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      一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦激光器的制作方法

      文檔序號(hào):7217977閱讀:265來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦激光器的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及激光領(lǐng)域,尤其涉及一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器。
      背景技術(shù)
      在半導(dǎo)體泵浦的固體激光器中,一個(gè)困擾激光器生產(chǎn)商的問(wèn)題是用戶希望在較寬溫度范圍使用激光器,如野外-40℃到+80℃,同時(shí)希望所消耗的電功率較小,尤其在野外的環(huán)境中,然而半導(dǎo)體激光器輸出波長(zhǎng)隨溫度變化而變化,一般呈0.3nm/℃變化,當(dāng)LD溫度變化10℃,其中心波長(zhǎng)將變化3nm,通常激光增益介質(zhì)吸收帶寬有限,吸收帶寬較寬的Nd:YVO4,能吸收的帶寬約為8nm,即可容許不加溫控時(shí),半導(dǎo)體泵浦激光器溫度帶寬為30℃左右。若工作溫度范圍在-40℃到+80℃,就必須采用加溫度控制裝置,而在如此寬廣溫度范圍內(nèi),溫度控制器將消耗較大電功率,因此半導(dǎo)體泵浦固體激光器在野外測(cè)量等領(lǐng)域受到較大限制。

      發(fā)明內(nèi)容
      本實(shí)用新型目的是提供一種無(wú)溫度控制或較低功率功耗溫度控制的寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器。
      本實(shí)用新型目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)其包括一組數(shù)量為n個(gè)的LD、準(zhǔn)直會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)和固體激光器,其特征在于其n個(gè)LD在同一溫度T時(shí),發(fā)射中心波長(zhǎng)分別為λ1(T)、λ2(T)、……λn(T),其分別在不同工作溫度范圍T0~T1、T1~T2、T2~T3……Tn-1~Tn,有一個(gè)或數(shù)個(gè)LD達(dá)到被泵浦激光器所能允許泵浦波長(zhǎng)(λ0-Δλ/2)~(λ0+Δλ/2),λ0為激光增益介質(zhì)吸收帶寬的中心波長(zhǎng);固體激光器為一個(gè)或與LD相對(duì)應(yīng)的n個(gè)。
      本實(shí)用新型通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu),在被泵浦激光器所能允許泵浦波長(zhǎng)(λ0-Δλ/2)~(λ0+Δλ/2),都有一個(gè)或數(shù)個(gè)LD能滿足需要,如此利用不同工作溫度范圍對(duì)應(yīng)其中一個(gè)或數(shù)個(gè)LD波長(zhǎng)落在適合作泵浦波長(zhǎng)范圍的特點(diǎn),達(dá)到無(wú)需溫度控制或較低功率功耗溫度控制,即可實(shí)現(xiàn)在較寬溫度范圍內(nèi)使用半導(dǎo)體泵浦激光器的目的。


      現(xiàn)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步闡述圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖;圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例五的結(jié)構(gòu)示意圖;圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例六的結(jié)構(gòu)示意圖;圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例七的結(jié)構(gòu)示意圖;
      圖8是本實(shí)用新型實(shí)施例八的結(jié)構(gòu)示意圖;圖9是本實(shí)用新型實(shí)施例九的結(jié)構(gòu)示意圖;圖10是本實(shí)用新型實(shí)施例十的結(jié)構(gòu)示意圖;圖11是本實(shí)用新型實(shí)施例十一的結(jié)構(gòu)示意圖。
      具體實(shí)施方式
      如圖1所示,本實(shí)用新型包括n個(gè)LD1011、1012、1013……101n、準(zhǔn)直和會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)1021、1022、1023……102n和固體激光器1031、1032、1033……103n,其中n可以是兩個(gè)或兩個(gè)以上。
