專利名稱：具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光放大器及激光諧振腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)領(lǐng)域，尤其涉及激光放大器及激光諧振。
背景技術(shù)：
由于多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)具有能減小光學(xué)長(zhǎng)度、增加光束在介質(zhì)內(nèi)通過(guò)的路程及覆蓋率、適用于對(duì)各種材料的等優(yōu)點(diǎn)，因而折疊方法得到深入的研究和廣泛的應(yīng)用。多次反射的光路，在激光領(lǐng)域最早多用于氣體激光器的折疊波導(dǎo)腔中，后來(lái)隨著INNOSLAB新型固體激光器(參見(jiàn)Optics Letters，Vol.23，No.18，370～372)的出現(xiàn)，也開(kāi)始用于固體激光器中。目前各種折疊光路在激光放大器及激光諧振腔的方案主要有以下三種方案方案一，采用平面鏡結(jié)構(gòu)，由兩片或兩片以上平面鏡組成反射系統(tǒng)。光束在上述反射鏡之間多次反射形成折疊光路(參見(jiàn)第4703491、6654163號(hào)美國(guó)專利)。
方案二，采用兩片或兩片以上光學(xué)鏡片組成望遠(yuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。第6256332號(hào)美國(guó)專利描述了一種望遠(yuǎn)系統(tǒng)，其諧振腔由4片光學(xué)鏡片構(gòu)成，光軸在激光增益介質(zhì)外部。第6442186號(hào)美國(guó)專利描述了多種望遠(yuǎn)系統(tǒng)采用4片光學(xué)鏡片構(gòu)成光路結(jié)構(gòu)，并且在其中1片光學(xué)鏡片中打孔或者局部鍍膜來(lái)實(shí)現(xiàn)激光輸出；還描述了三種共焦或近共焦的望遠(yuǎn)系統(tǒng)，并采用3片光學(xué)鏡片構(gòu)成光路結(jié)構(gòu)；也有采用4片光學(xué)鏡片構(gòu)成光路結(jié)構(gòu)的。
方案三，采用兩片或兩片以上光學(xué)鏡片組成其他結(jié)構(gòu)的單程反射光路。第6654163號(hào)美國(guó)專利描述了采用2片光學(xué)鏡片構(gòu)成的光路結(jié)構(gòu)，激光光束在其中單程折疊反射通過(guò)激光增益介質(zhì)。第10156081號(hào)德國(guó)專利描述了采用4片光學(xué)鏡片構(gòu)成的光路結(jié)構(gòu)，激光光束在其中單程折疊反射通過(guò)激光增益介質(zhì)。
此外，還有使用平面與曲面反射鏡結(jié)合的多鏡折疊光路系統(tǒng)，可以認(rèn)為是上述三種方案中各方案的結(jié)合(參見(jiàn)第20040076210號(hào)美國(guó)專利)。
對(duì)于激光放大器及激光諧振腔而言，上述方案均有相應(yīng)的不足之處方案一中，平面反射鏡對(duì)裝調(diào)、對(duì)準(zhǔn)誤差以及外界擾動(dòng)較為敏感，并且每次反射后，光束的反射角和寬度都會(huì)擴(kuò)大一定倍數(shù)，不利于進(jìn)行多次反射及控制輸出光束質(zhì)量。
方案二中，實(shí)現(xiàn)光路折疊的光學(xué)鏡片需要構(gòu)成望遠(yuǎn)系統(tǒng)(又稱為共焦結(jié)構(gòu))，其調(diào)節(jié)需要精確保證各光學(xué)鏡片的間距、位置、角度等，因此，激光放大器及激光諧振腔的裝調(diào)精度要求很高，對(duì)裝調(diào)誤差和外界擾動(dòng)較為敏感，工作穩(wěn)定性和可靠性較低。其中，某些光路結(jié)構(gòu)由3片、4片及更多光學(xué)鏡片組成，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝調(diào)更為困難。
