專利名稱：電力供給系統(tǒng)、電力供給方法和批量處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及批量(批次)處理技術(shù)，特別是電力供給系統(tǒng)、電力供給方法和批量處理方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在，在半導(dǎo)體制造工廠，所使用的電力的消耗量很多。因此，從降低成本以及環(huán)境保護(hù)的觀點(diǎn)考慮，也希望抑制電力消耗。
以往，作為節(jié)電方法，已知的是在處理裝置的待機(jī)時(shí)間大于等于一定時(shí)間時(shí)，使處理裝置轉(zhuǎn)到節(jié)能模式的方法(例如，參見特開2004-200485號公報(bào))。但是，如果一旦將處理裝置設(shè)置成為節(jié)電狀態(tài)，則在處理下一個(gè)批量(批次)時(shí)，需要用于使處理裝置恢復(fù)到工作狀態(tài)的啟動(dòng)時(shí)間。因此，即使批量到達(dá)了處理裝置也不能立刻開始進(jìn)行處理，生產(chǎn)量降低。在現(xiàn)在的情況下，不降低生產(chǎn)量而謀求節(jié)電化是很困難的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第1方面的電力供給系統(tǒng)，包括處理裝置；向上述處理裝置供給電力的電力供給裝置；確定在上述處理裝置處理的批量的狀態(tài)的批量確定部；
根據(jù)上述批量的狀態(tài)，計(jì)算上述批量從當(dāng)前位置到到達(dá)上述處理裝置的到達(dá)時(shí)間的到達(dá)時(shí)間計(jì)算部；比較上述到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間的比較部；以及控制上述電力供給裝置的供給控制部，使得當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間小于等于上述啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，向上述處理裝置供給使上述處理裝置工作的工作電力，當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間比上述啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，向上述處理裝置供給比上述工作電力小的節(jié)電電力。
本發(fā)明的第2方面的電力供給方法，包括確定在處理裝置處理的批量的狀態(tài)；根據(jù)上述批量的狀態(tài)，計(jì)算上述批量從當(dāng)前位置到達(dá)上述處理裝置的到達(dá)時(shí)間；比較上述到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間；當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間小于等于上述啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，向上述處理裝置供給使上述處理裝置工作的工作電力；以及當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間比上述啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，向上述處理裝置供給比上述工作電力小的節(jié)電電力。
本發(fā)明的第3方面的批量處理方法，包括確定在處理裝置處理的批量的狀態(tài)；根據(jù)上述批量的狀態(tài)，計(jì)算上述批量從當(dāng)前位置到達(dá)上述處理裝置的到達(dá)時(shí)間；比較上述到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間；當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間小于等于上述啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，向上述處理裝置供給使上述處理裝置工作的工作電力；當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間比上述啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，向上述處理裝置供給比上述工作電力小的節(jié)電電力；以及使用上述處理裝置處理上述批量。


圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)的一例的框圖。
圖2是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例的電力供給方法的一例的流程圖。
圖3是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例的批量處理方法(半導(dǎo)體裝置的制造方法)的一例的流程圖。
圖4是示出本發(fā)明的實(shí)施例的第2變形例的處理裝置的一例的框圖。
圖5是示出本發(fā)明的實(shí)施例的第3變形例的中央運(yùn)算處理裝置的一例的框圖。
