国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      防震系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:6854467閱讀:186來源:國知局
      專利名稱:防震系統(tǒng)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明是有關(guān)于一種防震系統(tǒng),特別是有關(guān)于一種用于保護(hù)半導(dǎo)體制造設(shè)備的防震系統(tǒng)。
      背景技術(shù)
      圖1顯示一種現(xiàn)有用于保護(hù)半導(dǎo)體制造設(shè)備的防震結(jié)構(gòu),其是將機(jī)臺10鎖固于底座(base)20之上,并將底座20利用粘著劑21加強(qiáng)固定于基礎(chǔ)面30之上。
      當(dāng)?shù)卣饋硪u時,因底座20無法吸收地震力,故地震力將完全傳遞至機(jī)臺10,而造成機(jī)臺10的損壞。因此,機(jī)臺10中設(shè)置感測器會在感測到地震的來襲時,停止機(jī)臺10中的制程動作,以避免造成產(chǎn)品的毀壞。
      然而,因為底座20無法吸收震動,因此,當(dāng)中大型地震來襲時,昂貴而精密的機(jī)臺很有可能會被震壞而造成龐大的損失。
      美國早期公開第20030122681號專利申請案揭露一種裝置與方法,當(dāng)振動(由地震或其他震動所引起)傳遞至機(jī)臺10時,機(jī)臺10中的控制器會自動關(guān)閉機(jī)臺10,以避免造成產(chǎn)品的毀壞。只是產(chǎn)品在機(jī)臺10被關(guān)閉之前可能早已損壞。
      總之,目前確實需要一種能有效防止地震力損傷機(jī)臺的防震系統(tǒng)。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題,而提供一種防震系統(tǒng),用以降低一機(jī)臺所吸收的震動。此防震系統(tǒng)包括一第一可動裝置,設(shè)于機(jī)臺與一基礎(chǔ)面之間,當(dāng)基礎(chǔ)面承受一震動力時,第一可動裝置容許機(jī)臺于基礎(chǔ)面上滑動,以防止震動力傳遞至機(jī)臺。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一阻尼器,設(shè)于該機(jī)臺上,以吸收該震動力。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一彈簧,設(shè)于該機(jī)臺上,以限制該機(jī)臺在承受該震動力時的位移量。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),該第一可動裝置為一磁鐵。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一第二可動裝置,設(shè)于該機(jī)臺之上,以限制該機(jī)臺的滑動路徑。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),該第一可動裝置為一電磁鐵。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一防震控制器,該防震控制器與該機(jī)臺的一機(jī)臺控制器相耦接,當(dāng)該機(jī)臺控制器因為該機(jī)臺的不正常震動而停止該機(jī)臺的運作時,該防震控制器停止該第一可動裝置的電源供應(yīng),以容許該機(jī)臺滑動。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),該機(jī)臺為長方體,具有平行且相對的二長側(cè)面以及二短側(cè)面。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括多個阻尼器,以垂直該等長側(cè)面的方式設(shè)于該等長側(cè)面之上,以吸收該震動力。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括多個彈簧,以垂直該等長側(cè)面的方式設(shè)于該等長側(cè)面之上,以限制該機(jī)臺在承受該震動力時的位移量。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),該第一可動裝置為一電磁鐵。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一防震控制器,該防震控制器與該機(jī)臺的一機(jī)臺控制器相耦接,當(dāng)該機(jī)臺控制器因為該機(jī)臺的不正常震動而停止該機(jī)臺的運作時,該防震控制器停止該第一可動裝置的電源供應(yīng),以容許該機(jī)臺滑動。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一第二可動裝置,設(shè)于該機(jī)臺的該等短側(cè)面之上,以限制該機(jī)臺的滑動路徑。
