專利名稱：用于接合工具定位的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于確定接合工具(bonding tool)定位(alignment)的裝置和方法，例如在半導(dǎo)體晶粒接合機(jī)器上出現(xiàn)的晶粒拾取和放置工具，尤其是指通過采用壓力式傳感器的方式。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝配和制造處理的晶粒接合操作中，接合工具可能在第一位置拾取晶粒(其可能為電子器件，例如半導(dǎo)體集成電路器件或者半導(dǎo)體芯片(chip))，并將該晶粒移動(dòng)到第二位置，在該第二位置處該晶粒將被接合。通常，該晶粒被接合到襯底上，例如電路板或者另一塊晶粒。在該接合位置處，接合工具將向下移動(dòng)(眾所周知為Z方向)直到該晶粒接觸到襯底或者另一晶粒上，為了在接合操作中便于施加所需的接合壓力(bond force)，可將該接合工具向下驅(qū)動(dòng)，以將所需的壓力進(jìn)一步施加于該晶粒上。
用于控制這種接合壓力的裝置和方法要面對很多需求，例如，他們最好應(yīng)該能在一個(gè)寬大范圍內(nèi)施加接合壓力，應(yīng)該易受回饋和控制的影響，并且應(yīng)該能對該接合壓力中的所需變化產(chǎn)生快速反應(yīng)。
在晶粒傾斜(die tilt)和接合線路厚度(bond line thickness)規(guī)范中存在苛求的必要。該接合工具通常具有被用來和待接合的晶粒相接觸的夾體(collet)，該夾體通常由金屬制成，如不銹鋼或者碳化鎢(tungsten carbide)，同時(shí)一種相應(yīng)的材料(例如橡膠材料)被添加于該夾體的末端以形成一夾持晶粒的接觸表面。該夾體包含有吸入孔(suction aperture)，由空氣吸力通過該吸入孔提供了夾持力，該接合工具的夾體的接觸表面應(yīng)平行于拾取表面和放置表面，以便于接合力被均勻分配在待拾取和放置的晶粒上，從而該晶粒能被正確地放置于接合位置。
如果接合工具沒有被適當(dāng)定位，以至于接觸表面和放置表面不是大致平行的，可能發(fā)生晶粒爆裂或無法接受的放置錯(cuò)誤的情形。為了產(chǎn)生良好的結(jié)果，現(xiàn)代晶粒接合機(jī)的接合工具需要被仔細(xì)裝配，以實(shí)現(xiàn)優(yōu)于16微米的水準(zhǔn)測量(leveling)。換句話說，當(dāng)晶粒由接合工具裝載時(shí)，晶粒上的一最低點(diǎn)和一最高點(diǎn)之間的垂直距離必須小于16微米。
定位接合工具的一種方法是在接合工具上裝配有圓形印(circular stamp)，然后將該圓形印降至于完全平坦的鐵砧塊(anvil block)上。在該鐵砧塊上放置有一復(fù)寫紙(carbonpaper)以獲得該圓形印的印記。通過檢查該印記的完整或者完全，操作員能夠從視覺上判斷接合工具是否被正確地裝配以達(dá)到可接受的水準(zhǔn)，如果該印記顯示圓周不完整，操作員可根據(jù)該印記說明的接合工具的傾斜方向修正該接合工具的定位。這種方法是手動(dòng)的和不是很準(zhǔn)確的，因?yàn)樗蕾囉谟刹僮鲉T進(jìn)行的主觀視覺判斷。
定位接合工具的另一種方法是美國專利號(hào)6,179,938所公開的“用于定位接合機(jī)，尤其是晶粒接合機(jī)的接合頭的方法和裝置”。在該專利中，具有兩個(gè)平整的平行表面的定位板被放置于一支撐表面上，將該支撐表面平整平行設(shè)置于該接合表面，半導(dǎo)體芯片在該接合表面上被接合到載體材料中。在該定位板被固定于測量器件上方一微小距離處之后，其次校準(zhǔn)該測量器件。調(diào)整該接合工具的定位，一直到來自測量器件的信號(hào)和校準(zhǔn)過程得到的信號(hào)相等為止。
