專利名稱：臺架設(shè)備及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的概念涉及臺架設(shè)備，更具體地，涉及在其頭部的移動結(jié)構(gòu)中有所改進的臺架設(shè)備。
背景技術(shù)：
一般地，臺架設(shè)備在對半導(dǎo)體晶片或用于液晶顯示器(LCD)的玻璃進行掃描處理或沉積處理中使用。
這種傳統(tǒng)的臺架設(shè)備包括頭部和傳送裝置單元，頭部包括掃描用于LCD的玻璃的掃描器，而傳送裝置單元將頭部沿著X軸和Y軸傳送。
用這一結(jié)構(gòu)，傳統(tǒng)的臺架設(shè)備將頭部傳送到X軸和Y軸測試用于LCD的玻璃。更進一步，用于LCD的玻璃或半導(dǎo)體晶片具有標(biāo)記在其上的對齊標(biāo)記，因此掃描過程參考于此進行操作。
然而，傳統(tǒng)的臺架設(shè)備在對齊上有難度，因為傳統(tǒng)的臺架設(shè)備不包括頭部錯位時將頭部的運動和對齊標(biāo)記實現(xiàn)對齊的單獨的裝置。
因此，有必要研究一種能夠在不同的方向調(diào)整頭部的運動的新的臺架設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明總的概念的一個方面是提供一種能夠在不同的方向調(diào)整頭部運動的臺架設(shè)備。
下面將在描述中部分地闡述本方明的其他方面和優(yōu)點，通過描述，在某種程度上，本發(fā)明總的概念的其他方面和優(yōu)點將是顯而易見的，或者可以通過對本發(fā)明總的概念的實踐進行學(xué)習(xí)。
通過提供臺架設(shè)備可以實現(xiàn)本發(fā)明總的概念的上述和/或其它方面和優(yōu)點，所述臺架設(shè)備包括彼此平行放置的一對第一引導(dǎo)件；分別結(jié)合到所述一對第一引導(dǎo)件上，能夠沿著所述第一引導(dǎo)件移動的一對滑動件；結(jié)合到所述一對滑動件上，能夠沿著該滑動件移動的第二引導(dǎo)件；結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件上，能夠和所述第二引導(dǎo)件一起運動并沿著所述第二引導(dǎo)件移動的頭部；和在所述滑動件與所述第二引導(dǎo)件之間設(shè)置的轉(zhuǎn)動單元，該轉(zhuǎn)動單元用于使所述第二引導(dǎo)件繞著相對于所述滑動件和所述頭部的移動方向都垂直的直線轉(zhuǎn)動。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的一個方面，所述轉(zhuǎn)動單元可以包括驅(qū)動部分和驅(qū)動接觸部分，所述驅(qū)動部分設(shè)置在所述滑動件和所述第二滑動件中的一個上，而所述驅(qū)動接觸部分結(jié)合到所述滑動件和所述第二滑動件中的另一個上，用于當(dāng)其接觸所述驅(qū)動部分而被驅(qū)動時轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個方面，所述驅(qū)動部分可以包括驅(qū)動馬達(dá)和由于驅(qū)動馬達(dá)而轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動器，所述驅(qū)動接觸部分與所述轉(zhuǎn)動器接觸。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個方面，所述轉(zhuǎn)動器可以包括小齒輪，所述驅(qū)動接觸部分可以包括與所述小齒輪嚙合的弧形齒條。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個方面，所述轉(zhuǎn)動器可以包括滾子，所述驅(qū)動接觸部分可以包括與所述滾子嚙合的弧形滾子導(dǎo)向件。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個方面，所述轉(zhuǎn)動單元進一步包括鉸鏈，所述鉸鏈可轉(zhuǎn)動地將所述第二引導(dǎo)件的一側(cè)結(jié)合到所述滑動件上。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個方面，所述轉(zhuǎn)動單元可以包括驅(qū)動馬達(dá)，設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)上的所述滑動件之間，用于轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件；和弧形導(dǎo)向件，設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)的所述滑動件中的一個上，所述弧形導(dǎo)向件可滑動地結(jié)合到上述兩者中的另一個上。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個方面，所述導(dǎo)向件可以設(shè)置在結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)上的所述滑動件上，并可滑動地支撐所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)。
