專利名稱：卡盤工作臺移動機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及卡盤工作臺移動機構(gòu)，它是裝備在切削半導(dǎo)體晶片等被加工物的切削裝置或裝備在對被加工物施加激光加工的激光加工裝置等加工裝置上，使支承被加工物的卡盤工作臺在加工進給方向上移動。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件制造工序中，在大致是圓板形狀的半導(dǎo)體單晶體的表面上，根據(jù)排列成格子狀的被稱為″街道″的分割預(yù)定線劃分出多個領(lǐng)域，在該劃分的領(lǐng)域上形成IC、LSI等回路。而且，通過沿著分割預(yù)定線將半導(dǎo)體晶片切斷，分割成形成電路的領(lǐng)域而制造各個半導(dǎo)體芯片。并且通過將藍寶石襯底的表面上層疊著氮化鎵系化合物半導(dǎo)體等的光器件單晶體，也沿著預(yù)先分割線切斷，分割成各個發(fā)光二極管、激光二極管、CCD等光器件，廣泛地利用于電氣設(shè)備上。
沿著上述半導(dǎo)體單晶體或光器件單晶體等的″街道″的切斷，通常都是由稱為切丁機的切削裝置進行。該切削裝置具備支承半導(dǎo)體晶片等被加工物的卡盤工作臺，設(shè)有對被支承在該卡盤工作臺上的被加工物進行切削的切削刀片的切削機構(gòu)和使卡盤工作臺在加工進給方向上移動的卡盤工作臺移動機構(gòu)。
上述卡盤工作臺移動機構(gòu)由下述構(gòu)件構(gòu)成支承被加工物的卡盤工作臺支承底座；將該卡盤工作臺支承底座導(dǎo)引到加工進給方向上的導(dǎo)引軌道；沿著導(dǎo)引軌道而配設(shè)由伺服電動機等回轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)使其回轉(zhuǎn)的外螺紋螺桿；設(shè)置在卡盤工作臺支承底座上、與外螺紋螺桿螺紋配合的內(nèi)螺紋。在這樣的卡盤工作臺移動機構(gòu)中、在外螺紋螺桿回轉(zhuǎn)時難免發(fā)生振動，外螺紋螺桿的振動借助內(nèi)螺紋和卡盤工作臺支承底座而傳遞給卡盤工作臺，成為阻礙卡盤工作臺高精度移動的原因。
為了解決上述問題，提出過一種卡盤工作臺移動機構(gòu)的方案，它是將內(nèi)螺紋形成在與卡盤工作臺支承底座分離的進給螺母固定板上，在進給螺母固定板和卡盤工作臺支承底座之間配設(shè)著由鋼球構(gòu)成的振動吸收機構(gòu)(例如、參照專利文獻1)。
專利文獻1日本實用新型申請公開報告實開平3-11475號如果采用上述公報所公開的卡盤工作臺移動機構(gòu)，則能將外螺紋螺桿的振動吸收80％。但由于上述公報所公開的卡盤工作臺移動機構(gòu)將外螺紋螺桿振動的20％傳遞給卡盤工作臺，因而未必能滿足使卡盤工作臺高精度移動的需要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述事實而作出，其目的是提供一種卡盤工作臺移動機構(gòu)，它是通過將外螺紋螺桿的振動盡可能地吸收，使支承被加工物的卡盤工作臺能夠高精度地移動的卡盤工作臺移動機構(gòu)。
為了達到上述目的而作出的本發(fā)明的卡盤工作臺移動機構(gòu)，它具備支承用于保持被加工物的卡盤工作臺的卡盤工作臺支承機構(gòu)；在加工進給方向上對上述卡盤工作臺支承機構(gòu)進行導(dǎo)引的導(dǎo)引軌道；沿著導(dǎo)引軌道而配設(shè)的與設(shè)置在上述卡盤工作臺支承機構(gòu)上的內(nèi)螺紋螺紋配合的外螺紋螺桿，其特征在于，卡盤工作臺支承機構(gòu)具有支承該卡盤工作臺的卡盤工作臺支承底座；配設(shè)在上述卡盤工作臺支承底座和上述外螺紋螺桿之間的多個移動底座；在上述多個移動底座中，與該外螺紋螺桿鄰接的移動底座上設(shè)置著與該外螺紋螺桿螺紋配合的內(nèi)螺紋；在上述多個移動底座中，與上述卡盤工作臺支承底座鄰接的移動底座和該卡盤工作臺支承底座之間以及在各個移動底座之間分別設(shè)置著動力傳遞機構(gòu)，且該動力傳遞機構(gòu)是借助振動防止機構(gòu)而傳遞作用在上述加工進給方向上的動力。