該方法的缺點(diǎn)是在每次定位接合工具時(shí)，必須預(yù)先校準(zhǔn)。這種由該定位裝置所使用的感應(yīng)范圍定位方法(inductive range-finding method)在每次定位測量時(shí)需要預(yù)先校準(zhǔn)，因?yàn)槠涫褂梅蛛x的線圈，該線圈在各個(gè)方面容易受外部影響，例如溫度、濕度等等。同時(shí)每個(gè)線圈形成一可影響其他線圈的磁場，從而影響準(zhǔn)確性。而且，接合工具必須拾取一個(gè)特別準(zhǔn)備的定位板，在每次確定定位時(shí)在測量器件上方移動(dòng)該定位板。顯然，在接合時(shí)保持接合工具定位的閉環(huán)控制將是不可能的。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種用于快速而又準(zhǔn)確地測量接合工具定位的傳感器，而克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的一些缺點(diǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種用于接合工具定位的裝置，其包括壓力式傳感器，其被裝配以用于測量由接合工具在該壓力式傳感器上所產(chǎn)生的壓力；其中該壓力式傳感器包含有多個(gè)壓力感測部位，每個(gè)感測部位被用來各自檢測來自該接合工具的一部分的、作用于該感測部位的許多壓力。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，其提供了一種用于接合工具定位的方法，包括以下步驟提供壓力式傳感器，該壓力式傳感器包含有多個(gè)壓力感測部位，每個(gè)感測部位被用來分別檢測來自該接合工具的一部分的、作用于該感測部位的許多壓力。使該接合工具在壓力式傳感器上產(chǎn)生壓力；測量該由接合工具在壓力式傳感器上產(chǎn)生的壓力；根據(jù)由每個(gè)感測部位所測量的許多壓力，調(diào)整該接合工具的定位。
通過附圖及其所說明的一個(gè)實(shí)施例可以方便和詳細(xì)地描述本發(fā)明。附圖和有關(guān)的說明書的特性不應(yīng)該被理解為代替權(quán)利要求所定義的本發(fā)明的寬特征的共性。


根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的裝置和方法的示例現(xiàn)參見附圖進(jìn)行說明，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的用于檢測接合工具定位的壓電壓力式傳感器(piezoelectric force sensor)的立體示意圖。
圖2a和圖2b是構(gòu)成圖1中壓力式傳感器的方法的示意圖。
圖3a和圖3b分別是模塑裝置的剖視和側(cè)視示意圖，該模塑裝置被用來形成圖1中的壓電壓力式傳感器。
圖4是布置于印刷電路板上的聚酰亞胺膜層的平面示意圖，以用于檢測壓力式傳感器的輸出；圖5是根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的定位臺(tái)(alignment station)的側(cè)視剖視圖，該定位臺(tái)包含有壓力式傳感器以用于感測接合工具的定位；以及圖6是根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的晶粒拾取和放置工具的剖視圖，其包含有壓力式傳感器。
具體實(shí)施例方式
圖1是根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的用于檢測接合工具定位的壓電壓力式傳感器(piezoelectric force sensor)10的立體示意圖。該壓力式傳感器10包含有大量的具有壓電特性的陶瓷纖維(ceramic fibers)12，其嵌入于堅(jiān)硬的環(huán)氧樹脂材料16中并一直延伸到該壓力式傳感器10的相對的平整表面。在本實(shí)施例中，壓力式傳感器10構(gòu)成具有中空15的圓環(huán)狀形態(tài)。該圓環(huán)狀形態(tài)適合于此處提及裝置的特定裝配方法，但是值得注意的是該壓力式傳感器10也可以采用其他形式。
在圖1中，該圓環(huán)名義上可分為四個(gè)相等的部位或者四分之一圓周，每部位具有一堆陶瓷纖維12。一束四根陶瓷纖維12被分組于一部位內(nèi)。因此，相對于其他三個(gè)部位，測定施加于壓力式傳感器10上每個(gè)感測部位的壓力是可能的。
