專(zhuān)利名稱：包括流體存儲(chǔ)和分配容器的動(dòng)態(tài)流體監(jiān)測(cè)的流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包括流體存儲(chǔ)和分配容器的存量的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)過(guò)程 的流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，包括例如離子注入機(jī)、化學(xué)氣相淀積、旋 轉(zhuǎn)覆蓋、蝕刻、處理腔室的清潔、廢水處理等，通常利用具有#>大 變化特性的專(zhuān)用流體試劑。由于這種流體試劑的高成本、顯著的毒性、和極高的純度要求， 各種專(zhuān)用源容器和密封裝置在半導(dǎo)體加工設(shè)備中已經(jīng)得到普遍的 使用。在一些實(shí)例中，在這種服務(wù)中已經(jīng)取代傳統(tǒng)氣體圓柱體的這 些特殊流體供應(yīng)裝置配備有各種流體監(jiān)測(cè)和控制設(shè)備。這種設(shè)備例如可以包括泄漏檢查監(jiān)測(cè)器、分配線路中的壓強(qiáng)傳感器、用于保證 所包含和分配的流體為了相關(guān)的處理:捧作處于適當(dāng)熱態(tài)的溫度傳 感器、質(zhì)量流動(dòng)控制器、節(jié)流口元件等等。在當(dāng)前一代用于半導(dǎo)體加工試劑的流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)中最 具創(chuàng)新且商業(yè)上最成功的是由ATMI^^司(Danbury,CT)通過(guò)注冊(cè) 商標(biāo)SDS戀和VAC戀進(jìn)行商業(yè)化的那些系統(tǒng)。SDS 流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)包括含有固相吸附材料的容器，該 固相吸附材料對(duì)半導(dǎo)體加工流體試劑具有吸附性親和力，由此，憑脫附并在分配過(guò)程條件下從該容器中分配出來(lái)。由于容器中其吸附 性保持力效應(yīng)，半導(dǎo)體試劑流體可以以低壓強(qiáng)被存儲(chǔ)，例如，以低 于大氣壓的壓強(qiáng)。由于這種低壓強(qiáng)存儲(chǔ)效應(yīng)，與在高壓氣體圓柱體 中閥頭故障可能導(dǎo)致該圓柱體的氣體含量的廣泛擴(kuò)散相比，提供了 高水平的安全性。SDS 流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)在美國(guó)專(zhuān)利第 5,518,528號(hào);第5,704,965號(hào);第5,704,967號(hào);以及第5,707,424號(hào)中 進(jìn)行了各種描述。VAC 流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)包4舌含有半導(dǎo)體加工流體試劑的并 裝備有壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器的容器，該壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器置于容器內(nèi)部并與分配組 件是流動(dòng)連通的，而該分配組件用于在由壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器的i殳定值所確 定的壓強(qiáng)下分配流體。該壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器設(shè)定值可以設(shè)置為低分配壓強(qiáng) 水平。￥入0@流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)在美國(guó)專(zhuān)利第6,101,816號(hào)；第 6,089,027號(hào);第6,360,546號(hào);第6,474，076;以及第6,343,476號(hào)中進(jìn)行 了不同的描述。因?yàn)檎{(diào)節(jié)器在大于調(diào)節(jié)器設(shè)定值的壓強(qiáng)下防止流體排出，且因 為調(diào)節(jié)器在容器內(nèi)部并由此保護(hù)調(diào)節(jié)器不受周?chē)廴竞驼觯酝ㄟ^(guò)其內(nèi)部壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器配置，VAC 流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)在高壓流 體的密封方面實(shí)現(xiàn)了安全性的提高。在離子注入才幾應(yīng)用中，SDS必流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)已經(jīng)成為半 導(dǎo)體加工工業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)氣體源。目前，估計(jì)全世界4000個(gè)離子注 入單元的安裝基底的接近80%利用SDS③流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)。為了保證SDS⑩流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)的正確利用，要求包括低 壓降分量和低于大氣壓的(torr級(jí))壓強(qiáng)的精確測(cè)量值的氣體輸送 系統(tǒng)設(shè)計(jì)的特殊考慮。這就造成一個(gè)特別的問(wèn)題，因?yàn)?，存在大約 六個(gè)生產(chǎn)離子注入機(jī)設(shè)備的主要制造商。每個(gè)制造商都制造多種模 型類(lèi)型且新產(chǎn)品每2至3年就被發(fā)布出來(lái)。這種情況產(chǎn)生大量不同 的離子注入機(jī)系統(tǒng)并隨后產(chǎn)生多種正在使用的氣體監(jiān)測(cè)技術(shù)，但有 些技術(shù)是不適當(dāng)?shù)模蝗痪褪堑托屎头菢?biāo)準(zhǔn)的。在當(dāng)前最流行的離子注入才幾系統(tǒng)i殳計(jì)之一中，在SDS⑧流體存 儲(chǔ)和分配系統(tǒng)中流體存量的氣體監(jiān)測(cè)過(guò)程就要求通過(guò)一連串復(fù)雜 的軟件文件進(jìn)行操縱，以便確定SDS⑨流體存儲(chǔ)和分配容器中流體 的壓強(qiáng)。然后，用戶還不得不人工地將壓強(qiáng)轉(zhuǎn)化為流體利用單位。 該方法的問(wèn)題是，用于在該實(shí)施中才喿縱軟件屏幕所需的時(shí)間過(guò)多， 且大多數(shù)離子注入機(jī)操作者和技術(shù)人員并不能理解用于將壓強(qiáng)讀 數(shù)轉(zhuǎn)化為有意義的利用表達(dá)式所需的數(shù)學(xué)轉(zhuǎn)化。鑒于事實(shí)上有許多個(gè)注入機(jī)單位(例如5至20個(gè))被提供在 典型大小的半導(dǎo)體制作設(shè)備或"加工(fab)"中，在用于在流體供 應(yīng)容器中分配所存儲(chǔ)的流體的監(jiān)測(cè)利用方面的前述缺陷就被加劇。 這種單位的多樣性是指，其經(jīng)常要求操作者或技術(shù)人員花費(fèi)許多時(shí) 間用于所有注入4幾單元的監(jiān)測(cè)才喿作以通過(guò)在半導(dǎo)體加工裝置中的 離子注入才幾或其它4吏用所分配流體的i殳備來(lái)確定流體消津毛的流速 和程度。監(jiān)測(cè)用于確定流體供應(yīng)容器中流體消壽毛的流體利用的傳統(tǒng)方 法的另 一個(gè)問(wèn)題是，當(dāng)該容器中流體含量幾乎耗盡或接近用盡時(shí)， 難以預(yù)報(bào)或報(bào)警加工人員有關(guān)正在迫近分配操作的端點(diǎn)。因?yàn)閷?duì)確定該項(xiàng)利用的現(xiàn)有方法是4艮差的，所以在運(yùn)行的注入 操作期間在沒(méi)有警報(bào)的情況下經(jīng)常發(fā)生加工人員用完流體的情形。 這種情形典型地對(duì)加工生產(chǎn)有嚴(yán)重影響，這是由于，注入才幾單元那 時(shí)一定就被停止，以便于已被耗盡的流體供應(yīng)和分配容器的換下以 及含有流體以更新操作的新容器的安裝。因?yàn)檫@種情形不是在計(jì)劃 中的，所以流體存^f諸和分配系統(tǒng)可以由此^皮替^灸的效率^氐于如果事件已^L計(jì)劃或可能^L預(yù)知的情況。涉及半導(dǎo)體加工中材料的使用的另 一 問(wèn)題是關(guān)于它們的費(fèi)用。 用于半導(dǎo)體加工的許多特殊材料的價(jià)格在每克$ 10至$ 200美元的 范圍，而且，因?yàn)橛糜诟缶雽?dǎo)體處理工具的更高損耗率，例 如，300mm晶片和更大直徑的晶片，所以許多特殊化學(xué)制品的封裝 容積就持續(xù)增加。結(jié)果，特殊材并+的消費(fèi)者通常凈皮迫以單位的價(jià)格購(gòu)買(mǎi)這種材料 的所需量，該單位價(jià)格經(jīng)常超過(guò)他們內(nèi)部限定的購(gòu)買(mǎi)資金的限額。 在美國(guó)的通用會(huì)計(jì)準(zhǔn)則(US GAAP)下，材并牛購(gòu)買(mǎi)在購(gòu)買(mǎi)時(shí)就必須 作為全部費(fèi)用，以致購(gòu)買(mǎi)者在材料利用過(guò)程中使用相同材料之前， 他們?cè)趲つ可嫌?jì)算了所購(gòu)得的特殊化學(xué)制品全部量的費(fèi)用。這對(duì)半 導(dǎo)體加工設(shè)備來(lái)說(shuō)是嚴(yán)重的運(yùn)營(yíng)成本負(fù)擔(dān)。因此，在本領(lǐng)域中非常需要快速、準(zhǔn)確且可靠的方法在上述類(lèi) 型的流體存4諸和分配系統(tǒng)的4吏用中來(lái)監(jiān)測(cè)利用并4企測(cè)端點(diǎn)分配條 件。同時(shí)，在半導(dǎo)體加工設(shè)備方面需要減輕運(yùn)營(yíng)成本負(fù)擔(dān)，這是來(lái) 自對(duì)于在半導(dǎo)體加工才喿作中使用用于對(duì)所購(gòu)買(mǎi)的特殊化學(xué)制品全部量費(fèi)用進(jìn)行記帳的前述US GAAP的會(huì)計(jì)要求。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明通常涉及用于動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)(例如 SDS^類(lèi)型和VAC⑧類(lèi)型的流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng))中的流體以確定 這種系統(tǒng)中流體利用的系統(tǒng)和方法。在一個(gè)方面中，本發(fā)明涉及用于在包括從流體供應(yīng)容器中分配 流體過(guò)程的操作期間監(jiān)測(cè)在流體供應(yīng)容器中的流體的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，所 述監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i)一個(gè)或多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器 的特性或從該流體供應(yīng)容器中所分配的流體的特性，(ii)數(shù)據(jù)獲取 模塊，可操作性地與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器連接，以從其中接收監(jiān) 測(cè)數(shù)據(jù)并響應(yīng)性地產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器所監(jiān)測(cè)的特性 相關(guān)的輸出，以及(iii)處理器和顯示器，可操作性地與數(shù)據(jù)獲取 模塊連接并被安排處理來(lái)自數(shù)據(jù)獲取模塊的輸出以及響應(yīng)性地輸 出例如圖表或音頻信號(hào)的直觀表示，例如指示在流體供應(yīng)容器中流 體的報(bào)警。在另一方面，本發(fā)明涉及在包括從流體供應(yīng)容器中分配流體過(guò) 程的操作期間監(jiān)測(cè)在流體供應(yīng)容器中流體的方法，所述方法包括 (i )監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器的特性或從該流體供應(yīng)容器中所分配的流體 的特性，(ii)從所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)并響應(yīng)性地產(chǎn)生與監(jiān)測(cè)特 性相關(guān)的輸出，以及(iii)從數(shù)據(jù)獲取過(guò)程中處理該輸出并響應(yīng)性 地4巴在流體供應(yīng)容器中流體的圖示輸出出來(lái)。本發(fā)明的另 一方面涉及用于在包括從流體供應(yīng)容器中分配流 體過(guò)程的才喿作期間監(jiān)測(cè)在流體供應(yīng)容器中的流體的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i) 一個(gè)或多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng) 容器的特性或從該流體供應(yīng)容器中分配的流體的特性，(ii)數(shù)據(jù)獲 取裝置，可才喿作性地與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器相連4妾，以從其中4妄 收監(jiān)測(cè)tt據(jù)并響應(yīng)性i也產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器所監(jiān)測(cè)的 特性相關(guān)的輸出，以及(iii)處理器，可操作性地與數(shù)據(jù)獲取裝置 連4妾并^皮安排處理來(lái)自凄t據(jù)獲取裝置的輸出以及響應(yīng)性地產(chǎn)生表 示流體供應(yīng)容器中流體存量的輸出。本發(fā)明進(jìn)一 步的方面涉及在包括材料的分配過(guò)程的操作期間 用于監(jiān)測(cè)材料使用的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i) 一個(gè) 或多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)所述分配過(guò)程的特性，(ii)數(shù)據(jù)獲取裝置， 可操作性地與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器相連接，以從其中接收監(jiān)測(cè)數(shù) 據(jù)并響應(yīng)性地產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器所監(jiān)測(cè)的特性相關(guān) 的輸出，以及(iii)處理器，可操作性地與數(shù)據(jù)獲取裝置連接并被 安排處理來(lái)自數(shù)據(jù)獲取裝置的輸出以及響應(yīng)性地產(chǎn)生表示用于分 配可用材料的存量的輸出。在另一方面中，本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括離子注入 才幾，該離子注入才幾包4舌容納摻雜物源流體源(dopant source fluid supply)的氣體盒；至少一個(gè)傳感器，適用于在分配過(guò)程條件下監(jiān) 測(cè)從摻雜物源流體源中被分配出來(lái)的摻雜物源流體的溫度、壓強(qiáng)和 流速這三者之中的至少一個(gè)；數(shù)據(jù)獲取模塊，被安裝在氣體盒中并 適用于從傳感器中接收監(jiān)測(cè)信號(hào)；輸出單元，適用于產(chǎn)生與上述摻 雜物源流體源中摻雜物源流體的存量相關(guān)的輸出；以及通信連接， 其處于凄史據(jù)獲取才莫塊和輸出單元之間。本發(fā)明的又一個(gè)方面涉及用于確定在離子注入才幾的氣體盒中 從摻雜物源流體源中摻雜物源流體所4是供的在離子注入才幾中摻雜 物源流體消耗的系統(tǒng)，其中，所述摻雜物源流體源包括對(duì)于摻雜物源流體具有吸附性親和力的吸附劑介質(zhì)，且從其中吸附的摻雜物源流體在分配過(guò)程條件下被脫附，其中，該系統(tǒng)包括溫度傳感器，適用于感測(cè)氣體盒溫度T;壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器，適用于測(cè)量流體存^f諸和分配容器的壓強(qiáng)P;摻雜物源流體源包括預(yù)定尺寸的摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容 器，而該摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器含有所述吸附劑介質(zhì) 一預(yù)定 重量；以及監(jiān)測(cè)和控制系統(tǒng)，可操作性地與所述溫度傳感器和所述壓強(qiáng)監(jiān) 測(cè)器連接，并適用于進(jìn)行以下步驟設(shè)置端點(diǎn)壓強(qiáng)，該壓強(qiáng)用于從摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器中 分配摻雜物源流體；確定在不同壓強(qiáng)下的溫度系數(shù)dP/dT;確定針對(duì)該端點(diǎn)壓強(qiáng)的溫度系數(shù)；把從壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器中所測(cè)得的壓強(qiáng)歸一化(normalize)為預(yù)定溫度；將端點(diǎn)壓強(qiáng)歸一化為預(yù)定溫度；在用于吸附劑介質(zhì)和摻雜物源流體的預(yù)定溫度處確定等溫線 等式；以及通過(guò)使用等溫線等式來(lái)確定在流體存儲(chǔ)和分配容器中剩余的 摻雜物源流體的量。本發(fā)明更進(jìn)一步方面涉及不同的實(shí)施例分配器，適用于分配 材料，可操作性地與前述類(lèi)型的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)相連接；材料利用裝置， 適用于從分配器中接收材料，該分配器可操作性地與前述類(lèi)型的監(jiān) 測(cè)系統(tǒng)相連接；以及物品，其通過(guò)使用所分配的材料進(jìn)行加工，而 所分配的材^牛通過(guò)前述類(lèi)型的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在分配過(guò)程期間進(jìn)4亍監(jiān)測(cè)。