上述導(dǎo)引軌道是對上述卡盤工作臺支承底座和上述多個移動底座進行導(dǎo)引的共同的導(dǎo)引軌道。
并且，上述導(dǎo)引軌道是由對上述卡盤工作臺支承底座和上述多個移動底座分別進行導(dǎo)引的多個導(dǎo)引軌道構(gòu)成的。
本發(fā)明具有如下所述的效果。
由于本發(fā)明的卡盤工作臺移動機構(gòu)具有如上所述的結(jié)構(gòu)，因而通過上述多個振動吸收機構(gòu)的作用就能將外螺紋螺桿上產(chǎn)生的振動幾乎完全吸收，因此，能使由卡盤工作臺支承底座支承的卡盤工作臺高精度地移動。


圖1是表示裝備著根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的卡盤工作臺移動機構(gòu)的切削裝置的主要部分斜視圖。
圖2是表示根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的卡盤工作臺移動機構(gòu)的一個實施方式的主要部分的剖面圖。
圖3是表示分解圖2所示的構(gòu)成卡盤工作臺移動機構(gòu)的卡盤工作臺支承機構(gòu)的構(gòu)件的斜視圖。
圖4是表示根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的卡盤工作臺移動機構(gòu)的另一個實施方式的主要部分剖面圖。
圖5是沿圖4中的A-A線的剖面圖。
圖6是表示分解圖4所示的構(gòu)成卡盤工作臺移動機構(gòu)的卡盤工作臺支承機構(gòu)的構(gòu)件的斜視圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖更詳細(xì)地說明根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的卡盤工作臺移動機構(gòu)的最佳實施方式。
圖1表示裝備著根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的卡盤工作臺移動機構(gòu)的切削裝置的主要部分斜視圖。
圖1所示的切削裝置配設(shè)有靜止底座2；在用箭頭X表示的加工進給方向上能移動地配設(shè)在該靜止底座2上，將被加工物支承的卡盤工作臺機構(gòu)3；在用箭頭Y表示的分度進給方向(與用箭頭X表示的加工進給方向垂直相交的方向)上能移動地配設(shè)在靜止底座2上的主軸支承機構(gòu)6；在用箭頭Z表示的吃刀深度進給方向上，能移動地配設(shè)在該主軸支承加機構(gòu)6上的作為切削機構(gòu)的主軸組件7。
上述卡盤工作臺機構(gòu)3由將被加工物保持的卡盤工作臺31；支承該卡盤工作臺31并使其在用箭頭X表示的加工進給方向上移動的卡盤工作臺移動機構(gòu)4構(gòu)成?？ūP工作臺移動機構(gòu)4具備沿著用箭頭X表示的方向，平行地配設(shè)靜止底座21上的一對共同的導(dǎo)引軌道41、41；在用箭頭X表示的方向上，能移動地配設(shè)在該導(dǎo)引軌道41、41上的卡盤工作臺支承機構(gòu)5；沿著一對導(dǎo)引軌道41、41，使該卡盤工作臺支承機構(gòu)5移動的移動機構(gòu)42。
