專(zhuān)利名稱(chēng)：：具有設(shè)定和鎖存電極的mems開(kāi)關(guān)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明的領(lǐng)域涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。
背景技術(shù)：
：微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包含微機(jī)械元件、激活器和電子元件?？墒褂贸练e、蝕刻和/或其它蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機(jī)電裝置的微加工工藝來(lái)產(chǎn)生微機(jī)械元件。一種類(lèi)型的MEMS裝置稱(chēng)為干涉式調(diào)制器。如本文所使用，術(shù)語(yǔ)干涉式調(diào)制器或干涉式光調(diào)制器指的是一種使用光學(xué)干涉原理選擇性地吸收且/或反射光的裝置。在某些實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器可包括一對(duì)導(dǎo)電板，其中之一或兩者可能整體或部分透明且/或具有反射性，且能夠在施加適當(dāng)電信號(hào)時(shí)進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)。在特定實(shí)施例中，一個(gè)板可包括沉積在襯底上的固定層，且另一個(gè)板可包括通過(guò)氣隙與固定層分離的金屬薄膜。如本文更詳細(xì)描述，一個(gè)板相對(duì)于另一個(gè)板的位置可改變?nèi)肷湓诟缮媸秸{(diào)制器上的光的光學(xué)干涉。這些裝置具有廣范圍的應(yīng)用，且在此項(xiàng)技術(shù)中，利用且/或修改這些類(lèi)型裝置的特性使得其特征可被發(fā)掘用于改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品和創(chuàng)建尚未開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品，將是有益的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的系統(tǒng)、方法和裝置每一者均具有若干方面，其中任何單個(gè)方面均不僅僅負(fù)責(zé)其期望的屬性。在不限定本發(fā)明范圍的情況下，現(xiàn)將簡(jiǎn)要論述其較突出的特征?？紤]此論述之后，且尤其在閱讀題為"具體實(shí)施方式"的部分之后，將了解本發(fā)明的特征如何提供優(yōu)于其它顯示器裝置的優(yōu)點(diǎn)。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明包含一種MEMS裝置，其包括襯底，其具有由所述襯底支撐的至少兩個(gè)支柱。所述裝置還包含由所述襯底支撐且位于所述支柱之間的至少兩個(gè)電隔離的電極。所述裝置進(jìn)一步包含可移動(dòng)電極，其通過(guò)所述支柱支撐在所述襯底上；以及至少兩個(gè)開(kāi)關(guān)端子，其取決于所述可移動(dòng)電極的位置而可以可選擇地連接。在另一實(shí)施例中，本發(fā)明包含一種操作MEMS開(kāi)關(guān)的方法。所述方法包含通過(guò)跨越第一電極和第二電極施加第一電壓將可移動(dòng)元件從第一位置移動(dòng)到第二位置來(lái)控制開(kāi)關(guān)激活。所述方法還包含通過(guò)跨越所述第一電極和第三電極施加第二電壓將所述可移動(dòng)元件維持在所述第二位置。在另一實(shí)施例中，一種MEMS開(kāi)關(guān)包含第一電極，其可在第一與第二位置之間移動(dòng)；以及開(kāi)關(guān)端子，其基于所述第一電極的位置可以可選擇地連接。所述開(kāi)關(guān)還包含用于將所述可移動(dòng)電極從所述第一位置移動(dòng)到所述第二位置的裝置；以及用于將所述可移動(dòng)電極維持在所述第二位置的裝置。所述維持裝置可與所述移動(dòng)裝置分開(kāi)控制。在另一實(shí)施例中，本發(fā)明包括一種制作MEMS開(kāi)關(guān)的方法。所述方法包含在襯底上在一對(duì)支柱之間形成至少第一和第二電隔離的電極；形成開(kāi)關(guān)端子；以及在所述支柱上形成可移動(dòng)電極。在另一實(shí)施例中，一種顯示系統(tǒng)包括MEMS顯示元件陣列；以及一個(gè)或一個(gè)以上MEMS開(kāi)關(guān)，其耦合到所述陣列。所述MEMS開(kāi)關(guān)中的至少一者包括襯底；至少兩個(gè)支柱，其由所述襯底支撐；以及至少兩個(gè)電隔離電極，其由所述襯底支撐且位于所述支柱之間?？梢苿?dòng)電極通過(guò)所述支柱支撐在所述襯底上，且提供至少兩個(gè)開(kāi)關(guān)端子，其取決于所述可移動(dòng)電極的位置而可以可選擇地連接。圖1是描繪干涉式調(diào)制器顯示器的一個(gè)實(shí)施例的一部分的等角視圖，其中第一干涉式調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于松弛位置，且第二干涉式調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于激活位置。圖2是說(shuō)明并入有3X3干涉式調(diào)制器顯示器的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。圖3是圖1的干涉式調(diào)制器的一個(gè)示范性實(shí)施例的可移動(dòng)鏡位置對(duì)所施加電壓的圖。圖4是可用于驅(qū)動(dòng)干涉式調(diào)制器顯示器的一組行和列電壓的說(shuō)明。圖5A和5B說(shuō)明可用于將顯示數(shù)據(jù)幀寫(xiě)入到圖2的3X3干涉式調(diào)制器顯示器的行和列信號(hào)的一個(gè)示范性時(shí)序圖。圖6A和6B是說(shuō)明包括多個(gè)干涉式調(diào)制器的視覺(jué)顯示裝置的實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。圖7A是圖1的裝置的橫截面。圖7B是干涉式調(diào)制器的替代實(shí)施例的橫截面。圖7C是干涉式調(diào)制器的另一替代實(shí)施例的橫截面。圖7D是干涉式調(diào)制器的又一替代實(shí)施例的橫截面。圖7E是干涉式調(diào)制器的額外替代實(shí)施例的橫截面。