在另 一方面中，本發(fā)明涉及用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中 流體存量的系統(tǒng)，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含對(duì)于流體具有吸附性 親和力的存儲(chǔ)介質(zhì)，該流體在用于流體利用過(guò)程的分配過(guò)程條件下 乂人該流體存4諸和分配容器中凈皮分配，其中，該系統(tǒng)包4舌(a) 吸附性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)用于在存儲(chǔ)介質(zhì)上 的流體；(b) 監(jiān)測(cè)器，適用于監(jiān)測(cè)從所述流體存儲(chǔ)和分配容器的特性、 分配過(guò)程條件、所分配的流體的特性，以及所述流體利用過(guò)程的特 性中所選擇的至少一個(gè)感測(cè)流體存量的變量，并適用于響應(yīng)性;也產(chǎn) 生與所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；以及(c) 處理器，適用于接收監(jiān)測(cè)信號(hào)并適用于響應(yīng)性地進(jìn)行把 所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量與在吸附性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù) 中信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配容器 中流體存量的輸出。本發(fā)明的另 一方面涉及用于監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器中流體 存量的系統(tǒng)，該流體存儲(chǔ)和分配容器含有在用于流體利用過(guò)程的分 配條件下^皮分配的流體，其中，該系統(tǒng)包括(a) 監(jiān)測(cè)器，適用于監(jiān)測(cè)在流體分配過(guò)程期間的至少一個(gè)流 體特性，并適用于響應(yīng)性地產(chǎn)生與所述至少一個(gè)流體特性相關(guān)的監(jiān) 測(cè)信號(hào)；(b) 信息的數(shù)據(jù)庫(kù)，該信息關(guān)于確定在分配期間在流體存儲(chǔ) 和分配容器中流體的存量；以及(c) 處理器，適用于在把監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián) 的信號(hào)處理操作中處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分 配容器中流體存量的輸出。在進(jìn)一步方面中，本發(fā)明涉及用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器 中流體存量的系統(tǒng)，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含有在用于流體利用 過(guò)程的分配過(guò)程條件下被分配的流體，其中，該系統(tǒng)包括(a) 張力監(jiān)測(cè)器，適用于在該流體的分配過(guò)程期間監(jiān)測(cè)流體 存儲(chǔ)和分配容器的張力，以響應(yīng)性地產(chǎn)生與這種張力相關(guān)的監(jiān)測(cè)信 號(hào)；(b) 信息的^t據(jù)庫(kù)，該信息關(guān)于確定在分配期間在流體存儲(chǔ) 和分配容器中流體的存量；以及(c) 處理器，適用于在把監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián) 的信號(hào)處理操作中處理該監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配 容器中流體存量的輸出。本發(fā)明又進(jìn)一步方面涉及在包4舌從流體供應(yīng)容器中的流體分 配過(guò)程的操作期間在流體供應(yīng)容器中監(jiān)測(cè)流體的方法，其中，該方 法包括(i)監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器的特性或從該流體供應(yīng)容器中分配 的流體的特性，(ii)從所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與所述特性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲耳又信號(hào)，以及(iii)處理所述數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并響應(yīng) 性地產(chǎn)生表示在流體供應(yīng)容器中流體存量的輸出。本發(fā)明再進(jìn)一步方面涉及在包括分配材料過(guò)程的操作期間監(jiān) 測(cè)材料使用的方法，所述監(jiān)測(cè)方法包括(i)監(jiān)測(cè)所述分配過(guò)程的 特性，(ii)從這種監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與所述特性相關(guān)的 數(shù)據(jù)獲取信號(hào)，以及(iii)處理數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并響應(yīng)性地產(chǎn)生表示 用于分配可用的材料的存量的輸出。本發(fā)明的另一方面涉及在半導(dǎo)體加工i殳備中加工半導(dǎo)體產(chǎn)品 (包括離子注入機(jī)，該離子注入機(jī)又包括容納摻雜物源流體源的氣 體盒)的方法，其中，這種方法包括監(jiān)測(cè)在分配過(guò)程條件下從摻 雜物源流體源中所分配的摻雜物源流體的溫度、壓強(qiáng)和流速這三者 之中的至少一種；從這種檢測(cè)過(guò)程中獲取該氣體盒中的數(shù)據(jù);傳輸 所獲取的數(shù)據(jù)到輸出單元，該單元適用于產(chǎn)生與在摻雜物源流體源 中摻雜物源流體的存量相關(guān)的輸出；以及產(chǎn)生這種輸出。本發(fā)明的又一方面涉及確定在離子注入才幾的氣體盒中從摻雜 物源流體源中摻雜物源流體所提供的在離子注入^^中摻雜物源流 體消耗的方法，其中，摻雜物源流體源包括對(duì)于摻雜物源流體具有 吸附性親和力的吸附劑介質(zhì)，并且從其中吸附的摻雜物源流體在分 配過(guò)程條件下,皮脫附，以及摻雜物源供應(yīng)包4舌預(yù)定尺寸的摻雜物源 流體存儲(chǔ)和分配容器，該摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器含有所述吸 附劑介質(zhì)一預(yù)定重量，其中，該方法包^t舌感測(cè)氣體盒溫度T;測(cè)量流體存儲(chǔ)和分配容器壓強(qiáng)P;-沒(méi)置端點(diǎn)壓強(qiáng)，該壓強(qiáng)用于從摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器中分配摻雜物源流體；確定在不同壓強(qiáng)下的溫度系數(shù)dP/dT;確定針對(duì)該端點(diǎn)壓強(qiáng)的溫度系凄丈；把從壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器中所測(cè)得的壓強(qiáng)歸 一化為預(yù)定溫度；將端點(diǎn)壓強(qiáng)歸一化為預(yù)定溫度；在用于吸附劑介質(zhì)和摻雜物源流體的預(yù)定溫度處確定等溫線 等式；以及通過(guò)使用等溫線等式來(lái)確定在流體存儲(chǔ)和分配容器中剩余的 摻雜物源流體的量。在又一方面中，本發(fā)明涉及包括利用所分配的材料執(zhí)行加工過(guò) 禾呈的加工產(chǎn)品的方法，其中，該方法包4舌通過(guò)上述的監(jiān)測(cè)方法監(jiān)測(cè) 所分配材料的材料使用。本發(fā)明的另 一方面涉及監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存 量的方法，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含對(duì)于流體具有吸附性親和力 的存儲(chǔ)介質(zhì)，在用于流體利用過(guò)程的分配過(guò)程條件下從流體存儲(chǔ)和 分配容器中分配流體，其中，該方法包4舌(a )提供用于在存儲(chǔ)介質(zhì)上的流體的吸附性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)；(b)監(jiān)測(cè)從流體存儲(chǔ)和分配容器的特性、分配過(guò)程條件、所 分配的流體的特性，以及流體利用過(guò)程的特性組成的組中所選擇的至少 一個(gè)感測(cè)流體存量的變量；(c )產(chǎn)生與所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(d )在將所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量與在吸附性等溫線 數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作中處理所述監(jiān)測(cè)信 號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸出。在另 一方面中，本發(fā)明涉及監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存 量的方法，該流體存儲(chǔ)和分配容器含有在用于流體利用過(guò)程的分配 過(guò)程條件下所分配的流體，其中，該方法包4舌(a)在該流體的分配過(guò)程期間，監(jiān)測(cè)至少一個(gè)流體特性；(b )產(chǎn)生與所述至少一個(gè)流體特性相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(c )，提供關(guān)于確定在分配過(guò)程期間在流體存儲(chǔ)和分配容器中 流體存量信息的數(shù)據(jù)庫(kù)；以及(d )在把監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作中 處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量 的輸出。在另 一方面中，本發(fā)明涉及監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存 量的方法，該流體存^f諸和分配容器含有在用于流體利用過(guò)程的分配 條件下所分配的流體，其中，該方法包4舌(a)在該流體的分配過(guò)程期間，監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器的張力；(b)產(chǎn)生與該張力相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(c )提供關(guān)于確定在分配期間在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體 存量信息的數(shù)據(jù)庫(kù)；以及(d )在把監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作中 處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量 的輸出。本發(fā)明的又一方面涉及從材料的遠(yuǎn)程供應(yīng)位置中將材料提供 給在4吏用位置處的用戶的方法，包括在^f吏用位置通過(guò)該用戶分配材 料，其中，該方法包括(i)監(jiān)測(cè)所述分配過(guò)程的特性，(ii)從所 述監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與所述特性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲取信號(hào)，(iii) 處理數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并響應(yīng)性地產(chǎn)生表示用于分配可用的材料 的存量的輸出，其中，在遠(yuǎn)離材料使用位置的記帳位置進(jìn)行處理， 且所述輸出包括針對(duì)在材料使用位置所分配的材料的帳單，以及(iv) 響應(yīng)于表示在使用位置分配可用的材料的存量的輸出，將材 泮+從遠(yuǎn)程供應(yīng)位置分配到^f吏用位置。本發(fā)明的其它方面、特征和優(yōu)點(diǎn)在隨后的公開(kāi)內(nèi)容和附帶的權(quán) 利要求書(shū)中將會(huì)更清楚。


圖1是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的離子注入機(jī)的示意圖，所述離 子注入機(jī)利用被安排在該注入機(jī)的氣體盒中的流體存儲(chǔ)和分配容 器，其中，通過(guò)流體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地監(jiān)測(cè)流體利用。圖2是圖1示出的流體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的視頻顯示單元的視頻顯示接 口的示意圖。圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的、與供應(yīng)方辦公室以數(shù)據(jù)通信 關(guān)系進(jìn)行安排的半導(dǎo)體加工設(shè)備的示意圖，該供應(yīng)方辦公室正在監(jiān) 測(cè)來(lái)自半導(dǎo)體加工設(shè)備中流體源的流體利用。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明提供有用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)系統(tǒng)中流體利用的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè) 系統(tǒng)和方法，例如，在本發(fā)明的背景技術(shù)部分中所描述的流體存儲(chǔ) 和分配系統(tǒng)類(lèi)型。盡管本發(fā)明的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和方法主要在下文中根據(jù)在半導(dǎo) 體加工操作中對(duì)所利用的流體進(jìn)行描述，例如，在半導(dǎo)體器件和器 件前體結(jié)構(gòu)的加工中用于離子注入操作的摻雜物源氣體，需要理解 的是，本發(fā)明的用途并不因而局限于此，而是延伸到并包括了在不 同應(yīng)用中有用的不同特性材料的監(jiān)測(cè)。在一具體實(shí)施例中，監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i)一個(gè)或多個(gè)傳感器， 用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器或從其中所分配的氣體的特性，(ii)數(shù)據(jù)獲 取模塊，可操作性地與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器相連接；以及(iii) 處理和顯示單元，其可操作性地與數(shù)據(jù)獲取模塊相連接，用于確定 在流體供應(yīng)容器中流體的利用并響應(yīng)性地在流體供應(yīng)容器中輸出 流體的圖示。在本發(fā)明的動(dòng)態(tài)流體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器的特 性的一個(gè)或多個(gè)傳感器可以是任何合適類(lèi)型，例如流體傳感器，其 用于感測(cè)液體的所選特性，該特性在確定氣體的存量和利用率方面 是有用的。流體的所選特性例如可以包括在容器范圍內(nèi)或其離開(kāi) 容器時(shí)流體的壓強(qiáng)、在容器范圍內(nèi)或在容器和下游處理單元之間的 連接線內(nèi)流體的某一具體成分的濃度、在容器范圍內(nèi)或在容器和下 游處理單元之間的連4妄線內(nèi)流體的溫度、在流體離開(kāi)容器或向下游處理單元的連接線中時(shí)流體的流速、在容器中和在離開(kāi)容器的連接 線中氣體的不同混合物、在容器和下游處理系統(tǒng)之間的連4妻線中的清潔氣體的流速等等，并且，相應(yīng)的傳感器可以包括各種各樣壓 強(qiáng)傳感器、測(cè)壓的壓強(qiáng)傳感器、熱電偶、質(zhì)量流動(dòng)控制器、流量積 算器等等。另外，在本發(fā)明的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中的一個(gè)或多個(gè)監(jiān)測(cè)傳感器可 以包括用于確定流體供應(yīng)容器本身特性的一個(gè)或多個(gè)傳感器，諸如 其中流體以高壓強(qiáng)被包含在容器當(dāng)中的流體供應(yīng)容器(例如上述的 VAC③流體供應(yīng)系統(tǒng)(ATMI， Inc.，Danbury， CT， USA)的這種容器)的 容器壁上的張力，其中，流體針對(duì)壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器而#^艮定，該壓強(qiáng)調(diào) 節(jié)器被設(shè)置為用于從容器中分配流體的預(yù)定的設(shè)置值壓強(qiáng)。另外， 才艮據(jù)本發(fā)明可以用于監(jiān)測(cè)的流體供應(yīng)容器的特性可以是流體供應(yīng) 容器的溫度、容器的排量或撓曲特性、包含有正被分配或待分配流 體的流體供應(yīng)容器的重量等。更進(jìn)一步，可以# 測(cè)的其它裝置包 括在降低圓柱體內(nèi)部壓強(qiáng)由此降低諸如節(jié)流口等下游壓強(qiáng)方面具 有凈效果的任何減壓裝置。因此，通過(guò)監(jiān)測(cè)這種類(lèi)型的裝置，操作 者就會(huì)確保傳送壓強(qiáng)維持固定，而氣體流速與下游的實(shí)際處理所 需要的更加匹配。與數(shù)據(jù)獲取模塊連接的處理和顯示單元可以利用任何適當(dāng)?shù)?處理裝置，例如，通用可編程數(shù)字計(jì)算機(jī)或包括存儲(chǔ)器和處理器元 件的中央處理單元(CPU)。處理器可以被安排通過(guò)地址/數(shù)據(jù)總線 與存儲(chǔ)器進(jìn)行通信，并能夠通過(guò)商品化的或?qū)Ｓ玫奈⑻幚砥魉鶚?gòu) 造。存儲(chǔ)器可以包括，但不限于，各種類(lèi)型的器件，諸如，緩沖存 儲(chǔ)器、ROM、 PROM、 EPROM、 EEPROM、閃速存儲(chǔ)器、SRAM、 和DRAM。存儲(chǔ)器可以包括多種在數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)中所使用的軟件和數(shù)據(jù) 操作系統(tǒng)；應(yīng)用程序；輸入/輸出(I/O)設(shè)備驅(qū)動(dòng)器以及數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)可以包括流體存儲(chǔ)和分配容器特性的已知配置文件(profile ) 的數(shù)據(jù)庫(kù)，各種流體的特性、用于由來(lái)自流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)中的 氣體所提供的氣體利用裝置的歷史操作數(shù)據(jù)等。需要理解的是，在處理和顯示單元中的操作系統(tǒng)可以是用于凝: 據(jù)處理系統(tǒng)的任何合適類(lèi)型?？赡苡杏玫牟僮飨到y(tǒng)的說(shuō)明性實(shí)例包 括，但不限于，OS/2、 AIX、 OS/390或System390 (國(guó)際商用機(jī)器 公司，Armonk， NY )、 Windows CE、 Windows NT、 Windows95、 Windows98、 Windows2000、或WindowsXP (微軟公司，Redmond, WA)、 Unix或Linux或FreeBSD、 PalmOS (Palm， Inc. )、 Mac OS (蘋(píng)果計(jì)算機(jī)公司)、LabView或?qū)Ｓ械牟僮飨到y(tǒng)。