      本發(fā)明還提供一種防震系統(tǒng),所述防震系統(tǒng)包括一第一可動裝置,設(shè)于一機(jī)臺與一基礎(chǔ)面之間,當(dāng)該基礎(chǔ)面承受一震動力時,該第一可動裝置容許該機(jī)臺于該基礎(chǔ)面上滑動,以防止該震動力從該基礎(chǔ)面?zhèn)鬟f至該機(jī)臺;一底座,設(shè)于該第一可動裝置與該機(jī)臺之間,以吸收該震動力。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一阻尼器,設(shè)于該底座上,以吸收該震動力。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一彈簧,設(shè)于該底座上,以限制該機(jī)臺在承受該震動力時的位移量。
      本發(fā)明所述的防震系統(tǒng),更包括一第二可動裝置,設(shè)于該底座之上,以限制該機(jī)臺的滑動路徑。
      本發(fā)明的防震系統(tǒng)可以有效的防止地震力傳遞至機(jī)臺,因此可避免機(jī)臺于地震時損傷。且由于本發(fā)明具有彈簧、阻尼器等裝置,可限制機(jī)臺在地震時的位移量。


      圖1是顯示現(xiàn)有的防震結(jié)構(gòu);圖2是顯示本發(fā)明的防震系統(tǒng)的側(cè)視剖面圖;圖3是顯示本發(fā)明的防震系統(tǒng)的俯視圖;圖4是顯示本發(fā)明的防震系統(tǒng)的電路方塊圖;圖5是顯示本發(fā)明的防震系統(tǒng)設(shè)置于廠房之中的情形;圖6是顯示本發(fā)明的防震系統(tǒng)設(shè)置于地板下方的情形。
      具體實施例方式
      參照圖2,本發(fā)明的防震系統(tǒng)包括底座20、第一可動裝置110、阻尼器120以及固定結(jié)構(gòu)150。機(jī)臺10設(shè)于底座20之上。第一可動裝置110設(shè)于底座20與基礎(chǔ)面30之間。阻尼器120設(shè)于底座20與固定結(jié)構(gòu)150之間。
      底座20可以是(例如)金屬制品,而第一可動裝置110可以為一磁鐵(特別是一電磁鐵),用以吸附于底座20之上。
      在正常操作的情況下(未發(fā)生震動時),第一可動裝置110將機(jī)臺10固定于基礎(chǔ)面30上的一固定位置。當(dāng)基礎(chǔ)面30承受一震動力時,第一可動裝置110將釋放機(jī)臺10,并容許機(jī)臺10于基礎(chǔ)面30的X軸上滑動,以防止震動力傳遞至機(jī)臺10。同時,由于機(jī)臺10的滑動,機(jī)臺10推動阻尼器120,使得部分的震動力被阻尼器120所吸收。
      請參照圖3,本發(fā)明的防震系統(tǒng)更包括彈簧130以及第二可動裝置140。彈簧130設(shè)于底座20與固定結(jié)構(gòu)150之間。第二可動裝置140設(shè)于底座20之上。在本實施例中,第二可動裝置140為滾輪,可沿溝槽141滾動而限制機(jī)臺10的滑動路徑。
      當(dāng)基礎(chǔ)面30承受一震動力時,第二可動裝置140限制機(jī)臺10的滑動路徑,使機(jī)臺10于基礎(chǔ)面30的X軸上滑動。同時,機(jī)臺10推動阻尼器120以及彈簧130。阻尼器120可吸收部分的震動力。彈簧130可防止機(jī)臺10過度壓縮阻尼器120而發(fā)生碰撞的情形,且利用彈簧130的彈力,可使機(jī)臺10于X軸上充分的往復(fù)運動,因而使大部分的地震力被阻尼器120所吸收。
      參照圖4,本發(fā)明的防震系統(tǒng)更包括一防震控制器100,防震控制器100與機(jī)臺10的機(jī)臺控制器11相耦接。當(dāng)機(jī)臺控制器11因為機(jī)臺10的不正常震動而停止機(jī)臺10的運作時,防震控制器100關(guān)閉第一可動裝置(為電磁鐵時)的電源101,以釋放并容許機(jī)臺10滑動。
      上述的底座20可被省略,而第一可動裝置110、第二可動裝置140、阻尼器120以及彈簧130可直接設(shè)于機(jī)臺10之上,以簡化防震系統(tǒng)。
      本發(fā)明的防震系統(tǒng)可以有效的防止地震力傳遞至機(jī)臺,因此可避免機(jī)臺于地震時損傷。且由于本發(fā)明具有彈簧、阻尼器等裝置,可使機(jī)臺在地震后復(fù)位。
      應(yīng)用實施例參照圖5,其顯示本發(fā)明的防震系統(tǒng)應(yīng)用于廠房40之中時的情形。在圖5中,機(jī)臺10旁設(shè)有阻尼器120、彈簧130、第二可動裝置140、溝槽141以及固定結(jié)構(gòu)150。
      以下說明應(yīng)用于廠房的防震系統(tǒng)的細(xì)部結(jié)構(gòu)。