根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個方面，所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)設(shè)置有通過所述導(dǎo)向件引導(dǎo)的引導(dǎo)突起。


通過下面結(jié)合附圖進行的詳細(xì)描述，將使本發(fā)明總的概念的上述和/或其他方面和優(yōu)點將會變得更加清楚并更加易于理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明總的概念實施例的臺架設(shè)備的透視圖；圖2是圖1中的臺架設(shè)備的分解透視圖；圖3是圖1中的臺架設(shè)備的第一引導(dǎo)件和頭部的操作的透視圖；圖4是圖1中的臺架設(shè)備的第二引導(dǎo)件的操作的透視圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明總的概念另一個實施例的臺架設(shè)備的透視圖；圖6是圖5中的臺架設(shè)備的分解透視圖；圖7是圖5中的臺架設(shè)備的第二引導(dǎo)件的操作的透視圖。
具體實施例方式
下面將詳細(xì)討論本發(fā)明總的概念的實施例。在附圖中示出了本發(fā)明總的概念的例子，其中同一參考標(biāo)號始終指同一元件。為解釋本發(fā)明總的概念，下面通過參考附圖描述實施例。
如圖1到圖4所示，根據(jù)本發(fā)明總的概念實施例的臺架設(shè)備1可以包括一對第一引導(dǎo)件10，彼此平行放置；一對滑動件20，分別結(jié)合到所述一對第一引導(dǎo)件10上以沿著該對第一引導(dǎo)件10移動；第二引導(dǎo)件30，結(jié)合到所述一對滑動件20上，能夠和該對滑動件20一起移動；頭部40，結(jié)合到第二引導(dǎo)件30上，能夠和第二引導(dǎo)件30一起運動，以及能夠沿著第二引導(dǎo)件30移動；轉(zhuǎn)動單元50，設(shè)置在一對滑動件20中的一個和第二引導(dǎo)件30之間，使第二引導(dǎo)件30繞著軸線65轉(zhuǎn)動，所述軸線65相對于一對滑動件20的移動方向和頭部的滑動方向是垂直的。更進一步，根據(jù)本發(fā)明總的概念的實施例的臺架設(shè)備可以包括工作臺8，所述工作臺8設(shè)置在所述一對第一引導(dǎo)件10之間以在上面安裝如半導(dǎo)體晶片或LCD的玻璃這樣的產(chǎn)品5。
工作臺8可以是平面型的，以在其上安裝產(chǎn)品5。工作臺8可以以能夠安裝和傳送產(chǎn)品5的傳送帶的形式設(shè)置。
產(chǎn)品5可以包括將要通過掃描處理或沉積處理測試的半導(dǎo)體晶片或LCD的玻璃。然而，產(chǎn)品5可以進行各種改變，這取決于頭部40上設(shè)置的掃描器或沉積單元。產(chǎn)品5能夠標(biāo)有用于掃描過程或沉積過程的多個對齊標(biāo)記6，所述的過程能夠通過參考多個對齊標(biāo)記6進行操作。
一對第一引導(dǎo)件10對應(yīng)于一對滑動件20，而工作臺8能夠設(shè)置在一對第一引導(dǎo)件10之間。然而，第一引導(dǎo)件10可以以單個或多于3個的數(shù)目設(shè)置來支撐滑動件20。一對第一引導(dǎo)件10能夠平行地放置并能夠引導(dǎo)一對滑動件20在同樣的方向上移動。
在第一引導(dǎo)件中，可以設(shè)置對應(yīng)于滑動件20的第一突起部分21的第一容納槽11。
第一容納槽11可以是第一引導(dǎo)件10的上表面上的槽以在其中容納第一突起部分21，由此精確地引導(dǎo)滑動件20。不過，第一容納槽11也可以形成于滑動件20中，而第一突起部分21可以形成于第一引導(dǎo)件10的上表面以容納于第一容納槽中。第一容納槽11可以以如三角形截面形成，但是其也可以以如矩形、半圓形等多種圖形的截面形狀形成。