方案三中，實(shí)現(xiàn)光路折疊的光學(xué)鏡片也同樣需要構(gòu)成望遠(yuǎn)系統(tǒng)(又稱為共焦結(jié)構(gòu))，由于結(jié)構(gòu)的限制，激光僅能在腔內(nèi)單程折疊反射，單程通過(guò)激光增益介質(zhì)，吸收不夠充分，激光放大器及激光諧振腔的工作效率較低。同樣，某些光路結(jié)構(gòu)山3片、4片及更多光學(xué)鏡片組成，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝調(diào)更為困難。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提出一種具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光放大器及激光諧振腔。通過(guò)這種新型的光路結(jié)構(gòu)，克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，能夠普遍適用于激光放大器及激光諧振腔或別的光學(xué)系統(tǒng)?，F(xiàn)有技術(shù)的激光放大器，采用望遠(yuǎn)結(jié)構(gòu)或共焦結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝調(diào)困難，不能形成往返雙程反射，激光放大不夠充分；現(xiàn)有技術(shù)的激光諧振腔，采用望遠(yuǎn)結(jié)構(gòu)或共焦結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝調(diào)困難，對(duì)裝調(diào)誤差和外界擾動(dòng)較為敏感，工作穩(wěn)定性和可靠性較低，不能形成往返雙程反射，激光振蕩效率不高。本發(fā)明提出的激光放大器及諧振腔，其中，激光光束隨反射次數(shù)增加擴(kuò)大或縮小不嚴(yán)重；激光光束在增益介質(zhì)中往返雙程通過(guò)，吸收充分，效率高；光學(xué)鏡片數(shù)量少，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝調(diào)容易，對(duì)由裝調(diào)過(guò)程和使用過(guò)程中產(chǎn)生的誤差和干擾不敏感，激光放大器及諧振腔工作穩(wěn)定，可靠性高。
本發(fā)明提出的激光放大器，具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)，該光路結(jié)構(gòu)包括兩片曲面反射鏡，以及位于兩片曲面反射鏡之間的激光增益介質(zhì)；兩片曲面反射鏡相對(duì)傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦結(jié)構(gòu)；射入多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光光束通過(guò)兩個(gè)曲面反射鏡多次反射，形成折疊光路，多次經(jīng)過(guò)增益介質(zhì)。
上述的激光放大器中，光路結(jié)構(gòu)中兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在兩片曲面反射鏡的其中一片上沿其光軸正入射并被反射，沿原光路返回，從而激光光束在曲面反射鏡上的反射次數(shù)增加一倍，在增益介質(zhì)中往返雙程通過(guò)。
上述的激光放大器中，光路結(jié)構(gòu)中兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在兩片曲面反射鏡上沿其光軸斜入射并被反射，激光光束在增益介質(zhì)中單程通過(guò)。
本發(fā)明提出的激光諧振腔，具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)，該光路結(jié)構(gòu)包括兩片曲面反射鏡，位于兩片曲面反射鏡之間的激光增益介質(zhì)，以及位于光路結(jié)構(gòu)之外的諧振腔腔鏡；兩片曲面反射鏡相對(duì)傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦結(jié)構(gòu)；射入多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光光束通過(guò)兩個(gè)曲面反射鏡多次反射，形成折疊光路，多次經(jīng)過(guò)增益介質(zhì)。
上述的激光諧振腔中，光路結(jié)構(gòu)中兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在兩片曲面反射鏡的其中一片上沿其光軸正入射并被反射，沿原光路返回，從而激光光束在曲面反射鏡上的反射次數(shù)增加一倍，在增益介質(zhì)中往返雙程通過(guò)，折疊次數(shù)增加一倍。