圖8A是MEMS開(kāi)關(guān)實(shí)施例的橫截面。圖8B是圖8A的開(kāi)關(guān)實(shí)施例的頂視圖。圖9是另一MEMS開(kāi)關(guān)實(shí)施例的橫截面。圖IO是另一MEMS開(kāi)關(guān)實(shí)施例的橫截面。圖11是圖IO的開(kāi)關(guān)實(shí)施例的示意框圖。具體實(shí)施例方式以下詳細(xì)描述針對(duì)本發(fā)明的某些特定實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以許多不同方式實(shí)施。在本描述內(nèi)容中參看了附圖，附圖中所有相同部分用相同標(biāo)號(hào)表示。如從以下描述中將了解，所述實(shí)施例可實(shí)施在經(jīng)配置以顯示不論運(yùn)動(dòng)(例如，視頻)還是固定(例如，靜止圖像)的且不論文字還是圖畫(huà)的圖像的任何裝置中。更明確地說(shuō)，預(yù)期所述實(shí)施例可實(shí)施在多種電子裝置中或與多種電子裝置關(guān)聯(lián)，所述多種電子裝置例如(但不限于)移動(dòng)電話、無(wú)線裝置、個(gè)人數(shù)據(jù)助理(PDA)、手提式或便攜式計(jì)算機(jī)、GPS接收器/導(dǎo)航器、相機(jī)、MP3播放器、攝像機(jī)、游戲控制臺(tái)、手表、時(shí)鐘、計(jì)算器、電視監(jiān)視器、平板顯示器、計(jì)算機(jī)監(jiān)視器、汽車(chē)顯示器(例如，里程表顯示器等)、座艙控制器和/或顯示器、相機(jī)視圖的顯示器(例如，車(chē)輛中后視相機(jī)的顯示器)、電子相片、電子廣告牌或指示牌、投影儀、建筑結(jié)構(gòu)、包裝和美學(xué)結(jié)構(gòu)(例如，對(duì)于一件珠寶的圖像的顯示器)。具有與本文中描述的裝置類(lèi)似的結(jié)構(gòu)的MEMS裝置也可用于例如電子切換裝置的非顯示器應(yīng)用中。圖1中說(shuō)明包括干涉式MEMS顯示元件的一個(gè)干涉式調(diào)制器顯示器的實(shí)施例。在這些裝置中，像素處于明亮狀態(tài)或黑暗狀態(tài)。在明亮("接通"或"開(kāi)啟")狀態(tài)下，顯示元件將入射可見(jiàn)光的大部分反射到用戶(hù)。當(dāng)在黑暗("斷開(kāi)"或"關(guān)閉")狀態(tài)下時(shí)，顯示元件將極少的入射可見(jiàn)光反射到用戶(hù)。依據(jù)實(shí)施例而定，可顛倒"接通"和"斷開(kāi)"狀態(tài)的光反射性質(zhì)。MEMS像素可經(jīng)配置而主要在選定的顏色處反射，從而允許除了黑白顯示以外的彩色顯示。圖1是描述視覺(jué)顯示器的一系列像素中的兩個(gè)相鄰像素的等角視圖，其中每一像素包括MEMS干涉式調(diào)制器。在一些實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器顯示器包括這些干涉式調(diào)制器的一行/列陣列。每一干涉式調(diào)制器包含一對(duì)反射層，其定位成彼此相距可變且可控制的距離以形成具有至少一個(gè)可變尺寸的諧振光學(xué)腔。在一個(gè)實(shí)施例中，可在兩個(gè)位置之間移動(dòng)所述反射層之一。在第一位置(本文中稱(chēng)為松弛位置)中，可移動(dòng)反射層定位成距固定部分反射層相對(duì)較大的距離。在第二位置(本文中稱(chēng)為激活位置)中，可移動(dòng)反射層定位成更緊密鄰近所述部分反射層。視可移動(dòng)反射層的位置而定，從所述兩個(gè)層反射的入射光相長(zhǎng)地或相消地進(jìn)行干涉，從而為每一像素產(chǎn)生全反射狀態(tài)或非反射狀態(tài)。圖1中像素陣列的所描繪部分包含兩個(gè)相鄰干涉式調(diào)制器12a和12b。在左側(cè)干涉式調(diào)制器12a中，說(shuō)明可移動(dòng)反射層14a處于距包含部分反射層的光學(xué)堆疊16a預(yù)定距離處的松弛位置中。在右側(cè)干涉式調(diào)制器12b中，說(shuō)明可移動(dòng)反射層14b處于鄰近于光學(xué)堆疊16b的激活位置中。如本文所引用的光學(xué)堆疊16a和16b(統(tǒng)稱(chēng)為光學(xué)堆疊16)通常包括若干熔合層(fusedlayer),所述熔合層可包含例如氧化銦錫(ITO)的電極層、例如鉻的部分反射層和透明電介質(zhì)。因此，光學(xué)堆疊16是導(dǎo)電的、部分透明且部分反射的，且可通過(guò)(例如)將上述層的一者或一者以上沉積到透明襯底20上來(lái)制造。部分反射層可由一個(gè)或一個(gè)以上材料層形成，且所述層的每一者可由單一材料或材料的組合形成。在一些實(shí)施例中，光學(xué)堆疊的層經(jīng)圖案化成為多個(gè)平行條帶，且如下文中進(jìn)一步描述，可在顯示裝置中形成行電極?？梢苿?dòng)反射層14a、14b可形成為沉積金屬層(一層或多層)的一系列平行條帶(與行電極16a、16b垂直)，所述金屬層沉積在柱18和沉積于柱18之間的介入犧牲材料的頂部上。當(dāng)蝕刻去除犧牲材料時(shí)，可移動(dòng)反射層14a、14b通過(guò)所界定的間隙19而與光學(xué)堆疊16a、16b分離。例如鋁的高度導(dǎo)電且反射的材料可用于反射層14,且這些條帶可在顯示裝置中形成列電極。在不施加電壓的情況下，腔19保留在可移動(dòng)反射層14a與光學(xué)堆疊16a之間，其中可移動(dòng)反射層14a處于機(jī)械松弛狀態(tài)，如圖1中像素12a所說(shuō)明。然而，當(dāng)將電位差施加到選定的行和列時(shí)，形成在相應(yīng)像素處的行電極與列電極的交叉處的電容器變得帶電，且靜電力將所述電極拉在一起。如果電壓足夠高，那么可移動(dòng)反射層14變形且被迫抵靠光學(xué)堆疊16。光學(xué)堆疊16內(nèi)的介電層(在此圖中未圖示)可防止短路并控制層14與16之間的分離距離，如圖1中右側(cè)的像素12b所說(shuō)明。不管所施加的電位差的極性如何，表現(xiàn)均相同。以此方式，可控制反射像素狀態(tài)對(duì)非反射像素狀態(tài)的行/列激活在許多方面類(lèi)似于常規(guī)LCD和其它顯示技術(shù)中所使用的行/列激活。圖2到5說(shuō)明在顯示器應(yīng)用中使用干涉式調(diào)制器陣列的一個(gè)示范性工藝和系統(tǒng)。圖2是說(shuō)明可并入有本發(fā)明各方面的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)方框圖。