專利名稱：液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對于液晶面板的輸入輸出第一級薄膜晶體管，作為有關(guān)電流浪涌及電壓干擾等的靜電對策，具備輸入輸出保護(hù)功能的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路。
背景技術(shù)：
以往由在低溫下制造的多結(jié)晶硅層(多晶硅層)構(gòu)成薄膜晶體管(以下，將薄膜晶體管記為TFT)，在包含有該薄膜晶體管的液晶顯示裝置中，設(shè)置于各像素位置的開關(guān)用TFT，液晶面板的驅(qū)動電路，及輸入輸出保護(hù)電路含有N溝道輕摻雜漏極TFT(LDD MOS TFT)。
圖5顯示以往的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的等價(jià)電路圖。
如圖5所示，經(jīng)由輸入輸出端墊片41，供給對向電極等的電壓施加于該輸入輸出保護(hù)電路。
所述輸入輸出保護(hù)電路，具有輸入輸出保護(hù)TFT42、輸入電阻R1、和連接于輸入輸出保護(hù)TFT42的柵極G和漏極D之間的電阻R2，其輸出部設(shè)置有輸入輸出第一級TFT43、和電阻R3、R4、R5。輸入輸出保護(hù)TFT42及輸入輸出第一級TFT43，為具有LDD結(jié)構(gòu)的TFT。由輸入輸出保護(hù)TFT42的擴(kuò)散層構(gòu)成的源極S，連接于電源Vss。輸入輸出第一級TFT43，為向液晶面板的對向電極施加電壓(電流)的緩沖器，其漏極D經(jīng)由電阻R3連接于柵極G，同時連接于電源Vdd。又，輸入輸出第一級TFT43的源極S，在經(jīng)由電阻R4與電源Vss連接的同時，共同連接于輸入輸出保護(hù)TFT42的漏極D，經(jīng)由電阻R5與輸入電路連接。
輸入輸出保護(hù)TFT42及輸入輸出第一級TFT43，不是如同一般的半導(dǎo)體元件那樣，在硅(Si)等的半導(dǎo)體基板上構(gòu)成的，而是在玻璃基板上使用光刻法由多晶硅形成的TFT。在液晶顯示裝置的TFT中，由于溝道層由真性半導(dǎo)體(非摻雜的Si)構(gòu)成，所以對基板，即對溝道層不給予基準(zhǔn)電位的情形很多。
但是，在上述的構(gòu)成中，由于沒有充分確保流入輸入輸出保護(hù)電路的電流的宣泄口，其結(jié)果在構(gòu)成輸入輸出保護(hù)電路的輸入輸出保護(hù)TFT的絕緣膜或結(jié)合部發(fā)生靜電破壞，造成使輸入輸出保護(hù)電路不能起到原本應(yīng)起的作用的問題。
這里，就MOSTFT的迅速返回(snapback)現(xiàn)象，用圖6及圖7進(jìn)行說明。
在圖6所示構(gòu)造的MOSTFT中，在氧化絕緣膜51上形成多晶硅層57，在其上形成柵極絕緣膜52，在其上形成柵極電極53。利用這一柵極電極53的圖形在多晶硅層57摻入雜質(zhì)，形成漏極區(qū)域54和源極區(qū)域55。其中間區(qū)域?yàn)闇系绤^(qū)域56。在這樣的LDD結(jié)構(gòu)的TFT中，將源極區(qū)域55與電源Vss連接，將漏極區(qū)域54與柵極電極53連接在一起，施加控制電壓Vcnt。
通過將控制電壓Vcnt設(shè)為可變，控制漏極區(qū)域54與源極區(qū)域55間的外加電壓Vds，對漏極區(qū)域54與源極區(qū)域55間的電流Ids作了調(diào)查。其結(jié)果，外加電壓Vds和電流Ids的關(guān)系，如圖7中實(shí)線所示那樣變化。這里，將施加電壓Vds一旦設(shè)置為擊穿電壓(breakout電壓)BVds以上時，電流Ids一下開始流動，即使將施加電壓Vds降至擊穿電壓BVds以下時電流Ids也不降低。然后，發(fā)生以較低的施加電壓Vds使電流Ids增大的2次擊穿現(xiàn)象。這樣的現(xiàn)象稱為迅速返回。
