專利名稱：堆垛器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在液晶顯示器或半導(dǎo)體器件等制造工藝中，暫時
保管工序等待中的盒式存儲器、正面開口的標(biāo)準(zhǔn)盒(Front Opening Unified Pod (FOUP))等的堆垛器。
背景技術(shù)：
作為這種堆垛器，已有如專利文獻1所公開的結(jié)構(gòu)。其結(jié)構(gòu)如本 申請的圖9所示，堆垛器IO的主要結(jié)構(gòu)具有，架12、堆垛升降器27、 小舟14以及外壁15等。堆垛升降器27的主要結(jié)構(gòu)具有，轉(zhuǎn)載機械手 20、 一對支柱25、 一對工作臺升降裝置26、 一組車輪29以及一對軌 道28。另外，上述轉(zhuǎn)載機械手20包括，底座21、旋轉(zhuǎn)工作臺22、懸 臂23以及夾片器24。架12配置于堆垛升降器27的兩側(cè)，用以裝載 保管收納了液晶顯示器用玻璃襯底或半導(dǎo)體器件用硅襯底等的盒式存 儲器11。
在該結(jié)構(gòu)中，向堆垛器10搬入盒式存儲器11進行如下。即，未 圖示的搬運臺車裝載盒式存儲器11到達小舟14，使用搬運臺車裝備 的轉(zhuǎn)載裝置將盒式存儲器11裝載于小舟14上。接著，裝載在小舟14 上的盒式存儲器11，借助安裝于堆垛升降器27上所配備的轉(zhuǎn)載機械 手20上未圖示的系統(tǒng)控制器搬運到所指示的架位置，并裝載于該架 12上。另外，從堆垛器10搬出盒式存儲器11 (從架12取出盒式存儲 器11并轉(zhuǎn)載于搬運臺車的操作)按照與上述相反的步驟進行。
日本專利文獻1:特開2005—277326號公報另外，專利文獻2公開了其它結(jié)構(gòu)的堆垛器，在該專利文獻2中， 其結(jié)構(gòu)是，制成與堆垛器內(nèi)部架結(jié)構(gòu)相同的貯存箱，通過傳送帶搬入 搬出設(shè)置于堆垛器內(nèi)部所設(shè)置的堆料機兩側(cè)的一對小舟，設(shè)置于堆垛 器內(nèi)的一臺堆垛機械手，將盒式存儲器搬入搬出該貯存箱的架，并在 配置于堆垛機械手兩側(cè)的堆垛器一側(cè)對這些自貯存箱搬入搬出的該盒 式存儲器進行搬入搬出。
日本專利文獻2:特開2003_163250號公報
但是，在上述專利文獻1和2的堆垛器中，堆垛機械手構(gòu)成為向 配置于堆垛升降器兩側(cè)的架進行盒式存儲器的搬入搬出，因此，必須 具備至少180°的旋轉(zhuǎn)功能(圖9的結(jié)構(gòu)中為旋轉(zhuǎn)工作臺22)。例如， 在被搬運物為液晶顯示器用的玻璃襯底時，被搬運物的盒式存儲器重 量變成幾百公斤以上，需要較大的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩進行機械手的旋轉(zhuǎn)。因而， 用于實現(xiàn)此的驅(qū)動源大型化、大重量化，就成了堆垛升降器的小型化、 輕量化的障礙了。
而且，伴隨裝置的大型化、大重量化，裝置的操作速度也容易遲 緩，想要避免發(fā)生這種情況則需要進一步地增強驅(qū)動力，反而陷入驅(qū) 動源大型化、大重量化的矛盾中。因而，基于現(xiàn)有技術(shù)延伸制造的大 型化裝置，無法避免裝置運轉(zhuǎn)效率的降低。
