專利名稱：一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型具體涉及一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路或TFT-LCD制造過(guò)程中，一般多會(huì)通過(guò)曝光顯影及蝕刻的流程進(jìn)行相關(guān)電路的制造，其原理主要是在單晶硅圓片或玻璃基板上的絕緣體層或?qū)щ娊饘賹由暇鶆蚋采w或涂敷一種包括聚合物樹脂，感光化合物與溶劑所組成的光阻劑。
完成光阻劑覆蓋或涂敷的單晶硅圓片或玻璃基板，經(jīng)過(guò)加溫烘焙使溶劑蒸發(fā)之后，選擇性曝露于某些形式的輻射下，比如紫外線、電子或X射線；曝露過(guò)的單晶硅圓片或玻璃基板經(jīng)熱烤后，熱烤單晶硅圓片或玻璃基板顯影產(chǎn)生所預(yù)期的圖案，顯影的單晶硅圓片或玻璃基板再以蝕刻脫除絕緣體層或?qū)щ娊饘賹?，并移去余留的光阻劑層，使微小圖案移轉(zhuǎn)到單晶硅圓片或玻璃基板表面上。
生產(chǎn)加工設(shè)備涂布光阻劑的自動(dòng)化作業(yè)，必須通過(guò)相關(guān)的輸送回路將光阻劑輸送至生產(chǎn)加工設(shè)備處，如圖1所示，現(xiàn)用的光阻劑輸送回路主要是在用以盛裝光阻劑的原料供應(yīng)瓶10處設(shè)有一個(gè)第一管路61以及一個(gè)第二管路62，利用第一管路61與惰性氣體(如氮?dú)?供應(yīng)源聯(lián)結(jié)，利用第二管路62與儲(chǔ)存器20、泵30以及生產(chǎn)加工設(shè)備40聯(lián)結(jié)。
在化學(xué)原料開始供應(yīng)的前置作業(yè)中，利用惰性氣體將原料供應(yīng)瓶10中的化學(xué)原料推送進(jìn)入第二管路62，并且在儲(chǔ)存器20及排放管21的作用下，使第二管路62內(nèi)部的空氣排出，待第二管路62完全充滿光阻劑時(shí)，即可在泵30或惰性氣體的作用下將光阻劑推送至生產(chǎn)加工設(shè)備40處，泵30則依照實(shí)際加工作業(yè)的需求，設(shè)定在既定的時(shí)間或某一個(gè)加工步驟自動(dòng)排放一定量的光阻劑。
為了能使原料供應(yīng)瓶10處于封閉狀態(tài)，以利于惰性氣體將化學(xué)原料推送到第一管路61中，如圖2所示，目前用原料供應(yīng)瓶10在其瓶蓋11處設(shè)有一個(gè)供第一管路61接續(xù)的氣壓接頭111，和一個(gè)供第二管路62接續(xù)的原料輸出接頭112，除此之外并無(wú)任何可供化學(xué)原料輸入的構(gòu)造，因此所排放的光阻劑只能經(jīng)泵30前端的排放口直接排放到廢液筒50內(nèi)，當(dāng)成廢料處理，不但造成光阻劑的浪費(fèi)，而且還增廢液的處理費(fèi)用。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的旨在提供可供原料即時(shí)回流的一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，包括瓶蓋上設(shè)有的氣壓接頭和原料輸出接頭，其特征在于在瓶蓋上設(shè)置一個(gè)原料回流接頭。
所述的原料輸出接頭處設(shè)有延伸至原料供應(yīng)瓶?jī)?nèi)的吸管。
所述的氣壓接頭為高壓管接頭。
所述的原料輸出接頭為高壓管接頭。
所述的原料回流接頭為高壓管接頭。
本實(shí)用新型在原料供應(yīng)瓶瓶蓋上另外設(shè)置一個(gè)原料回流接頭，該原料回流接頭聯(lián)結(jié)到泵的排放口；在操作時(shí)，通過(guò)泵或惰性氣體將化學(xué)原料推送至生產(chǎn)加工設(shè)備處，待原料供應(yīng)系統(tǒng)到達(dá)停止供應(yīng)化學(xué)原料的設(shè)定狀態(tài)時(shí)，可通過(guò)泵即時(shí)將化學(xué)原料回送到原料供應(yīng)瓶，將化學(xué)原料回收再利用，不但降低化學(xué)原料的成本、廢料回收的費(fèi)用，還減少對(duì)環(huán)境的危害。

圖1為現(xiàn)用化學(xué)原料供應(yīng)回路圖；圖2為現(xiàn)用原料供應(yīng)瓶瓶蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型所述瓶蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4位本實(shí)用新型的應(yīng)用的化學(xué)原料供應(yīng)回路圖。
