專利名稱：屏板制造設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種屏板(panel)制造設(shè)備，更具體地講，本發(fā)明涉及具有改進(jìn)結(jié)構(gòu)的屏板制造設(shè)備。
背景技術(shù)：
通常，屏板是指被裝配在平板顯示器(flat panel display)上并形成圖像的顯示板。顯示板包括PDP(等離子體顯示板)、TFT-LCD(薄膜晶體管-液晶顯示器)和OELD(有機(jī)電致發(fā)光顯示器)。這種顯示板由配置諸如將多種電子部件裝配到玻璃基片的制造過程的屏板制造設(shè)備制造。
一種傳統(tǒng)的屏板制造設(shè)備，包括設(shè)置用于制造屏板的處理單元；和用于將屏板移動(dòng)到處理單元的移動(dòng)單元。
該移動(dòng)單元包括用于將屏板移動(dòng)到處理單元的臺(tái)架；和支撐處理單元和臺(tái)架的底座。
這種臺(tái)架支撐屏板，將屏板提供給處理單元，并從處理單元將完成制造過程的屏板移動(dòng)到外部。具體地講，該臺(tái)架被單個(gè)設(shè)置以在制造過程中連續(xù)支撐屏板。
由于傳統(tǒng)的屏板制造設(shè)備提供單個(gè)臺(tái)架，該臺(tái)架直到舊的屏板完成制造過程并脫離處理單元才被配置新屏板，從而降低了生產(chǎn)能力。

發(fā)明內(nèi)容
相應(yīng)地，本發(fā)明的一個(gè)方面在于提供一種具有改進(jìn)結(jié)構(gòu)的屏板制造設(shè)備。
在下述描述中，部分地列出了當(dāng)前發(fā)明另外的方面與/或優(yōu)點(diǎn)，而通過描述及實(shí)踐當(dāng)前發(fā)明，本發(fā)明另一部分方面與/或優(yōu)點(diǎn)也將會(huì)很明顯。
通過提供屏板制造設(shè)備，同樣可以實(shí)現(xiàn)當(dāng)前發(fā)明的前述與/或其它方面，該設(shè)備包括用于制造屏板的處理單元；和移動(dòng)單元，包括將屏板移動(dòng)到處理單元的第一臺(tái)架；將屏板移動(dòng)出處理單元的第二臺(tái)架；和可移動(dòng)地支撐第一臺(tái)架和第二臺(tái)架的臺(tái)架導(dǎo)軌。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，移動(dòng)單元還包括第一機(jī)械手，該第一機(jī)械手設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌的第一側(cè)并使屏板穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架上；和第二機(jī)械手，該第二機(jī)械手設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌的第二側(cè)上并將穩(wěn)定地就位于第二臺(tái)架上的屏板運(yùn)動(dòng)到外部。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，移動(dòng)單元包括可移動(dòng)地支撐第一機(jī)械手和第二機(jī)械手的機(jī)械手導(dǎo)軌。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，第一臺(tái)架被設(shè)置沿多軸方向移動(dòng)穩(wěn)定就位的屏板；而該移動(dòng)單元還包括位置控制單元，該位置控制單元包含探測(cè)穩(wěn)定就位在第一臺(tái)架上的屏板的位置信息的探測(cè)器；和控制器，該控制器通過使用由探測(cè)器探測(cè)的位置信息控制第一臺(tái)架以安排穩(wěn)定就位在第一臺(tái)架上的屏板。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，探測(cè)器包括至少一個(gè)攝像機(jī)以拍攝穩(wěn)定就位在第一臺(tái)架上的屏板。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，屏板制造設(shè)備還包括工作臺(tái)，該工作臺(tái)被設(shè)置在第一臺(tái)架和第二臺(tái)架之間，接收由第一臺(tái)架傳送的屏板，相對(duì)于處理單元可升高地支撐屏板，并將被處理單元處理完的屏板傳送到第二臺(tái)架。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，處理單元被設(shè)置了多個(gè)，而移動(dòng)單元還包括第三臺(tái)架，該第三臺(tái)架被設(shè)置在每個(gè)處理單元之間，并在從前一處理單元接收屏板后，將該屏板供應(yīng)到下一處理單元。