專利名稱：散熱件支撐柱的制法的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是關于散熱件的制法，特別是關于散熱件支撐件的制法。
背景技術：
隨著集成電路設計與制造技術的不斷進步，集成電路的集成度也隨之不斷提升。以中央處理單元為例，由于集成度的提升，運行時產(chǎn)生的高溫如何散逸成為亟待解決的問題。一般而言，為達到散熱目的維持集成電路的正常運行，會將散熱件安裝在集成電路上，通過散熱件將熱量散逸。
傳統(tǒng)的散熱件是利用散熱件本體材質(zhì)具有快速吸熱與散熱的特性，然而僅利用材質(zhì)的散熱特性無法進一步提升散熱效果，為進一步提升散熱件的散熱效果，提出搭配散熱鰭片、風扇或水冷散熱結構的散熱件。上述各種散熱件結構中，又以水冷散熱件的散熱效果最佳。
請參閱圖2A，它是現(xiàn)有水冷式散熱件的結構分解圖。如圖所示，該散熱件2包括下基板21以及相對該下基板21的上基板22，該下基板21具有凹部211，且該凹部211上還具有多個用于支撐該上基板22的支撐柱23，該上基板22的一角則具有貫孔221。請參閱圖2B，在該下基板21與上基板22通過固定件(未標出)或焊接等方式密閉接合時，這些支撐柱23可有效支撐該上基板22，在冷卻液體25通過該貫孔221注入該空間24并密封該貫孔221后，該冷卻液體25在該空間24中依據(jù)不同的工作溫度進行液態(tài)與氣態(tài)變化，增加該散熱件2的散熱效率。
上述現(xiàn)有散熱件結構的支撐柱23的形成方式如圖3所示，將骨料灑在該凹部211預設形成支撐柱23的位置上，并使該支撐柱23達到預定的高度后停止灑料，該支撐柱23形成圓錐狀的結構。這種制程的缺點在于該支撐柱形成的過程中，其毛細結構的密度不易控制且容易破碎，此外，由于毛細結構的密度較小，故在注入冷卻液體25后，會降低該支撐柱23吸附冷卻液體25的毛細力，進而影響該空間24中冷卻液體25的循環(huán)流動效率，也就是熱循環(huán)效率。
綜上所述，如何提供一種能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結構，增加散熱件的散熱效率的散熱件支撐柱的制法，成為目前亟待解決的課題。

發(fā)明內(nèi)容
為克服上述現(xiàn)有技術的種種缺點，本發(fā)明的主要目的在于提供一種能控制散熱件支撐柱的密度與毛細結構的散熱件支撐柱的制法。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法包括制備具有凹部的基板；在該基板的凹部上制備具有至少一貫孔的注料板，該貫孔對應到該基板預設形成支撐柱的位置；灌注骨料到該貫孔中；將該基板、注料板與骨料置入高溫環(huán)境中燒結；以及在該骨料定型后將該注料板移除，在該基板的凹部上形成支撐柱。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法，能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結構，增加散熱件的散熱效率。


圖1A至1E是本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法的示意圖；圖2A是現(xiàn)有水冷式散熱件的結構分解圖；圖2B是現(xiàn)有水冷式散熱件完成組合的狀態(tài)；以及圖3是現(xiàn)有水冷式散熱件支撐柱的制程示意圖。
具體實施例方式
實施例請參閱圖1A至1E，它是本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法的示意圖。
首先，如圖1A所示，制備基板11。在本實施例中，該基板11的中間部分具有凹部111。該基板11的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金等材質(zhì)。該凹部111的體積則可依據(jù)后續(xù)注入冷卻液體的量而定。
其次，如圖1B所示，在該基板11的凹部111上制備具有至少一貫孔121的注料板12，該貫孔121對應到該基板11預設形成支撐柱的位置。在本實施例中，該貫孔121是圓柱結構，在其它實施方式中，該貫孔121可以是其它的幾何結構，該貫孔121具有一致的孔徑。
接著，如圖1C所示，灌注骨料13到該貫孔121中。該骨料13的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金等材質(zhì)。在本實施例中將骨料13灌注到該貫孔121的方式，是可將該骨料13預先布設在注料板12上方，并以搖晃方式使骨料13注入該貫孔121中。
再者，如圖1D所示，將該基板11、注料板12與骨料13置入高溫環(huán)境中燒結。在本實施例中，該高溫環(huán)境可例如為高溫爐。
最后，如圖1E所示，在該骨料13定型后將該注料板12移除，在該基板11的凹部上形成支撐柱131。在本實施例中，在該骨料13燒結完成后，將該基板11、注料板12與骨料13移出該高溫環(huán)境，待該骨料13冷卻定型后移除該注料板12形成支撐柱131。
綜上所述，本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法，能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結構，增加散熱件的散熱效率。
權利要求
1.一種散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該散熱件支撐柱的制法包括制備具有凹部的基板；在該基板的凹部上制備具有至少一貫孔的注料板，該貫孔對應到該基板預設形成支撐柱的位置；灌注骨料到該貫孔中；將該基板、注料板與骨料置入高溫環(huán)境中燒結；以及在該骨料定型后將該注料板移除，在該基板的凹部上形成支撐柱。
2.如權利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該凹部形成在該基板的中間部分。
3.如權利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該基板的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金。
4.如權利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該貫孔是圓柱結構。
5.如權利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該貫孔具有一致的孔徑。
6.如權利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該骨料的材質(zhì)可以是銅、鋁或銅鋁合金。
7.如權利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該高溫環(huán)境是高溫爐。
8.如權利要求1所述的散熱件支撐柱的制法，其特征在于，該灌注骨料到該貫孔的步驟中，是將該骨料布設在注料板上方，并以搖晃方式使該骨料注入該貫孔中。
全文摘要
本發(fā)明公開一種散熱件支撐柱的制法，該散熱件支撐柱的制法包括制備具有凹部的基板；在該基板的凹部上制備具有至少一貫孔的注料板，該貫孔對應到該基板預設形成支撐柱的位置；灌注骨料到該貫孔中；將該基板、注料板與骨料置入高溫環(huán)境中燒結；以及在該骨料定型后將該注料板移除，在該基板的凹部上形成支撐柱。本發(fā)明的散熱件支撐柱的制法，能控制并提升散熱件支撐柱的密度與毛細結構，增加散熱件的散熱效率。
文檔編號H01L23/46GK101069922SQ20061008017
公開日2007年11月14日 申請日期2006年5月10日 優(yōu)先權日2006年5月10日
發(fā)明者楊琇妃 申請人:英業(yè)達股份有限公司