      參照圖2,本發(fā)明的防震系統(tǒng)包括底座20、第一可動裝置110、阻尼器120以及固定結(jié)構(gòu)150。機(jī)臺10設(shè)于底座20之上。第一可動裝置110設(shè)于底座20與基礎(chǔ)面30之間。阻尼器120設(shè)于底座20與固定結(jié)構(gòu)150之間。
      底座20可以是(例如)金屬制品,而第一可動裝置110可以為一磁鐵(特別是一電磁鐵),用以吸附于底座20之上。
      在正常操作的情況下(未發(fā)生震動時),第一可動裝置110將機(jī)臺10固定于基礎(chǔ)面30上的一固定位置。當(dāng)基礎(chǔ)面30承受一震動力時,第一可動裝置110將釋放機(jī)臺10,并容許機(jī)臺10于基礎(chǔ)面30的X軸上滑動,以防止震動力傳遞至機(jī)臺10。同時,由于機(jī)臺10的滑動,機(jī)臺10推動阻尼器120,使得部分的震動力被阻尼器120所吸收。
      請參照圖3,本發(fā)明的防震系統(tǒng)更包括彈簧130以及第二可動裝置140。彈簧130設(shè)于底座20與固定結(jié)構(gòu)150之間。第二可動裝置140設(shè)于底座20之上。在本實施例中,第二可動裝置140為滾輪,可沿溝槽141滾動而限制機(jī)臺10的滑動路徑。
      當(dāng)基礎(chǔ)面30承受一震動力時,第二可動裝置140限制機(jī)臺10的滑動路徑,使機(jī)臺10于基礎(chǔ)面30的X軸上滑動。同時,機(jī)臺10推動阻尼器120以及彈簧130。阻尼器120可吸收部分的震動力。彈簧130可防止機(jī)臺10過度壓縮阻尼器120而發(fā)生碰撞的情形,且利用彈簧130的彈力,可使機(jī)臺10于X軸上充分的往復(fù)運動,因而使大部分的地震力被阻尼器120所吸收。
      參照圖4,本發(fā)明的防震系統(tǒng)更包括一防震控制器100,防震控制器100與機(jī)臺10的機(jī)臺控制器11相耦接。當(dāng)機(jī)臺控制器11因為機(jī)臺10的不正常震動而停止機(jī)臺10的運作時,防震控制器100關(guān)閉第一可動裝置(為電磁鐵時)的電源101,以釋放并容許機(jī)臺10滑動。
      上述的底座20可被省略,而第一可動裝置110、第二可動裝置140、阻尼器120以及彈簧130可直接設(shè)于機(jī)臺10之上,以簡化防震系統(tǒng)。
      參照圖5,機(jī)臺10為長方體,其具有平行且相對的二長側(cè)面以及二短側(cè)面。阻尼器120以及彈簧130以垂直該等長側(cè)面的方式設(shè)于機(jī)臺10的長側(cè)面之上。第二可動裝置140設(shè)于機(jī)臺10的短側(cè)面之上。當(dāng)震動發(fā)生時,機(jī)臺10將于固定結(jié)構(gòu)150之間有限度的滑動,因此并不會彼此碰撞。
      參照圖6,當(dāng)防震系統(tǒng)實際應(yīng)用于廠房之中時,第一可動裝置110、第二可動裝置140、阻尼器120、彈簧130、溝槽141、固定結(jié)構(gòu)150以及基礎(chǔ)面30可設(shè)于地板50之下。地板50與底座20之間具有一間隙d,以容許機(jī)臺10在X軸上的滑動。
      本發(fā)明的防震系統(tǒng)可以有效的防止地震力傳遞至機(jī)臺,因此可避免機(jī)臺于地震時損傷。且由于本發(fā)明具有彈簧、阻尼器等裝置,可使機(jī)臺在地震后復(fù)位。
      以上所述僅為本發(fā)明較佳實施例,然其并非用以限定本發(fā)明的范圍,任何熟悉本項技術(shù)的人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),可在此基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)和變化,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以本申請的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。
      附圖中符號的簡單說明如下10機(jī)臺11機(jī)臺控制器20底座21粘著劑30基礎(chǔ)面40廠房50地板100防震控制器110第一可動裝置101第一可動裝置的電源120阻尼器130彈簧140第二可動裝置141溝槽150固定結(jié)構(gòu)d間隙
      權(quán)利要求
      1.一種防震系統(tǒng),其特征在于所述防震系統(tǒng)包括一第一可動裝置,設(shè)于一機(jī)臺與一基礎(chǔ)面之間,當(dāng)該基礎(chǔ)面承受一震動力時,該第一可動裝置容許該機(jī)臺于該基礎(chǔ)面上滑動,以防止該震動力從該基礎(chǔ)面?zhèn)鬟f至該機(jī)臺。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一阻尼器,設(shè)于該機(jī)臺上,以吸收該震動力。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一彈簧,設(shè)于該機(jī)臺上,以限制該機(jī)臺在承受該震動力時的位移量。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防震系統(tǒng),其特征在于該第一可動裝置為一磁鐵。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一第二可動裝置,設(shè)于該機(jī)臺之上,以限制該機(jī)臺的滑動路徑。
