專利名稱：用于將基板引入處理室的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板處理系統(tǒng)，特別涉及用在基板處理系統(tǒng)中以 方便傳送基板的監(jiān)視系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
平板顯示器可包括液晶顯示器、等離子顯示板、有機(jī)發(fā)光二 極管以及其它類似器件。這些平板顯示器可以利用包括處理室、 加載鎖定真空室和傳送室的真空處理設(shè)備來(lái)制造。
處理室處理基板的表面，例如，通過在真空中使用等離子、 熱能或類似物而進(jìn)行蝕刻處理。加載鎖定真空室從外側(cè)接收未處 理基板，并將處理后的基板排放到外側(cè)，同時(shí)在大氣狀態(tài)和真空 狀態(tài)之間進(jìn)行交替。當(dāng)將基板引入處理室和由處理室排放時(shí)，傳 送室可以用作中間保持地點(diǎn)。為此，傳送室可以布置在處理室和 加載鎖定真空室之間。正確排序和傳送基板進(jìn)出處理室，對(duì)于確 保正確處理基板和防止基板在傳送過程中受損是重要的。
下面將參照附圖描述本發(fā)明的實(shí)施方式，在附圖中以相同的 附圖標(biāo)記表示類似的元件。在附圖中
圖1A和1B是代表性處理室的剖視圖，其中圖1A示出了抬
升銷的升高狀態(tài)，圖1B示出了抬升銷的降低狀態(tài)；
圖2A和2B是圖1A和IB中所示代表性處理室中安置的基板 的俯視圖，其中圖2A示出了基板的破裂狀態(tài)，圖2B示出了基板 的錯(cuò)誤加載狀態(tài)；
圖3是用于制造平板顯示器的代表性設(shè)備的俯視圖4是處理室的剖視圖，根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第一 實(shí)施方式的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置可被采用于此；
圖5是圖4中的部分'A'的放大圖6是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第二實(shí)施方式的利用抬 升銷判斷是否存在基板的裝置的局部剖視圖7是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第三實(shí)施方式的利用抬 升銷判斷是否存在基板的裝置的局部剖視圖8是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的一個(gè)實(shí)施方式的通過利 用抬升銷判斷是否存在基板的裝置來(lái)引入基板并且檢測(cè)所引入基 板狀態(tài)的方法的流程圖9是處理室的剖視圖，其中根據(jù)這里在廣泛意義上描述的 第四實(shí)施方式的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置可被采用于 此；
圖10A和10B是圖9中的部分'B'的放大圖，其中圖10A示 出了抬升銷不發(fā)生位移的狀態(tài)，圖10B示出了抬升銷發(fā)生位移的 狀態(tài)；
圖11是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第五實(shí)施方式的利用抬 升銷判斷是否存在基板的裝置的剖視圖12A-12D是代表性位移檢測(cè)裝置的剖視圖，其可被用在圖 9所示的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置中； 圖13A-13D是各種位移檢測(cè)裝置的剖視圖，它們可被用在圖 11所示的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置中；
圖14是用于通過圖9或圖11中所示的利用抬升銷判斷是否 存在基板的裝置來(lái)引入基板并且檢測(cè)所引入基板狀態(tài)的方法的流 程圖15是平板顯示器制造設(shè)備的剖視圖，其中，根據(jù)這里在廣 泛意義上描述的第六實(shí)施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置可被 采用于此；