圖6是示出本發(fā)明的實(shí)施例的第3變形例的電力供給系統(tǒng)的一例的框圖。
圖7是示出批量的流動(dòng)的一例的圖。
圖8是示出利用具有典型的節(jié)電模式的電力供給系統(tǒng)時(shí)的處理裝置的狀況的圖。
圖9是示出利用本實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)時(shí)的處理裝置的狀況的一例的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施例。在以下的附圖的記載中，對于相同或類似的部分標(biāo)以相同或類似的符號。但是，附圖是模式圖。另外，以下所示的實(shí)施例是用于將本發(fā)明的技術(shù)思想具體化的裝置或方法的示例，本發(fā)明的技術(shù)思想不將結(jié)構(gòu)部件的材質(zhì)、形狀、構(gòu)造、配置等特定為以下所述的情況。本發(fā)明的技術(shù)思想在權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以進(jìn)行種種變更。
如圖1所示，本發(fā)明的實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)(半導(dǎo)體制造系統(tǒng))具有處理裝置31、32、33、...、3n、批量確定部11、到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12、比較部13以及供給控制部14。電力供給裝置4向處理裝置31、32、33、...、3n供給電力。批量確定部11確定在處理裝置31、32、33、...、3n中處理的批量的狀態(tài)。到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12根據(jù)批量的狀態(tài)，計(jì)算批量從當(dāng)前位置到達(dá)處理裝置31、32、33、...、3n的到達(dá)時(shí)間。比較部13將到達(dá)時(shí)間與處理裝置31、32、33、...、3n的啟動(dòng)時(shí)間進(jìn)行比較。供給控制部14控制電力供給裝置4，以在到達(dá)時(shí)間小于等于啟動(dòng)時(shí)間時(shí)向處理裝置31、32、33、...、3n供給使處理裝置31、32、33、...、3n工作的工作電力。相反，當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間比啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，控制電力供給裝置4以向處理裝置31、32、33、...、3n供給比工作電力小的節(jié)省電力。本例的批量確定部11、到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12、比較部13和供給控制部14包含于在中央運(yùn)算處理裝置(CPU)1上工作的模塊中。
CPU 1、處理裝置31、32、33、...、3n、數(shù)據(jù)存儲裝置2、電力供給裝置4、主存儲裝置6、輸入裝置7以及輸出裝置8等通過總線9或因特網(wǎng)、LAN、無線LAN等通信網(wǎng)絡(luò)連接。通過將這些裝置通過通信網(wǎng)絡(luò)連接，可以遠(yuǎn)程地獲得適當(dāng)?shù)男畔?，從而可以?shí)時(shí)地得到信息。
本例的處理裝置31、32、33、...、3n包含例如離子注入裝置、雜質(zhì)擴(kuò)散裝置、熱氧化裝置、化學(xué)氣相沉積(CVD)裝置、熱處理裝置、濺射裝置、真空蒸發(fā)裝置、電鍍處理裝置、化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)裝置、干或濕蝕刻裝置、清洗裝置、旋轉(zhuǎn)涂敷裝置(旋涂機(jī))、曝光裝置、切割裝置和焊接裝置等各種各樣的半導(dǎo)體制造裝置。
離子注入裝置例如將形成N型或P型半導(dǎo)體區(qū)域的雜質(zhì)離子注入到半導(dǎo)體基板內(nèi)。雜質(zhì)擴(kuò)散裝置例如使注入到半導(dǎo)體基板內(nèi)的雜質(zhì)擴(kuò)散。熱氧化裝置例如在半導(dǎo)體基板(半導(dǎo)體晶片)的表面上形成氧化硅膜(SiO2膜)?；瘜W(xué)氣相沉積(CVD)裝置例如在半導(dǎo)體基板的表面上沉積SiO2、磷硅玻璃(PSG)、硼硅玻璃(BSG)、硼磷硅玻璃(BPSG)、氮化硅(Si3N4)、多晶硅等。熱處理裝置在對在半導(dǎo)體基板上形成的PSG膜、BSG膜、BPSG膜等進(jìn)行回流(熔化)處理、對CVD氧化膜等膜進(jìn)行致密化處理，使金屬與硅反應(yīng)而形成硅化物膜等的時(shí)候使用。濺射裝置和真空蒸發(fā)裝置例如在半導(dǎo)體基板上通過濺射和蒸發(fā)形成在布線層等使用的金屬。電鍍處理裝置例如在半導(dǎo)體基板上通過電鍍形成金屬布線層?；瘜W(xué)機(jī)械研磨(CMP)裝置研磨半導(dǎo)體基板的表面。干或濕蝕刻裝置對半導(dǎo)體基板的表面進(jìn)行蝕刻。清洗裝置例如清洗半導(dǎo)體基板的表面，例如除去光致抗蝕劑后的半導(dǎo)體基板的表面。旋轉(zhuǎn)涂敷裝置在光刻工序時(shí)在半導(dǎo)體基板的表面上旋轉(zhuǎn)涂敷光致抗蝕劑。曝光裝置對光致抗蝕劑進(jìn)行曝光。切割裝置將半導(dǎo)體基板切割成IC芯片(半導(dǎo)體集成電路裝置)。焊接裝置將IC芯片的電極與引線框架連接。