      n個(gè)LD1011、1012、1013……101n在同一溫度T時(shí),發(fā)射中心波長(zhǎng)分別為λ1(T)、λ2(T)、λ3(T)……λn(T),它們分別在不同的工作溫度范圍T0~T1、T1~T2、T2~T3……Tn-1~Tn狀態(tài)時(shí),有一個(gè)或數(shù)個(gè)LD達(dá)到被泵浦激光器所能允許的泵浦波長(zhǎng)范圍(λ0-Δλ/2)~(λ0+Δλ/2)(λ0為激光增益介質(zhì)吸收帶寬的中心波長(zhǎng));準(zhǔn)直會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)1021、1022、1023……102n是由準(zhǔn)直和聚焦系統(tǒng)構(gòu)成;固體激光器1031、1032、1033……103n可以是分立的固體激光器,亦可是微片激光器,它可以實(shí)現(xiàn)基波輸出,亦可以是腔內(nèi)倍頻或多次諧波輸出的激光器。一般來(lái)說(shuō),LD的中心波長(zhǎng)隨溫度的變化數(shù)為Δλ/℃,如果激光增益介質(zhì)吸收帶寬為Δn,則允許單個(gè)LD工作溫度為Δn/Δλ,若工作所需溫度范圍為ΔT,則設(shè)置數(shù)量N>ΔT/(Δn/Δλ)的LD,以保證在不同的工作溫度范圍內(nèi),有N個(gè)(N≥1)LD輸出的激光波長(zhǎng)在激光增益材料所需吸收泵浦光波長(zhǎng)范圍之內(nèi),實(shí)現(xiàn)固體激光器1031、132……103n激光輸出。
      如圖2所示,n個(gè)LD分別通過(guò)光纖耦合合成n個(gè)光纖束或耦合到同一光纖104,在不同的工作溫度范圍內(nèi)不同的LD輸出的泵浦光經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直和會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)102、固體激光器103后,實(shí)現(xiàn)激光輸出。
      如圖3所示,本結(jié)構(gòu)包括n個(gè)LD1011、1012、1013……101n、準(zhǔn)直和會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)102和固體激光器103,準(zhǔn)直和會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)102由一組準(zhǔn)直器系統(tǒng)1021′、1022′、1023′……102n′和會(huì)聚透鏡102″組成,其工作原理同實(shí)施例一。
      如圖4所示,陣列LD101有n個(gè)LD芯片,各芯片性質(zhì)同實(shí)施例之一,準(zhǔn)直和會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)102將泵浦光準(zhǔn)直會(huì)聚到微片激光器103′上,實(shí)現(xiàn)微片激光器103′的激光輸出。
      如圖5所示,微片激光器103′可直接貼近陣列LD101。
      當(dāng)要求輸出光在同一位置時(shí),對(duì)于不同的激光系統(tǒng),可以如圖6、圖7、圖8和圖9所示,采用不同的棱鏡系統(tǒng)、光學(xué)平片或全反射鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)。
      如圖6所示,兩個(gè)LD1011、1012有一定波長(zhǎng)間隔,分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)準(zhǔn)直透鏡1021、1022,通過(guò)偏振分束棱鏡(PBS棱鏡)105和會(huì)聚透鏡106,泵浦微片激光器103′,構(gòu)成雙LD寬溫度泵浦固體激光器。
      如圖7所示,如實(shí)施例一、實(shí)施例4和實(shí)施例5的結(jié)構(gòu)所輸出的一組平行激光束,采用一組由1071、1072、1073……107n斜方棱鏡所組成的斜方棱鏡系統(tǒng)107可分別將不同位置輸出的激光從同一位置輸出。
      圖8所示的結(jié)構(gòu)原理同實(shí)施例七,采用平行平片系統(tǒng)108代替斜方棱鏡系統(tǒng)107。
      如圖9所示,在各輸出光的位置設(shè)置一對(duì)全反射鏡109、109′將不同位置輸出的激光歸一到同一位置,亦可采用固定部分反射鏡的方式使部分光束合束在同一光路。
      本實(shí)用新型在具體運(yùn)用時(shí),如圖10所示,陣列LD101由三個(gè)LD芯片1011′、1012′和1013′構(gòu)成,LD芯片每度變化0.3nm。LD芯片1011′在20℃時(shí)中心波長(zhǎng)為796nm;LD芯片1012′在20℃中心波長(zhǎng)為802nm;LD芯片1013′在20℃中心波長(zhǎng)為817nm。微片激光器103′為由Nd:YVO41031′和KTP1032′構(gòu)成的微片式腔內(nèi)倍頻激光器。平行平片108為平行平片玻璃,當(dāng)其轉(zhuǎn)動(dòng)到不同角度,將使LD芯片1011′、LD芯片1012′、LD芯片1013′泵浦產(chǎn)生的激光在相同位置輸出。