滑動件20對應(yīng)于一對第一引導(dǎo)裝置10成對地設(shè)置。然而，滑動件20可以以單個或三個以上的數(shù)目設(shè)置，這取決于第一引導(dǎo)件10的數(shù)目，以便使滑動件20在第一引導(dǎo)件上滑動。一對滑動件20可以由一對第一引導(dǎo)件10引導(dǎo)以使其沿著第一引導(dǎo)件10的長度方向運動并和所述第一引導(dǎo)件10一起移動。在滑動件20中，可以設(shè)置對應(yīng)于第一引導(dǎo)件10的第一容納槽11的第一突起部分21?；瑒蛹?0可以借助驅(qū)動單元(未示出)沿著第一引導(dǎo)件10移動。驅(qū)動單元可以包括線性馬達(dá)或滾珠絲杠和轉(zhuǎn)動滾珠絲杠的馬達(dá)，所述線性馬達(dá)從線性對齊的一般馬達(dá)產(chǎn)生線性運動，所述滾珠絲杠結(jié)合到滑動件20和第一引導(dǎo)件10上以在第一引導(dǎo)件10上滑動移動滑動件20。
第一突起部分可以從滑動件20的底表面突出，以被容納于第一引導(dǎo)件10的第一容納槽中，因而由第一引導(dǎo)件10所引導(dǎo)。第一突出部分21可以按照截面形狀為如三角形形成，但是其也可以按照截面形狀為如矩形、半圓形等各種圖形形成。
第二引導(dǎo)件30能夠結(jié)合到一對滑動件20上以與一對滑動件20一起在第一引導(dǎo)件10上滑動移動。第二引導(dǎo)件30形狀可以如長矩形柱，但是其可以按照截面形狀為如矩形、半圓形等各種形狀形成。第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a和第二側(cè)30b能夠分別結(jié)合到所述一對滑動件20上。第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a能夠通過轉(zhuǎn)動單元50(稍后描述)的鉸鏈61可轉(zhuǎn)動地結(jié)合到第一滑動件20a的上部。第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b能夠結(jié)合到第二滑動件20b的上部并變?yōu)橥ㄟ^轉(zhuǎn)動單元50的驅(qū)動單元51和驅(qū)動接觸部分58(稍后描述)繞著鉸鏈61是可轉(zhuǎn)動的。第二引導(dǎo)件30支撐著頭部40，使其沿著第二引導(dǎo)件30的長度方向被引導(dǎo)。在第二引導(dǎo)件30中設(shè)置有對應(yīng)于頭部40的第二突起部分41(稍后描述)的第二容納槽31。
第二容納槽31可以在第二引導(dǎo)件的一側(cè)開槽，以在其中容納頭部40的第二突起部分41。第二容納槽31的樣子與第一引導(dǎo)件的第一容納槽一樣，因此省略對其描述。然而，第二容納槽31可以形成于頭部40中，而第二突出部分41可以形成于第二引導(dǎo)件中，以被容納于第二引導(dǎo)件31中。
頭部40能夠結(jié)合到第二引導(dǎo)件30中，以使其沿著第二引導(dǎo)件30的長度方向是可移動的。在頭部40中，可以設(shè)置有對應(yīng)于第二容納槽的第二突起部分41。象滑動件20一樣，頭部40可以通過驅(qū)動單元50(未示出)沿著第二引導(dǎo)件30移動。這一驅(qū)動單元可以包括線性馬達(dá)，或者，滾珠絲杠和轉(zhuǎn)動滾珠絲杠的馬達(dá)，所述線性馬達(dá)從線性對齊的一般馬達(dá)中產(chǎn)生直線運動，而所述滾珠絲杠結(jié)合到頭部40和第二引導(dǎo)件30上，以使頭部40沿著第二引導(dǎo)件30滑動移動。頭部40可以包括用于對所述產(chǎn)品5進行掃描處理或沉積處理的掃描器或沉積單元。頭部40能夠探測出標(biāo)記在產(chǎn)品5上的多個對齊標(biāo)記并由此檢查是否所述頭部40正確地與產(chǎn)品5上的多個對齊標(biāo)記6對齊。通過在第一引導(dǎo)件10的長度方向上或者在第二引導(dǎo)件20的長度方向上移動頭部40，能夠匹配頭部40與所述產(chǎn)品5上的多個對齊標(biāo)記6對齊。之后，如果頭部40從多個對齊標(biāo)記6上錯位了一定的角度，那么轉(zhuǎn)動單元50能夠被驅(qū)動以使第二引導(dǎo)件30轉(zhuǎn)動一定角度，由此使頭部40和產(chǎn)品5的多個對齊標(biāo)記6對齊。
第二突起部分41可以從頭部40的一側(cè)突出，使之被容納于第二引導(dǎo)件30的第二容納槽之中同時由第二引導(dǎo)件30所引導(dǎo)。第二突起部分41可以按照截面形狀為如三角形形成，但是其也可以按照截面形狀為矩形、半圓形等各種形狀形成。
