專利名稱：硅片裝卸裝置的制作方法
硅片裝卸鍾技術領膝本發(fā)明涉及晶維太陽能電池f鵬^中的一種工裝夾具，尤鄉(xiāng)及晶^tt陽能電,面,:ijf中用于硅片存取的^a。
背景技術：
在晶^5i太陽能電池生產過程中，都需在晶體硅太陽能電^^面帝恪一MMM^膜， 現(xiàn)在流行的工藝，PECVD方法在硅片表面鍍覆一層氮化5M，國內使用的PECVD設 備多數(shù)是德國roth-mu公司^的平fe^PECVD設備。在該設備中用T^^硅片itfi^ 膜的X^為石驗，其結構如附圖1~2戶標，它為一個板狀的鵬結構，在板狀框架上 等間跟也設有36個方孔2，孔與孑Lt間由筋條3隔開，四周邊1形^1架，方孔2用于 腿硅片，在*方孔2的左右兩側各設有限位鉤4，它們能限定硅片上下、左右的自 由度； 后兩側各設有兩根限{雄5，用于P艮定硅片前后方向哼自由度。方孔2的大 小與硅片相對應，在齡方孔內方i(A—片硅片，放滿后3MI架上的f爐6滑入鄉(xiāng)莫設 備進行鄉(xiāng)莫，這種石斷在硅片的方M^出時，操作員都必須細心i細吸筆^^他手 工工具準確操作，稍不留意硅片就會與框架磨擦，導致硅片四周缺口，嚴重時會使硅片 ，這是硅片^r:序中的產，品太多的一個工序，它，響晶體硅太陽能電池生產^的主要因素之一。
發(fā)明內容
為劃艮現(xiàn)有石^^在存取硅片時所存在的，不足，本發(fā)明提供了一種與石m配 套使用的硅片裝卸裝置。它與現(xiàn)有石 配套使用，不僅簡化了硅片在石 上的存取，避免硅片與框架之間的摩擦，大幅度陶氐了硅片在取方i(31程中所產生的缺口或碎裂， 提高了硅片在PECVD工序中的成品率，斷氐了妒駄，提高了妒效率。
本發(fā)明戶;f^硅片裝卸紫置由底板21、石 定位塊22、頂 B十23鄉(xiāng)賊，石驗定 位塊22固定 板21上，在石TO定位塊22與/^l反21之間設有與滑軌6相對應的滑 軌槽24，所述頂托針23分布^/g板21的上端面，在與石m上方孔2相對應的位置范 圍內均勻分布若千根頂 B十23，當石墨舟安放在硅片裝卸器上后頂托針23的高度略高 于石W的上端面。將石墨 ^在硅片裝卸體上，石墨舟由石墨舟定位±央限位，固定 社的頂 撥十與石墨舟的方孔相對應，方孔中的硅片則由頂形十自動頂出；同樣，硅片在存放時 可直接放在頂裕十上，當將石M^直升起后，硅片自動放在方孔內，這樣不僅簡化了 硅片在石墨舟上的存取，避免硅片與框架之間的摩擦，大幅度斷氐了硅片在取方勉程中 所產生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，P射氐了^i^:，提高 了生產效率。
圖l、圖2為石墨舟的結構示意圖；圖l為石墨^)f艦圖；圖2為石墨舟的局部普艦圖；圖3為石墨舟與硅片裝卸驢結合狀態(tài)的示意圖；圖4是從圖3狀態(tài)取出石墨舟后硅片裝卸裝置的俯視圖(局部)；其中l(wèi)-四周邊；2-方孔；3鄰條；4-限位鉤；5-限位絲；6~滑軌；21-底板；22-石墨舟定位塊；23-頂撒24^滑車纖。具體實施旅下面結合附圖執(zhí)列說明本發(fā)明的具體實施方式
。實施例1:石墨舟的結構如附圖1~2戶標，它為一個板狀的職結構，在板狀框架上等間距地設有36個方孔2，孑L與孑Lt間由筋條3隔開，四周邊l形j^i架，方孔2用 于方燈硅片，在齡方孔2的左右兩側各設有限位鉤4，它們能限定硅片上下、左右的 自由度；在前后兩側各設有兩根限位絲5，用于限定硅片前后方向的自由度，方孔2的 大小與硅片相對應，在^方孔內方j(A—片硅片。戶;M硅片裝卸，由底板21、兩個石 定位塊22、 一佰萄別根頂裕十23纟Mi， 兩個石墨舟定位i央22分另個定械板21上左側面和前面，在石辦定位±央22與底21之間設有與滑軌6相對應的滑鵬24， 一佰熟搬頂縱23分^H十六個單元，每 個單元由三根頂 B十23，它們呈等腰三角形分布，所有頂 B十23都固定S/^21的上 端面，^h單元由三根頂托針23與石m上方 L2相對應，當石 安放在硅片裝卸器 上后頂 B十23的高度略高于石，的上端面。本發(fā)明的〗OT方法將石 "方 在硅片裝卸^ 上，使石 的左側面和前面分 別緊貼兩個石IW定位塊22，此時，石墨舟上的左右兩滑軌6分別位于滑軌槽24內， 硅片裝卸驢上頂報f能將石W3"方孔中的硅片則自動頂出；同樣，硅片在存放時可直 接放在頂形十上，當將石墨鵬直升起后，硅片自動放在方孔內，這樣不僅簡化了硅片 在石墨舟上的存取，避免硅片與框粒間的摩擦，大幅度斷氏了硅片在m^姐程中所產 生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD !0中的成品率，陶氐了妒駄，提高了生 產效率。祉例中，在齡方孔內設置了三^M等腰三角形分布的頂報十，在其內均勻設置 3根以上也可。
權利要求
1、一種硅片裝卸裝置，其特征是它由底板(21)、石墨舟定位塊(22)、頂托針(23)組成，石墨舟定位塊(22)固定在底板(21)上，在石墨舟定位塊(22)與底板(21)之間設有與滑軌(6)相對應的滑軌槽(24)，所述頂托針(23)分布在底板(21)的上端面，在與石墨舟上方孔(2)相對應的位置范圍內均勻分布若干根頂托針(23)，頂托針(23)的高度為當石墨舟安放在硅片裝卸裝置上后，頂托針(23)的高度略高于石墨舟的上端面。
2、 根據(jù)權利要求1所述硅片裝卸裝置，其特征是在與石墨舟上方孔(2) 相對應的位置范圍內均勻分布3根以上頂托針(23)。
全文摘要
一種硅片裝卸裝置，它由底板、石墨舟定位塊、頂托針組成，石墨舟定位塊固定在底板上，在石墨舟定位塊與底板之間設有與滑軌相對應的滑軌槽，所述頂托針分布在底板的上端面，在與石墨舟上方孔相對應的位置范圍內均勻分布若干根頂托針，當石墨舟安放在硅片裝卸器上后頂托針的高度略高于石墨舟的上端面。它與現(xiàn)有石墨舟配套使用，不僅簡化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片與框架之間的摩擦，大幅度降低了硅片在取放過程中所產生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生產成本，提高了生產效率。
文檔編號H01L21/67GK101165869SQ200710146210
公開日2008年4月23日 申請日期2007年8月29日 優(yōu)先權日2007年8月29日
發(fā)明者劉志剛, 荀建華 申請人:荀建華;劉志剛