專(zhuān)利名稱(chēng)：膠帶粘結(jié)裝置、膠帶粘結(jié)方法、以及電子器件制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是將膠帶部件粘結(jié)于工件上的膠帶粘結(jié)裝置、膠帶粘結(jié)方法、以及電子器件制造方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工序中，在半導(dǎo)體片(以下，稱(chēng)為“晶片”)的表面上形成電路圖之后，磨削晶片背面謀求薄型化，從而對(duì)應(yīng)被形成的半導(dǎo)體晶片的小型化·薄型化。另外，也有使用藥液實(shí)施化學(xué)腐蝕，進(jìn)行謀求該晶片薄型化的制造工序的情況。
在相關(guān)制造工序中，在晶片表面上粘貼有粘附狀的保護(hù)膠帶(以下，稱(chēng)為“膠帶部件”)。由此，防止晶片表面被污染，或該晶片表面受損而電路損壞的情況。
作為在這樣的晶片表面上粘結(jié)膠帶部件的膠帶粘結(jié)裝置，有專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的發(fā)明。在該專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的膠帶粘結(jié)裝置中，由將主體側(cè)空間及上蓋側(cè)空間的雙方均作為真空的狀態(tài)將上蓋側(cè)空間轉(zhuǎn)換為大氣壓。由此，在上蓋側(cè)空間和主體側(cè)空間之間產(chǎn)生壓差，并通過(guò)該壓差橡膠薄板向主體側(cè)空間膨脹。然后，通過(guò)該膨脹橡膠薄板按壓膠帶部件，并將膠帶部件粘結(jié)在工件上。
另外，作為其他粘貼裝置有專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的發(fā)明。在該專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的發(fā)明中，利用第一真空室和第二真空室之間的壓差，使平滑性高的底座中央部向膠帶部件側(cè)彎曲。與此同時(shí)，一邊將彎曲中央部的底座向粘貼于晶片上的膠帶部件按壓，一邊通過(guò)升降裝置的驅(qū)動(dòng)將晶片提升。通過(guò)這樣的操作，一邊從膠帶部件的中央側(cè)向外方擠壓空氣，一邊將膠帶部件粘結(jié)在晶片上。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)2003-7808號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2特開(kāi)2000-349047號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的課題上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的構(gòu)成僅停留于構(gòu)思階段，其構(gòu)成并不具體。因此，若要根據(jù)相關(guān)構(gòu)成實(shí)際實(shí)施的情況下，會(huì)產(chǎn)生各種不良情況。例如，由于在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的構(gòu)成中橡膠薄板位于頂部，因此為了消除因該橡膠薄板的自重而引起的松馳，必須相當(dāng)?shù)靥岣咴O(shè)置橡膠薄板時(shí)的張力。因此，存在橡膠薄板的安裝作業(yè)變困難的課題。
特別是，為了有效地進(jìn)行膠帶部件的粘結(jié)，在開(kāi)始將膠帶部件粘結(jié)在晶片的作業(yè)的起始位置，通常接觸于橡膠薄板的膠帶部件和晶片之間的間隙小。在相關(guān)間隙小的狀態(tài)下，若橡膠薄板上發(fā)生松馳，則會(huì)產(chǎn)生由進(jìn)行抽真空之前的階段膠帶部件粘結(jié)于晶片上，并在相關(guān)粘結(jié)面上進(jìn)入氣泡這樣的不良情況。
另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的構(gòu)成中，必須設(shè)有多個(gè)頂緊螺釘、且使這些所有的頂緊螺釘旋轉(zhuǎn)，在需要同時(shí)旋轉(zhuǎn)頂緊螺釘?shù)那闆r下其作業(yè)變得困難。進(jìn)而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的構(gòu)成中，必須以除去上蓋的狀態(tài)設(shè)置膠帶部件和晶片。因此，會(huì)需要多余的工時(shí)。
另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的構(gòu)成中，利用第一真空室和第二真空室之間的壓差使玻璃板等的底座彎曲，使底座粘結(jié)于粘貼有晶片的膠帶部件上，同時(shí)，由該粘結(jié)狀態(tài)進(jìn)而將粘貼有晶片的膠帶部件及底座提升。因此，具有兩階段的粘結(jié)工序、且費(fèi)事，成本上也不能令人滿意。另外，由于為了將晶片等提升而另外需要升降裝置，因此其構(gòu)成變得復(fù)雜，需要該部分的成本。
本發(fā)明是基于上述課題而進(jìn)行的，其目的在于獲得，能夠消除橡膠薄板的松馳、且良好地將膠帶部件粘結(jié)于工件上，同時(shí)，能夠謀求工序簡(jiǎn)單化及成本削減的膠帶粘結(jié)裝置、膠帶粘結(jié)方法、以及電子器件制造方法。
解決課題的手段本發(fā)明是將膠帶部件粘結(jié)于工件上的膠帶粘結(jié)裝置，它設(shè)有在頂面上載置工件的伸縮薄板部件；位于伸縮薄板部件的頂面?zhèn)龋瑫r(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第一真空室；位于伸縮薄板部件的底面?zhèn)?，同時(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第二真空室；以防止在第一真空室和第二真空室之間空氣導(dǎo)通的狀態(tài)保持伸縮薄板部件的保持部件；以張?jiān)O(shè)狀態(tài)保持膠帶部件，同時(shí)，用于使膠帶部件位于載置于伸縮薄板部件的工件頂部的膠帶保持手段；將第一真空室內(nèi)部抽真空的第一吸引手段；用于將空氣引入到第一真空室內(nèi)部的第一空氣引入手段；將第二真空室內(nèi)部抽真空的第二吸引手段；以及用于將空氣引入到第二真空室內(nèi)部的第二空氣引入手段。
通過(guò)采用這樣的構(gòu)成，工件載置于伸縮薄板部件的頂面，膠帶部件以通過(guò)膠帶保持手段被張?jiān)O(shè)的狀態(tài)位于其頂部上。而且，以該狀態(tài)使第一吸引手段及第二吸引手段工作，對(duì)第一真空室及第二真空室進(jìn)行排氣。其后，使第二空氣引入手段工作，將空氣引入到第二真空室內(nèi)部。于是，通過(guò)被維持真空狀態(tài)的第一真空室和被引入空氣的第二真空室之間的壓差，以保持部件封閉其邊界部分的伸縮薄板部件向第一真空室內(nèi)部膨脹。而且，通過(guò)該膨脹，伸縮薄板部件將工件提升，并通過(guò)相關(guān)的提升工件接觸于膠帶部件。
若由該狀態(tài)伸縮薄板部件進(jìn)一步膨脹，則工件一邊抵抗處于張?jiān)O(shè)狀態(tài)的膠帶部件的張力，一邊進(jìn)一步提升。由此，能夠?qū)⒛z帶部件良好地粘結(jié)于整個(gè)工件上。這樣，通過(guò)將工件載置于伸縮薄板部件的頂面、在該載置狀態(tài)下使伸縮薄板部件膨脹，能夠在防止氣泡進(jìn)入的同時(shí)將膠帶部件粘結(jié)于工件上。
另外，與使工件位于伸縮薄板部件底面的情況相比較，能夠消除該伸縮薄板部件松弛的影響。因此，不需要為了消除橡膠薄板的松弛而對(duì)伸縮薄板部件賦予大的張力，構(gòu)成變得簡(jiǎn)單。另外，容易制造出膠帶粘結(jié)裝置。進(jìn)而，由于利用伸縮薄板部件的膨脹，因此不需要使工件向上方的膠帶部件移動(dòng)的特別構(gòu)成也可以。因此，能夠以簡(jiǎn)單的構(gòu)成使工件向膠帶部件移動(dòng)。
另外，其他的發(fā)明在上述發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，設(shè)有控制第一吸引手段、第二吸引手段、第一空氣引入手段及第二空氣引入手段工作的控制手段，同時(shí)，該控制手段使第一吸引手段及第二吸引手段工作，進(jìn)行第一真空室及第二真空室的抽真空，在抽真空之后使第二空氣引入手段工作將空氣引入到第二真空室，并通過(guò)該空氣的引入，使伸縮薄板部件向第一真空室內(nèi)部膨脹，通過(guò)伸縮薄板部件的膨脹，將工件向膠帶部件提升并粘結(jié)于膠帶部件上。
在這樣構(gòu)成的情況下，通過(guò)利用控制手段的工作控制，首先開(kāi)始第一吸引手段及第二吸引手段的工作，進(jìn)行抽真空。然后，在相關(guān)抽真空之后，通過(guò)利用控制手段的工作控制，第二空氣引入手段進(jìn)行工作。由此，空氣被引入到第二真空室。而且，通過(guò)該空氣的引入，能夠使伸縮薄板部件向第一真空室內(nèi)部膨脹。若伸縮薄板部件膨脹，則能夠?qū)⒐ぜ蚰z帶部件提升。由此，能夠?qū)⒐ぜ辰Y(jié)于膠帶部件上。
進(jìn)而，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，控制手段在使第一吸引手段及第二吸引手段工作時(shí)，首先使第二吸引手段工作，之后使第一吸引手段工作。
在這樣構(gòu)成的情況下，通過(guò)第二吸引手段首先工作，相對(duì)于第一真空室第二真空室的壓力降低。因此，伸縮薄板部件向底面?zhèn)鹊牡诙婵帐覀?cè)膨脹。這樣的話，伸縮薄板部件就不會(huì)首先向第一真空室側(cè)膨脹。因此，能夠防止在第二空氣引入手段工作引入空氣之前的階段，工件和膠帶部件被粘結(jié)的情況。
另外，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，膠帶粘結(jié)裝置設(shè)有主體部、和開(kāi)閉自如地設(shè)置在該主體部的蓋體部；在將蓋體部相對(duì)于主體部關(guān)閉的情況下，將密封閉塞蓋體部和主體部之間的密封部件設(shè)置在這些蓋體部和主體部的邊界部分上，同時(shí)，在蓋體部的閉塞狀態(tài)中，在該蓋體部和伸縮薄板部件之間形成第一真空室，同時(shí)，在存在于主體部的空間部和伸縮薄板部件之間形成第二真空室。
在這樣構(gòu)成的情況下，蓋體部相對(duì)于主體部是開(kāi)閉自如的。這樣的話，通過(guò)蓋體部的開(kāi)閉，能夠容易地進(jìn)行工件及膠帶部件的設(shè)置、以及膠帶部件被粘結(jié)狀態(tài)的工件的取出。另外，通過(guò)密封部件的存在，能夠密封閉塞蓋體部和主體部之間。因此，在第一吸引手段及第二吸引手段進(jìn)行工作時(shí)，能夠?qū)⒌谝徽婵帐壹暗诙婵帐椅琳婵斩雀叩臓顟B(tài)為止。另外，伸縮薄板部件的底面?zhèn)瘸蔀閺淖畛蹰_(kāi)始存在第二真空室的狀態(tài)。另外，在將蓋體部相對(duì)于主體部關(guān)閉的情況下，在該蓋體部和伸縮薄板部件之間形成第一真空室。
進(jìn)而，其他的發(fā)明在上述發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，蓋體部設(shè)有在該蓋體部的閉塞狀態(tài)中向上方塌陷的凹部，同時(shí)，該凹部的上底面從上方抑制因伸縮薄板部件的膨脹而引起的、工件及膠帶部件向上方的移動(dòng)。
在這樣構(gòu)成的情況下，若伸縮薄板部件膨脹，則工件及膠帶部件被提升。若通過(guò)該提升膠帶部件到達(dá)規(guī)定的高度位置，則會(huì)碰到上底面，膠帶部件由上方被按壓。因此，膠帶部件以由上方被按壓，同時(shí)，由下方通過(guò)工件被提升的狀態(tài)實(shí)施粘結(jié)。也就是說(shuō)，由于一邊由上方按壓膠帶部件，一邊將工件向上方提升并按壓，因此能夠使工件和膠帶部件之間的粘結(jié)牢固且確實(shí)。
另外，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，在蓋體部和主體部的邊界部分設(shè)有檢測(cè)蓋體部相對(duì)于主體部關(guān)閉狀態(tài)的傳感器，同時(shí)，該傳感器能夠?qū)刂剖侄伟l(fā)送檢測(cè)信號(hào)，控制手段只有在從傳感器接收到對(duì)應(yīng)于蓋體部關(guān)閉狀態(tài)的檢測(cè)信號(hào)的情況下，才使第一吸引手段或第二吸引手段進(jìn)行工作。
在這樣構(gòu)成的情況下，傳感器能夠檢測(cè)出蓋體部相對(duì)于主體部關(guān)閉的狀態(tài)。而且，通過(guò)將基于該檢測(cè)的檢測(cè)信號(hào)發(fā)送到控制手段，該控制手段能夠識(shí)別出處于關(guān)閉狀態(tài)。而且，控制手段只要未識(shí)別關(guān)閉狀態(tài)，就不會(huì)使第一吸引手段及第二吸引手段工作。因此，只有在蓋體部確實(shí)閉塞的情況下，才能夠進(jìn)行抽真空，能夠防止該抽真空的徒勞無(wú)用。
另外，即使在不小心夾雜物夾在蓋體部和主體部之間的情況下，也不會(huì)使第一吸引手段及第二吸引手段工作，因此能夠容易除去該夾雜物。因此，能夠防止蓋體部和主體部之間發(fā)生破損。
進(jìn)而，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，膠帶保持手段通過(guò)銷(xiāo)部件安裝于保持部件上。在這樣構(gòu)成的情況下，銷(xiāo)部件介于膠帶保持手段和保持部件之間，在該銷(xiāo)部件不存在的部位產(chǎn)生間隙。而且，能夠利用第一吸引手段由該間隙將存在于膠帶保持手段和保持部件之間的空間的空氣吸引排氣。也就是說(shuō)，能夠良好地吸引排氣存在于工件和膠帶部件之間的空氣。
另外，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，工件為玻璃電路板；銷(xiāo)部件上設(shè)有，設(shè)置在保持部件上、同時(shí)向與膠帶保持手段相對(duì)的一側(cè)突出的第一支持部件；和設(shè)置在保持部件上、同時(shí)向與膠帶保持手段相對(duì)的一側(cè)突出、且比第一支持部件突出長(zhǎng)度長(zhǎng)的多個(gè)第二支持部件。
在這樣構(gòu)成的情況下，膠帶保持手段通過(guò)第一支持部件及第二支持部件而被支持。因此，固定于膠帶保持手段上的膠帶部件在第一支持部件的附近，其高度位置變低，而在第二支持部件的附近其高度位置變高。因此，膠帶部件與其整體被第二支持部件支持的情況相比較，能夠降低高度位置，若考慮膠帶部件的撓度，則可以在該膠帶部件的上方，使其具有充裕的空間。另外，不需要使存在于蓋體部的凹部的深度深于必要以上也可以。因此，在充裕空間不多的情況下，能夠切削凹部等而變深，可任意進(jìn)行調(diào)整。
進(jìn)而，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，蓋體部上設(shè)有輔助相對(duì)于主體部的開(kāi)閉的開(kāi)閉輔助手段。在這樣構(gòu)成的情況下，在開(kāi)閉蓋體部時(shí)開(kāi)閉輔助手段起作用。因此，易于操作者進(jìn)行開(kāi)閉蓋體部的動(dòng)作，能夠減輕操作者的負(fù)擔(dān)。
另外，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，開(kāi)閉輔助手段設(shè)有由蓋體部的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)向與設(shè)有該蓋體部一側(cè)的相反側(cè)延伸的安裝軸；安裝于該安裝軸的砝碼(weight)；設(shè)置于安裝軸的突出部分；轉(zhuǎn)動(dòng)自如地設(shè)置于主體部上、伴隨著蓋體部的開(kāi)啟動(dòng)作設(shè)置在安裝軸移動(dòng)的一側(cè)，同時(shí)，向安裝軸延伸的杠桿；以及設(shè)置在杠桿中突出部分碰到的部位上，該突出部分被嵌入，同時(shí)，在該突出部分被嵌入時(shí)限制杠桿的轉(zhuǎn)動(dòng)，維持該突出部分的嵌入狀態(tài)，從而能夠維持蓋體部的開(kāi)放狀態(tài)的缺口部。