此外，在處理裝置中也可以包含純水處理裝置或氣體的凈化裝置等附帶設(shè)備。另外，這些半導(dǎo)體制造裝置也可以應(yīng)用于批量式裝置或單個(gè)式裝置中的任何一個(gè)。對于后面所述的所有實(shí)施例，也同樣可以應(yīng)用于批量式裝置或單個(gè)式裝置。
電力供給裝置4向處理裝置31、32、33、...、3n供給用于使處理裝置31、32、33、...、3n工作的工作電力。電力供給裝置4也可以向處理裝置31、32、33、...、3n供給比工作電力小的節(jié)省電力。處理裝置31、32、33、...、3n從供給節(jié)省電力的狀態(tài)到成為供給工作電力而可以進(jìn)行批量處理的工作狀態(tài)，需要啟動(dòng)時(shí)間。
數(shù)據(jù)存儲裝置2具有處理?xiàng)l件存儲部21和裝置信息存儲部22。處理?xiàng)l件存儲部21存儲在處理裝置31、32、33、...、3n處理的批量的處理?xiàng)l件。裝置信息存儲部22存儲處理裝置31、32、33、...、3n的各自的啟動(dòng)時(shí)間等規(guī)格。
本例的CPU 1具有裝置確定部10、批量確定部11、到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12、比較部13、供給控制部14和結(jié)束判定部15。裝置確定部10確定處理裝置31、32、33、...、3n是能夠進(jìn)行批量處理的工作狀態(tài)或是包含定期的裝置QC和維護(hù)的非工作狀態(tài)的處理裝置31、32、33、...、3n的狀態(tài)。進(jìn)一步地，在工作狀態(tài)中，進(jìn)而確定是批量處理中或是待機(jī)中。
批量確定部11確定在作為對象的處理裝置33中下一個(gè)要處理的批量的狀態(tài)。例如，確定在處理裝置33之前的另一個(gè)處理裝置32中下一個(gè)批量是處理中，或者在更前面的另一個(gè)處理裝置31中下一個(gè)批量是處理中或搬送中或保管中等。例如，設(shè)批量在處理裝置31的處理之前。下面，以處理裝置33作為對象裝置進(jìn)行說明。圖7示出批量的流動(dòng)的一例。如圖7所示，包含指定個(gè)數(shù)例如100個(gè)的半導(dǎo)體晶片的批量在一開始被投入到處理裝置31中。此后，批量中包含的半導(dǎo)體晶片通過按處理裝置31、32、33、...、3n的順序進(jìn)行順序處理，最后成為IC器件。
到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12根據(jù)存儲在處理?xiàng)l件存儲部21中的批量的處理?xiàng)l件、存儲在裝置信息存儲部22中的處理裝置31、32的規(guī)格以及由批量確定部11確定的批量的狀態(tài)，計(jì)算批量從當(dāng)前位置到達(dá)處理裝置33的到達(dá)時(shí)間。到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12計(jì)算在當(dāng)前時(shí)刻在作為對象的處理裝置33之前的其他處理裝置31、32中處理的處理時(shí)間和處理裝置31、32、33之間的批量的搬送時(shí)間。
比較部13讀出存儲在裝置信息存儲部22中的處理裝置33的啟動(dòng)時(shí)間，并將由到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12計(jì)算的到達(dá)時(shí)間與處理裝置33的啟動(dòng)時(shí)間的大小進(jìn)行比較。
供給控制部14控制電力供給裝置4，調(diào)整從電力供給裝置4向處理裝置33的電力量。例如，在由比較部13比較的結(jié)果為到達(dá)時(shí)間小于等于啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，控制電力供給裝置4以向處理裝置33供給使處理裝置33工作的工作電力。這里，在為了批量處理中或待機(jī)中而向處理裝置33供給工作電力的情況下，在電力供給裝置4中維持工作電力的供給，在為了裝置的定期QC或者維護(hù)而向處理裝置33供給節(jié)省電力的情況下，從節(jié)省電力切換而供給工作電力。
另外，在處理裝置31、32、33、...、3n啟動(dòng)為工作狀態(tài)的同時(shí)，如果批量到達(dá)處理裝置31、32、33、...、3n，則不會(huì)浪費(fèi)時(shí)間，所以，當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間與啟動(dòng)時(shí)間相等時(shí)，從節(jié)省電力切換為工作電力是很理想的。