圖2a和圖2b是制作圖1中壓力式傳感器10的方法的示意圖。首先參考圖2a，準(zhǔn)備一鑄模(mold)18，其具有一中軸14，該中軸用來形成壓力式傳感器10的中空15。多條陶瓷纖維12然后被插入到該鑄模18。如圖2b所示，環(huán)氧樹脂16其次被添加到該鑄模18中，并使其硬化。具有嵌入陶瓷纖維12的該圓柱形硬化的環(huán)氧樹脂16被移離鑄模18和中軸14，其次被切割和磨光以形成如圖1所示的多個(gè)陶瓷環(huán)。然后使用鉻金電極(Chromium-gold electrodes)以封蓋四個(gè)容置有陶瓷纖維12的感測部位。其后，在提升的溫度(elevated temperature)下電磁場被應(yīng)用到陶瓷纖維12以在該陶瓷纖維12中引起壓電特性。
圖3a和圖3b分別是模塑裝置20的剖視和側(cè)視示意圖，該模塑裝置被用來形成圖1中的壓電壓力式傳感器10。該模塑裝置20的基座22是由不銹鋼制成，兩片聚四氟乙烯(Teflon)24被裝配形成正方體，其中部具有中空模塑18的形狀。裝配之后，該兩片聚四氟乙烯24用螺釘26固定在一起。
其外徑和模塑18的內(nèi)徑相同的圓盤28被插入到模塑18的底端。由聚四氟乙烯制成的中軸14被插入到模塑18的中央。該中軸14的直徑和被形成的壓力式傳感器10的中空15的直徑相同，并且最好插置有鋼鐵。圓盤28具有內(nèi)部的插入孔(innerinsert)，該插入孔的直徑和中軸14的直徑相同。其還包含有四組小孔，小孔的直徑和每個(gè)陶瓷纖維12的直徑相同?？傊?，圓盤28具有大小合適的插入孔，以便于插置和定位中軸14和多組陶瓷纖維12。
在將中軸14和多組陶瓷纖維12插入圓盤28之后，帶有孔洞和中軸14、陶瓷纖維12的位置相適應(yīng)的頂板32被用來封蓋模塑18和定位陶瓷纖維12。然后用環(huán)氧樹脂材料16填充該模塑18以形成混合棒(composite rod)。在該環(huán)氧樹脂16已被完全加工處理之后，移除該頂板32。擰開螺釘26，將兩片聚四氟乙烯24分開。然后將圓柱形狀的混合棒從該模塑裝置20移離，并且中軸14能從其中央拔出。其后，混合棒被切割以形成如圖1所示的圓環(huán)形式的壓力式傳感器10。
在本實(shí)施例中，該壓力式傳感器包含有中空的圓環(huán)，每個(gè)感測部位大小大體相同。包含有單獨(dú)部位的合適傳感器可由其他實(shí)例的混合圓片(composite wafers)制造，其公開在發(fā)明名稱為“超聲波變換器”、專利號(hào)為6,190,497的美國專利中，在此詳述見圖4和圖5。但是，此處所述的本實(shí)施例不意味著無遺漏，也有可能將壓力式傳感器的其他實(shí)施例進(jìn)行配置以感測施加于傳感器不同部位的壓力分布。
圖4是包含有大量單個(gè)電氣導(dǎo)體的傳輸材料的平面示意圖，例如聚酰亞胺膜層(polyimide film)40。該聚酰亞胺膜層40被布置于電路上，其以印刷電路板42的形式和壓力式傳感器10相連接以檢測該壓力式傳感器10發(fā)出的信號(hào)。該聚酰亞胺膜層40包括4個(gè)由導(dǎo)電材料制成的傳感區(qū)域44、45、46、47，其上設(shè)置有各組陶瓷纖維12，該各組陶瓷纖維和該壓力式傳感器10的每個(gè)感測部位相一致。當(dāng)壓力作用于壓力式傳感器10的表面時(shí)，在各個(gè)感測區(qū)域44、45、46、47產(chǎn)生電流，其被引導(dǎo)到電路或者印刷電路板42上的信號(hào)處理器，該電路或者印刷電路板42和形成于聚酰亞胺膜層40上的信號(hào)輸出終端48相連。根據(jù)流入通過信號(hào)輸出終端48的4個(gè)輸出通道中每一個(gè)的電流的相對強(qiáng)度，可以確定作用于該壓力式傳感器10的每個(gè)部位的相對作用力。
圖5是根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的用于定位以定位臺(tái)50形式出現(xiàn)的接合工具的裝置的側(cè)視剖視圖，該定位臺(tái)50包含有壓力式傳感器10。該定位臺(tái)50和接合工具分隔開，并可以為單機(jī)器件(stand-alone device)。壓力式傳感器10具有多個(gè)壓力感測部位，每個(gè)感測部位被單獨(dú)用來檢測作用于該感測部位的、來自接合工具的一部分的大量的力。