在這樣構(gòu)成的情況下，由于安裝軸上安裝有砝碼，因此能夠以較小的力開(kāi)啟蓋體部。另外，在關(guān)閉蓋體部的情況下，也不會(huì)因蓋體部的自重而急劇關(guān)閉，能夠防止損壞蓋體部及主體部這樣的不良情況的發(fā)生。進(jìn)而，在設(shè)置于杠桿的缺口部嵌入有突出部分、在該突出部分的嵌入狀態(tài)中，杠桿的轉(zhuǎn)動(dòng)被限制，能夠良好地維持蓋體部的開(kāi)放狀態(tài)。因此，不需要用手按壓蓋體部等而維持該蓋體部的開(kāi)放狀態(tài)，這部分時(shí)間操作者可以進(jìn)行工件搬送等其他作業(yè)，其便利性得以提高。
進(jìn)而，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，膠帶部件上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，蓋體部上設(shè)有加熱手段，同時(shí)，在將膠帶部件粘結(jié)于工件上時(shí)通過(guò)該加熱手段加熱膠帶部件。在這樣構(gòu)成的情況下，由于膠帶部件的表面上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，因此若通過(guò)加熱手段被加熱，則對(duì)于工件的粘結(jié)性得以提高。若以該狀態(tài)相對(duì)于工件膠帶部件被按壓，則能夠良好地將膠帶部件粘結(jié)于該工件上。
另外，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，在蓋體部中與凹部鄰接的收容部上設(shè)有多個(gè)加熱手段，同時(shí)，多個(gè)加熱手段在該收容部中配置為放射狀。在這樣構(gòu)成的情況下，能夠利用加熱手段對(duì)膠帶部件的整體良好地進(jìn)行加熱。因此，能夠提高膠帶部件對(duì)工件的粘結(jié)性。
進(jìn)而，其他的發(fā)明為將膠帶部件粘結(jié)于工件上的膠帶粘結(jié)裝置，它設(shè)有在頂面上載置工件的伸縮薄板部件；位于伸縮薄板部件的頂面?zhèn)?，同時(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第一室；位于伸縮薄板部件的底面?zhèn)?，同時(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第二室；以防止第一室和第二室之間空氣導(dǎo)通的狀態(tài)保持伸縮薄板部件的保持部件；以張?jiān)O(shè)狀態(tài)保持膠帶部件，同時(shí)，用于使膠帶部件位于載置在伸縮薄板部件上的工件頂部的膠帶保持手段；以及調(diào)整第一室內(nèi)部的壓力低于第二室內(nèi)部的壓力的調(diào)整手段。
通過(guò)采用這樣的構(gòu)成，工件載置于伸縮薄板部件的頂面，膠帶部件以通過(guò)膠帶保持手段被張?jiān)O(shè)的狀態(tài)位于其頂部上。而且，以該狀態(tài)使調(diào)整手段工作，進(jìn)行第一室及第二室的壓力調(diào)整。于是，通過(guò)第一室和第二室之間的壓差以保持部件封閉其邊界部分的伸縮薄板部件，向第一室內(nèi)部膨脹。而且，通過(guò)該膨脹，伸縮薄板部件將工件提升，并通過(guò)相關(guān)提升工件接觸于膠帶部件。
若由該狀態(tài)伸縮薄板部件進(jìn)一步膨脹，則工件一邊抵抗處于張?jiān)O(shè)狀態(tài)的膠帶部件的張力，一邊進(jìn)一步被提升。由此，能夠?qū)⒛z帶部件良好地粘結(jié)于整個(gè)工件。這樣，通過(guò)將工件載置于伸縮薄板部件的頂面上、并在該載置狀態(tài)中使伸縮薄板部件膨脹，能夠在防止氣泡進(jìn)入的同時(shí)將膠帶部件粘結(jié)于工件上。
另外，與使工件位于伸縮薄板部件底面上的情況相比較，能夠消除該伸縮薄板部件松弛的影響。因此，沒(méi)有必要為了消除橡膠薄板的松弛，而對(duì)伸縮薄板部件賦予大的張力，構(gòu)成變得簡(jiǎn)單。另外，容易制造出膠帶粘結(jié)裝置。進(jìn)而，由于利用伸縮薄板部件的膨脹，因此不需要使工件向上方的膠帶部件移動(dòng)的特別構(gòu)成也可以。因此，能夠以簡(jiǎn)單的構(gòu)成使工件向膠帶部件移動(dòng)。
進(jìn)而，其他的發(fā)明為將膠帶部件粘結(jié)于工件上的膠帶粘結(jié)方法，它設(shè)有以伸縮薄板部件的頂面上載置有工件、且通過(guò)膠帶保持手段以張?jiān)O(shè)狀態(tài)使膠帶部件位于該工件頂部的狀態(tài)，利用第一吸引手段將位于伸縮薄板部件頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐页檎婵?，同時(shí)，利用第二吸引手段將位于伸縮薄板部件底面?zhèn)鹊牡诙婵帐页檎婵盏奈襟E；檢測(cè)出通過(guò)吸引步驟第一真空室及第二真空室已到達(dá)被設(shè)定真空度的真空到達(dá)度檢測(cè)步驟；在通過(guò)真空到達(dá)度檢測(cè)步驟檢測(cè)出已到達(dá)被設(shè)定真空度之后，通過(guò)第二吸引手段的工作停止，停止第二真空室的抽真空，同時(shí)，使第二空氣引入手段工作將空氣引入到該第二真空室的第一空氣引入步驟；在第一空氣引入步驟之后，使伸縮薄板部件向第一真空室內(nèi)部膨脹，并通過(guò)相關(guān)伸縮薄板部件的膨脹，將工件向膠帶部件提升并粘結(jié)于膠帶部件上的粘結(jié)步驟；以及在將粘結(jié)步驟僅實(shí)施事先設(shè)定的時(shí)間之后，使第一空氣引入手段工作將空氣引入到第一真空室的第二空氣引入步驟。
這種情況下，在吸引步驟中進(jìn)行第一真空室和第二真空室的抽真空。在該吸引步驟之后，在真空到達(dá)度檢測(cè)步驟中進(jìn)行真空度到達(dá)的檢測(cè)。而且，若檢測(cè)出已到達(dá)被設(shè)定的真空度，則這次在第一空氣引入步驟中使第二空氣引入手段工作，將空氣引入到第二真空室。由此，伸縮薄板部件開(kāi)始向作為其頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐覀?cè)膨脹。
之后，開(kāi)始粘結(jié)步驟，通過(guò)伸縮薄板部件的膨脹工件被提升并粘結(jié)于膠帶部件。只要將相關(guān)膨脹僅繼續(xù)實(shí)施規(guī)定時(shí)間，則通過(guò)膨脹的繼續(xù)膠帶部件粘結(jié)于整個(gè)工件上。在該粘結(jié)之后，若使第一空氣引入手段工作將空氣引入到第一真空室，則第一真空室及第二真空室均處于和大氣壓相等的狀態(tài)。而且，膠帶部件對(duì)工件的粘結(jié)結(jié)束。
這樣，通過(guò)將工件載置于伸縮薄板部件的頂面、在該載置狀態(tài)中使伸縮薄板部件膨脹，能夠在防止氣泡進(jìn)入的同時(shí)將膠帶部件粘結(jié)于工件上。另外，與使工件位于伸縮薄板部件底面的情況相比較，能夠消除該伸縮薄板部件松弛的影響。因此，沒(méi)有必要為了消除松弛而對(duì)伸縮薄板部件賦予大的張力，且粘結(jié)變得簡(jiǎn)單，另外容易制造出膠帶粘結(jié)裝置。進(jìn)而，由于利用伸縮薄板部件的膨脹，因此不需要使工件向上方的膠帶部件移動(dòng)的特別步驟也可以。因此，能夠以簡(jiǎn)單的方法使工件向膠帶部件移動(dòng)。
另外，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，吸引步驟在使第一吸引手段及第二吸引手段工作時(shí)，首先使第二吸引手段工作，之后使第一吸引手段工作。
這種情況下，通過(guò)第二吸引手段首先工作，相對(duì)于第一真空室第二真空室的壓力降低。因此，伸縮薄板部件向底面?zhèn)鹊牡诙婵帐覀?cè)膨脹。這樣的話，伸縮薄板部件就不會(huì)首先向第一真空室側(cè)膨脹。因此，能夠防止在第二空氣引入手段工作引入空氣之前的階段工件和膠帶部件被粘結(jié)。
進(jìn)而，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，在膠帶部件上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，同時(shí)，在粘結(jié)步驟中將膠帶部件粘結(jié)于工件之前，設(shè)有加熱膠帶部件的加熱步驟。
在這樣構(gòu)成的情況下，由于膠帶部件的表面上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，因此若在加熱步驟中被加熱，則對(duì)工件的粘結(jié)性提高。若以該狀態(tài)在粘結(jié)步驟中相對(duì)于工件膠帶部件被按壓，則能夠?qū)⒛z帶部件良好地粘結(jié)于該工件上。
進(jìn)而，其他的發(fā)明為將膠帶部件粘結(jié)于工件上從而制造電子器件的電子器件制造方法，它設(shè)有以伸縮薄板部件的頂面上載置有工件、且通過(guò)膠帶保持手段以張?jiān)O(shè)狀態(tài)使膠帶部件位于該工件頂部的狀態(tài)，利用第一吸引手段將位于伸縮薄板部件頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐页檎婵?，同時(shí)，利用第二吸引手段將位于伸縮薄板部件底面?zhèn)鹊牡诙婵帐页檎婵盏奈襟E；檢測(cè)出通過(guò)吸引步驟第一真空室及第二真空室已到達(dá)被設(shè)定真空度的真空到達(dá)度檢測(cè)步驟；在通過(guò)真空到達(dá)度檢測(cè)步驟檢測(cè)出已到達(dá)被設(shè)定真空度后，通過(guò)第二吸引手段的工作停止使第二真空室的抽真空停止，同時(shí)，使第二空氣引入手段工作將空氣引入到該第二空氣室的第一空氣引入步驟；在第一空氣引入步驟之后，使伸縮薄板部件向第一真空室內(nèi)部膨脹，并通過(guò)相關(guān)伸縮薄板部件的膨脹，將工件向膠帶部件提升并粘結(jié)于膠帶部件的粘結(jié)步驟；以及將粘結(jié)步驟僅實(shí)施事先設(shè)定的時(shí)間之后，使第一空氣引入手段工作將空氣引入到第一真空室的第二空氣引入步驟。
這種情況下，在吸引步驟中進(jìn)行第一真空室和第二真空室的抽真空。在該吸引步驟之后，在真空到達(dá)度檢測(cè)步驟中進(jìn)行真空度到達(dá)的檢測(cè)。而且，若檢測(cè)出已到達(dá)被設(shè)定的真空度，這次在第一空氣引入步驟中使第二空氣引入手段工作，將空氣引入到第二真空室。由此，伸縮薄板部件開(kāi)始向作為其頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐覀?cè)膨脹。
之后，開(kāi)始粘結(jié)步驟，通過(guò)伸縮薄板部件的膨脹工件被提升并粘結(jié)于膠帶部件。只要將相關(guān)膨脹僅繼續(xù)實(shí)施規(guī)定時(shí)間，則通過(guò)膨脹的繼續(xù)膠帶部件粘結(jié)于整個(gè)工件上。若在該粘結(jié)之后，使第一空氣引入手段工作將空氣引入到第一真空室，則第一真空室及第二真空室均處于和大氣壓相等的狀態(tài)。而且，膠帶部件對(duì)工件的粘結(jié)結(jié)束。
這樣，通過(guò)伸縮薄板部件的頂面上載置工件、在該載置狀態(tài)中使伸縮薄板部件膨脹，能夠在防止氣泡進(jìn)入的同時(shí)將膠帶部件粘結(jié)于工件上。另外，與使工件位于伸縮薄板部件底面的情況相比較，能夠消除該伸縮薄板部件松弛的影響。因此，不需要為了消除松弛而對(duì)伸縮薄板部件賦予大的張力，粘結(jié)變得簡(jiǎn)單，另外容易制造出膠帶粘結(jié)裝置。進(jìn)而，由于利用伸縮薄板部件的膨脹，因此不需要使工件向上方的膠帶部件移動(dòng)的特別步驟也可以。因此，通過(guò)以簡(jiǎn)單的方法，例如使作為半導(dǎo)體電路板或玻璃板等的工件向膠帶部件移動(dòng)，能夠以良好的精度制造出使用于半導(dǎo)體裝置或液晶顯示器等的電子器件。
另外，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，吸引步驟在使第一吸引手段及第二吸引手段工作時(shí)，首先使第二吸引手段工作，之后使第一吸引手段工作。
這種情況下，通過(guò)第二吸引手段首先工作，相對(duì)于第一真空室第二真空室的壓力降低。因此，伸縮薄板部件向底面?zhèn)鹊牡诙婵帐覀?cè)膨脹。這樣的話，伸縮薄板部件就不會(huì)首先向第一真空室側(cè)膨脹。因此，能夠防止在第二空氣引入手段工作引入空氣之前的階段工件和膠帶部件被粘結(jié)，能夠使成品率提高從而使電子器件的制造成本降低。
進(jìn)而，其他的發(fā)明在上述各發(fā)明的基礎(chǔ)上進(jìn)而，在膠帶部件上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，同時(shí)，在粘結(jié)步驟中將膠帶部件粘結(jié)于工件之前，設(shè)有加熱膠帶部件的加熱步驟。
在這樣構(gòu)成的情況下，由于膠帶部件的表面上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，因此若在加熱步驟中被加熱，則對(duì)于工件的粘結(jié)性提高。若以該狀態(tài)，在粘結(jié)步驟中相對(duì)于工件膠帶部件被按壓，則能夠?qū)⒛z帶部件良好地粘結(jié)于該工件上，能夠使成品率提高從而使電子器件的制造成本降低。
發(fā)明效果如果采用本發(fā)明，能夠消除伸縮薄板部件的松弛、同時(shí)能夠良好地將膠帶部件粘結(jié)于工件上。另外，也能夠謀求工序簡(jiǎn)單化及成本的削減。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明

圖1是本發(fā)明第一實(shí)施形態(tài)涉及的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的示意圖、是以將晶片配置于橡膠薄板上的狀態(tài)透視表示蓋體部的俯視圖。
圖2是圖1的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的示意圖、是表示蓋體部關(guān)閉狀態(tài)的同時(shí)對(duì)透視內(nèi)部構(gòu)成一部分的狀態(tài)進(jìn)行表示的側(cè)面圖。
圖3是簡(jiǎn)化表示圖1的膠帶粘結(jié)裝置的排氣系統(tǒng)及控制系統(tǒng)狀況的概略構(gòu)成圖。
圖4是在圖1的膠帶粘結(jié)裝置中，將保持橡膠薄板及膠帶部件的構(gòu)成放大狀態(tài)進(jìn)行表示的部分側(cè)剖面圖。
圖5是圖1的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的示意圖，(a)是將表示蓋體部開(kāi)啟狀態(tài)的內(nèi)部一部分透視的側(cè)面圖，(b)是從表示蓋體部關(guān)閉狀態(tài)的正面?zhèn)扔^察的主要部分剖面圖。
圖6是表示使用圖1的膠帶粘結(jié)裝置將膠帶部件粘結(jié)于晶片時(shí)的動(dòng)作流程圖。
圖7是表示使用圖1的膠帶粘結(jié)裝置，將晶片提升并粘結(jié)于膠帶部件上時(shí)的粘結(jié)狀態(tài)的相似圖，(a)是相對(duì)于膠帶部件從晶片的中央部分開(kāi)始粘結(jié)時(shí)的示意圖，(b)是從相對(duì)于膠帶部件傾斜的晶片頂端開(kāi)始粘結(jié)時(shí)的示意圖。
圖8是本發(fā)明第二實(shí)施形態(tài)涉及的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的示意圖，是透視表示蓋體部的俯視圖。
圖9是圖8的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的示意圖，是表示蓋體部關(guān)閉狀態(tài)的同時(shí)對(duì)透視內(nèi)部構(gòu)成一部分的狀態(tài)進(jìn)行表示的側(cè)面圖。