轉(zhuǎn)動單元50可以包括驅(qū)動單元51和驅(qū)動接觸部分58，所述驅(qū)動單元51設(shè)置在滑動件20和第二引導(dǎo)件中的一個中，而驅(qū)動接觸部分58設(shè)置在上述兩者中的另一個中，當(dāng)其被驅(qū)動時接觸所述驅(qū)動單元51以驅(qū)動第二引導(dǎo)件30，從而轉(zhuǎn)動第二引導(dǎo)件30。轉(zhuǎn)動單元50可以進一步包括可轉(zhuǎn)動地連接第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a和滑動件20的鉸鏈61。換言之，轉(zhuǎn)動單元50的鉸鏈61可以設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a和第一滑動件20a之間，而轉(zhuǎn)動單元50的驅(qū)動單元51和驅(qū)動接觸部分58可以設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)和第二滑動件20b之間。
在本發(fā)明總的概念的實施例中，驅(qū)動單元51可以設(shè)置在第二滑動件20b中，但是其也可以設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b中。驅(qū)動單元51可以包括轉(zhuǎn)動器55和轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)動器55的驅(qū)動馬達(dá)53。
驅(qū)動馬達(dá)53能夠產(chǎn)生轉(zhuǎn)動力，并可以通過結(jié)合器件如螺栓(未示出)結(jié)合到第二滑動件20b上，因此與第二滑動件20b一體地移動。然而，所述驅(qū)動馬達(dá)53可以結(jié)合到第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b上。
轉(zhuǎn)動器55可以通過轉(zhuǎn)動軸54結(jié)合到驅(qū)動馬達(dá)53上，以根據(jù)驅(qū)動馬達(dá)53的轉(zhuǎn)動力轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動器55可以設(shè)置為與驅(qū)動接觸部分58接合的小齒輪，但是其也可以設(shè)置為與驅(qū)動接觸部分58接觸同時在驅(qū)動接觸部分上滾動的滾子。
驅(qū)動接觸部分58能夠接觸轉(zhuǎn)動器55，并可以通過結(jié)合器件，如螺栓(未示出)，結(jié)合到第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)上。然而，驅(qū)動接觸部分58也可以與驅(qū)動單元51一致地結(jié)合到所述滑動件20b上。驅(qū)動接觸部分58能夠與轉(zhuǎn)動器55的小齒輪接合，并可以包括弧形齒條?；蛘?，驅(qū)動接觸部分58可以設(shè)置為弧形滾子導(dǎo)向件以與轉(zhuǎn)動器55接觸同時使轉(zhuǎn)動器55在該滾子導(dǎo)向件上滾動。這里，如果設(shè)置在第二引導(dǎo)件20b上的驅(qū)動馬達(dá)53轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)動器55，則結(jié)合到第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b的驅(qū)動接觸部分58移動而使第二引導(dǎo)件30繞著軸線65轉(zhuǎn)動。
鉸鏈61能夠設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a和第一滑動件20a之間，并能夠可轉(zhuǎn)動地支撐第二引導(dǎo)件30。鉸鏈61可以包括鉸鏈銷孔63，該鉸鏈銷孔63設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第一例30a上以在其中容納鉸鏈銷62。
鉸鏈銷62可以設(shè)置在第一滑動件20a上，或者設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a上。相對于滑動件20的移動方向和頭部40的移動方向，鉸鏈銷62的軸線可以與軸線65是一樣的?；瑒蛹?0的滑動方向和頭部40的移動方向可以垂直也可以不垂直。更進一步，鉸鏈62的軸線65可以與或可以不與滑動件20的移動方向和頭部40的移動方向垂直。
鉸鏈銷孔63可以設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a上，但是它也可以根據(jù)鉸鏈銷設(shè)置在第一滑動件20a上。更進一步，鉸鏈銷孔63相對于鉸鏈銷是可轉(zhuǎn)動的，但是它可以克服摩擦力轉(zhuǎn)動。
