專利名稱：用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)，更具體地說，涉及一種暫時(shí)存儲(chǔ)多個(gè)基板并能夠調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
一般說來，緩沖裝置是指在半導(dǎo)體加工或平板顯示器制造的一系列工藝過程中暫時(shí)存儲(chǔ)基板的裝置。當(dāng)時(shí)間因一系列工序中待執(zhí)行工序或任一工序的暫時(shí)停止而改變時(shí)，緩沖裝置可以提供暫時(shí)存放其他工序的基板的空間。例如，緩沖裝置可以用于清潔工序和薄膜沉積工序之間，或是清潔工序和檢查工序之間，其以不同的運(yùn)行速率執(zhí)行，以調(diào)整整個(gè)制造工藝的運(yùn)行時(shí)間。
圖1表示根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的緩沖裝置的示意圖。
在此提到的公知緩沖裝置具有存儲(chǔ)傳送到緩沖裝置中的基板、并將基板移動(dòng)到其上部的可垂直移動(dòng)的傳遞單元。因此，最初傳遞的基板位于緩沖裝置的上部。因而，為了將存儲(chǔ)在緩沖裝置中的基板傳遞到下一工序的加工裝置，首先傳遞最低的基板。這是因?yàn)閭鬟f基板的裝置由安裝在最下面的軸上的輥筒旋轉(zhuǎn)而驅(qū)動(dòng)。
因此，由于先進(jìn)入的基板最后傳遞，先進(jìn)入的基板在緩沖裝置中滯留的時(shí)間相對(duì)較長。由于基板在緩沖裝置中滯留的時(shí)間較長，該基板上可能會(huì)粘附上灰塵和雜質(zhì)。此外，盡管基板需要在上一個(gè)工序之后、預(yù)定的時(shí)間之前進(jìn)入下一工序，但下一個(gè)工序也可以在預(yù)定的時(shí)間后發(fā)生，這就導(dǎo)致了較低的產(chǎn)量。
此外，由機(jī)器人逐個(gè)傳遞基板以調(diào)整先進(jìn)先出的系統(tǒng)需要昂貴的機(jī)器人，這會(huì)增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種具有垂直移動(dòng)單元并可以調(diào)整基板先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)。
本發(fā)明的目的不限于上述所提到的，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通過以下說明將清晰地理解本發(fā)明的其他目的。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)具有軸和安裝固定在軸上的輥筒的緩沖層，用以暫時(shí)存儲(chǔ)或傳遞基板；垂直移動(dòng)單元，其上下移動(dòng)緩沖層，使得載有待傳遞基板的緩沖層與驅(qū)動(dòng)單元連接；驅(qū)動(dòng)單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)，從而傳遞基板。


通過參照附圖和對(duì)較佳實(shí)施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述及其他特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加顯而易見。
圖1是說明根據(jù)公知技術(shù)的緩沖裝置的示意圖；圖2表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的透視圖；圖3A表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)單元的示意圖；圖3B表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的磁性斜齒輪的原理圖；圖4A表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤驅(qū)動(dòng)單元的示意圖；圖4B表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤齒輪的原理圖。
具體實(shí)施例方式
通過參照以下對(duì)較佳實(shí)施例的詳細(xì)描述和附圖，可以更容易地理解本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)、特征及其實(shí)現(xiàn)方法。然而，本發(fā)明可以以多種形式實(shí)施，不應(yīng)解釋為受此處所述實(shí)施例的限制。而應(yīng)解釋為，提供這些實(shí)施例是為了使本公開徹底而完全，并向所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員充分傳達(dá)本發(fā)明的理念，而且，本發(fā)明僅由權(quán)利要求限定。在整個(gè)說明書中相同的元件標(biāo)記表示同一元件。
