專利名稱：錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)及其管理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)及其管理方法，特別涉及一種可進(jìn)行自我監(jiān)控(self-monitoring)及錯(cuò)誤診斷(error-diagnosing)的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)及其管理方法。
背景技術(shù)：
集成電路制造技術(shù)的持續(xù)進(jìn)步已經(jīng)發(fā)展出許多新的半導(dǎo)體工藝，其通常需要許多的輸入，必需予以精密地調(diào)控以維持較佳的工藝質(zhì)量。從半導(dǎo)體原料至完成封裝的集成電路元件需要許多不同的工藝，例如半導(dǎo)體材料的成長工藝、從半導(dǎo)體晶棒變成晶片的切割工藝、薄膜沉積工藝、蝕刻工藝、布植工藝、封裝工藝以及測試程序，而這些工藝彼此具有相當(dāng)大的差異性，大都在不同的區(qū)域進(jìn)行，且不同的工藝大都采用不同的控制技術(shù)。
圖1例示一具有即時(shí)數(shù)據(jù)庫的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其披露于美國第US6,868,512號(hào)專利。該錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)包含至少一個(gè)數(shù)據(jù)搜集來源125、即時(shí)數(shù)據(jù)庫110以及數(shù)據(jù)庫管理單元120。該數(shù)據(jù)搜集來源125是用以產(chǎn)生錯(cuò)誤檢測及更正(fault detection and correction，F(xiàn)DC)數(shù)據(jù)，而該數(shù)據(jù)庫管理單元120則是用以將該FDC數(shù)據(jù)儲(chǔ)存于該即時(shí)數(shù)據(jù)庫110，其中該數(shù)據(jù)庫管理單元120也具有進(jìn)入數(shù)據(jù)目錄130。簡言之，該錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的工作大略為接收進(jìn)入的FDC數(shù)據(jù)、儲(chǔ)存進(jìn)入的FDC數(shù)據(jù)于該即時(shí)數(shù)據(jù)庫110并產(chǎn)生進(jìn)入數(shù)據(jù)目錄130(其指示進(jìn)入的FDC數(shù)據(jù)由預(yù)設(shè)的進(jìn)入數(shù)據(jù)處理器140負(fù)責(zé)處理)、以及傳送該FDC數(shù)據(jù)至該進(jìn)入數(shù)據(jù)目錄130所指的數(shù)據(jù)處理器140。然而，公知的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)并未設(shè)計(jì)任何的自我監(jiān)控或錯(cuò)誤診斷機(jī)制，因而在系統(tǒng)的內(nèi)部模塊發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)，并無法即時(shí)補(bǔ)救而造成更大的損害。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種可進(jìn)行自我監(jiān)控及錯(cuò)誤診斷的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)及其管理方法。
為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提出一種錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其包含用以搜集至少一個(gè)機(jī)臺(tái)的參數(shù)的數(shù)據(jù)服務(wù)器、至少一個(gè)可在該參數(shù)超出預(yù)設(shè)規(guī)范時(shí)發(fā)出異常信號(hào)的錯(cuò)誤感應(yīng)模塊、可在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊不正常工作時(shí)予以重啟動(dòng)的監(jiān)控模塊、用以控制該數(shù)據(jù)服務(wù)器、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊及該監(jiān)控模塊的遠(yuǎn)端控制器。較佳地，該機(jī)臺(tái)、該數(shù)據(jù)服務(wù)器、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊、該監(jiān)控模塊及該遠(yuǎn)端控制器是通過網(wǎng)絡(luò)相互耦合。此外，該遠(yuǎn)端控制器也可用以診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊及該監(jiān)控模塊的錯(cuò)誤。
根據(jù)上述目的，本發(fā)明提出一種錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其包含儲(chǔ)存至少一個(gè)機(jī)臺(tái)的參數(shù)于數(shù)據(jù)服務(wù)器、錯(cuò)誤感應(yīng)模塊采用后進(jìn)先出方式檢查該參數(shù)是否超過預(yù)設(shè)規(guī)范并在該參數(shù)超過該預(yù)設(shè)規(guī)范時(shí)產(chǎn)生異常信號(hào)、監(jiān)控模塊檢查該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊是否正常工作并在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊不正常工作時(shí)予以重新啟動(dòng)。
較佳地，該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊在讀取該數(shù)據(jù)服務(wù)器儲(chǔ)存的參數(shù)時(shí)一并更新第一存取時(shí)間，而該監(jiān)控模塊則通過檢查該第一存取時(shí)間是否在第一間隔內(nèi)被更新，判斷該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊是否異常。此外，該遠(yuǎn)端控制器也可通過檢查該第一存取時(shí)間是否在第一間隔內(nèi)被更新，診斷該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊是否發(fā)生錯(cuò)誤。同樣地，該監(jiān)控模塊在讀取該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的第一存取時(shí)間時(shí)也一并更新第二存取時(shí)間，而該遠(yuǎn)端控制器則通過檢查該第二存取時(shí)間是否在第二間隔內(nèi)被更新，診斷該監(jiān)控模塊的錯(cuò)誤。