就電壓電流特性而言，圖中P點(diǎn)的電壓稱為保持(Hold)電壓，電流稱為保持電流。這樣的迅速返回特性，被稱為MOSTFT的雙極作用(bipolar action)。若TFT的漏極和基板(即溝道)的雜質(zhì)濃度差大，則特性如圖中由實(shí)線向虛線所示發(fā)生變化。即，擊穿電壓BVds降低，保持電壓也降低。這種類型的TFT，這里稱為非LDD TFT。
將這樣的提高了擊穿電壓BVds和保持電壓的TFT，作為液晶面板的驅(qū)動用TFT使用最為適合，但不適合作為輸入輸出保護(hù)用TFT使用。另外，液晶顯示裝置中使用的TFT，因?yàn)椴荒芄潭ɑ咫娢?，因此在基板?cè)的基底膜，半導(dǎo)體層及柵極絕緣膜中存在的固定電荷等的影響下，基板電位發(fā)生變化，所以產(chǎn)生TFT特性不穩(wěn)定的問題。
又，如前所述，由于以往液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路中，流入輸入輸出保護(hù)電路的電流沒有宣泄口，因此，不能以LDD TFT構(gòu)成用于驅(qū)動液晶面板各像素的開關(guān)元件或輸入輸出第一級TFT，同時以分別低于此LDD TFT的擊穿電壓BVds及迅速返回時的保持電壓的非LDD TFT構(gòu)成保護(hù)用TFT。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種具有更為穩(wěn)定的輸入輸出保護(hù)功能的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路。
為了解決上述課題，在本發(fā)明中采用如本專利權(quán)利要求書所記載的構(gòu)成。
即，權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，具備具有連接于溝道層的P型基板電位固定端子及N型基板電位固定端子的輸入輸出保護(hù)TFT，所述P型基板電位固定端子及所述N型基板電位固定端子與接地端子連接。
又，權(quán)利要求2所述的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，具有設(shè)置于輸入輸出端子墊片和輸入輸出第一級TFT之間的電阻、連接所述輸入輸出端子墊片和所述電阻的配線、在接地端子和電源端子之間串聯(lián)連接的2個輸入輸出保護(hù)TFT，在所述2個輸入輸出保護(hù)TFT的連接部，所述配線被連接，所述2個輸入輸出保護(hù)TFT分別具有連接于溝道層的P型基板電位固定端子及N型基板電位固定端子，所述P型基板電位固定端子及所述N型基板電位固定端子與接地端子連接。
又，權(quán)利要求3所述的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，在如權(quán)利要求2所述的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路中，所述輸入輸出第一級TFT具有連接于溝道層的P型基板電位固定端子及N型基板電位固定端子，所述P型基板電位固定端子及所述N型基板電位固定端子與基板偏壓發(fā)生電路連接。
又，權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，在如權(quán)利要求1、2或3所述的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路中，所述輸入輸出保護(hù)TFT的擊穿電壓、保持電壓分別構(gòu)成為低于輸入輸出第一級TFT、或所述液晶顯示裝置的像素驅(qū)動用開關(guān)元件的TFT的擊穿電壓、保持電壓。


圖1所示為本發(fā)明實(shí)施例1的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的電路圖。
圖2為顯示對應(yīng)圖1所示電路的本實(shí)施例1的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖3所示為本發(fā)明實(shí)施例2的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的電路圖。