      一般來(lái)說(shuō),LD在802nm-814nm(即12nm范圍)內(nèi)工作,微片激光器103′可無(wú)需溫控,處在正常工作狀態(tài),也就是說(shuō)LD芯片1011′在39℃~74℃溫度范圍內(nèi)、LD芯片1012′在2℃~38℃溫度范圍內(nèi)、LD芯片1013′在-34℃~2℃內(nèi)范圍內(nèi),其發(fā)射出光波長(zhǎng)為802nm-814nm,這樣LD芯片1011′、LD芯片1012′、LD芯片1013′總體工作溫度范圍為-34℃~74℃。
      圖11所示的實(shí)施例十一,其基本原理同實(shí)施例十,不同的是陣列LD由兩個(gè)發(fā)光芯片1011′、1012′構(gòu)成,微片激光器103′為偏振高消光比輸出微片,發(fā)光芯片1012′泵浦輸出光通過(guò)1/2波片110,偏振方向轉(zhuǎn)動(dòng)90°,雙偏振分束棱鏡111可將輸出光合束在同一光路上,這樣發(fā)光芯片1011′或發(fā)光芯片1012′工作時(shí)輸出光方向不變。
      采用以上結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體泵浦綠光激光器可以不需溫控工作在-34℃~74℃近100度工作范圍,這樣大大拓寬半導(dǎo)體泵浦綠光激光器應(yīng)用范圍。
      本實(shí)用新型的每個(gè)LD也可采用溫度控制器控制其工作溫度范圍,但每個(gè)LD工作時(shí),溫控器僅需在對(duì)應(yīng)LD工作溫度范圍內(nèi)進(jìn)行溫控,這樣可有效避免大范圍溫控,從而使溫控所需功耗下降到最低。
      權(quán)利要求1.一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,包括一組數(shù)量為n個(gè)的LD、準(zhǔn)直會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)和固體激光器,其特征在于其n個(gè)LD在同一溫度T時(shí),發(fā)射中心波長(zhǎng)分別為λ1(T)、λ2(T)、……λn(T),其分別在不同工作溫度范圍T0~T1、T1~T2、T2~T3……Tn-1~Tn,有一個(gè)或數(shù)個(gè)LD達(dá)到被泵浦激光器所能允許泵浦波長(zhǎng)(λ0-Δλ/2)~(λ0+Δλ/2),λ0為激光增益介質(zhì)吸收帶寬的中心波長(zhǎng);固體激光器為一個(gè)或與LD相對(duì)應(yīng)的n個(gè)。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其特征在于該固體激光器是微片激光器,該微片激光器為一個(gè)整體式微片激光器或與LD相對(duì)應(yīng)的n個(gè)分立腔式微片激光器。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其特征在于其LD是有n個(gè)LD芯片的陣列LD,該n個(gè)LD芯片在同一溫度T時(shí),發(fā)射中心波長(zhǎng)分別為λ1(T)、λ2(T)、……λn(T),其分別在不同工作溫度范圍T0~T1、T1~T2、T2~T3……Tn-1~Tn,有一個(gè)或數(shù)個(gè)LD芯片達(dá)到被泵浦激光器所能允許泵浦波長(zhǎng)(λ0-Δλ/2)~(λ0+Δλ/2)。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其特征在于其固體激光器直接貼近陣列LD設(shè)置。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其特征在于其LD由光纖耦合合成光纖束。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其特征在于其在各輸出光的位置分別設(shè)置斜方棱鏡、偏振分束棱鏡、平行平片或一對(duì)全反射鏡將不同輸出位置的輸出光從同一位置輸出,或者固定部分全反射鏡使部分光束合束到同一位置輸出。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其特征在于其在各泵浦光的位置設(shè)置偏振分束棱鏡將不同輸出位置的泵浦光合束到從同一泵浦光位置。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其特征在于每個(gè)LD采用溫度控制器控制其工作溫度范圍。
      專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種寬溫度范圍的半導(dǎo)體泵浦的激光器,其包括一組數(shù)量為n個(gè)的LD、準(zhǔn)直會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)和固體激光器,其特征在于其n個(gè)LD在同一溫度T時(shí),發(fā)射中心波長(zhǎng)分別為λ
      文檔編號(hào)H01S5/00GK2872683SQ20062007089
      公開(kāi)日2007年2月21日 申請(qǐng)日期2006年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月21日
      發(fā)明者吳礪 申請(qǐng)人:吳礪
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