該遠(yuǎn)端控制器也可通過與該數(shù)據(jù)服務(wù)器的信號(hào)交換(handshaking)而診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器的錯(cuò)誤，亦即該遠(yuǎn)端控制器可傳送檢測信號(hào)至該數(shù)據(jù)服務(wù)器，并根據(jù)該數(shù)據(jù)服務(wù)器是否在第三間隔內(nèi)回傳確收信號(hào)，判斷該數(shù)據(jù)服務(wù)是否正常工作并診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器是否發(fā)生錯(cuò)誤。此外，該監(jiān)控模塊可檢查進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器的參數(shù)的數(shù)據(jù)流量是否超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力，并在檢查結(jié)果為真時(shí)啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊以協(xié)助處理該參數(shù)的錯(cuò)誤分析。
與公知技術(shù)相比，本發(fā)明的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)利用該監(jiān)控模塊監(jiān)控該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的工作，并在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊不正常工作時(shí)予以重新啟動(dòng)。若該監(jiān)控模塊嘗試重新啟動(dòng)該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊預(yù)定次數(shù)仍然無效時(shí)，則通知該遠(yuǎn)端控制器代替該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊進(jìn)行該參數(shù)的錯(cuò)誤分析工作。另外，該遠(yuǎn)端控制器也可通過與該數(shù)據(jù)服務(wù)器的信號(hào)交換而診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器的錯(cuò)誤。
此外，該監(jiān)控模塊可檢查進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器的參數(shù)的數(shù)據(jù)流量是否超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力，并在檢查結(jié)果為真時(shí)啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊以協(xié)助處理該參數(shù)的錯(cuò)誤分析。再者，該監(jiān)控模塊也可設(shè)定存取數(shù)于該數(shù)據(jù)服務(wù)器，而該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊根據(jù)該存取數(shù)以批次方式從該數(shù)據(jù)服務(wù)器讀取該參數(shù)。


圖1例示一公知的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)；圖2例示本發(fā)明的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)；以及圖3至圖5例示本發(fā)明的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法。
主要元件標(biāo)記說明10 錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)12 機(jī)臺(tái)14 數(shù)據(jù)服務(wù)器 16 錯(cuò)誤感應(yīng)模塊18 監(jiān)控模塊20 遠(yuǎn)端控制器30 工廠32 網(wǎng)絡(luò)110 即時(shí)數(shù)據(jù)庫 120 數(shù)據(jù)庫管理單元125 數(shù)據(jù)搜集來源130 進(jìn)入數(shù)據(jù)目錄140 數(shù)據(jù)處理器具體實(shí)施方式
圖1例示本發(fā)明的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)10。該錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)10包含用以搜集至少一個(gè)機(jī)臺(tái)12的參數(shù)的數(shù)據(jù)服務(wù)器14、至少一個(gè)可在該參數(shù)超出預(yù)設(shè)規(guī)范時(shí)發(fā)出異常信號(hào)的錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16、可在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16不正常工作時(shí)予以重啟動(dòng)的監(jiān)控模塊18、用以控制該數(shù)據(jù)服務(wù)器14、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16及該監(jiān)控模塊18的遠(yuǎn)端控制器20。較佳地，該機(jī)臺(tái)12、該數(shù)據(jù)服務(wù)器14、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16、該監(jiān)控模塊18及該遠(yuǎn)端控制器20是通過網(wǎng)絡(luò)相互耦合。此外，該遠(yuǎn)端控制器20可通過另一網(wǎng)絡(luò)32連接至工廠30(例如新建廠房)，其包含另一錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)10及機(jī)臺(tái)12，如此該工廠30即可通過該遠(yuǎn)端控制器20共享數(shù)據(jù)，有助于該工廠30在短時(shí)間內(nèi)建立工藝的控制能力。
較佳地，該遠(yuǎn)端控制器20也可用以診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器14、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16及該監(jiān)控模塊18是否發(fā)生錯(cuò)誤。該機(jī)臺(tái)可為測量機(jī)臺(tái)、幫浦或工藝機(jī)臺(tái)，該工藝機(jī)臺(tái)包含光刻步進(jìn)機(jī)臺(tái)、蝕刻機(jī)臺(tái)、沉積機(jī)臺(tái)、平坦化機(jī)臺(tái)、快速熱處理機(jī)臺(tái)、離子布植機(jī)臺(tái)等等。該參數(shù)可為機(jī)臺(tái)的感應(yīng)器測得的原始數(shù)據(jù)，例如工藝機(jī)臺(tái)的物理測量數(shù)據(jù)或測量機(jī)臺(tái)測得的待測元件的電學(xué)數(shù)據(jù)。