圖4為顯示對應(yīng)圖3所示電路的本實(shí)施例2的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖5所示為以往的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的等價(jià)電路圖。
圖6所示為用于進(jìn)行MOS TFT的迅速返回特性的測定方法的連接圖。
圖7所示為MOS TFT的迅速返回特性的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，用圖面對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。又，在以下說明的圖面中，對具有同一功能的賦予同一符號，省略其重復(fù)的說明。
實(shí)施例1圖1顯示本發(fā)明實(shí)施例1液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的電路圖，圖2為顯示對應(yīng)圖1電路的本實(shí)施例1液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的結(jié)構(gòu)的平面圖。
在圖1、圖2中，11表示輸入輸出端子墊片，12表示輸入輸出第一級TFT，13表示輸入輸出保護(hù)用的電阻，14、15表示輸入輸出保護(hù)TFT，16表示連接于輸入輸出保護(hù)TFT14溝道層的N型基板電位固定端子(即，設(shè)置于與溝道層連接的區(qū)域內(nèi)的N型雜質(zhì)區(qū)域所連接的、由金屬電極形成的基板(溝道層)電位固定用電極端子)，17表示同樣連接于輸入輸出保護(hù)TFT14溝道層的P型基板電位固定端子，18表示同樣連接于輸入輸出保護(hù)TFT15溝道層的N型基板電位固定端子，19表示同樣連接于輸入輸出保護(hù)TFT15溝道層的P型基板電位固定端子，20表示接地端子(接地端)，21表示電源端子。
有關(guān)輸入輸出第一級TFT12以后的構(gòu)成，由于為公知，省略圖示。
在輸入輸出端子墊片11和輸入輸出第一級TFT之間，設(shè)置有由例如擴(kuò)散層(例如與在源極區(qū)域、漏極區(qū)域等使用的同樣的高濃度N型層)構(gòu)成的電阻13(例如，具有大約從3000Ω至2.0kΩ范圍內(nèi)的電阻值的電阻)。又，電阻13，可在所述電路中設(shè)置2個以上(例如，連接輸入輸出端子墊片11和電阻13的配線的、與2個輸入輸出保護(hù)薄膜晶體管14、15的連接部，與輸入輸出端子墊片11之間)。電阻13是為了使響應(yīng)特性惡化(例如，延遲響應(yīng))將浪涌電流導(dǎo)入至該輸入輸出保護(hù)電路而使用的，能使浪涌電流在流入輸入輸出第一級TFT12(構(gòu)成輸入輸出電路的一部分)、及與輸入輸出第一級TFT12相連的輸入輸出電路等之前，流入該輸入輸出保護(hù)電路。
電阻13和輸入輸出端子墊片11之間，連接有輸入輸出保護(hù)TFT14、15。輸入輸出保護(hù)TFT14、15的擊穿電壓BVds及迅速返回特性中的保持電壓，設(shè)定為較輸入輸出第一級TFT12(或所述液晶顯示裝置的像素驅(qū)動用開關(guān)元件的TFT)小。即，所述輸入輸出保護(hù)電路在所述輸入輸出電路導(dǎo)通動作前動作。還有，為了使在大電流的浪涌發(fā)生時不造成電路破壞，輸入輸出保護(hù)TFT14、15的柵極寬度設(shè)置為較輸入輸出第一級TFT12的柵極寬度大。柵極寬度取決于供給電力，但最好為100μm以上。
輸入輸出保護(hù)TFT14為對正極一側(cè)的浪涌干擾的保護(hù)TFT，如圖1所示，源極連接于接地端子20。另外，輸入輸出保護(hù)TFT14的溝道層中，連接有N型基板電位固定端子16、P型基板電位固定端子17。即，N型基板電位固定端子16及P型基板電位固定端子17如圖2所示，由分別電連接于N型雜質(zhì)區(qū)域及P型雜質(zhì)區(qū)域(省略圖示)上的金屬電極所構(gòu)成，所述N型及P型雜質(zhì)區(qū)域設(shè)于與輸入輸出保護(hù)TFT14的溝道層連接的區(qū)域內(nèi)。