圖16是圖15所示的閘門閥檢測(cè)裝置的放大圖17是圖15所示的閘門閥檢測(cè)裝置的沿著箭頭A'所示的方 向所作的剖視圖18是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第七實(shí)施方式的用于判 斷閘門閥開閉的裝置的局部剖視圖19是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第八實(shí)施方式的用于判 斷閘門閥開閉的裝置的局部剖視圖20是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第九實(shí)施方式的用于判 斷閘門閥開閉的裝置的局部剖視圖；以及
圖21是代表性傳送機(jī)器人的透視圖。
具體實(shí)施例方式
下面參看本發(fā)明的各種實(shí)施方式，它們的例子顯示在附圖中。 盡可能地在所有附圖和說(shuō)明書中用相同的附圖標(biāo)記表示相同或相 似的部件。
圖1A和1B是代表性實(shí)施方式的處理室的剖視圖。處理室可
包括室ll，其在側(cè)壁中具有閘門縫(gateslit) llg，以使得基板可 以被引入室11或從室11排出，安裝于室11的上部區(qū)域中的上側(cè) 電極組件12，安置在上側(cè)電極組件12下面的下側(cè)電極組件13， 安裝于下側(cè)電極組件13中的多個(gè)抬升銷14，以及同時(shí)升降所述多 個(gè)抬升銷14的抬升機(jī)構(gòu)15。如有必要，閘門縫和閘門閥也可以配 備給傳送室和/或加載鎖定真空室。
閘門縫llg可以通過閘門閥llv而被開閉。待處理基板可以 布置在下側(cè)電極組件13的上表面或"臺(tái)面"上。抬升機(jī)構(gòu)15可包 括銷板16，其上固定著相應(yīng)抬升銷14的下端，以及以滾珠絲杠驅(qū) 動(dòng)方式升降銷板16的滾珠絲杠17和電機(jī)18。
為將基板引入處理室，在加載鎖定真空室(未示出)中處于 待用狀態(tài)的傳送機(jī)器人(未示出)可被致動(dòng)?；蹇梢员槐３衷?下側(cè)電極組件13 (以下稱作"臺(tái)面")上方，如顯示于圖1A，并且 抬升銷14可以通過抬升機(jī)構(gòu)15而被抬升。然后，當(dāng)抬升銷14被 充分抬升后，傳送機(jī)器人可以將基板安置在升高的抬升銷14上并 移出室ll，并且抬升銷14可以被降低。如顯示于圖1B， 一旦被 完全降低，抬升銷14即完全撤入臺(tái)面13中并且不再突伸到臺(tái)面 13的上表面上方，而基板由臺(tái)面13支撐。
當(dāng)基板的表面處理完成后，抬升銷14可以被抬升以從臺(tái)面13 升高基板，傳送機(jī)器人的臂可以移動(dòng)到基板下面的位置。之后， 隨著抬升銷14下降，基板可以在傳送機(jī)器人移出室11時(shí)支靠在 傳送機(jī)器人的臂上，以從室11排放基板。在如前所述的處理室中， 連續(xù)引入基板容易持續(xù)進(jìn)行，除非處理過程被手工中斷。因此， 如果基板被引入室11中以便處理，并且另一基板己經(jīng)安置在室11 處，則傳送機(jī)器人的臂和先前引入的基板可能相互干涉，有可能 損壞一或兩個(gè)基板。
為了解決這一問題，室11可包括檢測(cè)窗(未示出)，以允許 從外側(cè)觀察室11的內(nèi)部。然而，室11的內(nèi)部可能照明不佳，或 未照明，因此可能難以確實(shí)地證實(shí)基板是否存在于室11中。另外， 每次為將被引入室11的新基板實(shí)施視頻檢測(cè)室11的內(nèi)部以檢査 基板是否存在是耗時(shí)的并且可能導(dǎo)致制造過程緩慢。
如果不執(zhí)行視頻檢測(cè)，或檢測(cè)不精確，基板可能會(huì)在破裂狀