圖3至圖5例示本發(fā)明的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)10的管理方法。該數(shù)據(jù)服務(wù)器14接收并儲(chǔ)存至少一個(gè)機(jī)臺(tái)12的參數(shù)、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16再采用后進(jìn)先出的方式檢查該參數(shù)是否超過預(yù)設(shè)規(guī)范，并在該參數(shù)超過該預(yù)設(shè)規(guī)范時(shí)產(chǎn)生異常信號(hào)。此外，該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16在讀取該數(shù)據(jù)服務(wù)器14儲(chǔ)存的參數(shù)時(shí)也一并更新第一存取時(shí)間。
參照?qǐng)D4，該監(jiān)控模塊18檢查該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16是否正常工作，并在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16不正常工作時(shí)予以重新啟動(dòng)。該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16在讀取該數(shù)據(jù)服務(wù)器14儲(chǔ)存的參數(shù)時(shí)一并更新第一存取時(shí)間，而該監(jiān)控模塊18則可通過檢查該第一存取時(shí)間是否在第一間隔內(nèi)被更新，判斷該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16是否發(fā)生異常。若該第一存取時(shí)間并未在該第一間隔內(nèi)更新，該監(jiān)控模塊18則接著檢查第一計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值，其記錄該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16的重新啟動(dòng)次數(shù)。
若該第一計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值并未超過預(yù)設(shè)值(代表可容許該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16的最大重新啟動(dòng)次數(shù))，該監(jiān)控模塊18即重新啟動(dòng)該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16并將該第一計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值增加1。相對(duì)地，若該第一計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值超過該預(yù)設(shè)值(亦即該監(jiān)控模塊18先前曾嘗試重新啟動(dòng)該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16，但無效)，該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16已經(jīng)無法正常地工作，該監(jiān)控模塊18即通知該遠(yuǎn)端控制器20代替該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16進(jìn)行該參數(shù)的錯(cuò)誤分析工作，亦即該遠(yuǎn)端控制器是作為該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的備用裝置。
參照?qǐng)D5，該監(jiān)控模塊18在讀取該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16的第一存取時(shí)間時(shí)也一并更新第二存取時(shí)間，而該遠(yuǎn)端控制器20即可通過檢查該第二存取時(shí)間是否在第二間隔內(nèi)被更新，診斷該監(jiān)控模塊18的錯(cuò)誤。若該第二存取時(shí)間未在該第二間隔內(nèi)被更新，該遠(yuǎn)端控制器20即檢查第二計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值是否超過預(yù)設(shè)值(其記錄該監(jiān)控模塊18的重新啟動(dòng)次數(shù))。若該第二計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值并未超過預(yù)設(shè)值，該遠(yuǎn)端控制器20即重新啟動(dòng)該監(jiān)控模塊18并將該第二計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值增加1。相對(duì)地，若該第二計(jì)數(shù)器的儲(chǔ)存值超過該預(yù)設(shè)值，代表該監(jiān)控模塊20已經(jīng)無法工作，該遠(yuǎn)端控制器20即代替該監(jiān)控模塊18進(jìn)行監(jiān)控工作，亦即該遠(yuǎn)端控制器是作為該監(jiān)控模塊的備用裝置。
此外，該數(shù)據(jù)服務(wù)器14也可計(jì)算進(jìn)入的數(shù)據(jù)流量(即在一段時(shí)間內(nèi)進(jìn)入的參數(shù)的數(shù)量)，該監(jiān)控模塊18可檢查進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器14的數(shù)據(jù)流量是否超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16的處理能力，并在檢查結(jié)果為真時(shí)啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16以協(xié)助處理該參數(shù)的分析。較佳地，判斷進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器14的數(shù)據(jù)流量是否超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16的處理能力，可通過檢查儲(chǔ)存于該數(shù)據(jù)服務(wù)器14的參數(shù)是否在第四間隔內(nèi)被讀取。