采用這一結(jié)構(gòu)，參考圖3和圖4，根據(jù)本發(fā)明總的概念的實施例的臺架設(shè)備操作如下。
首先，一對滑動件20a和20b能夠沿著第一引導(dǎo)件10的長度方向移動，而頭部在驅(qū)動單元(未示出)的作用下能夠沿著第二引導(dǎo)件30的長度方向移動。在頭部沿著第一引導(dǎo)件10的長度方向和第二引導(dǎo)件30的長度方向運動的過程中，檢查頭部40是否正確地與產(chǎn)品5上的對齊標(biāo)記6對齊。如果頭部與對齊標(biāo)記6錯位一定的角度，則能夠用轉(zhuǎn)動單元50使第二引導(dǎo)件30轉(zhuǎn)動一定的角度使轉(zhuǎn)動頭部40和多個對齊標(biāo)記6正確地對齊。換言之，驅(qū)動轉(zhuǎn)動單元50的驅(qū)動馬達(dá)53轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動器55進而使驅(qū)動接觸單元與第二引導(dǎo)件30和頭部一體地繞著鉸鏈銷62轉(zhuǎn)動。
因此，根據(jù)本發(fā)明總的概念的一個方面的臺架設(shè)備1，通過使頭部40在第一引導(dǎo)件10和第二引導(dǎo)件30的長度方向上是可移動的并且繞著第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a是可轉(zhuǎn)動的，從而能夠在不同的方向調(diào)整頭部40的運動。更進一步，頭部能夠簡單地與產(chǎn)品5上的對齊標(biāo)記對齊，因為頭部40能夠在不同的方向上移動。
如圖5至圖7所示，根據(jù)本發(fā)明總的概念的另一個實施例的臺架設(shè)備101的轉(zhuǎn)動單元150可以包括驅(qū)動馬達(dá)161，所述的驅(qū)動馬達(dá)161設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a和第一滑動件20a之間并轉(zhuǎn)動第二引導(dǎo)件30，因而第二實施例不同于第一實施例。轉(zhuǎn)動單元150能夠設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b和第二滑動件20b中的一個上，并可以進一步包括弧形導(dǎo)向件151，其滑動地結(jié)合在第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b和第二滑動件20b中的另一個上。
驅(qū)動馬達(dá)161可以結(jié)合到第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a和結(jié)合到該第一側(cè)30a的第一滑動件20a中的一個上以轉(zhuǎn)動第二引導(dǎo)件30。驅(qū)動馬達(dá)161能夠結(jié)合到第一滑動件20a上，并能夠與第一滑動件20a一起移動。更進一步，在第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a上可以設(shè)置轉(zhuǎn)動軸結(jié)合部分163，驅(qū)動馬達(dá)161的轉(zhuǎn)動軸162一體地結(jié)合到轉(zhuǎn)動軸結(jié)合部分163上以使之和轉(zhuǎn)動軸162一體地轉(zhuǎn)動。然而，驅(qū)動馬達(dá)161可以設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第一例30a上，而轉(zhuǎn)動軸結(jié)合部分163可以設(shè)置在第一滑動件20a上。
導(dǎo)向件151可以設(shè)置在第二滑動件20b上并結(jié)合到第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b上，以使其滑動地支撐第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b。導(dǎo)向件151可以通過結(jié)合器件如螺栓(未示出)結(jié)合到第二滑動件20b上。在導(dǎo)向件151中可以設(shè)置容納引導(dǎo)突起155(稍后描述)的弧形引導(dǎo)槽153，所述引導(dǎo)突起155設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b上。
引導(dǎo)突起155可以設(shè)置在第二引導(dǎo)件30的第二側(cè)30b中，由導(dǎo)向件151引導(dǎo)。換言之，引導(dǎo)突起155與結(jié)合到第二滑動件20b上的導(dǎo)向件151的引導(dǎo)槽153接合并由導(dǎo)向件151所引導(dǎo)。在引導(dǎo)突起155中，可以相對于導(dǎo)向件151設(shè)置滾動接觸滾子(未示出)。