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，屏板制造設(shè)備還包括多個(gè)工作臺(tái)，該多個(gè)工作臺(tái)被設(shè)置在第一臺(tái)架和第二臺(tái)架之間，接收或者由第一臺(tái)架或者由第三臺(tái)架傳送的屏板，相對(duì)于每個(gè)處理單元可升高地支撐屏板，并將完成由每個(gè)處理單元進(jìn)行的處理過程的屏板或者傳送到第三臺(tái)架或者傳送到第二臺(tái)架。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，第一臺(tái)架和第三臺(tái)架被設(shè)置沿多軸方向移動(dòng)穩(wěn)定就位的屏板，而該移動(dòng)單元還包括多個(gè)位置控制單元，該位置控制單元包含分別探測(cè)穩(wěn)定就位在第一臺(tái)架上和第三臺(tái)架上的屏板的位置信息的探測(cè)器；和控制器，該控制器通過使用由探測(cè)器探測(cè)的位置信息控制第一臺(tái)架和第三臺(tái)架以安排穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架和第三臺(tái)架上的屏板。


結(jié)合附圖，通過對(duì)實(shí)施例的如下描述，本發(fā)明的上述與/或其它特征及優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯和更易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的屏板制造設(shè)備的正視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的屏板制造設(shè)備的平面圖；圖3到圖6是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的屏板制造設(shè)備的工作平面圖；和圖7是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的屏板制造設(shè)備的正視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在，將詳細(xì)描述其實(shí)例在附圖中顯示的本發(fā)明的實(shí)施例，其中相似參考號(hào)代表類似的單元。
第一實(shí)施例如圖1到圖6所示，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的屏板制造設(shè)備1包括設(shè)置用于制造屏板5的處理單元10；和用于將屏板5移動(dòng)到/出處理單元10的移動(dòng)單元。根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的屏板制造設(shè)備1還包括支撐處理單元10以及移動(dòng)單元的底座70。
底座70被設(shè)置在處理單元10和移動(dòng)單元的下部以支撐它們。盒子(cassettes)7被設(shè)置在底座70的相對(duì)側(cè)，以將屏板5供應(yīng)到處理單元10和將屏板5送到外部。
屏板5是指被裝配在諸如PDP(等離子體顯示板)、TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)和OELD(有機(jī)電致發(fā)光顯示器)的平板顯示器并形成圖像的顯示板。諸如IC(集成電路)和PCB(印制電路板)的電子部件被安裝到類似平板的玻璃基片上以形成屏板5。
該處理單元10設(shè)置用于制造屏板5，并將諸如IC和PCB的電子部件安裝到屏板5上。根據(jù)被制造的屏板5的類型，處理單元10可被設(shè)置單個(gè)或多個(gè)。在處理單元10上，設(shè)置有將電子部件安裝到由工作臺(tái)15(后面將描述)向上/向下移動(dòng)的屏板5上的處理板(process plate)11；和支撐處理板11的單元支撐13。支撐和向上/向下移動(dòng)屏板5的工作臺(tái)15被設(shè)置在處理單元10下方。
該單元支撐13相對(duì)于底座70豎立以支撐處理板11。
工作臺(tái)15被設(shè)置在第一臺(tái)架21和第二臺(tái)架31(以后將描述)之間，接收由第一臺(tái)架21傳送的屏板5，相對(duì)于處理單元10可升高地支撐屏板5，并將由處理單元10處理完的屏板5傳送到第二臺(tái)架31。工作臺(tái)15包括支撐由第一臺(tái)架21傳送的屏板5的屏板支撐16。工作臺(tái)還包括支撐工作臺(tái)15以向上/向下移動(dòng)的工作臺(tái)升降機(jī)18。
屏板支撐16通過接觸屏板5的下表面支撐屏板5。屏板支撐16在工作臺(tái)15的前和后被成對(duì)設(shè)置，以支撐屏板5的下表面的前部和后部。多個(gè)吸孔17可以被設(shè)置在屏板支撐16中以真空吸附屏板5的下表面。