下面，參照著圖2和圖3，對上述卡盤工作臺支承機構(gòu)5進行說明。在圖示的實施方式中的卡盤工作臺支承機構(gòu)5具備支承卡盤工作臺31的卡盤工作臺支承底座51；配設(shè)在該卡盤工作臺支承底座51和上述移動機構(gòu)42之間的多個移動底座52、53。在圖示的實施方式中，該移動底座由接近移動機構(gòu)42而配設(shè)的第1移動底座52和接近卡盤工作臺支承底座51而配設(shè)的第2移動底座53構(gòu)成。
上述卡盤工作臺支承底座51被作成矩形狀、沿著上述一對導(dǎo)引軌道41、41的兩端部分別設(shè)置著向下方突出的一對支承腳511、511。在該一對支承腳511、511上分別形成配合一對導(dǎo)引軌道41、41的被導(dǎo)引槽512、512。上述卡盤工作臺31被配設(shè)在如此構(gòu)成的卡盤工作臺支承底座51的上面。
鄰接上述移動機構(gòu)42配設(shè)的第1移動底座52被作成矩形狀，在它的下面形成嵌合上述一對導(dǎo)引軌道41、41的被導(dǎo)引槽521、521。并且，在第1移動底座52的下面，在被導(dǎo)引槽521和521之間還設(shè)置著向下方突出的內(nèi)螺紋部件522，在該內(nèi)螺紋部件522上、設(shè)置著在用箭頭X表示的加工進給方向上貫通地形成的內(nèi)螺紋523。
接近上述卡盤工作臺支承底座51而配設(shè)的第2移動底座53被作成矩形狀，沿著上述一對導(dǎo)引軌道41、41的長度被設(shè)定成嵌合卡盤工作臺支承底座51上所設(shè)置的一對支承腳511和511之間的尺寸。沿著第2移動底座53的一對導(dǎo)引軌道41、41的兩端部上，分別設(shè)置著向下方突出的一對支承腳531、531。在該一對支承腳531、531上，分別形成與一對導(dǎo)引軌道41、41嵌合的被導(dǎo)引槽532、532。并且，一對支承腳531和531之間的間隔被設(shè)定成能嵌合上述第1移動底座52的尺寸。
如上所述地形成的第1移動底座52被配設(shè)在一對導(dǎo)引軌道41、41上，使被導(dǎo)引槽521、521與一對導(dǎo)引軌道41、41嵌合。上述第2移動底座53被配設(shè)在第1移動底座52上，在一對支承腳531和531之間嵌合第1移動底座52的同時，使形成在一對支承腳531、531上的被導(dǎo)引槽532、532與一對導(dǎo)引軌道41、41嵌合。而且，上述卡盤工作臺支承底座51被配設(shè)在第2移動底座53上，在一對支承腳511和511之間嵌合第2移動底座53的同時，形成在一對支承腳511、511上的被導(dǎo)引槽512、512與一對導(dǎo)引軌道41、41嵌合。
圖示的實施方式中的卡盤工作臺支承機構(gòu)5在第1移動底座52和第2移動底座53之間以及在卡盤工作臺支承底座51和第2移動底座53之間分別設(shè)置著振動吸收機構(gòu)54、55。在圖示的實施方式中，振動吸收機構(gòu)54由分別能轉(zhuǎn)動地配設(shè)在第1移動底座52中的用箭頭X表示加工進給方向的兩端面上的鋼球541、541構(gòu)成。并且，在圖示的實施方式中，振動吸收機構(gòu)55由分別能轉(zhuǎn)動地配設(shè)在第2移動底座53中的用箭頭X表示加工進給方向的兩端面上的鋼球551、551構(gòu)成。這樣構(gòu)成的卡盤工作臺支承機構(gòu)5，當(dāng)由移動機構(gòu)42的作用而使第1移動底座52沿著一對導(dǎo)引軌道41、41向用箭頭X表示的加工進給方向移動時，作用在第1移動底座52上的動力借助配設(shè)在第1移動底座52上的鋼球541、541而傳遞到第2移動底座53的一對支承腳531、531上。