輸入輸出保護(hù)TFT15為對負(fù)極一側(cè)的浪涌干擾的保護(hù)TFT，源極連接于電源(Vdd)端子21。另外，輸入輸出保護(hù)TFT15的溝道層中，連接有N型基板電位固定端子18、P型基板電位固定端子19。即，N型基板電位固定端子18及P型基板電位固定端子19如圖2所示，由分別電氣連接于N型雜質(zhì)區(qū)域及P型雜質(zhì)區(qū)域(省略圖示)上的金屬電極構(gòu)成，所述N型及P型雜質(zhì)區(qū)域設(shè)置于與輸入輸出保護(hù)TFT15的溝道層連接的區(qū)域內(nèi)。
輸入輸出端子墊片11由金屬，例如Ti(下層)/Al(上層)(上下可相反)構(gòu)成。
輸入輸出第一級TFT12，具有由金屬例如MoW、Al等構(gòu)成的柵極電極、由N型半導(dǎo)體層的Si構(gòu)成的源極及漏極。輸入輸出第一級TFT12的含有源極及漏極的半導(dǎo)體層，由絕緣膜使其與柵極電極電氣分離，源、漏極通過接觸孔與例如Al的金屬膜相連。
電阻13，由例如N型Si層構(gòu)成，但也可以由P型Si層或其他材料構(gòu)成。
輸入輸出保護(hù)TFT14、15，其柵極、源極、漏極的構(gòu)造，也與輸入輸出第一級TFT12相同。但是，有關(guān)輸入輸出保護(hù)TFT14，該TFT14的柵極電極下的真性半導(dǎo)體層(I層)，連接有N型基板電位固定端子16、P型基板電位固定端子17。同樣，有關(guān)輸入輸出保護(hù)TFT15，該TFT15的柵極電極下的真性半導(dǎo)體層(I層)，連接有N型基板電位固定端子18、P型基板電位固定端子19。這些個基板電位固定端子16、17、18、19，如圖2所示，通過例如由柵極電極材料構(gòu)成的配線歸納成一個，通過接觸孔與接地端子20連接。
這樣，有關(guān)輸入輸出保護(hù)TFT14，基板(即溝道)的電位，由N型基板電位固定端子16、P型基板電位固定端子17所固定。又，有關(guān)輸入輸出保護(hù)TFT15，基板電位由N型基板電位固定端子18、P型基板電位固定端子19所固定。
由這些個N型基板電位固定端子16、P型基板電位固定端子17、N型基板電位固定端子18、P型基板電位固定端子19，可以使輸入輸出保護(hù)TFT14、15的特性穩(wěn)定。又，在浪涌電流流過的場合下，電流也從這些個N型基板電位固定端子16、P型基板電位固定端子17、N型基板電位固定端子18、P型基板電位固定端子19流過，由此可防止輸入輸出保護(hù)TFT14、15在一次浪涌電流作用下被破壞。
進(jìn)一步，輸入輸出保護(hù)TFT14、15，由于分別設(shè)置有2個N型基板電位固定端子16、18，2個P型基板電位固定端子17、19，所以難以將界面能級與主體能級分開評價(jià)，在TFT的評價(jià)中，通過對通常的縱向的N型(或P型)TFT在橫向設(shè)置PIN二極管，加上源極、漏極、柵極電極的3個端子，成為合計(jì)5個端子的構(gòu)造，能實(shí)現(xiàn)縱向TFT的特性評價(jià)及橫向的PIN二極管評價(jià)。
如上所述，本實(shí)施例1的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，具備具有連接于溝道層的N型基板電位固定端子16、18及P型基板電位固定端子17、19的輸入輸出保護(hù)TFT14、15，N型基板電位固定端子16、18及P型基板電位固定端子17、19與接地端子20連接(對應(yīng)權(quán)利要求1)。