工作臺(tái)升降機(jī)18被設(shè)置在工作臺(tái)15的下部而將工作臺(tái)15向上/向下移動(dòng)。工作臺(tái)升降機(jī)18的形狀類似圓柱，但不局限于圓柱形狀。作為選擇，工作臺(tái)升降機(jī)18可以被設(shè)置多種形狀以向上/向下移動(dòng)工作臺(tái)15。工作臺(tái)升降機(jī)18相對(duì)于底座70被聯(lián)接和支撐。
該移動(dòng)單元包括將屏板5供給到處理單元10的第一臺(tái)架21；將屏板從處理單元10傳送到外部的第二臺(tái)架31；和可移動(dòng)地支撐第一臺(tái)架21和第二臺(tái)架31的臺(tái)架導(dǎo)軌或?qū)蚣?3。該移動(dòng)單元還包括第一機(jī)械手(handler)51，該第一機(jī)械手51設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)處并穩(wěn)定地使屏板就位在第一臺(tái)架21上；第二機(jī)械手61，該第二機(jī)械手61被設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌23的第二側(cè)處并將穩(wěn)定地就位在第二臺(tái)架31上的屏板5傳送到外部。該移動(dòng)單元還包括可移動(dòng)地支撐第一機(jī)械手51和第二機(jī)械手61的機(jī)械手導(dǎo)軌或?qū)蚣?3。該移動(dòng)單元還包括探測(cè)穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21上的屏板5的位置信息和設(shè)置屏板5的位置控制單元41。
第一臺(tái)架21的上部的形狀類似平板以安全地使屏板5就位，而其下部被設(shè)置沿臺(tái)架導(dǎo)軌23滑動(dòng)。第一臺(tái)架21被設(shè)置以可滑動(dòng)地在臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)和設(shè)置有處理單元10的工作臺(tái)15之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。第一臺(tái)架21的上部略小于屏板5。第一臺(tái)架21被設(shè)置以沿多軸方向移動(dòng)穩(wěn)定地就位的屏板5。具體地講，第一臺(tái)架21被設(shè)置以沿如下方向移動(dòng)沿向左/向右方向X；沿向前/向后方向Y；沿向上/向下方向；和圍繞向上/向下方向沿旋轉(zhuǎn)方向θ(參照?qǐng)D1和圖2)。第一臺(tái)架21沿上述方向不受限地移動(dòng)屏板5，而可安排沿其它方向移動(dòng)屏板5。這樣，第一臺(tái)架21通過第一機(jī)械手51從盒7接收屏板5，并通過位置控制單元41的控制器將屏板5移動(dòng)到標(biāo)準(zhǔn)位置。同樣，第一臺(tái)架21沿臺(tái)架導(dǎo)軌23向上移動(dòng)到工作臺(tái)15的上部，并向下移動(dòng)以使屏板5穩(wěn)定地就位于工作臺(tái)15的屏板支撐16。
第二臺(tái)架31的上部的形狀類似平板以使屏板5穩(wěn)定地就位，而其下部被設(shè)置沿臺(tái)架導(dǎo)軌23滑動(dòng)。第一臺(tái)架21的上部略小于屏板5。第二臺(tái)架31被設(shè)置可滑動(dòng)地在設(shè)置有處理單元10的工作臺(tái)15和臺(tái)架導(dǎo)軌23的第二側(cè)之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。第二臺(tái)架31被設(shè)置沿相對(duì)于其表面向上/向下方向Z移動(dòng)。因此，第二臺(tái)架31向下移動(dòng)到由工作臺(tái)15支撐的屏板5的下部，并向上移動(dòng)以使屏板5穩(wěn)定地就位，并將屏板5傳送到臺(tái)架導(dǎo)軌23的第二側(cè)。
臺(tái)架導(dǎo)軌23沿向左/向右方向X形成，以導(dǎo)向第一臺(tái)架21和第二臺(tái)架31。該臺(tái)架導(dǎo)軌23被單一地設(shè)置，以同時(shí)導(dǎo)向第一臺(tái)架21和第二臺(tái)架31。作為選擇，臺(tái)架導(dǎo)軌23可以被成對(duì)配置，并被沿長度方向設(shè)置以分別導(dǎo)向第一臺(tái)架21和第二臺(tái)架31。
第一機(jī)械手51被設(shè)置以使來自鄰近臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)的盒7的屏板5穩(wěn)定地就位到設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)處的第一臺(tái)架21。第一機(jī)械手51通過真空吸附屏板5的上端表面移動(dòng)屏板5。
第二機(jī)械手61被設(shè)置以將穩(wěn)定地就位到臺(tái)架導(dǎo)軌23的第二側(cè)處的第二臺(tái)架31上的屏板5移動(dòng)到鄰近臺(tái)架導(dǎo)軌23的第二側(cè)的盒7。第二機(jī)械手61通過真空吸附屏板5的上端表面移動(dòng)屏板5。