圖10是表示圖8的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的正視圖。
圖11是表示在圖8的膠帶粘結(jié)裝置中以蓋體部為中心的構(gòu)成的俯視圖。
圖12是表示在圖8的膠帶粘結(jié)裝置中杠桿附近構(gòu)成的部分側(cè)面圖。
圖13是表示在圖8的膠帶粘結(jié)裝置中鎖定機(jī)構(gòu)附近構(gòu)成的部分側(cè)面圖。
圖14是將圖8的膠帶粘結(jié)裝置的沿A-A線的側(cè)剖面圖配置在右側(cè)、將沿B-B線的側(cè)剖面圖配置在左側(cè)，并將短銷(xiāo)和長(zhǎng)銷(xiāo)的中心線X作為邊界線而連接的半剖面圖。
圖15是本發(fā)明第三實(shí)施形態(tài)涉及的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的示意圖，是透視表示蓋體部的俯視圖。
圖16是圖15所示的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的示意圖，是表示關(guān)閉蓋體部狀態(tài)的側(cè)面圖。
圖17是表示圖15的膠帶粘結(jié)裝置構(gòu)成的后視圖。
圖18是在圖15的膠帶粘結(jié)裝置中、表示蓋體部?jī)?nèi)部構(gòu)成透視狀態(tài)的側(cè)面圖。
符號(hào)說(shuō)明10、100、200…膠帶粘結(jié)裝置11…晶片(工件)12…膠帶部件
20…主體部22…主體頂面部22a…內(nèi)徑部23…孔部24…密封環(huán)25…橡膠薄板26…緊固環(huán)(保持部件)27…銷(xiāo)部件28…膠帶框架(膠帶保持手段)33…空氣管路(第一吸引手段的一部分、第一空氣引入手段的一部分、調(diào)整手段的一部分)35…管部件(第一吸引手段的一部分、第一空氣引入手段的一部分、調(diào)整手段的一部分)36…真空泵(第一吸引手段的一部分、第二吸引手段的一部分、調(diào)整手段的一部分)37…第一閥部件(第一吸引手段的一部分、第一空氣引入手段的一部分、調(diào)整手段的一部分)38…空氣管路(第二吸引手段的一部分、第二空氣引入手段的一部分、調(diào)整手段的一部分)40…管部件(第二吸引手段的一部分、第二空氣引入手段的一部分、調(diào)整手段的一部分)41…第二閥部件(第二吸引手段的一部分、第二空氣引入手段的一部分、調(diào)整手段的一部分)42(42a、42b)…真空計(jì)50…第一真空室51…第二真空室60…蓋體部61…合葉62…擋板部件63…環(huán)相接部
64…凹部64a…上底面70…控制裝置(控制手段)101…玻璃電路板(對(duì)應(yīng)于工件)110…平衡機(jī)構(gòu)(開(kāi)閉輔助手段的一部分)111…砝碼114…安裝軸117…卡銷(xiāo)(對(duì)應(yīng)于突出部分)120…基座(開(kāi)閉輔助手段的一部分)122…旋轉(zhuǎn)軸130…杠桿(開(kāi)閉輔助手段的一部分)133…連接銷(xiāo)134…缺口部140…鎖定機(jī)構(gòu)(開(kāi)閉鎖定手段)150…短銷(xiāo)(對(duì)應(yīng)于銷(xiāo)部件及第一支持部件)151…長(zhǎng)銷(xiāo)(對(duì)應(yīng)于銷(xiāo)部件及第二支持部件)210…加熱器組211…加熱器(對(duì)應(yīng)于加熱手段)220…收容部本發(fā)明的最佳實(shí)施形態(tài)(第一實(shí)施形態(tài))以下，根據(jù)圖1～圖7對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施形態(tài)涉及的膠帶粘結(jié)裝置10進(jìn)行說(shuō)明。圖1是將圖2所示的蓋體部60透視狀態(tài)的主體部20的俯視圖，是將晶片11載置于橡膠薄板25上的狀態(tài)的示意圖。另外，圖2是將膠帶粘結(jié)裝置的一部分內(nèi)部構(gòu)成(橡膠薄板25等)透過(guò)狀態(tài)的側(cè)面圖。另外，圖3是簡(jiǎn)化表示圖1的膠帶粘結(jié)裝置10的排氣系統(tǒng)及控制系統(tǒng)狀況的概略構(gòu)成圖。
如圖1所示，主體部20的平面形狀，呈例如大致正方形這樣的方形。主體部20的底面上安裝有多條(例如四條)支持腳21(參照?qǐng)D2)。另外，如圖2所示，膠帶粘結(jié)裝置10設(shè)有主體部20和轉(zhuǎn)動(dòng)自如地設(shè)置在該主體部20的蓋體部60。
主體部20的內(nèi)部設(shè)有與蓋體部60鄰近相對(duì)的主體頂面部22。主體頂面部22為了阻止抽真空時(shí)被負(fù)載的壓力(特別是由蓋體部60側(cè)被負(fù)載的垂直負(fù)荷)，成為具有適當(dāng)強(qiáng)度的構(gòu)成。另外，在支持主體部20的同時(shí)成為其一部分的側(cè)壁及底壁，也是具有能夠充分抵抗抽真空時(shí)被負(fù)載壓力的強(qiáng)度的構(gòu)成。
主體頂面部22的中央部分上設(shè)有孔部23(參照?qǐng)D3)。該孔部23如后面所述，被橡膠薄板25覆蓋。另外，如圖1～圖3所示，主體頂面部22上安裝有密封環(huán)24。密封環(huán)24為“O”環(huán)狀的部件，與蓋體部60側(cè)的環(huán)相接部63相接。由此，由外部(大氣)封閉膠帶粘結(jié)裝置10的內(nèi)部，能夠?qū)⒃撃z帶粘結(jié)裝置10的內(nèi)部抽真空。
另外，主體頂面部22中，相對(duì)于密封環(huán)24的中央部側(cè)(參照?qǐng)D1；以下，稱(chēng)為“內(nèi)徑部22a”。)上，如覆蓋孔部23那樣地設(shè)有作為伸縮薄板部件的橡膠薄板25。該橡膠薄板25為，在其頂面上裝載作為工件的晶片11的部件。而且，通過(guò)以裝載有晶片11的狀態(tài)，如后面所述那樣使橡膠薄板25向上側(cè)膨脹，晶片11向后述的膠帶部件12上升。
橡膠薄板25，例如由氯丁橡膠這樣的能夠減少氣泡發(fā)生的材質(zhì)構(gòu)成。但是，橡膠薄板25的材質(zhì)并不限于該氯丁橡膠，也可以使用通常的天然橡膠或合成橡膠等。而且，作為橡膠薄板25的理想材質(zhì)，是如上述氯丁橡膠那樣的能夠防止氣泡發(fā)生的材質(zhì)。
而且，由于該橡膠薄板25的存在，膠帶粘結(jié)裝置10的內(nèi)部被劃分為兩個(gè)空間(參照?qǐng)D3)。在以下的說(shuō)明中，在關(guān)閉蓋體部60的狀態(tài)中，將比橡膠薄板25上側(cè)的空間作為第一真空室50，將比橡膠薄板25下側(cè)的空間作為第二真空室51。另外，第二真空室51利用存在于主體部20內(nèi)部的空間部51a。而且，第一真空室50被劃分為膠帶部件12和蓋體部60之間的空間，與膠帶部件12和橡膠薄板25之間的空間，但兩空間是連通的，且作為整體構(gòu)成第一真空室50。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，裝載于橡膠薄板25頂面上的晶片11其直徑為12英寸。但是，晶片11的尺寸并沒(méi)有特別的限定，例如也可以是8英寸晶片等其他尺寸。而且，在改變晶片11尺寸的情況下，相應(yīng)地其他部件(橡膠薄板25、緊固環(huán)26、膠帶框架28等)的尺寸也被改變。但是，對(duì)于向例如8英寸晶片等小尺寸晶片11的粘結(jié)，也可以利用本實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置10。
如圖4所示，在作為該橡膠薄板25頂部且外周邊緣部上安裝有，外觀呈大致環(huán)狀的、作為保持部件的緊固環(huán)26。緊固環(huán)26是用于按壓橡膠薄板25的部件。該緊固環(huán)26是相對(duì)于內(nèi)徑部22a，例如通過(guò)螺釘26a(參照?qǐng)D1)由其上方側(cè)按壓的部件，沿著圓周方向以適當(dāng)?shù)拈g隔被固定。而且，在利用該螺釘26a進(jìn)行固定時(shí)，成為該螺釘26a貫穿橡膠薄板25的狀態(tài)。因此，也可以相對(duì)于橡膠薄板25，事先形成對(duì)應(yīng)于螺釘26a的貫穿孔的孔。而且，也可以作為將用于安裝后述銷(xiāo)部件27的螺釘(不圖示)兼用于緊固環(huán)26的安裝的構(gòu)成。
如圖4所示，緊固環(huán)26的頂面部分上安裝有，在圓周方向上空開(kāi)適當(dāng)間隔的銷(xiāo)部件27。該銷(xiāo)部件27的頂部上安裝有作為膠帶保持手段的膠帶框架28。膠帶框架28是用于維持例如紫外線固化型UV(UltraViolet light)膠帶這樣的膠帶部件12的張?jiān)O(shè)狀態(tài)的部件。因此，膠帶框架28的頂面成為被膠帶部件12覆蓋的狀態(tài)。而且，在將膠帶部件12張?jiān)O(shè)于膠帶框架28上的情況下，以該膠帶部件12的粘附面朝向下方側(cè)(晶片11側(cè))的狀態(tài)張?jiān)O(shè)。
另外，膠帶框架28上安裝有多個(gè)(在圖1中以大致90度前后的間隔四個(gè))定位銷(xiāo)29。進(jìn)而，膠帶框架28上安裝有至少一個(gè)及一個(gè)以上(在圖1中為兩個(gè))的止轉(zhuǎn)銷(xiāo)30。
另外，膠帶框架28上對(duì)應(yīng)于定位銷(xiāo)29設(shè)有多個(gè)缺口部31(在圖1中以大致90度的間隔四處)。缺口部31呈將膠帶框架28的外周側(cè)一部分切下的狀態(tài)。通過(guò)上述定位銷(xiāo)29以相接的狀態(tài)位于該缺口部31的邊緣部上，能夠防止膠帶框架28的向平面方向的位置不正。由此，在將膠帶部件12向晶片11粘結(jié)時(shí)，能夠防止位置不正的發(fā)生。
另外，膠帶框架28上對(duì)應(yīng)于止轉(zhuǎn)銷(xiāo)30設(shè)有銷(xiāo)夾持部32(在圖1中，以?shī)A住外側(cè)缺口部31的狀態(tài)兩處)。該銷(xiāo)夾持部32形成為將膠帶框架28的一部分例如切成大致三角形狀的狀態(tài)。由此，止轉(zhuǎn)銷(xiāo)30接觸于該銷(xiāo)夾持部32的邊緣部上，能夠限制膠帶框架28向順時(shí)針?lè)较蚣澳鏁r(shí)針?lè)较虻男D(zhuǎn)。而且，通過(guò)相關(guān)旋轉(zhuǎn)的防止，也能夠防止在粘結(jié)膠帶部件12和晶片11時(shí)的位置不正。
另外，對(duì)于橡膠薄板25、晶片11、緊固環(huán)26、銷(xiāo)部件27、膠帶框架28及膠帶部件12的位置關(guān)系，利用圖4來(lái)進(jìn)行表示。如該圖所示，在晶片11裝載于橡膠薄板25上的狀態(tài)下，在膠帶部件12和晶片11之間存在規(guī)定的間隙50a。但是，間隙50a被設(shè)定為，在如后面所述那樣使橡膠薄板25膨脹的情況下，裝載于該橡膠薄板25上的晶片11被提升，從而晶片11和膠帶部件12能夠良好地粘結(jié)的程度。
另外，如圖3所示，為了將第一真空室50抽真空，該第一真空室50的內(nèi)部配置有空氣管路33的端部側(cè)。該空氣管路33的一端部33a被分支為四條(由于圖3是剖面圖，因此只表示兩條)。而且，分支的各個(gè)空氣管路33的開(kāi)口部34，如圖3所示，存在于第一真空室50的內(nèi)部。而且，開(kāi)口部34在本實(shí)施形態(tài)中配置為，在圖1所示的俯視圖中，成為大致90度間隔。另外，開(kāi)口部34存在于作為密封環(huán)24的內(nèi)部側(cè)的內(nèi)徑部22a、且膠帶框架28和密封環(huán)24之間。另外，空氣管路33貫穿內(nèi)徑部22a，并在第二真空室51的內(nèi)部或主體部20的外部由分支狀態(tài)合并為一條(參照?qǐng)D1、圖3)。
另外，空氣管路33的其他端部33b從主體頂面部22的底壁22c突出。而且，將管部件35的一端部連接于該其他端部33b上，將該管部件35的其他端部35b連接于真空泵36上。由此，若真空泵36工作，則能夠?qū)⒌谝徽婵帐?0進(jìn)行抽真空。
另外，管部件35的中途部分設(shè)有第一閥部件37。該第一閥部件37為了將第一真空室50的內(nèi)部進(jìn)行抽真空，轉(zhuǎn)換為與真空泵36側(cè)連通(以下，將該轉(zhuǎn)換稱(chēng)為“向吸引側(cè)的轉(zhuǎn)換”。)，同時(shí)，也可以轉(zhuǎn)換為向大氣引入側(cè)開(kāi)放(在圖3中向突出管部35a側(cè)的轉(zhuǎn)換；以下，將該轉(zhuǎn)換稱(chēng)為“向大氣引入側(cè)的轉(zhuǎn)換”。)。若通過(guò)第一閥部件37的轉(zhuǎn)換管部件35向大氣引入側(cè)開(kāi)放，則通過(guò)該管部件35大氣被引入到第一真空室50內(nèi)部。另外，作為第一閥部件37，可以使用例如通過(guò)電磁鐵可開(kāi)閉的電磁閥，但也可以為使用電動(dòng)機(jī)等的其他驅(qū)動(dòng)源而進(jìn)行開(kāi)閉的方式。
另外，真空泵36在本實(shí)施形態(tài)中，設(shè)置在主體部20的外部。但是，也可以采用在主體部20的內(nèi)部?jī)?nèi)裝真空泵36的構(gòu)成。而且，由該真空泵36、空氣管路33、管部件35、第一閥部件37等構(gòu)成第一吸引手段。另外，由第一閥部件37、空氣管路33、管部件35、突出管部35a等構(gòu)成第一空氣引入手段。
另外，這些真空泵36、及第一閥部件37連接于后述的控制裝置70上，在接收對(duì)應(yīng)于來(lái)自該控制裝置70的控制指令的信號(hào)之后進(jìn)行工作。
另外，第二真空室51的內(nèi)部，也與上述空氣管路33相同地設(shè)有空氣管路38。該空氣管路38與空氣管路33不同，在第二真空室51內(nèi)部?jī)H設(shè)有一條。另外，空氣管路38的開(kāi)口部39存在于第二真空室51內(nèi)部的中心。
而且，與上述空氣管路33相同，空氣管路38的其他端部38b由主體頂面部22的底壁22c突出，同時(shí)，管部件40的一端側(cè)連接于該其他端部38b上。另外，管部件40的其他端部與真空泵36連接。由此，若真空泵36工作，則能夠?qū)⒌诙婵帐?1進(jìn)行抽真空。
另外，在管部件40的中途部分上也設(shè)有第二閥部件41。該第二閥部件41也與上述第一閥部件37相同，轉(zhuǎn)換為與真空泵36側(cè)連通，同時(shí)，轉(zhuǎn)換為能夠通過(guò)突出管部40a向大氣引入側(cè)開(kāi)放。若通過(guò)第二閥部件41的轉(zhuǎn)換管部件40向大氣引入側(cè)開(kāi)放，則通過(guò)該管部件40，大氣被引入到第二真空室51的內(nèi)部。而且，第二閥部件41也與控制裝置70電連接。
而且，由真空泵36、第二閥部件41、空氣管路38、管部件40構(gòu)成第二吸引手段。另外，由第二閥部件41、空氣管路38、管部件40、突出管部40a等構(gòu)成第二空氣引入手段。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，真空泵36僅設(shè)有一個(gè)。另外，通過(guò)將第一及第二閥部件37、41向大氣引入側(cè)及吸引側(cè)轉(zhuǎn)換，能夠?qū)Φ谝徽婵帐?0或第二真空室51的其中一方、或第一及第二真空室50、51的雙方進(jìn)行抽真空和使其大氣壓化。
但是，真空泵36并不限于一個(gè)，也可以是對(duì)應(yīng)各個(gè)第一吸引手段及第二吸引手段，設(shè)有兩個(gè)或兩個(gè)以上的構(gòu)成。另外，也可以不使用第一閥部件37及第二閥部件41這樣的三通閥，而將吸引側(cè)的閥部件及大氣引入側(cè)的閥部件的雙方設(shè)置在各個(gè)管部件35及管部件40上。即使這樣，也能夠良好地轉(zhuǎn)換第一真空室50及第二真空室51的吸引。
