專利名稱：一種可透光物體的在位檢測方法及檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可透光物體的檢測領(lǐng)域，尤其是可透光物體制作過程中的在位檢測方法 及檢測裝置。
背景技術(shù)：
目前，在可透光物體的制作過程中，為保證產(chǎn)品具有較高的質(zhì)量，對制作過程的可 靠性和安全性要求很高。 一般這樣的產(chǎn)品都是通過現(xiàn)代化的機械加工來完成的，在加工 過程中需要對產(chǎn)品隨時進行檢測和監(jiān)控，以保證其正常的傳輸和運轉(zhuǎn)。其中，凡是能夠 讓光線穿過后產(chǎn)生光線強度變化的物體都可以稱之為可透光物體，如半導(dǎo)體晶片。在半 導(dǎo)體晶片的制作過程中，晶片需要從片艙傳遞到反應(yīng)腔室進行工藝加工，加工完畢后， 再將晶片從反應(yīng)腔室傳遞回片艙，在這一過程中，由機械手負責對晶片進行運輸和搬 運，同時還要利用傳感器來監(jiān)測和檢査晶片的位置情況，以保證晶片在傳輸過程中的穩(wěn) 定性和可靠性，現(xiàn)在普遍采用的檢測方法有以下兩種
1) 通過光電式鏡面反射傳感器來實現(xiàn)，具體來說就是利用被測半導(dǎo)體晶片對于發(fā)射 光線的遮擋來實現(xiàn)對其在位情況的判斷，如圖1所示。當目標位置沒有半導(dǎo)體晶片2時， 光電式鏡面反射傳感器3的反射光線不被遮擋，通過反射鏡4返回光電式鏡面反射傳感器 3;而當有半導(dǎo)體晶片2存在時，發(fā)射光線被半導(dǎo)體晶片2遮擋，不能夠被反射回光電式鏡 面反射傳感器3。從而就能夠通過光電式鏡面反射傳感器3是否有光線返回來判斷是否有 半導(dǎo)體晶片存在。
2) 通過光電式對射傳感器實現(xiàn)的，具體來說是利用被測半導(dǎo)體晶片對于發(fā)射光線的 遮擋來實現(xiàn)對其在位情況的判斷，如圖2所示。當目標位置沒有半導(dǎo)體晶片2時，光電式 對射傳感器6的發(fā)射光線不被遮擋，通過發(fā)射光線可順利到達接收端5;而當有半導(dǎo)體晶 片2存在時，發(fā)射光線被半導(dǎo)體晶片2遮擋，沒有光線到達接收端5。從而通過接收端5是 否有光線到達來判斷是否有半導(dǎo)體晶片存在。
其他的可透光物體的在位檢測方法，基本上都是通過以上兩種方案來實現(xiàn)的。以上 兩種方法雖然能夠檢測可透光物體的在位情況，但當有多個可透光物體在與發(fā)射光線重 疊放置時，發(fā)射光線只是被一個可透光物體所遮擋，而其他的可透光物體則不能夠判斷 出有沒有遮擋光線，這樣就不能夠檢測出多個可透光物體的在位情況，而且以上方法只 能檢測可透光物體是否存在，當可透光物體位置傾斜時，以上方法就不能檢測。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠檢測一個或多個 可透光物體重疊放置時位置情況的方法和裝置。 本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的 一種可透光物體的在位檢測方法，具體為
A、 檢測入射光線穿過可透光物體所在的目標位置后的光線強度的變化值；
B、 根據(jù)所述的光線強度的變化值判斷可透光物體在目標位置的位置狀態(tài)。 所述的步驟A具體包括
Al、檢測入射光線穿過可透光物體所在的目標位置后的光線強度，再與入射光線的 初始光線強度比較，得出所述光線強度的變化值；或者，
A2、在沒有向目標位置放置可透光物體前，檢測入射光線穿過可透光物體所在的目
標位置后的光線強度H;在向目標位置放置可透光物體后檢測入射光線穿過可透光物體所
在的目標位置后的光線強度h，得到二者的差值H—h，則H—h為所述光線強度的變化值。 所述的入射光線可以是可見光或非可見光。
所述的步驟B具體包括
Bl、比較所述光線強度的變化值與入射光線穿過在目標位置的可透光物體之后應(yīng)有 的光線強度變化預(yù)定值；若所述光線強度的變化值與光線強度變化預(yù)定值相同，則確認 可透光物體的位置狀態(tài)正常；否則，確認可透光物體的位置狀態(tài)不正常。
所述的步驟B1進一步包括