該機(jī)械手導(dǎo)軌53沿臺(tái)架導(dǎo)軌的長度方向形成，以移動(dòng)第一機(jī)械手51和第二機(jī)械手61。機(jī)械手滑塊55被設(shè)置在機(jī)械手導(dǎo)軌53和第一機(jī)械手51和第二機(jī)械手61之間，并相對(duì)于機(jī)械手導(dǎo)軌53可滑動(dòng)地連接第一機(jī)械手51和第二機(jī)械手61。
該位置控制單元41包括探測(cè)器43，該探測(cè)器43探測(cè)穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21上的屏板5的位置信息；和控制器，該控制器通過使用由探測(cè)器43探測(cè)的位置信息控制第一臺(tái)架21以安排穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21上的屏板5。該位置控制單元41還包括設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)處并支撐探測(cè)器43的探測(cè)器支撐45。
探測(cè)器43被設(shè)置為至少一個(gè)攝像機(jī)，以對(duì)穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21的屏板5拍照。作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)例，探測(cè)器43被設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)處，并對(duì)穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21上的屏板5的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(未示出)拍照。探測(cè)器43被設(shè)置在屏板5的下方以從其下方對(duì)穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21的屏板5的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(未示出)拍照。探測(cè)器43被成對(duì)設(shè)置，并彼此隔開。作為選擇，探測(cè)器43可以可移動(dòng)地被整體設(shè)置以拍攝屏板5的至少兩個(gè)位置。
采用這種結(jié)構(gòu)，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的屏板制造設(shè)備1的制造過程如下首先，屏板5被定位到臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)附近的盒子7。在被定位在臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)處的狀態(tài)中，第一臺(tái)架21通過第一機(jī)械手51(參照?qǐng)D3)從盒子7接收屏板5。利用位置控制單元41的控制器，第一臺(tái)架21移動(dòng)屏板5，并將屏板5安排到標(biāo)準(zhǔn)位置。接下來，第一臺(tái)架21沿臺(tái)架導(dǎo)軌23運(yùn)動(dòng)到工作臺(tái)15的上側(cè)(參照?qǐng)D4)。第一臺(tái)架21向下運(yùn)動(dòng)以使屏板5穩(wěn)定地就位于工作臺(tái)15的屏板支撐16，然后向上運(yùn)動(dòng)到臺(tái)架導(dǎo)軌23的第一側(cè)以返回到初始位置(參照?qǐng)D5)。工作臺(tái)15將被支撐的屏板5向上移動(dòng)以由處理單元10執(zhí)行處理工作，并向下移動(dòng)完成處理工作的屏板5。然后，第二臺(tái)架31移動(dòng)到工作臺(tái)15并使完成由處理單元10進(jìn)行的處理工作并由工作臺(tái)15支撐的屏板5穩(wěn)定地就位(參照?qǐng)D5)。此時(shí)，第二臺(tái)架31移動(dòng)到工作臺(tái)15的屏板5的下部，并再次向上移動(dòng)以使屏板5穩(wěn)定地就位。第二臺(tái)架31將屏板5傳送到臺(tái)架導(dǎo)軌23的第二側(cè)，并由第二機(jī)械手61將穩(wěn)定地就位到第二臺(tái)架31的屏板5傳送到盒子7(參照?qǐng)D6)。當(dāng)?shù)诙_(tái)架31將舊的屏板5傳送到臺(tái)架導(dǎo)軌23的第二側(cè)而送到外部的同時(shí)，新屏板5可由第一機(jī)械手51和第一臺(tái)架21供應(yīng)到處理單元10。