I/O設(shè)備驅(qū)動(dòng)器典型地包括由應(yīng)用程序通過(guò)操作系統(tǒng)所訪問(wèn)的 軟件例程，以用來(lái)與諸如I/O數(shù)據(jù)接口、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器和該存儲(chǔ)器的 某些部分等裝置進(jìn)行通信。這些應(yīng)用程序是執(zhí)行系統(tǒng)的不同特征的說(shuō)明性程序，且可以適 當(dāng)?shù)匕ㄒ粋€(gè)或多個(gè)支持?jǐn)?shù)據(jù)分析的應(yīng)用程序。上述數(shù)據(jù)表示由應(yīng) 用程序、操作系統(tǒng)、I/O設(shè)備驅(qū)動(dòng)器、和可駐留在存儲(chǔ)器中的其它 軟件程序所使用的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)。用于本發(fā)明思想方法能夠執(zhí)行操作的處理器的任何配置都可 以#皮方{更地4吏用。處理和顯示單元的I/O數(shù)才居接口可以用于在處理和顯示單元與 另一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)或網(wǎng)絡(luò)(例如，互聯(lián)網(wǎng))之間傳遞信息，或者用于 傳遞信息給可由處理器所控制的其它裝置。處理和顯示單元包括用圖表形式輸出正被監(jiān)測(cè)的容器的流體 利用的顯示器，例如以正^皮監(jiān)測(cè)的容器及其流體含量的圖示(representation)形式。該圖示可以是圖表表示的"氣體壓強(qiáng)計(jì)" 類(lèi)型，其中的流體含量按比例示出給在圖形輸出中所示意性地表示 的容器，以作為具有表示容器中流體容積含量的上邊界線的二維柱 圖，其中，隨著流體從容器中^皮分配，且在從該容器中的才是供流體 外部流體消耗設(shè)備中被消耗，該上邊界線在顯示器中被垂直向下地 平移。容器的"填充狀態(tài)"的這種類(lèi)型的描述提供了在容器中剩余 的流體存量的直觀且容易的視覺(jué)表示。在一具體實(shí)施例中，本發(fā)明的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以凈皮用于監(jiān)測(cè) 308@氣體供應(yīng)系統(tǒng)，通過(guò)從被可操作性地安排的壓強(qiáng)傳感器中監(jiān) 測(cè)壓強(qiáng)信號(hào)，以檢測(cè)從SDS⑩容器中被分配的氣體的壓強(qiáng)特性。在 另 一個(gè)具體實(shí)施例中，動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以通過(guò)監(jiān)測(cè)離子注入機(jī)內(nèi)部 的VAC^容器上的張力計(jì)而被用于監(jiān)測(cè)VAC②氣體供應(yīng)系統(tǒng)。然后， 來(lái)自傳感器的信號(hào)被發(fā)送到數(shù)據(jù)獲取模塊，從該數(shù)據(jù)獲取模塊中發(fā) 送信號(hào)可以通過(guò)信號(hào)傳輸線(例如光纖通信線路)被發(fā)送到處理和 顯示單元，以用于在非易失性緩沖器中數(shù)據(jù)的顯示和歸檔。在另一實(shí)施例中，處理和顯示單元也可以并入或^皮連4妄到才艮警 裝置，諸如指示流體存儲(chǔ)和分配容器接近耗盡終點(diǎn)的低壓報(bào)警?？梢詷?gòu)造并安排數(shù)據(jù)獲取才莫塊與處理和顯示單元以監(jiān)測(cè)多個(gè) 流體供應(yīng)和分配容器，例如在加工(fab)中離子注入4幾的氣體盒中 的一列這種容器。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，適當(dāng)?shù)嘏渲锰幚砗惋@示單元以基于 已知的等溫線等式、容器尺寸和流體類(lèi)型而在流體供應(yīng)系統(tǒng)中計(jì)算 流體的剩余可用容積。這是非常方便的，因?yàn)樵诹黧w供應(yīng)容器中剩 余的流體的容積在其接近耗盡時(shí)不與壓強(qiáng)成線性比例。作為說(shuō)明性 的實(shí)施例，對(duì)于在2.2L AsH3 SDS③圓柱體中剩余的100torr流體壓 強(qiáng)，可傳送的砷化三氫的50%仍留在容器中。根據(jù)所涉及的具體材料處理操作和安裝，本發(fā)明的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可 以4安寬泛不同的方式來(lái)^皮配置。在包括從流體供應(yīng)容器中分配流體過(guò)程的才喿作期間，監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 例如可以被安排用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器中或從流體供應(yīng)容器中的流體，這是因?yàn)榘?i)一個(gè)或多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng) 容器或從其中分配的流體的特性；(ii)數(shù)據(jù)獲取裝置，可操作性地 與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器連接以從其中接收監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)且響應(yīng)性地 產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器所監(jiān)測(cè)的特性相關(guān)的輸出；以及 (iii)處理器，可操作性地與數(shù)據(jù)獲取裝置連接并被安排來(lái)處理來(lái) 自數(shù)據(jù)獲取裝置中的輸出并響應(yīng)性地產(chǎn)生表示在流體供應(yīng)容器中 流體存量的輸出。在這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中的傳感器可以包括壓強(qiáng)傳感器，其適用于 監(jiān)測(cè)從流體供應(yīng)容器中所分配的流體的壓強(qiáng)；和/或質(zhì)量流動(dòng)傳感 器，其適用于監(jiān)測(cè)從流體供應(yīng)容器中所分配的流體的流速，和/或其它適當(dāng)?shù)母袦y(cè)裝置和《且件。監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以適用于包含流體供應(yīng)容器、 一個(gè)或多個(gè)傳感器、 數(shù)據(jù)獲取裝置、和處理器等的流體利用設(shè)備之中。在一個(gè)實(shí)施例中 的處理器位于遠(yuǎn)離流體供應(yīng)容器、傳感器、和數(shù)據(jù)獲取裝置的位置， 例如位于遠(yuǎn)離流體利用設(shè)備的流體利用記帳(billing)設(shè)備中。在一結(jié)合這種布局安排的具體實(shí)施例中，第一數(shù)據(jù)獲取模塊可 以在流體利用設(shè)備中被提供且第二數(shù)據(jù)獲取模塊可以被配置在流 體利用記帳設(shè)備中。在這種布局安排中，第二數(shù)據(jù)獲取模塊例如通 過(guò)包括數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)、信號(hào)傳輸線、和/或無(wú)線通信形式的通信形式 可操作性地與處理器以及第一數(shù)據(jù)獲取模塊相連接。處理器可以適 用于對(duì)用于所分配流體的流體利用i殳備產(chǎn)生巾艮單以及對(duì)所分配的 流體的產(chǎn)生報(bào)告。在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，前述的通信形式包括互聯(lián)網(wǎng)通信形式。在前述監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的 一個(gè)實(shí)施例中的流體利用設(shè)備包括半導(dǎo)體 加工設(shè)備，該半導(dǎo)體加工設(shè)備包括與流體供應(yīng)容器以流體供應(yīng)關(guān)系 安排的離子注入機(jī)，其中流體包括用于離子注入的摻雜物源材料。在該系統(tǒng)中處理器的輸出可以包括對(duì)于換下流體利用i殳備中流體 供應(yīng)容器的提示或警報(bào)，且該系統(tǒng)可以被安排并適用于所監(jiān)測(cè)的特 性的數(shù)據(jù)記錄。在具體實(shí)施例中，監(jiān)測(cè)傳感器可以包括產(chǎn)生轉(zhuǎn)化為光信號(hào)的模 擬電輸出的壓強(qiáng)傳感器。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明設(shè)想在包括分配材料過(guò)程的操作期間 用于監(jiān)測(cè)材料使用的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i)一個(gè) 或多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)分配特性；(ii)數(shù)椐獲取裝置，可操作性 地與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器連接以從其中接收監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)并響應(yīng)性 地產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器監(jiān)測(cè)的特性相關(guān)的輸出；以及 (m)處理器，可操作性地與數(shù)據(jù)獲取裝置連接并被安排處理來(lái)自 數(shù)據(jù)獲取裝置中的輸出并響應(yīng)性地產(chǎn)生表示用于分配可用的材料 的存量的輸出。在該實(shí)施例中，處理器可以位于遠(yuǎn)離材料使用位置的記帳位置 且輸出可以包括針對(duì)在材料使用位置所分配的材料的帳單。前述的數(shù)據(jù)獲取裝置可以包括在材料使用位置的數(shù)據(jù)獲取模 塊，該材料使用位置以通信關(guān)系與遠(yuǎn)處的記帳位置連接，它包括從 凄t字信息網(wǎng)絡(luò)、有線通信、光纖通信、遙測(cè)線路、及蜂窩式無(wú)線通 信這些之中所選擇的通信形式。例如，通信形式可以包括互聯(lián)網(wǎng)，例如包括支持通過(guò)萬(wàn)維網(wǎng)站提供通信的信息協(xié)議(例如，XML)的 服務(wù)器。在另 一個(gè)實(shí)施例中，在監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中的處理器可以包括遠(yuǎn)離材料 使用位置的便攜式數(shù)字裝置。該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以適用于以不同方式把 來(lái)自于一個(gè)或多個(gè)傳感器的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為數(shù)字形式，該數(shù)字形式 通過(guò)使用寬泛不同的傳感、通信和處理/輸出裝置進(jìn)行跟蹤。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，監(jiān)測(cè)系統(tǒng)適用于監(jiān)測(cè)離子注入才幾的流體 利用，其中處理器位于遠(yuǎn)離離子注入機(jī)的記帳位置且處理器的輸出 包括針對(duì)所述流體使用的帳單。在本發(fā)明的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，數(shù)據(jù)獲取裝置的輸出可以包括用于分 配可用的材料的材料存量數(shù)據(jù)，且處理器可以適用于利用算法以將 材料存量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為使用信息，并利用算法以將使用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為客 戶收據(jù)清單和用于這種材料的使用報(bào)告。因此，在一個(gè)具體方面中，本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括 離子注入機(jī)，該離子注入機(jī)包括容納摻雜物源流體源的氣體盒；至 少一個(gè)傳感器，其適用于在分配條件下監(jiān)測(cè)從摻雜物源流體源中所 分配的摻雜物源流體的溫度、壓強(qiáng)和流速中的至少一種；lt據(jù)獲取 模塊，其被安裝在氣體盒中并適用于從傳感器中接收監(jiān)測(cè)信號(hào)；輸 出單元，其適用于產(chǎn)生與在摻雜物源流體源中的摻雜物源流體的存量相關(guān)的輸出；以及通信連接，其處在數(shù)據(jù)獲取模塊和輸出單元之 間，例如，光纖通信線。摻雜物源流體源可以包括多個(gè)流體供應(yīng)容器，每個(gè)供應(yīng)容器都 具有與其相關(guān)的專(zhuān)用壓強(qiáng)傳感器。作為另一種變形，數(shù)據(jù)獲取模塊 可以被配置成通過(guò)模塊的數(shù)據(jù)通信接口提供數(shù)據(jù)記錄，以及數(shù)據(jù)獲 取模塊可以被配置成通過(guò)繼電器觸點(diǎn)提供外部報(bào)警性能。在特定的實(shí)施例中，為系統(tǒng)用于確定用從離子注入機(jī)的氣體盒 中摻雜物源流體源中的摻雜物源流體所提供的在離子注入機(jī)中摻 雜物源流體的消耗作好準(zhǔn)備，其中的摻雜物源流體源包括對(duì)于摻雜 物源流體具有吸附性親和力的吸附劑介質(zhì)，且從其中所吸附的摻雜 物源流體在分配條件下被脫附。摻雜物源流體源包括預(yù)定尺寸的摻 雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器，而所述流體存儲(chǔ)和分配容器包含有所述吸附劑介質(zhì)一預(yù)定重量。該系統(tǒng)包4舌溫度傳感器，適用于感測(cè)氣體盒溫度T;壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器，適用于測(cè)量流體存儲(chǔ)和分配容器壓強(qiáng)P;以及監(jiān)測(cè)和控制系統(tǒng)，可操作性地與溫度傳感器和壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器連 接，且適用于實(shí)施以下步驟設(shè)置端點(diǎn)壓強(qiáng)，用于從摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器中分配摻 雜物源流體；確定在不同壓強(qiáng)下的溫度系數(shù)dP/dT;確定針對(duì)端點(diǎn)壓強(qiáng)的溫度系凄t;把從壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器中所測(cè)得的壓強(qiáng)歸 一化為預(yù)定溫度；將端點(diǎn)壓強(qiáng)歸一化為預(yù)定溫度；在用于吸附劑介質(zhì)和摻雜物源流體的預(yù)定溫度處確定等溫線 等式；以及通過(guò)使用等溫線等式，確定在流體存儲(chǔ)和分配容器中剩余的摻 雜物源流體的量。本發(fā)明的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以用于與材料供應(yīng)系統(tǒng)結(jié)合，該系統(tǒng)適用于對(duì)分配操作提供材料，其中，這種材料供應(yīng)系統(tǒng)包括在供應(yīng)位 置處已填充材料的容器，以及運(yùn)輸車(chē)，該運(yùn)輸車(chē)用于將已填充材料 的容器從供應(yīng)位置輸送到用于分配操作的使用位置。本發(fā)明相應(yīng)地設(shè)想適用于分配材料的分配器，該分配器可操作 性地與本發(fā)明的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)連接。本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)想適用于從分配器 中接收材料的材料利用裝置，該材料利用裝置可操作性地與本發(fā)明 的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)連接，以及在由本發(fā)明的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的分配期間監(jiān)測(cè)的通 過(guò)4吏用所分配的材料所加工的物品。作為 一個(gè)說(shuō)明性實(shí)例，本發(fā)明的系統(tǒng)可以被安排用于監(jiān)測(cè)在流 體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含對(duì)于流 體具有吸附性親和力的存儲(chǔ)介質(zhì)，在用于在流體利用過(guò)程中的分配 條件下從該容器中分配流體，其中，該系統(tǒng)包括(a) 吸附性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)，用于在存儲(chǔ)介質(zhì)上的流體；(b) 監(jiān)測(cè)器，適用于監(jiān)測(cè)從流體存儲(chǔ)和分配容器的特性、分 配條件、所分配的流體的特性、以及流體利用過(guò)程的特性這些之中 所選擇的至少 一個(gè)感測(cè)流體存量的變量，且適用于響應(yīng)性地產(chǎn)生與 這樣的至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；以及(c) 處理器，適用于接收監(jiān)測(cè)信號(hào)并響應(yīng)性地實(shí)施所述至少 一個(gè)感測(cè)流體存量變量與在吸附性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息 相關(guān)的信號(hào)處理操作，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存 量的輸出。例如，感測(cè)流體存量的變量可以是所分配的流體壓強(qiáng)和/或所分 西己的力t體力乾速。作為另一個(gè)i兌明性的實(shí)例，4艮據(jù)本發(fā)明，可以不^皮構(gòu)造并安排 用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器(其中含有在用于在流體利用過(guò)程 中使用的分配條件下分配的流體)中流體存量的系統(tǒng)，包括(a) 監(jiān)測(cè)器，其適用于在分配流體期間監(jiān)測(cè)至少一個(gè)流體特 性例如，所分配的流體壓強(qiáng)和/或所分配的流體流速，并適用于響應(yīng) 性地產(chǎn)生與所述至少 一個(gè)流體特性相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(b) 信息的數(shù)據(jù)庫(kù)，該信息關(guān)于在分配期間確定在流體存儲(chǔ) 和分配容器中流體的存量；以及(c) 處理器，其適用于在將監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān) 聯(lián)的信號(hào)處理操作中處理監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配 容器中流體存量的輸出。