Bll、如所述光線強度的變化值為零，則確認可透光物體未處于目標位置。
在所述步驟B之前還包括
設(shè)定光線強度變化預(yù)定值，對入射光線穿過在目標位置的可透光物體之后應(yīng)有的光 線強度變化值進行預(yù)先設(shè)定。
本發(fā)明還提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)上述可透光物體檢測方法的檢測裝置，具體為 一種可透光物體的在位檢測裝置，包括
光線發(fā)射單元，用于發(fā)出入射光線，射向當前可透光物體所在的目標位置；
光線接收處理單元，用于將檢測到的光線強度值進行處理后，判斷可透光物體在目 標位置的位置狀態(tài)。
所述的光線接收處理單元具體包括
光線接收檢測單元，用于接收穿過可透光物體所在的目標位置后的入射光線，并檢 測所接收光線的光線強度；
數(shù)據(jù)處理單元，根據(jù)所述的光線強度的變化值判斷可透光物體在目標位置的位置狀 態(tài)，并在位置狀態(tài)不正常時發(fā)出報警指令。
上述在位檢測裝置還包括
參數(shù)設(shè)定單元，用于對入射光線穿過在目標位置的可透光物體之后應(yīng)有的光線強度 變化預(yù)定值進行設(shè)定；和/或，
報警裝置，在收到數(shù)據(jù)處理單元的報警指令時，產(chǎn)生報警。 其中，所述的光線發(fā)射單元與光線接收檢測單元是光纖式對射傳感器。 由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明中的入射光線由于能夠穿透可透光 物體，則就可以檢測入射光線穿過可透光物體所在的目標位置后的光線強度的變化值， 然后通過比較所述的光線強度的變化值與預(yù)先設(shè)定的光線強度變化值，來判斷可透光物 體在目標位置的位置狀態(tài)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對多個可透光物體位置情況的檢測，從而保證 可透光物體在傳輸過程中更加的可靠和安全。


圖l所示為現(xiàn)有技術(shù)中光電式鏡面反射傳感器檢測示意圖； 圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)中光電式對射傳感器檢測示意圖3所示為本發(fā)明在位檢測方法的檢測流程圖。
圖4所示為本發(fā)明在位檢測方法的檢測示意圖5所示為本發(fā)明在位檢測方法的另一檢測示意圖6所示為本發(fā)明在位檢測裝置示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明提供了一種能夠檢測一個或多個可透光物體的在位情況的方法和裝置。
其核心是檢測入射光線穿過可透光物體所在的目標位置后的光線強度的變化值， 然后通過比較所述的光線強度的變化值與預(yù)先設(shè)定的光線強度變化值，來判斷可透光物
體在目標位置的位置狀態(tài)。
為更加清楚地描述本發(fā)明，下面結(jié)合本發(fā)明附圖對其具體實施方式
作詳細說明。如 圖3所示，其具體檢測流程為
步驟11:先通過機械手或其他的傳送裝置將被測可透光物體送入目標位置；
其中，可以將一個或多個被測可透光物體送入目標位置；
步驟12:讓入射光線射入該目標位置，并穿過被測可透光物體；
其中，所述的入射光線可以是可見光或非可見光，如紅外線、X光射線等，并且入射 光線在穿過可透光物體后能夠被檢測出來；而所說的可透光物體是指，凡是能夠讓入射 光線穿過后產(chǎn)生光線強度變化的物體，如半透明物體，或半導(dǎo)體制品等。
步驟13:對接收到的入射光線的光線強度進行檢測，所得檢測值與入射光線穿過被 測可透光物體之前光線強度值的差值，就是所述的光線強度的變化值，將所述的光線強 度的變化值與入射光線應(yīng)有的光線強度變化預(yù)定值進行比較，若所述光線強度的變化值 與應(yīng)有的光線強度變化預(yù)定值相同，則執(zhí)行步驟131;否則，執(zhí)行步驟132。
其中，在根據(jù)步驟13進行判斷之前，需要對入射光線穿過在目標位置的可透光物休 之后應(yīng)有的光線強度變化值進行預(yù)先設(shè)定，具體方法為