發(fā)明內(nèi)容
本申請發(fā)明就是鑒于上述問題而作出的發(fā)明，其目的在于提供一 種在搬運大型液晶襯底等盒式存儲器時，避免堆垛升降器的大型化、 大重量化，而且轉(zhuǎn)載速度快、作業(yè)效率高的堆垛器。
本發(fā)明想要解決的問題如上所述，以下說明用于解決該問題的方 法與其效果。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種如下構(gòu)成的堆垛器。即，該堆 垛器具有可保管多個沿垂直方向以及水平方向排列的被搬運物的保管
架，而且還具有，與上述保管架平行敷設(shè)的軌道；可在該軌道上行駛 的堆垛升降器；以及用于對堆垛器將被搬運物進庫出庫的小舟。該堆 垛升降器具有，具備沿垂直方向升降自如的工作臺，和設(shè)置于該工作
臺上并與上述保管架對置而且進退自如的線性滑動夾板的轉(zhuǎn)載裝置； 以及從該轉(zhuǎn)載裝置承接上述被搬運物遞給上述小舟的滾筒式傳送帶。
這樣在堆垛升降器的轉(zhuǎn)載裝置中，采用線性滑動夾板以節(jié)省旋轉(zhuǎn) 功能，就可以實現(xiàn)小型化、輕量化，同時可以使運行輕快，并可以縮 短進庫出庫操作的時間。而且，即使在將小舟配置于保管架的相反側(cè) 時，也可以通過滾筒式傳送帶與小舟遞交被搬運物。因而，也能夠發(fā) 揮與專利文獻1所示的具有旋轉(zhuǎn)功能的轉(zhuǎn)載裝置實質(zhì)上相同的效果。
至于上述的堆垛器，優(yōu)選的是上述堆垛升降器的轉(zhuǎn)載裝置可構(gòu)成 為，使上述線性滑動夾板的被搬運物裝載面下降至低于上述滾筒式傳 送帶的滾筒上面的位置。
借助該結(jié)構(gòu)，只要簡單地將轉(zhuǎn)載裝置下降就能夠讓滾筒式傳送帶 承接被搬運物，因此，可以實現(xiàn)更加簡單的結(jié)構(gòu)。而且，能夠快速地 自轉(zhuǎn)載裝置向傳送帶轉(zhuǎn)運被搬運物，從而能夠進一步地縮短被搬運物 的進庫出庫所需的時間。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種如下構(gòu)成的堆垛器。即，該堆 垛器具有可保管多個沿垂直方向以及水平方向排列的被搬運物的保管
架，而且還具有，與上述保管架平行敷設(shè)的軌道；可在該軌道上行駛 的多個堆垛升降器；以及用于對堆垛器將被搬運進庫出庫的小舟?？?以認(rèn)為，上述軌道以構(gòu)成相互平行且相鄰的多條行駛路線的方式進行 鋪設(shè)，同時上述多個堆垛升降器可相互獨立地在各自行駛路線上行駛。 上述保管架配置于上述多條行駛路線的兩側(cè)。上述堆垛升降器分別具有，具備沿垂直方向升降自如的工作臺，和設(shè)置于該工作臺上并與上 述保管架對置且進退自如的線性滑動夾板的轉(zhuǎn)載裝置；以及從該轉(zhuǎn)載 裝置承接上述被搬運物遞給上述小舟的滾筒式傳送帶。在一條上述行 駛路線上行駛的堆垛升降器的線性滑動夾板的配設(shè)方向和在與其相鄰 的上述行駛路線上行駛的堆垛升降器的線性滑動夾板的配設(shè)方向是相 反的。
在該結(jié)構(gòu)中，也可在堆垛升降器的轉(zhuǎn)載裝置中采用線性滑動夾板， 以節(jié)省旋轉(zhuǎn)功能，因此，可以實現(xiàn)小型化、輕量化，而且可以使運行 輕便，并可以縮短進庫出庫操作的時間。而且，即使將小舟配置于保 管架的相反側(cè)時，也可以簡單地用滾筒式傳送帶與小舟遞交被搬運物。 進而，可以提供收容能力高，進庫出庫所需的時間短，設(shè)備成本廉價 的堆垛器。