本發(fā)明的另 一實(shí)施例包括了用于監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器中 的流體存量的系統(tǒng)，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含在用于流體利用過(guò) 程中^f吏用的分配條件下分配的流體，其中，該系統(tǒng)包4舌(a) 張力監(jiān)測(cè)器，例如安裝在流體存儲(chǔ)器和分配容器的外部 表面部分上的一個(gè)或多個(gè)張力計(jì)，該監(jiān)測(cè)器適用于在分配流體期間 監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器的張力，并適用于響應(yīng)性地產(chǎn)生與張力相 關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(b) 信息的數(shù)據(jù)庫(kù)，該信息關(guān)于在分配期間確定在流體存儲(chǔ) 和分配容器中流體的存量；以及(c) 處理器，其適用于在將監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān) 的信號(hào)處理:燥作中處理監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存々者和分配容 器中流體存量的輸出。在該系統(tǒng)的凄t據(jù)庫(kù)中的信息可以是《壬^r類(lèi)型，例如包括以下信息在不同的分配條件下流體的可壓縮性、流體存儲(chǔ)和分配容器特 性、流體分子量信息、以及適用于流體的PVT關(guān)系等。因此，本發(fā)明才是供一種在包括從流體供應(yīng)容器中分配流體過(guò)程 的操作期間監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器中流體的方法。在說(shuō)明性的技術(shù)中， 這種方法可以包4舌以下步驟(i)監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器的或從其中所 分配的流體的特性，(ii)從該監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取lt據(jù)，并產(chǎn)生與該特 性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲取信號(hào)，以及(iii)處理數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并響應(yīng)性地 產(chǎn)生表示流體供應(yīng)容器中流體存量的輸出。在該方法中所述的監(jiān)測(cè) 過(guò)程可以是從流體供應(yīng)容器中所分配流體的壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)過(guò)程和/或所 分配的流體的流速監(jiān)測(cè)過(guò)程。在分配過(guò)程之后流體可以用在流體利用i殳備中，且該處理過(guò)程 可以相關(guān)于在分配操作中分配的流體的4吏用位置遠(yuǎn)程地進(jìn)行，例 如，在遠(yuǎn)離流體利用設(shè)備的流體利用記帳設(shè)備中進(jìn)行。本發(fā)明的另 一 方法方面涉及在包4舌分配材料過(guò)程的才喿作期間 監(jiān)測(cè)材料使用，包括以下步驟(i)監(jiān)測(cè)分配過(guò)程的特性，(ii)從 該監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與該特性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲取信號(hào)，以 及(iii)例如在遠(yuǎn)離材料的使用位置的記帳位置處理數(shù)據(jù)獲取信號(hào)， 并響應(yīng)性地產(chǎn)生用于表示針對(duì)分配可用的材并牛的存量的輸出，例如 包括在所述材料的使用位置針對(duì)所分配的材料的帳單的輸出。數(shù)據(jù) 獲取步驟可以包括在使用位置上數(shù)據(jù)獲取模塊的使用，該使用位置 例如通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)連接與上述的記帳位置相連接，其中，互聯(lián)網(wǎng)包括 支持通過(guò)萬(wàn)維網(wǎng)站提供通信的信息協(xié)i義的服務(wù)器。該方法可以作為 網(wǎng)絡(luò)服務(wù)被實(shí)施，或通過(guò)以使用固定的和/或移動(dòng)的處理資源的其它 方式被實(shí)施。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明設(shè)想一種在半導(dǎo)體加工設(shè)備(包括離 子注入機(jī))中加工半導(dǎo)體產(chǎn)品的方法，該離子注入機(jī)包括容納摻雜物源流體源的氣體盒，其中該方法包括在分配條件下監(jiān)測(cè)從摻雜 物源流體源中所分配的摻雜物源流體的溫度、壓強(qiáng)、和流速中的至 少一種；從這樣的監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取該氣體盒中的數(shù)據(jù)；將所獲取的 數(shù)據(jù)傳輸?shù)捷敵鰡卧?，該輸出單元適用于產(chǎn)生與在摻雜物源流體源 中摻雜物源流體的存量相關(guān)的輸出；以及產(chǎn)生該輸出。在另 一 實(shí)施例中，本發(fā)明設(shè)想確定用從離子注入機(jī)的氣體盒中 的摻雜物源流體源中摻雜物源流體所提供的在離子注入機(jī)中摻雜 物源流體的消耗的方法，其中所述的摻雜物源流體源包括對(duì)于摻雜 物源具有吸附性親和力的吸附性介質(zhì)，且從其中所吸附的摻雜物源 流體在分配條件下被脫附，且摻雜物源流體源包括預(yù)定尺寸的摻雜 物源流體存儲(chǔ)和分配容器，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含有所述吸附 性介質(zhì)一預(yù)定重量。該方法包括以下步驟感測(cè)氣體盒溫度T;測(cè)量流體存儲(chǔ)和分配容器壓強(qiáng)P;設(shè)置端點(diǎn)壓強(qiáng)，該壓強(qiáng)用于從摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器中 分配摻雜物源流體；確定在不同壓強(qiáng)下的溫度系數(shù)dP/dT;確定針對(duì)端點(diǎn)壓強(qiáng)的溫度系數(shù)；把乂人壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器中測(cè)得的壓強(qiáng)歸 一化為預(yù)定溫度；將端點(diǎn)壓強(qiáng)歸 一化為預(yù)定溫度；在預(yù)定溫度下對(duì)吸附劑介質(zhì)和摻雜物源流體確定等溫線等式；以及通過(guò)使用等溫線等式，確定流體存儲(chǔ)和分配容器中剩余的摻雜 物源流體的量。本發(fā)明的方法可以結(jié)合材料供應(yīng)操作(包括供應(yīng)用于分配操作 的材料)被實(shí)施，且該材料供應(yīng)操作可以包括在供應(yīng)位置供應(yīng)填滿 材料的容器并將填滿材料的容器從供應(yīng)位置傳送到用于該分配過(guò)程的使用位置。通過(guò)利用適用于其加工的所分配的材并牛來(lái)執(zhí)4亍加工過(guò)程就可 以相應(yīng)地加工產(chǎn)品，其中，通過(guò)本發(fā)明的監(jiān)測(cè)方法來(lái)監(jiān)測(cè)所分配的 材料的材料使用。本發(fā)明的另 一方面涉及監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量 的方法，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含對(duì)流體具有吸附性親和力的存 儲(chǔ)介質(zhì)，在用于在流體利用過(guò)程中使用的分配條件下從該流體存儲(chǔ) 和分配容器中分配流體。該方法包括以下步驟(a) 為在存儲(chǔ)介質(zhì)上的流體提供吸附性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)；(b) 監(jiān)測(cè)由流體存儲(chǔ)和分配容器的特性、分配條件、所分配 的流體的特性、以及流體利用處理的特性所組成的組中所選擇的至 少 一個(gè)感測(cè)流體存量的變量；(c )產(chǎn)生與所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；以及(d )在將所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量與吸附性等溫線數(shù) 據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)中信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作中處理監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生 表示在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸出。本發(fā)明的另 一個(gè)方法包括監(jiān)測(cè)在流體存4諸和分配容器中的流 體存量，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含在用于流體利用過(guò)程中的分配條件下所分配的流體，其中，該方法包4舌(a) 在分配流體過(guò)禾呈期間監(jiān)測(cè)至少一個(gè)流體特性；(b) 產(chǎn)生與所述至少一個(gè)流體特性相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(c) 提供信息的數(shù)據(jù)庫(kù)，該信息是關(guān)于在所述分配過(guò)程期間 確定在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體的存量的；以及(d )在將監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作 中處理監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸 出。本發(fā)明的另 一 個(gè)方法包括在流體存儲(chǔ)和分配容器中監(jiān)測(cè)流體 存量，該流體存儲(chǔ)和分配容器包含有在用于流體利用過(guò)程中的分配 條件下所分配的流體，其中，該方法包括以下步驟(a) 在分配流體期間監(jiān)測(cè)流體存儲(chǔ)和分配容器的張力；(b) 產(chǎn)生與所述張力相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(c) 提供信息的數(shù)據(jù)庫(kù)，該信息是關(guān)于在分配過(guò)程期間確定 在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體的存量的；以及(d )在將監(jiān)測(cè)信號(hào)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作 中處理監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的 輸出。在該方法中，凄史據(jù)庫(kù)信息可以包括以下信息，諸如在不同的分 配過(guò)程條件下流體的可壓縮性、流體存儲(chǔ)和分配容器特性、流體分子量信息、和適用于流體的PVT關(guān)系等。在另 一實(shí)施例中，本發(fā)明設(shè)想將材并牛從所述材料的遠(yuǎn)處供應(yīng)位 置提供給在使用位置處用戶的方法，包括在所述使用位置由用戶分 配材料，其中該方法包括(i)監(jiān)測(cè)分配過(guò)程的特性，(ii)從所述 監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與該特性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲取信號(hào)，(iii) 處理數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并響應(yīng)性地產(chǎn)生表示用于分配可用的材料的存 量的輸出，其中，在遠(yuǎn)離所述材料的使用位置的記帳位置處執(zhí)行該 處理過(guò)程，且所述輸出包括用于在材料的使用位置處所分配的材料 的帳單，以及(iv)響應(yīng)于表示針對(duì)在使用位置分配可用材料的存 量的輸出，將材料從遠(yuǎn)處供應(yīng)位置分配到使用位置。現(xiàn)在參考附圖，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，圖l是包括離子注 入才幾12的加工裝置10的示意圖，該離子注入才幾12利用在注入枳i 的氣體盒14中的流體存儲(chǔ)和分配容器22、 24、 26、和28的布置，其中，流體利用是由流體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)。正如示意性示出的，離子注入機(jī)12包括限定包含氣體盒14的 內(nèi)部容積16的委于閉結(jié)構(gòu)。該氣體盒又限定內(nèi)部容積18，在該內(nèi)部 容積內(nèi)設(shè)置一列流體存儲(chǔ)和分配容器22、 24、 26、和28，每個(gè)流體存儲(chǔ)和分配容器都具有相關(guān)聯(lián)的壓強(qiáng)傳感器("PT")，例如，置的流體壓強(qiáng)。與容器22、 24、 26、和28相關(guān)聯(lián)的壓強(qiáng)傳感器在每個(gè)分配梯: 作期間都產(chǎn)生與所感測(cè)的壓強(qiáng)相關(guān)的信號(hào)(為了便于描述，未示出 與流體供應(yīng)和分配容器相關(guān)的流動(dòng)線路，和離子注入機(jī)封閉結(jié)構(gòu)中 的離子注入裝置的細(xì)節(jié))，且這些信號(hào)由信號(hào)傳輸線30、 32、 34、 和36被傳輸?shù)綌?shù)據(jù)獲取模塊40。在單一的配置中，數(shù)據(jù)獲取模塊包括含有相關(guān)的電子裝置和獲 取硬件的殼體42。數(shù)據(jù)獲取模塊40從由圖1中的箭頭44示意性指 示的適當(dāng)?shù)碾娫?例如，12伏直流電源)中接收供電。數(shù)據(jù)獲取模塊40用來(lái)從與容器相關(guān)的傳感器中獲取感測(cè)信號(hào)， 并將信號(hào)處理為用于通過(guò)信號(hào)傳輸線48 (例如，光纖電纜)而傳輸 到處理器和顯示單元50的適當(dāng)形式，該信號(hào)傳輸線從數(shù)據(jù)獲取模 塊40穿過(guò)氣體盒14的壁和離子注入才幾12的包圍的壁而延伸到處 理器和顯示單元50。特別地，在另一方案中，獲取模塊可以通過(guò)無(wú) 線通信裝置(例如，通過(guò)無(wú)線電頻率傳輸?shù)难b置)接收感測(cè)信號(hào)。處理器和顯示單元50包括前面描述的信號(hào)處理裝置，該信號(hào) 處理裝置處理由信號(hào)傳輸線48傳輸?shù)男盘?hào)以產(chǎn)生在單元50的顯示 器52上顯示的圖形輸出。處理器和顯示單元50由適當(dāng)?shù)碾娫垂╇姡?其例如由可操作性地與變壓器56 (例如，12伏墻壁變壓器)相連 接的電源線54所連4妾，并適用于在電供應(yīng)網(wǎng)絡(luò)(例如，110伏或 220伏月良務(wù))的墻壁插座上插上電源。圖2是在圖1中示出的加工裝置10中流體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的視頻顯 示單元50的4見(jiàn)頻顯示接口的示意圖。如圖所示，4見(jiàn)頻顯示4妄口示出了在裝置10的氣體盒14中的四 個(gè)容器22、 24、 26、和28中的每一個(gè)的圖示，以二維垂直延伸矩形的形式，這些矩形都具有表示在每個(gè)矩形中流體存量的邊界的水 平線。在示出的具體實(shí)例中，流體存量由白色"填充體積"示出，該 "填充體積"是關(guān)于相關(guān)矩形的總面積表示在任意給定時(shí)間容器中 剩余的流體的量的。通過(guò)這種輸出，即刻就能看出所監(jiān)測(cè)的容器中的每一個(gè)的狀態(tài)，是關(guān)于其流體存量的。作為在圖2中示出的說(shuō)明 性的顯示器中，顯示器也可以提供各容器的相關(guān)流體填充狀態(tài)的數(shù) 字指示(例如，在圖2中描述的顯示器中由數(shù)字標(biāo)記"93"、 "123"、 "40"和"91"所示出的)。關(guān)于所感測(cè)的數(shù)據(jù)傳輸?shù)綌?shù)據(jù)獲取模塊40,可以按任何適當(dāng)方 式來(lái)執(zhí)4亍監(jiān)測(cè)過(guò)程，該方式用于以在本發(fā)明的給定應(yīng)用中所想要的 實(shí)時(shí)、連續(xù)的形式進(jìn)行監(jiān)測(cè)。關(guān)于圖1和圖2中示出的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的具體實(shí)施例，處理器 和顯示單元可凈皮配備來(lái)與在諸如加工i殳備的操作者工作站中的計(jì) 算機(jī)進(jìn)行對(duì)接。處理器和顯示單元例如可以是為此目的而用RS-232 端口進(jìn)行配置，以使在處理器和顯示模塊上的該RS-232端口和操 作者計(jì)算機(jī)上的串行端口之間能夠電連(cable )。該數(shù)據(jù)獲取才莫塊 可以適當(dāng)?shù)嘏渲贸捎糜跒榕c容器相關(guān)的傳感器中的每一個(gè)都提供 傳感器激勵(lì)和^f莫擬輸入。當(dāng)傳感器是安裝在流體存儲(chǔ)和分配容器的 壁上的張力計(jì)時(shí)，該傳感器就可以容易地與數(shù)據(jù)獲取^莫塊電連。在一具體實(shí)施例中，處理器和顯示單元被安排用于歸檔多至 3000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的數(shù)據(jù)記錄，其中，從設(shè)置菜單中所配置的記錄速率 為5秒每點(diǎn)到2小時(shí)每點(diǎn)范圍內(nèi)的合適值。在說(shuō)明性裝置中對(duì)于四 個(gè)容器的所有四個(gè)通道都^皮記錄且記錄tt據(jù)可通過(guò)處理器和顯示 單元的RS-232端口下載?？梢詾樗膫€(gè)監(jiān)測(cè)的通道中的每一個(gè)都提 供趨勢(shì)圖，按比例100%匹配的直方圖(表示容器中完全的流體存量)，并按此比例示出整個(gè)數(shù)據(jù)記錄緩沖器。因?yàn)轱@示器是100點(diǎn) 寬，且數(shù)據(jù)記錄是3000點(diǎn)寬，所以在顯示器上每4象素示出了平均 300個(gè)讀出點(diǎn)。為了更精細(xì)示出，數(shù)據(jù)可以通過(guò)RS-232端口從處 理器和顯示單元中下載。在特定實(shí)施例中，配置處理器和顯示單元， 以便每個(gè)數(shù)據(jù)元都由處理器打上時(shí)間戳。