因此，第1移動底座52的端面和第2移動底座53的一對支承腳531、531具有作為動力傳遞機構(gòu)的機能，借助作為振動吸收機構(gòu)54的鋼球541、541將作用在第1移動底座52上的向加工進給方向的動力傳遞給第2移動底座53上。而且，如上所述，當(dāng)使第2移動底座53向用箭頭X表示的加工進給方向移動時，借助配設(shè)在第2移動底座53上的鋼球551、551而傳遞給卡盤工作臺支承底座51的一對支承腳511、511。因此，第2移動底座53的端面和卡盤工作臺支承底座51的一對支承腳511、511具有作為動力傳遞機構(gòu)的機能，借助作為振動吸收機構(gòu)55的鋼球551、551，將作用在第2移動底座53上的向加工進給方向的動力傳遞給卡盤工作臺支承底座51。
下面，返回到圖1繼續(xù)進行說明。上述卡盤工作臺31是配設(shè)在如上所述地構(gòu)成的卡盤工作臺支承機構(gòu)5的卡盤工作臺支承底座51上。即，在卡盤工作臺支承底座51的上面配設(shè)著圓筒狀的支承筒體32，卡盤工作臺31是能回轉(zhuǎn)地支承在該支承筒體32的上端。在支承筒體32內(nèi)配設(shè)著圖中沒有表示脈沖電動機，由該脈沖電動機的作用就能使卡盤工作臺31每次轉(zhuǎn)動規(guī)定的角度?？ūP工作臺31與圖中沒有表示的吸引機構(gòu)連接，就能將放置在構(gòu)成它的上面的支承面上的被加工物適當(dāng)?shù)匚С?。并且，在卡盤工作臺31的下側(cè)，配設(shè)著固定在支承筒體32上端的卡盤工作臺套33。
參照著圖1對構(gòu)成上述卡盤工作臺移動機構(gòu)4的移動機構(gòu)42進行說明。
圖示的實施方式中的移動機構(gòu)42含有平行地配設(shè)在上述一對導(dǎo)引軌道41和41之間的外螺紋螺桿421；用于使該外螺紋螺桿42回轉(zhuǎn)驅(qū)動的伺服電動機422等驅(qū)動源。外螺紋螺桿421是它的一端能自由回轉(zhuǎn)地被支承在上述靜止底座2上所固定的軸承座423上，它的另一端與上述伺服電動機422的輸出軸相連接。并且，如圖2所示、外螺紋螺桿421與形成在上述第1移動底座52的下面所設(shè)置的內(nèi)螺紋部件522上的內(nèi)螺紋523螺紋配合著。因此、由伺服電動機422的作用，借助使外螺紋螺桿421正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)地驅(qū)動，就使第1移動底座52沿著導(dǎo)引軌道41、41在用箭頭X表示的加工進給方向上移動。
此時，一旦在外螺紋螺桿421上發(fā)生振動，雖然該振動被傳遞到第1移動底座52上，但借助使配設(shè)在第1移動底座52上的作為振動吸收機構(gòu)54的鋼球541、541轉(zhuǎn)動，使第1移動底座52和第2移動底座53的相對偏轉(zhuǎn)，將振動的大約80％左右吸收。因此、變成將外螺紋螺桿421上發(fā)生的振動的20％左右被傳遞到第2移動底座53上。這樣、雖然發(fā)生在外螺紋螺桿421上的振動的一部分被傳遞到第2移動底座53上，但借助使配設(shè)在第2移動底座53上的作為振動吸收機構(gòu)55的鋼球551、551轉(zhuǎn)動，通過第2移動底座53和卡盤工作臺支承底座51的相對偏轉(zhuǎn)，又將振動的大約80％左右吸收。這樣，由上述振動吸收機構(gòu)54和55將發(fā)生在外螺紋螺桿421上的振動的96％左右吸收。因此，傳遞給卡盤工作臺支承底座51，即傳遞到卡盤工作臺31上的振動就成為外螺紋螺桿421上發(fā)生的振動的4％左右，能使卡盤工作臺高精度地移動。并且，借助將移動工作臺取成3個并設(shè)置振動吸收機構(gòu)，就能使傳遞到卡盤工作臺31的振動變成在外螺紋螺桿421上發(fā)生的振動的0.8％左右。