又，本實(shí)施例1的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，具有設(shè)置于輸入輸出端子墊片11和輸入輸出第一級TFT12之間的電阻13、連接輸入輸出端子墊片11和電阻13的配線、在接地端子20和電源端子21之間串聯(lián)連接的2個輸入輸出保護(hù)TFT14、15，在2個輸入輸出保護(hù)TFT14、15的連接部連接著所述配線，2個輸入輸出保護(hù)TFT14、15分別具有連接于溝道層的N型基板電位固定端子16、18及P型基板電位固定端子17、19，N型基板電位固定端子16、18及P型基板電位固定端子17、19與接地端子20連接(對應(yīng)權(quán)利要求2)。
又，本實(shí)施例1的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，輸入輸出保護(hù)TFT14、15的擊穿電壓、保持電壓分別低于輸入輸出第一級TFT12、或該液晶顯示裝置的像素驅(qū)動用開關(guān)元件的TFT的擊穿電壓、保持電壓(對應(yīng)權(quán)利要求4)。
實(shí)施例2圖3為顯示本發(fā)明實(shí)施例2的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的電路圖。圖4是顯示對應(yīng)圖3所示電路的本實(shí)施例2的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路的構(gòu)造的平面圖。
圖3、圖4中，22為連接于輸入輸出第一級TFT12的溝道層的N型基板電位固定端子(即，設(shè)置于與溝道層連接的區(qū)域內(nèi)的N型雜質(zhì)區(qū)域，由連接于該區(qū)域的金屬電極形成的基板電位固定用電極端子)，23為同樣連接于輸入輸出第一級TFT12溝道層的P型基板電位固定端子，24為與連接于輸入輸出第一級TFT12溝道層的N型基板電位固定端子22及P型基板電位固定端子23連接的基板偏壓發(fā)生電路(基板電位發(fā)生電路、基板偏壓修正電路)。
前述顯示實(shí)施例1的圖1、圖2與顯示本實(shí)施例2的圖3、圖4，自輸入輸出端子墊片11至與輸入輸出保護(hù)電路連接的接地端子20，其構(gòu)造相同，故省略其說明。
圖3、圖4中，輸入輸出第一級TFT12上連接著P型基板電位固定端子23及N型基板電位固定端子22，P型基板電位固定端子23及N型基板電位固定端子22連接在基板偏壓發(fā)生電路24上。由基板偏壓發(fā)生電路24向前述端子23、22施加所定的電壓。將輸入輸出第一級TFT12的擊穿電壓BVds設(shè)定為比輸入輸出保護(hù)TFT14、15要高，由此輸入輸出保護(hù)TFT14、15穩(wěn)定工作。另外，基板偏壓發(fā)生電路24，例如如圖3所示，在電容前具有例如由保險(xiǎn)絲等構(gòu)成的電阻，可以調(diào)整輸入輸出第一級TFT12的基板電位。
這樣，在本實(shí)施例2中，對于因輸入輸出保護(hù)TFT14、15的基板電位未被固定所導(dǎo)致的電氣不穩(wěn)定性，也通過設(shè)置N型基板電位固定端子16、18及P型基板電位固定端子17、19，使電氣特性得到穩(wěn)定，另外，浪涌電流不只流向源極一側(cè)，同時也流向基板一側(cè)，可防止輸入輸出保護(hù)TFT14、15在一次的浪涌電流作用下被破壞。
又，在本實(shí)施例2中，輸入輸出第一級TFT12的溝道層上連接著N型基板電位固定端子22、P型基板電位固定端子23，通過由基板偏壓發(fā)生電路24將經(jīng)過調(diào)整的基板電位施加于輸入輸出第一級TFT12，可以設(shè)定得使輸入輸出第一級TFT12的擊穿電壓BVds一定高于輸入輸出保護(hù)電路的擊穿電壓BVds。
進(jìn)一步，輸入輸出保護(hù)TFT14、15及輸入輸出第一級TFT12，由于分別設(shè)置有2個N型基板電位固定端子16、18、22及P型基板電位固定端子17、19、23，所以對于難以將界面能級與主體能級分開評價(jià)的TFT的評價(jià)，通過對通常的縱向的N型(或P型)TFT在橫向設(shè)置PIN二極管，加上源極、漏極、柵極電極的3個端子，成為合計(jì)5個端子的結(jié)構(gòu)，能實(shí)現(xiàn)縱向TFT的特性評價(jià)及橫向的PIN二極管評價(jià)。