具體實(shí)施方式如圖3和圖4所示，用以盛裝化學(xué)原料的原料供應(yīng)瓶10的瓶蓋11處，除了設(shè)有一個(gè)供第一管路61接續(xù)的氣壓接頭111，和一個(gè)供第二管路62接續(xù)的原料輸出接頭112之外，還設(shè)有一個(gè)原料回流接頭113供一個(gè)第三管路63接續(xù)，可通過(guò)第三管路63聯(lián)結(jié)泵30的排放口。
其中，第一管路61與惰性氣體(如氮?dú)?供應(yīng)源聯(lián)結(jié)，第二管路62與儲(chǔ)存器20、泵30以及生產(chǎn)加工設(shè)備40聯(lián)結(jié)，氣壓接頭111、原料輸出接頭112以及原料回流接頭113為高壓管接頭，使其能夠承受原料供應(yīng)系統(tǒng)施加在原料供應(yīng)瓶10上的工作壓力，在輸出管接頭112處設(shè)有延伸至原料供應(yīng)瓶底部的吸管。
在化學(xué)原料開始供應(yīng)的前置作業(yè)，可利用惰性氣體將原料供應(yīng)瓶10中的化學(xué)原料推送進(jìn)入第二管路62，并且在儲(chǔ)存器20及排放管21作用下，將第二管路62內(nèi)部的空氣排出，待第二管路62完全充滿化學(xué)原料時(shí)，即可在泵30或惰性氣體的作用下將化學(xué)原料推送至生產(chǎn)加工設(shè)備40處。
泵30在既定的時(shí)間或某一個(gè)加工步驟自動(dòng)排放化學(xué)原料，以排除化學(xué)原料內(nèi)的氣泡時(shí)，即可通過(guò)泵30將化學(xué)原料經(jīng)第三管路63以及原料回流接頭113即時(shí)回送到原料供應(yīng)瓶10，將化學(xué)原料回收再利用，達(dá)到降低化學(xué)原料成本、廢料回收費(fèi)用以及減少環(huán)境危害的目的。
在具體實(shí)施時(shí)，可以在與原料回流接頭113連接的管路上設(shè)置閥門，此閥門可以是手動(dòng)閥門，便于使用者控制化學(xué)原料回送的時(shí)機(jī)；當(dāng)然，閥門也可以為電動(dòng)閥門，由相關(guān)的控制電路操控化學(xué)原料回送的時(shí)機(jī)；也可以不設(shè)置閥門，通過(guò)設(shè)定泵與惰性氣體啟動(dòng)的時(shí)間差，達(dá)到操控化學(xué)原料回送的目的。
權(quán)利要求1.一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，包括瓶蓋上設(shè)有的氣壓接頭和原料輸出接頭，其特征在于在瓶蓋上設(shè)置一個(gè)原料回流接頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，其特征在于所述的原料輸出接頭處設(shè)有延伸至原料供應(yīng)瓶?jī)?nèi)的吸管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，其特征在于所述的氣壓接頭為高壓管接頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，其特征在于所述的原料輸出接頭為高壓管接頭。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，其特征在于所述的原料回流接頭為高壓管接頭。
專利摘要本實(shí)用新型具體涉及一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，包括瓶蓋上設(shè)有的氣壓接頭和原料輸出接頭，其特征在于在瓶蓋上設(shè)置一個(gè)原料回流接頭。本實(shí)用新型在原料供應(yīng)瓶瓶蓋上設(shè)置一個(gè)原料回流接頭，可通過(guò)泵即時(shí)將工作過(guò)程中推送出的化學(xué)原料回收再利用，不但降低化學(xué)原料的成本、廢料回收的費(fèi)用，還減少對(duì)環(huán)境的危害。
文檔編號(hào)H01L21/00GK2935213SQ20062012456
公開日2007年8月15日 申請(qǐng)日期2006年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月3日
發(fā)明者蔡明倫 申請(qǐng)人:蔡明倫