在所述示范性實(shí)施例中，所述電子裝置包含處理器21，其可為任何通用單芯片或多芯片微處理器(例如ARM、Pentium、PentiumII、PentiumIII、PentiumIV、PentiumPro、8051、MIPS、PowerPC、ALPHA),或任何專(zhuān)用微處理器(例如數(shù)字信號(hào)處理器、微控制器或可編程門(mén)陣列)。如此項(xiàng)技術(shù)中常規(guī)的做法，處理器21可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件模塊。除了執(zhí)行操作系統(tǒng)外，所述處理器可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件應(yīng)用程序，包含網(wǎng)絡(luò)瀏覽器、電話應(yīng)用程序、電子郵件程序或任何其它軟件應(yīng)用程序。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器21還經(jīng)配置以與陣列驅(qū)動(dòng)器22連通。在一個(gè)實(shí)施例中，所述陣列驅(qū)動(dòng)器22包含將信號(hào)提供到顯示器陣列或面板30的行驅(qū)動(dòng)器電路24和列驅(qū)動(dòng)器電路26。在圖2中以線1-1展示圖1中說(shuō)明的陣列的橫截面。對(duì)于MEMS干涉式調(diào)制器來(lái)說(shuō)，行/列激活協(xié)議可利用圖3中說(shuō)明的這些裝置的滯后性質(zhì)。可能需要(例如)IO伏的電位差來(lái)促使可移動(dòng)層從松弛狀態(tài)變形為激活狀態(tài)。然而，當(dāng)電壓從所述值減小時(shí)，可移動(dòng)層在電壓降回IO伏以下時(shí)維持其狀態(tài)。在圖3的示范性實(shí)施例中，可移動(dòng)層直到電壓降到2伏以下時(shí)才完全松弛。因此，在圖3中說(shuō)明的實(shí)例中存在約3到7V的電壓范圍，其中存在所施加電壓的窗口，在所述窗口內(nèi)裝置在松弛狀態(tài)或激活狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。此窗口在本文中稱(chēng)為"滯后窗口"或"穩(wěn)定窗口"。對(duì)于具有圖3的滯后特性的顯示器陣列來(lái)說(shuō)，可設(shè)計(jì)行/列激活協(xié)議使得在行選通期間，己選通行中待激活的像素暴露于約IO伏的電壓差，且待松弛的像素暴露于接近零伏的電壓差。在選通之后，所述像素暴露于約5伏的穩(wěn)態(tài)電壓差使得其維持在行選通使其所處的任何狀態(tài)中。在此實(shí)例中，每一像素在被寫(xiě)入之后經(jīng)歷3-7伏的"穩(wěn)定窗口"內(nèi)的電位差。此特征使圖1中說(shuō)明的像素設(shè)計(jì)在相同的施加電壓條件下在激活或松弛預(yù)存在狀態(tài)下均是穩(wěn)定的。因?yàn)楦缮媸秸{(diào)制器的每一像素(不論處于激活還是松弛狀態(tài))本質(zhì)上是由固定反射層和移動(dòng)反射層形成的電容器，所以可在滯后窗口內(nèi)的一電壓下維持此穩(wěn)定狀態(tài)而幾乎無(wú)功率消耗。本質(zhì)上，如果所施加的電壓是固定的，那么沒(méi)有電流流入像素中。在典型應(yīng)用中，可通過(guò)根據(jù)第一行中所需組的激活像素確認(rèn)所述組列電極來(lái)產(chǎn)生顯示幀。接著將行脈沖施加到行1電極，從而激活對(duì)應(yīng)于所確認(rèn)的列線的像素。接著改變所述組己確認(rèn)列電極以對(duì)應(yīng)于第二行中所需組的激活像素。接著將脈沖施加到行2電極，從而根據(jù)已確認(rèn)的列電極而激活行2中的適當(dāng)像素。行1像素不受行2脈沖影響，且維持在其在行1脈沖期間被設(shè)定的狀態(tài)中?？梢赃B續(xù)方式對(duì)整個(gè)系列的行重復(fù)此過(guò)程以產(chǎn)生幀。通常，通過(guò)以每秒某一所需數(shù)目的幀的速度連續(xù)地重復(fù)此過(guò)程來(lái)用新的顯示數(shù)據(jù)刷新且/或更新所述幀。用于驅(qū)動(dòng)像素陣列的行和列電極以產(chǎn)生顯示幀的廣泛種類(lèi)的協(xié)議也是眾所周知的且可結(jié)合本發(fā)明使用。圖4和5說(shuō)明用于在圖2的3X3陣列上形成顯示幀的一個(gè)可能的激活協(xié)議。圖49說(shuō)明可用于使像素展示出圖3的滯后曲線的一組可能的列和行電壓電平。在圖4實(shí)施例中，激活像素涉及將適當(dāng)列設(shè)定為-Vb^，且將適當(dāng)行設(shè)定為+AV,其分別可對(duì)應(yīng)于-5伏和+5伏。松弛像素是通過(guò)將適當(dāng)列設(shè)定為+VbiM，且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的+AV，從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。在行電壓維持在零伏的那些行中，不管列處于+丫1^還是-￥1)^,像素在任何其最初所處的狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。同樣如圖4中所說(shuō)明，將了解，可使用具有與上述電壓的極性相反的極性的電壓，例如，激活像素可涉及將適當(dāng)列設(shè)定為+Vb^，且將適當(dāng)行設(shè)定為-AV。在此實(shí)施例中，釋放像素是通過(guò)將適當(dāng)列設(shè)定為-Vbias，且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的-AV，從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。圖5B是展示施加到圖2的3X3陣列的一系列行和列信號(hào)的時(shí)序圖，所述系列的行和列信號(hào)將產(chǎn)生圖5A中說(shuō)明的顯示器布置，其中被激活像素為非反射的。在對(duì)圖5A中說(shuō)明的幀進(jìn)行寫(xiě)入之前，像素可處于任何狀態(tài)，且在本實(shí)例中所有行均處于O伏，且所有列均處于+5伏。在這些所施加的電壓的情況下，所有像素在其既有的激活或松弛狀態(tài)中均是穩(wěn)定的。在圖5A的幀中，像素(l，l)、(1,2)、(2,2)、(3,2)和(3,3)被激活。