進(jìn)而，如圖2所示，主體部20的側(cè)壁外面安裝有真空計(jì)42。該真空計(jì)42在本實(shí)施形態(tài)中設(shè)有兩個(gè)。該真空計(jì)42中的一個(gè)為用于測(cè)定第一真空室50內(nèi)部氣壓的部件(以下，根據(jù)需要稱(chēng)為“真空計(jì)42a”)。另外，真空計(jì)42中的另外一個(gè)為用于測(cè)定第二真空室51內(nèi)部氣壓的部件(以下，根據(jù)需要稱(chēng)為“真空計(jì)42b”)。而且，該兩個(gè)真空計(jì)42a、42b也與控制裝置70連接。
另外，在主體頂面部22中，例如在由后述合葉61最遠(yuǎn)離的兩個(gè)角部分中，一方的角部分22b(參照?qǐng)D1)上設(shè)有傳感器43。傳感器43例如采用磁性傳感器，是檢測(cè)相對(duì)于主體部20蓋體部60是否接近至規(guī)定范圍而關(guān)閉的部件。而且，該傳感器43也與控制裝置70連接，并對(duì)該控制裝置70發(fā)送蓋體部60是否關(guān)閉的檢測(cè)信號(hào)。而且，控制裝置70只有在接收到對(duì)應(yīng)于蓋體部60關(guān)閉狀態(tài)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，才將對(duì)應(yīng)于工作的信號(hào)發(fā)送到真空泵36等。
接下來(lái)，對(duì)于蓋體部60的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。如圖1、圖3及圖5所示，蓋體部60通過(guò)合葉61連接于主體部20上。也就是說(shuō)，蓋體部60以合葉61為支點(diǎn)能夠進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，蓋體部60上安裝有兩個(gè)擋板部件62的各一端側(cè)62a。另外，擋板部件62的各其他端側(cè)62b安裝于主體頂面部22上。該擋板部件62伸縮自如，同時(shí)，通過(guò)存在于內(nèi)部的粘性體(油等)的粘性阻力，防止蓋體部60急劇地向主體部20下降。
而且，擋板部件62內(nèi)裝有彈簧部件(不圖示)，成為能夠維持蓋體部60開(kāi)啟的狀態(tài)(例如，圖5(a)所示的狀態(tài))。但是，在沒(méi)有必要維持蓋體部60開(kāi)啟狀態(tài)的情況下，也可以采用省略彈簧部件的構(gòu)成。
在這里，也可以在使蓋體部60相對(duì)于主體部20下降并關(guān)閉的狀態(tài)(圖2、圖3及圖5(b)所示的狀態(tài))中，設(shè)置用于在蓋體部60和主體部20之間進(jìn)行鎖定的鎖定機(jī)構(gòu)(在本實(shí)施形態(tài)中未設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu))。在設(shè)置相關(guān)鎖定機(jī)構(gòu)的情況下，在該鎖定機(jī)構(gòu)中，一方的部件安裝于蓋體部60上，同時(shí)，另一方的部件安裝于主體頂面部22上。而且，在設(shè)置鎖定機(jī)構(gòu)的情況下，設(shè)置在由合葉61離開(kāi)的部位上。
另外，如圖2及圖3所示，蓋體部60中與主體部20的密封環(huán)24相接的部分成為環(huán)相接部63。環(huán)相接部63通過(guò)與密封環(huán)24的相接封閉第一真空室50。而且，為了良好地進(jìn)行該封閉，環(huán)相接部63由在本實(shí)施形態(tài)中呈同一平面的、平板狀的部分構(gòu)成。
如圖3及圖4所示，蓋體部60中在作為與主體部20相對(duì)的相對(duì)面、且比環(huán)相接部63內(nèi)徑側(cè)的部位上，形成有凹部64。該凹部64形成為比環(huán)相接部63塌陷的狀態(tài)。該凹部64具有對(duì)應(yīng)于上述內(nèi)徑部22a的大小。因此，若將蓋體部60關(guān)閉成為密封環(huán)24與環(huán)相接部63相接的封閉狀態(tài)，則會(huì)出現(xiàn)由該凹部64、密封環(huán)24、內(nèi)徑部22a、以及橡膠薄板25圍住的空間。而且，該空間成為第一真空室50。
另外，凹部64中，位于上方的底面(以下，稱(chēng)為“上底面64a”。)在橡膠薄板25膨脹時(shí)成為按壓(阻止)膠帶部件12向上方移動(dòng)的部件。因此，凹部64被設(shè)定為，阻止膠帶部件12、且能夠良好將該膠帶部件12粘結(jié)于晶片11上的深度。
另外，在作為蓋體部60的側(cè)壁部分且與合葉61相對(duì)的部分上安裝有手柄65a。因此，操作者能夠把持手柄65a而容易地開(kāi)閉蓋體部60。而且，主體部20的側(cè)壁部分上，互相相對(duì)那樣地各設(shè)有兩個(gè)、合計(jì)四個(gè)的手柄65b。通過(guò)抓住該手柄65b，能夠容易地移動(dòng)膠帶粘結(jié)裝置10。
另外，如圖3所示，膠帶粘結(jié)裝置10上設(shè)有作為控制手段的控制裝置70?？刂蒲b置70如上所述，與真空泵36、第一及第二閥部件37、41、傳感器43、真空計(jì)42電連接。該控制裝置70上連接有開(kāi)啟工作用的操作按鈕(不圖示)。因此，在傳感器43許可開(kāi)啟工作的蓋體部60的閉塞狀態(tài)中，一旦操作者按操作按紐，真空泵36就進(jìn)行工作。在通過(guò)該真空泵36的工作，第一真空室50或第二真空室51到達(dá)事先被設(shè)定的真空度的情況下，控制裝置70發(fā)送控制信號(hào)，以使第一閥部件37或第二閥部件41向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換工作。
在這里，控制裝置70首先對(duì)各個(gè)第一及第二閥部件37、41發(fā)送控制信號(hào)，以使將第二閥部件41向吸引側(cè)轉(zhuǎn)換，同時(shí)，維持將第一閥部件37向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換的狀態(tài)，僅規(guī)定時(shí)間進(jìn)行第二真空室51的抽真空。然后，在經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間后，對(duì)第一閥部件37發(fā)送控制信號(hào)，將第一閥部件37由大氣引入側(cè)向吸引側(cè)轉(zhuǎn)換，從而一同進(jìn)行第一真空室50及第二真空室51的抽真空。
另外，控制裝置70在第一真空室50及第二真空室51到達(dá)規(guī)定真空度的情況下，對(duì)第二閥部件41發(fā)送用于向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換的控制指令。由此，開(kāi)始晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)。進(jìn)而，在由該狀態(tài)經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間粘結(jié)結(jié)束后，控制裝置70對(duì)第一閥部件37發(fā)出用于向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換的控制指令。通過(guò)相關(guān)的轉(zhuǎn)換，第一及第二真空室50、51雙方均處于與大氣壓相等的狀態(tài)，粘結(jié)動(dòng)作結(jié)束。
而且，作為上述規(guī)定的真空度，作為其一個(gè)例子可以舉出設(shè)定為大約20pa左右的情況。但是，規(guī)定真空度并不限于此，只要是低于大氣壓的狀態(tài)，可以是任意的真空度。另外，控制裝置70也可以構(gòu)成為，對(duì)真空泵36發(fā)出控制指令，以在粘結(jié)結(jié)束后，進(jìn)行第一閥部件37向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換的工作，同時(shí)，使真空泵36停止。但是，在這種情況下，與使真空泵36繼續(xù)動(dòng)作的情況相比較，接下來(lái)的抽真空時(shí)的吸引時(shí)間多少會(huì)變長(zhǎng)。
以下，對(duì)具有如上構(gòu)成的膠帶粘結(jié)裝置10的作用(動(dòng)作)進(jìn)行說(shuō)明。而且，關(guān)于該作用(動(dòng)作)，是根據(jù)圖6所示的動(dòng)作流程而實(shí)施的。
首先，操作者將膠帶部件12張?jiān)O(shè)于膠帶框架28上。這種情況下，以膠帶部件12的粘附面朝向下方的狀態(tài)張?jiān)O(shè)。在以一定的張力將膠帶部件12張?jiān)O(shè)于膠帶框架28之后，接著將膠帶框架28設(shè)置于緊固環(huán)26上(步驟S10)。這種情況下，將膠帶框架28設(shè)置于緊固環(huán)26的銷(xiāo)部件27上，且設(shè)置為定位銷(xiāo)29垂蓋于缺口部31，同時(shí)，止轉(zhuǎn)銷(xiāo)30位于銷(xiāo)夾持部32上。以該狀態(tài)，晶片11和膠帶部件12的設(shè)置結(jié)束。
接下來(lái)，使蓋體部60相對(duì)于主體部20下降，直到通過(guò)傳感器43檢測(cè)出蓋體部60關(guān)閉為止(步驟S11)。這種情況下，操作者僅規(guī)定時(shí)間將蓋體部60向下方按壓也可以。然后，控制裝置70判斷出傳感器43是否檢測(cè)出通過(guò)該下降的蓋體部60的閉塞狀態(tài)(步驟S12)。然后，在傳感器43檢測(cè)出閉塞狀態(tài)的情況下，控制裝置70許可真空泵36的工作，在操作者按下操作按鈕時(shí)，真空泵36能夠進(jìn)行工作。
一旦操作者按下操作按鈕，控制裝置70檢測(cè)出其壓入，對(duì)真空泵36發(fā)出工作用的指令。由此，真空泵36進(jìn)行工作，進(jìn)行第一真空室50及第二真空室51的抽真空(對(duì)應(yīng)于吸引步驟)。而且，這種情況下，最初將第二閥部件41向吸引側(cè)轉(zhuǎn)換，同時(shí)，將第一閥部件37向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換，僅對(duì)第二真空室51進(jìn)行抽真空(步驟S13)。然后，在規(guī)定時(shí)間進(jìn)行了該第二真空室51的抽真空之后，將第一閥部件37由大氣引入側(cè)向吸引側(cè)轉(zhuǎn)換，對(duì)第一真空室50及第二真空室51的雙方進(jìn)行抽真空(步驟S14)。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中未設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)。但是，若真空泵36工作，第一真空室50及第二真空室51低于大氣壓的話，由膠帶粘結(jié)裝置10的周?chē)毁x予大氣壓。由此，密封環(huán)24和環(huán)相接部63之間的吻合度提高，即使不通過(guò)鎖定機(jī)構(gòu)，也能夠確實(shí)地封閉第一真空室50及第二真空室51。
若真空泵36在規(guī)定時(shí)間進(jìn)行抽真空，則通過(guò)真空計(jì)42檢測(cè)出第一真空室50及第二真空室51已達(dá)到規(guī)定真空度(步驟S15；對(duì)應(yīng)于真空度到達(dá)檢測(cè)步驟)。一旦相關(guān)真空計(jì)42檢測(cè)規(guī)定真空度，則對(duì)控制裝置70發(fā)送規(guī)定的檢測(cè)信號(hào)。于是，控制裝置70在維持真空泵36的工作不變的狀態(tài)下，將第二閥部件41向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換(步驟S16；對(duì)應(yīng)于第一空氣引入步驟)。由此，通過(guò)突出管部40a大氣被引入到第二真空室51。
若大氣被引入到第二真空室51，則通過(guò)第一真空室50和第二真空室51之間的壓力差，橡膠薄板25向第一真空室50側(cè)膨脹。這種情況下，通過(guò)橡膠薄板25的膨脹晶片11被提升，該晶片11的頂面與膠帶部件12接觸。而且，開(kāi)始將膠帶部件12粘結(jié)于晶片11的頂面上(步驟S17；對(duì)應(yīng)于粘結(jié)步驟)。
在這里，晶片11的頂面和膠帶部件12之間的粘結(jié)狀態(tài)，有如圖7(a)、(b)所示的兩種情況。首先，作為其第一種情況，如圖7(a)所示的，晶片11相對(duì)于膠帶部件12不傾斜而維持平行狀態(tài)，由該晶片11頂面的大致中央部分粘結(jié)于膠帶部件12。這種情況下，在膠帶部件12的中央部分因其自重而稍微向下方松馳，以及通過(guò)橡膠薄板25的膨脹晶片11慢慢被提升時(shí)，通過(guò)相對(duì)于該晶片11的中央部分晶片11的外圍部稍微彎曲，由膠帶部件12的中央部分開(kāi)始進(jìn)行粘結(jié)。
而且，若晶片11被慢慢提升，隨著該提升由膠帶部件12的中央慢慢向外圍部分開(kāi)始進(jìn)行粘結(jié)。而且，在晶片11伴隨橡膠薄板25的膨脹被提升的情況下，晶片11一邊抵抗張?jiān)O(shè)于膠帶框架28上的膠帶部件12的張力，一邊與膠帶部件12接觸。而且，通過(guò)晶片11一邊抵抗相關(guān)張力，一邊接觸于膠帶部件12，能夠防止以膠帶部件12松馳而進(jìn)入氣泡的狀態(tài)被粘結(jié)的情況，晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)性成為良好狀態(tài)。
在這里，若晶片11僅被提升規(guī)定距離，則膠帶部件12的頂面與上底面64a相接，就不會(huì)再向上方移動(dòng)。因此，膠帶部件12由上方被壓制、且由下方晶片11抵抗膠帶部件12張力的同時(shí)被提升。由此，粘結(jié)由其中央部分向外圍部分確實(shí)地被實(shí)施。而且，若在保持該狀態(tài)不變的情況下經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間，則形成晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)被確實(shí)實(shí)施的狀態(tài)。
在如上所述的粘結(jié)狀態(tài)中，一邊由晶片11(膠帶部件12)的中央部分向外方放掉空氣，一邊實(shí)施晶片11的頂面和膠帶部件12之間的粘結(jié)。而且，在該粘結(jié)狀態(tài)中，真空泵36繼續(xù)維持將第一真空室50側(cè)抽真空的狀態(tài)。因此，通過(guò)與上述粘結(jié)狀態(tài)相輔相成，存在于晶片11的頂面和膠帶部件12之間的空氣被排除，能夠以良好的狀態(tài)進(jìn)行晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)。
另外，作為粘結(jié)狀態(tài)的第二種情況，如圖7(b)所示的，以晶片11相對(duì)于膠帶部件12傾斜的狀態(tài)，由該傾斜晶片11中的最高部分(以下，稱(chēng)為“上端”。)粘結(jié)于膠帶部件12上。這種情況下，首先在傾斜的晶片11中，由上端開(kāi)始對(duì)膠帶部件12的粘結(jié)。這種情況下，若晶片11伴隨橡膠薄板25的膨脹而被提升，則一邊抵抗張?jiān)O(shè)于膠帶框架28上的膠帶部件12的張力，一邊與該膠帶部件12接觸。
若以該狀態(tài)，橡膠薄板25慢慢膨脹，晶片11抵抗膠帶部件12張力的同時(shí)被提升的話，則將向該膠帶部件12的接觸部分作為支點(diǎn)、且晶片11進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)傾斜角度慢慢變小。
在這里，即使在該粘結(jié)狀況的情況下，若晶片11的上端在抵抗膠帶部件12張力的同時(shí)僅被提升規(guī)定距離，則膠帶部件12的頂面與上底面64a相接。而且，膠帶部件12的頂面不會(huì)再向上方移動(dòng)。由于若以該狀態(tài)橡膠薄板25慢慢膨脹的話，晶片11的頂端通過(guò)上底面64a被限制移動(dòng)，因此以晶片11的傾斜角度慢慢變小的狀態(tài)，該晶片11被提升。而且，該晶片11的提升一直實(shí)施到晶片11的傾斜角度變?yōu)榱恪６?，若晶?1的傾斜角度變?yōu)榱闱医?jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間的話，則成為晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)被確實(shí)實(shí)施的狀態(tài)。