現(xiàn)參照表示本發(fā)明較佳實(shí)施例的附圖更充分地對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明。
圖2表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的透視圖。圖3A表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)單元的示意圖。
根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)緩沖層，其具有軸和安裝固定在軸上的輥筒，用以暫時(shí)存儲(chǔ)或傳遞基板，使緩沖層中一層的軸旋轉(zhuǎn)并傳遞基板的驅(qū)動(dòng)單元；以及使緩沖層上下移動(dòng)的垂直移動(dòng)單元。此外，緩沖系統(tǒng)可以包括具有支承軸的孔的緩沖體。
如圖2所示，緩沖體210支承一層或多層緩沖層215。緩沖體210可以提供一個(gè)用于容納與暫時(shí)存儲(chǔ)在緩沖系統(tǒng)中的基板數(shù)目一樣多的緩沖層215的空間。也就是說，具有多個(gè)緩沖層215的緩沖系統(tǒng)可以具有相對(duì)較高的空間。緩沖體210有以預(yù)定間隔設(shè)置的緩沖層215。
緩沖層215暫時(shí)存儲(chǔ)基板。此外，緩沖層215還可以具有在需要傳遞基板時(shí)傳遞基板的單元。可以有多個(gè)緩沖層215暫時(shí)存儲(chǔ)基板。在之前工序中傳遞的基板可以由緩沖系統(tǒng)傳遞到緩沖層215。此外，緩沖層215可以將基板暫時(shí)存儲(chǔ)在緩沖系統(tǒng)中，并隨后將基板傳遞到下一工序。
傳遞基板的單元可以包括用作旋轉(zhuǎn)軸的軸120和能夠通過軸120的旋轉(zhuǎn)傳遞基板的輥筒110。由于輥筒110固定于軸120，所以輥筒110也隨著軸120的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。因此，輥筒110上的基板可以隨著輥筒110的旋轉(zhuǎn)而單向傳遞。傳遞單元用于支承基板，以便暫時(shí)存儲(chǔ)基板，當(dāng)需要傳遞基板時(shí)，傳遞單元用作傳遞單元。
在圖1所示的公知緩沖裝置中，傳遞單元處于下端，暫時(shí)存儲(chǔ)的基板的邊緣部支承在上端，使得基板可以上下移動(dòng)。因此，為了向下一工序傳遞已朝上移動(dòng)的基板，傳遞下端的基板，之后存儲(chǔ)在上端的基板再向下端移動(dòng)。
參照?qǐng)D2和圖3A，驅(qū)動(dòng)單元220用于旋轉(zhuǎn)緩沖層215的軸120?？傮w上，驅(qū)動(dòng)單元220包括產(chǎn)生動(dòng)力的動(dòng)力單元310和向動(dòng)力單元310傳送機(jī)械能或電能的動(dòng)力傳送單元320和330。動(dòng)力單元310是產(chǎn)生動(dòng)力的部件，可以包括由電能驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)或使化學(xué)能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械運(yùn)動(dòng)的發(fā)動(dòng)機(jī)。
可以采用多種類型的動(dòng)力傳送單元320和330來傳送由動(dòng)力單元310產(chǎn)生的動(dòng)力。例如，如圖3所示，可以采用磁性斜齒輪320和330。即使被稱為“斜齒輪”，斜齒輪實(shí)質(zhì)上還是用作蝸輪，其中垂直于傳動(dòng)齒輪320的從動(dòng)齒輪330隨著傳動(dòng)齒輪320的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。
圖3B表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的磁性斜齒輪的原理圖。
總體上，齒輪是指通過輪齒互相嚙合來向其他軸傳送動(dòng)力的結(jié)構(gòu)。然而，當(dāng)采用磁體時(shí)，輪齒不直接接合也可能傳送動(dòng)力。如圖3B所示，傳動(dòng)齒輪320和從動(dòng)齒輪330的軸成90°角，具有N極和S極的磁體以傾斜至預(yù)定角度的方向裝配在齒輪的邊緣部。因此，當(dāng)傳動(dòng)齒輪320旋轉(zhuǎn)時(shí)，在傳動(dòng)齒輪320的N極和從動(dòng)齒輪330的S極之間以及傳動(dòng)齒輪320的S極和從動(dòng)齒輪330的N極之間都產(chǎn)生相應(yīng)的引力，從而使得從動(dòng)齒輪330可以旋轉(zhuǎn)。因而，盡管軸交叉成90°角且輪齒不互相接合，從動(dòng)齒輪330仍然旋轉(zhuǎn)以傳遞基板。
圖4A表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤驅(qū)動(dòng)單元的示意圖，圖4B表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的磁盤齒輪的原理圖。