采用這一結(jié)構(gòu)，根據(jù)本發(fā)明總的概念的這一實施例的臺架設(shè)備101操作如下。
首先，如圖1和圖2所示的本發(fā)明總的概念的以前的實施例中所描述的，頭部40沿著第一引導(dǎo)件10的長度方向和第二引導(dǎo)件30的長度方向移動以檢查是否頭部40與產(chǎn)品5上的對齊標(biāo)記6正確地對齊。更進一步，如果頭部40與對齊標(biāo)記6錯位一定的角度，那么能夠使用轉(zhuǎn)動單元150通過將第二引導(dǎo)件30轉(zhuǎn)動一定的角度而使頭部40和多個對齊標(biāo)記6正確地對齊。換言之，驅(qū)動轉(zhuǎn)動單元150的驅(qū)動馬達(dá)161使第二引導(dǎo)件30和頭部40繞著驅(qū)動馬達(dá)161的轉(zhuǎn)動軸162轉(zhuǎn)動。
因此，根據(jù)本發(fā)明總的概念的這一實施例的臺架設(shè)備，通過使頭部40在第一引導(dǎo)件10和第二引導(dǎo)件30的長度方向上是可移動的并且繞著第二引導(dǎo)件30的第一側(cè)30a是可轉(zhuǎn)動的，從而能夠在不同的方向調(diào)整頭部40的運動。更進一步，頭部40能夠與產(chǎn)品5上的對齊標(biāo)記6簡單地對齊，因為頭部40能夠在所述的不同方向上移動。
盡管已經(jīng)表示和描述了根據(jù)總的本發(fā)明概念的實施例，但是本發(fā)明總的概念不應(yīng)該被局限于所述的實施例。相反，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離本發(fā)明總的概念的原理和精神和權(quán)利要求及其等同物所限定的范圍的情況下，可以對實施例做出變化。
權(quán)利要求
1.一種臺架設(shè)備，包括一對第一引導(dǎo)件，相互平行地放置；一對滑動件，分別結(jié)合到所述一對第一引導(dǎo)件上以沿著所述第一引導(dǎo)件移動；第二引導(dǎo)件，結(jié)合到所述一對滑動件上以與所述滑動件一起移動；頭部，結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件上，能夠與所述第二引導(dǎo)件一起移動，并能夠沿著所述第二引導(dǎo)件移動；轉(zhuǎn)動單元，設(shè)置在所述滑動件和所述第二引導(dǎo)件之間以控制所述第二引導(dǎo)件繞著垂直于所述滑動件和頭部的移動方向的線轉(zhuǎn)動。
2.如權(quán)利要求1所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動單元包括驅(qū)動單元和驅(qū)動接觸部分，所述驅(qū)動單元設(shè)置在所述一對滑動件中的一個和所述第二引導(dǎo)件兩者中的一個中，而所述驅(qū)動接觸單元結(jié)合到上述兩者中的另一個上，在被驅(qū)動接觸所述驅(qū)動部分的同時控制所述第二引導(dǎo)件轉(zhuǎn)動。
3.如權(quán)利要求2所述的臺架設(shè)備，其中，所述驅(qū)動單元包括轉(zhuǎn)動器、轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)動器的驅(qū)動單元，所述驅(qū)動接觸部分與所述轉(zhuǎn)動器接觸。
4.如權(quán)利要求3所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動器包括小齒輪，而所述驅(qū)動接觸部分包括與所述小齒輪嚙合的弧形齒條。
5.如權(quán)利要求2所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動單元進一步包括鉸鏈，所述鉸鏈可轉(zhuǎn)動地將所述第二引導(dǎo)件的一側(cè)結(jié)合到所述一對滑動件的所述一個上。
6.如權(quán)利要求3所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動器包括滾子，而所述驅(qū)動接觸部分包括與所述滾子接合的弧形滾子導(dǎo)向件。
