保拉·卡拉波瑟,安德杰·米托維克申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社