為了實(shí)現(xiàn)此目的，在行1的"線時(shí)間(linetime)"期間，將列1和2設(shè)定為-5伏，且將列3設(shè)定為+5伏。因?yàn)樗邢袼鼐Ａ粼?-7伏的穩(wěn)定窗口中，所以這并不改變?nèi)魏蜗袼氐臓顟B(tài)。接著用從0升到5伏且返回零的脈沖選通行1。這激活了(l，l)和(1,2)像素且松弛了(1,3)像素。陣列中其它像素均不受影響。為了視需要設(shè)定行2，將列2設(shè)定為-5伏，且將列1和3設(shè)定為+5伏。施加到行2的相同選通接著將激活像素(2,2)且松弛像素(2,1)和(2，3)。同樣，陣列中其它像素均不受影響。通過(guò)將列2和3設(shè)定為-5伏且將列1設(shè)定為+5伏來(lái)類(lèi)似地設(shè)定行3。行3選通設(shè)定行3像素，如圖5A中所示。在對(duì)幀進(jìn)行寫(xiě)入之后，行電位為零，且列電位可維持在+5或-5伏，且接著顯示器在圖5A的布置中是穩(wěn)定的。將了解，可將相同程序用于數(shù)十或數(shù)百個(gè)行和列的陣列。還將應(yīng)了解，用于執(zhí)行行和列激活的電壓的時(shí)序、序列和電平可在上文所概述的一般原理內(nèi)廣泛變化，且上文的實(shí)例僅為示范性的，且任何激活電壓方法均可與本文描述的系統(tǒng)和方法一起使用。圖6A和6B是說(shuō)明顯示裝置40的實(shí)施例的系統(tǒng)方框圖。顯示裝置40可為(例如)蜂窩式電話或移動(dòng)電話。然而，顯示裝置40的相同組件或其稍微變化形式也說(shuō)明例如電視和便攜式媒體播放器的各種類(lèi)型的顯示裝置。顯示裝置40包含外殼41、顯示器30、天線43、揚(yáng)聲器44、輸入裝置48和麥克風(fēng)46。外殼41通常由所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知的多種制造工藝的任一者形成，所述工藝包含注射模制和真空成形。另外，外殼41可由多種材料的任一者制成，所述材料包含(但不限于)塑料、金屬、玻璃、橡膠和陶瓷，或其組合。在一個(gè)實(shí)施例中，外殼41包含可去除部分(未圖示)，所述可去除部分可與其它具有不同顏色或含有不同標(biāo)記、圖畫(huà)或符號(hào)的可去除部分互換。如本文中所描述，示范性顯示裝置40的顯示器30可為包含雙穩(wěn)態(tài)顯示器(bi-stabledisplay)在內(nèi)的多種顯示器的任一者。在其它實(shí)施例中，如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知，顯示器30包含例如如上所述的等離子、EL、OLED、STNLCD或TFTLCD的平板顯示器，或例如CRT或其它電子管裝置的非平板顯示器。然而，出于描述本實(shí)施例的目的，如本文中所描述，顯示器30包含干涉式調(diào)制器顯示器。圖6B中示意說(shuō)明示范性顯示裝置40的一個(gè)實(shí)施例的組件。所說(shuō)明的示范性顯示裝置40包含外殼41且可包含至少部分封圍在所述外殼41中的額外組件。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，示范性顯示裝置40包含網(wǎng)絡(luò)接口27，所述網(wǎng)絡(luò)接口27包含耦合到收發(fā)器47的天線43。收發(fā)器47連接到處理器21,處理器21連接到調(diào)節(jié)硬件52。調(diào)節(jié)硬件52可經(jīng)配置以調(diào)節(jié)信號(hào)(例如，對(duì)信號(hào)進(jìn)行濾波)。調(diào)節(jié)硬件52連接到揚(yáng)聲器45和麥克風(fēng)46。處理器21也連接到輸入裝置48和驅(qū)動(dòng)器控制器29。驅(qū)動(dòng)器控制器29耦合到幀緩沖器28且耦合到陣列驅(qū)動(dòng)器22，所述陣列驅(qū)動(dòng)器22進(jìn)而耦合到顯示器陣列30。根據(jù)特定示范性顯示裝置40設(shè)計(jì)的要求，電源50將功率提供到所有組件。網(wǎng)絡(luò)接口27包含天線43和收發(fā)器47使得示范性顯示裝置40可經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與一個(gè)或一個(gè)以上裝置通信。在一個(gè)實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口27也可具有某些處理能力以減輕對(duì)處理器21的要求。天線43是所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知的用于傳輸和接收信號(hào)的任何天線。在一個(gè)實(shí)施例中，所述天線根據(jù)IEEE802.11標(biāo)準(zhǔn)(包含IEEE802.11(a)、(b)或(g))來(lái)傳輸和接收RF信號(hào)。在另一實(shí)施例中，所述天線根據(jù)BLUETOOTH標(biāo)準(zhǔn)來(lái)傳輸和接收RF信號(hào)。在蜂窩式電話的情況下，所述天線經(jīng)設(shè)計(jì)以接收CDMA、GSM、AMPS或其它用于在無(wú)線手機(jī)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)通信的已知信號(hào)。收發(fā)器47預(yù)處理從天線43接收到的信號(hào)，使得處理器21可接收所述信號(hào)并進(jìn)一步對(duì)所述信號(hào)進(jìn)行處理。收發(fā)器47還處理從處理器21接收到的信號(hào)使得可經(jīng)由天線43從示范性顯示裝置40傳輸所述信號(hào)。在一替代實(shí)施例中，收發(fā)器47可由接收器代替。在又一替代實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口27可由可存儲(chǔ)或產(chǎn)生待發(fā)送到處理器21的圖像數(shù)據(jù)的圖像源代替。舉例來(lái)說(shuō)，所述圖像源可為含有圖像數(shù)據(jù)的數(shù)字視頻光盤(pán)(DVD)或硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器，或產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)的軟件模塊。處理器21大體上控制示范性顯示裝置40的全部操作。