下面，參照著圖1繼續(xù)進行說明。上述主軸支承機構(gòu)6具備在靜止底座2上，沿著用箭頭Y表示的分度進給方向平行地配設(shè)的一對導(dǎo)引軌道61、61；能在該導(dǎo)引軌道61、61上沿著配設(shè)在箭頭Y表示的方向上可以移動的可動支承底座62。該可動支承底座62由配設(shè)在導(dǎo)引軌道61、61上可以移動的移動支承部621和安裝在該移動支承部621上的安裝部622構(gòu)成。在移動支承部621的下面，形成與導(dǎo)引軌道61、61相配合的一對被導(dǎo)引槽621a、621a，通過使該被導(dǎo)引槽621a、621a與導(dǎo)引軌道61、61的配合、將可動支承底座62構(gòu)成為能沿著導(dǎo)引軌道61、61而移動。而且、安裝部622的一側(cè)面上、平行地設(shè)置著一對在用箭頭Z表示的方向上延伸的導(dǎo)引軌道622a、622a。
如圖所示的實施方式中的主軸支承機構(gòu)6具有移動機構(gòu)63，它是用于使可動支承底座62沿著一對導(dǎo)引軌道61、61在用箭頭Y表示的分度進給方向上移動的。移動機構(gòu)63含有平行地配設(shè)在上述一對導(dǎo)引軌道61、61之間的外螺紋螺桿631；用于使該外螺紋螺桿631回轉(zhuǎn)驅(qū)動的脈沖電動機632。外螺紋螺桿631，它的一端能自由回轉(zhuǎn)地被支承在上述靜止底座2上所固定的圖中沒有表示軸承座上；它的另一端與上述脈沖電動機632的輸出軸相連接。并且，外螺紋螺桿631與形成在圖中沒有表示的內(nèi)螺紋螺桿上的內(nèi)螺紋孔螺紋配合著，上述內(nèi)螺紋螺桿是突出在構(gòu)成可動支承底座62的移動支承部631的中央部下面而設(shè)置。因此，由脈沖電動機632，借助使外螺紋螺桿631進行正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動，就能使可動支承底座62沿著導(dǎo)引軌道61、61，在用箭頭Y表示的分度進給方向上移動。因此、脈沖電動機632和外螺紋螺桿631等具有分度進給機構(gòu)的機能，使卡盤工作臺和下述的主軸組件在與切削進給方向(箭頭X表示的方向)垂直的、用箭頭Y表示的分度進給方向上相對地移動。
如圖所示實施方式中的主軸組件7具備組件架71；安裝在該組件架71上的主軸套72；能回轉(zhuǎn)地由該主軸套72支承的回轉(zhuǎn)主軸73。組件架71設(shè)置著一對被導(dǎo)引槽71a、71a，它們是能滑動地與設(shè)置在上述安裝部622上的一對導(dǎo)引軌道622a、622a嵌合的，通過上述被導(dǎo)引槽71a、71a與上述導(dǎo)引軌道622a、622a的嵌合，支承能在箭頭Z表示的吃刀深度進給方向上移動。上述回轉(zhuǎn)主軸73從主軸套前端突出地被安裝著，在該回轉(zhuǎn)主軸73的前端部安裝著切削刀片74。并且，安裝著切削刀片74的回轉(zhuǎn)主軸73由伺服電動機75等驅(qū)動源而使其回轉(zhuǎn)驅(qū)動。在主軸套72的前端部具備攝像機構(gòu)77，用于對支承在上述卡盤工作臺31上的被加工物的表面進行攝像、檢測由上述切削刀片73而應(yīng)切削的區(qū)域，并對切削槽的狀態(tài)進行確認(rèn)。該攝像機構(gòu)77由顯微鏡或CCD照相機等光學(xué)機構(gòu)構(gòu)成，將攝像得到的圖象信號送入到圖中沒有表示的控制機構(gòu)上。