態(tài)下被引入室ll，如顯示于圖2A,或者，取決于傳送機(jī)器人的狀 態(tài)，所引入的基板可能被錯(cuò)誤地加載，如顯示于圖2B。如果破裂 或錯(cuò)位的基板被引入室11，處理操作可能被實(shí)施于最終被廢棄的 基板。
圖3是用于制造平板顯示器的代表性設(shè)備的俯視圖，所述設(shè) 備可包括加載鎖定真空室(load lock chamber) 1，具有閘門縫22 和閘門閥24的處理室(process chamber) 2，傳送室3，傳送機(jī)器 人4，和導(dǎo)向件5。傳送機(jī)器人4可包括機(jī)器人本體42，其在驅(qū)動(dòng) 裝置產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力作用下沿著導(dǎo)向件5移動(dòng)，以及手部44，其配 備給機(jī)器人本體42，以接收將被傳送的基板。
為將基板引入處理室2以便處理，閘門閥24可以被打開以敞 開閘門縫22。傳送機(jī)器人4可以被加載鎖定真空室1中的基板加 載并沿著導(dǎo)向件5朝向處理室2移動(dòng)，并且可以通過閘門縫22進(jìn) 入處理室2。然后，傳送機(jī)器人4可以卸載基板并且返回至傳送室 3。在處理過程中，閘門閥24和閘門縫22可以保持關(guān)閉。
如前所述，當(dāng)將基板引入處理室2時(shí)，閘門閥24需要被打開 以敞開閘門縫22。然而，如果閘門閥24由于例如故障或誤操作而 保持關(guān)閉，則由于如前所述設(shè)備的構(gòu)造和檢測(cè)能力，這種狀態(tài)可 能不被識(shí)別出來(lái)。因此，通過傳送機(jī)器人4而被傳送進(jìn)入處理室2 的基板可能碰撞到閘門閥24，有可能損壞基板、傳送機(jī)器人4和/
或閘門閥24。
為解決這些問題，如顯示于圖4和5，處理室可包括室51， 其可以提供真空空間以用于基板的表面處理，分別可以彼此面對(duì) 面地安裝在室51內(nèi)的上側(cè)區(qū)域和下側(cè)區(qū)域的上側(cè)電極組件52和 下側(cè)電極組件53，可以通過下側(cè)電極組件53豎直升降的多個(gè)抬升 銷54，可以同時(shí)升高和同時(shí)降低所述多個(gè)抬升銷54的銷抬升機(jī)構(gòu) 55，以及利用抬升銷54和相關(guān)的銷抬升機(jī)構(gòu)55來(lái)判斷基板是否 已經(jīng)存在于室51中的裝置60。室51可以具有位于其一個(gè)側(cè)壁中 的閘門縫51g，基板可以通過該閘門縫被引入室51或從室51排出。 閘門縫51g可以通過閘門閥51v而被開閉。波紋管59可以在室51 和銷抬升機(jī)構(gòu)55的一部分之間包圍抬升銷54，以在室51中維持 真空狀態(tài)。
上側(cè)電極組件52可包括噴頭(未示出)用于噴射處理氣體， 以用于基板的表面處理。下側(cè)電極組件53可以用作可在其上安置 所引入的基板的卡盤頭，因此下側(cè)電極組件53的接收表面可以被 稱作"臺(tái)面"。下側(cè)電極組件53可包括銷孔53h，相應(yīng)抬升銷54可 以通過銷孔而被抬升和降低。銷孔53h可以沿豎直方向延伸，或 沿著與抬升銷54的定向相對(duì)應(yīng)的方向延伸。銷孔53h可以以規(guī)則 的間隔靠近下側(cè)電極組件53 (以下稱作"臺(tái)面")的邊緣提供。取 決于抬升銷54的數(shù)量和位置，以及基板所需的定位、支撐和運(yùn)動(dòng)， 銷孔53h的數(shù)量和位置可以變化。
銷抬升機(jī)構(gòu)55可包括銷板56，可以在其上固定相應(yīng)抬升銷 54的下端，以及驅(qū)動(dòng)裝置，用于升降銷板56。圖4中所示的驅(qū)動(dòng) 裝置包括滾珠絲杠57，其連接著銷板56，以及電機(jī)58，其用于沿 兩個(gè)方向(順時(shí)針和逆時(shí)針)旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠57。其它用于驅(qū)動(dòng)裝 置的部件也是可以構(gòu)想出來(lái)的。