另一方面，當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間比啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，控制電力供給裝置4以向處理裝置33供給比工作電力小的節(jié)省電力。這里，當(dāng)已向處理裝置33供給工作電力時(shí)，使電力供給裝置4從工作電力切換而供給節(jié)省電力，在已向處理裝置33供給節(jié)省電力的情況下，維持節(jié)省電力的供給。
另外，在CPU 1中，具有圖中未示出的存儲裝置管理裝置。在存儲裝置和存儲裝置的輸入輸出是必要的情況下，通過存儲裝置管理裝置進(jìn)行必要的文件讀出寫入處理。并且，該CPU 1也可以組裝到處理裝置33等裝置中，也可以設(shè)置在外部。
作為輸入裝置7，可以使用例如鍵盤、鼠標(biāo)、OCR等確定裝置、圖像掃描儀等圖形輸入裝置、聲音輸入裝置等特殊輸入裝置。作為輸出裝置8，可以使用液晶顯示器、CRT顯示器等顯示裝置或噴墨打印機(jī)、激光打印機(jī)等印刷裝置等。
在主存儲裝置6中，組裝有ROM和RAM。ROM起到存儲有在CPU1中執(zhí)行的程序的程序存儲裝置等的功能(程序的詳細(xì)情況后面說明)。RAM起到暫時(shí)存儲在CPU 1的程序執(zhí)行處理中所利用的數(shù)據(jù)等和作為操作區(qū)域而利用的暫時(shí)的數(shù)據(jù)存儲器等的功能。作為主存儲裝置，可以采用例如半導(dǎo)體存儲器、磁盤、光盤、光磁盤或磁帶等。另外，具有將輸入裝置、輸出裝置等與CPU 1連接的圖中未示出的輸入輸出控制裝置(接口)。
圖8是示出在利用具有典型的節(jié)電模式的電力供給系統(tǒng)時(shí)的處理裝置的狀況的圖。另外，圖9是示出在利用本實(shí)施例的的供給系統(tǒng)時(shí)的處理裝置的狀況的一例的圖。
如圖8所示，具有典型的節(jié)電模式的電力供給系統(tǒng)，在批量到達(dá)處理裝置之前，使處理裝置處于節(jié)電狀態(tài)或待機(jī)狀態(tài)。在本例中，處于待機(jī)狀態(tài)。當(dāng)批量到達(dá)處理裝置時(shí)，電力供給系統(tǒng)啟動(dòng)處理裝置。處理裝置在經(jīng)過啟動(dòng)時(shí)間之后處于工作狀態(tài)或可工作狀態(tài)。在本例中，處于可工作狀態(tài)。對批量的處理，在處理裝置處于可工作狀態(tài)之后開始。這樣，在具有典型的節(jié)電模式的電力供給系統(tǒng)中，啟動(dòng)時(shí)間就是批量的等待時(shí)間。
相對地，如圖9所示，本實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)對于使處理裝置處于節(jié)電狀態(tài)或待機(jī)狀態(tài)的處理與典型的系統(tǒng)相同。但是，本實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)預(yù)計(jì)批量到達(dá)處理裝置的到達(dá)預(yù)定時(shí)間，在比到達(dá)預(yù)定時(shí)間早大于等于起動(dòng)時(shí)間的時(shí)間啟動(dòng)處理裝置。在批量到達(dá)處理裝置時(shí)，處理裝置已是工作狀態(tài)或可工作狀態(tài)。因此，本實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)可以在批量到達(dá)的同時(shí)開始進(jìn)行對批量的處理。這樣，本實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)就沒有批量的等待時(shí)間。沒有批量的等待時(shí)間的部分，提高了生產(chǎn)量。當(dāng)然，本實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)可以和具有典型的節(jié)電模式的電力供給系統(tǒng)一樣地抑制電力消耗。
這樣，本實(shí)施例的電力供給系統(tǒng)可以不降低生產(chǎn)量而實(shí)現(xiàn)節(jié)電化。
另外，使處理裝置從節(jié)電狀態(tài)或待機(jī)狀態(tài)恢復(fù)為工作狀態(tài)或可工作狀態(tài)所使用的電力可以連續(xù)地上升，也可以階段式地上升。另一方面，當(dāng)將處理裝置從工作狀態(tài)或可工作狀態(tài)變?yōu)楣?jié)電狀態(tài)或待機(jī)狀態(tài)而降低電力的時(shí)候，電力可以連續(xù)地下降，也可以階段式地下降。
下面，參照圖2的流程圖說明本發(fā)明的實(shí)施例的電力供給方法。
在步驟S10，圖1所示的電力供給裝置4維持對處理裝置31、32、33、...、3n的工作電力的供給。在步驟S11，裝置確定部10判斷作為對象的處理裝置33是否是批量處理中。如果是批量處理中，則返回到步驟S10，維持向作為對象的處理裝置33的工作電力的供給。另一方面，當(dāng)在步驟S11中判斷不是批量處理中時(shí)，進(jìn)入步驟S12。
在步驟S12，結(jié)束判定部15判斷所有的批量處理是否結(jié)束。在所有的批量處理結(jié)束的情況下，進(jìn)入步驟S13，停止向作為對象的處理裝置33的電力供給。另一方面，當(dāng)在步驟S12中仍然有批量處理時(shí)，進(jìn)入步驟S14。