通過(guò)連同圖1和圖2中相關(guān)描述的一般類(lèi)型的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)， 流體存儲(chǔ)和分配容器可以通過(guò)與特定容器相關(guān)的壓強(qiáng)傳感器的簡(jiǎn) 單布置容易地監(jiān)測(cè)。可以由本發(fā)明的系統(tǒng)監(jiān)測(cè)的容器包括來(lái)自 ATMI公司的商業(yè)上可得到的SDS②流體存儲(chǔ)和分配容器(Danbury， Connecticut,美國(guó))和在美國(guó)專(zhuān)利第5,518,528號(hào);第5,704,965號(hào)；第 5,704,967號(hào);以及第5，707，424號(hào)中描述的各種容器，以及常規(guī)型式 的高壓容器，來(lái)自ATMI公司的商業(yè)上可得到的VAC③流體存儲(chǔ)和 分配容器(Danbury， Connecticut，美國(guó))和在美國(guó)專(zhuān)利第6,101,816號(hào); 第6,089,027號(hào)；第6,360,546號(hào)；第6，474，076號(hào);以及第6，343，476 號(hào)中描述的各種容器，以及在2005年3月16日以Paul J. Marganski、 James A. Dietz和Jos印h D. Sweeney的名義提交的對(duì)"用于從其固 體源中傳輸試劑的系統(tǒng)"的美國(guó)臨時(shí)專(zhuān)利申i青第60/662,515號(hào)中描 述的固體源試劑存儲(chǔ)器和流體分配容器的類(lèi)型，其全部?jī)?nèi)容結(jié)合于 此以供參考。
在VAC"充體存儲(chǔ)和分配容器中，代替壓強(qiáng)傳感器，還可以存 在使用與容器相關(guān)的張力監(jiān)測(cè)裝置，諸如安裝在容器外壁上的阻力 張力計(jì)以在流體分配操作期間監(jiān)測(cè)容器壁的變形(deflection )。例 如，在2002年12月17日發(fā)布的美國(guó)專(zhuān)利第6,494,343號(hào)中所描述 的這種類(lèi)型的張力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其全部?jī)?nèi)容7>開(kāi)于此以并參考。
然而，更通用地，可以使用任何適當(dāng)?shù)谋O(jiān)測(cè)裝置、組件或單元， 其對(duì)于監(jiān)測(cè)流體容器、所分配的流體、流動(dòng)線路或流體存儲(chǔ)和分配 系統(tǒng)的其它方面等等與流體存量相關(guān)的特性是有用的。本發(fā)明的系統(tǒng)允許以間歇或連續(xù)的方式監(jiān)測(cè)流體存量，這在本 發(fā)明的給定應(yīng)用中可能是想要或必要的，并且也附加地允許用戶4丸 行具有被輸出的提示或報(bào)警的系統(tǒng)(例如，用于換下容器的報(bào)警、
聲音和/或e-mail提醒)，以便最小化在流體利用設(shè)備中的宕機(jī)時(shí)間。
本發(fā)明系統(tǒng)也為數(shù)據(jù)記錄提供了簡(jiǎn)單且有效的用戶接口 ，該數(shù) 據(jù)記錄可以任何方^更的方式^皮執(zhí)行，例如在利用啟動(dòng)處理器和顯示 單元的繼電器觸點(diǎn)的系統(tǒng)中。
當(dāng)流體存量監(jiān)測(cè)和顯示系統(tǒng)^皮配置為參考圖1和2示出并描述 時(shí)，所述流體存量監(jiān)測(cè)和顯示系統(tǒng)就容易地:帔安裝在半導(dǎo)體加工設(shè) 備中，其中，數(shù)據(jù)獲取模塊由12伏直流電源供電并被安裝在半導(dǎo) 體設(shè)備的氣體盒中的安全安裝位置，借助于光纖通信從氣體盒中的 數(shù)據(jù)獲取模塊發(fā)送到外部顯示單元。這種類(lèi)型的系統(tǒng)的安裝可以例 如需要2-8小時(shí)，且由此容易地被提供在現(xiàn)有的半導(dǎo)體加工系統(tǒng) 的改型過(guò)程之中。
當(dāng)在本發(fā)明的實(shí)施中壓強(qiáng)傳感器^C用于監(jiān)測(cè)所分配的流體的 壓強(qiáng)時(shí)，可以使用適用于流體存量監(jiān)測(cè)和顯示系統(tǒng)的具體實(shí)施的任 何合適的壓強(qiáng)傳感器裝置。 一種優(yōu)選的壓強(qiáng)傳感器是來(lái)自美國(guó)電子 控制，精密傳感器部門(mén)的(Milford,Connecticut，USA)商業(yè)上可用的 staset②固態(tài)壓強(qiáng)傳感器。傳感器方^f更地:故安裝在或近于與相關(guān)的流 動(dòng)線路相連的流體存儲(chǔ)和分配容器，例如在或靠近歧管的"引線" 連接，以流體連通關(guān)系該歧管可以與流體存儲(chǔ)和分配容器連接。
在本發(fā)明的流體存量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，通過(guò)其上 (onboard)的數(shù)據(jù)獲取顯示單元在± 5torr的精度范圍內(nèi)的正壓或 ^f氐于大氣壓的壓強(qiáng)下，該系統(tǒng)才尤適用于監(jiān)測(cè)多至四個(gè)離子注入或摻 雜容器。在該實(shí)施例中，來(lái)自每個(gè)壓強(qiáng)傳感器中的模擬電壓都被轉(zhuǎn) 4匕為光樂(lè)么沖，該光3永沖然后越過(guò)離子注入才幾高電壓梯度^皮傳輸?shù)?^也電位上的可編禾呈顯示單元。在該實(shí)施例中的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是單才幾的系 統(tǒng)，使得沒(méi)必要與離子注入機(jī)操作系統(tǒng)有接口，并且甚至在晶片處 理期間，提供對(duì)注入才幾摻雜物源供應(yīng)容器的連續(xù)監(jiān)測(cè)。可編程顯示 單元顯示每個(gè)摻雜容器壓強(qiáng)和灌裝高度，且該可編程顯示單元是可 編程的，以用來(lái)為用戶提供顯示用壓強(qiáng)單元的靈活選擇，以及預(yù)先 的容器排空警告。該系統(tǒng)通過(guò)數(shù)據(jù)獲取模塊的適當(dāng)接口 (例如，
RS-232接口或其它適當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)通信接口 )為數(shù)據(jù)記錄提供通過(guò)繼電 器觸點(diǎn)的外部報(bào)警性能。
在該說(shuō)明性的實(shí)施例中，數(shù)據(jù)獲取模塊將模擬壓強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)化為 光脈沖并將這些光脈沖通過(guò)光纖管傳輸?shù)皆撓到y(tǒng)的顯示單元上，以 用于圖形顯示。光纖管為光脈沖提供了從數(shù)據(jù)獲取模塊到顯示單元 的傳輸路徑。顯示模塊顯示注入機(jī)氣體管線圖形壓強(qiáng)和摻雜容器灌 裝高度。
在本發(fā)明的另一方面中，對(duì)于來(lái)源于前述US GAAP要求而加 在半導(dǎo)體加工設(shè)備上的運(yùn)營(yíng)成本負(fù)擔(dān)通過(guò)流體存量監(jiān)測(cè)和記賬系 統(tǒng)被減輕，該操作成本負(fù)擔(dān)是由于對(duì)在半導(dǎo)體加工操作中使用所購(gòu) 買(mǎi)的專(zhuān)用化學(xué)制品的全部體積的消費(fèi)進(jìn)行記帳，而該流體存量監(jiān)測(cè) 和記賬系統(tǒng)則允"i午流體用戶在貴重專(zhuān)用材剩"故消井毛時(shí)才為其支付 費(fèi)用。
在這個(gè)方面中，本發(fā)明提供一種用于監(jiān)測(cè)由買(mǎi)方隨著時(shí)間逐步 消耗的特殊材料的量以及用于對(duì)這種特殊材料準(zhǔn)確征收費(fèi)用的系 統(tǒng)和方法。本發(fā)明的這方面利用實(shí)施例中的本發(fā)明的流體存量監(jiān)測(cè) 系統(tǒng)，其包括用于將數(shù)字信息從流體利用裝置傳輸?shù)竭h(yuǎn)離該裝置的 記帳裝置的傳輸器。流體存量監(jiān)測(cè)信息的傳輸可以任何適當(dāng)方式，例如通過(guò)使用數(shù) 字信息網(wǎng)絡(luò)(例如，內(nèi)聯(lián)網(wǎng)、外聯(lián)網(wǎng)和/或互聯(lián)網(wǎng))、專(zhuān)用布線或光 纖電纜通信線路、遙測(cè)系統(tǒng)、蜂窩式無(wú)線通信網(wǎng)絡(luò)等來(lái)進(jìn)行。
在一個(gè)實(shí)施例中，流體存量監(jiān)測(cè)信息通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)通信網(wǎng)絡(luò)#:傳 輸?shù)接泿ぱb置。例如，網(wǎng)絡(luò)可以包括支持通過(guò)萬(wàn)維網(wǎng)站提供通信的
信息協(xié)議(例如，HTTP)的服務(wù)器。
在另 一個(gè)說(shuō)明性的實(shí)施例中，流體存量監(jiān)測(cè)和記帳系統(tǒng)可以做 為網(wǎng)絡(luò)服務(wù)系統(tǒng)適用并實(shí)施，其中，在互聯(lián)網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)上提供軟件功能， 且可擴(kuò)展的標(biāo)記語(yǔ)言(例如，XML )信息用于從在流體利用i殳備中 的數(shù)據(jù)獲取模塊到流體提供方的記帳裝置進(jìn)行通信。
流體供應(yīng)方的記帳裝置可以包括遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)獲取單元，例如DAQ 模塊，或用于接收從流體利用設(shè)備中所傳輸?shù)牧黧w利用數(shù)據(jù)的其它 數(shù)據(jù)接收接口，其可操作性地與計(jì)算機(jī)或其它處理器(例如通用可 編程計(jì)算機(jī)、微處理器、可編程的邏輯運(yùn)算器或其它的計(jì)算模塊) 連接，其適用于存儲(chǔ)從半導(dǎo)體加工設(shè)備中傳輸?shù)牧黧w存量數(shù)據(jù)，以 及適用于存儲(chǔ)算法以用來(lái)將流體存量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為使用信息，并適用 于存儲(chǔ)算法用來(lái)把使用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為顧客清單收據(jù)和使用報(bào)告。
通過(guò)這種安排，顧客可以支付隨其消費(fèi)的貴重特殊材料的費(fèi) 用，而不是預(yù)先支付一大筆錢(qián)，以便避免一開(kāi)始就現(xiàn)金支出。此外， 這種安排使供應(yīng)方能夠監(jiān)測(cè)由用戶使用的材料并能夠更好地管理 材料的存量水平和出貨/交貨，這保證了特殊材料用戶的利益。通過(guò) 這種安排也使供應(yīng)方能夠涉及來(lái)自監(jiān)測(cè)和記帳中心其上系統(tǒng)的故 障維護(hù)。
在另 一實(shí)施例中，存量監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)可以被傳輸?shù)竭h(yuǎn)離使用設(shè)備的 流動(dòng)4立置，i者如，在整個(gè)系統(tǒng)凈皮配置并適用，以1更該存量凝:才居通過(guò)個(gè)人凄史字助理(PDA)、《更攜式計(jì)算才幾、可上網(wǎng)的電話、或其它移 動(dòng)裝置遠(yuǎn)程地存取，以便可以通過(guò)服務(wù)技術(shù)人員、材料供應(yīng)方代表、 或其他人員或便攜式裝置提供使用設(shè)備訪問(wèn)的任何故障查找、計(jì)劃等。
通過(guò)說(shuō)明性的實(shí)例，包括離子注入機(jī)的半導(dǎo)體加工設(shè)備可以通 過(guò)使用本發(fā)明的監(jiān)測(cè)和記帳系統(tǒng)來(lái)修改。注入機(jī)可以用作摻雜物源 SDS戀容器(ATMI公司，Danbury，Connecticut，USA)，該摻雜物源SDS 容器含有在大氣壓強(qiáng)之下的諸如砷化三氫或三氫化磷的摻雜物前 體流體。注入機(jī)被安排有本發(fā)明的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，提供壓強(qiáng)和流動(dòng)監(jiān)測(cè) 能力，包括接收壓強(qiáng)和/或流速測(cè)量的信號(hào)板，以伏特或安培形式輸 出。信號(hào)板轉(zhuǎn)化電信號(hào)，以便其可以越過(guò)注入機(jī)的電壓間隙通過(guò)光 纖電纜傳輸。然后，將光信號(hào)被轉(zhuǎn)化為數(shù)字電信號(hào)并從本地?cái)?shù)據(jù)獲 取模塊傳輸?shù)竭h(yuǎn)處的流體供應(yīng)方數(shù)據(jù)獲取模塊。從遠(yuǎn)處的流體供應(yīng) 方數(shù)據(jù)獲取模塊中，存儲(chǔ)、分析和使用利用信息，以產(chǎn)生使用報(bào)告、 顧客清單收據(jù)、補(bǔ)充請(qǐng)求、和/或流體供應(yīng)容器的逼近耗盡的報(bào)警， 通過(guò)供應(yīng)方裝置計(jì)算機(jī)/打印機(jī)組件，與供應(yīng)方數(shù)據(jù)獲取模塊連接。
圖3是根據(jù)本發(fā)明的另 一 實(shí)施例的與供應(yīng)方辦公室以數(shù)據(jù)通信 關(guān)系設(shè)置的半導(dǎo)體加工設(shè)備的示意圖，該供應(yīng)方辦公室正在監(jiān)測(cè)半 導(dǎo)體加工設(shè)備中流體源的流體利用。
流體源監(jiān)測(cè)和記帳系統(tǒng)100包括半導(dǎo)體加工設(shè)備102,該半導(dǎo) 體加工i殳備包才舌結(jié)構(gòu)空間104,而在該空間中布置有離子注入才幾 106。離子注入4幾106包括流體存儲(chǔ)和分配裝置，該流體存儲(chǔ)和分 配裝置又包4舌與流體分配線路110連4妄的流體存儲(chǔ)和分配容器108。
流體分配線路110在其排出端與離子源單元連接(未在圖3中 示出)。離子源單元適用于產(chǎn)生經(jīng)過(guò)電離的摻雜物質(zhì)，用于在晶片 或其它的基片物品上石並撞以產(chǎn)生相應(yīng)的、經(jīng)過(guò)摻雜的物品。流體分配線路110以流動(dòng)相通的方式與流體存l諸和分配容器相 關(guān)的流量控制閥112連接。流量控制閥112可以是安裝在流體存儲(chǔ) 和分配裝置的流體存儲(chǔ)和分配容器上的閥頭結(jié)構(gòu)的一部分，或其可 以是分離且不同于該裝置，并可以由具有氣動(dòng)搶才幾(pneumatic actuator)的積4戒閥所構(gòu)造，或由可操作地與用于啟動(dòng)該閥或其它器 件或組件的適當(dāng)電源連4妻的電》茲閥所構(gòu)造，所述器件或組件可有選 擇性地操作以用于在分配操作期間調(diào)整來(lái)自存儲(chǔ)和分配容器中流 體的流量。在圖3示出的裝置中，在流體分配操作期間在分配線路110中 所分配的流體的壓強(qiáng)由置于該分配線路中的壓強(qiáng)傳感器114所監(jiān) 測(cè)。壓強(qiáng)傳感器114通過(guò)信號(hào)通信線路116和118與信號(hào)板128通 信，由此，所感測(cè)的壓強(qiáng)信號(hào)在線路116中被通信傳遞到信號(hào)板128, 且控制和/或電源信號(hào)在線路118中可以從信號(hào)板被發(fā)送到傳感器。以類(lèi)似的方式，質(zhì)量流動(dòng)控制器126被置于分配線路110中并 通過(guò)信號(hào)傳輸線路122和124以信號(hào)通信關(guān)系與信號(hào)板128連接。 通過(guò)這些信號(hào)傳輸線路，^皮感測(cè)的質(zhì)量流動(dòng)速率可以在信號(hào)傳輸線 路122中被通信傳遞到信號(hào)板128,且控制信號(hào)和/或電源信號(hào)可以 通過(guò)信號(hào)板被通信傳遞到信號(hào)傳輸線路124中的質(zhì)量流動(dòng)控制器。信號(hào)板128以信號(hào)通信關(guān)系與數(shù)據(jù)獲取和執(zhí)行算法單元132 (被稱作DAQ模塊)連接，它通過(guò)信號(hào)傳輸線路130以信號(hào)通信 關(guān)系與信號(hào)板連接。DAQ模塊132為傳感器和質(zhì)量流動(dòng)控制器提 供電源，并讀取傳感器和質(zhì)量流動(dòng)控制器輸出，進(jìn)行模擬到數(shù)字 (A/D)轉(zhuǎn)化，并產(chǎn)生與所分配的流體的壓強(qiáng)和/或流速相對(duì)應(yīng)的數(shù) 字輸出。在一個(gè)實(shí)施例中，連接DAQ模塊132和信號(hào)板的信號(hào)傳輸線 路130包括被安排進(jìn)行信號(hào)傳輸?shù)墓饫w電纜。通過(guò)圖3中示出的布局安排，來(lái)自壓強(qiáng)傳感器114中的流體壓 強(qiáng)和/或質(zhì)量流動(dòng)控制器(MFC) 126中的流體流速的才莫擬輸出^皮傳 給信號(hào)板。信號(hào)板將該4莫擬輸入轉(zhuǎn)化為表示壓強(qiáng)和/或正纟皮分配的流 體流速的輸出，其在線路130中被輸出到DAQ模塊132 。DAQ模塊132通過(guò)圖3中示意性指示的通信線路134又以通 信關(guān)系與供應(yīng)方辦公室140連接。通信線路134可以是任何類(lèi)型， 例如包括有線或無(wú)線連4妾，諸如通過(guò)全球凌t據(jù)通信網(wǎng)絡(luò)(例如，互 聯(lián)網(wǎng)-l或互聯(lián)網(wǎng)-2)的連接，通過(guò)衛(wèi)星通信網(wǎng)絡(luò)、DSL網(wǎng)絡(luò)、專(zhuān)用 的光纖線路、電纜調(diào)制解調(diào)器連接的通信的連接，或通過(guò)允許與半 導(dǎo)體加工設(shè)備中流體的^f吏用相關(guān)的信號(hào)與流體供應(yīng)方的i殳備或裝置通信的其它4壬何通信線路的連接。供應(yīng)方辦公室140包括含有數(shù)據(jù)接收、數(shù)據(jù)處理和記帳等裝置 的結(jié)構(gòu)空間142。在供應(yīng)方辦公室140中，通信線路134與遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)獲取模塊146 連接，數(shù)據(jù)獲取模塊146作為接收表示在半導(dǎo)體加工設(shè)備102中被 分配的流體的壓強(qiáng)和/或流速的輸出的供應(yīng)方一側(cè)的DAQ模塊，所 述輸出從這種加工設(shè)備中的DAQ模塊132被傳輸?；谟赏ㄐ啪€ 路134傳輸?shù)募庸ぴO(shè)備DAQ模塊132中的輸出，與使用相關(guān)的信 號(hào)在信號(hào)傳輸線路148中通過(guò)供應(yīng)方一側(cè)的DAQ模塊146被傳輸 到i己巾艮計(jì)算4幾150?；谠诰€路148中從供應(yīng)方一側(cè)的DAQ模塊146中所接收的 與使用相關(guān)的信號(hào)，記帳計(jì)算機(jī)150基于來(lái)自被提供給加工設(shè)備102 的流體存儲(chǔ)和分配容器108中的流體的4吏用而對(duì)半導(dǎo)體i殳備計(jì)算費(fèi) 用。然后，所計(jì)算的費(fèi)用通過(guò)打印才幾電纟覽152從"i己巾長(zhǎng)計(jì)算才幾150通 信傳遞菱會(huì)打印才幾156輸出出來(lái)，以用于打印對(duì)半導(dǎo)體加工i殳備102 的巾艮單106。通過(guò)結(jié)合圖3示意性描述類(lèi)型的布局安排，流體供應(yīng)方可以監(jiān) 測(cè)流體利用設(shè)備中流體的使用，且相應(yīng)地基于當(dāng)前使用、按計(jì)劃和 以適于正被提供的具體流體的頻率來(lái)對(duì)該設(shè)備記賬。