上述的激光諧振腔中，光路結(jié)構(gòu)中的兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在兩片曲面反射鏡上沿其光軸斜入射并被反射，激光光束在增益介質(zhì)中單程通過(guò)。
上述的激光諧振腔中，諧振腔腔鏡是凸透鏡或凹透鏡。
上述的激光諧振腔中，在多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)與諧振腔腔鏡之間，還設(shè)置倍頻器件、調(diào)Q器件、鎖模器件，構(gòu)成相應(yīng)的激光光路。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明的激光放大器及激光諧振腔中的光路結(jié)構(gòu)采用曲面反射鏡相對(duì)傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦結(jié)構(gòu)的折疊光路，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用光學(xué)元件少，對(duì)于兩個(gè)曲面反射鏡地位置、距離和角度，要求不嚴(yán)格，裝調(diào)容易，對(duì)誤差和擾動(dòng)不敏感，實(shí)際操作性強(qiáng)；激光光束在較小的激光增益介質(zhì)的體積內(nèi)可實(shí)現(xiàn)往返雙程多次反射，多次通過(guò)增益介質(zhì)，并且經(jīng)過(guò)多次反射后光束寬度變化不大，更易于實(shí)現(xiàn)高功率及高光束質(zhì)量的輸出；能夠同時(shí)適用于激光放大器及激光諧振腔。


圖1為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第一實(shí)施例的示意圖。
圖2為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第二實(shí)施例的示意圖。
圖3為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第三實(shí)施例的示意圖。
圖4為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第四實(shí)施例的示意圖。
圖5為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第五實(shí)施例的示意圖。
圖6為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第六實(shí)施例的示意圖。
圖7為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第七實(shí)施例的示意圖。
圖8為本發(fā)明提出的激光諧振腔的第八實(shí)施例的示意圖。
圖9為本發(fā)明提出的激光放大器的第一實(shí)施例的示意圖。
圖10為本發(fā)明提出的激光放大器的第二實(shí)施例的示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提出的具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光諧振腔如圖1所示，包括反射鏡1、反射鏡1的法線光軸2、腔鏡6、激光增益介質(zhì)7、反射鏡8、反射鏡8的法線光軸3，其中，5、10表示激光光束，4、9、11指示泵浦光泵浦方向。其中，凸面反射鏡8的法線光軸3水平放置，凹面反射鏡1的法線光軸2傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦光路結(jié)構(gòu)。在凸面反射鏡8和凹面反射鏡1構(gòu)成的非望遠(yuǎn)非共焦多次折疊光路結(jié)構(gòu)之外，垂直于光束5放置腔鏡6，構(gòu)成激光諧振腔。在腔鏡6與光路結(jié)構(gòu)之間，也可放入其他器件，如倍頻器件、調(diào)Q器件、鎖模器件等。