在上述的堆垛器中，優(yōu)選的是上述堆垛升降器的轉(zhuǎn)載裝置可構(gòu)成 為，使上述線性滑動夾板的被搬運物裝載面下降至低于上述滾筒式傳 送帶的滾筒頂面的位置。
借助該結(jié)構(gòu)，只要簡單地將轉(zhuǎn)載裝置下降就能夠讓滾筒式傳送帶 承接被搬運物，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)更加簡單的結(jié)構(gòu)。而且，能夠快速地 自轉(zhuǎn)載裝置向滾筒式傳送帶遞交被搬運物，從而能夠進一步地縮短被 搬運物的進庫出庫所需的時間。
圖1為表示本發(fā)明一個實施方式所涉及的堆垛器的整體性結(jié)構(gòu)的 上方立體圖。
圖2為表示堆垛升降器的滾筒式傳送帶部的運行說明的主要部分 側(cè)面剖視圖。
圖3為表示為了出庫而用線性滑動夾板叉起并引入盒式存儲器的 姿態(tài)的說明圖，圖3(A)為主視圖，圖3 (B)為側(cè)面剖視圖。圖4A為表示使引入堆垛升降器的盒式存儲器下降的姿態(tài)的主視圖。
圖4B為表示使引入堆垛升降器的盒式存儲器下降的姿態(tài)的側(cè)面
剖視圖。
圖5A為表示將盒式存儲器自轉(zhuǎn)載裝置接到滾筒式傳送帶上的姿 態(tài)的主視圖。
圖5B為表示將盒式存儲器自轉(zhuǎn)載裝置接到滾筒式傳送帶上的姿 態(tài)的側(cè)面剖視圖。
圖6A為表示自傳送帶向傳送小舟遞交盒式存儲器的姿態(tài)的主視圖。
圖6B為表示自傳送帶向傳送小舟遞交盒式存儲器的姿態(tài)的側(cè)面 剖視圖。
圖7為表示其它結(jié)構(gòu)的堆垛器的俯視圖。
圖8為表示圖7的堆垛器的又一改變例的俯視圖。
圖9為表示現(xiàn)有堆垛器結(jié)構(gòu)的上方立體圖。
標(biāo)號說明
堆垛升降器
6堆垛器
7架主體(保管架)
17傳送小舟(小舟)
18串式小舟
28軌道
32升降架(工作臺)
33線性滑動夾板
34傳送平臺(滾筒式傳送帶)
36轉(zhuǎn)載裝置
具體實施例方式
說明本發(fā)明的實施方式。圖1為表示本發(fā)明一個實施方式所涉及的堆垛器的整體性結(jié)構(gòu)的上方立體圖，圖2為表示堆垛升降器的傳送 帶部的運行說明的主要部分側(cè)面剖視圖。
在圖1中，本實施方式的堆垛器6的主要結(jié)構(gòu)具有，保管架的架
主體7、堆垛升降器5、傳送小舟(小舟)17以及軌道28。架主體7 配置于軌道28的一側(cè)，傳送小舟17與架主體7—起夾住軌道28，并 配置于其對向位置。
架主體7具有設(shè)有凹口 38的擱片12和堆垛器外壁15，可保管多 個沿垂直方向以及水平方向排列的盒式存儲器(被搬運物)35。
軌道28構(gòu)成為，與架主體7平行地鋪設(shè)一對兩條軌道，從而使一 臺上述堆垛升降器5可以在該軌道28上行駛。該堆垛升降器5的主要 結(jié)構(gòu)具有，轉(zhuǎn)載裝置3、傳送平臺(滾筒式傳送帶)34、支柱37以及 車輪29。
另外，傳送小舟17為用于將上述盒式存儲器35對堆垛器6進庫 出庫的結(jié)構(gòu)，具有小舟框架13與滾筒16。滾筒16構(gòu)成為，以適當(dāng)?shù)?間隔配設(shè)多個，并可通過未圖示的電動機進行驅(qū)動。