首先檢測初始入射光線的光線強度值為H，當有一個被測可透光物體位于目標位置， 且保證位置狀態(tài)正常時，記錄一次入射光線穿過被測可透光物體后的光線強度值H1，將ll —Hl作為第一個預(yù)先設(shè)定的光線強度變化值；同理，當有兩個被測可透光物體位于目標 位置，且保證位置狀態(tài)正常時，再次記錄下入射光線穿過被測可透光物體后的光線強度
值H2，再將H—H2作為第二個預(yù)先設(shè)定的光線強度變化值；依次類推，當有n (n>l)個被 測可透光物體位于目標位置，且保證位置狀態(tài)正常時，記錄下入射光線穿過n個被測可透 光物體后的光線強度值Hn，將H — Hn作為第n個預(yù)先設(shè)定的光線強度變化值。其中，被測 可透光物體的形狀和規(guī)格可以是任意變化的，只要保證在檢測前對其位置狀態(tài)正常時的 光線強度變化值進行了預(yù)先設(shè)定。
由于入射光線在穿過被測可透光物體后的光線強度是逐漸減弱的，所以光線強度值 的大小是H> Hl> H2……〉Hn。同時由于入射光線在穿過位置傾斜的可透光物體時所消 耗的光線強度，要比位置狀態(tài)正常時所消耗的光線強度要大，而且所消耗的光線強度值 是根據(jù)可透光物體的傾斜程度成不規(guī)則變化的，所以當入射光線穿過有位置傾斜的可透 光物體時，檢測到的光線強度值就會比位置狀態(tài)正常時的光線強度值要小，且其穿過前 后的差值是不規(guī)則變化的。
同時如遇到很多被測可透光物體重疊設(shè)置的情況時，透射后的光線過弱，已經(jīng)超出 了接收單元接收光線強度的能力，如小于某一特定值時，可以增強入射光線的光線強度 以滿足實際需求。
另外，將所述光線強度變化值與預(yù)先設(shè)定的光線強度變化值進行比較的具體方法 為假設(shè)初始光線強度檢測值為H，則當只有一個被測可透光物體位于目標位置時，檢測 入射光線穿過可透光物體所在的目標位置后的光線強度為hl，貝UH — hl就是入射光線穿過 被測可透光物體之后的光線強度變化值，這時將此光線強度變化值H — hl與預(yù)先設(shè)定的光 線強度變化值H —Hl進行比較；當兩個被測可透光物體位于目標位置時，檢測入射光線穿 過可透光物體所在的目標位置后的光線強度為h2，貝ljH — h2就是入射光線穿過被測可透光 物體之后的光線強度變化值，這時將此光線強度變化值H —h2與預(yù)先設(shè)定的光線強度變化 值H—H2進行比較；當有n (n>l)個被測可透光物體位于檢測區(qū)時，檢測入射光線穿過可 透光物體所在的目標位置后的光線強度為hn，貝ljH—hn就是入射光線穿過被測可透光物體 之后的光線強度變化值，這時將此光線強度變化值H — hn與預(yù)先設(shè)定的光線強度變化值H —Hn進行比較。若相同，則執(zhí)行步驟131;否則，則執(zhí)行步驟132。
其中，由于檢測過程中可能存在主觀或客觀因素的影響，使得檢測值存在一定的TH 負誤差，則只要是在合理范圍內(nèi)的誤差變化，都可以認為光線強度變化值與預(yù)先設(shè)定的 光線強度變化值是相同的。
步驟131:確認可透光物體的位置狀態(tài)正常；
步驟132:確認可透光物體的位置狀態(tài)不正常；
其中，若在比較過程中，存在光線強度變化值為零的情況，則可判斷入射光線并沒 有穿過被測可透光物體，從而確認被測可透光物體未處于目標位置上。
同時，若想進一步得出被測可透光物體位置狀態(tài)不正常是屬于不在位置還是位置傾
斜，則繼續(xù)執(zhí)行步驟133;
步驟133:將光線強度變化值與入射光線穿過被測可透光物體之前的預(yù)定光線強度變 化值逐一進行比較，若與其中一個值相同，則執(zhí)行步驟1331;若與其中每一個值均不相
同，則執(zhí)行步驟1332;
其中，將光線強度變化值與入射光線穿過被測可透光物體之前的預(yù)定光線強度變化
值，逐一進行比較的具體方法為當只有一個被測可透光物體位于目標位置時，入射光
線穿過被測可透光物體之前的光線強度變化值是一個特殊值o,此時就將光線強度變化值 H — hl與0進行比較，若值相同，則這種情況就是如上所述的光線強度變化值為零的情
