專利名稱：一種供給系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制程中的設(shè)備，尤其涉及一種供給系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程中，供給系統(tǒng)包括原料盒和應(yīng)用系統(tǒng)，電^t閥和燈連接到應(yīng) 用系統(tǒng)。原料盒提供原料至應(yīng)用系統(tǒng)，電^f茲閥和燈并連連接到應(yīng)用系統(tǒng)。
現(xiàn)有技術(shù)中的供給系統(tǒng)，原料盒中原料使用情況完全依賴人力的檢查，當(dāng) 原料使用完畢，應(yīng)用系統(tǒng)還在控制電磁閥工作，這種誤操作，會造成晶圓的報廢。
現(xiàn)有技術(shù)中還有一些供給系統(tǒng)有一些針對原料使用狀況的報警裝置，這些 報警裝置在原料即將用完時發(fā)出報警聲，而由人工控制應(yīng)用系統(tǒng)停止工作。在 實際操作中，這種報警很容易被人忽略，所以也會出現(xiàn)上述的誤操作。
因此，有必要提供一種改進(jìn)的供給系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種供給系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以檢測原料盒中的原料并 控制供給系統(tǒng)的工作。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種供給系統(tǒng)，該供給系統(tǒng)包括原料盒，應(yīng)
用系統(tǒng)和電磁閥，應(yīng)用系統(tǒng)控制電磁閥工作；其中，該供給系統(tǒng)還包括控制模
塊；原料盒通過控制模塊連接到應(yīng)用系統(tǒng)；當(dāng)原料盒中的原料即將用完時，控
制模塊會控制應(yīng)用系統(tǒng)停止工作。
所述供給系統(tǒng)還包括一個感應(yīng)器，該感應(yīng)器用于感應(yīng)原料盒內(nèi)原料的使用
情況并發(fā)送相應(yīng)的信號給控制模塊。
應(yīng)用系統(tǒng)包括一個電開關(guān)，該電開關(guān)根據(jù)控制模塊發(fā)送的信號閉合或斷開。 當(dāng)原料盒的原料還很充裕時，感應(yīng)器會發(fā)送信號給控制模塊，控制模塊控制電開關(guān)閉合，同時電磁閥開始工作。
當(dāng)原料盒的原料即將用完的時候，感應(yīng)器發(fā)送信號給控制模塊，控制模塊 控制電開關(guān)斷開，電磁閥停止工作。
應(yīng)用系統(tǒng)還包括一個手動開關(guān)，該手動開關(guān)用于手動控制該供給系統(tǒng)工作。
所述供給系統(tǒng)還包括一個燈，該燈與電磁閥并連，并共同連接到應(yīng)用系統(tǒng)；
燈根據(jù)電磁閥的工作情況亮啟及熄滅。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的原料盒通過控制模塊與應(yīng)用系統(tǒng)連接，控制模 塊會根據(jù)原料盒中原料的使用情況控制應(yīng)用系統(tǒng)工作與否，有效防止了原料盒 中的原料用完而應(yīng)用系統(tǒng)還在工作的情況，提高了晶圓的良率。


通過以下對本發(fā)明的一實施例結(jié)合其附圖的描述，可以進(jìn)一步理解其發(fā)明
的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。其中，附圖為 圖l是本發(fā)明的供給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明的供給系統(tǒng)包括原料盒1,控制模塊3，應(yīng)用系統(tǒng)5，電磁閥7和燈9。
原料盒1通過控制模塊3連接到應(yīng)用系統(tǒng)5，為應(yīng)用系統(tǒng)5提供原料。電磁 岡7和燈9并連連接到應(yīng)用系統(tǒng)5,應(yīng)用系統(tǒng)5可以控制電磁閥7和燈9工作。
原料盒l(wèi)內(nèi)還設(shè)有感應(yīng)器(未圖示)，該感應(yīng)器與控制模塊3相連，該感應(yīng) 器可以感應(yīng)原料盒1中的原料是否充裕。當(dāng)感應(yīng)器感應(yīng)到原料盒1的原料即將 用完，會發(fā)送相應(yīng)信號給控制模塊3。
應(yīng)用系統(tǒng)5內(nèi)包括兩個相并連的開關(guān)，分別為電開關(guān)51和手動開關(guān)53?？?制模塊3可以控制電開關(guān)51的通斷；手動開關(guān)53長期是打開的狀態(tài)，不受控 制模塊3的控制。