上述轉(zhuǎn)載裝置36具有，升降架(工作臺)32、線性滑動夾板33 以及工作臺升降裝置26。升降架32構(gòu)成為，通過工作臺升降裝置26 沿垂直方向升降自如。線性滑動夾板33構(gòu)成為，設(shè)置在上述升降架 32上，而且相對于保管架(架主體7)突出的部分，既可伸長又可退 縮。而且，該線性滑動夾板33設(shè)置成相對于上述升降架32不能旋轉(zhuǎn)， 因此，使其無法向遠離架主體7的方向推進。在線性滑動夾板33的頂 端部的上表面，構(gòu)成可裝載上述盒式存儲器35的裝載面。
另外，傳送平臺34為用于從上述轉(zhuǎn)載裝置36承接盒式存儲器35 繼而遞給傳送小舟17的結(jié)構(gòu)，該傳送平臺34具有，設(shè)置于堆垛升降器5下部的上方敞開形狀的傳送機架31，和支撐于該傳送機架31上
旋轉(zhuǎn)自如的多個滾筒30。該滾筒30,其頂面的高度要設(shè)置成與上述傳 送小舟17的滾筒16頂面的高度一致。 一般，可用未圖示的電動機驅(qū) 動滾筒30，從而能夠沿著上述線性滑動夾板33伸縮的方向(更具體 而言，為線性滑動夾板33的退避方向)轉(zhuǎn)移滾筒30上所裝載的盒式 存儲器35。
傳送平臺34構(gòu)成對上述升降架32以及線性滑動夾板33互不干涉 的形狀。即，在傳送平臺34的傳送機架31的側(cè)壁部上，形成有能夠 容納構(gòu)成了框體狀的升降架32的間隙部，而且在側(cè)壁部之間，形成有 可收容上述線性滑動夾板33的空間。
接著，利用圖3 圖6說明堆垛升降器5中的傳送平臺34的功能。 需要加以說明的是，在圖3 圖6的各個圖中，(A)表示主視圖，(B) 表示側(cè)面剖視圖。
圖3示出了自架12取出盒式存儲器35，然后將要使線性滑動夾 板33退縮的情況。如果線性滑動夾板33退避完了，則如圖4所示， 盒式存儲器35、線性滑動夾板33會位于升降架32的正上方。其次， 堆垛升降器5使工作臺升降裝置26動作而使升降架32下降。升降架 32以及線性滑動夾板33同上述一樣，其構(gòu)成對傳送平臺34不會造成 干涉，因此升降架32從上向下可穿過傳送平臺34，進入、下降至傳 送平臺34的底部(嚴(yán)格地說，就是上述傳送機架31的內(nèi)部)。
如果線性滑動夾板33在裝載了盒式存儲器35的狀態(tài)下，進入、 下降至傳送平臺34的底部，則如圖5所示，盒式存儲器35被叉放于 傳送平臺34的滾筒30上，并留在滾筒30上。接著，傳送平臺34旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動支撐于傳送機架31的滾筒30,將盒式存儲器35輸送到與傳送 平臺34相鄰而且相對的傳送小舟17上(圖6以及圖2)。在盒式存 儲器35轉(zhuǎn)移到傳送平臺34的升降工作區(qū)域以外的時刻，傳送平臺34就能升降自如了。
另外，如圖7俯視圖所示的堆垛器6，為與圖l基本上相同的結(jié) 構(gòu)，但在以下方面與圖1的結(jié)構(gòu)有所不同在共同的軌道28上設(shè)置有 多臺(三臺)堆垛升降器5，除傳送小舟17以外還具有三個與架主體
7相鄰的串式小舟18。串式小舟18是液晶制造裝置8在將盒式存儲器 35對堆垛器6直接進庫出庫時使用的小舟。