處理器21接收例如來(lái)自網(wǎng)絡(luò)接口27或圖像源的壓縮圖像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)，并將所述數(shù)據(jù)處理成原始圖像數(shù)據(jù)或處理成易被處理成原始圖像數(shù)據(jù)的格式。處理器21接著將已處理的數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器控制器29或發(fā)送到幀緩沖器28以供存儲(chǔ)。原始數(shù)據(jù)通常是指識(shí)別圖像內(nèi)每一位置處的圖像特性的信息。舉例來(lái)說(shuō)，這些圖像特性可包含顏色、飽和度和灰度級(jí)。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器21包含微控制器、CPU或邏輯單元以控制示范性顯示裝置40的操作。調(diào)節(jié)硬件52通常包含放大器和濾波器，以用于將信號(hào)傳輸?shù)綋P(yáng)聲器45，且用于從麥克風(fēng)46接收信號(hào)。調(diào)節(jié)硬件52可為示范性顯示裝置40內(nèi)的離散組件，或可并入在處理器21或其它組件內(nèi)。驅(qū)動(dòng)器控制器29直接從處理器21或從幀緩沖器28取得由處理器21產(chǎn)生的原始圖像數(shù)據(jù)，并適當(dāng)?shù)刂匦赂袷交鲈紙D像數(shù)據(jù)以供高速傳輸?shù)疥嚵序?qū)動(dòng)器22。具體來(lái)說(shuō)，驅(qū)動(dòng)器控制器29將原始圖像數(shù)據(jù)重新格式化為具有類(lèi)似光柵格式的數(shù)據(jù)流，使得其具有適于在顯示器陣列30上進(jìn)行掃描的時(shí)間次序。接著，驅(qū)動(dòng)器控制器29將已格式化的信息發(fā)送到陣列驅(qū)動(dòng)器22。盡管驅(qū)動(dòng)器控制器29(例如LCD控制器)通常與系統(tǒng)處理器21關(guān)聯(lián)而作為獨(dú)立的集成電路(IC),但可以許多方式實(shí)施這些控制器。其可作為硬件嵌入處理器21中，作為軟件嵌入處理器21中，或與陣列驅(qū)動(dòng)器22完全集成在硬件中。通常，陣列驅(qū)動(dòng)器22從驅(qū)動(dòng)器控制器29接收已格式化的信息且將視頻數(shù)據(jù)重新格式化為一組平行波形，所述波形以每秒多次的速度被施加到來(lái)自顯示器的x-y像素矩陣的數(shù)百且有時(shí)數(shù)千個(gè)引線。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29、陣列驅(qū)動(dòng)器22和顯示器陣列30適用于本文描述的任何類(lèi)型的顯示器。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29是常規(guī)顯示器控制器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器控制器(例如，干涉式調(diào)制器控制器)。在另一實(shí)施例中，陣列驅(qū)動(dòng)器22是常規(guī)驅(qū)動(dòng)器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器驅(qū)動(dòng)器(例如，干涉式調(diào)制器顯示器)。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器控制器29與陣列驅(qū)動(dòng)器22集成。此實(shí)施例在例如蜂窩式電話、手表和其它小面積顯示器等高度集成系統(tǒng)中是普遍的。在又一實(shí)施例中，顯示器陣列30是典型的顯示器陣列或雙穩(wěn)態(tài)顯示器陣列(例如，包含干涉式調(diào)制器陣列的顯示器)。輸入裝置48允許用戶(hù)控制示范性顯示裝置40的操作。在一個(gè)實(shí)施例中，輸入裝置48包含例如QWERTY鍵盤(pán)或電話鍵區(qū)的鍵區(qū)、按鈕、開(kāi)關(guān)、觸敏屏幕、壓敏或熱敏薄膜。在一個(gè)實(shí)施例中，麥克風(fēng)46是用于示范性顯示裝置40的輸入裝置。當(dāng)使用麥克風(fēng)46將數(shù)據(jù)輸入到所述裝置時(shí)，用戶(hù)可提供聲音命令以便控制示范性顯示裝置40的操作。電源50可包含此項(xiàng)技術(shù)中眾所周知的多種能量存儲(chǔ)裝置。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，電源50是例如鎳鎘電池或鋰離子電池的可再充電電池。在另一實(shí)施例中，電源50是可再生能源、電容器或太陽(yáng)能電池，包含塑料太陽(yáng)能電池和太陽(yáng)能電池涂料。在另一實(shí)施例中，電源50經(jīng)配置以從壁式插座接收功率。在某些實(shí)施方案中，如上文中所描述，控制可編程性駐存在驅(qū)動(dòng)器控制器中，所述驅(qū)動(dòng)器控制器可位于電子顯示器系統(tǒng)中的若干位置中。在某些情況下，控制可編程性駐存在陣列驅(qū)動(dòng)器22中。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，上述優(yōu)化可實(shí)施在任何數(shù)目的硬件和/或軟件組件中且可以各種配置實(shí)施。根據(jù)上文陳述的原理而操作的干涉式調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)可廣泛變化。舉例來(lái)說(shuō)，圖7A-7E說(shuō)明可移動(dòng)反射層14及其支撐結(jié)構(gòu)的五個(gè)不同實(shí)施例。圖7A是圖1的實(shí)施例的橫截面，其中金屬材料條帶14沉積在垂直延伸的支撐件18上。在圖7B中，可移動(dòng)反射層14在系鏈(tether)32上僅在隅角處附接到支撐件。在圖7C中，可移動(dòng)反射層14從可包括柔性金屬的可變形層34懸置下來(lái)。所述可變形層34直接或間接地連接到圍繞可變形層34的周邊的襯底20。這些連接在本文中稱(chēng)為支柱。圖7D中說(shuō)明的實(shí)施例具有支柱插塞42,可變形層34擱置在所述支柱插塞42上。如圖7A-7C所示，可移動(dòng)反射層14保持懸浮在腔上方，但可變形層34并不通過(guò)填充可變形層34與光學(xué)堆疊16之間的孔而形成所述支柱。而是，支柱由用于形成支柱插塞42的平面化材料形成。圖7E中說(shuō)明的實(shí)施例是基于圖7D中展示的實(shí)施例，但也可適于與圖7A-7C中說(shuō)明的實(shí)施例以及未圖示的額外實(shí)施例的任一者一起發(fā)揮作用。