在步驟S14，批量確定部11確定在作為對象的處理裝置33中下一個(gè)被處理的批量的狀態(tài)。在步驟S15，到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12根據(jù)在批量確定部11確定的批量的狀態(tài)、在處理?xiàng)l件存儲部21中存儲的處理?xiàng)l件和在裝置信息存儲部22中存儲的處理裝置31、32、33的規(guī)格，并考慮處理裝置31、32、33之間的搬送時(shí)間和在其他處理裝置31、32的處理時(shí)間，計(jì)算批量從當(dāng)前位置到達(dá)作為對象的處理裝置33的到達(dá)時(shí)間。
在步驟S16，比較部13比較由到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12計(jì)算的到達(dá)時(shí)間和在裝置信息存儲部22中存儲的作為對象的處理裝置33的啟動(dòng)時(shí)間。當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間小于等于啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，返回到步驟S10，維持工作電力的供給。另一方面，當(dāng)在步驟S16中到達(dá)時(shí)間比啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，進(jìn)入步驟S17，供給控制部14從工作電力切換而向作為對象的處理裝置33供給節(jié)省電力。
在步驟S18，批量確定部11確定在作為對象的處理裝置33中下一個(gè)要處理的批量的狀態(tài)。在步驟S19，到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12根據(jù)在批量確定部11確定的批量的狀態(tài)、在處理?xiàng)l件存儲部21中存儲的處理?xiàng)l件和在裝置信息存儲部22中存儲的處理裝置31、32、33的規(guī)格，計(jì)算批量到達(dá)作為對象的處理裝置33的到達(dá)時(shí)間。
在步驟S20，比較部13比較由到達(dá)時(shí)間計(jì)算部12計(jì)算的到達(dá)時(shí)間和在裝置信息存儲部22中存儲的作為對象的處理裝置33的啟動(dòng)時(shí)間。當(dāng)在步驟S20中到達(dá)時(shí)間比啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，進(jìn)入步驟S21，供給控制部14維持節(jié)省電力的供給，并返回到步驟S18。另一方面，當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間小于等于啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，進(jìn)入步驟S22，供給控制部14使電力供給裝置4從節(jié)省電力切換而向處理裝置33供給工作電力。
按照本發(fā)明的實(shí)施例，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線等中使用的批量處理系統(tǒng)中，通過計(jì)算批量到達(dá)處理裝置33的到達(dá)時(shí)間，可以對向所處理的批量不進(jìn)行長時(shí)間搬送的處理裝置供給的電力，運(yùn)用小于等于工作狀態(tài)的電力量，從而可以實(shí)現(xiàn)抑制電力消耗量，進(jìn)而降低成本以及促進(jìn)環(huán)境保護(hù)。
進(jìn)一步地，雖然以處理裝置31作為對象裝置進(jìn)行了說明，但是，通過以生產(chǎn)線的多個(gè)處理裝置31、32、33、...、3n的各個(gè)作為對象裝置控制和集中管理電力供給，可以順利地運(yùn)用各部位的連帶關(guān)系，從而可以維持生產(chǎn)量。
此外，雖然在步驟S18中確定了批量的狀態(tài)，在步驟S19中計(jì)算了批量的到達(dá)時(shí)間，但是，也可以省略步驟S18和步驟S19的過程。這時(shí)，在步驟S20中，比較部13可以使用在步驟S15計(jì)算的到達(dá)時(shí)間，比較到達(dá)時(shí)間和啟動(dòng)時(shí)間。
圖2所示的一連串的步驟由與圖2等價(jià)的算法的程序控制圖1所示的批量處理系統(tǒng)而進(jìn)行。該程序可以存儲在構(gòu)成本發(fā)明的批量處理系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的主存儲裝置等中。另外，該程序保存在計(jì)算機(jī)可讀取的記錄媒體中，通過將該記錄媒體讀入批量處理系統(tǒng)的主存儲裝置中，可以執(zhí)行本發(fā)明的實(shí)施例的一連串的步驟。這里，所謂的「計(jì)算機(jī)可讀取的記錄媒體」是指例如計(jì)算機(jī)的外部存儲裝置、半導(dǎo)體存儲器、磁盤、光盤、光磁盤、磁帶等可以記錄程序的媒體等。具體而言，軟盤、CD-ROM、MO盤等包含在「計(jì)算機(jī)可讀取的記錄媒體」中。例如，批量處理系統(tǒng)的本體可以構(gòu)成為內(nèi)藏或外部連接軟盤裝置(軟盤驅(qū)動(dòng)器)和光盤裝置(光盤驅(qū)動(dòng)器)。對于軟盤驅(qū)動(dòng)器，從其插入口插入軟盤，并且對于光盤驅(qū)動(dòng)器，從其插入口插入CD-ROM，通過進(jìn)行指定的讀出操作，可以將在這些記錄媒體中存儲的程序安裝到構(gòu)成批量處理系統(tǒng)的主存儲裝置中。另外，通過連接指定的驅(qū)動(dòng)裝置，也可以使用例如ROM或磁帶裝置。進(jìn)一步地，通過因特網(wǎng)等通信網(wǎng)絡(luò)，可以將該程序存儲到主存儲裝置中。