該串式小舟1 8設(shè)置于與架主體7相同一側(cè)，用轉(zhuǎn)載裝置36的線 性滑動夾板33，在與堆垛升降器5之間進行盒式存儲器35傳遞。例 如，只要在串式小舟18上設(shè)置與上述架12相同的凹口 38，就能夠在 線性滑動夾板33與串式小舟18之間進行盒式存儲器35的傳遞。而且， 液晶制造裝置8的串式小舟18為銜接堆垛器6與液晶制造裝置8的小 舟，也可以考慮用滾筒式傳送帶直接連接或者經(jīng)由搬運機械手加以銜 接。
接著，說明對圖1與圖7所示堆垛器6的架12進行盒式存儲器 35的入庫動作與出庫動作。
說明入庫動作時，首先，在圖1等所示的傳送小舟17上，裝載有 通過未圖示的無人搬運臺車或者升降機等其它搬運裝置搬運來的盒式 存儲器35。假設(shè)，堆垛升降器5行駛至傳送小舟17的對向位置并停 止，同時使升降架32下降至升降范圍的下限。此時，如圖2所示，傳 送小舟17的滾筒16頂面的高度與傳送平臺34的滾筒30頂面高度大 致一致。
其次，驅(qū)動傳送小舟17的滾筒16與堆垛升降器5的傳送平臺34 的滾筒30，使裝載于傳送小舟17上的盒式存儲器35轉(zhuǎn)移到堆垛升降 器5的傳送平臺34上。使用安裝于傳送平臺34的未圖示的傳感器檢 測轉(zhuǎn)移完了的情況，通過該傳感器，盒式存儲器35得以在傳送平臺34上正確地定位。
接著，堆垛升降器5使升降架32從下限位置開始上升，此時，通 過與升降架32—體上升的線性滑動夾板33叉出傳送平臺34上裝載的 盒式存儲器35，然后，堆垛升降器5在軌道28上沿著架12水平移動， 同時上升升降架32，并在使裝載裝置36與目標(biāo)的架位置相對的狀態(tài) 下使其停止。
堆垛升降器5停止后，轉(zhuǎn)載裝置36仍然保持在線性滑動夾板33 載置盒式存儲器35，并使夾板伸長至架12的裝載位置，而且定位夾 板頂端部(即，盒式存儲器35)。接著，如果稍微下降升降架32，則 夾板的頂端部會向下方穿過上述凹口 38，靠近架面的夾板頂端部頂面 變低，同時將盒式存儲器35叉放于架12，從而將其留在架12上。通 過以上動作，堆垛器6收納完了盒式存儲器35，然后，堆垛升降器5 使線性滑動夾板33的夾板退縮，轉(zhuǎn)向下一動作。
接著，說明出庫動作，但該出庫動作是按照和上述的入庫動作完 全相反的順序進行。首先，堆垛升降器5使轉(zhuǎn)載裝置移動36移動至收 納了作為目標(biāo)盒式存儲器35的架位置，并推進線性滑動夾板33以后， 稍微上升升降架32，以便線性滑動夾板33的頂端部從下向上穿過上 述凹口38，從而將盒式存儲器35叉放于裝載面上(圖3)。并且，使 線性滑動夾板33如圖4那樣進行退縮，將盒式存儲器35引入堆垛升 降器5的內(nèi)部，并行駛至傳送小舟17的位置。
在向傳送小舟17行駛中，堆垛升降器5使升降架32下降，但在 到達傳送小舟17之后，進一步使升降架32下降到低于傳送平臺34， 以便傳送小舟17承接盒式存儲器35 (圖5)。接著，驅(qū)動傳送平臺 34與傳送小舟17的滾筒30、 16，使盒式存儲器35從傳送平臺34遞 給傳送小舟(圖6)。裝載于傳送小舟17的盒式存儲器35被轉(zhuǎn)移到 搬運臺車等上，搬到外部。而且，按照承擔(dān)生產(chǎn)管理的MCS、統(tǒng)籌管理搬運系統(tǒng)的MES等 控制裝置的命令信號，進行這些一連串的裝載搬運動作。另外，在離 線時，堆垛器6的控制器也可以發(fā)出同樣的命令信號。