在如上所述的粘結(jié)狀態(tài)中，一邊由晶片11(膠帶部件12)的上端向另一側(cè)的端部放掉空氣，一邊實(shí)施晶片11的頂面和膠帶部件12之間的粘結(jié)。而且，在該粘結(jié)狀態(tài)中，真空泵36也繼續(xù)維持將第一真空室50側(cè)抽真空的狀態(tài)。因此，通過(guò)與上述粘結(jié)狀態(tài)相輔相成，存在于晶片11的頂面和膠帶部件12之間的空氣被排除，能夠以良好的狀態(tài)進(jìn)行晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)。
這樣，控制裝置70在繼續(xù)第一閥部件37的向吸引側(cè)的轉(zhuǎn)換狀態(tài)不變的情況下，使第二閥部件41的向大氣引入側(cè)的轉(zhuǎn)換繼續(xù)規(guī)定時(shí)間(步驟S18)。由此，成為晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)被確實(shí)實(shí)施的狀態(tài)。在步驟S18中，在判斷為控制裝置70經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況下，控制裝置70將第一閥部件37向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換(步驟S19；對(duì)應(yīng)于第二空氣引入工序)。由此，第一真空室50內(nèi)引入了大氣，橡膠薄板25的膨脹狀態(tài)被解除。因此，晶片11在維持其頂面與膠帶部件12粘結(jié)的狀態(tài)不變的情況下下降。
而且，在步驟S19中，在將第一閥部件37向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換的情況下，真空泵36的工作維持繼續(xù)不變的狀態(tài)。由此，能夠迅速地對(duì)應(yīng)接下來(lái)的對(duì)晶片11的粘結(jié)作業(yè)。但是，也可以使相關(guān)工作停止。
其后，操作者將蓋體部60開(kāi)啟。然后，操作者連同膠帶框架28將粘結(jié)有膠帶部件12狀態(tài)的晶片11取出(步驟S20)。這樣，膠帶部件12對(duì)晶片11頂面的粘結(jié)結(jié)束。
而且，在膠帶部件12對(duì)晶片11頂面的粘結(jié)結(jié)束后，進(jìn)行例如切割工序這樣的下一個(gè)工序。
如果采用具有上述構(gòu)成的膠帶粘結(jié)裝置10，則能夠利用橡膠薄板25的膨脹，使膠帶部件12粘結(jié)于晶片11的頂面。因此，雖然是簡(jiǎn)單的構(gòu)成，但是通過(guò)大氣壓和真空狀態(tài)之間的壓力差，能夠確實(shí)地將膠帶部件12粘結(jié)于晶片11的頂面。特別是，通過(guò)使用橡膠薄板25，即使晶片11相對(duì)于膠帶部件12以所謂的一端接觸的狀態(tài)接觸，通過(guò)橡膠薄板25的彈性變形也能夠容易地恢復(fù)晶片11的姿態(tài)。因此，能夠使膠帶部件12對(duì)晶片11頂面的粘結(jié)性良好。
另外，橡膠薄板25的頂面上載置有晶片11。因此，與使工件(晶片11)位于橡膠薄板25底面的情況相比較，能夠消除該橡膠薄板25的松馳的影響。因此，不需要具有為了消除松馳影響，而對(duì)橡膠薄板25賦予大的張力的構(gòu)成也可以，能夠謀求構(gòu)成的簡(jiǎn)單化。另外，由于對(duì)橡膠薄板25賦予小的張力即可，因此能夠削減制造膠帶粘結(jié)裝置10的操作者的工時(shí)。另外，在以緊固環(huán)26按壓橡膠薄板25時(shí)，能夠使密封性提高。
進(jìn)而，由于利用橡膠薄板25的膨脹，因此不需要使晶片11向上方的膠帶部件12移動(dòng)的特別構(gòu)成也可以。因此，能夠以簡(jiǎn)單的構(gòu)成，使晶片11朝膠帶部件12向上方移動(dòng)。
另外，在橡膠薄板25將晶片11提升、且該晶片11與膠帶部件12接觸的情況下，晶片11抵抗該膠帶部件12在膠帶框架28的張?jiān)O(shè)狀態(tài)而接觸。因此，膠帶部件12不會(huì)松馳的同時(shí)粘結(jié)于晶片11的頂面，能夠防止晶片11的頂面和膠帶部件12之間的粘結(jié)面上進(jìn)入氣泡。另外，即使膠帶部件12形成因自身的重量而其中央向下方膨脹的狀態(tài)，與晶片11的接觸從中央開(kāi)始，也成為令人滿意的接觸。因此，能夠達(dá)成良好的粘結(jié)。
進(jìn)而，控制裝置70與真空泵36、第一及第二閥部件37、41、傳感器43、真空計(jì)42連接，并能夠控制這些部件的工作。特別是，控制裝置70使真空泵36工作，進(jìn)行第一真空室50及第二真空室51的抽真空，并在該抽真空后，使第二閥部件41向大氣引入側(cè)工作，將大氣引入到第二真空室51內(nèi)。由此，能夠使橡膠薄板25向第一真空室50側(cè)膨脹，并利用消除了松馳的橡膠薄板25的膨脹，能夠?qū)⒛z帶部件12確實(shí)地粘結(jié)于晶片11的頂面上。
另外，控制裝置70在進(jìn)行第一真空室50及第二真空室51的抽真空時(shí)，將第一閥部件37向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換，同時(shí)，將第二閥部件41向抽真空側(cè)轉(zhuǎn)換，先進(jìn)行第二真空室51的排氣。因此，相對(duì)于第一真空室50最初第二真空室51的壓力降低。因此，橡膠薄板25向底面?zhèn)鹊牡诙婵帐?1側(cè)膨脹。這樣的話，橡膠薄板25就不會(huì)首先向第一真空室50側(cè)膨脹。因此，能夠防止在第二閥部件41向大氣引入側(cè)轉(zhuǎn)換工作之前的階段，晶片11和膠帶部件12被粘結(jié)的情況。
進(jìn)而，蓋體部60開(kāi)閉自如地設(shè)置在主體部20上。因此，能夠通過(guò)合葉61使蓋體部60轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，能夠以蓋體部60開(kāi)放的狀態(tài)容易地設(shè)置晶片11及膠帶部件12，或能夠容易地取出粘結(jié)有膠帶部件12的晶片11。
另外，在蓋體部60和主體部20之間設(shè)有密封環(huán)24。因此，能夠密封閉塞蓋體部60和主體部20之間。因此，在真空泵36工作，以及第一及第二閥部件37、41向抽真空側(cè)的轉(zhuǎn)換工作的情況下，即使最初蓋體部60和主體部20之間多少產(chǎn)生間隙，通過(guò)隨著吸引動(dòng)作的進(jìn)行，通過(guò)大氣壓的壓力變高，使密封環(huán)24和環(huán)相接部63之間的粘結(jié)狀態(tài)牢固，也能夠密封閉塞蓋體部60和主體部20之間。
進(jìn)而，蓋體部60上形成有，在該蓋體部60的閉塞狀態(tài)中向上方塌陷的凹部64。由此，若膠帶部件12到達(dá)規(guī)定高度位置，則碰到上底面64a而從上方被按壓，同時(shí)，膠帶部件12成為由下方被晶片11提升的狀態(tài)，并以該狀態(tài)實(shí)施粘結(jié)。也就是說(shuō)，由于一邊以上方的上底面64a按壓膠帶部件12，一邊將晶片11向上方提升按壓，因此能夠使晶片11和膠帶部件12之間的粘結(jié)牢固且確實(shí)。
而且，通過(guò)抽真空時(shí)蓋體部60被強(qiáng)力吸引，會(huì)有蓋體部60的中央、也就是上底面64a的大致中央向晶片11側(cè)彎曲的情況。這種情況下，該彎曲起著使晶片11和膠帶部件12的接觸成為令人滿意的狀態(tài)的作用。
另外，主體頂面部22上設(shè)有傳感器43。因此，能夠通過(guò)該傳感器43檢測(cè)出蓋體部60相對(duì)于主體部20關(guān)閉的狀態(tài)。而且，將基于該檢測(cè)的檢測(cè)信號(hào)向控制裝置70發(fā)送，只要控制裝置70不接收對(duì)應(yīng)于關(guān)閉狀態(tài)的檢測(cè)信號(hào)，就不會(huì)使真空泵36工作。因此，只有在蓋體部60確實(shí)被閉塞的情況下，才能夠進(jìn)行抽真空，能夠防止該抽真空的徒勞無(wú)用。
另外，即使在不小心夾雜物夾在蓋體部60和主體部20之間的情況下，由于沒(méi)有使真空泵36工作，因此能夠容易地取出該夾雜物。因此，能夠防止在蓋體部60和主體部20之間發(fā)生破損。
進(jìn)而，膠帶框架28通過(guò)銷(xiāo)部件27安裝于緊固環(huán)26上。因此，能夠在膠帶框架28和緊固環(huán)26之間形成間隙。而且，使真空泵36工作，能夠由該間隙將存在于膠帶部件12和晶片11之間的空間的空氣排氣。因此，能夠防止在將膠帶部件12粘結(jié)于晶片11的頂面上時(shí)，在相關(guān)粘結(jié)部分上進(jìn)入氣泡的情況。
(第二實(shí)施形態(tài))以下，根據(jù)圖8～圖14對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示本實(shí)施形態(tài)涉及的膠帶粘結(jié)裝置100，同時(shí)，是將圖11所示的蓋體部60透視狀態(tài)下的主體部20的俯視圖。另外，圖9是將膠帶粘結(jié)裝置100的一部分內(nèi)部構(gòu)成(解除控制桿135等)透視狀態(tài)的側(cè)面圖。另外，圖10是表示膠帶粘結(jié)裝置100構(gòu)成的正視圖。另外，圖11是膠帶粘結(jié)裝置100中以蓋體部60及平衡機(jī)構(gòu)110為中心的構(gòu)成的俯視圖。
本實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置100，作為工件使用玻璃電路板101，并將膠帶部件12粘結(jié)于該玻璃電路板101的頂面上。因此，膠帶粘結(jié)裝置100的基本構(gòu)成與上述第一實(shí)施形態(tài)中的膠帶粘結(jié)裝置10是相同的。因此，對(duì)于與在上述第一實(shí)施形態(tài)所說(shuō)明的部分相同的部分，省略其說(shuō)明。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中粘結(jié)于玻璃電路板101的膠帶部件12是，與上述第一實(shí)施形態(tài)中的膠帶部件12相同的、紫外線固化型的UV膠帶(薄板)。因此，若在將膠帶部件12粘結(jié)于玻璃電路板101之后，照射紫外線的話，則膠帶部件12固化，具有容易從玻璃電路板101脫落的性質(zhì)。但是，膠帶部件12并不限于紫外線固化型，也可以將偏振光薄膜作為膠帶部件12而利用。另外，也可以將與偏振光薄膜功能上相同的偏振光片作為膠帶部件12而利用。另外，玻璃電路板101是使用于例如液晶顯示器、等離子顯示裝置等上的基樣玻璃電路板，成為大型尺寸(例如，25英寸～35英寸，或其以上)。但是，玻璃電路板101也可以是小型尺寸。另外，在本實(shí)施形態(tài)中，玻璃電路板101其平面形狀呈矩形狀。但是，玻璃電路板101其平面形狀也可以是圓形狀、橢圓形狀等、矩形狀以外的其他形狀。
如圖8所示，膠帶粘結(jié)裝置100的平面形狀被設(shè)置為呈大致矩形。也就是說(shuō)，主體部20、主體頂面部22、孔部23、橡膠薄板25、蓋體部60、凹部64等，其平面形狀形成大致矩形狀。另外，密封環(huán)24、緊固環(huán)26、膠帶框架28等被設(shè)置為角部分呈R的矩形環(huán)狀。同樣地，孔部23及凹部64等也被設(shè)置為角部分呈R的矩形狀。
另外，如圖8所示，本實(shí)施形態(tài)中的主體部20被設(shè)置為整體的平面形狀呈大致矩形。因此，主體部20的主體頂面部22等也被設(shè)置為其平面形狀呈大致矩形。
另外，如圖9及圖11等所示，本實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置100上設(shè)有成為開(kāi)閉輔助手段一部分的平衡機(jī)構(gòu)110。平衡機(jī)構(gòu)110是用于容易進(jìn)行對(duì)應(yīng)大面積的玻璃電路板101而大面積·重量化的蓋體部60開(kāi)閉的機(jī)構(gòu)。該平衡機(jī)構(gòu)110如圖11所示，是夾住合葉61、可將砝碼111安裝于蓋體部60的相反側(cè)部位上的機(jī)構(gòu)。另外，平衡機(jī)構(gòu)110具有大致矩形的罩殼112，該罩殼112的內(nèi)部收容有砝碼111、安裝軸114等各部件。
另外，如圖9及圖11所示，平衡機(jī)構(gòu)110具有安裝固定部113。安裝固定部113安裝于，蓋體部60中作為頂面?zhèn)惹液蠖藗?cè)(設(shè)有合葉61的一側(cè))、且一對(duì)合葉61之間的部位上。另外，安裝固定部113的后端側(cè)(由蓋體部60離開(kāi)的一側(cè))上安裝有安裝軸114。也就是說(shuō)，安裝軸114通過(guò)安裝固定部113安裝于蓋體部60上。安裝軸114具有大直徑部114a和小直徑部114b。而且，能夠分別在大直徑部114a和小直徑部114b上安裝砝碼111。
而且，以存在于大直徑部114a和小直徑部114b之間的斷層部分114c，能夠阻止安裝于小直徑部114b上的砝碼111。另外，在本實(shí)施形態(tài)中，安裝在大直徑部114a上的砝碼111輕于安裝在小直徑部114b上的砝碼111。但是，安裝于大直徑部114a及小直徑部114b上的砝碼111的重量是可適當(dāng)選擇的。
另外，大直徑部114a中從斷層部分114c僅以規(guī)定尺寸朝向蓋體部60的部位上，安裝有軸環(huán)115。軸環(huán)115是用于決定上述砝碼111的安裝位置的部件。另外，大直徑部114a中，相比軸環(huán)115更靠近蓋體部60側(cè)的規(guī)定部位上，安裝有軸環(huán)116。后述的連接銷(xiāo)133被卡定于該軸環(huán)116上。另外，在軸環(huán)116的外周面上，對(duì)應(yīng)于突出部分的卡銷(xiāo)117向外徑側(cè)突出?？ㄤN(xiāo)117是進(jìn)入后述缺口部134的部分。而且，卡銷(xiāo)117在本實(shí)施形態(tài)中，以相對(duì)于主體頂面部22大致平行的狀態(tài)而延伸。
另外，小直徑部114b的頂端部分上安裝有擋圈118。擋圈118是用于即使伴隨蓋體部60的開(kāi)閉安裝軸114進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，砝碼111也不會(huì)從安裝軸114脫落而維持安裝狀態(tài)的部件。
另外，如圖9及圖12所示，主體部20的內(nèi)部設(shè)有成為開(kāi)閉輔助手段一部分的基座120。該基座120上設(shè)有使旋轉(zhuǎn)軸122插通的插通孔121。旋轉(zhuǎn)軸122轉(zhuǎn)動(dòng)自如地支持成為開(kāi)閉輔助手段一部分的杠桿130。該杠桿130的下端側(cè)上形成有軸孔131，插通插通孔121的旋轉(zhuǎn)軸122插通軸孔131。由此，杠桿130相對(duì)于基座120轉(zhuǎn)動(dòng)自如地被支持。而且，在本實(shí)施形態(tài)中，杠桿130夾住主體部20的中心線L(參照?qǐng)D8)而設(shè)有一對(duì)。因此，基座120在主體部20的內(nèi)部也設(shè)有一對(duì)。另外，旋轉(zhuǎn)軸122具有穿過(guò)一對(duì)基座120雙方的長(zhǎng)度尺寸。
