專利名稱：真空系統(tǒng)及其預警方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空系統(tǒng)，尤其涉及一種具有預警能力的真空系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導體工業(yè)于近年來發(fā)展快速，而電子技術(shù)亦日新月異，因此，功能更為強大的電子產(chǎn)品不斷被推出。一般，半導體材料會經(jīng)過多道半導體工藝處理，包括薄膜沉積(Thin Film Deposition)、蝕刻(Etching)、離子注入(IonImplantation)及光刻(Lithography)等工藝，使其具有特定的電性性質(zhì)。其中，進行半導體工藝的這些機臺都要利用真空系統(tǒng)來使機臺維持于適當壓力下操作。換言之，真空系統(tǒng)是用于提供具有高真空(即低氣壓力)的環(huán)境，因此，半導體工藝便能在特定的氣態(tài)環(huán)境(Gaseous Ambient)下，而給予適當?shù)奈锢?、化學功能于硅晶片(Silicon Wafer)上。在半導體工藝中，真空系統(tǒng)的機臺或反應(yīng)室(Chamber)的真空條件必須加以控制管理，來避免晶片受到污染，進而影響生產(chǎn)良率。傳統(tǒng)上，為使真空系統(tǒng)的各機臺能于設(shè)定范圍內(nèi)正常運轉(zhuǎn)，需藉由人工定時檢查各機臺，于異常時加以控制或關(guān)閉。
然而，傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)依賴人工定時檢測來提供適當?shù)念A警，不僅耗費許多人力成本，更無法動態(tài)地反應(yīng)和解決機臺異常的發(fā)生。因此，傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)的預警能力不足，并且耗費成本。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的是提供一種真空系統(tǒng)，其適于一半導體工藝，能有效改善現(xiàn)有的真空系統(tǒng)預警能力的不足，并能節(jié)省成本。
本發(fā)明的再一目的是提供一種真空系統(tǒng)的預警方法，其適于提供真空系統(tǒng)動態(tài)的預警能力。
基于上述目的或其他目的，本發(fā)明提出一種真空系統(tǒng)，其適于一半導體工藝。此真空系統(tǒng)包括多個機臺、多個感測器以及一預警與控制單元。這些感測器分別配設(shè)于這些機臺，以進行感測并輸出多個感測值。預警與控制單元是與這些機臺和這些感測器電性相連，用以接收來自這些感測器的這些感測值。其中，當一第一條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一預警信號，而當一第二條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一終止信號。
依照本發(fā)明一實施例，這些機臺例如是包括一反應(yīng)室與一負壓系統(tǒng)。
依照本發(fā)明一實施例，這些機臺可再包括一洗滌塔、一抽氣泵浦與一緩沖反應(yīng)室。
依照本發(fā)明一實施例，這些感測器之一包括溫度感測器、壓力感測器、氣體流量計、電壓計或電流計。
依照本發(fā)明一實施例，上述的第一條件可以是這些感測值之一超出對應(yīng)的一設(shè)定值范圍。
依照本發(fā)明一實施例，上述的第二條件可以是這些感測值中選擇的至少二感測值超出對應(yīng)的設(shè)定值范圍。
依照本發(fā)明一實施例，上述的終止信號可以是令這些機臺之一停止運轉(zhuǎn)。
依照本發(fā)明一實施例，上述的終止信號可以是令所有機臺停止運轉(zhuǎn)，以關(guān)閉真空系統(tǒng)。
依照本發(fā)明一實施例，預警與控制單元可以是可編程邏輯控制器。
依照本發(fā)明一實施例，預警與控制單元可以是中央微處理器。