      6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防震系統(tǒng),其特征在于該第一可動裝置為一電磁鐵。
      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一防震控制器,該防震控制器與該機(jī)臺的一機(jī)臺控制器相耦接,當(dāng)該機(jī)臺控制器因為該機(jī)臺的不正常震動而停止該機(jī)臺的運作時,該防震控制器停止該第一可動裝置的電源供應(yīng),以容許該機(jī)臺滑動。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防震系統(tǒng),其特征在于該機(jī)臺為長方體,具有平行且相對的二長側(cè)面以及二短側(cè)面。
      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括多個阻尼器,以垂直該長側(cè)面的方式設(shè)于該長側(cè)面之上,以吸收該震動力。
      10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括多個彈簧,以垂直該長側(cè)面的方式設(shè)于該長側(cè)面之上,以限制該機(jī)臺在承受該震動力時的位移量。
      11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防震系統(tǒng),其特征在于該第一可動裝置為一電磁鐵。
      12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一防震控制器,該防震控制器與該機(jī)臺的一機(jī)臺控制器相耦接,當(dāng)該機(jī)臺控制器因為該機(jī)臺的不正常震動而停止該機(jī)臺的運作時,該防震控制器停止該第一可動裝置的電源供應(yīng),以容許該機(jī)臺滑動。
      13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一第二可動裝置,設(shè)于該機(jī)臺的該短側(cè)面之上,以限制該機(jī)臺的滑動路徑。
      14.一種防震系統(tǒng),其特征在于所述防震系統(tǒng)包括一第一可動裝置,設(shè)于一機(jī)臺與一基礎(chǔ)面之間,當(dāng)該基礎(chǔ)面承受一震動力時,該第一可動裝置容許該機(jī)臺于該基礎(chǔ)面上滑動,以防止該震動力從該基礎(chǔ)面?zhèn)鬟f至該機(jī)臺;一底座,設(shè)于該第一可動裝置與該機(jī)臺之間,以吸收該震動力。
      15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一阻尼器,設(shè)于該底座上,以吸收該震動力。
      16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一彈簧,設(shè)于該底座上,以限制該機(jī)臺在承受該震動力時的位移量。
      17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的防震系統(tǒng),其特征在于更包括一第二可動裝置,設(shè)于該底座之上,以限制該機(jī)臺的滑動路徑。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種防震系統(tǒng),包括一第一可動裝置,設(shè)于一機(jī)臺與一基礎(chǔ)面之間,當(dāng)基礎(chǔ)面承受一震動力時,第一可動裝置容許機(jī)臺于基礎(chǔ)面上滑動,以防止震動力傳遞至機(jī)臺。本發(fā)明的防震系統(tǒng)可以有效的防止地震力傳遞至機(jī)臺,因此可避免機(jī)臺于地震時損傷。且由于本發(fā)明具有彈簧、阻尼器等裝置,可限制機(jī)臺在地震時的位移量。
      文檔編號H01L21/00GK1769738SQ200510102998
      公開日2006年5月10日 申請日期2005年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月16日
      發(fā)明者邱瑜燕, 彭瑞君, 易偉立, 姚昭智 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
      1