用于判斷是否存在基板的裝置60可包括基板檢測(cè)裝置61，判 斷裝置62和通知裝置63。當(dāng)抬升銷54被升高而從臺(tái)面53伸出并 且支撐基板時(shí)，基板檢測(cè)裝置61可以檢測(cè)基板負(fù)載是否作用在抬 升銷54上?；鍣z測(cè)裝置61可以以下述方式構(gòu)造，即當(dāng)其檢測(cè) 到基板負(fù)載作用在抬升銷54上時(shí)，相應(yīng)的檢測(cè)結(jié)果，或檢測(cè)信號(hào)， 從基板檢測(cè)裝置61輸出到判斷裝置62。為了便于基本上立即輸出 這樣的信號(hào)，判斷裝置62可以電連接至基板檢測(cè)裝置61。
基板檢測(cè)裝置61可包括傳感器，其安裝在將被帶到與基板接 觸的抬升銷54中的一些或全部的相應(yīng)上端，并且在基板負(fù)載作用 在抬升銷54上時(shí)將被基板負(fù)載致動(dòng)。當(dāng)傳感器接收基板負(fù)載時(shí)， 傳感器可以由基板負(fù)載致動(dòng)，并且輸出相應(yīng)的檢測(cè)信號(hào)至判斷裝 置62。例如，推壓式開關(guān)可以被構(gòu)造成使得，當(dāng)推壓式開關(guān)被推 壓時(shí)，電連接被機(jī)械地建立。作為可選方式，電接觸傳感器或電 氣檢測(cè)與基板之間接觸的電應(yīng)變儀可以被采用。
判斷裝置62可以從基板檢測(cè)裝置61也就是傳感器接收檢測(cè) 信號(hào)，并因此而判斷是否存在基板。判斷裝置62可包括控制裝置， 用于控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。當(dāng)如前所述判斷出基板存 在于室51中時(shí)，控制裝置可以輸出相應(yīng)的控制信號(hào)，從而使得可 電連接至控制裝置的通知裝置63可被致動(dòng)。相反，如果判斷出沒 有基板存在于室51中，則控制裝置可以輸出相應(yīng)的控制信號(hào)，從 而使得待處理基板可以被引入室51中。通過這種方式，控制裝置 可以控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。
在控制裝置的控制下，通知裝置63可以通知工人基板是否存 在。通知裝置63可包括，例如，警示燈63w或監(jiān)視器，用于視頻 通知，揚(yáng)聲器63s或蜂鳴器，用于聲頻通知，或如有必要，包括 其它裝置。類似地，視頻通知裝置和聲頻通知裝置可以被一起使
用。
警示燈63w的設(shè)置數(shù)量可以對(duì)應(yīng)于傳感器61的數(shù)量(抬升銷 54的數(shù)量，如果每個(gè)抬升銷54具有一個(gè)傳感器61的話)，從而使 得，當(dāng)每個(gè)傳感器61輸出檢測(cè)信號(hào)時(shí)，控制裝置可以響應(yīng)于檢測(cè) 信號(hào)而接通相應(yīng)的警示燈63w。在這一方面，由于傳感器61安裝 在每個(gè)相應(yīng)抬升銷54上的事實(shí)，如果室51中基板負(fù)載不均勻分 布并且因此不作用在所有抬升銷54上，則可以判斷出基板局部破 裂，或者在基板負(fù)載不作用在所有的抬升銷54上的情況下判斷出 基板被錯(cuò)誤加載。結(jié)果，可以確定所引入的基板是否處在正確狀 態(tài)。
如顯示于圖6，根據(jù)第二實(shí)施方式的利用抬升銷判斷是否存在 基板的裝置可包括分別安裝在抬升銷54下端的基板檢測(cè)裝置 61A，以便被安置在抬升銷54與其支撐結(jié)構(gòu)例如銷板56之間。作 為可選方式，支撐結(jié)構(gòu)可包括其它構(gòu)成元件，只要它們沿著基板 負(fù)載作用在抬升銷54上的作用線安置以支撐抬升銷54即可。