圖12是表示杠桿130附近構(gòu)成的側(cè)面圖。如圖12所示，一對(duì)杠桿130呈，在細(xì)長(zhǎng)板狀部件中，其短片(圖12中的頂端部分)相對(duì)于其長(zhǎng)片呈鈍角而彎曲的外觀。在該杠桿130的一端側(cè)(底端側(cè))上形成有上述軸孔131，而在該杠桿130的其他端側(cè)(頂端側(cè))上也形成有通孔132。在這里，設(shè)有通孔132的杠桿130的頂端側(cè)，在蓋體部60的關(guān)閉狀態(tài)中位于安裝軸114的上方。另外，通孔132中插入有橫跨一對(duì)杠桿130雙方的連接銷(xiāo)133。由于該連接銷(xiāo)133的存在，一對(duì)杠桿130的雙方能夠整體進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
在這里，連接銷(xiāo)133在安裝軸114的上方側(cè)被架設(shè)為橫跨一對(duì)杠桿130的雙方。因此，連接銷(xiāo)133始終位于安裝軸114的上方。另外，在蓋體部60的關(guān)閉狀態(tài)中，連接銷(xiāo)133成為卡定于上述軸環(huán)116上的狀態(tài)。
另外，如圖12所示，杠桿130上設(shè)有缺口部134。該缺口部134設(shè)置在杠桿130的大致中央部分上。在圖12中，缺口部134從杠桿130中的后端側(cè)(由蓋體部60離開(kāi)的一側(cè))的側(cè)面被切，同時(shí)，由下方向上方那樣被切。由此，形成杠桿130中存在比缺口的頂部130a位于下方的下方突出部130b的構(gòu)成。因此，若卡銷(xiāo)117進(jìn)入缺口部134，則該卡銷(xiāo)117的向后端側(cè)的移動(dòng)因下方突出部130b的存在而被限制。由此，能夠維持卡銷(xiāo)117進(jìn)入缺口部134的狀態(tài)，能夠維持蓋體部60的開(kāi)放狀態(tài)。
另外，如圖9及圖12所示，杠桿130上連接有解除控制桿135的一端側(cè)135a。解除控制桿135的一端側(cè)135a在杠桿130中缺口部134的下方側(cè)上被連接。另外，解除控制桿135的其他端側(cè)135b在主體部20中由外側(cè)側(cè)面突出。該其他端側(cè)135b上安裝有具有凸緣部的把持部136。因此，通過(guò)向外側(cè)拉把持部136，能夠以旋轉(zhuǎn)軸122為支點(diǎn)使杠桿130向外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，在卡銷(xiāo)117嵌入缺口部134的狀態(tài)中，通過(guò)使杠桿130向外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，將蓋體部60用手稍微提升等，能夠解除該卡銷(xiāo)117向缺口部134的嵌入。
另外，如圖8、圖11及圖13所示，本實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置100上，設(shè)有作為開(kāi)閉鎖定手段的鎖定機(jī)構(gòu)140。鎖定機(jī)構(gòu)140是用于確實(shí)地進(jìn)行蓋體部60關(guān)閉狀態(tài)的部件。如圖13所示，鎖定機(jī)構(gòu)140具有，設(shè)置在蓋體部60上的支承部141、設(shè)置在主體部20上的鎖定主體部142、以及控制桿部143。其中，支承部141上形成有孔部144。孔部144內(nèi)插入后述的鎖定銷(xiāo)145。
另外，鎖定主體部142上設(shè)有控制桿部143?？刂茥U部143被設(shè)置為鎖定銷(xiāo)145進(jìn)行聯(lián)動(dòng)。也就是說(shuō)，若操作者把持控制桿部143，使該控制桿部143旋轉(zhuǎn)例如180度左右，則鎖定銷(xiāo)145進(jìn)入支承部141側(cè)的孔部144內(nèi)。由此，蓋體部60的開(kāi)放被鎖定。另外，若由鎖定銷(xiāo)145進(jìn)入孔部144內(nèi)的狀態(tài)使控制桿部143旋轉(zhuǎn)例如180度左右的話，則進(jìn)入孔部144的鎖定銷(xiāo)145由該孔部144脫落。而且，作為使鎖定銷(xiāo)145出入孔部144的方式，可以使用例如螺釘方式、利用旋轉(zhuǎn)解除彈簧作用力的方式、以及凸輪方式等各種方式。
另外，作為鎖定機(jī)構(gòu)140可以不使用使鎖定銷(xiāo)145出入孔部144的方式，而可以使用滑動(dòng)鎖定方式等其他方式。
圖14是將沿著圖8的A-A線的側(cè)剖面圖配置在右側(cè)、將沿著圖8的B-B線的側(cè)剖面圖配置在左側(cè)，并以短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151的中心線X為邊界線連接的半剖面圖。如圖8及圖14所示，在本實(shí)施形態(tài)中，緊固環(huán)26上設(shè)有，作為銷(xiāo)部件及第一支持部件的短銷(xiāo)150、和作為銷(xiāo)部件及第二支持部件的長(zhǎng)銷(xiāo)151。短銷(xiāo)150是，由緊固環(huán)26的頂面朝向上方突出大致1mm左右的銷(xiāo)部件。另外，長(zhǎng)銷(xiāo)151是同樣地由緊固環(huán)26的頂面朝向上方突出大致1.7mm左右的銷(xiāo)部件。
而且，短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151的突出長(zhǎng)度并不限于該長(zhǎng)度，只要是長(zhǎng)銷(xiāo)151的長(zhǎng)度比短銷(xiāo)150長(zhǎng)、且雖然最初膠帶部件12與上底面64a不接觸，但是在橡膠薄板25膨脹時(shí)膠帶部件12與上底面64a接觸，可以是任意長(zhǎng)度。
在這里，在本實(shí)施形態(tài)中，緊固環(huán)26上設(shè)有合計(jì)十條的短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151(參照?qǐng)D8)。其中，分別在緊固環(huán)26的左側(cè)縱向片26b和右側(cè)縱向片26c上各設(shè)有合計(jì)三條的短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151。另外，分別在緊固環(huán)26的上側(cè)橫向片26d和下側(cè)橫向片26e上各設(shè)有合計(jì)兩條的短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151。另外，在左側(cè)縱向片26b的下方部上配置有長(zhǎng)銷(xiāo)151，在中央部和上方部上配置有短銷(xiāo)150。另外，在右側(cè)縱向片26c的上方部上配置有長(zhǎng)銷(xiāo)151，在中央部和下方部上配置有短銷(xiāo)150。進(jìn)而，在上側(cè)橫向片26d的左側(cè)部上配置有長(zhǎng)銷(xiāo)151，在右側(cè)部上配置有短銷(xiāo)150，同時(shí)，在下側(cè)橫向片26e的右側(cè)部上配置有長(zhǎng)銷(xiāo)151，在左側(cè)部上配置有短銷(xiāo)150。
若連接被這樣配置的四條長(zhǎng)銷(xiāo)151，則形成接近于長(zhǎng)方形形狀的平行四邊形。
以下，對(duì)具有以上構(gòu)成的膠帶粘結(jié)裝置100的作用(動(dòng)作)進(jìn)行說(shuō)明。而且，由于膠帶粘結(jié)裝置100的作用(動(dòng)作)基本上也與在上述第一實(shí)施形態(tài)所述的膠帶粘結(jié)裝置10的動(dòng)作相同，因此對(duì)于共同部分的說(shuō)明省略或簡(jiǎn)要說(shuō)明。
首先，操作者將玻璃電路板101載置于橡膠薄板25的頂部上。接下來(lái)，將膠帶部件12張?jiān)O(shè)于膠帶框架28上。其后，將膠帶框架28設(shè)置于緊固環(huán)26上(步驟S10；參照?qǐng)D6)。
這種情況下，在設(shè)置于緊固環(huán)26的短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151的頂部上設(shè)置膠帶框架28，但是由于短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151的長(zhǎng)度不同，膠帶框架28，除與長(zhǎng)銷(xiāo)151相接的四處附近以外的部分(與短銷(xiāo)150的相接部分以及短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151之間的部分)向下方彎曲。而且，張?jiān)O(shè)于膠帶框架28上的膠帶部件12，也是除長(zhǎng)銷(xiāo)151相接于膠帶框架28上的四處附近以外的部分向下方彎曲。這樣，玻璃電路板101和膠帶部件12的設(shè)置結(jié)束。
接下來(lái)，操作者把持把持部136向外側(cè)拉。這種情況下，以操作者將蓋體部60輕輕地向后端側(cè)按壓(在圖9中為向順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng))為佳。這樣，由于通過(guò)解除控制桿135杠桿130受到向外側(cè)的力，因此該杠桿130以旋轉(zhuǎn)軸122為支點(diǎn)向外側(cè)旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，通過(guò)蓋體部60稍微提升(在圖9中稍微向順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng))，卡銷(xiāo)117跨過(guò)下方突出部130b的底端側(cè)。而且，相對(duì)于缺口部134的卡銷(xiāo)117的嵌入被解除。由此，蓋體部60能夠向關(guān)閉方向旋轉(zhuǎn)(在圖9中向逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng))。
接著，使蓋體部60相對(duì)于主體部20下降，直到通過(guò)傳感器43檢測(cè)出蓋體部60已關(guān)閉為止(步驟S11；參照?qǐng)D6)。然后，在關(guān)閉蓋體部60之后，使鎖定機(jī)構(gòu)140的控制桿部143旋轉(zhuǎn)。由此，鎖定銷(xiāo)145進(jìn)入孔部144，蓋體部60的環(huán)相接部63(參照?qǐng)D3)被密封環(huán)24按壓，同時(shí)，蓋體部60被鎖定。而且，以后的各步驟，與在上述第一實(shí)施形態(tài)中所述的步驟(參照?qǐng)D6)相同。而且，若經(jīng)過(guò)各步驟，則能夠不使氣泡進(jìn)入玻璃電路板101和膠帶部件12之間，從而能夠確實(shí)地將膠帶部件12粘結(jié)于玻璃電路板101上。
如果采用這種構(gòu)成的膠帶粘結(jié)裝100，即使在作為工件使用玻璃電路板101的情況下，也能夠與上述第一實(shí)施形態(tài)的情況相同地，利用橡膠薄板25的膨脹將膠帶部件12粘結(jié)于該玻璃電路板101的頂面上。也就是說(shuō)，雖然是簡(jiǎn)單的構(gòu)成，但是通過(guò)大氣壓和真空狀態(tài)之間的壓力差，能夠確實(shí)地將膠帶部件12粘結(jié)于玻璃電路板101的頂面上。
另外，膠帶粘結(jié)裝100上設(shè)有平衡機(jī)構(gòu)110。因此，操作者能夠容易進(jìn)行蓋體部60的開(kāi)閉動(dòng)作，能夠減輕操作者的負(fù)擔(dān)。特別是，由于平衡機(jī)構(gòu)110具有安裝軸114、且該安裝軸114上安裝有砝碼111，因此能夠夾住合葉61并保持蓋體部60和砝碼111之間的重量平衡。因此，更容易進(jìn)行蓋體部60的開(kāi)閉動(dòng)作。
另外，平衡機(jī)構(gòu)110具有杠桿130，該杠桿130上設(shè)有卡銷(xiāo)117嵌入的缺口部134。因此，若使蓋體部60開(kāi)放，卡銷(xiāo)117進(jìn)入缺口部134而碰上，則卡銷(xiāo)117因下方突出部130b的存在而防止了從該缺口部134脫落，從而維持進(jìn)入狀態(tài)。由此，杠桿130的轉(zhuǎn)動(dòng)被阻止，能夠維持蓋體部60的開(kāi)放狀態(tài)，操作者沒(méi)有必要用手按住蓋體部60等來(lái)維持蓋體部60的開(kāi)放狀態(tài)。因此，操作者能夠進(jìn)行其他作業(yè)，膠帶粘結(jié)裝置100具有出色的便利性。
進(jìn)而，緊固環(huán)26上設(shè)有短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151，通過(guò)這些短銷(xiāo)150和長(zhǎng)銷(xiāo)151膠帶框架28被支持。因此，固定于膠帶框架28上的膠帶部件12在長(zhǎng)銷(xiāo)151的支持部位附近其高度位置變高，而在其以外的部分高度位置變低。因此，能夠以長(zhǎng)銷(xiāo)151防止膠帶部件12向玻璃電路板101的接觸，同時(shí)，通過(guò)設(shè)置短銷(xiāo)150，與膠帶部件12的整體被長(zhǎng)銷(xiāo)151所支持的情況相比較，能夠降低膠帶部件12的高度位置。這種情況下，若考慮膠帶部件12的撓度，則能夠使該膠帶部件12的上方具有充裕的空間。
另外，不需要使存在于蓋體部60的凹部64的深度深于必要以上也可以。因此，在充?？臻g不多的情況下，能夠切削凹部64等而使其變深，可任意進(jìn)行調(diào)整。也就是說(shuō)，若適當(dāng)調(diào)整由上方按壓膠帶部件12的上底面64a的深度，則能夠使通過(guò)橡膠薄板25的膨脹而被提升的玻璃電路板101、和膠帶部件12之間的粘結(jié)性良好。
另外，在上述實(shí)施形態(tài)中，膠帶粘結(jié)裝置100上設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)140。因此，能夠防止在膠帶部件12的粘結(jié)作業(yè)中蓋體部60開(kāi)放的情況，能夠確實(shí)地維持蓋體部60的關(guān)閉狀態(tài)。
(第三實(shí)施形態(tài))以下，根據(jù)圖15～圖18對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖15是表示在本實(shí)施形態(tài)涉及的膠帶粘結(jié)裝置200中，從主體部20觀察蓋體部60狀態(tài)的俯視圖。另外，圖16是表示將膠帶粘結(jié)裝置200的一部分內(nèi)部構(gòu)成(解除控制桿等)透視狀態(tài)的側(cè)面圖。另外，圖17是表示膠帶粘結(jié)裝置200構(gòu)成的后視圖。另外，圖18是表示在膠帶粘結(jié)裝置200中將蓋體部60的內(nèi)部構(gòu)成透視狀態(tài)的側(cè)面圖。
本實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置200，與上述第一實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置10相比，蓋體部60側(cè)被改變。另外，膠帶部件12的粘結(jié)面上涂敷有通過(guò)加熱粘附性提高的材質(zhì)(例如，加熱固化型的粘結(jié)劑等)。因此，通過(guò)如后面所述的加熱，膠帶部件12相對(duì)于晶片11成為容易粘結(jié)的狀態(tài)。以下，對(duì)其詳細(xì)情況進(jìn)行說(shuō)明。
另外，作為膠帶部件12，并不限于其表面上涂敷有加熱固化型粘結(jié)劑的部件，只要是通過(guò)加熱粘附性提高的膠帶部件12，可以是任意部件。
如圖15所示，蓋體部60的內(nèi)部?jī)?nèi)裝有加熱器組210。加熱器組210是對(duì)存在于蓋體部60的凹部64賦予熱的部件，通過(guò)來(lái)自凹部64的輻射熱或向該凹部64的接觸，對(duì)膠帶部件12進(jìn)行加熱。因此，加熱器組210內(nèi)裝于蓋體部60中與凹部64的上底面64a接近的部位(在圖18中，與凹部64鄰接的上方側(cè)部位；以下，將該部位稱(chēng)為“收容部220”。)。
另外，加熱器組210由作為加熱手段的多個(gè)加熱器211(在本實(shí)施形態(tài)中為八個(gè))構(gòu)成，同時(shí)，多個(gè)加熱器211配置為，由收容部220的徑向中心向外徑側(cè)呈放射狀。