根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的屏板制造設(shè)備包括制造屏板的處理單元；將屏板移動(dòng)到處理單元的第一臺(tái)架；將屏板移動(dòng)出處理單元的第二臺(tái)架；和包括可移動(dòng)地支撐第一臺(tái)架和第二臺(tái)架的臺(tái)架導(dǎo)軌的移動(dòng)單元，從而可同時(shí)將屏板移動(dòng)到/出處理單元，而提高生產(chǎn)能力。
第二實(shí)施例如圖7所示，與第一實(shí)施例不同，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的屏板制造設(shè)備100配置有多個(gè)處理單元10和110。移動(dòng)單元還包括第三臺(tái)架131，該第三臺(tái)架131被設(shè)置在各處理單元10和110之間，而將從先前的處理單元10接收的屏板5傳送到下一處理單元110。根據(jù)第二實(shí)施例的屏板制造設(shè)備100還包括對(duì)應(yīng)多個(gè)處理單元10和110的多個(gè)工作臺(tái)15和115。此外，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的屏板制造設(shè)備100包括多個(gè)位置控制單元41和141，分別安排在第三臺(tái)架131和第一臺(tái)架21上穩(wěn)定地就位的屏板5。
作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)例，處理單元10和110被成對(duì)設(shè)置。第三臺(tái)架131被單個(gè)地設(shè)置以定位于處理單元10和110之間。作為選擇，處理單元可被設(shè)置三個(gè)或更多。同時(shí)，第三臺(tái)架131可被設(shè)置兩個(gè)或更多以定位于每個(gè)處理單元之間。如同上述第一臺(tái)架21，第三臺(tái)架131被設(shè)置以沿多軸方向移動(dòng)穩(wěn)定地就位的屏板5。
工作臺(tái)15和115被設(shè)置在第一臺(tái)架21和第二臺(tái)架31之間；接收由第一臺(tái)架21或由第三臺(tái)架131傳送的屏板5；支撐屏板5以相對(duì)于處理單元10和110向上/向下運(yùn)動(dòng)。工作臺(tái)15和115被成對(duì)地設(shè)置以將完成每個(gè)處理單元10和110的處理工作的屏板5或者傳送到第三臺(tái)架131或傳送到第二臺(tái)架31。
位置控制單元41和141被成對(duì)設(shè)置，包括分別探測(cè)穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21和第三臺(tái)架131上的屏板5的位置信息的探測(cè)器43；和控制器，該控制器通過使用由探測(cè)器43探測(cè)的位置信息分別控制第一臺(tái)架21和第三臺(tái)架131以安排穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架21和第三臺(tái)架131上的屏板5。
根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的屏板制造設(shè)備100的制造過程類似于上述第一實(shí)施例的過程，因此該過程被省略。根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的屏板制造設(shè)備100分別同時(shí)地由第一機(jī)械手51和第一臺(tái)架21將屏板5供應(yīng)到處理單元10和110；由第三臺(tái)架131將屏板5供應(yīng)到處理單元10和110；以及由第二機(jī)械手61和第二臺(tái)架31將屏板5傳送到盒子7。
因此，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的屏板制造設(shè)備可同時(shí)供應(yīng)和送出屏板，從而提高了生產(chǎn)能力。
雖然已顯示和描述了本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施例，本領(lǐng)域所屬技術(shù)人員將意識(shí)到在不背離本發(fā)明原則與精神(其范圍由權(quán)利要求中及等同原則限定)的情況下，可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行改動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種屏板制造設(shè)備，包括用于制造屏板的處理單元；和移動(dòng)單元，包括將屏板移動(dòng)到處理單元的第一臺(tái)架；將屏板移動(dòng)出處理單元的第二臺(tái)架；和可移動(dòng)地支撐第一臺(tái)架和第二臺(tái)架的臺(tái)架導(dǎo)軌或臺(tái)架導(dǎo)向件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏板制造設