在圖7E中所示的實(shí)施例中，已使用金屬或其它導(dǎo)電材料的額外層來(lái)形成總線結(jié)構(gòu)44。這允許信號(hào)沿著干涉式調(diào)制器的背面進(jìn)行路由，從而消除許多原本可能必須形成在襯底20上的電極。在例如圖7中所示的那些實(shí)施例的實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器充當(dāng)直接觀看裝置，其中從透明襯底20的前側(cè)觀看圖像，所述側(cè)與上面布置有調(diào)制器的一側(cè)相對(duì)。在這些實(shí)施例中，反射層14以光學(xué)方式遮蔽在反射層的與襯底20相對(duì)側(cè)的干涉式調(diào)制器的部分，其包含可變形層34。這允許對(duì)遮蔽區(qū)域進(jìn)行配置和操作而不會(huì)消極地影響圖像質(zhì)量。這種遮蔽允許實(shí)現(xiàn)圖7E中的總線結(jié)構(gòu)44，所述總線結(jié)構(gòu)44提供使調(diào)制器的光學(xué)性質(zhì)與調(diào)制器的機(jī)電性質(zhì)(例如，尋址與由所述尋址導(dǎo)致的移動(dòng))分離的能力。這種可分離的調(diào)制器結(jié)構(gòu)允許選擇用于調(diào)制器的機(jī)電方面和光學(xué)方面的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料且使其彼此獨(dú)立而發(fā)揮作用。此外，圖7C-7E中所示的實(shí)施例具有源自反射層14的光學(xué)性質(zhì)與其機(jī)械性質(zhì)脫離的額外益處，所述益處由可變形層34執(zhí)行。這允許用于反射層14的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在光學(xué)性質(zhì)方面得以?xún)?yōu)化，且用于可變形層34的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在期望的機(jī)械性質(zhì)方面得以?xún)?yōu)化。通過(guò)一些修改，干涉式調(diào)制器的基本結(jié)構(gòu)可用作MEMS開(kāi)關(guān)。從與干涉式調(diào)制器相同的基本結(jié)構(gòu)建立的MEMS開(kāi)關(guān)方便了邏輯和切換功能與干涉式調(diào)制器陣列的集成。可能可集成其它類(lèi)型的開(kāi)關(guān)，例如以不類(lèi)似于干涉式元件的制造的方式制造的開(kāi)關(guān)，以及使用沉積在玻璃襯底上的薄硅膜制造的更常規(guī)的電子開(kāi)關(guān)。然而，因?yàn)榭墒褂迷谥圃旄缮媸秸{(diào)制器中使用的許多相同處理步驟來(lái)執(zhí)行基于干涉式調(diào)制器的MEMS開(kāi)關(guān)的制造，所以這些MEMS開(kāi)關(guān)可便宜地與例如用于顯示器的干涉式調(diào)制器陣列集成到同一襯底上。舉例來(lái)說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，可使用相同過(guò)程制造MEMS開(kāi)關(guān)和干涉式調(diào)制器，但在制造過(guò)程期間可對(duì)干涉式調(diào)制器和/或MEMS開(kāi)關(guān)執(zhí)行額外步驟。舉例來(lái)說(shuō)，對(duì)MEMS開(kāi)關(guān)添加端子的沉積和蝕刻步驟對(duì)于干涉式調(diào)制器的制造是不必要的。在此實(shí)施例中，將執(zhí)行一些共同步驟，例如用于形成電極的步驟等。接著將形成MEMS開(kāi)關(guān)端子。在這些步驟之后將跟隨對(duì)于干涉式調(diào)制器和MEMS開(kāi)關(guān)兩者必要的更多步驟，因此提供組合的干涉式調(diào)制器和MEMS開(kāi)關(guān)陣列。在又一實(shí)施例中，在制造MEMS開(kāi)關(guān)時(shí)使用用于制造干涉式調(diào)制器的相同過(guò)程?？墒紫仍谝r底上制造干涉式調(diào)制器，隨后在襯底上制造MEMS開(kāi)關(guān)。類(lèi)似地，可首先在襯底上制造MEMS開(kāi)關(guān)，隨后在襯底上制造千涉式調(diào)制器。在任一情況下，制造過(guò)程均不需要顯著修改，因?yàn)镸EMS開(kāi)關(guān)包括與干涉式調(diào)制器相同的結(jié)構(gòu)中的許多結(jié)構(gòu)。在一個(gè)實(shí)施例中，這些MEMS開(kāi)關(guān)的群組可用于形成邏輯區(qū)塊，所述邏輯區(qū)塊可用于任何目的。這些包括MEMS開(kāi)關(guān)的邏輯區(qū)塊可排列在一起以提供外部附接的組件中常見(jiàn)的邏輯和電氣功能，因此節(jié)省了組件成本。舉例來(lái)說(shuō)，MEMS開(kāi)關(guān)可經(jīng)排列以供以各種方式使用，例如作為低泄漏晶體管、移位寄存器或多路分用器。在干涉式調(diào)制器的情形中，舉例來(lái)說(shuō)，上述MEMS開(kāi)關(guān)可結(jié)合例如行驅(qū)動(dòng)器或列驅(qū)動(dòng)器使用。有利地，上述MEMS開(kāi)關(guān)可制造在各種襯底上，例如玻璃、玻璃晶片、硅晶片或塑料襯底。圖8A是MEMS開(kāi)關(guān)700的橫截面?zhèn)纫晥D。圖8A的MEMS開(kāi)關(guān)700具有與圖7A的干涉式調(diào)制器類(lèi)似的折疊腔特征。MEMS開(kāi)關(guān)700另外包含兩個(gè)端子706、絕緣層710以及導(dǎo)電條帶708。MEMS開(kāi)關(guān)700是在兩個(gè)端子706之間提供選擇性電接觸的結(jié)構(gòu)。更特定來(lái)說(shuō)，當(dāng)端子706電接觸時(shí)認(rèn)為MEMS開(kāi)關(guān)700閉合，且當(dāng)端子706未電接觸時(shí)認(rèn)為MEMS開(kāi)關(guān)打開(kāi)。在機(jī)械上松弛狀態(tài)下，端子706未電接觸，且因此MEMS開(kāi)關(guān)700打開(kāi)。如圖8A所示，MEMS開(kāi)關(guān)700包括可移動(dòng)材料714、導(dǎo)電條帶708以及位于可移動(dòng)材料714與導(dǎo)電條帶708之間的絕緣層710。襯底720支撐電極702以及電極702上的絕緣層704。分隔一段距離的兩個(gè)端子706沉積在絕緣層704上和/或沉積穿過(guò)絕緣層704。