另外，作為加熱器211使用例如筒式加熱器。但是，加熱器211并不限于筒式加熱器，也可以使用鹵素加熱器、紅外線加熱器等各種加熱器。另外，也可以使用筒式加熱器以外的封裝加熱器(例如，吸熱器等)。
該加熱器211在收容部220的內(nèi)部是通過(guò)另設(shè)的固定手段(圖14所示的筒形架214等)而被安裝的。但是，固定手段并不限于筒形架214，也可以使用其他任意的固定手法。另外，向加熱器211的配線212，相對(duì)于該加熱器211位于收容部220(凹部64)的徑向中央部分。另外，如圖18所示，配線212在收容部220(凹部64)的徑向中央部分向上方側(cè)延伸。而且，配線212以位于在蓋體部60中不與加熱器211干擾的上方側(cè)的狀態(tài)向外徑側(cè)延伸，且通過(guò)端子板(不圖示)與電源供給側(cè)(不圖示)連接。
如圖18所示，收容部220的頂面?zhèn)壬习惭b有絕熱材料213a。另外，如圖15所示，擋板部件62的一端側(cè)62a(外側(cè)的手柄65b的附近)上，也安裝有絕熱材料213b。進(jìn)而，膠帶粘結(jié)裝置200的外側(cè)(手柄65a側(cè))上，也安裝有絕熱材料213c。由此，防止蓋體部60的頂面?zhèn)燃安僮髡呓?jīng)常把持的手柄65a、65b通過(guò)加熱器211而被加熱的情況。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，加熱器211能夠?qū)⒛z帶部件12加熱到大約70度左右，最大加熱到大約100度左右。但是，通過(guò)加熱器211的加熱溫度并不限于此，例如因涂敷于膠帶部件12粘結(jié)面的加熱固化型粘結(jié)劑的種類(lèi)不同，也可以將該粘結(jié)面加熱到大約200度左右。
在這里，本實(shí)施形態(tài)中的對(duì)于晶片11的膠帶部件12的粘結(jié)順序，除進(jìn)行加熱的部分以外，與在上述第一實(shí)施形態(tài)中所述的相同。也就是說(shuō)，在加熱器211為適于加熱的溫度以后，實(shí)施與上述第一實(shí)施形態(tài)所述相同的步驟。因此，對(duì)于使用膠帶粘結(jié)裝置200將膠帶部件12粘結(jié)時(shí)的動(dòng)作的說(shuō)明省略。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，將晶片11及安裝有膠帶部件12的膠帶框架28設(shè)置在主體部20的內(nèi)部，一旦關(guān)閉蓋體部60，則自動(dòng)實(shí)施加熱步驟。在該加熱步驟中，構(gòu)成凹部64的規(guī)定壁厚部分(板狀的上底面64a)通過(guò)加熱器211而被加熱。也就是說(shuō)，在面積大的上底面64a被加熱、該上底面64a的整體成為大致均勻溫度之后，通過(guò)來(lái)自上底面64a的輻射熱膠帶部件12被加熱。因此，膠帶部件12通過(guò)該上底面64a成為間接且均勻地被加熱的狀態(tài)。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，加熱器211與蓋體部60的開(kāi)閉無(wú)關(guān)地一直工作。但是，因加熱溫度的不同，在傳感器43檢測(cè)出蓋體部60開(kāi)放的狀態(tài)，在該檢測(cè)信號(hào)被控制裝置70檢測(cè)時(shí)，使加熱器211的工作停止也可以。
在具有這種構(gòu)成的膠帶粘結(jié)裝置200中，通過(guò)加熱膠帶部件12對(duì)晶片11的粘結(jié)性(粘附性)變得良好。因此，能夠?qū)⒛z帶部件12牢固地粘結(jié)于晶片11上。
另外，加熱器211配置為由收容部220的徑向中心向外徑側(cè)呈放射狀。因此，能夠?qū)δz帶部件12的全周均勻地進(jìn)行加熱。另外，通過(guò)采用相關(guān)放射狀的配置，能夠在膠帶部件12的內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè)中，抑制加熱不均的發(fā)生。另外，膠帶部件12是通過(guò)上底面64a間接被加熱的。因此，與膠帶部件12通過(guò)加熱器211直接被加熱的情況相比較，能夠抑制加熱不均的發(fā)生，能夠更均勻地進(jìn)行加熱。
進(jìn)而，收容部220的頂面?zhèn)?、擋板部?2的一端側(cè)62a、以及膠帶粘結(jié)裝置200的外側(cè)上，分別安裝有絕熱材料213a～213c。因此，能夠防止操作者經(jīng)常用手把持的手柄65a、65b被加熱器211加熱的情況，且操作者容易進(jìn)行作業(yè)，能夠提高生產(chǎn)效率。
以上，對(duì)本發(fā)明的第一～第三的各實(shí)施形態(tài)進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明在此之外還可以有各種變形。以下，對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。
在上述各實(shí)施形態(tài)中，橡膠薄板25的頂面上載置有晶片11、玻璃電路板101等工件。但是，也可以在該橡膠薄板25的頂面上載置例如以樹(shù)脂為材質(zhì)的薄板狀部件，并在該薄板狀部件的頂部上載置工件。這樣的話，能夠防止因橡膠薄板25摩擦等產(chǎn)生的塵埃附著于工件，能夠削減之后的使用清洗處理裝置的清洗工序等。
另外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，在橡膠薄板25的頂面上載置晶片11、玻璃電路板101等工件，使橡膠薄板25向上方膨脹并接觸于膠帶部件12，但是也可以將這些位置關(guān)系配置為關(guān)于上下方向相反。也就是說(shuō)，也可以將橡膠薄板25配置在最頂部、將工件配置在中間、將膠帶部件12配置在最底部，使橡膠薄板25向下方膨脹并接觸于膠帶部件12上。而且，在這種情況下，有必要使第一真空室和第二真空室的位置關(guān)系相對(duì)于上下方向相反。另外，為了防止在進(jìn)行粘結(jié)之前，工件因重力而下降，有必要設(shè)置用于將工件固定于橡膠薄板25上的手段。具體地說(shuō)，例如，可以在橡膠薄板25上設(shè)置粘附部件等，并通過(guò)這些粘附部件將工件固定，或?qū)⑴c設(shè)置在工件上的卡定部件嵌合的卡定部件設(shè)置在工件上而進(jìn)行固定。這種情況下，若在工件粘結(jié)于膠帶部件12之后，橡膠薄板25的膨脹被解除而恢復(fù)的話，由于可以設(shè)想到工件也從膠帶部件12脫落的情況，因此，也可以通過(guò)例如電磁手段將工件固定于橡膠薄板25上，在粘結(jié)結(jié)束時(shí)解除電磁力。如果采用這種構(gòu)成，由于工件因自重而被膠帶部件12按壓，因此即使在膠帶部件12和工件之間存在粘結(jié)不充分的部分的情況下，也能夠防止該部分脫落。
進(jìn)而，也可以在膠帶框架28上設(shè)置用于容易取出的、向外徑側(cè)突出的把持部。由此，操作者能夠容易地將膠帶框架28和安裝于該膠帶框架28上的膠帶部件12以及工件向外部取出。
進(jìn)而，也可以在膠帶框架28的底面?zhèn)壬习惭b使其轉(zhuǎn)動(dòng)的鉆舌部件。轉(zhuǎn)動(dòng)式的鉆舌部件，在粘結(jié)結(jié)束后使其旋轉(zhuǎn)并與工件的底面?zhèn)认嘟?。這樣的話，能夠以鉆舌部件支撐工件的自重。由此，假設(shè)即使在工件和膠帶部件12之間存在粘結(jié)力弱的部分，也能夠防止在工件和膠帶部件12之間發(fā)生膠帶的剝離。
另外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，將密封環(huán)24安裝于主體頂面部22上。但是，密封環(huán)24也可以安裝于蓋體部60側(cè)。在這樣構(gòu)成的情況下，環(huán)相接部設(shè)置在主體頂面部22上。
進(jìn)而，在上述各實(shí)施形態(tài)中，對(duì)于作為伸縮薄板部件使用橡膠薄板25的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是，伸縮薄板部件并不限于橡膠薄板25，也可以將例如彈性樹(shù)脂等的樹(shù)脂作為材質(zhì)等，由橡膠材質(zhì)以外的材質(zhì)構(gòu)成。另外，在上述實(shí)施形態(tài)中，對(duì)于作為保持部件使用緊固環(huán)26的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是，保持部件并不限于緊固環(huán)26，也可以將例如具有涂敷于內(nèi)徑部22a上的粘結(jié)劑等的粘結(jié)性的材質(zhì)作為保持部件而使用。另外，保持部件的形狀并不限于環(huán)狀，也可以采用外徑呈多角形的環(huán)形狀等各種形狀。
另外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，對(duì)于作為膠帶保持手段使用膠帶框架28的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是，膠帶保持手段并不限于膠帶框架28，也可以將例如一對(duì)棒狀部件作為膠帶保持手段而使用。在這種情況下，成為以賦予張力的狀態(tài)將膠帶部件12張?jiān)O(shè)于一對(duì)棒狀部件之間的構(gòu)成。
另外，作為控制手段可以事先設(shè)定控制條件，也可以是操作者可任意設(shè)定控制條件的構(gòu)成。進(jìn)而，密封部件只要是能夠?qū)⒅黧w部20和蓋體部60之間密封閉塞的構(gòu)成，可以采用任何形狀·構(gòu)成。另外，作為工件除了用于制造半導(dǎo)體裝置的晶片以外，也可以采用作為顯示裝置的液晶等的顯示部件和特殊玻璃材料、有機(jī)EL用的玻璃電路板等。通過(guò)利用本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)，由于能夠不降低使用于半導(dǎo)體裝置及顯示裝置等的電子器件的成品率而進(jìn)行制造，因此能夠降低這些電子器件的制造成本。而且，在這些以外的電子器件的制造工序中，也適用本發(fā)明。另外，在上述實(shí)施形態(tài)中，是在真空化后引入大氣(空氣)，但是也可以引入空氣以外的、例如氬氣等，使其成為比真空狀態(tài)高壓的狀態(tài)。
另外，在上述第二實(shí)施形態(tài)中，對(duì)于作為突出部分使用卡銷(xiāo)117的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是，突出部分并不限于卡銷(xiāo)117，只要是嵌入缺口部134的，任何部件都可以。另外，也可以使卡銷(xiāo)117和缺口部134的凹凸關(guān)系相反。
進(jìn)而，在上述第二實(shí)施形態(tài)中，作為開(kāi)閉輔助手段使用平衡機(jī)構(gòu)110、基座120、以及杠桿130。但是，開(kāi)閉輔助手段并不限于此。例如，也可以不采用操作者用手把持手柄65a～65c等使蓋體部60開(kāi)閉的開(kāi)閉輔助手段，而采用具有電動(dòng)機(jī)和液壓千斤頂?shù)鹊尿?qū)動(dòng)手段的開(kāi)閉輔助手段。另外，也可以采用具有利用真空泵36將空氣提供于氣缸的空氣驅(qū)動(dòng)器的開(kāi)閉輔助手段。另外，在蓋體部60輕等情況下，也可以采用省略開(kāi)閉輔助手段的構(gòu)成。
另外，在上述第二實(shí)施形態(tài)中，對(duì)作為開(kāi)閉鎖定手段使用鎖定機(jī)構(gòu)140的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是，開(kāi)閉鎖定手段并不限于鎖定機(jī)構(gòu)140。例如，也可以構(gòu)成為，在主體部20側(cè)設(shè)置插入孔，同時(shí)，在蓋體部60側(cè)設(shè)置受到彈簧的作用力而轉(zhuǎn)動(dòng)的卡爪部，在蓋體部60關(guān)閉的情況下卡爪部嵌入插入孔，通過(guò)卡爪部在插入孔內(nèi)部的卡定，蓋體部60的開(kāi)放被鎖定。另外，也可以采用省略開(kāi)閉鎖定手段的構(gòu)成。
進(jìn)而，在上述實(shí)施形態(tài)中，將作為銷(xiāo)部件及第一支持部件的短銷(xiāo)150、作為銷(xiāo)部件及第二支持部件的長(zhǎng)銷(xiāo)151分別設(shè)置在緊固環(huán)26上。但是，并不限于短銷(xiāo)150及長(zhǎng)銷(xiāo)151設(shè)置在緊固環(huán)26上的構(gòu)成，也可以將短銷(xiāo)150及長(zhǎng)銷(xiāo)151設(shè)置在膠帶框架28中與緊固環(huán)26相對(duì)的部分上。另外，也可以在膠帶框架28中與緊固環(huán)26相對(duì)的部分上形成凸部分，在該凸部分中將突出長(zhǎng)度長(zhǎng)的部分作為第一支持部件，將凸部分中突出長(zhǎng)度短的部分作為第二支持部件。
另外，在上述第三實(shí)施形態(tài)中，對(duì)作為加熱手段使用用于加熱膠帶部件12的加熱器211的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是，在橡膠薄板25的耐熱性出色的情況下，也可以加熱玻璃電路板101側(cè)。
另外，在上述第二實(shí)施形態(tài)中，在膠帶部件12為偏振光薄膜的情況下，也可以在膠帶粘結(jié)裝置100內(nèi)部設(shè)置用于使膠帶部件12剝離的剝離機(jī)構(gòu)。在這里，作為剝離機(jī)構(gòu)，可以采用設(shè)置吸引保持膠帶部件12的吸引保持機(jī)構(gòu)，或抓住膠帶部件12的端部而剝離等各種構(gòu)成。這種情況下，若使用剝離機(jī)構(gòu)在膠帶粘結(jié)裝置100內(nèi)部使膠帶部件12分型(剝離)，則能夠防止塵埃附著于玻璃電路板101的表面(頂面部或四角部分)的情況。特別是，在現(xiàn)狀下，即使在凈化車(chē)間內(nèi)使膠帶部件12剝離，也很難防止塵埃附著于玻璃電路板101的表面，但是在利用本實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置100的情況下，由于膠帶部件12的剝離在真空內(nèi)部進(jìn)行，因此能夠進(jìn)一步確實(shí)地防止塵埃附著于玻璃電路板101上。
另外，在上述第二實(shí)施形態(tài)中，在膠帶部件12為UV固化型膠帶的情況下，也可以在膠帶粘結(jié)裝置100內(nèi)部設(shè)置用于使膠帶部件12剝離的剝離機(jī)構(gòu)。在這里，作為剝離機(jī)構(gòu)，可以將用于剝離膠帶部件12的吸引保持機(jī)構(gòu)，或抓住膠帶部件12的端部而剝離等機(jī)構(gòu)設(shè)置在膠帶粘結(jié)裝置100內(nèi)部。另外，在設(shè)置吸引保持機(jī)構(gòu)的情況下，也可以采用利用上述真空泵36的吸引的構(gòu)成。通過(guò)具有這樣的剝離機(jī)構(gòu)，能夠在被抽真空的膠帶粘結(jié)裝置100內(nèi)部剝離膠帶部件12。因此，能夠防止在進(jìn)行膠帶剝離時(shí)塵埃附著于玻璃電路板101的表面的情況。
另外，在上述各實(shí)施形態(tài)的膠帶粘結(jié)裝置10、100、200中，在膠帶部件12使用UV固化型膠帶的情況下，例如也可以在蓋體部60或主體部20的內(nèi)部設(shè)置照射紫外線的紫外線照射裝置，并向玻璃電路板101照射紫外線。這種情況下，能夠在膠帶粘結(jié)裝置10、100、200內(nèi)部進(jìn)行通過(guò)紫外線的照射使膠帶部件12固化的工序?yàn)橹沟墓ば颉?br> 另外，作為膠帶部件12并不限于保護(hù)用膠帶、UV固化型膠帶、以及偏振光薄膜，也可以將透明電極等粘結(jié)于工件上的各種部件作為膠帶部件12而使用。
另外，也可以將在晶片11和玻璃電路板101上粘結(jié)膠帶部件12之后、用于切斷膠帶部件12的機(jī)構(gòu)，另設(shè)在膠帶粘結(jié)裝置10、100、200內(nèi)部。