如上所述，本實(shí)施例2的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路，其特征為，輸入輸出第一級TFT12具有連接于溝道層的N型基板電位固定端子22及P型基板電位固定端子23，N型基板電位固定端子22及P型基板電位固定端子23與基板偏壓發(fā)生電路24連接(對應(yīng)權(quán)利要求3)。
以上對本發(fā)明基于實(shí)施例進(jìn)行了具體的說明，但是不用說本發(fā)明也不只局限于上述實(shí)施例，只要在不脫離其要點(diǎn)的范圍內(nèi)，可作種種變更。
如以上說明，由本發(fā)明，能提供具有更為穩(wěn)定的輸入輸出保護(hù)功能的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路。
符號說明11 輸入輸出端子墊片
12輸入輸出第一級TFT13輸入輸出保護(hù)用的電阻14、15輸入輸出保護(hù)TFT16輸入輸出保護(hù)TFT14的N型基板電位固定端子17輸入輸出保護(hù)TFT14的P型基板電位固定端子18輸入輸出保護(hù)TFT15的N型基板電位固定端子19輸入輸出保護(hù)TFT15的P型基板電位固定端子20接地端子21電源端子22輸入輸出第一級TFT12的N型基板電位固定端子23輸入輸出第一級TFT12的P型基板電位固定端子24基板偏壓發(fā)生電路41輸入輸出端子墊片42輸入輸出保護(hù)FFT43輸入輸出第一級TFTR1，R2，R3，R4，R5電阻G 柵極S 源極D 漏極Vdd，Vss電源51氧化絕緣膜52柵極絕緣膜53柵極電極54漏極區(qū)域55源極區(qū)域56溝道區(qū)域57多晶硅層Vcnt控制電壓。
權(quán)利要求
1.一種保護(hù)薄膜晶體管電路，是對于電流浪涌及電壓干擾的靜電對策，其特征在于，具有連接于所述保護(hù)薄膜晶體管的溝道層的P型基板電位固定端子及N型基板電位固定端子，所述P型基板電位固定端子及所述N型基板電位固定端子與接地端子連接。
2.一種輸入輸出保護(hù)薄膜晶體管電路，是對于電流浪涌及電壓干擾的靜電對策，其特征在于，具有連接于所述輸入輸出保護(hù)薄膜晶體管的溝道層的P型基板電位固定端子及N型基板電位固定端子，所述P型基板電位固定端子及所述N型基板電位固定端子與接地端子連接。
3.一種薄膜晶體管電路，是對于電流浪涌及電壓干擾的靜電對策，其特征在于，具有連接于所述薄膜晶體管的溝道層的P型基板電位固定端子及N型基板電位固定端子，所述P型基板電位固定端子及所述N型基板電位固定端子與基板偏壓發(fā)生電路連接。
4.一種第一級薄膜晶體管電路，是對于電流浪涌及電壓干擾的靜電對策，其特征在于，具有連接于所述第一級薄膜晶體管的溝道層的P型基板電位固定端子及N型基板電位固定端子，所述P型基板電位固定端子及所述N型基板電位固定端子與基板偏壓發(fā)生電路連接。
全文摘要
本發(fā)明提供具有更為穩(wěn)定的輸入輸出保護(hù)功能的液晶顯示裝置的輸入輸出保護(hù)電路。本發(fā)明的輸入輸出保護(hù)電路，具有設(shè)置于輸入輸出端子墊片(11)和輸入輸出第一級TFT(12)之間的電阻(13)、連接輸入輸出端子墊片(11)和電阻(13)的配線、在接地端子(20)和電源端子(21)之間串聯(lián)連接的2個輸入輸出保護(hù)TFT(14)、(15)。在2個輸入輸出保護(hù)TFT(14)、(15)的連接部，所述配線被連接，2個輸入輸出保護(hù)TFT(14)、(15)分別具有連接于溝道層的N型基板電位固定端子(16)、(18)及P型基板電位固定端子(17)、(19)，N型基板電位固定端子(16)、(18)及P型基板電位固定端子(17)、(19)與接地端子(20)連接。
文檔編號H01L21/84GK1825405SQ20061006584
公開日2006年8月30日 申請日期2003年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月29日
發(fā)明者中崎能彰 申請人:株式會社液晶先端技術(shù)開發(fā)中心