例如，流體利 用"i殳備可以按預(yù)定的時(shí)間間隔(例如，每月或每?jī)稍?尋皮i己巾長(zhǎng)，或 作為具體的基于體積使用的記帳(例如用于從流體供應(yīng)容器中被累 積分配的每升流體，或基于其它合適的體積)。本發(fā)明的特性、操作和優(yōu)點(diǎn)將參考本發(fā)明的說(shuō)明性實(shí)施例的以 下非限制性實(shí)例更充分地i并述。實(shí)例該實(shí)例示出了用于估算在氣體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)中可用氣體的 過(guò)程，該系統(tǒng)是以ATMI公司(Danbury,CT)的商標(biāo)SDS2的商業(yè)上 可用的類(lèi)型，且更充分地在美國(guó)專(zhuān)利第5，518，528號(hào);第5，704，965 號(hào);第5,704,967號(hào);以及第5,707,424號(hào)中描述。這種氣體存儲(chǔ)和分 配系統(tǒng)包括含有顆?；钚?gt;談吸附劑的氣體存儲(chǔ)和分配容器，而該顆 粒活性碳吸附劑對(duì)于在容器的內(nèi)部體積中所容納的半導(dǎo)體加工氣 體具有吸附性親和力。這種氣體可以是任何類(lèi)型，例如，砷化三氫、 三氫化磷、三氟化硼、四氟化鍺、以及四氟化硅，且該氣體可以保 留在容器中，以用于按適當(dāng)壓強(qiáng)從其中分配氣體，例如，按在200 至700torr范圍內(nèi)的大氣壓強(qiáng)下的壓強(qiáng)。示出的氣體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)被配置在本文圖1中所示出的類(lèi)型 的離子注入機(jī)中，其配備有本發(fā)明的動(dòng)態(tài)流體利用監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。在本 實(shí)施例中的動(dòng)態(tài)流體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括處理和顯示單元、數(shù)據(jù)獲取才莫 塊、和流體傳感器，其用于感測(cè)可以用于確定氣體的存量和利用率 的流體的所選特性。在本實(shí)施例中的流體傳感器包括壓強(qiáng)傳感器， 每個(gè)壓強(qiáng)傳感器都可操作性地與圖1中所示出的多個(gè)氣體存儲(chǔ)和分 配容器之一相連4妄。處理和顯示單元;f皮可編程地安排來(lái)以^會(huì)定的壓強(qiáng)和溫度估算 在SDS2容器中剩余的可用氣體量。本發(fā)明的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以用 于估算在注入機(jī)中算使用的氣體存儲(chǔ)和分配容器的使用壽命。在所述利用確定中，運(yùn)用以下符號(hào)和單元。T 氣體盒溫度，°CP 壓強(qiáng)傳感器讀凄t， torr或mmHgP21 歸一化的壓強(qiáng)讀凄t， torr或mmHgPend-21歸一^匕的端點(diǎn)壓強(qiáng)，torr或mmHgClc)當(dāng)溫度小于21。C時(shí)每攝氏度。C的壓強(qiáng)變化，torr廠CCmid當(dāng)溫度在21 -26。C之間時(shí)每攝氏度。C的壓強(qiáng)變化，torr/。CChi當(dāng)溫度小于26-33。C時(shí)每攝氏度。C的壓強(qiáng)變化，torr廠C Cend-,。對(duì)于端點(diǎn)壓強(qiáng)(小于21°C )每攝氏度。C的壓強(qiáng)變化，torr/。CCend—mid對(duì)于端點(diǎn)壓強(qiáng)(21 - 26°C )每攝氏度n的壓強(qiáng)變化，torr/°CCend-hi對(duì)于端點(diǎn)壓強(qiáng)(26-33°C )每攝氏度。C的壓強(qiáng)變化，torr/°CCW圓4主體中碳量，gramMW氣體的分子量sccm朝向離子源的氣體-危速，ml/minG 在圓柱體中剩余的以克為單位的氣體量，gramV 在圓柱體中剩余以立方厘米為單位的氣體量，mlHR在圓柱體為空之前所剩余的小時(shí)數(shù)，hour4x 2.2升SDS戀圓柱體，也4皮稱作JY尺寸7x 0.4升SDS②圓4主體，也^皮稱作WY尺寸3x 6.6升SDS③圓柱體，也被稱作UY尺寸所述利用確定通過(guò)以下步驟才丸4亍歩驟1:測(cè)量或確定注入機(jī)氣體盒溫度T ( °C )歩驟2:確定氣體存儲(chǔ)和分配容器尺寸和其中的吸附劑材料的 重量。例30，容器尺寸可以是4x、 7x、或3x。然后，吸附劑可以 具有置于該容器中的碳吸附劑材料，其具有以克為單位的碳重量 (CW)而它又取決于容器尺寸。如果容器尺寸是4x，那么CW是 1275。如果容器尺寸是7x,那么CW是239。如果容器尺寸是3x, 那么CW是3825。歩驟3:設(shè)置流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)的端點(diǎn)壓強(qiáng)Pend,例如5torr 的端點(diǎn)壓強(qiáng)Pend。歩驟4:測(cè)量容器壓強(qiáng)讀H P。步驟5:在不同壓強(qiáng)下，確定溫度系數(shù)，dP/dT。 例如'如果T小于21。C: Clo=0.04079168*(PA°9623277) 如果T在21至26。C之間 Cmid=0.07282172*(PA08938195) 如果T小于26至33。C: Chi=0.08678193 *(PA°8914468) 歩驟6:針對(duì)端點(diǎn)壓強(qiáng)確定溫度系數(shù) 例如 如果T小于21。C: Cend_lo=0.04079168*(PendA0.9623277)'如果T在21至26。C之間 Cend,id=0.07282172*(Pen/0'8938195) 如果T小于26至33。C: Cend.hi=0.08678193 *( Pend ，9"柳) 步驟7: -使壓強(qiáng)讀ft歸一化為預(yù)定溫度，例如21。C例如 如果T小于21'C: P21=P-(T-21)*Cl0■如果T在21至26。C之間 Pu=P-(T-21)*Cmid 如果T在26至33。C之間 P21=P-(T-21)*Chi歩驟8:使端點(diǎn)壓強(qiáng)歸一化為預(yù)定溫度(21°C ) 例如 如果T小于2rC:Pend-2產(chǎn)PencT(T-21 )*Cen(j-l0 如果T在21至26。C之間Pend-2產(chǎn)Pend _(T-2 l)*Cend-mid 如果T在26至33。C之間Pend-2產(chǎn)Pend -(丁-2 l)*Cend-hi歩驟9:確定在預(yù)定溫度(21°C)處等溫線等式 例如，對(duì)于各種說(shuō)明性氣體在21。C處等溫線等式AsH3 Capacity (g/g): f(P)=-0.40857+0.14009*(ln(P+24.5858》PH3 Capacity (g/g): f(P)=-0.29123+0.06949*(ln(P+73.89104))BF3 Capacity (g/g): f(P)=0.03949+0.00532*(PA049046)GeF4 Capacity (g/g): f(P)= 0.2394*(PA02139)SiF4 Capacity (g/g): f(P)=-0.60234+0.1223*( ln(P十160.6716))其中，g/g是每克碳中氣體的克數(shù)，且P是以torr或mmHg為 單位的壓強(qiáng)。歩驟10:確定在流體存〗諸和分配容器中剩余的氣體量。 例如 重量在圓柱體中剩余的氣體的克數(shù)(g): G=CW*f(P21)-f(Pend_21)-體積在圓柱體中剩余的氣體的立方厘米(ml): V = (G/MW)*22400其中，AsH3: MW=78 PH3: MW-34 BF3: MW=68GeF4: MW=149 SiF4: MW=104 圓柱體壽命圓柱體剩余的工作小時(shí)時(shí)間(hr) HR=(V/sccm)/60其中，sccm是離子源中的氣體流速(例如，2ml/min)前述方法允許以有準(zhǔn)備、津#確性且可復(fù)制的方式對(duì)流體存儲(chǔ)和 分配系統(tǒng)的氣體存量進(jìn)行動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，即，以本文圖2所示出的方式 通過(guò)視頻顯示模塊輸出出來(lái)，其中，在視頻顯示器上的流體直方塊 的垂直高度表示在該系統(tǒng)的存儲(chǔ)和分配容器中剩余的流體量。因此，可以看出，本發(fā)明的系統(tǒng)和方法允許簡(jiǎn)單直觀地表示流 體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)中容器的流體存量，該系統(tǒng)簡(jiǎn)單并輕易適用于動(dòng) 態(tài)監(jiān)測(cè)在離子注入機(jī)的氣體盒中的供應(yīng)容器中的流體。本發(fā)明解決 了現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，該問(wèn)題包括不能精確確定在用于活動(dòng)處理進(jìn) 程的容器中剩余的流體量，以及在流體供應(yīng)容器中流體耗盡的途 徑。結(jié)果是，本發(fā)明的系統(tǒng)和方法允"i午最大化離子注入才幾的正常運(yùn) 行時(shí)間，并精確地預(yù)測(cè)和按計(jì)劃地?fù)Q下流體供應(yīng)容器。雖然本發(fā)明已示意性引用本文中的特征、方面和實(shí)施例進(jìn)行了 描述說(shuō)明，但將要理解的是，可用更新、修改方式以及在其它實(shí)施 例中來(lái)實(shí)施本發(fā)明，這一點(diǎn)基于本文公開(kāi)而將對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人 員來(lái)i兌是有啟示的。因此，本發(fā)明將-故解釋和理解為包含有任何這 樣的更換、修改及其它實(shí)施例，它們均落入本說(shuō)明書(shū)附帶的權(quán)利要 求書(shū)所闡述的宗旨和范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種在包括從流體供應(yīng)容器中分配流體的操作期間用于監(jiān)測(cè)在所述流體供應(yīng)容器中的流體的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，所述監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i)一個(gè)或多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)所述流體供應(yīng)容器的或從所述流體供應(yīng)容器中所分配的流體的特性，(ii)數(shù)據(jù)獲取模塊，可操作性地與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器連接以從其中接收監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)并響應(yīng)性地產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器監(jiān)測(cè)的特性相關(guān)的輸出，以及(iii)處理器和顯示器，可操作性地與所述數(shù)據(jù)獲取模塊連接并被安排處理來(lái)自數(shù)據(jù)獲取模塊的輸出以及響應(yīng)性地將所述流體供應(yīng)容器中的流體的圖示輸出出來(lái)。
2. 4艮據(jù)沖又利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)傳感 器監(jiān)測(cè)所述流體供應(yīng)容器的特性。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述流體供應(yīng)容器的 特性是在所述容器的結(jié)構(gòu)元件的張力。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述容器的結(jié)構(gòu)元件 包括所述容器壁。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)傳感 器包括張力計(jì)。
6. 才艮據(jù)斗又利要求4所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)傳感 器包括以張力感測(cè)關(guān)系固定到所述容器壁的張力計(jì)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)傳感 器監(jiān)測(cè)從所述流體供應(yīng)容器中分配的流體的特性。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，從所述流體供應(yīng)容器 中所分配的流體的特性包括選自于由流體壓強(qiáng)、流體溫度、 所述流體的一種或多種成分的濃度、所述流體的流速、在與所 述流體供應(yīng)容器連4妄的流動(dòng)線路中的壓降、以及從所述流體供 應(yīng)容器中所分配的累積的流體流速組成的組中的至少 一種流體特性。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，從所述流體供應(yīng)容器 中分配的流體的所述特性包括流體壓強(qiáng)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述流體供應(yīng)容器包 含對(duì)于所述流體具有吸附性親和力的吸附劑介質(zhì)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述流體供應(yīng)容器包 括置于所述容器內(nèi)部并被設(shè)置為用于從所述容器中分配流體 的設(shè)定值的壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器的 設(shè)定值是在大氣壓之下的壓強(qiáng)設(shè)定值。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述流體供應(yīng)容器包 含半導(dǎo)體加工流體。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述半導(dǎo)體加工流 體包括選自于由砷化三氫、三氫化磷、三氟化硼、四氟化鍺、 和四氟化石圭所組成的組中的 一種流體成分。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，在所述流體供應(yīng)容器 中流體的圖示包括置于矩形區(qū)域的具有上邊界線的二維區(qū)域， 其中所述的矩形區(qū)域中的二維區(qū)域的上邊界線的位置表示在 所述容器中的流體存量。
16. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，在所述流體供應(yīng)容器 中流體的圖示包括氣罐類(lèi)型的測(cè)定儀器。
17. 才艮據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，^皮安排來(lái)監(jiān)測(cè)在離子注入枳j 裝置中分配的流體。
18. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，還包括減壓裝置在降低圓柱 體的內(nèi)部壓強(qiáng)方面具有凈效應(yīng)，從而降^氐下游壓強(qiáng)。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述減壓裝置是節(jié) 流口 。
20. —種在包括從流體供應(yīng)容器中分配流體過(guò)程的操作期間監(jiān)測(cè) 所述流體供應(yīng)容器中流體的方法，所述方法包括(i)監(jiān)測(cè)所 述流體供應(yīng)容器的或從該容器中所分配的流體的特性，(ii) 從所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取凄t據(jù)并響應(yīng)性地產(chǎn)生與所述監(jiān)測(cè)特性 相關(guān)的輸出，以及(iii)從所述數(shù)據(jù)獲取過(guò)程中處理所述輸出 并響應(yīng)性地4巴在所述流體供應(yīng)容器中流體的圖示輸出出來(lái)。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述特性包括所述流體 供應(yīng)容器的特性。
22. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述特性包括在所述容 器的結(jié)構(gòu)元件中的張力。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述容器的結(jié)構(gòu)元件包 括所述容器的壁。
24. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述監(jiān)測(cè)過(guò)程包括由 張力計(jì)感測(cè)張力。
25. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述特性包括從所述流 體供應(yīng)容器中所分配的流體的特性。
26. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中，從所述流體供應(yīng)容器中 所分配的流體的特性包4舌選自于由流體壓強(qiáng)、流體溫度、所 述流體的一種或多種成分的濃度、所述流體的流速、在與所述 流體供應(yīng)容器連接的流動(dòng)線路中的壓降、以及從所述流體供應(yīng) 容器中所分配的累積的流體流速組成的組中的至少 一種流體 特性。
27. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中，從所述流體供應(yīng)容器中 所分配的流體的特性包4舌流體壓強(qiáng)。
28. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述流體供應(yīng)容器包含 有對(duì)所述流體具有吸附性親和力的吸附劑介質(zhì)。
29. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述流體供應(yīng)容器包括 置于所述容器內(nèi)部并被設(shè)置為用于從所述容器中分配流體的 設(shè)定值的壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器。
30. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器的設(shè)定 值是低于大氣壓的壓強(qiáng)設(shè)定值。
31. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述流體供應(yīng)容器包含 有半導(dǎo)體力口工流體。
32. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的方法，其中，所述半導(dǎo)體加工流體包 4舌選自于由石申^f匕三氫、三氫化石粦、三氟化，硼、四氟化鍺、和四 氟化石圭所組成的組中的一種流體成分。
33. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，在所述流體供應(yīng)容器中 流體的圖示包括置于矩形區(qū)域的具有上邊界線的二維區(qū)域，在 其中所述的矩形區(qū)域中的上邊界線的位置表示在所述容器中 流體的存量。
34. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，在所述流體供應(yīng)容器中 流體的圖示包括氣罐類(lèi)型的測(cè)定儀器。
35. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述流體供應(yīng)容器凈皮安 排用于分配流體到離子注入才幾。
36. —種在包4舌從流體供應(yīng)容器中分配流體的過(guò)程的操作期間用 于監(jiān)測(cè)所述流體供應(yīng)容器中流體的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，所述監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包 括(i)一個(gè)或多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)所述流體供應(yīng)容器的或 從所述流體供應(yīng)容器中所分配的流體的特性，(ii)數(shù)據(jù)獲取 裝置，可操作性地與所述一個(gè)或多個(gè)傳感器連接以從其中接收 監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)并響應(yīng)性地產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器所監(jiān)測(cè) 的特性相關(guān)的輸出，以及(iii)處理器，可操作性地與所述數(shù) 據(jù)獲取裝置連接并被安排處理來(lái)自所述數(shù)據(jù)獲取裝置的輸出 以及響應(yīng)性地產(chǎn)生表示在所述流體供應(yīng)容器中流體存量的輸 出。
37. 根據(jù)4又利要求36所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)傳 感器包括壓強(qiáng)傳感器，所述壓強(qiáng)傳感器適用于監(jiān)測(cè)從所述流體 供應(yīng)容器中所分配的流體的壓強(qiáng)。
38. 才艮據(jù)權(quán)利要求36所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)傳 感器包括質(zhì)量流動(dòng)傳感器，所述質(zhì)量流動(dòng)傳感器適用于監(jiān)測(cè)從 所述流體供應(yīng)容器中所分配的流體的流速。
39. 根據(jù)權(quán)利要求36所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所分配的流體被利 用在流體利用設(shè)備中，所述流體利用設(shè)備包含所述流體供應(yīng)容 器、所述一個(gè)或多個(gè)傳感器、所述數(shù)據(jù)獲取裝置和所述處理器。
40. 根據(jù)權(quán)利要求36所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述處理器位于遠(yuǎn) 離所述流體供應(yīng)容器、所述一個(gè)或多個(gè)傳感器、和所述數(shù)據(jù)獲 取裝置的位置。
41. 根據(jù)權(quán)利要求36所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所分配的流體在包 含所述流體供應(yīng)容器和所述一個(gè)或多個(gè)傳感器的流體利用設(shè) 備中被利用，且所述處理器是在遠(yuǎn)離所述流體利用設(shè)備的流體 利用記帳設(shè)備中。
42. 根據(jù)權(quán)利要求41所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括在所述流體利用設(shè) 備中的第一數(shù)據(jù)獲取模塊，以及在所述流體利用記帳設(shè)備中的 第二數(shù)據(jù)獲取模塊，其可操作性地與所述處理器和所述第一數(shù) 據(jù)獲取模塊連接。
43. 根據(jù)權(quán)利要求41所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述處理器適配于 為用于所分配的流體的流體利用設(shè)備產(chǎn)生帳單。
44. 根據(jù)權(quán)利要求41所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述處理器適用于 產(chǎn)生所分配的流體的4艮告。
45. 根據(jù)權(quán)利要求41所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，在所述流體利用設(shè) 備中的數(shù)據(jù)獲取裝置通過(guò)選自于由數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)、信號(hào)傳輸線路、和無(wú)線通信形式所組成的組中的至少 一種通信形式且以信 號(hào)傳輸關(guān)系來(lái)與所述流體利用記帳設(shè)備中的處理器相連接。
46. 4艮據(jù)4又利要求45所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述至少一種通信 形式包4舌互聯(lián)網(wǎng)。
47. 根據(jù)權(quán)利要求41所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述流體利用設(shè)備 包括半導(dǎo)體加工設(shè)備。
48. 根據(jù)權(quán)利要求47所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述半導(dǎo)體加工設(shè) 備包括與所述流體供應(yīng)容器以流體供應(yīng)關(guān)系而被安排的離子 注入機(jī)，且所述流體包括用于離子注入的摻雜物源材料。
49. 根據(jù)權(quán)利要求36所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中所表示所述流體供應(yīng) 容器中流體存量的輸出包括用于換下所述流體供應(yīng)容器的提 示或警報(bào)。
50. 根據(jù)權(quán)利要求36所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)獲取裝置 適用于所述特性的數(shù)據(jù)記錄。
51. 根據(jù)權(quán)利要求48所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)傳 感器包括產(chǎn)生模擬電輸出的一個(gè)或多個(gè)壓強(qiáng)傳感器，且所述模 擬電輸出被轉(zhuǎn)化為光信號(hào)。
52. —種在包括分配材料過(guò)程的操作期間用于監(jiān)測(cè)材料使用的監(jiān) 測(cè)系統(tǒng)，所述監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i)一個(gè)或多個(gè)傳感器，用于監(jiān) 測(cè)所述分配過(guò)程的特性；(ii)數(shù)據(jù)獲取裝置，可操作性地與 所述一個(gè)或多個(gè)傳感器連接以從其中接收監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)并響應(yīng)性 地產(chǎn)生與由所述一個(gè)或多個(gè)傳感器所監(jiān)測(cè)的特性相關(guān)的輸出； 以及(iii)處理器，可操作性地與所述數(shù)據(jù)獲取裝置連接并被安排處理來(lái)自所述數(shù)據(jù)獲取裝置的輸出以及響應(yīng)性地產(chǎn)生表 示用于分配的可用材料的存量的輸出。
53. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述處理器位于遠(yuǎn) 離所述材料使用位置的記帳位置，且所述輸出包括用于在所 述材料使用位置所分配的材料的帳單。
54. 根據(jù)權(quán)利要求53所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)獲取裝置 包括在所述材料使用位置的數(shù)據(jù)獲取模塊，所述材料使用位置 以通信關(guān)系與遠(yuǎn)程記帳位置相連接，所述通信關(guān)系包括選自于 由數(shù)字信息網(wǎng)絡(luò)、有線通信、光纖通信、遙測(cè)鏈路、和蜂窩式 無(wú)線通信所組成的組中的 一種通信形式。
55. 根據(jù)權(quán)利要求54所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述通信形式包括 互聯(lián)網(wǎng)。
56. 根據(jù)權(quán)利要求55所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述互聯(lián)網(wǎng)包括 支持經(jīng)由萬(wàn)維網(wǎng)提供通信的信息協(xié)議的服務(wù)器。
57. 根據(jù)權(quán)利要求53所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，適于作為網(wǎng)絡(luò)服務(wù)系統(tǒng)。
58. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述處理器是在遠(yuǎn) 離所述材料使用位置的便攜式數(shù)字裝置中。
59. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，適用于把來(lái)自所述一個(gè)或 多個(gè)傳感器中的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為數(shù)字形式。
60. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，適用于監(jiān)測(cè)離子注入機(jī)的 流體使用，而所述處理器位于遠(yuǎn)離所述離子注入機(jī)的記帳位置 且所述處理器的輸出包括對(duì)所述流體4吏用進(jìn)行記帳。
61. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)獲取裝置 的輸出包括用于分配的可用材料的材料存量數(shù)據(jù)，且所述處理 器適用于利用算法以將材料存量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為使用信息，并利用 所述算法以將所述使用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為客戶發(fā)票和用于所述材料 的4吏用才艮告。
62. —種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括離子注入機(jī)，其又包括容納摻雜 物源流體源的氣體盒；至少一個(gè)傳感器，適用于在分配過(guò)程條 件下監(jiān)測(cè)從所述摻雜物源流體源中分配的摻雜物源流體的溫 度、壓強(qiáng)和流速三者中至少一種；數(shù)據(jù)獲取模塊，安裝在所述 氣體盒中并適用于從所述傳感器中接收監(jiān)測(cè)信號(hào)；輸出單元， 適用于產(chǎn)生與在所述摻雜物源流體源中摻雜物源流體的存量 相關(guān)的輸出；以及通信連接，其在所述數(shù)據(jù)獲取模塊和所述輸 出單元之間。
63. 根據(jù)權(quán)利要求62所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其中，所述通信連 接包括光纖通信線路。
64. 根據(jù)權(quán)利要求62所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其中，所述摻雜物 源流體源包括多個(gè)流體供應(yīng)容器，且所述至少一個(gè)傳感器包括 用于所述多個(gè)流體供應(yīng)容器之中每一個(gè)的壓強(qiáng)傳感器。
65. 根據(jù)權(quán)利要求62所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其中，所述數(shù)據(jù)獲 取模塊通過(guò)所述才莫塊的數(shù)據(jù)通信接口以便于數(shù)據(jù)記錄。
66. 根據(jù)權(quán)利要求62所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其中，所述數(shù)據(jù)獲 取模塊通過(guò)繼電器觸點(diǎn)來(lái)提供外部發(fā)警報(bào)性能。
67. —種用于確定在離子注入才幾的氣體盒中從摻雜物源流體源中 :慘雜物源流體所才是供的在所述離子注入才幾中摻雜物源流體消耗的系統(tǒng)，其中，所述摻雜物源流體源包括對(duì)于所述摻雜物源 流體具有吸附性親和力的吸附劑介質(zhì)，并且從其中所吸附的摻雜物源流體在分配過(guò)程條件下凈皮脫附，所述系統(tǒng)包括 溫度傳感器，適用于感測(cè)氣體盒溫度T; 壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器，適用于測(cè)量所述流體存儲(chǔ)和分配容器的壓強(qiáng)P;所述摻雜物源流體源包括預(yù)定尺寸的摻雜物源流體存儲(chǔ) 和分配容器，所述摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容器包含有所述吸 附劑介質(zhì)一預(yù)定重量；以及監(jiān)測(cè)和控制系統(tǒng)，可操作性地與所述溫度傳感器和所述 壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器相連接，并適用于進(jìn)行以下步驟設(shè)置端點(diǎn)壓強(qiáng)，用于從所述摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容 器中分配摻雜物源流體；確定在不同壓強(qiáng)下的溫度系數(shù)dP/dT;確定針對(duì)所述端點(diǎn)壓強(qiáng)的溫度系數(shù)；把從所述壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器中所測(cè)得的壓強(qiáng)歸 一 化為預(yù)定溫度；將所述端點(diǎn)壓強(qiáng)歸 一化為所述預(yù)定溫度；在用于所述吸附劑介質(zhì)和摻雜物源流體這兩者的預(yù)定溫 度處確定等溫線等式；以及通過(guò)使用所述等溫線等式來(lái)確定在所述流體存儲(chǔ)和分配 容器中剩余的摻雜物源流體的量。
68. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)與材料供應(yīng)系統(tǒng)結(jié)合，適用 于為所述分配過(guò)程l是供材料。
69. 根據(jù)權(quán)利要求68所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其中，所述材料供應(yīng)系統(tǒng) 包括在供應(yīng)位置處所述材料的填充容器以及用于所述材料的 填充容器從所述供應(yīng)位置中傳輸?shù)接糜谒龇峙溥^(guò)程的使用 位置的運(yùn)輸車(chē)輛。
70. 適用于分配材并+的分配器，可才喿作性地與4又利要求52所述的 監(jiān)測(cè)系統(tǒng)連才妾。
71. 適用于從分配器中接收材料的材料利用裝置，所述分配器可操 作性地與權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)連接。
72. 通過(guò)使用由權(quán)利要求52所述的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在分配過(guò)程期間監(jiān)測(cè) 所分配的材并牛來(lái)加工的物品。
73. —種用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的系統(tǒng)，所述 流體存儲(chǔ)和分配容器包含對(duì)于所述流體具有吸附性親和力的 存儲(chǔ)介質(zhì)，所述流體在用于流體利用過(guò)程中使用的分配條件下 從所述流體存儲(chǔ)和分配容器中^皮分配，所述系統(tǒng)包括(a)吸附性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)用于在所述存 儲(chǔ)介質(zhì)上的流體；(b )監(jiān)測(cè)器，適用于監(jiān)測(cè)選自于由所述流體存儲(chǔ)和分配 容器的特性、分配過(guò)程條件、所分配的流體的特性、以及流體 利用過(guò)程的特性所組成的組中的至少 一種感測(cè)流體存量的變 量，并適用于響應(yīng)性地產(chǎn)生與所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量 相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；以及(c)處理器，適用于接收所述監(jiān)測(cè)信號(hào)并響應(yīng)性地進(jìn)行 將所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量與在所述吸附性等溫線數(shù) 據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián)起來(lái)的信號(hào)處理操作，以產(chǎn)生表示 在所述流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸出。
74. 纟艮據(jù)權(quán)利要求73所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)感測(cè)流體 存量變量包4舌所分配的流體壓強(qiáng)和所分配的流體流速這兩者 中的至少一種。
75. —種用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的系統(tǒng)，所述 流體存儲(chǔ)和分配容器包含有在用于流體利用過(guò)程的分配過(guò)程 條件下所分配的流體，所述系統(tǒng)包4舌(a) 監(jiān)測(cè)器，適用于監(jiān)測(cè)在所述流體的分配期間的至少 一種流體特性并響應(yīng)性地產(chǎn)生與所述至少 一個(gè)流體特性相關(guān) 的監(jiān)測(cè)4言號(hào)；(b) 信息的數(shù)據(jù)庫(kù)，所述信息相關(guān)于在所述分配期間確 定在所述流體存儲(chǔ)和分配容器中流體的存量；以及(c) 處理器，適用于在將所述監(jiān)測(cè)信號(hào)與所述數(shù)據(jù)庫(kù)中 的信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作中處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表 示在所述流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸出。
76. 根據(jù)權(quán)利要求75所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一種流體特性 包括所分配的流體壓強(qiáng)和所分配的流體流速這兩者中的至少 一種。