如圖所示實施方式中的主軸組件7具備移動機構(gòu)76，它是用于使組件架71沿著一對導(dǎo)引軌道622a、622a在用箭頭Z表示的方向上移動。該移動機構(gòu)76含有與上述移動機構(gòu)42和63同樣地配設(shè)在導(dǎo)引軌道622a、622a之間的外螺紋螺桿(圖中沒有表示)；用于使該外螺紋螺桿回轉(zhuǎn)驅(qū)動的脈沖電動機762等驅(qū)動源，由脈沖電動機762的作用，借助使圖中沒有表示的外螺紋螺桿進行正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動就使組件架71、主軸套72和回轉(zhuǎn)主軸73沿著導(dǎo)引軌道622a、622a在用箭頭Z表示的吃刀深度進給方向上移動。因此、脈沖電動機762和圖中沒有表示的外螺紋螺桿等具有產(chǎn)生使主軸組件7在用箭頭Z表示的吃刀深度進給方向上移動的作為吃刀深度進給機構(gòu)的機能。
如圖所示實施方式中的切削裝置如上所述地構(gòu)成，下面，參照著圖1對它的作用進行簡單的說明。
首先，將半導(dǎo)體晶片等被加工物放置在卡盤工作臺31上，使圖中沒有表示的吸引機構(gòu)動作將被加工物吸引并支承在卡盤工作臺31上。這樣，使吸引支承著被加工物的卡盤工作臺31移動到攝像機構(gòu)77的正下方。當(dāng)卡盤工作臺31定位在攝像機構(gòu)77的正下方時，由攝像機構(gòu)77檢測出形成在被加工物上的切斷線，將主軸組件7移動調(diào)節(jié)到分度方向的箭頭Y方向上，并且進行切斷線和切削刀片74的精密位置對準(zhǔn)作業(yè)。
然后實施使切削刀片74回轉(zhuǎn)的同時沿著切斷線將被加工物切斷的切斷工序。即、將切削刀片74在用箭頭Z(參照圖1)表示的方向上，按規(guī)定量的吃刀深度進給，而且，在使回轉(zhuǎn)主軸73，即使切削刀片74回轉(zhuǎn)的同時，使上述卡盤工作臺移動機構(gòu)4的移動機構(gòu)42動作，使由卡盤工作臺支承機構(gòu)5支承的卡盤工作臺31在用圖1中的箭頭X表示的方向上以規(guī)定的切削進給速度進行移動。結(jié)果由切削刀片74沿著規(guī)定的切斷線將支承在卡盤工作臺31上的被加工物切斷。
在上述的切斷工序中、雖然是將移動機構(gòu)42的伺服電動機422驅(qū)動而使外螺紋螺桿421回轉(zhuǎn)，但在外螺紋螺桿421上發(fā)生振動。然而、由于在圖示的實施方式中，如上所述地支承卡盤工作臺31的卡盤工作臺支承機構(gòu)5具備卡盤工作臺支承底座52，第1移動底座52和第2移動底座53，在第1移動底座52和第2移動底座53之間以及在卡盤工作臺支承底座51和第1移動底座52之間配設(shè)著振動吸收機構(gòu)54和55，通過該吸收機構(gòu)54和55的作用能將發(fā)生在外螺紋螺桿421上的振動幾乎完全吸收。因此，能使卡盤工作臺支承底座51即卡盤工作臺31高精度地移動。
然后，參照著圖4～圖6，對構(gòu)成卡盤工作臺移動機構(gòu)4的卡盤工作臺支承機構(gòu)的另一個實施方式進行說明。并且，在圖4～圖6所示的實施方式中，與上述圖1～圖3所示的卡盤工作臺支承機構(gòu)5的構(gòu)件相同的零件上都標(biāo)記上相同的符號而加以說明。
圖4～圖6所示的卡盤工作臺支承機構(gòu)5a具備支承卡盤工作臺31的卡盤工作臺支承底座51a；配設(shè)在該卡盤工作臺支承底座51a和上述移動機構(gòu)42之間的多個移動底座52a、53a。在圖中所示的實施方式中，這些移動底座由接近移動機構(gòu)42而配設(shè)的第1移動底座52a和接近卡盤工作臺支承底座51a而配設(shè)的第2移動底座53a構(gòu)成。