如上所述，本實施方式的堆垛器6，具有可保管多個沿垂直方向 以及水平方向排列的盒式存儲器35的架主體7，而且還具有，平行該 架主體7敷設(shè)的軌道28、可在該軌道28上行駛的堆垛升降器5以及 用于將上述盒式存儲器35對堆垛器6進庫出庫的傳送小舟17。并且， 上述堆垛升降器5具有，沿垂直方向升降自如的升降架32、設(shè)置于該 升降架32上并具有與上述架主體7對置且進退自如的線性滑動夾板 33的轉(zhuǎn)載裝置36、以及從該轉(zhuǎn)載裝置36承接上述盒式存儲器35遞給 上述傳送小舟17的傳送平臺34。
如上所述，在堆垛升降器5的轉(zhuǎn)載裝置36中，通過采用線性滑動 夾板33以節(jié)省旋轉(zhuǎn)功能，可以實現(xiàn)小型化、輕量化，而且可以使運行 輕快，并可以縮短進庫出庫操作的時間。尤其是在盒式存儲器35為大 重量時，該效果得到顯著發(fā)揮。而且，如圖l與圖7所示，即使在將 傳送小舟17配置于保管架7的相反側(cè)時，也可以通過傳送平臺34與 傳送小舟17遞交盒式存儲器35。因而，也能夠發(fā)揮與專利文獻1所 示的具有旋轉(zhuǎn)功能的轉(zhuǎn)載裝置實質(zhì)上相同的效果。
另外，在上述的堆垛器6中，堆垛升降器5的轉(zhuǎn)載裝置36可構(gòu)成 為，使線性滑動夾板33的頂端表面(盒式存儲器裝載面)下降至低于 上述傳送平臺34的滾筒30頂面的位置。
因由此，只要可僅僅簡單地將升降架32下降便能而讓使傳送平臺 34承接盒式存儲器35，因而此，可以實現(xiàn)更加簡單的結(jié)構(gòu)。而且，能 夠快速地自轉(zhuǎn)載裝置36向傳送平臺34轉(zhuǎn)運盒式存儲器35，從而能夠 進一步地縮短盒式存儲器35出庫所需的時間。另外，即使在入庫時，也只要從下限位置上升升降架32，就可以自傳送平臺34向裝載裝置 36交接盒式存儲器35，因此，入庫的所需時間也得以縮短自不待言。
而且，由圖8示出改變例，該堆垛器6變成了，互相對置配置兩 臺圖7的堆垛器這樣的結(jié)構(gòu)。在圖8的堆垛器6中，軌道48與軌道 47以傳送小舟17截斷直線上配置，各自與軌道28平行地鋪設(shè)。軌道 48與軌道28之間的間隔和軌道47與軌道28之間的間隔相同，堆垛 升降器5可以在軌道28、軌道47、軌道48的各個軌道上相互獨立地 行駛。并且，保管架的架主體7a、 7b夾住上述三對軌道28、軌道47、 軌道48，配置于三對軌道的兩側(cè)。
例如，從一側(cè)架主體7a向另一側(cè)架主體7b遞交盒式存儲器35 時，軌道28上行駛的堆垛升降器5從規(guī)定的架12取出盒式存儲器35 并定位于傳送小舟17，而后停止。盒式存儲器經(jīng)由堆垛升降器5的傳 送平臺34、傳送小舟17、傳送帶45搬運至傳送小舟44，遞給軌道48 上行駛的堆垛升降器5。另外，從架主體7b將盒式存儲器35遞給架 主體7a時，經(jīng)由該相反路線遞給盒式存儲器35。
而且，從與軌道48對抗的架主體7b向與軌道47對抗的架主體 7b遞交盒式存儲器35時，軌道48上行駛的堆垛升降器5從規(guī)定的架 12取出盒式存儲器35。盒式存儲器35經(jīng)由堆垛升降器5的傳送平臺 34、傳送小舟44、傳送帶46、傳送小舟17、傳送帶45搬運至傳送小 舟43，而遞給軌道47上行駛的堆垛升降器5。