7.如權(quán)利要求1所述的臺架設(shè)備，其中，所述第二引導(dǎo)件包括第一側(cè)和第二側(cè)，而所述轉(zhuǎn)動單元包括驅(qū)動馬達(dá)，設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)上的所述滑動件之間以轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件；弧形導(dǎo)向件，設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)上的滑動件兩者之中的一個中，以被結(jié)合到上述兩者中的另一個上。
8.如權(quán)利要求7所述的臺架設(shè)備，其中，所述導(dǎo)向件設(shè)置在結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)上的所述滑動件上，以滑動地支撐所述導(dǎo)向件的第二側(cè)。
9.如權(quán)利要求8所述的臺架設(shè)備，其中，引導(dǎo)突起形成于所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)以被所述導(dǎo)向件所引導(dǎo)。
10.如權(quán)利要求1所述的臺架設(shè)備，進一步包括在所述一對第一引導(dǎo)件之間的工作臺以在其上安置產(chǎn)品。
11.如權(quán)利要求10所述的臺架設(shè)備，其中，所述產(chǎn)品包括半導(dǎo)體和用于液晶顯示器的玻璃中的一個。
12.如權(quán)利要求1所述的臺架設(shè)備，其中，每個滑動件包括突起部分，每個第一引導(dǎo)件包括容納槽，該容納槽容納所述突起部分并引導(dǎo)所述滑動件中每個對應(yīng)的滑動件。
13.如權(quán)利要求1所述的臺架設(shè)備，其中，所述頭部包括突起部分，而第二引導(dǎo)件包括容納所述突起部分并引導(dǎo)所述頭部的容納槽。
14.如權(quán)利要求1所述的臺架設(shè)備，其中，所述頭部包括掃描器和沉積單元中的至少一個。
15.一種臺架設(shè)備，包括一對第一引導(dǎo)件，相互平行地放置；一對滑動件，分別結(jié)合到所述一對第一引導(dǎo)件上以在第一方向沿著所述第一引導(dǎo)件移動；第二引導(dǎo)件，結(jié)合到所述一對滑動件上以與所述一對滑動件一起在所述第一方向上移動；頭部，結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件上以與所述第二引導(dǎo)件一起在所述第一方向上移動，并可移動地放置在所述第二引導(dǎo)件上以在第二方向上沿著所述第二引導(dǎo)件移動；轉(zhuǎn)動單元，放置在所述第二引導(dǎo)件和所述滑動件之間以在第三方向上移動所述第二引導(dǎo)件和所述頭部。
16.如權(quán)利要求15所述的臺架設(shè)備，其中，所述第一和第二方向是直線方向，所述第三方向是曲線方向。
17.如權(quán)利要求16所述的臺架設(shè)備，其中，所述第三方向是繞著與所述第一方向和所述第二方向垂直的線的曲線方向。
18.如權(quán)利要求15所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動單元包括驅(qū)動單元和驅(qū)動接觸部分，所述驅(qū)動部分設(shè)置在所述一對滑動件中的一個和所述第二引導(dǎo)件兩者中的一個上，而所述驅(qū)動接觸部分結(jié)合到上述兩者中的另一個上，在被驅(qū)動接觸所述驅(qū)動部分的同時控制所述第二引導(dǎo)件轉(zhuǎn)動。
19.如權(quán)利要求18所述的臺架設(shè)備，其中，所述驅(qū)動單元包括轉(zhuǎn)動器和轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)動器的驅(qū)動馬達(dá)，所述驅(qū)動接觸部分與所述轉(zhuǎn)動器接觸。
20.如權(quán)利要求19所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動器包括小齒輪，驅(qū)動接觸部分包括與所述小齒輪相嚙合的弧形齒條。
21.如權(quán)利要求19所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動器包括滾子，而驅(qū)動接觸部分包括弧形滾子導(dǎo)向件以與所述滾子相接合。
22.如權(quán)利要求19所述的臺架設(shè)備，其中，所述轉(zhuǎn)動單元進一步包括鉸鏈，所述鉸鏈將所述第二引導(dǎo)件的一側(cè)結(jié)合到所述一對滑動件的一個上。