基于上述目的或其他目的，本發(fā)明再提出一種真空系統(tǒng)的預警方法，適用于一半導體工藝。此真空系統(tǒng)的預警方法包括如下。首先，提供多個感測器，這些感測器分別配設(shè)于多個機臺，以分別取得各個機臺的多個感測值并輸出這些感測值。再提供一預警與控制單元，其與這些感測器和這些機臺電性連接，以接收這些感測值，其中的這些感測值為溫度值、壓力值、氣體流量、電壓值與電流值其中之一。并且，當一第一條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一預警信號，其中的第一條件包括這些感測值之一超出對應(yīng)的一設(shè)定值范圍；當一第二條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一終止信號，其中的第二條件包括這些感測值中可選擇的至少二感測值超出對應(yīng)的設(shè)定值范圍。
依照本發(fā)明另一實施例，預警與控制單元可以是可編程邏輯控制器。
依照本發(fā)明另一實施例，預警與控制單元可以是中央微處理器。
基于上述，由于本發(fā)明的真空系統(tǒng)利用預警與控制單元來接收各個機臺的感測器輸出的感測數(shù)值，以執(zhí)行真空系統(tǒng)的機臺運轉(zhuǎn)正常與否的判斷，因此，能動態(tài)地監(jiān)測真空系統(tǒng)的運作狀況，提供有效的預警和控制。此外，本發(fā)明的真空系統(tǒng)的預警方法能有效降低控管真空系統(tǒng)所需的成本。
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實施例，并配合附圖，作詳細說明如下。


圖1繪示依據(jù)本發(fā)明的一實施例的真空系統(tǒng)；圖2繪示依據(jù)本發(fā)明的實施例的真空系統(tǒng)的預警方法的流程圖。
主要元件符號說明100真空系統(tǒng)102第一機臺104第二機臺106第一感測器108第二感測器110預警與控制單元S200提供多個感測器，這些感測器分別配設(shè)于多個機臺，以分別取得各個機臺的數(shù)個感測值并輸出這些感測值S210提供一預警與控制單元，其與這些感測器及這些機臺電性連接，以接收這些感測值，其中該些感測值為溫度值、壓力值、氣體流量、電壓值與電流值其中之一S220當一第一條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一預警信號，其中的第一條件為這些感測值之一超出對應(yīng)的一設(shè)定值范圍S230當一第二條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一終止信號，其中的第二條件為這些感測值中可選擇的至少二感測值超出對應(yīng)的設(shè)定值范圍具體實施方式
圖1繪示依據(jù)本發(fā)明的一實施例的真空系統(tǒng)。請參考圖1，本實施例的真空系統(tǒng)100是用以提供一半導體工藝進行時所需的氣態(tài)環(huán)境，此半導體工藝可為蝕刻工藝、曝光工藝、沉積工藝或離子注入工藝等。真空系統(tǒng)100例如是包括一第一機臺102、一第二機臺104、一第一感測器106、一第二感測器108以及一預警與控制單元110。其中，第一感測器106與第二感測器108分別配設(shè)于第一機臺102與第二機臺104，并且分別電性連接至預警與控制單元110。第一感測器106與第二感測器108是用于對第一機臺102與第二機臺104的運轉(zhuǎn)情況進行感測，并于擷取感測值后輸出之。預警與控制單元110分別與第一機臺102和第二機臺104電性相連接，其接收第一感測器106與第二感測器108輸出的感測值。預警與控制單元110于一第一條件成立時，發(fā)出一預警信號，或者，于一第二條件成立時，發(fā)出一終止信號。
在本實施例中，第一機臺102與第二機臺104例如分別為一反應(yīng)室與一負壓系統(tǒng)，而第一感測器106與第二感測器108則分別為相對應(yīng)的一溫度感測器與一壓力感測器，以進行第一機臺102的溫度值的感測與第二機臺104的壓力值的感測。之后，預警與控制單元110接收第一感測器106與第二感測器108所取得的感測值。依據(jù)本發(fā)明實施例，此預警與控制單元110例如可以是一可編程邏輯控制器或一中央微處理器，其通過接收每一感測器回傳的感測值，整合指示各機臺目前狀況的感測值，而執(zhí)行機臺是否異常的判斷。