法線光軸2、3相交于凹面反射鏡1的中心，交角為α，假設(shè)光軸3為水平方向，且激光光束5與光軸3成0角，則二者應(yīng)滿足如下公式所述的關(guān)系。設(shè)反射鏡1半徑R1，反射鏡8半徑R2，反射鏡1與反射鏡8的中心間距L，光束5與反射鏡8的交點(diǎn)與光軸3距離h，經(jīng)過(guò)N個(gè)來(lái)回(一個(gè)來(lái)回定義為首先經(jīng)過(guò)反射鏡8反射，經(jīng)過(guò)傳播L距離到反射鏡1，然后經(jīng)反射鏡1反射，再次傳播L距離至反射鏡8)。光束5最終正入射到反射鏡8上面，沿方向光軸3傳播并被反射，又反方向沿方向光軸3傳播，最后反方向沿著原光路折疊傳播，形成往返的兩次折疊光路。采用矩陣光學(xué)傳輸理論，反射鏡l的傳輸矩陣M1、自由空間傳輸L的傳輸矩陣M2、反射鏡8的傳輸矩陣M3分別為M1=10-2/R11,]]>M2=1L01,]]>M3=10-2/R21.]]>共軸時(shí)傳播一個(gè)來(lái)回傳輸矩陣M滿足M＝M3M2M1M2N次反射后在凸面鏡前的光束矩陣滿足h′θ′=MNhθ]]>采用增廣矩陣方法表示反射鏡1傾斜的影響，由于反射鏡1初始失調(diào)量為 經(jīng)過(guò)N次反射后，在反射鏡8中心前的高度失調(diào)量Δh和角度失調(diào)量Δθ為
ΔhΛθ=Σk=1NMk0α]]>加入傾斜后，應(yīng)滿足00=MNhθ+ΔhΔθ]]>經(jīng)計(jì)算，當(dāng)L＝25mm，R1＝625mm，R2＝516mm，h＝9mm時(shí)，調(diào)節(jié)θ和α可使激光光束在反射鏡1上反射6次，即激光光束10方向傳播至激光光束5方向一共通過(guò)增益介質(zhì)14次，且在增益介質(zhì)上部較為密集，以板條形固體增益介質(zhì)為例，泵浦光可以從增益介質(zhì)上部沿泵浦方向11注入，以達(dá)到較高的系統(tǒng)效率。泵浦光也可以從水平泵浦方向4、9注入增益介質(zhì)。
圖2為本發(fā)明提出的具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光諧振腔的第二實(shí)施例，包括反射鏡1、反射鏡1的法線光軸2、腔鏡6、激光增益介質(zhì)7、反射鏡8、反射鏡8的法線光軸3，其中，5、10表示激光光束，4、9、11指示泵浦光泵浦方向。其中，凸面反射鏡8的法線光軸3水平放置，凹面反射鏡1的法線光軸2傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦光路結(jié)構(gòu)。在凸面反射鏡8和凹面反射鏡1構(gòu)成的非望遠(yuǎn)非共焦多程折疊光路結(jié)構(gòu)之外，腔鏡6垂直于激光光束5放置，構(gòu)成激光諧振腔。在腔鏡6與光路結(jié)構(gòu)之間，也可放入其他器件，如倍頻器件、調(diào)Q器件、鎖模器件等，實(shí)現(xiàn)激光輸出。
其中，h、θ和α應(yīng)滿足00=MN-1M3hθ+ΣMk0α]]>同樣，在L＝25mm，R1＝625mm，R2＝516mm，h＝9mm的條件下，調(diào)節(jié)θ和α可使激光光束在凹面鏡上反射7次，即激光光束11方向傳播至激光光束5方向一共通過(guò)增益介質(zhì)16次，且增益介質(zhì)上部較為密集，以板條形固體增益介質(zhì)為例，泵浦光可以從增益介質(zhì)上部沿泵浦方向11注入，以達(dá)到較高的系統(tǒng)效率，另外，泵浦光也可以從水平泵浦方向4、9注入增益介質(zhì)。
對(duì)于上述2個(gè)實(shí)施例，反射鏡1和反射鏡8的相對(duì)位置、激光光束5的出射方向等的改變，激光諧振腔的光路結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)有其他多種組合情況(圖3～圖8)，同樣可以采用所述矩陣光學(xué)理論進(jìn)行類似的分析和計(jì)算。圖3～圖8的具體描述，與圖1～圖2類似。其中，凸面反射鏡8與凹面反射鏡1的法線光軸相對(duì)傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦光路結(jié)構(gòu)。在凸面反射鏡8和凹面反射鏡1構(gòu)成的非望遠(yuǎn)非共焦多程折疊光路結(jié)構(gòu)之外，腔鏡6垂直于激光光束5放置，構(gòu)成激光諧振腔。在腔鏡6與光路結(jié)構(gòu)之間，也可放入其他器件，如倍頻器件、調(diào)Q器件、鎖模器件等，實(shí)現(xiàn)激光輸出。