端子706可使用穿過(guò)絕緣層704和/或電極702的通孔連接到其它電路。絕緣層704和可移動(dòng)材料714機(jī)械上由支撐件718分隔，以便界定腔707。如上文相對(duì)于干涉式調(diào)制器所述，可移動(dòng)材料714是可變形的，使得當(dāng)跨越可移動(dòng)材料714和電極702施加電壓差時(shí)，可移動(dòng)材料714可朝向襯底720變形。這類(lèi)似于圖7A的反射材料14、襯底20和電極16，以及圖1的反射層14a和14b、透明襯底20以及反射層16a和16b?？梢苿?dòng)材料714上可具有絕緣體710，絕緣體710上具有導(dǎo)電條帶708。導(dǎo)電條帶708經(jīng)對(duì)準(zhǔn)以使得當(dāng)可移動(dòng)材料714通過(guò)上述施加的電位而朝向襯底720變形時(shí)，導(dǎo)電條帶708接觸兩個(gè)端子706，從而引起端子706處于電接觸且MEMS開(kāi)關(guān)700閉合。在此實(shí)施例中，導(dǎo)電條帶708通過(guò)絕緣體710而與可移動(dòng)材料714電隔離，使得端子706與可移動(dòng)材料714之間的接觸不會(huì)干擾跨越可移動(dòng)材料714和電極702施加的電壓差。在此隔離不是必要的一些實(shí)施例中，將不需要導(dǎo)電條帶708和絕緣體710，且可移動(dòng)材料714本身可充當(dāng)橋接兩個(gè)端子706的導(dǎo)體。當(dāng)跨越可移動(dòng)材料714和電極702施加的電壓減小到某一電平(同樣如上所述)以下時(shí)，可移動(dòng)材料714返回到其機(jī)械松弛狀態(tài)，且MEMS開(kāi)關(guān)700打開(kāi)。圖8B是MEMS開(kāi)關(guān)700的頂視圖。支撐件718、導(dǎo)電條帶708以及端子706展示為可看穿可移動(dòng)材料714而看見(jiàn)。導(dǎo)電條帶708可顯著小于可移動(dòng)材料714。這是為了確?？梢苿?dòng)材料714與電極702之間的電動(dòng)勢(shì)大于導(dǎo)電條帶708與電極702之間的電動(dòng)勢(shì)，因?yàn)橐坏l帶接觸電極，條帶上的電位就可能不同于可移動(dòng)材料上的電位。圖9是另一實(shí)施例的MEMS開(kāi)關(guān)800的橫截面?zhèn)纫晥D。MEMS開(kāi)關(guān)800具有與圖7C的干涉式調(diào)制器類(lèi)似的結(jié)構(gòu)特征。其還具有與圖8A中的MEMS開(kāi)關(guān)700類(lèi)似的MEMS開(kāi)關(guān)功能性和特征。圖IO是類(lèi)似于圖8的開(kāi)關(guān)的另一MEMS電氣開(kāi)關(guān)的橫截面?zhèn)纫晥D，不同的是在襯底上添加了"鎖存"電極730a、730b，其在下文更詳細(xì)描述。在圖10中，將開(kāi)關(guān)展示為處于激活位置，其中可移動(dòng)材料714向下變形到端子706上。在操作中，初始將相對(duì)低的電壓施加到電極730a、730b，從而在電極730a、730b與可移動(dòng)材料714之間產(chǎn)生電壓差。在此設(shè)計(jì)的有利實(shí)施例中，此電壓差具有的量值不足以引起可移動(dòng)材料714從松弛狀態(tài)變形到激活狀態(tài)，但一旦可移動(dòng)材料被置于激活狀態(tài)中時(shí)足以維持可移動(dòng)材料處于激活狀態(tài)。隨后，將電壓施加于電極702，其在可移動(dòng)材料714與電極702之間產(chǎn)生電壓差，所述電壓差具有足以引起可移動(dòng)材料朝向電極702折疊的量值。在裝置被此所施加電壓激活之后，電極702上的電壓可移除。由于可移動(dòng)材料714與電極730a、730b緊密接近，接著可通過(guò)電極730a、730b與可移動(dòng)材料714之間的電壓差將可移動(dòng)材料714維持在折疊位置，即使施加到鎖存電極730a、730b的電壓沒(méi)有高到足以從完全松弛的初始狀態(tài)激活裝置也是如此。在一個(gè)實(shí)施例中，施加到鎖存電極730a、730b的電壓在l-10伏的范圍內(nèi)，而施加到電極702的電壓在5-15伏的范圍內(nèi)。將了解可在設(shè)定電壓之后施加鎖存電壓。還將了解，圖10所示的各種組件的位置可廣泛變化。舉例來(lái)說(shuō)，可將開(kāi)關(guān)端子706置于支柱與鎖存電極之間。鎖存電極可進(jìn)一步朝向支柱和/或在支柱下延伸。另外，可提供僅一個(gè)或兩個(gè)以上的鎖存電極。重要特征是將鎖存電極置于提供鎖存功能的位置。在圖10的實(shí)施例中，有利的是將鎖存電極的至少一部分置于可移動(dòng)材料形成一隅角并首先接觸襯底的點(diǎn)下方。圖11說(shuō)明此開(kāi)關(guān)實(shí)施例的示意/框圖。將設(shè)定信號(hào)施加到電極702，且將鎖存信號(hào)施加到電極730A和730b。鎖存信號(hào)可為低于設(shè)定信號(hào)的電壓。一旦斷言鎖存，就可斷言設(shè)定信號(hào)以閉合開(kāi)關(guān)。解斷言設(shè)定信號(hào)不會(huì)使裝置松弛且打開(kāi)開(kāi)關(guān)，除非鎖存信號(hào)也被移除。通過(guò)此設(shè)計(jì)，可通過(guò)斷言共同鎖存信號(hào)并使用路由到各個(gè)中央電極的經(jīng)界定的一群組設(shè)定信號(hào)來(lái)按照需要配置一群組開(kāi)關(guān)，在此之后設(shè)定信號(hào)可采用任何值而不會(huì)改變開(kāi)關(guān)狀態(tài)?？赏ㄟ^(guò)解斷言所有設(shè)定和鎖存信號(hào)來(lái)同時(shí)清除整個(gè)群組。盡管以上詳細(xì)描述內(nèi)容己經(jīng)展示、描述并指出了應(yīng)用于各個(gè)實(shí)施例的新穎特征，但將了解，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可在不脫離本發(fā)明的精神的情況下，對(duì)所說(shuō)明的裝置或工藝作出形式和細(xì)節(jié)上的各種省略、替代和變化。將認(rèn)識(shí)到，本發(fā)明可包含在未提供本文所陳述的特征和益處中的所有特征和益處的形式內(nèi)，因?yàn)橐恍┨卣骺赡芘c其它特征分離而使用或?qū)嵺`。權(quán)利要求1.