上述卡盤工作臺支承底座51a被作成矩形狀，設(shè)置著從它的外周邊部向下方突出的支承腳511a、511a。在與一對導(dǎo)引軌道41a、41a平行地設(shè)置的支承腳511a、511a上分別形成一對嵌合導(dǎo)引軌道41a、41a的被導(dǎo)引槽512a、512a。將上述卡盤工作臺31配設(shè)在如此構(gòu)成的卡盤工作臺支承底座51a的上面。
與上述移動機構(gòu)42鄰接而配設(shè)的第1移動底座52a被作成矩形狀，在它的下面、形成一對嵌合導(dǎo)引軌道43a、43a的被導(dǎo)引槽521a、521a。而且、在第1移動底座52a的下面、在被導(dǎo)引槽521a和521a之間、設(shè)置著向下方突出的內(nèi)螺紋部件522a，該內(nèi)螺紋部件522a上設(shè)置著內(nèi)螺紋523a，它是在用箭頭X表示的加工進給方向上貫通地形成的。
上述接近卡盤工作臺支承底座51a而配設(shè)的第2移動底座53a被作成矩形狀，并被作成嵌合在上述卡盤工作臺支承底座51a上所形成的支承腳511a、511a內(nèi)的大小。在該第2移動底座53a上設(shè)置著從外周邊部向下方突出的支承腳531a、531a。并且，支承腳531a、531a的內(nèi)周邊的大小被設(shè)定成嵌合上述第1移動底座52a的尺寸。在這樣形成的第2移動底座53a中的與一對導(dǎo)引軌道42a、42a平行地設(shè)置的支承腳531a、531a上，分別形成嵌合一對導(dǎo)引槽42a、42a的被導(dǎo)引槽532a、532a。
將如上所述地形成的第1移動底座52a配設(shè)在一對導(dǎo)引軌道43a、43a上，使被導(dǎo)引槽521a、521a與一對導(dǎo)引軌道43a、43a嵌合。將上述第2移動底座53a配設(shè)在第1移動底座52a上，使被導(dǎo)引槽532a、532a與一對導(dǎo)引軌道42a、42a嵌合。而且、將上述卡盤工作臺支承底座51a配設(shè)在第2移動底座53a上，使被導(dǎo)引槽513a、513a與一對導(dǎo)引軌道41a、41a嵌合。
圖4～圖6所示的卡盤工作臺支承機構(gòu)5a在第1移動底座52a與第2移動底座53a之間以及在卡盤工作臺支承底座51a與第2移動底座53a之間分別配設(shè)著振動吸收機構(gòu)54、55。在圖示的實施方式中，振動吸收機構(gòu)54由能轉(zhuǎn)動地分別配設(shè)在第1移動底座52a中的用箭頭X表示的加工進給方向的兩端面上的鋼球541、541構(gòu)成。而且，在圖示的實施方式中，振動吸收機構(gòu)55由能轉(zhuǎn)動地分別配設(shè)在第2移動底座53a中的用箭頭X表示的加工進給方向的兩端面上的鋼球551、551構(gòu)成。這樣構(gòu)成的卡盤工作臺支承機構(gòu)5a，當(dāng)通過移動機構(gòu)42、使第1移動底座52a沿著一對導(dǎo)引軌道43a、43a、在用箭頭X表示的加工進給方向上移動時，作用在第1移動底座52a上的動力借助配設(shè)在第1移動底座52a上的鋼球541、541而傳遞到第2移動底座53a的支承腳531a、531a，使第2移動底座53a沿著一對導(dǎo)引軌道42a、42a而移動。因此，第1移動底座52a的端面和第2移動底座53a的支承腳531a、531a具有動力傳遞機構(gòu)的機能，借助作為振動吸收機構(gòu)54的鋼球541、541，將作用在第1移動底座52a上的向加工進給方向的動力借助作為振動吸收機構(gòu)的鋼球541、541而傳遞給第2移動底座53a。