另外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，在真空中將工件與膠帶部件12粘結(jié)，但是也可以例如在常壓下進(jìn)行粘結(jié)。也就是說(shuō)，這是因?yàn)橹灰谳d置有工件的橡膠薄板25的上下產(chǎn)生使工件向膠帶部件12側(cè)移動(dòng)的氣壓差，就能夠?qū)⑦@些進(jìn)行粘結(jié)。具體地說(shuō)，通過(guò)將位于橡膠薄板25頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐?0作為大氣開(kāi)放狀態(tài)，將位于橡膠薄板25底面?zhèn)鹊牡诙婵帐?1作為加壓狀態(tài)，也能夠使橡膠薄板25向膠帶部件12側(cè)移動(dòng)從而將這些進(jìn)行粘結(jié)。另外，通過(guò)將位于橡膠薄板25底面?zhèn)鹊牡诙婵帐?1作為大氣開(kāi)放狀態(tài)，將位于橡膠薄板25頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐?0作為減壓狀態(tài)，也能夠使橡膠薄板25向膠帶部件12側(cè)移動(dòng)從而將這些進(jìn)行粘結(jié)。而且，這種情況下，只要形成充分大的作為大氣開(kāi)放狀態(tài)一側(cè)的真空室容量，即使不進(jìn)行大氣開(kāi)放也能夠達(dá)到最初的目的。這樣，通過(guò)使作為第一室的第一真空室50的內(nèi)部壓力低于作為第二室的第二真空室51的壓力，能夠使橡膠薄板25向上方膨脹。而且，在使橡膠薄板25向下方膨脹的情況下，是通過(guò)使第一室的內(nèi)部壓力高于第二室的內(nèi)部壓力而達(dá)成的。在這里，由空氣管路33、管部件35、突出管部35a、真空泵36、第一閥部件37、空氣管路38、管部件40、突出管部40a、以及第二閥部件41等構(gòu)成調(diào)整手段。而且，作為調(diào)整手段，也可以不是真空泵，而使用例如增壓泵。也就是說(shuō)，只要在第一室內(nèi)部的壓力和第二室內(nèi)部的壓力之間產(chǎn)生壓力差即可，因此不僅是真空泵也可以使用增壓泵。
工業(yè)上的利用可能性本發(fā)明的膠帶粘結(jié)裝置、膠帶粘結(jié)方法、以及電子器件制造方法可以利用于，使用晶片的半導(dǎo)體集成電路的制造過(guò)程和使用液晶的液晶顯示裝置的制造過(guò)程。也就是說(shuō)，能夠利用于半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)等。另外，也可以利用于使用玻璃電路板的顯示器制造產(chǎn)業(yè)等上。
權(quán)利要求
1.一種膠帶粘結(jié)裝置，是將膠帶部件粘結(jié)于工件上的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，設(shè)有在頂面上載置上述工件的伸縮薄板部件；位于上述伸縮薄板部件的頂面?zhèn)龋瑫r(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第一真空室；位于上述伸縮薄板部件的底面?zhèn)?，同時(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第二真空室；以防止在上述第一真空室和上述第二真空室之間空氣導(dǎo)通的狀態(tài)保持上述伸縮薄板部件的保持部件；以張?jiān)O(shè)狀態(tài)保持上述膠帶部件，同時(shí)，用于使上述膠帶部件位于載置于上述伸縮薄板部件上的上述工件頂部的膠帶保持手段；將上述第一真空室內(nèi)部抽真空的第一吸引手段；用于將空氣引入到上述第一真空室內(nèi)部的第一空氣引入手段；將上述第二真空室內(nèi)部抽真空的第二吸引手段；以及用于將空氣引入到上述第二真空室內(nèi)部的第二空氣引入手段。
2.如權(quán)利要求1所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，設(shè)有控制上述第一吸引手段、上述第二吸引手段、上述第一空氣引入手段以及上述第二空氣引入手段工作的控制手段；同時(shí)，該控制手段，使上述第一吸引手段以及上述第二吸引手段工作，進(jìn)行上述第一真空室以及上述第二真空室的抽真空；在上述抽真空之后，使上述第二空氣引入手段工作，將空氣引入到上述第二真空室；通過(guò)該空氣的引入，使上述伸縮薄板部件向上述第一真空室內(nèi)部膨脹；通過(guò)上述伸縮薄板部件的膨脹，將上述工件向上述膠帶部件提升并粘結(jié)于上述膠帶部件上。
3.如權(quán)利要求2所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的控制手段在使上述第一吸引手段以及第二吸引手段工作時(shí)，首先使上述第二吸引手段工作，之后使上述第一吸引手段工作。
4.如權(quán)利要求1～3的任意一項(xiàng)所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的膠帶粘結(jié)裝置，設(shè)有主體部、和開(kāi)閉自如地設(shè)置在該主體部的蓋體部；在將上述蓋體部相對(duì)于上述主體部關(guān)閉的情況下，將密封閉塞上述蓋體部和上述主體部之間的密封部件設(shè)置在這些蓋體部和主體部的邊界部分上，同時(shí)，在上述蓋體部的閉塞狀態(tài)中，在該蓋體部和上述伸縮薄板部件之間形成上述第一真空室，同時(shí)，在存在于上述主體部的空間部和上述伸縮薄板部件之間形成上述第二真空室。
5.如權(quán)利要求4所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的蓋體部設(shè)有在該蓋體部的閉塞狀態(tài)中向上方塌陷的凹部，同時(shí)，該凹部的上底面從上方抑制由上述伸縮薄板部件的膨脹而引起的、上述工件以及上述膠帶部件向上方的移動(dòng)。
6.如權(quán)利要求4或5所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，在上述蓋體部和上述主體部的邊界部分上，設(shè)有檢測(cè)出上述蓋體部相對(duì)于上述主體部關(guān)閉狀態(tài)的傳感器，同時(shí)，該傳感器能夠?qū)ι鲜隹刂剖侄伟l(fā)送檢測(cè)信號(hào)，且上述控制手段只有在從上述傳感器接收到對(duì)應(yīng)于上述蓋體部關(guān)閉狀態(tài)的檢測(cè)信號(hào)的情況下，才使上述第一吸引手段或上述第二吸引手段工作。
7.如權(quán)利要求1～5的任意一項(xiàng)所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的膠帶保持手段是通過(guò)銷(xiāo)部件安裝在上述保持部件上的。
8.如權(quán)利要求7所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的工件為玻璃電路板；所說(shuō)的銷(xiāo)部件上設(shè)有設(shè)置在上述保持部件上，同時(shí)，向與上述膠帶保持手段相對(duì)的一側(cè)突出的第一支持部件；和設(shè)置在上述保持部件上，同時(shí)，向與上述膠帶保持手段相對(duì)的一側(cè)突出、且比上述第一支持部件突出長(zhǎng)度長(zhǎng)的多個(gè)第二支持部件。
9.如權(quán)利要求4～7的任意一項(xiàng)所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的蓋體部上設(shè)有，輔助對(duì)上述主體部進(jìn)行的開(kāi)閉的開(kāi)閉輔助手段。
10.如權(quán)利要求9所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的開(kāi)閉輔助手段設(shè)有由上述蓋體部的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)向與設(shè)有該蓋體部一側(cè)的相反側(cè)延伸的安裝軸；安裝于該安裝軸上的砝碼；設(shè)置于上述安裝軸的突出部分；轉(zhuǎn)動(dòng)自如地設(shè)置在上述主體部上，伴隨著上述蓋體部的開(kāi)啟動(dòng)作設(shè)置在上述安裝軸移動(dòng)的一側(cè)，同時(shí)，向上述安裝軸延伸的杠桿；以及設(shè)置在上述杠桿中上述突出部分碰到的部位上，該突出部分被嵌入，同時(shí)，在該突出部分被嵌入時(shí)限制上述杠桿的轉(zhuǎn)動(dòng)，維持該突出部分的嵌入狀態(tài)，從而可以維持上述蓋體部的開(kāi)放狀態(tài)的缺口部。
11.如權(quán)利要求4～10的任意一項(xiàng)所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，在上述蓋體部和上述主體部之間設(shè)有，在上述蓋體部的關(guān)閉狀態(tài)中防止該蓋體部開(kāi)啟的開(kāi)閉鎖定手段。
12.如權(quán)利要求5～11的任意一項(xiàng)所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，在所說(shuō)的膠帶部件上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，在所說(shuō)的蓋體部上設(shè)有加熱手段，同時(shí)，在將上述膠帶部件向上述工件粘結(jié)時(shí)通過(guò)該加熱手段對(duì)上述膠帶部件進(jìn)行加熱。
13.如權(quán)利要求12所述的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，所說(shuō)的加熱手段在上述蓋體部中與上述凹部鄰接的收容部?jī)?nèi)設(shè)置有多個(gè)，同時(shí)，多個(gè)上述加熱手段在該收容部?jī)?nèi)配置為放射狀。
14.一種膠帶粘結(jié)裝置，是將膠帶部件粘結(jié)于工件上的膠帶粘結(jié)裝置，其特征在于，設(shè)有在頂面上載置上述工件的伸縮薄板部件；位于上述伸縮薄板部件的頂面?zhèn)龋瑫r(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第一室；位于上述伸縮薄板部件的底面?zhèn)?，同時(shí)，被該伸縮薄板部件隔開(kāi)的可封閉的第二室；以防止在上述第一室和上述第二室之間空氣導(dǎo)通的狀態(tài)保持上述伸縮薄板部件的保持部件；以張?jiān)O(shè)狀態(tài)保持上述膠帶部件，同時(shí)，用于使上述膠帶部件位于載置于上述伸縮薄板部件上的上述工件頂部的膠帶保持手段；以及調(diào)整上述第一室內(nèi)部壓力低于上述第二室內(nèi)部壓力的調(diào)整手段。
15.一種膠帶粘結(jié)方法，是將膠帶部件粘結(jié)于工件上的膠帶粘結(jié)方法，其特征在于，設(shè)有以伸縮薄板部件的頂面上載置有上述工件、且通過(guò)膠帶保持手段以張?jiān)O(shè)狀態(tài)使上述膠帶部件位于該工件頂部的狀態(tài)，利用第一吸引手段將位于上述伸縮薄板部件頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐页檎婵?，同時(shí)，利用第二吸引手段將位于上述伸縮薄板部件底面?zhèn)鹊牡诙婵帐页檎婵盏奈襟E；檢測(cè)出通過(guò)上述吸引步驟上述第一真空室以及上述第二真空室已到達(dá)被設(shè)定真空度的真空到達(dá)度檢測(cè)步驟；在通過(guò)上述真空到達(dá)度檢測(cè)步驟檢測(cè)出已到達(dá)被設(shè)定真空度之后，通過(guò)上述第二吸引手段的工作停止，停止上述第二真空室的抽真空，同時(shí)，使第二空氣引入手段工作，將空氣引入到該第二真空室的第一空氣引入步驟；在上述第一空氣引入步驟之后，使上述伸縮薄板部件向上述第一真空室內(nèi)部膨脹，并通過(guò)相關(guān)伸縮薄板部件的膨脹，將上述工件向上述膠帶部件提升并粘結(jié)于上述膠帶部件上的粘結(jié)步驟；以及在將上述粘結(jié)步驟僅實(shí)施事先設(shè)定的時(shí)間之后，使第一空氣引入手段工作，將空氣引入到上述第一真空室的第二空氣引入步驟。
16.如權(quán)利要求15所述的膠帶粘結(jié)方法，其特征在于，所說(shuō)的吸引步驟在使上述第一吸引手段以及上述第二吸引手段工作時(shí)，首先使上述第二吸引手段工作，之后使上述第一吸引手段工作。
17.如權(quán)利要求15或16所述的膠帶粘結(jié)方法，其特征在于，在所說(shuō)的膠帶部件上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，同時(shí)，在上述粘結(jié)步驟中將上述膠帶部件粘結(jié)于上述工件之前，設(shè)有將上述膠帶部件加熱的加熱步驟。
18.一種電子器件制造方法，是將膠帶部件粘結(jié)于工件上而制造電子器件的電子器件制造方法，其特征在于，設(shè)有以伸縮薄板部件的頂面上載置有上述工件、且通過(guò)膠帶保持手段以張?jiān)O(shè)狀態(tài)使上述膠帶部件位于該工件頂部的狀態(tài)，利用第一吸引手段將位于上述伸縮薄板部件頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐页檎婵?，同時(shí)，利用第二吸引手段將位于上述伸縮薄板部件底面?zhèn)鹊牡诙婵帐页檎婵盏奈襟E；檢測(cè)出通過(guò)上述吸引步驟上述第一真空室以及上述第二真空室已到達(dá)被設(shè)定真空度的真空到達(dá)度檢測(cè)步驟；在通過(guò)上述真空到達(dá)度檢測(cè)步驟檢測(cè)出已到達(dá)被設(shè)定真空度之后，通過(guò)上述第二吸引手段的工作停止，停止上述第二真空室的抽真空，同時(shí)，使第二空氣引入手段工作將空氣引入到該第二真空室的第一空氣引入步驟；在上述第一空氣引入步驟之后，使上述伸縮薄板部件向上述第一真空室內(nèi)部膨脹，并通過(guò)相關(guān)伸縮薄板部件的膨脹，將上述工件向上述膠帶部件提升并粘結(jié)于上述膠帶部件上的粘結(jié)步驟；以及在將上述粘結(jié)步驟僅實(shí)施事先設(shè)定的時(shí)間之后，使第一空氣引入手段工作，將空氣引入到上述第一真空室的第二空氣引入步驟。
19.如權(quán)利要求18所述的電子器件制造方法，其特征在于，所說(shuō)的吸引步驟在使上述第一吸引手段以及上述第二吸引手段工作時(shí)，首先使上述第二吸引手段工作，之后使上述第一吸引手段工作。
20.如權(quán)利要求18或19所述的電子器件制造方法，其特征在于，在所說(shuō)的膠帶部件上涂敷有加熱固化型的粘結(jié)劑，同時(shí)，在上述粘結(jié)步驟中將上述膠帶部件粘結(jié)于上述工件之前，設(shè)有將上述膠帶部件加熱的加熱步驟。
全文摘要
本發(fā)明涉及的膠帶粘結(jié)裝置，是將膠帶部件(12)粘結(jié)于工件(11)上的膠帶粘結(jié)裝置(10)；它設(shè)有在頂面上載置工件(11)的橡膠薄板(25)，位于橡膠薄板(25)頂面?zhèn)鹊牡谝徽婵帐?50)，位于橡膠薄板(25)底面?zhèn)鹊牡诙婵帐?51)，在第一及第二真空室(50、51)之間不導(dǎo)通空氣而保持橡膠薄板(25)的保持部件(26)，以張?jiān)O(shè)狀態(tài)保持膠帶部件(12)、使膠帶部件(12)位于工件(11)頂部的膠帶保持手段(28)，將第一真空室(50)抽真空的第一吸引手段(36)，將空氣引入到第一真空室(50)的第一空氣引入手段(37)，將第二真空室(51)抽真空的第二吸引手段(36)，以及將空氣引入到第二真空室(51)的第二空氣引入手段(41)。
文檔編號(hào)H01L21/304GK1954419SQ20048004312
公開(kāi)日2007年4月25日 申請(qǐng)日期2004年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月25日
發(fā)明者齊藤公一, 鈴木鐵司 申請(qǐng)人:有限會(huì)社都波岐精工