本發(fā)明供給系統(tǒng)的工作原理如下，原料盒1內(nèi)有感應(yīng)器，該感應(yīng)器可以感 應(yīng)原料盒1內(nèi)的原料是否用完。當(dāng)原料盒1的原料還很充裕時，感應(yīng)器會發(fā)送 相應(yīng)信號給控制模塊3，控制模塊3控制電開關(guān)51閉合，燈9亮啟，同時電磁閥7開始工作。
當(dāng)原料盒l(wèi)的原料即將用完的時候，感應(yīng)器發(fā)送相應(yīng)信號給控制模塊3，控
制模塊3控制電開關(guān)51斷開，此時，電磁閥7和燈9都停止工作。此時，由于 原料盒l(wèi)中還有殘留的原料，工作人員可以通過手動開關(guān)53手動控制該供給系 統(tǒng)繼續(xù)工作，以將殘留的原料用完。
在本發(fā)明的其他實施例中，感應(yīng)器可以單獨設(shè)置，也可以是一個檢測裝置， 只要可以實施監(jiān)控原料盒1中的原料的使用情況并發(fā)送相應(yīng)的信號給控制模塊3 即可。控制模塊3可以單獨設(shè)置，也可以集成在原料盒1或應(yīng)用系統(tǒng)5中，只 要滿足控制應(yīng)用系統(tǒng)5工作即可。
權(quán)利要求
1、一種供給系統(tǒng)，該供給系統(tǒng)包括原料盒，應(yīng)用系統(tǒng)和電磁閥，應(yīng)用系統(tǒng)控制電磁閥工作；其特征在于該供給系統(tǒng)還包括控制模塊；原料盒通過控制模塊連接到應(yīng)用系統(tǒng)；當(dāng)原料盒中的原料即將用完時，控制模塊會控制應(yīng)用系統(tǒng)停止工作。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種供給系統(tǒng)，其特征在于所述供給系統(tǒng)還包括一個模塊5 。
3、 如權(quán)利要求1所述的一種供給系統(tǒng)，其特征在于應(yīng)用系統(tǒng)包括一個電開關(guān)， 該電開關(guān)根據(jù)控制模塊發(fā)送的信號閉合或斷開。
4、 如權(quán)利要求3所述的一種供給系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)原料盒的原料還很充裕 時，感應(yīng)器會發(fā)送信號給控制模塊，控制模塊控制電開關(guān)閉合，同時電磁閥開 始工作。
5、 如權(quán)利要求3所述的一種供給系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)原料盒的原料即將用完 的時候，感應(yīng)器發(fā)送信號給控制模塊，控制模塊控制電開關(guān)斷開，電磁閥停止 工作。
6、 如權(quán)利要求1所述的一種供給系統(tǒng)，其特征在于應(yīng)用系統(tǒng)還包括一個手動 開關(guān)，該手動開關(guān)用于手動控制該供給系統(tǒng)工作。
7、 如權(quán)利要求1所述的一種供給系統(tǒng)，其特征在于所述供給系統(tǒng)還包括一個 燈，該燈與電磁閥并連，并共同連接到應(yīng)用系統(tǒng)；燈根據(jù)電磁閥的工作情況亮 啟及熄滅。
全文摘要
本發(fā)明提供一種供給系統(tǒng)，該供給系統(tǒng)包括原料盒，應(yīng)用系統(tǒng)和電磁閥，應(yīng)用系統(tǒng)控制電磁閥工作；該供給系統(tǒng)還包括控制模塊；原料盒通過控制模塊連接到應(yīng)用系統(tǒng)；當(dāng)原料盒中的原料即將用完時，控制模塊會控制應(yīng)用系統(tǒng)停止工作。所述供給系統(tǒng)還包括一個感應(yīng)器，該感應(yīng)器用于感應(yīng)原料盒內(nèi)原料的使用情況并發(fā)送相應(yīng)信號給控制模塊。應(yīng)用系統(tǒng)包括一個根據(jù)控制模塊發(fā)送的信號通斷的電開關(guān)。當(dāng)原料盒的原料還很充裕時，控制模塊控制電開關(guān)閉合，同時電磁閥開始工作。當(dāng)原料盒的原料即將用完的時候，控制模塊控制電開關(guān)斷開，電磁閥停止工作。本發(fā)明有效防止了原料盒中的原料用完而應(yīng)用系統(tǒng)還在工作的情況，提高了晶圓的良率。
文檔編號H01L21/67GK101290864SQ20071003978
公開日2008年10月22日 申請日期2007年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月20日
發(fā)明者劉兆虎, 方文勇, 李祥福 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司