并且，在圖8中上側(cè)的軌道28上行駛的堆垛升降器5中，將其轉(zhuǎn) 載裝置36的線性滑動夾板33設(shè)置成，可進出圖中上側(cè)的架主體7， 將其下側(cè)的軌道28上行駛的堆垛升降器5的線性滑動夾板33設(shè)置成， 可進出圖中下側(cè)的架主體7。直截了當(dāng)?shù)卣f，堆垛升降器5的線性滑 動夾板33的配設(shè)方向，在圖中上側(cè)與下側(cè)相反。因此，能夠容易地將 盒式存儲器35遞給配設(shè)于軌道28兩側(cè)的架主體7。如上所述，在圖8構(gòu)成的堆垛器6中， 一般是，鋪設(shè)軌道以構(gòu)成 相互平行并相鄰的多條行駛路線，同時多個堆垛升降器5可在各自的 行駛路線上相互獨立行駛。并且，架主體7配置于上述多條行駛路線
的兩側(cè)，而且在一條上述行駛路線上行駛的堆垛升降器5的線性滑動 夾板33的配設(shè)方向和在與其相鄰的上述行駛路線上行駛的堆垛升降 器5的線性滑動夾板33的配設(shè)方向是相反的。
借助上述結(jié)構(gòu)，能夠起到與圖1和圖7的結(jié)構(gòu)實質(zhì)上相同的效果， 而且容易實現(xiàn)收容能力的提高。而且，該圖8的結(jié)構(gòu)從功能上來看， 類似于圖9的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，但根據(jù)發(fā)明人的認(rèn)識，可以確定圖8的結(jié) 構(gòu)無論是在裝置尺寸、出入庫所需的時間以及設(shè)備成本哪一方面，均 要優(yōu)于現(xiàn)有結(jié)構(gòu)。
以上，雖然示出了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式以及改變例，但以上的 結(jié)構(gòu)均是一個例子，例如，還可以進行如下改變。
傳送小舟17不是配設(shè)于架主體7的相反側(cè)，而是也可以配設(shè)于架 主體7的相同一側(cè)。而且，傳送小舟17并不局限于兼有進庫出庫的場 合，也可以分開配置入庫專用小舟與出庫專用小舟。進而，作為被搬 運物，也可以采用上述的FOUP等而不用盒式存儲器35。
升降架32與傳送平臺34并不局限于圖l等所示的形狀，也可以 改變成適當(dāng)?shù)男螤睢５?，只要是?gòu)成轉(zhuǎn)載裝置36與傳送平臺34互 不干涉的形狀，可使裝載裝置下降至低于傳送平臺34的滾筒30頂面， 就有如上述一樣的優(yōu)點。
雖然參照特定的實施方式詳細地說明了本發(fā)明，但是很顯然，本 領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和范圍作出各種變化和修 改。本申請基于2000年11月18日申請的日本專利申請(特愿 2005-334037)，這里引用其內(nèi)容作為供參考。
至于本發(fā)明，在堆垛升降器方面采用線性滑動夾板而省去了旋轉(zhuǎn) 功能。按照這樣的結(jié)構(gòu)就能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化、輕量化，同時會使 裝置動作輕快，可以縮短進庫出庫作業(yè)的時間。而且，即使在保管架 的相反側(cè)配置小舟的情況下，也可以用滾筒式傳送帶與小舟遞交被搬 運物。所以，即便沒有旋轉(zhuǎn)功能也能發(fā)揮跟具有現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)功能的轉(zhuǎn)載 裝置實質(zhì)上相同的效果。 '