下面，參照圖3的流程圖說明本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路(LSI)的制造方法(批量處理方法)。以下所述的半導(dǎo)體存儲裝置的制造方法只是一個(gè)例子，當(dāng)然包含其變形例，利用除此以外的各種制造方法也可以實(shí)現(xiàn)。
(1)首先，在步驟S100，通過過程模擬和光刻模擬或設(shè)備模擬，得到電氣特性。使用電氣特性，進(jìn)行LSI的電路模擬，生成設(shè)計(jì)圖形的布圖數(shù)據(jù)(設(shè)計(jì)數(shù)據(jù))。
(2)其次，在步驟S210，對于在步驟S100生成的布圖數(shù)據(jù)的設(shè)計(jì)圖形，生成掩模圖形的掩模數(shù)據(jù)。在掩模基板上形成掩模圖形，制作光掩模。另外，與LSI的制造工序的各階段對應(yīng)地制作各層的光掩模，準(zhǔn)備成套的光掩模。
(3)在步驟S302的前端工序(基板工序)中，步驟S310的氧化工序、步驟S311的抗蝕劑涂敷工序、步驟S312的光刻工序、步驟S313的離子注入工序和步驟S314的熱處理工序等，通過對應(yīng)的處理裝置31、32、33、...、3n群以每多個(gè)批量的方式反復(fù)地執(zhí)行。這時(shí)，根據(jù)圖2的步驟S10～S22的順序控制向處理批量的處理裝置31、32、33、...、3n供給的工作電力和節(jié)省電力。在一連串的工序結(jié)束時(shí)，進(jìn)入步驟S303。
(4)在步驟S303，執(zhí)行對基板表面進(jìn)行布線處理的后端工序(表面布線工序)。在后端工序中，步驟S315的化學(xué)氣相沉積(CVD)工序、步驟S316的抗蝕劑涂敷工序、步驟S317的光刻工序、步驟S318的蝕刻工序、步驟S319的金屬沉積工序等，通過對應(yīng)的處理裝置31、32、33、...、3n群以每多個(gè)批量的方式反復(fù)地執(zhí)行。這時(shí)，根據(jù)圖2的步驟S10～S22的順序控制向處理批量的處理裝置31、32、33、...、3n供給的工作電力和節(jié)省電力。通過一連串的工序完成了多層布線結(jié)構(gòu)，進(jìn)入步驟S304。
(5)在步驟S304中，通過金剛石刀片等切割裝置，切割成指定的芯片尺寸。并且，在用金屬或陶瓷等封裝材料封裝并將芯片上的電極端口與引線框架的引線用金線連接之后，執(zhí)行樹脂封裝等所要求的封裝組裝工序。在步驟S400，經(jīng)過關(guān)于半導(dǎo)體集成電路的性能和功能的特性檢查、引線形狀和尺寸狀態(tài)、可靠性試驗(yàn)等指定的檢查，完成半導(dǎo)體集成電路。在步驟S500，經(jīng)過以上工序的半導(dǎo)體集成電路進(jìn)行用于防水和防靜電等的包裝后出廠。
這樣，按照本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體存儲裝置的制造方法，通過例如在步驟S302和S303中，控制向處理裝置31、32、33、...、3n供給的工作電力和節(jié)省電力，可以不降低生產(chǎn)量而降低消耗電力。
(第1變形例)在本發(fā)明的實(shí)施例的第1變形例中，圖1所示的供給控制部14也可以控制電力供給裝置4以階段式地調(diào)整電力量。
供給控制部14計(jì)算到達(dá)時(shí)間和裝置的啟動(dòng)時(shí)間之差，根據(jù)所計(jì)算的時(shí)間差，供給例如工作電力的1/2或1/3倍的電力，作為節(jié)省電力。供給處理裝置31、32、33、...、3n的電力量越小，越需要恢復(fù)到工作狀態(tài)的啟動(dòng)時(shí)間。
按照本發(fā)明的實(shí)施例的第1變形例，通過階段式地調(diào)整供給處理裝置31、32、33、...、3n的電力量，可以提高電力供給的自由度，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)節(jié)電化。
(第2變形例)在本發(fā)明實(shí)施例的第2變形例中，例如，如圖4所示，處理裝置31具有多個(gè)處理部311、312、313、...。處理部311、312、313、...各個(gè)都是例如具有泵的容器。當(dāng)在批量的處理中僅使用處理部311而不使用處理部312、313、...時(shí)，可以用工作電力啟動(dòng)處理部311的泵，而用節(jié)省電力啟動(dòng)處理部312、313、...的泵。供給控制部14僅向多個(gè)處理部311、312、313、...中在批量的處理中使用的處理部311供給工作電力。另一方面，供給控制部14向未使用的處理部312、313、...供給節(jié)省電力。