定位臺(tái)50包含有基板52，其上裝配有印刷電路板42。一聚酰亞胺膜層40布置于該印刷電路板42的頂部。壓力式傳感器10安裝在該聚酰亞胺膜層40的頂部，這樣包含于每個(gè)感測部位的每組陶瓷纖維和該聚酰亞胺膜層40的感測區(qū)域44、45、46、47中的相應(yīng)電極相對齊。類似地，另一聚酰亞胺膜層40設(shè)置于該壓力式傳感器10的頂端，其具有一個(gè)用于所有傳感器區(qū)域電氣接地的公共的電極。偏置單元(biasing member)或者感測頂板54放置于聚酰亞胺膜層40頂層的上部，因此將壓力式傳感器10、聚酰亞胺膜層40和印刷電路板42夾在頂板54和基板52之間。螺釘56被用來固定該偏置單元或者頂板54于基板52上，并提供預(yù)載力到該壓力式傳感器10的頂部感測表面。在傳統(tǒng)的壓電傳感器中，在所施加的力和所產(chǎn)生的電流之間獲得實(shí)質(zhì)性的線性關(guān)系而言該預(yù)載力通常是必要的。
為了測量接合工具的位置，定位臺(tái)50固定于一表面上，該表面是和半導(dǎo)體晶粒的放置表面相平行的平面。通過將接合工具的夾體降低到頂板54上而將其定位于定位臺(tái)50上，而一個(gè)預(yù)設(shè)力被施加于頂板54上。更適宜地講，頂板54具有一個(gè)接觸表面區(qū)域，其大于但盡可能接近于夾體的接觸表面。壓力式傳感器10將檢測通過頂板54傳遞于該壓力式傳感器10的每個(gè)感測部位之上的力。如果通過所有感測部位的力分布是均等的，那么該接合工具被正確定位。如果一個(gè)或多個(gè)感測部位檢測的力大于其他感測部位，那么該接合工具沒有被正確定位，而夾體需要被調(diào)整，該調(diào)整是通過將夾體向檢測更大壓力的感測部位的方向移動(dòng)。進(jìn)行該調(diào)整一直到檢測出大體均等的力分布為止。
圖6是根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的以晶粒拾取和放置工具60存在的接合工具的剖視圖，其包含有壓力式傳感器10。該壓力式傳感器10和該接合工具相連接。在圖6的布置中，不需要分離的定位臺(tái)50，拾取和放置工具60的定位的閉環(huán)反饋可以獲得。
拾取和放置工具60包含有夾具組件62(collet assembly)。該壓力式傳感器10和夾具組件62相連，藉此壓力式傳感器10的每個(gè)感測部位是用來檢測作用于一部分夾具組件上的反作用力，其是在表面施加接合力時(shí)產(chǎn)生。該壓力式傳感器10較適宜地是在軸線上和該夾具組件62和接合表面之間接觸點(diǎn)的對面和該夾具組件62相連。而且該夾具組件62較適宜地施加一個(gè)預(yù)載力于該壓力式傳感器10上，該要求在上述圖5中已經(jīng)被說明。
夾具組件62和壓力式傳感器10支撐于滑動(dòng)框66(slider mount)上，該滑動(dòng)框移動(dòng)于滑動(dòng)件(slider)或球形刷68(ball brushing)上。該滑動(dòng)框66使得該夾具組件62相對于接合力驅(qū)動(dòng)單元托架64(bond force actuation unit bracket)滑動(dòng)，以便調(diào)整接合力以致使得接合力得到更大的控制，并避免損壞由拾取和放置工具60所拾取和放置的晶粒。
接合力馬達(dá)線圈70通過一接合力馬達(dá)線圈框架72安裝于接合力驅(qū)動(dòng)單元托架64上。接合力馬達(dá)磁鐵板(ferromagnetic plate)74、接合力馬達(dá)磁鐵(magnet)76和接合力馬達(dá)磁鐵芯78(ferromagnetic core)相鄰于接合力馬達(dá)線圈70設(shè)置。接合力馬達(dá)的各個(gè)部件70、72、74、76、78基本上形成了一個(gè)線性馬達(dá)，該線性馬達(dá)將可控制的接合力傳送于夾具組件62。當(dāng)壓縮彈簧80抵靠于以接合機(jī)軸82形式存在的支撐材料(support datum)時(shí)，該壓縮彈簧適合來向夾具組件62提供預(yù)載力。拾取和放置工具60通過該接合機(jī)軸82和接合機(jī)的接合頭相連。