權(quán)利要求
1. 一種堆垛器，該堆垛器具有可保管沿垂直方向以及水平方向排列 的多個被搬運物的保管架，其特征在于:具有軌道；堆垛升降器；以及小 舟，該軌道與所述保管架平行敷設(shè)， 該堆垛升降器可在該軌道上行駛，以及該小舟用于將被搬運物對堆垛器物進庫出庫， 所述堆垛升降器具有轉(zhuǎn)載裝置和滾筒式傳送帶，該轉(zhuǎn)載裝置具有沿垂直方向升降自如的工作臺，和設(shè)置于該工作臺 上并與所述保管架對置而且進退自如的線性滑動夾板，該滾筒式傳送帶從該轉(zhuǎn)載裝置承接所述被搬運物并將其遞給所述小舟。
2. 如權(quán)利要求1所記載的堆垛器，其特征在于所述堆垛升降器的轉(zhuǎn)載裝置構(gòu)成為，可使所述線性滑動夾板的被搬 運物裝載面下降至低于所述傳送帶的滾筒頂面的位置。
3. —種堆垛器，該堆垛器具有可保管多個沿垂直方向以及水平方向 排列的被搬運物的保管架，其特征在于:具有軌道；多個堆垛升降器；以 及小舟，該軌道與所述保管架平行敷設(shè)， 該多個堆垛升降器可在該軌道上行駛，以及 該小舟用于將被搬運物對堆垛器物進庫出庫，所述軌道以構(gòu)成相互平行且相鄰的多條行駛路線的方式進行鋪設(shè)， 同時所述多個堆垛升降器可相互獨立地在各自的行駛路線上行駛， 所述保管架配置于上述多條行駛路線的兩側(cè)， 所述堆垛升降器分別具有轉(zhuǎn)載裝置，和滾筒式傳送帶， 該轉(zhuǎn)載裝置具有沿垂直方向升降自如的工作臺，和設(shè)置于該工作臺 上并與所述保管架對置而且進退自如的線性滑動夾板，該滾筒式傳送帶從該轉(zhuǎn)載裝置承接所述被搬運物并將其遞給所述小舟，在一條所述行駛路線上行駛的堆垛升降器的線性滑動夾板的配設(shè)方 向和在與其相鄰的所述行駛路線上行駛的堆垛升降器的線性滑動夾板的配設(shè)方向是相反的。
4.如權(quán)利要求3所記載的堆垛器，其特征在于所述堆垛升降器的轉(zhuǎn)載裝置構(gòu)成為，可使所述線性滑動夾板的被 搬運物裝載面下降至低于所述傳送帶的滾筒頂面的位置。
全文摘要
一種堆垛器，包括可保管多個沿垂直方向以及水平方向排列的盒式存儲器(35)的架主體(7)；與架主體(7)平行敷設(shè)的軌道(28)；可在該軌道(28)上行駛的堆垛升降器(5)；以及用于將盒式存儲器(35)對堆垛器(6)搬入搬出庫的傳送小舟(17)。上述堆垛升降器(5)包括，具有沿垂直方向可移動的升降架(32)和設(shè)置于該升降架(32)上并與上述架主體(7)對置而且進退自如的線性滑動夾板(33)的轉(zhuǎn)載裝置(36)；以及從該轉(zhuǎn)載裝置(36)承接上述盒式存儲器(35)并將其遞給上述傳送小舟(17)的傳送平臺(34)。
文檔編號H01L21/673GK101312894SQ20068004316
公開日2008年11月26日 申請日期2006年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月18日
發(fā)明者笠原浩之 申請人:日本亞仕帝科技株式會社