一種MEMS裝置，其包括襯底；至少兩個(gè)支柱，其由所述襯底支撐；至少兩個(gè)電隔離的電極，其由所述襯底支撐且定位于所述支柱之間；可移動(dòng)電極，其由所述支柱支撐在所述襯底上；以及至少兩個(gè)開(kāi)關(guān)端子，其取決于所述可移動(dòng)電極的位置而可選擇地連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中所述電極中的一者被置于所述至少兩個(gè)支柱之間的中央?yún)^(qū)域中。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS裝置，其中所述電極中的至少一者定位于所述中央?yún)^(qū)域與所述支柱中的一者之間。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS裝置，其中所述電極中的至少一者定位于所述開(kāi)關(guān)端子中的一者與所述支柱中的一者之間。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其包括位于所述裝置的中央?yún)^(qū)域中的第一電極，以及位于所述第一電極任一側(cè)上且與所述第一電極電隔離的至少一個(gè)第二電極。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中所述開(kāi)關(guān)端子由所述襯底支撐。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS裝置，其中當(dāng)所述可移動(dòng)電極定位于接近所述襯底處時(shí)，所述開(kāi)關(guān)端子是連接的。8.—種顯示系統(tǒng)，其包括-MEMS顯示元件陣列；一個(gè)或一個(gè)以上MEMS開(kāi)關(guān)，其耦合到所述陣列，其中所述MEMS開(kāi)關(guān)中的至少一者包括襯底；至少兩個(gè)支柱，其由所述襯底支撐；至少兩個(gè)電隔離的電極，其由所述襯底支撐且定位于所述支柱之間；可移動(dòng)電極，其由所述支柱支撐在所述襯底上；以及至少兩個(gè)開(kāi)關(guān)端子，其取決于所述可移動(dòng)電極的位置而可選擇地連接。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示系統(tǒng)，其另外包括耦合到所述陣列的驅(qū)動(dòng)器電路。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括處理器，其與所述顯示器電連通，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；以及存儲(chǔ)器裝置，其與所述處理器電連通。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述驅(qū)動(dòng)器電路經(jīng)配置以將至少一個(gè)信號(hào)發(fā)送到所述顯示器。12.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的裝置，其進(jìn)一步包括控制器，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。13.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的裝置，其進(jìn)一步包括圖像源模塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述圖像源模塊包括接收器、收發(fā)器和發(fā)射器中的至少一者。15.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的裝置，其進(jìn)一步包括輸入裝置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。16.—種操作MEMS開(kāi)關(guān)的方法，其包括通過(guò)跨越第一電極和第二電極施加第一電壓將可移動(dòng)元件從第一位置移動(dòng)到第二位置來(lái)控制開(kāi)關(guān)激活；以及通過(guò)跨越所述第一電極和第三電極施加第二電壓將所述可移動(dòng)元件維持在所述第二位置。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述第二電壓小于所述第一電壓。18.—種MEMS開(kāi)關(guān)，其包括第一電極，其可在第一與第二位置之間移動(dòng)；開(kāi)關(guān)端子，其基于所述第一電極的位置可選擇地連接；移動(dòng)裝置，其用于將所述可移動(dòng)電極從所述第一位置移動(dòng)到所述第二位置；以及維持裝置，其用于將所述可移動(dòng)電極維持在所述第二位置，所述維持裝置可與所述移動(dòng)裝置分開(kāi)控制。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的MEMS開(kāi)關(guān)，其中所述移動(dòng)裝置包括第一電極。20.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的MEMS開(kāi)關(guān)，其中所述維持裝置包括第二電極。21.—種制作MEMS開(kāi)關(guān)的方法，其包括在襯底上的一對(duì)支柱之間形成至少第一和第二電隔離的電極；形成開(kāi)關(guān)端子；以及在所述支柱上形成可移動(dòng)電極。22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其包括在所述MEMS開(kāi)關(guān)的中央?yún)^(qū)域中形成所述第一電極。23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其包括在所述中央?yún)^(qū)域與所述支柱之間形成至少一個(gè)第二電極，所述至少一個(gè)第二電極與所述第一電極電隔離。24.—種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法制作的MEMS開(kāi)關(guān)。全文摘要本發(fā)明提供一種MEMS裝置，其以跨越第一電極(702)和可移動(dòng)材料(714)安置的電壓電激活。所述裝置可通過(guò)與所述第一電極分隔的鎖存電極(730a、730b)而維持在激活狀態(tài)。文檔編號(hào)H01H59/00GK101310206SQ200580052085公開(kāi)日2008年11月19日申請(qǐng)日期2005年11月16日優(yōu)先權(quán)日2005年11月16日發(fā)明者克拉倫斯·徐申請(qǐng)人:Idc公司