況，就可確認被測可透光物體未處于目標位置上；若值不同，則可確認被測可透光物體 位置傾斜；當有兩個被測可透光物體位于檢測區(qū)時，就將光線強度變化值H —h2與0、 H — Hl逐一進行比較；依此類推，如有n (riM)個被測可透光物體位于檢測區(qū)時，就將光線 強度變化值H — hn與O、 H — H1、 H — H2……H — Hn^逐一進行比較。若光線強度變化值與其 中一個值相同，則執(zhí)行步驟1331;若與其中每一個值均不相同，則執(zhí)行步驟1332。
步驟1331:得出被測可透光物體至少有一個不在位的結(jié)論；
步驟1332:得出被測可透光物體至少有一個位置傾斜的結(jié)論。
本發(fā)明還提供了一種能夠?qū)崿F(xiàn)上述可透光物體檢測方法的檢測裝置，下面結(jié)合具體
的實例，對本發(fā)明所提供的檢測裝置作進一步說明
如圖4和5所示，此時有4個被測可透光物體9送入目標位置來進行檢測，光線發(fā)射單 元8能夠發(fā)射出可以穿透被測可透光物體9的光線，假設(shè)其發(fā)出的入射光線的光線強度值 為H，光線接收處理單元7包括光線接收檢測單元和數(shù)據(jù)處理單元。
如圖6所示，其中，光線接收檢測單元用于接收穿過可透光物體所在的目標位置后的 入射光線，并檢測所接收光線的光線強度；數(shù)據(jù)處理單元根據(jù)所述的光線強度的變化值 判斷可透光物體在目標位置的位置狀態(tài)，并在位置狀態(tài)不正常時發(fā)出報警指令。其中的 光線發(fā)射單元8與光線接收檢測單元可以是由光纖式對射傳感器構(gòu)成的。
上述的檢測裝置還包括
參數(shù)設(shè)定單元，用于對入射光線穿過在目標位置的可透光物體之后應(yīng)有的光線強度
變化預(yù)定值進行設(shè)定；報警裝置，在收到數(shù)據(jù)處理單元的報警指令時，產(chǎn)生報警。
在檢測之前，先在參數(shù)設(shè)定單元內(nèi)，對入射光線分別穿過4個被測可透光物體9后的 光線強度變化值進行預(yù)先設(shè)定，預(yù)先設(shè)定的方法如前所述，可得出其預(yù)定變化值依次是H 一H1、 H—H2、 H—H3、 H—H4。
然后，讓4個被測可透光物體9通過機械手進入到目標位置，光線發(fā)射單元8發(fā)出光線 強度值為H的入射光線穿過被測可透光物體9，此時光線接收處理單元7中的光線接收檢測 單元檢測到光線強度值h4。光線接收檢測單元將此光線強度值h4傳遞給光線接收處理單 元7中的數(shù)據(jù)處理單元，數(shù)據(jù)處理單元收到此光線強度值h4后，得出其與光線初始強度ll 的差值H — h4，此即為所述的光強變化值，然后將H — h4與H — H4進行比較，若值相同，則 可得出4個被測可透光物體位置狀態(tài)正常的結(jié)論，傳輸過程是正常的；若值不同，則可得 出4個被測可透光物體9位置狀態(tài)不正常的結(jié)論，傳輸過程是不正常的。
同時，若想進一步判斷4個被測可透光物體9位置狀態(tài)不正常的情況是屬于不在位置
還是屬于位置傾斜，可在數(shù)據(jù)處理單元中繼續(xù)進行如下的操作將光線強度變化值H —h4 與0、 H — H1、 H — H2、 H —H3逐一進行比較，如H — h4與其中一個值相同，則可得出4個被 測可透光物體9中至少有一個不在位的結(jié)論；如H—h4與其中每一個值均不同，則可得出4 個被測可透光物體9中至少有一個位置傾斜的結(jié)論。
數(shù)據(jù)處理單元將根據(jù)上述的比較結(jié)果進行后繼的操作，如發(fā)出停止檢測指令或報警 指令。而報警裝置在收到處理單元的報警操作指令后會發(fā)出報警信號，如發(fā)出閃爍的紅 光或黃光，以告知此時傳輸過程不正常。
通過利用以上的檢測方法和檢測裝置，不但能夠判斷單個被測可透光物體的位置狀 態(tài)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對多個可透光物體在位情況的檢測，以及判斷可透光物體是否有位置 傾斜的情況，從而保證可透光物體在傳輸過程中更加的可靠和安全。