在使用如磁性斜齒輪的磁體傳送動(dòng)力的方法中，可以采用例如磁盤齒輪。
如圖4A所示，當(dāng)驅(qū)動(dòng)單元使傳動(dòng)齒輪420旋轉(zhuǎn)時(shí)，就可能使得平行于傳動(dòng)齒輪420的從動(dòng)齒輪430旋轉(zhuǎn)。如圖4B所示，磁體裝配在相對(duì)的傳動(dòng)齒輪420和從動(dòng)齒輪430上，這樣裝配的磁體相應(yīng)地相互面對(duì)。因此，利用磁體之間的引力，當(dāng)傳動(dòng)齒輪420旋轉(zhuǎn)時(shí)，也有可能使與傳動(dòng)齒輪420連接的從動(dòng)齒輪430旋轉(zhuǎn)。
可以在齒輪互相不接觸，而以預(yù)定距離互相間隔的情況下驅(qū)動(dòng)上述磁性齒輪320，420，330和430。因此，由于緩沖層可以上下移動(dòng)，在載有待傳遞的基板的緩沖層上可以由驅(qū)動(dòng)單元220旋轉(zhuǎn)從動(dòng)齒輪。驅(qū)動(dòng)單元220可以包括滑動(dòng)器224或橫桿。驅(qū)動(dòng)單元220可以在滑動(dòng)器224和橫桿上從左至右移動(dòng)。因此，當(dāng)緩沖層215上下移動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)單元220可以向后移動(dòng)，以便于緩沖層215的移動(dòng)。
垂直移動(dòng)單元230使一個(gè)或多個(gè)緩沖層215上下移動(dòng)。為了使緩沖層215上下移動(dòng)，一個(gè)緩沖體210可以裝有多個(gè)緩沖層215。因此，垂直移動(dòng)單元230可以通過上下移動(dòng)緩沖體210而使緩沖層215上下移動(dòng)。
為了使緩沖層215上下移動(dòng)，可以在主體的下部安裝活塞230?；钊?30應(yīng)當(dāng)使載有將由驅(qū)動(dòng)單元220傳遞的基板的緩沖層215的高度與驅(qū)動(dòng)單元220的高度匹配，使得基板可以傳遞到下一工序。驅(qū)動(dòng)單元220可以上下移動(dòng)，可導(dǎo)致基板不便于傳遞到下一工序。
除了活塞，還可以采用螺旋齒輪作為垂直移動(dòng)單元?；钊蚵菪X輪可以位于緩沖體的下方或者緩沖體的上方。
總體上，最早進(jìn)入的基板向上部存儲(chǔ)并位于最高處。因而，垂直移動(dòng)單元230可以將最高處的緩沖層降到驅(qū)動(dòng)單元的高度，使得最高緩沖層215上的基板可以傳遞到下一工序。這樣，可以實(shí)現(xiàn)一種緩沖系統(tǒng)，其能夠通過將緩沖層依次從最高緩沖層傳遞到最低緩沖層來調(diào)整基板先進(jìn)先出。
類似地，假定最高緩沖層上的基板已傳遞而下一個(gè)基板將要被傳遞到下面的工序。但是，當(dāng)之前工序中有基板要傳遞到緩沖系統(tǒng)并且該基板已經(jīng)置于最高的緩沖層上時(shí)，盡管該基板位于最高的緩沖層上，也不能說該基板首先是進(jìn)入的。因此，在這種情況下，垂直移動(dòng)單元可以判斷基板已在各自的緩沖層上暫時(shí)滯留了多長時(shí)間，并依次從最早的基板開始向下一工序傳遞基板。為達(dá)上述結(jié)果，還可以包括一個(gè)時(shí)間傳感器，用于判斷基板滯留在緩沖層上的時(shí)間。也就是說，通過判斷基板置于緩沖層的時(shí)間，在將基板傳遞到下一工序時(shí)可以釋放能夠調(diào)整基板先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)。
以下對(duì)根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的具有如上所述的結(jié)構(gòu)的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)的運(yùn)行進(jìn)行說明。
首先，由于之前工序中的基板不會(huì)立即進(jìn)入下一工序，所以基板可以暫時(shí)存儲(chǔ)在緩沖系統(tǒng)中。已經(jīng)占用緩沖系統(tǒng)中一緩沖層215的基板升高至上面的緩沖層，新傳遞的基板置于下面的緩沖層。由于基板根據(jù)上述方法存儲(chǔ)，首先進(jìn)入的基板可以存儲(chǔ)在上端的緩沖層上。因此，為了先傳遞先進(jìn)入的基板，上端的緩沖層上基板可以先傳遞到下一工序。由于緩沖體通過垂直移動(dòng)單元230向下移動(dòng)，所以緩沖層215可以向下移動(dòng)。這里，可以將緩沖層215移動(dòng)到使緩沖層215的輥筒110接觸到驅(qū)動(dòng)單元220的高度以便驅(qū)動(dòng)。