該遠(yuǎn)端控制器20也可通過與該數(shù)據(jù)服務(wù)器14的信號(hào)交換而診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器14的錯(cuò)誤，亦即該遠(yuǎn)端控制器20也可傳送檢測信號(hào)至該數(shù)據(jù)服務(wù)器14，再檢查該數(shù)據(jù)服務(wù)器14是否在第三間隔內(nèi)回傳確收信號(hào)，用以判斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器14是否正常工作并診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器14的錯(cuò)誤。再者，該監(jiān)控模塊18也可設(shè)定存取數(shù)于該數(shù)據(jù)服務(wù)器14，而該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16則根據(jù)該存取數(shù)以批次方式從該數(shù)據(jù)服務(wù)器14讀取該參數(shù)。若進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器14的參數(shù)的數(shù)據(jù)流量超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力，該監(jiān)控模塊18可通過提高該存取數(shù)的數(shù)值而提高該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊16的分析效率。
與公知技術(shù)相比，本發(fā)明的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)利用該監(jiān)控模塊監(jiān)控該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的工作，并在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊不正常工作時(shí)予以重新啟動(dòng)。若該監(jiān)控模塊嘗試重新啟動(dòng)該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊預(yù)定次數(shù)仍然無效時(shí)，則通知該遠(yuǎn)端控制器代替該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊進(jìn)行該參數(shù)的錯(cuò)誤分析工作。另外，該遠(yuǎn)端控制器也可通過與該數(shù)據(jù)服務(wù)器的信號(hào)交換而診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器的錯(cuò)誤。
此外，該監(jiān)控模塊可檢查進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器的參數(shù)的數(shù)據(jù)流量是否超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力，并在檢查結(jié)果為真時(shí)啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊以協(xié)助處理該參數(shù)的錯(cuò)誤分析。再者，該監(jiān)控模塊也可設(shè)定存取數(shù)于該數(shù)據(jù)服務(wù)器，而該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊根據(jù)該存取數(shù)以批次方式從該數(shù)據(jù)服務(wù)器讀取該參數(shù)。
本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容及技術(shù)特點(diǎn)已披露如上，然而所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員仍可能基于本發(fā)明的教導(dǎo)及披露而作種種不背離本發(fā)明精神的替換及修改。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)不限于實(shí)施例所披露的內(nèi)容，而應(yīng)包括各種不背離本發(fā)明的替換及修改，并為權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求
1.一種錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其特征是包含數(shù)據(jù)服務(wù)器，用以搜集至少一個(gè)機(jī)臺(tái)的參數(shù)；至少一個(gè)錯(cuò)誤感應(yīng)模塊，可在該參數(shù)超出預(yù)設(shè)規(guī)范時(shí)發(fā)出異常信號(hào)；以及監(jiān)控模塊，可在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊不正常工作時(shí)予以重啟動(dòng)；其中該數(shù)據(jù)服務(wù)器、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊及該監(jiān)控模塊是通過第一網(wǎng)絡(luò)相互耦合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其特征是另包含遠(yuǎn)端控制器，用以控制該數(shù)據(jù)服務(wù)器、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊及該監(jiān)控模塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其特征是該遠(yuǎn)端控制器是用以診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊及該監(jiān)控模塊的錯(cuò)誤。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其特征是該遠(yuǎn)端控制器是作為該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊及該監(jiān)控模塊的備用裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其特征是該監(jiān)控模塊可在該參數(shù)的數(shù)據(jù)流量超出該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力時(shí)，啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其特征是該監(jiān)控模塊可在該數(shù)據(jù)服務(wù)器設(shè)定存取數(shù)，而該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊則根據(jù)該存取數(shù)以批次方式從該數(shù)據(jù)服務(wù)器讀取該參數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，其特征是該遠(yuǎn)端控制器可通過第二網(wǎng)絡(luò)耦合至另一錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)，以共享數(shù)據(jù)。