按照本發(fā)明的實(shí)施例的第2變形例，通過分別地控制向多個(gè)處理部311、312、313、...的每一個(gè)供給的電力，可以提高電力供給的自由度，從而可以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)節(jié)電化。
(第3變形例)在本發(fā)明的實(shí)施例的第3變形例中，如圖5所示，CPU 1可以具有冷卻控制部16。如圖6所示，冷卻控制部16控制在處理部311、312、313、...中具有的冷卻裝置100。具體的控制的一個(gè)例子，冷卻控制部16與供給控制部14的電力供給的控制一起，根據(jù)批量的到達(dá)時(shí)間和圖1所示的處理裝置31、32、33、...、3n的啟動(dòng)時(shí)間，調(diào)節(jié)冷卻處理裝置31、32、33、...、3n的冷卻水的水量。例如，在向處理裝置31、32、33、...、3n供給節(jié)省電力時(shí)，減少對處理裝置31、32、33、...、3n的冷卻水的水量。另一方面，在向處理裝置31、32、33、...、3n供給工作電力時(shí)，增多對處理裝置31、32、33、...、3n的冷卻水的水量。
按照本發(fā)明的實(shí)施例的第3變形例，通過與電力量一起控制冷卻水的水量，可以進(jìn)一步地實(shí)現(xiàn)成本降低和環(huán)境保護(hù)。
(其他實(shí)施例)如上所述，雖然通過實(shí)施例說明了本發(fā)明，但是，不應(yīng)當(dāng)理解為構(gòu)成該公開的一部分的論述和附圖限定了本發(fā)明。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員，根據(jù)該公開，本發(fā)明的各種各樣的替換實(shí)施例、實(shí)施例和應(yīng)用技術(shù)是很清楚的。
例如，為了簡單起見，雖然以從處理裝置31、32、33、...、3n的工作狀態(tài)到成為節(jié)電狀態(tài)不需要下降時(shí)間的情況說明，但是，也可以考慮下降時(shí)間而進(jìn)行電力的切換。例如，在工作狀態(tài)時(shí)，當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間小于等于啟動(dòng)時(shí)間和下降時(shí)間之和時(shí)，維持工作電力的供給，當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間比下降時(shí)間和啟動(dòng)時(shí)間之和長時(shí)，可以從工作電力切換到節(jié)省電力。
這樣，不再討論本發(fā)明包含了在此沒有記載的各種各樣的實(shí)施形式等。因此，，本發(fā)明的技術(shù)范圍僅由根據(jù)上述說明的合適的權(quán)利要求的范圍的發(fā)明特定事項(xiàng)所決定。
以上，按照本發(fā)明的實(shí)施例，能夠提供不降低生產(chǎn)量而可以實(shí)現(xiàn)節(jié)電化的電力供給系統(tǒng)、電力供給方法和批量處理方法。
對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員，其它優(yōu)點(diǎn)和修改是容易知道的。因此，本發(fā)明不限于在此示出和描述的特定細(xì)節(jié)和具有代表性的實(shí)施例。從而，在不脫離本發(fā)明的總的發(fā)明構(gòu)思的精神或范圍的情況下，可以進(jìn)行各種修改。而本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求及等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種電力供給系統(tǒng)，包括處理裝置；向上述處理裝置供給電力的電力供給裝置；確定在上述處理裝置處理的批量的狀態(tài)的批量確定部；根據(jù)上述批量的狀態(tài)，計(jì)算上述批量從當(dāng)前位置到達(dá)上述處理裝置的到達(dá)時(shí)間的到達(dá)時(shí)間計(jì)算部；比較上述到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間的比較部；以及供給控制部，其控制上述電力供給裝置，使得當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間小于等于上述啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，向上述處理裝置供給使上述處理裝置工作的工作電力，當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間比上述啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，向上述處理裝置供給比上述工作電力小的節(jié)省電力。
2.按權(quán)利要求1所述的電力供給系統(tǒng)，其特征在于上述供給控制部根據(jù)上述到達(dá)時(shí)間與上述啟動(dòng)時(shí)間之差，階段式地調(diào)整上述節(jié)省電力。
3.按權(quán)利要求1所述的電力供給系統(tǒng)，其特征在于上述處理裝置具有多個(gè)處理部，上述供給控制部向上述處理裝置的多個(gè)處理部中處理上述批量的處理部供給上述工作電力。