77. —種用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的系統(tǒng)，所述 流體存儲(chǔ)和分配容器包含有在用于流體利用過(guò)程的分配條件 下所分配的流體，所述系統(tǒng)包括(a) 張力監(jiān)測(cè)器，適用于在所述流體的分配期間監(jiān)測(cè)所關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(b) 信息的凄t據(jù)庫(kù)，所述信息相關(guān)于在所述分配期間確 定在所述流體存儲(chǔ)和分配容器中流體的存量；以及(C)處理器，適用于在將所述監(jiān)測(cè)信號(hào)與所述數(shù)據(jù)庫(kù)中 的信息相關(guān)的信號(hào)處理操作中處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示 在所述流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸出。
78. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的系統(tǒng)，其中，在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息 包括選自于由在改變了的分配條件下所述流體的可壓縮性、流 體存儲(chǔ)和分配容器特性、流體分子量信息、以及可用于所述流 體的PVT關(guān)系所組成的組中的信息。
79. —種用于在包括從所述流體供應(yīng)容器中分配流體過(guò)程的操作 期間監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器中流體的方法，所述方法包括(i)監(jiān) 測(cè)所述流體供應(yīng)容器的或從所述流體供應(yīng)容器中分配的流體 的特性，(ii)從所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與所述特 性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲取信號(hào)，以及(iii)處理所述數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并 響應(yīng)性地產(chǎn)生表示在所述流體供應(yīng)容器中流體存量的輸出。
80. 根據(jù)權(quán)利要求79所述的方法，其中，所述監(jiān)測(cè)包括監(jiān)測(cè)從所 述流體供應(yīng)容器中所分配的流體的壓強(qiáng)。
81. 根據(jù)權(quán)利要求79所述的方法，其中，所述監(jiān)測(cè)過(guò)程包括監(jiān) 測(cè)從所述流體供應(yīng)容器中所分配的流體的流速。
82. 根據(jù)權(quán)利要求79所述的方法，還包括在流體利用設(shè)備中使用 所分配的流體。
83. 4艮據(jù)權(quán)利要求79所述的方法，其中，所述處理過(guò)程在遠(yuǎn)離所 述分配過(guò)程中所分配的流體的4吏用位置進(jìn)4亍。
84. 4艮據(jù)4又利要求79所述的方法，其中，在所述分配過(guò)程中所分 配的流體在流體利用設(shè)備中被利用，且所述處理過(guò)程在遠(yuǎn)離所 述流體利用設(shè)備的流體利用記帳設(shè)備中進(jìn)行。
85. 根據(jù)權(quán)利要求84所述的方法，包括在用于所述獲取數(shù)據(jù)的 流體利用設(shè)備中的第 一數(shù)據(jù)獲取模塊，和在所述流體利用記帳 設(shè)備中的第二數(shù)據(jù)獲取模塊，其可操作性地與用于所述處理過(guò) 程的處理器連接并與所述第一數(shù)據(jù)獲取模塊連接。
86. 根據(jù)權(quán)利要求84所述的方法，其中，所述處理過(guò)程對(duì)用于所 分配的流體的流體利用設(shè)備產(chǎn)生帳單。
87. 4艮據(jù)權(quán)利要求84所述的方法，其中，所述處理過(guò)程產(chǎn)生所分 配的流體的才艮告。
88. 根據(jù)權(quán)利要求84所述的方法，其中，在所述流體利用設(shè)備中 來(lái)自所述獲取過(guò)程中的數(shù)據(jù)通過(guò)選自于由數(shù)字通信網(wǎng)絡(luò)、信號(hào) 傳輸鏈路、和無(wú)線通信形式所組成的組中的至少一種通信形式 而被傳送到所述流體利用記帳設(shè)備。
89. 根據(jù)權(quán)利要求88所述的方法，其中，所述至少一種通信形式 包才舌互聯(lián)網(wǎng)。
90. 根據(jù)權(quán)利要求84所述的方法，其中，所述流體利用設(shè)備包括 半導(dǎo)體加工設(shè)備。
91. 根據(jù)權(quán)利要求90所述的方法，其中，所述半導(dǎo)體加工設(shè)備包 括對(duì)所述流體供應(yīng)容器以流體供應(yīng)關(guān)系進(jìn)行安排的離子注入 機(jī)，并且，所述流體包括用于離子注入的摻雜物源材料。
92. 4艮據(jù)4又利要求79所述的方法，其中，所表示在所述流體供應(yīng) 容器中流體存量的輸出包括用于換下所述流體供應(yīng)容器的提 示或警報(bào)。
93. 根據(jù)權(quán)利要求79所述的方法，還包括所述特性的數(shù)據(jù)記錄。
94. 根據(jù)權(quán)利要求79所述的方法，其中，所述數(shù)據(jù)獲取信號(hào)包括 光信號(hào)。
95. —種用于在包括分配材料過(guò)程的操作期間監(jiān)測(cè)材料使用的方 法，所述監(jiān)測(cè)方法包括(i)監(jiān)測(cè)所述分配過(guò)程的特性，(ii) 從所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與所述特性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲 取信號(hào)，以及(iii)處理所述數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并響應(yīng)性地產(chǎn)生表 示用于分配可用的材料存量的輸出。
96. 根據(jù)權(quán)利要求95所述的方法，其中，在遠(yuǎn)離所述材料的使用 位置的記帳位置進(jìn)行處理，并且，所述輸出包括針對(duì)在所述材 料的使用位置所分配的材料的帳單。
97. 根據(jù)權(quán)利要求96所述的方法，其中，所述獲取數(shù)據(jù)包括在所 述材料的使用位置處使用數(shù)據(jù)獲取^f莫塊，所述材料的使用位置 以通信關(guān)系通過(guò)選自于由數(shù)字信息網(wǎng)絡(luò)、有線網(wǎng)絡(luò)、光纖通信、 遙測(cè)鏈路、和蜂窩式無(wú)線通信所組成的組中的一種通信形式與 記帳位置連4妻。
98. 4艮據(jù)片又利要求97所述的方法，其中，所述通信形式包4舌互聯(lián)網(wǎng)。
99. 根據(jù)權(quán)利要求98所述的方法，其中，所述互聯(lián)網(wǎng)包括支持 通過(guò)萬(wàn)維網(wǎng)提供通信的信息協(xié)議的服務(wù)器。
100. 根據(jù)權(quán)利要求96所述的方法，以網(wǎng)絡(luò)服務(wù)進(jìn)行。
101. 才艮據(jù)權(quán)利要求95所述的方法，其中，所述處理過(guò)程在遠(yuǎn)離所 述材料的使用位置的便攜式數(shù)字裝置中進(jìn)行。
102. 根據(jù)權(quán)利要求95所述的方法，包括來(lái)自于所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中 的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為數(shù)字形式。
103. 根據(jù)權(quán)利要求95所述的方法，其中，所述監(jiān)測(cè)過(guò)程包括監(jiān) 測(cè)離子注入機(jī)的流體使用，且所述處理過(guò)程在遠(yuǎn)離所述離子注 入才幾的記帳位置處進(jìn)行，以及所述輸出包括針對(duì)所述流體的^f吏 用進(jìn)行記帳。
104. 根據(jù)權(quán)利要求95所述的方法，其中，來(lái)自所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中的 數(shù)據(jù)包括用于分配可用的材料的材料存量數(shù)據(jù)，且所述處理過(guò) 程利用算法將所述材料存量數(shù)椐轉(zhuǎn)化為使用信息，以及利用所 述算法將所述使用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為客戶發(fā)票和針對(duì)所述材料的使 用報(bào)告。
105. —種在半導(dǎo)體加工設(shè)備中加工半導(dǎo)體產(chǎn)品的方法，包括離子注 入機(jī)，所述離子注入機(jī)又包括容納摻雜物源流體源的氣體盒， 所述方法包括監(jiān)測(cè)在分配過(guò)程條件下從所述摻雜物源流體源 中分配的摻雜物源流體的溫度、壓強(qiáng)、和流速這三者中的至少 一種；在所述氣體盒中從所述監(jiān)測(cè)過(guò)程獲取數(shù)據(jù)；將所獲取的 數(shù)據(jù)傳輸?shù)捷敵鰡卧搯卧m用于產(chǎn)生與在所述摻雜物源流 體源中摻雜物源流體的存量相關(guān)的輸出；以及產(chǎn)生所述輸出。
106. 根據(jù)權(quán)利要求105所述的方法，其中，所述傳輸過(guò)程通過(guò)光纖 通信線路進(jìn)4亍。
107. 根據(jù)權(quán)利要求105所述的方法，其中，所述摻雜物源流體源包 括多個(gè)流體供應(yīng)容器，并且，所述監(jiān)測(cè)過(guò)程包括監(jiān)測(cè)所述多 個(gè)流體供應(yīng)容器中的每一個(gè)。
108. 根據(jù)權(quán)利要求105所述的方法，還包括來(lái)自所述獲取過(guò)程的數(shù) 據(jù)的數(shù)據(jù)記錄。
109. 根據(jù)權(quán)利要求105所述的方法，其中，所述生成所述輸出的過(guò) 程包括所述摻雜物源流體的存量的報(bào)警過(guò)程。
110. —種用于確定在離子注入機(jī)的氣體盒中從摻雜物源流體源中 摻雜物源流體所提供的在所述離子注入機(jī)中摻雜物源流體消 耗的方法，其中，所述摻雜物源流體源包括對(duì)于所述摻雜物源源流體在分配過(guò)程條件下^皮脫附，以及所述摻雜物源流體源包 括預(yù)定尺寸的摻雜物流體存儲(chǔ)和分配容器，所述摻雜物源流體 存儲(chǔ)和分配容器包含有所述吸附劑介質(zhì)一預(yù)定重量，所述方法 包括感測(cè)氣體盒溫度T;測(cè)量所述流體存儲(chǔ)和分配容器的壓強(qiáng)P;設(shè)置端點(diǎn)壓強(qiáng)，用于從所述摻雜物源流體存儲(chǔ)和分配容 器中分配摻雜物源流體；確定在不同壓強(qiáng)下的溫度系數(shù)dP/dT;確定針對(duì)所述端點(diǎn)壓強(qiáng)的溫度系4巴從所述壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)器中所測(cè)得的壓強(qiáng)歸 一 化為預(yù)定溫度；將所述端點(diǎn)壓強(qiáng)歸 一化為所述預(yù)定溫度；確定在用于所述吸附劑介質(zhì)和所述摻雜物源流體這兩者的預(yù)定溫度處的等溫線等式；以及通過(guò)使用所述等溫線等式來(lái)確定在所述流體存儲(chǔ)和分配 容器中剩余的摻雜物源流體的量。
111. 根據(jù)權(quán)利要求95所述的方法，和包括用于所述分配過(guò)程的供 應(yīng)材料的材料供應(yīng)操作共同進(jìn)行。
112. 根據(jù)權(quán)利要求111所述的方法，其中，所述材料供應(yīng)操作包括 在供應(yīng)位置提供所述材料的填充容器，并將所述材料的填充容 器從所述供應(yīng)位置傳送到用于所述分配過(guò)程的使用位置。
113. —種加工產(chǎn)品的方法，包括利用所分配的材料執(zhí)行加工處理過(guò) 程，所述方法包括根據(jù)權(quán)利要求95所述的監(jiān)測(cè)方法來(lái)監(jiān)測(cè) 所述^皮分配的材料的材料〗吏用。
114. 一種監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的方法，所述流體 存儲(chǔ)和分配容器包含對(duì)于所述流體具有吸附性親和力的存儲(chǔ) 介質(zhì)，所述流體在用于流體利用過(guò)程的分配過(guò)程條件下從所述 流體存儲(chǔ)和分配容器中^皮分配，所述方法包括(a)提供用于在存儲(chǔ)介質(zhì)上的流體的吸附性等溫線數(shù)據(jù) 的數(shù)據(jù)庫(kù)；(b )監(jiān)測(cè)選自于由所述流體存儲(chǔ)和分配容器的特性、分 配過(guò)程條件、所分配的流體的特性、以及所述流體利用過(guò)程的 特性所組成的組中的至少 一個(gè)感測(cè)流體存量的變量；(c )產(chǎn)生與所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量相關(guān)的監(jiān)測(cè) 信號(hào)；以及(d )在將所述至少一個(gè)感測(cè)流體存量變量與在所述吸附 性等溫線數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián)的信號(hào)處理操作中處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在所述流體存儲(chǔ)和分配容器中流 體存量的輸出。
115. 根據(jù)權(quán)利要求114所述的方法，其中，所述至少一個(gè)感測(cè)流體 存量變量包括所分配的流體壓強(qiáng)和所分配的流體流速這兩者 中的至少一個(gè)。
116. —種用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的方法，所述 流體存儲(chǔ)和分配容器包含有在用于流體利用過(guò)程的分配條件 下所分配的流體，所述方法包4舌(a) 在所述流體的分配過(guò)程期間，監(jiān)測(cè)至少一種流體特性；(b) 產(chǎn)生與所述至少一種流體特性相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(c) 提供關(guān)于確定在所述分配過(guò)程期間在所述流體存儲(chǔ) 和分配容器中流體存量的信息的數(shù)據(jù)庫(kù)；以及(d) 在將所述監(jiān)測(cè)信號(hào)與所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián)的 信號(hào)處理操作中處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在所述流體存 儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸出。
117. #4居權(quán)利要求116所述的方法，其中，所述至少一種流體特性 包括所分配的流體壓強(qiáng)和所分配的流體流速這兩者中的至少 一種。
118. —種用于監(jiān)測(cè)在流體存儲(chǔ)和分配容器中流體存量的方法，所述 流體存儲(chǔ)和分配容器包含有在用于流體利用過(guò)程的分配條件 下所分配的流體，所述方法包4舌(a)在所述流體的分配過(guò)程期間，監(jiān)測(cè)所述流體存儲(chǔ)和 分配容器的張力；(b)產(chǎn)生與所述張力相關(guān)的監(jiān)測(cè)信號(hào)；(c )提供關(guān)于在所述分配過(guò)程期間確定在所述流體存儲(chǔ) 和分配容器中流體存量的信息的數(shù)據(jù)庫(kù)；以及(d)在將所述監(jiān)測(cè)信號(hào)與所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的信息相關(guān)聯(lián)的 信號(hào)處理才喿作中處理所述監(jiān)測(cè)信號(hào)，以產(chǎn)生表示在所述流體存 儲(chǔ)和分配容器中流體存量的輸出。
119. 根據(jù)權(quán)利要求118所述的方法，其中，所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息包括選 自于由在改變了的分配過(guò)程條件下流體的可壓縮性、流體存儲(chǔ) 和分配容器特性、流體分子量4言息、以及可用于所述流體的 PVT關(guān)系所組成的組中的信息。
120. —種在從材料的遠(yuǎn)程供應(yīng)位置中將所述材料提供給在使用位 置處的用戶的方法，包括在所述4吏用位置處通過(guò)所述用戶分配 材料，所述方法包括(i)監(jiān)測(cè)所述分配過(guò)程的特性，(ii)從 所述監(jiān)測(cè)過(guò)程中獲取數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生與所述特性相關(guān)的數(shù)據(jù)獲取 信號(hào)，以及(iii)處理所述數(shù)據(jù)獲取信號(hào)并響應(yīng)性地產(chǎn)生表示 用于分配可用的材料的存量的輸出，其中，在遠(yuǎn)離所述材料的 使用位置的記帳位置進(jìn)行處理，且所述輸出包括針對(duì)在遠(yuǎn)離所 述材料的使用位置所分配的材料的帳單，以及(iv)響應(yīng)于表 示在所述使用位置用于分配可用的材料的存量的輸出，從所述 遠(yuǎn)程供應(yīng)位置將材料分配到所述使用位置。
全文摘要
一種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(100)，用于在包括從流體供應(yīng)容器中分配流體的操作期間監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器(22、24、26、28、108)中的流體。監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括(i)一個(gè)或多個(gè)傳感器(114、126)，用于監(jiān)測(cè)流體供應(yīng)容器的或從該流體供應(yīng)容器中分配的流體的特性，(ii)數(shù)據(jù)獲取模塊(40、132、146)，可操作性地與一個(gè)或多個(gè)傳感器連接，以從該流體供應(yīng)容器中接收監(jiān)測(cè)信號(hào)并響應(yīng)性地產(chǎn)生與由一個(gè)或多個(gè)傳感器監(jiān)測(cè)的特性相關(guān)的輸出，以及(iii)處理器(50、150)和顯示器(52、150)，可操作性地與數(shù)據(jù)獲取模塊連接并被安排來(lái)處理來(lái)自數(shù)據(jù)獲取模塊的輸出以及被安排來(lái)響應(yīng)性地把在流體供應(yīng)容器中的流體圖示、記帳文件、使用報(bào)告、和/或再供應(yīng)請(qǐng)求等輸出出來(lái)。
文檔編號(hào)H01L21/31GK101268546SQ200580043996
公開(kāi)日2008年9月17日 申請(qǐng)日期2005年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月25日
發(fā)明者史蒂文·E·畢曉普, 史蒂文·M·盧爾科特, 小弗朗克·迪梅奧, 羅伯特·凱姆, 詹姆斯·V·麥克馬納斯, 詹姆斯·迪茨, 邁克爾·J·沃德延斯基 申請(qǐng)人:高級(jí)技術(shù)材料公司