圖3中，凹面反射鏡1的法線光軸傾斜放置，激光光束5從光路結(jié)構(gòu)的左邊出射，多次反射后的激光光束正入射至凹面反射鏡1，反射后沿原光路返回；圖4中，凸面反射鏡8的法線光軸傾斜放置，激光光束5從光路結(jié)構(gòu)的左邊出射，多次反射后激光光束正入射至凸面反射鏡8，反射后沿原光路返回；圖5中，凹面反射鏡1的法線光軸傾斜放置，激光光束5從光路結(jié)構(gòu)的右邊出射，多次反射后激光光束正入射至凹面反射鏡1，反射后沿原光路返回；圖6中，凸面反射鏡8的法線光軸傾斜放置，激光光束5從光路結(jié)構(gòu)的右邊出射，多次反射后激光光束正入射至凹面反射鏡1，反射后沿原光路返回；圖7中，凹面反射鏡1的法線光軸傾斜放置，激光光束5從光路結(jié)構(gòu)的右邊出射，多次反射后激光光束正入射至凸面反射鏡8，反射后沿原光路返回；圖8中，凸面反射鏡8的法線光軸傾斜放置，激光光束5從光路結(jié)構(gòu)的右邊出射，多次反射后激光光束正入射至凸面反射鏡8，反射后沿原光路返回。其他具體細(xì)節(jié)在此不再贅述。
上述8個(gè)實(shí)施例中，所描述的激光諧振腔的多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)同樣適用于激光放大器，可以構(gòu)成相對(duì)應(yīng)的激光放大器。以圖1所示的本發(fā)明提出的第一實(shí)施例為例，圖9給出該實(shí)施例對(duì)應(yīng)的激光放大器的第一實(shí)施例。
圖9中，凸面反射鏡8的法線光軸3水平放置，凹面反射鏡1的法線光軸2傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦光路結(jié)構(gòu)。在凸面反射鏡8和凹面反射鏡1構(gòu)成的非望遠(yuǎn)非共焦多程折疊光路結(jié)構(gòu)之外，待放大的主振蕩器的激光光束12，通過(guò)偏振反射鏡13、λ/2波片15，法拉第旋轉(zhuǎn)器16，射入多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光放大器，折疊光路結(jié)構(gòu)的具體參數(shù)同圖1中所示一致，因此由偏振反射鏡反射輸出，如激光光束14所示，同樣，泵浦光可沿方向4、激光光束經(jīng)過(guò)放大后沿激光光束12原路返回，再次經(jīng)過(guò)法拉第旋轉(zhuǎn)器16，λ/2波片15，9或方向11注入。
與此類似，對(duì)于本發(fā)明的其他7個(gè)實(shí)施例，分別對(duì)應(yīng)激光放大器的實(shí)施例，在此不再逐一贅述。
圖10為本發(fā)明提出的具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光放大器的第二實(shí)施例，包括反射鏡1、反射鏡1的法線光軸2、激光增益介質(zhì)7、反射鏡8、反射鏡8的法線光軸3，其中，5、10表示激光光束，6、9指示泵浦光泵浦方向。其中，凹面反射鏡1的法線光軸2水平放置，凸面反射鏡8的法線光軸3傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦光路結(jié)構(gòu)。待放大的主振蕩器的激光光束5，射入具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光放大器，經(jīng)過(guò)多次反射，激光光束在激光增益介質(zhì)7中單程通過(guò)，沿激光光束10輸出。
權(quán)利要求
1.一種激光放大器，其特征在于，所述激光放大器具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)，該光路結(jié)構(gòu)包括兩片曲面反射鏡，以及位于兩片曲面反射鏡之間的激光增益介質(zhì)；兩片曲面反射鏡相對(duì)傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦結(jié)構(gòu)；射入所述多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光光束通過(guò)所述兩個(gè)曲面反射鏡多次反射，形成折疊光路，多次經(jīng)過(guò)增益介質(zhì)，同時(shí)滿足以下關(guān)系00=MNhθ+ΔhΔθ,]]>M為傳輸一個(gè)來(lái)回的傳輸矩陣，N為傳輸?shù)膩?lái)回次數(shù)，h為光束5與反射鏡8的交點(diǎn)與光軸3的距離，θ為激光光束5與光軸3的夾角，Δh為高度失調(diào)量和Δθ為角度失調(diào)量。