4.按權(quán)利要求2所述的電力供給系統(tǒng)，其特征在于上述供給控制部向上述處理裝置的多個(gè)處理部中處理上述批量的處理部供給上述工作電力。
5.按權(quán)利要求1所述的電力供給系統(tǒng)，其特征在于上述處理裝置包括冷卻裝置；上述電力供給系統(tǒng)還包括控制上述冷卻裝置的冷卻裝置控制部，該冷卻裝置控制部根據(jù)上述批量的到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間，調(diào)節(jié)上述冷卻裝置的冷卻量。
6.一種電力供給方法，包括確定在處理裝置處理的批量的狀態(tài)；根據(jù)上述批量的狀態(tài)，計(jì)算上述批量從當(dāng)前位置到達(dá)上述處理裝置的到達(dá)時(shí)間；比較上述到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間；當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間小于等于上述啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，向上述處理裝置供給使上述處理裝置工作的工作電力；以及當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間比上述啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，向上述處理裝置供給比上述工作電力小的節(jié)省電力。
7.按權(quán)利要求6所述的電力供給方法，其特征在于上述節(jié)省電力向上述處理裝置的供給，根據(jù)上述到達(dá)時(shí)間與上述啟動(dòng)時(shí)間之差階段式地調(diào)整。
8.按權(quán)利要求6所述的電力供給方法，其特征在于上述處理裝置具有多個(gè)處理部，上述供給控制部向上述處理裝置的多個(gè)處理部中處理上述批量的處理部供給上述工作電力。
9.按權(quán)利要求7所述的電力供給方法，其特征在于上述處理裝置具有多個(gè)處理部，上述供給控制部向上述處理裝置的多個(gè)處理部中處理上述批量的處理部供給上述工作電力。
10.按權(quán)利要求6所述的電力供給方法，還包括根據(jù)上述批量的到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間，調(diào)節(jié)上述處理裝置的冷卻量。
11.一種批量處理方法，包括確定在處理裝置處理的批量的狀態(tài)；根據(jù)上述批量的狀態(tài)，計(jì)算上述批量從當(dāng)前位置到達(dá)上述處理裝置的到達(dá)時(shí)間；比較上述到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間；當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間小于等于上述啟動(dòng)時(shí)間時(shí)，向上述處理裝置供給使上述處理裝置工作的工作電力；當(dāng)上述到達(dá)時(shí)間比上述啟動(dòng)時(shí)間長時(shí)，向上述處理裝置供給比上述工作電力小的節(jié)省電力；以及使用上述處理裝置處理上述批量。
12.按權(quán)利要求11所述的批量處理方法，其特征在于上述節(jié)省電力向上述處理裝置的供給，根據(jù)上述到達(dá)時(shí)間與上述啟動(dòng)時(shí)間之差階段式地調(diào)整。
13.按權(quán)利要求11所述的批量處理方法，其特征在于上述處理裝置具有多個(gè)處理部，上述供給控制部向上述處理裝置的多個(gè)處理部中處理上述批量的處理部供給上述工作電力。
14.按權(quán)利要求12所述的批量處理方法，其特征在于上述處理裝置具有多個(gè)處理部，上述供給控制部向上述處理裝置的多個(gè)處理部中處理上述批量的處理部供給上述工作電力。
15.按權(quán)利要求11所述的批量處理方法，還包括根據(jù)上述批量的到達(dá)時(shí)間和上述處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間調(diào)節(jié)上述處理裝置的冷卻量。
全文摘要
公開了一種電力供給系統(tǒng)，該電力供給系統(tǒng)包括向處理裝置供給電力的電力供給裝置、根據(jù)批量的狀態(tài)計(jì)算批量從當(dāng)前位置到達(dá)處理裝置的到達(dá)時(shí)間的到達(dá)時(shí)間計(jì)算部、比較到達(dá)時(shí)間和處理裝置的啟動(dòng)時(shí)間的比較部和控制電力供給裝置的供給控制部。供給控制部在到達(dá)時(shí)間小于等于啟動(dòng)時(shí)間的情況下，向處理裝置供給工作電力，在到達(dá)時(shí)間比啟動(dòng)時(shí)間長的情況下，向處理裝置供給比工作電力小的節(jié)省電力。
文檔編號H01L21/02GK1920708SQ20061012651
公開日2007年2月28日 申請日期2006年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月26日
發(fā)明者古川伸一 申請人:株式會(huì)社東芝