而且，當(dāng)使第2移動底座53a如上所述地在向箭頭X表示的加工進給方向上移動時，借助配設(shè)在第2移動底座53a上的鋼球551、551而傳遞到卡盤工作臺支承底座51a的支承腳511a、511a，使卡盤工作臺支承底座51a沿著一對導(dǎo)引軌道41a、41a而移動。因此，第2移動底座53a的端面和卡盤工作臺支承底座51a的支承腳511a、511a具有動力傳遞機構(gòu)的機能，將作用在第2移動底座53a上的向加工進給方向的動力，借助作為振動吸收機構(gòu)55的鋼球551、551而傳遞給卡盤工作臺支承底座51a。
雖然在上述圖示的實施方式中、表示根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的適用于切削裝置的卡盤工作臺移動機構(gòu)的例子，但本發(fā)明的卡盤工作臺移動機構(gòu)當(dāng)然還能用于對被加工物進行激光加工的激光加工裝置等其他加工裝置上。
權(quán)利要求
1.卡盤工作臺移動機構(gòu)，它具備支承用于保持被加工物的卡盤工作臺的卡盤工作臺支承機構(gòu)；在加工進給方向上對上述卡盤工作臺支承機構(gòu)進行導(dǎo)引的導(dǎo)引軌道；沿著導(dǎo)引軌道而配設(shè)的與設(shè)置在上述卡盤工作臺支承機構(gòu)上的內(nèi)螺紋螺紋配合的外螺紋螺桿，其特征在于，卡盤工作臺支承機構(gòu)具有支承該卡盤工作臺的卡盤工作臺支承底座；配設(shè)在上述卡盤工作臺支承底座和上述外螺紋螺桿之間的多個移動底座；在上述多個移動底座中，與該外螺紋螺桿鄰接的移動底座上設(shè)置著與該外螺紋螺桿螺紋配合的內(nèi)螺紋；在上述多個移動底座中，與上述卡盤工作臺支承底座鄰接的移動底座和該卡盤工作臺支承底座之間以及在各個移動底座之間分別設(shè)置著動力傳遞機構(gòu)，且該動力傳遞機構(gòu)是借助振動防止機構(gòu)而傳遞作用在上述加工進給方向上的動力。
2.如權(quán)利要求1所述的卡盤工作臺移動機構(gòu)，其特征在于，上述導(dǎo)引軌道是對上述卡盤工作臺支承底座和上述多個移動底座進行導(dǎo)引的共同的導(dǎo)引軌道。
3.如權(quán)利要求1所述的卡盤工作臺移動機構(gòu)，其特征在于，上述導(dǎo)引軌道是由對上述卡盤工作臺支承底座和上述多個移動底座分別進行導(dǎo)引的多個導(dǎo)引軌道構(gòu)成的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種借助盡可能地吸收外螺紋螺桿的振動，能使支承被加工物的卡盤工作臺高精度移動的卡盤工作臺移動機構(gòu)。具備卡盤工作臺支承機構(gòu)、導(dǎo)引軌道、外螺紋螺桿?？ūP工作臺支承機構(gòu)設(shè)有支承卡盤工作臺的卡盤工作臺支承底座；配設(shè)在卡盤工作臺支承底座和外螺紋螺桿之間的多個移動底座，在多個移動底座中，與外螺紋螺桿鄰接的移動底座上設(shè)置著與外螺紋螺桿螺紋配合的內(nèi)螺紋；在多個移動底座中與卡盤工作臺支承底座鄰接的移動底座和卡盤工作臺支承底座之間以及在各個移動底座之間分別設(shè)置著動力傳遞機構(gòu)，借助振動吸收機構(gòu)而傳遞作用于該加工進給方向上的動力。
文檔編號H01L21/02GK1885520SQ200610093239
公開日2006年12月27日 申請日期2006年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月23日
發(fā)明者關(guān)家一馬, 秋田壯一郎 申請人:株式會社迪斯科