專利名稱：一種編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具有自動(dòng)裝卸片離子注入機(jī)，特別是涉及離子注入機(jī)內(nèi)的一種編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和芯片技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，集成度越來(lái)越高，電路規(guī)模越來(lái)越大，電路中單元器件尺寸越來(lái)越小，對(duì)各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求。離子注入機(jī)作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一，也對(duì)它提出了很高的要求，要求離子注入機(jī)具有整機(jī)可靠性好、生產(chǎn)效率高、多種電荷態(tài)離子寬能量范圍注入、精確控制束注入能量精度、精確控制束純度、低塵粒污染、整機(jī)全自動(dòng)控制、注片均勻性和平行度好等多種功能和特征。由此需要解決如何精確檢測(cè)晶片數(shù)量，如何精確自動(dòng)升降和位移以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)裝卸晶片的目的。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型是一種用于離子注入機(jī)靶室晶片數(shù)量檢測(cè)、配合機(jī)械手裝卸晶片的、由編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置。該自動(dòng)升降裝置能夠使晶片在進(jìn)入靶室的過(guò)程中處于全自動(dòng)化操作狀態(tài)，達(dá)到檢測(cè)晶片數(shù)量，配合機(jī)械手自動(dòng)裝卸晶片的高標(biāo)準(zhǔn)要求。
本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置是導(dǎo)桿通過(guò)套裝在導(dǎo)桿上的端板固定在基板上，一編碼電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器與絲桿一端相連、并通過(guò)基座固定連接在基板的另一側(cè)，所述絲桿另一端通過(guò)與其螺紋配合的絲桿螺母連接在導(dǎo)桿支撐座上，所述導(dǎo)桿支撐座上還平行固定連接有導(dǎo)桿。
本實(shí)用新型還可以在所述基板上設(shè)置有與導(dǎo)桿平行的、起導(dǎo)向作用的導(dǎo)軌，在導(dǎo)桿與導(dǎo)軌中間還設(shè)置有導(dǎo)軌滑塊，所述導(dǎo)軌滑塊端面與導(dǎo)桿支撐座的端面連接，所述絲桿通過(guò)二滾珠軸承固定支承在基座上。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1.導(dǎo)桿能夠?qū)崿F(xiàn)精確的上下位移，運(yùn)動(dòng)精度在±0.1mm之內(nèi)。
2.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、可靠性高。


圖1表示本實(shí)用新型一種編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置的一個(gè)
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
如圖1所示，一種編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置，導(dǎo)桿2的一端通過(guò)端板5固定在基板3上，所述端板5套裝在導(dǎo)桿2上，所述基板3是整個(gè)裝置的骨架，一編碼電機(jī)11通過(guò)基座9固定連接在基板3的另一側(cè)，所述編碼電機(jī)11通過(guò)聯(lián)軸器10與絲桿7一端相連、所述絲桿7通過(guò)二滾珠軸承8固定支承在基座9上，以保證所述絲桿7運(yùn)行平穩(wěn)，所述絲桿7另一端通過(guò)與其螺紋配合的絲桿螺母6連接在導(dǎo)桿支撐座1上，所述導(dǎo)桿支撐座1和導(dǎo)桿2固定連接。在所述基板3上還設(shè)置有與導(dǎo)桿2平行的、起導(dǎo)向作用的導(dǎo)軌4，在導(dǎo)桿2與導(dǎo)軌4中間還設(shè)置有導(dǎo)軌滑塊12，所述導(dǎo)軌滑塊12端面與導(dǎo)桿支撐座1的端面連接。
當(dāng)編碼電機(jī)11啟動(dòng)，帶動(dòng)絲桿7旋轉(zhuǎn)，使與絲桿7螺紋配合的絲桿螺母6移動(dòng)，通過(guò)與絲桿螺母6連接一體的導(dǎo)桿座1移動(dòng)，帶動(dòng)與導(dǎo)桿座1一體的導(dǎo)桿2作上下位移，使與之相連接的晶片臺(tái)能夠精確運(yùn)動(dòng)，所述晶片臺(tái)是離子注入機(jī)中的一種能夠自動(dòng)裝卸片的晶片臺(tái)。為了防止導(dǎo)桿2下端左右擺動(dòng)，固定在導(dǎo)桿支撐座1上的導(dǎo)軌滑塊12與導(dǎo)軌4一起起到定向的作用，使導(dǎo)桿2不左右擺動(dòng)。該自動(dòng)升降裝置，能夠使晶片在進(jìn)入靶室的過(guò)程中處于全自動(dòng)化操作狀態(tài)，達(dá)到檢測(cè)晶片數(shù)量，配合機(jī)械手自動(dòng)裝卸晶片的要求。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置，其特征在于導(dǎo)桿(2)通過(guò)套裝在所述導(dǎo)桿(2)上的端板(5)固定在基板(3)上，一編碼電機(jī)(11)通過(guò)聯(lián)軸器(10)與絲桿(7)一端相連，并通過(guò)基座(9)固定連接在基板(3)的另一側(cè)，所述絲桿(7)另一端通過(guò)與其螺紋配合的絲桿螺母(6)連接在導(dǎo)桿支撐座(1)上，所述導(dǎo)桿支撐座(1)上還平行固定連接有導(dǎo)桿(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置，其特征在于在所述基板(3)上還設(shè)置有與所述導(dǎo)桿(2)平行的、起導(dǎo)向作用的導(dǎo)軌(4)，在導(dǎo)桿(2)與導(dǎo)軌(4)中間還設(shè)置有導(dǎo)軌滑塊(12)，所述導(dǎo)軌滑塊(12)端面與導(dǎo)桿支撐座(1)的端面連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置，其特征在于所述絲桿(7)通過(guò)同軸設(shè)置的二個(gè)滾珠軸承(8)固定支承在基座(9)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種由編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，該自動(dòng)升降裝置能夠使晶片在進(jìn)入靶室的過(guò)程中處于全自動(dòng)化操作狀態(tài)，達(dá)到檢測(cè)晶片數(shù)量，配合機(jī)械手自動(dòng)裝卸晶片的裝置，一導(dǎo)桿通過(guò)套裝在導(dǎo)桿上的端板固定在基板上，一編碼電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器與絲桿一端相連、并通過(guò)基座固定連接在基板的另一側(cè)，所述絲桿另一端通過(guò)與其螺紋配合的絲桿螺母連接在導(dǎo)桿支撐座上，所述導(dǎo)桿支撐座上還平行固定連接有導(dǎo)桿，導(dǎo)桿能夠?qū)崿F(xiàn)精確的上下位移，運(yùn)動(dòng)精度在±0.1mm之內(nèi)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、可靠性高。
文檔編號(hào)H01L21/265GK2890011SQ200620008178
公開日2007年4月18日 申請(qǐng)日期2006年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月17日
發(fā)明者易文杰, 彭立波, 劉仁杰, 伍三忠 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司