更具體而言，感測器106、108是分別用以對機臺102、104的運轉(zhuǎn)狀態(tài)(或工藝的環(huán)境條件)進行感測，并于取得感測值后，同步將所擷取到的感測值傳送到預警與控制單元110。接著，預警與控制單元110于接收感測器106、108輸出的感測值后，便執(zhí)行預先設(shè)定的第一條件或第二條件是否成立的判斷。舉例來說，第一條件可以是至少一機臺的感測值超出了設(shè)定的運轉(zhuǎn)狀態(tài)(或環(huán)境條件)，而第二條件可以是至少兩機臺的感測值皆超出設(shè)定的運轉(zhuǎn)狀態(tài)(或環(huán)境條件)。據(jù)此，在本實施例中，當?shù)谝粰C臺102的溫度感測值超出設(shè)定值范圍，或者是第二機臺104的壓力感測值超出設(shè)定值范圍，預警與控制單元110即判定第一條件成立而發(fā)出一預警信號。相反地，當?shù)谝粰C臺102與第二機臺104同時都超出設(shè)定值范圍時，預警與控制單元110則判定第二條件成立，而發(fā)出一終止信號，使機臺102、104停止運轉(zhuǎn)而關(guān)閉真空系統(tǒng)100，工藝便停止進行。要注意的是，用以判斷真空系統(tǒng)狀況的條件的設(shè)定應(yīng)視工藝所需而有所不同，且本實施例中的第一、第二條件是用以闡述本發(fā)明，而非用以限定本發(fā)明。
值得一提的是，雖然本實施例的真空系統(tǒng)100是包括第一與第二機臺102、104，依照本發(fā)明實施例的真空系統(tǒng)可包括多個機臺，且這些機臺例如可以是洗滌塔、抽氣泵浦、緩沖反應(yīng)室等的機臺，并于各個機臺配設(shè)對應(yīng)的感測器。在工藝進行期間，各機臺的感測器各自進行運轉(zhuǎn)狀態(tài)或環(huán)境條件的感測，同時將感測到的數(shù)值傳送到預警與控制系統(tǒng)。因而，預警與控制系統(tǒng)110便能于同一時刻接收所有感測器傳來的數(shù)值，判斷真空系統(tǒng)100的機臺運轉(zhuǎn)狀態(tài)或環(huán)境條件是否正常。
此外，值得一提的是，在真空系統(tǒng)100包括多個機臺的情況下，不僅可以在每一個機臺配設(shè)一個感測器以取得機臺的一感測值，還可于同一機臺上配置多個感測器來取得多個不同種類的感測值。例如，第一機臺102可以同時配設(shè)有一溫度感測器與一壓力感測器，而取得溫度感測值及壓力感測值，并傳回預警與控制單元110以判斷真空系統(tǒng)100運作是否正常。
因此，本發(fā)明的真空系統(tǒng)具有較佳的預警能力而有效地控管所需要的工藝條件，使半導體工藝能于正確的氣態(tài)環(huán)境下執(zhí)行。
圖2繪示依據(jù)本發(fā)明另一實施例的真空系統(tǒng)的預警方法。參考圖2，首先，于步驟S200，以分別配設(shè)于一真空系統(tǒng)的多個機臺的多個感測器進行感測，而取得多個感測值并輸出感測值，且其中的這些感測值可為溫度值、壓力值、氣體流量、電壓值或電流值。接著，使用一預警與控制單元，來接收來自這些感測器取得的這些感測值。在步驟S210中，預警與控制單元同步地接收所有感測值，并進行設(shè)定的條件的判斷。當一第一條件成立時，例如，這些感測值之一超出了其對應(yīng)的設(shè)定值范圍，預警與控制單元即發(fā)出預警信號以指示已有機臺異常發(fā)生，如步驟S220所示。反之，在步驟S230，當一第二條件成立時，例如，這些感測值中至少兩感測值超出了其對應(yīng)的設(shè)定范圍，預警與控制單元則發(fā)出終止信號，指示已有至少兩機臺異常而使得真空系統(tǒng)運作嚴重異常，因而，令真空系統(tǒng)停止運作。要注意的是，上述的該些設(shè)定值范圍應(yīng)該視工藝所需而有所不同，而不為本發(fā)明的實施例所限制。
綜上所述，本發(fā)明的真空系統(tǒng)至少具有下列優(yōu)點(1)本發(fā)明的真空系統(tǒng)通過使用預警與控制單元與感測器，將所有機臺的運轉(zhuǎn)情況或工藝環(huán)境條件整合起來而動態(tài)地執(zhí)行預警，因而能有效地控管真空系統(tǒng)的異常狀況的發(fā)生。
(2)采用本發(fā)明的具有異常預警能力的真空系統(tǒng)，可有效降低控管的成本。