23.如權(quán)利要求15所述的臺架設(shè)備，其中，所述第二引導(dǎo)件包括第一側(cè)和第二側(cè)，所述轉(zhuǎn)動單元包括驅(qū)動馬達(dá)，設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)上的所述滑動件之間，以轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件；弧形導(dǎo)向件，設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)上的所述滑動件兩者中的一個中，并被結(jié)合到上述兩者中的另一個上。
24.如權(quán)利要求23所述的臺架設(shè)備，其中，所述導(dǎo)向件設(shè)置在結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)上的所述滑動件中，以可滑動地支撐所述導(dǎo)向件的第二側(cè)。
25.如權(quán)利要求24所述的臺架設(shè)備，其中，引導(dǎo)突起形成于所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)上以由所述導(dǎo)向件所引導(dǎo)。
26.一種對齊臺架設(shè)備的頭部的方法，該方法包括通過沿著一對第一引導(dǎo)件移動分別結(jié)合到該一對第一引導(dǎo)件上的一對滑動件，將頭部沿著蓋一對第一引導(dǎo)件的長度方向移動；通過沿著第二引導(dǎo)件移動結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件上的頭部，將所述頭部沿著結(jié)合到所述一對滑動件上的所述第二引導(dǎo)件的長度方向移動；繞著與所述滑動件和所述頭部的移動方向垂直的線轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件，以使所述頭部正確地對齊產(chǎn)品上的多個對齊標(biāo)記。
27.如權(quán)利要求26所述的方法，其中，轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件包括控制結(jié)合在所述滑動件中的一個上的驅(qū)動馬達(dá)，以轉(zhuǎn)動連接到所述驅(qū)動馬達(dá)上的轉(zhuǎn)動器；驅(qū)動接觸所述轉(zhuǎn)動器并結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)的驅(qū)動接觸部分；使所述第二引導(dǎo)件繞著鉸鏈銷轉(zhuǎn)動，所述鉸鏈銷可轉(zhuǎn)動地將所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)和相應(yīng)的所述滑動件結(jié)合在一起。
28.如權(quán)利要求26所述的方法，其中，轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件包括控制驅(qū)動馬達(dá)以轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件，該驅(qū)動馬達(dá)設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第一側(cè)上的滑動件之間；采用弧形導(dǎo)向件引導(dǎo)所述第二引導(dǎo)件，所述弧形導(dǎo)向件設(shè)置在所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)和結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件的第二側(cè)上的滑動件兩者中的一個中，并能夠滑動地結(jié)合到上述兩者中的另一個上。
全文摘要
一種臺架設(shè)備包括一對第一引導(dǎo)件，相互平行地放置；一對滑動件，分別結(jié)合到所述一對第一引導(dǎo)件上以與該第一引導(dǎo)件一起移動；第二引導(dǎo)件，結(jié)合到所述一對滑動件上沿著該滑動件移動；頭部，結(jié)合到所述第二引導(dǎo)件上以便和所述第二引導(dǎo)件一起移動并沿著該第二引導(dǎo)件移動；轉(zhuǎn)動單元，設(shè)置在所述滑動件和所述第二引導(dǎo)件之間并繞著軸線轉(zhuǎn)動所述第二引導(dǎo)件，所述軸線與所述滑動件和所述頭部的移動方向垂直。所述臺架設(shè)備能夠在不同的方向調(diào)整所述頭部的運動。
文檔編號H01L21/68GK1713365SQ200510077400
公開日2005年12月28日 申請日期2005年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月25日
發(fā)明者金東億, 崔相軫, 吳種漢 申請人:三星電子株式會社