8.一種錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是包含下列步驟儲(chǔ)存至少一個(gè)機(jī)臺(tái)的參數(shù)于數(shù)據(jù)服務(wù)器；若該參數(shù)超過預(yù)設(shè)規(guī)范，錯(cuò)誤感應(yīng)模塊產(chǎn)生異常信號(hào)；以及若該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊不正常工作，監(jiān)控模塊重新啟動(dòng)該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊是采用后進(jìn)先出方式檢查該參數(shù)是否超過該預(yù)設(shè)規(guī)范。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊在讀取該數(shù)據(jù)服務(wù)器儲(chǔ)存的參數(shù)時(shí)更新第一存取時(shí)間，而該監(jiān)控模塊則通過檢查該第一存取時(shí)間是否在第一間隔內(nèi)被更新，判斷該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊是否異常。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是該監(jiān)控模塊在讀取該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的第一存取時(shí)間時(shí)更新第二存取時(shí)間，且該錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)另包含遠(yuǎn)端控制器，其通過檢查該第二存取時(shí)間是否在第二間隔內(nèi)被更新，診斷該監(jiān)控模塊的錯(cuò)誤。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊在讀取該數(shù)據(jù)服務(wù)器儲(chǔ)存的參數(shù)時(shí)更新第一存取時(shí)間，且該錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)另包含遠(yuǎn)端控制器，其通過檢查該第一存取時(shí)間是否在第一間隔內(nèi)被更新，診斷該監(jiān)控模塊的錯(cuò)誤。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是另包含遠(yuǎn)端控制器，其通過下列步驟診斷該數(shù)據(jù)服務(wù)器的錯(cuò)誤傳送檢測信號(hào)至該數(shù)據(jù)服務(wù)器；以及通過檢查該數(shù)據(jù)服務(wù)器是否在第三間隔內(nèi)回傳確收信號(hào)，判斷該數(shù)據(jù)服務(wù)是否正常工作。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是另包含下列步驟檢查進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器的參數(shù)的數(shù)據(jù)流量是否超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力；以及若檢查結(jié)果為真，啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的步驟是由該監(jiān)控模塊執(zhí)行。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是檢查進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器的參數(shù)的數(shù)據(jù)流量是否超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力的步驟是通過檢查儲(chǔ)存于該數(shù)據(jù)服務(wù)器的參數(shù)是否在第四間隔內(nèi)被讀取。
17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是另包含下列步驟該監(jiān)控模塊設(shè)定存取數(shù)于該數(shù)據(jù)服務(wù)器；以及該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊根據(jù)該存取數(shù)以批次方式從該數(shù)據(jù)服務(wù)器讀取該參數(shù)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是若進(jìn)入該數(shù)據(jù)服務(wù)器的參數(shù)的數(shù)據(jù)流量超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力，該監(jiān)控模塊提高該存取數(shù)的數(shù)值。
19.根據(jù)權(quán)利要求8所述的錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)的管理方法，其特征是另包含遠(yuǎn)端控制器通過網(wǎng)絡(luò)和另一錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)共享數(shù)據(jù)的步驟。
全文摘要
一種錯(cuò)誤檢測系統(tǒng)包含用以搜集機(jī)臺(tái)的參數(shù)的數(shù)據(jù)服務(wù)器、可在該參數(shù)超出預(yù)設(shè)規(guī)范時(shí)發(fā)出異常信號(hào)的錯(cuò)誤感應(yīng)模塊、可在該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊不正常工作時(shí)予以重啟動(dòng)的監(jiān)控模塊、用以控制該數(shù)據(jù)服務(wù)器、該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊及該監(jiān)控模塊的遠(yuǎn)端控制器。該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊在讀取該數(shù)據(jù)服務(wù)器儲(chǔ)存的參數(shù)時(shí)一并更新第一存取時(shí)間，而該監(jiān)控模塊則通過檢查該第一存取時(shí)間是否在第一間隔內(nèi)被更新，判斷該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊是否異常。此外，該監(jiān)控模塊在該參數(shù)的數(shù)據(jù)流量超過該錯(cuò)誤感應(yīng)模塊的處理能力時(shí)，啟動(dòng)另一錯(cuò)誤感應(yīng)模塊以協(xié)助處理該參數(shù)的錯(cuò)誤分析。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101030080SQ200610058319
公開日2007年9月5日 申請(qǐng)日期2006年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月1日
發(fā)明者楊正杰, 林文迪, 邱皇文 申請(qǐng)人:茂德科技股份有限公司