(shè)備，其中移動(dòng)單元還包括第一機(jī)械手，所述第一機(jī)械手設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌的第一側(cè)并穩(wěn)定地使屏板就位在第一臺(tái)架上；和第二機(jī)械手，所述第二機(jī)械手設(shè)置在臺(tái)架導(dǎo)軌的第二側(cè)并將穩(wěn)定地就位于第二臺(tái)架上的屏板移動(dòng)到外部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的屏板制造設(shè)備，其中移動(dòng)單元還包括可移動(dòng)地支撐第一機(jī)械手和第二機(jī)械手的機(jī)械手導(dǎo)軌或?qū)蚣?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏板制造設(shè)備，其中第一臺(tái)架被設(shè)置沿多軸方向移動(dòng)穩(wěn)定就位的屏板，而移動(dòng)單元還包括位置控制單元，所述位置控制單元包括探測(cè)穩(wěn)定就位在第一臺(tái)架上的屏板的位置信息的探測(cè)器；和控制器，所述控制器通過使用由探測(cè)器探測(cè)的位置信息控制第一臺(tái)架以安排穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架上的屏板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的屏板制造設(shè)備，其中探測(cè)器包括對(duì)穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架上的屏板進(jìn)行拍照的至少一個(gè)攝像機(jī)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏板制造設(shè)備，還包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)被設(shè)置在第一臺(tái)架和第二臺(tái)架之間，接收由第一臺(tái)架傳送的屏板，相對(duì)于處理單元可升高地支撐屏板，并將被處理單元處理的屏板傳送到第二臺(tái)架。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏板制造設(shè)備，其中所述處理單元被設(shè)置多個(gè)，而移動(dòng)單元還包括第三臺(tái)架，該第三臺(tái)架被設(shè)置在每個(gè)處理單元之間，并在從前一處理單元接收屏板后，將該屏板供應(yīng)到下一處理單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的屏板制造設(shè)備，還包括多個(gè)工作臺(tái)，所述多個(gè)工作臺(tái)被設(shè)置在第一臺(tái)架和第二臺(tái)架之間，接收或者由第一臺(tái)架或者由第三臺(tái)架傳送的屏板，相對(duì)于每個(gè)處理單元可升高地支撐屏板，并將被每個(gè)處理單元完成制造過程的屏板傳送到第三臺(tái)架或第二臺(tái)架。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的屏板制造設(shè)備，其中第一臺(tái)架和第三臺(tái)架被設(shè)置沿多軸方向移動(dòng)穩(wěn)定就位的屏板，而移動(dòng)單元還包括多個(gè)位置控制單元，所述多個(gè)裝置控制單元包括探測(cè)器，所述探測(cè)器分別探測(cè)穩(wěn)定就位在第一臺(tái)架和第三臺(tái)架上的屏板的位置信息；和控制器，所述控制器通過使用由探測(cè)器探測(cè)的位置信息控制第一臺(tái)架和第三臺(tái)架以安排穩(wěn)定地就位在第一臺(tái)架和第三臺(tái)架上的屏板。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種屏面制造設(shè)備，屏面制造設(shè)備包括用于制造屏板的處理單元；和移動(dòng)單元，該移動(dòng)單元包括將屏板移動(dòng)到處理單元的第一臺(tái)架；將屏板移動(dòng)出處理單元的第二臺(tái)架；和可移動(dòng)地支撐第一臺(tái)架和第二臺(tái)架的臺(tái)架導(dǎo)軌。因此，本發(fā)明提供了其中具有改進(jìn)結(jié)構(gòu)的屏面制造設(shè)備。
文檔編號(hào)H01L21/68GK1775640SQ20051006730
公開日2006年5月24日 申請(qǐng)日期2005年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月17日
發(fā)明者姜錫宙, 金光俊, 李埈承, 鄭盛旭 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社