(3)本發(fā)明的真空系統(tǒng)的預警方法能有效降低所需成本，并提供真空系統(tǒng)動態(tài)的預警能力。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當視所附權(quán)利要求所界定者為準。
權(quán)利要求
1.一種真空系統(tǒng)，適于一半導體工藝，包括多個機臺；多個感測器，分別配設(shè)于該些機臺，以進行感測并輸出多個感測值；以及一預警與控制單元，與該些機臺和該些感測器電性相連，該預警與控制單元用以接收來自該些感測器的該些感測值，其中，當一第一條件成立時，該預警與控制單元發(fā)出一預警信號，當一第二條件成立時，該預警與控制單元發(fā)出一終止信號。
2.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該些機臺包括一反應(yīng)室與一負壓系統(tǒng)。
3.如權(quán)利要求2所述的真空系統(tǒng)，還包括洗滌塔、抽氣泵浦與緩沖反應(yīng)室。
4.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該些感測器之一包括溫度感測器、壓力感測器、氣體流量計、電壓計或電流計。
5.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該第一條件包括該些感測值之一超出對應(yīng)的一設(shè)定值范圍。
6.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該第二條件包括該些感測值中選擇的至少二感測值超出對應(yīng)的設(shè)定值范圍。
7.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該終止信號用以令該些機臺之一停止運轉(zhuǎn)。
8.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該終止信號用以令所有該些機臺停止運轉(zhuǎn)，以使該真空系統(tǒng)關(guān)閉。
9.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該預警與控制單元包括可編程邏輯控制器。
10.如權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)，其中該預警與控制單元包括中央微處理器。
11.一種真空系統(tǒng)的預警方法，包括提供多個感測器，該些感測器分別配設(shè)于多個機臺，以分別取得各該機臺的多個感測值并輸出該些感測值；提供一預警與控制單元，與該些感測器及該些機臺電性連接，以接收該些感測值，其中該些感測值為溫度值、壓力值、氣體流量、電壓值與電流值其中之一；當一第一條件成立時，該預警與控制單元發(fā)出一預警信號，其中該第一條件包括該些感測值之一超出對應(yīng)的一設(shè)定值范圍；以及當一第二條件成立時，該預警與控制單元發(fā)出一終止信號，其中該第二條件包括該些感測值中選擇的至少二感測值超出對應(yīng)的設(shè)定值范圍。
12.如權(quán)利要求11所述的真空系統(tǒng)的預警方法，其中該預警與控制單元包括可編程邏輯控制器。
13.如權(quán)利要求11所述的真空系統(tǒng)的預警方法，其中該預警與控制單元包括中央微處理器。
全文摘要
本發(fā)明提出一種真空系統(tǒng)，其適于一半導體工藝。此真空系統(tǒng)包括多個機臺、多個感測器以及一預警與控制單元。這些感測器分別配設(shè)于這些機臺，以進行感測并輸出多個感測值。預警與控制單元是與這些機臺和這些感測器電性相連，用以接收來自這些感測器的這些感測值。其中，當一第一條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一預警信號，而當一第二條件成立時，預警與控制單元發(fā)出一終止信號。
文檔編號H01L21/67GK1959930SQ20051011931
公開日2007年5月9日 申請日期2005年11月3日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月3日
發(fā)明者徐弘滉 申請人:聯(lián)華電子股份有限公司