2.如權(quán)利要求1所述的激光放大器，其特征在于，所述光路結(jié)構(gòu)中兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在所述兩片曲面反射鏡的其中一片上沿其光軸正入射并被反射，沿原光路返回，從而激光光束在曲面反射鏡上的反射次數(shù)增加一倍，在增益介質(zhì)中往返雙程通過(guò)。
3.如權(quán)利要求1所述的激光放大器，其特征在于，所述光路結(jié)構(gòu)中兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在所述兩片曲面反射鏡上沿其光軸斜入射并被反射，激光光束在增益介質(zhì)中單程通過(guò)。
4.一種激光諧振腔，其特征在于所述激光諧振腔具有多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)，該光路結(jié)構(gòu)包括兩片曲面反射鏡，位于兩片曲面反射鏡之間的激光增益介質(zhì)，以及位于所述光路結(jié)構(gòu)之外的諧振腔腔鏡；兩片曲面反射鏡相對(duì)傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦結(jié)構(gòu)；射入所述多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)的激光光束通過(guò)所述兩個(gè)曲面反射鏡多次反射，形成折疊光路，多次經(jīng)過(guò)增益介質(zhì)，同時(shí)滿足00=MN-1M3hθ+ΣMk0α,]]>M為傳輸一個(gè)來(lái)回的傳輸矩陣，N為傳輸?shù)膩?lái)回次數(shù)，M3為反射鏡8的傳輸矩陣，h為光束5與反射鏡8的交點(diǎn)與光軸3的距離，θ為激光光束5與光軸3的夾角，α為法線光軸2與法線光軸3的夾角。
5.如權(quán)利要求4所述的激光諧振腔，其特征在于，所述光路結(jié)構(gòu)中的兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在所述兩片曲面反射鏡的其中一片上沿其光軸正入射并被反射，沿原光路返回，從而激光光束在曲面反射鏡上的反射次數(shù)增加一倍，在增益介質(zhì)中往返雙程通過(guò)，折疊次數(shù)增加一倍。
6.如權(quán)利要求4所述的激光諧振腔，其特征在于，所述光路結(jié)構(gòu)中的兩片曲面反射鏡的放置，使得激光光束在所述兩片曲面反射鏡上沿其光軸斜入射并被反射，激光光束在增益介質(zhì)中單程通過(guò)。
7.如權(quán)利要求4所述的激光諧振腔，其特征在于，所述諧振腔腔鏡是凸透鏡或凹透鏡。
8.如權(quán)利要求4所述的激光諧振腔，其特征在于，在所述多次反射折疊光路結(jié)構(gòu)與諧振腔腔鏡之間，還設(shè)置倍頻器件、調(diào)Q器件、鎖模器件，構(gòu)成相應(yīng)的激光光路。
全文摘要
本發(fā)明屬于激光放大器及激光諧振腔技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于，包括兩片曲面反射鏡，以及位于兩片曲面反射鏡之間的激光增益介質(zhì)，還可加有位于所述光路結(jié)構(gòu)以外的諧振腔腔鏡，該兩片曲面反射鏡相對(duì)傾斜放置，構(gòu)成非望遠(yuǎn)非共焦結(jié)構(gòu)，射入所述光路結(jié)構(gòu)的激光束通過(guò)所述兩個(gè)曲面反射鏡多次反射形成折疊光路，多次經(jīng)過(guò)增益介質(zhì)，所述激光光束在所述兩片曲面反射鏡的其中一片上沿其光軸正入射并被反射，沿原光路返回，在增益介質(zhì)中往返雙程通過(guò)，也可斜入射并被反射，在增益介質(zhì)中單程通過(guò)。本發(fā)明具有元件少，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝調(diào)容易，對(duì)誤差和擾動(dòng)不敏感，易于實(shí)現(xiàn)高效率及高光束質(zhì)量的輸出等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01S3/08GK101017954SQ200710001009
公開(kāi)日2007年8月15日 申請(qǐng)日期2007年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月1日
發(fā)明者鞏馬理, 黃磊, 何發(fā)紅, 柳強(qiáng), 閆平, 陸丹, 王 琦 申請(qǐng)人:清華大學(xué)