以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替 換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保 護范圍為準。
權(quán)利要求
1、一種可透光物體的在位檢測方法，其特征在于A、檢測入射光線穿過可透光物體所在的目標位置后的光線強度的變化值；B、根據(jù)所述的光線強度的變化值判斷可透光物體在目標位置的位置狀態(tài)。
2、 如權(quán)利要求l所述的可透光物體的在位檢測方法，其特征在于，所述的步驟A具體包括Al、檢測入射光線穿過可透光物體所在的目標位置后的光線強度，再與入射光線的初始光線強度比較，得出所述光線強度的變化值；或者，A2、在沒有向目標位置放置可透光物體前，檢測入射光線穿過可透光物體所在的目 標位置后的光線強度H;在向目標位置放置可透光物體后檢測入射光線穿過可透光物體所 在的目標位置后的光線強度h,得到二者的差值H —h,貝UH — h為所述光線強度的變化值。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的可透光物體的在位檢測方法，其特征在于，所述的入射光 線可以是可見光或非可見光。
4、 如權(quán)利要求l所述的可透光物體的在位檢測方法，其特征在于，所述的步驟B具體 包括Bl、比較所述光線強度的變化值與入射光線穿過在目標位置的可透光物體之后應(yīng)有 的光線強度變化預(yù)定值；若所述光線強度的變化值與光線強度變化預(yù)定值相同，則確認 可透光物體的位置狀態(tài)正常；否則，確認可透光物體的位置狀態(tài)不正常。
5、 如權(quán)利要求4所述的可透光物體的在位檢測方法，其特征在于，所述的步驟B1進 一步包括Bll、如所述光線強度的變化值為零，則確認可透光物體未處于目標位置。
6、 如權(quán)利要求l所述的可透光物體的在位檢測方法，其特征在于，所述步驟B之前還 包括設(shè)定光線強度變化預(yù)定值，對入射光線穿過在目標位置的可透光物體之后應(yīng)有的光 線強度變化值進行預(yù)先設(shè)定。
7、 一種可透光物體的在位檢測裝置，其特征在于，包括 光線發(fā)射單元，用于發(fā)出入射光線，射向當前可透光物體所在的目標位置； 光線接收處理單元，用于將檢測到的光線強度值進行處理后，判斷可透光物體在目標位置的位置狀態(tài)。
8、 如權(quán)利要求7所述的在位檢測裝置，其特征在于，所述的光線接收處理單元具體 包括光線接收檢測單元，用于接收穿過可透光物體所在的目標位置后的入射光線，并檢 測所接收光線的光線強度；數(shù)據(jù)處理單元，根據(jù)所述的光線強度的變化值判斷可透光物體在目標位置的位置狀 態(tài)，并在位置狀態(tài)不正常時發(fā)出報警指令。
9、 如權(quán)利要求7所述的在位檢測裝置，其特征在于，還包括參數(shù)設(shè)定單元，用于對入射光線穿過在目標位置的可透光物體之后應(yīng)有的光線強度變化預(yù)定值進行設(shè)定；和/或，報警裝置，在收到數(shù)據(jù)處理單元的報警指令時，產(chǎn)生報警。
10、 如權(quán)利要求8所述的在位檢測裝置，其特征在于，所述的光線發(fā)射單元與光線接收檢測單元是光纖式對射傳感器。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種可透光物體的在位檢測方法及檢測裝置，具體是通過檢測入射光線穿過被測可透光物體后的光線強度變化值，并將其和預(yù)先設(shè)定好的光線強度變化值進行比較，從而來判斷被測可透光物體的位置狀態(tài)。通過本方法的實施能夠?qū)崿F(xiàn)對多個可透光物體位置狀態(tài)的檢測，從而保證可透光物體在傳輸過程中更加的可靠和安全。
文檔編號H01L21/66GK101202237SQ20061016505
公開日2008年6月18日 申請日期2006年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月12日
發(fā)明者張之山 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責任公司