利用這種布置，壓力式傳感器10可持續(xù)的監(jiān)測通過夾具組件62施加于其上的壓力。當(dāng)該夾具組件62沒有推靠于表面時(shí)，該壓力式傳感器10經(jīng)受從作用于其上的從夾具組件62上產(chǎn)生的預(yù)載力。當(dāng)夾具組件62推抵于平直水平面，例如位于拾取位置或者接合位置的晶粒，該壓力式傳感器10的每個(gè)感測部位上的力分布能被檢測。如果由于力分布的不平衡超過一定的誤差而使拾取和放置工具60沒有被正確定位，立即產(chǎn)生警告，并同時(shí)或者手工將該拾取和放置工具60重新定位，或者使用裝配來重新定位該拾取和放置工具60的合適的附加機(jī)構(gòu)自動(dòng)完成。
值得注意的是，由于拾取和放置工具的定位的實(shí)時(shí)閉環(huán)回饋可以實(shí)現(xiàn)，以及對任一的未定位進(jìn)行即時(shí)校正，本實(shí)施例具有超越圖5中的獨(dú)立的定位臺(tái)50和現(xiàn)有技術(shù)中的設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)。由于每次檢查定位時(shí)，不需要移動(dòng)該拾取和放置工具到單獨(dú)的定位臺(tái)上，所以定位該拾取和放置工具所需時(shí)間也被減少。
在此所介紹的發(fā)明在所介紹的特性之外還很容易進(jìn)行變化、修改和/或者添加?？梢岳斫獗景l(fā)明包括所有的落入上述說明書的精神和范圍之內(nèi)的此類變化、修改和/或添加。
權(quán)利要求
1.一種用于接合工具定位的裝置，其包括壓力式傳感器，其被裝配以用于測量由接合工具在該壓力式傳感器上所產(chǎn)生的壓力；其中該壓力式傳感器包含有多個(gè)壓力感測部位，每個(gè)感測部位被用來各自檢測來自該接合工具的一部分的、作用于該感測部位的許多壓力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其包括一堆壓電陶瓷材料，其容置于每個(gè)感測部位，以用于以壓電方式檢測施加于該感測部位的壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其包括傳輸材料，其包含有多個(gè)和該壓力式傳感器相連接的單獨(dú)的電導(dǎo)體，這樣該電導(dǎo)體的位置和壓力感測部位的位置相一致，并將由各個(gè)感測部位所產(chǎn)生的電流引導(dǎo)到各個(gè)輸出終端。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中該傳輸材料連接有電路，該電路和輸出終端相連，以測量由每個(gè)感測部位所產(chǎn)生的電流。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中該傳輸材料是指由大量單獨(dú)的電導(dǎo)體所構(gòu)成的聚酰亞胺膜層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中該壓力式傳感器設(shè)置于定位臺(tái)上，該定位臺(tái)和該接合工具相分離，該接合工具安裝于該定位臺(tái)上以用于定位。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其中該裝置還包括偏置單元，其和該壓力式傳感器的感測表面相連，藉此以施加一預(yù)載力于該壓力式傳感器上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中該壓力式傳感器和接合工具相連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中該接合工具包含有夾具組件，同時(shí)該壓力式傳感器和該夾具組件相連，藉此每個(gè)感測部位當(dāng)通過接合工具將壓力應(yīng)用于接合表面時(shí)被用來檢測作用于該夾具組件的一部分上的反作用力。