當(dāng)載有待傳遞基板的緩沖層215到達(dá)驅(qū)動(dòng)單元220可以運(yùn)行的高度時(shí)，驅(qū)動(dòng)單元220使驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)310旋轉(zhuǎn)以向動(dòng)力傳送單元傳送動(dòng)力。例如，通過使用磁性斜齒輪320和330使傳動(dòng)齒輪320旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)齒輪320使緩沖層215中以90°角裝配到傳動(dòng)齒輪320上的從動(dòng)齒輪330旋轉(zhuǎn)。此外，旋轉(zhuǎn)軸120和裝在軸120上的輥筒110，使得基板可以傳遞到下一工序?；蛘撸?dāng)使用磁盤齒輪420和430時(shí)，傳動(dòng)齒輪420使平行于傳動(dòng)齒輪420的從動(dòng)齒輪430旋轉(zhuǎn)，從而使緩沖層215上的基板可以傳遞到下一工序。
根據(jù)與上面相同的方法，為傳遞下一基板，使載有將由垂直移動(dòng)單元230傳遞的基板的緩沖層215達(dá)到驅(qū)動(dòng)單元220的高度。當(dāng)緩沖層215達(dá)到驅(qū)動(dòng)單元220的高度時(shí)，驅(qū)動(dòng)單元220可以將緩沖層215上的基板傳遞到下一工序。
盡管已經(jīng)結(jié)合本發(fā)明的具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但對(duì)于所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可以對(duì)本發(fā)明作多種修改和變化而不背離本發(fā)明的范圍和精神是顯而易見的。因此，應(yīng)當(dāng)理解以上實(shí)施例在所有的方面并非限制性的，而是說明性的。
根據(jù)以上所述的用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)可得到以下效果。
通過調(diào)整基板先進(jìn)先出和在緩沖系統(tǒng)中等待的時(shí)間均等可以保持工序平衡。
此外，可以通過相對(duì)減少基板在緩沖系統(tǒng)中的等待時(shí)間，防止雜物落于基板上。
本發(fā)明的效果不限于上述提到的這些，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通過權(quán)利要求將會(huì)更清楚地理解本發(fā)明的其他效果。
權(quán)利要求
1.用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含，一個(gè)或多個(gè)具有軸和安裝固定在軸上的輥筒的緩沖層，用以暫時(shí)存儲(chǔ)或傳遞基板；垂直移動(dòng)單元，其上下移動(dòng)緩沖層，使得載有待傳遞的基板的緩沖層與驅(qū)動(dòng)單元連接；以及驅(qū)動(dòng)單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)，從而傳遞基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是還包括具有支承其中的軸的孔的緩沖體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是驅(qū)動(dòng)單元通過使用磁性斜齒輪使緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是驅(qū)動(dòng)單元通過使用磁盤齒輪使緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是垂直移動(dòng)單元存儲(chǔ)先進(jìn)入的基板的緩沖層次序，并根據(jù)存儲(chǔ)的順序上下移動(dòng)緩沖層以傳送基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是垂直移動(dòng)單元通過活塞或螺旋齒輪的方式上下移動(dòng)緩沖層。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)，具體說是一種暫時(shí)存儲(chǔ)多個(gè)基板并能夠調(diào)整先進(jìn)先出的緩沖系統(tǒng)。該緩沖系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)具有軸和安裝固定在軸上的輥筒的緩沖層，用以暫時(shí)存儲(chǔ)或傳遞基板，使緩沖層上下移動(dòng)的垂直移動(dòng)單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層與驅(qū)動(dòng)單元連接，驅(qū)動(dòng)單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)，從而傳遞基板。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101093810SQ20071010757
公開日2007年12月26日 申請(qǐng)日期2007年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月23日
發(fā)明者李晟熙, 李明振 申請(qǐng)人:株式會(huì)社細(xì)美事