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中該壓力式傳感器是在軸線上且和該夾具組件與接合表面之間接觸點(diǎn)的對面和該夾具組件相連。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中該夾具組件將預(yù)載力施加于該壓力式傳感器上。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中該壓力式傳感器包含有帶有中空的圓環(huán)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中每個(gè)感測區(qū)域的大小是基本相同的。
14.一種用于接合工具定位的方法，包括以下步驟提供壓力式傳感器，該壓力式傳感器包含有多個(gè)壓力感測部位，每個(gè)感測部位被用來分別檢測來自該接合工具的一部分的、作用于該感測部位的許多壓力。使該接合工具在壓力式傳感器上產(chǎn)生壓力；測量該由接合工具在壓力式傳感器上產(chǎn)生的壓力；根據(jù)由每個(gè)感測部位所測量的許多壓力，調(diào)整該接合工具的定位。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其包括通過在感測部位設(shè)置有一堆壓電陶瓷材料，以用于以壓電方式檢測施加于每個(gè)感測部位的壓力。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其包括分別將由各個(gè)感測部位所產(chǎn)生的電流引導(dǎo)到各個(gè)輸出終端，以進(jìn)行處理。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其包括采用將輸出終端連接到電氣回路的方式，測量由每個(gè)感測部位所產(chǎn)生的電流。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其包括下述步驟將該接合工具安裝于和該接合工具相分離的定位臺(tái)上，該壓力式傳感器設(shè)置于定位臺(tái)上，以用于定位。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其包括使用偏置單元施加一預(yù)載力于該壓力式傳感器上。
20.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中該壓力式傳感器和接合工具相連接。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中該接合工具包含有夾具組件，同時(shí)該壓力式傳感器和該夾具組件相連，藉此每個(gè)感測部位當(dāng)通過接合工具將壓力應(yīng)用于接合表面時(shí)檢測作用于該夾具組件的一部分上的大量的反作用力。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其包括在軸線上且和該夾具組件與接合表面之間接觸點(diǎn)的對面，將該壓力式傳感器和該夾具組件相連。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其包括使用該夾具組件施加一預(yù)載力于該壓力式傳感器上。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于定位接合工具的裝置和方法。一個(gè)包含有多個(gè)壓力感測部位的壓力式傳感器，其被配置來測量由該接合工具在該壓力式傳感器上所產(chǎn)生的壓力。每個(gè)感測部位被用來分別檢測來自該接合工具的一部分的、作用于該感測部位的大量壓力，以致于可以確定該接合工具的定位。
文檔編號(hào)H01L21/677GK1645561SQ20051000238
公開日2005年7月27日 申請日期2005年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月21日
發(fā)明者陳麗華, 蔡少康, 廖秋棋, 吳銘偉, 歐玉璋 申請人:先進(jìn)自動(dòng)器材有限公司