如顯示于圖7，在根據(jù)第三實(shí)施方式的利用抬升銷判斷是否存 在基板的裝置中，每個(gè)抬升銷54B可包括上側(cè)銷54u，其安置在 上側(cè)位置，以及下側(cè)銷54d，其安置在上側(cè)銷54u下面。因此，整 體上看，每個(gè)抬升銷54B可以具有被劃分為上下側(cè)部分結(jié)構(gòu)的。 基板檢測(cè)裝置61B可以布置在抬升銷54B的以這種方式劃分的上 側(cè)銷54u和下側(cè)銷54d之間?；鍣z測(cè)裝置61B可以安裝在下側(cè) 銷54d的上端，或安裝在上側(cè)銷54u的下端。
下面將參照?qǐng)D8描述一種使用根據(jù)第一至第三實(shí)施方式的用 于判斷是否存在基板的裝置中的任何一個(gè)來(lái)引入基板并且檢測(cè)所 引入基板的狀態(tài)的方法。
在正常操作中，抬升銷54可以被降低并且插入銷孔53h，從 而使得其上端不從臺(tái)面53伸出。為將加載鎖定真空室中處于待用 狀態(tài)的基板引入室51，并將基板加載到臺(tái)面53上以便處理，所述 多個(gè)抬升銷54可以利用來(lái)自銷抬升機(jī)構(gòu)55 (Sl)的驅(qū)動(dòng)力而同時(shí) 升起以接收基板，并且然后降低至它們的初始位置。
基板檢測(cè)裝置61的傳感器通過檢測(cè)基板負(fù)載是否作用在抬升 銷54上而檢測(cè)基板是否安置在抬升銷54上，并且將檢測(cè)結(jié)果傳 送到控制裝置(S2)。如果來(lái)自至少一個(gè)傳感器的檢測(cè)信號(hào)輸入到 控制裝置，則控制裝置判斷出基板存在(S3)。相反，如果沒有檢 測(cè)信號(hào)從傳感器輸入，則控制裝置判斷出沒有基板存在(S4)。
當(dāng)基板的存在被確定后(S3),控制裝置輸出控制信號(hào)并且啟 動(dòng)通知裝置63 (S13)。工人可以基于通知識(shí)別基板的存在，并且 可以采取后續(xù)的所需行動(dòng)。在這種情況下，如果在室51中檢測(cè)到 當(dāng)前存在基板，控制裝置可以進(jìn)一步被構(gòu)造成防止引入新的基板。 作為可選方式，或者作為附加，處理過程可以前進(jìn)至判斷是否負(fù) 載作用在所有抬升銷54上(S7),以確定被檢測(cè)基板的狀態(tài)。
當(dāng)判斷出不存在基板后(S4)，傳送機(jī)器人可以被驅(qū)動(dòng)以引入 待處理基板，并將基板放置在臺(tái)面53上(S5)。抬升銷54可以被 抬升以從傳送機(jī)器人接收新引入的基板，并且然后降低至初始位 置(S6)。在抬升銷54接收基板后，傳送機(jī)器人可以移出室51。
傳感器檢測(cè)基板負(fù)載是否作用在所有抬升銷54上，而控制裝 置從傳感器接收檢測(cè)結(jié)果(S7)。如果沒有從每個(gè)傳感器接收到檢 測(cè)信號(hào)，則控制裝置判斷出相應(yīng)的基板的一部分破裂(見圖2A)， 或者基板被錯(cuò)誤加載(見圖2B) (S8)。相反，如果檢測(cè)信號(hào)被從 所有傳感器輸入，則控制裝置判斷出基板沒有破裂并且基板已被 正確加載(S9)。
如果判斷出基板處于不正確狀態(tài)時(shí)(S8)，控制裝置輸出信號(hào) 以啟動(dòng)通知裝置63 (S13)，以便通知工人這種狀況。因此，工人 可以識(shí)別基板狀態(tài)，并且可以采取適宜的行動(dòng)?？刂蒲b置可以進(jìn) 一步被構(gòu)造成中斷執(zhí)行后續(xù)過程，直至工人采取修正行動(dòng)。
相反，如果判斷出基板處在正確狀態(tài)(S9)，基板的表面處理 被執(zhí)行(SIO)。如果表面處理完成，已經(jīng)完全經(jīng)歷表面處理的基 板通過下述方式而被排出，即升高抬升銷54，將傳送機(jī)器人引入 室51，降低抬升銷54，將傳送機(jī)器人移出室51 (Sll)。設(shè)備然后 既可以處理另一基板，也可以結(jié)束處理(S12)。
根據(jù)第四實(shí)施方式的處理室和利用抬升銷判斷是否存在基板 的裝置，如顯示于圖9和IOA-IOB，可包括室151，閘門縫151g， 閘門閥151v，上側(cè)電極組件152，臺(tái)面153，銷孔153h，多個(gè)抬 升銷154A，銷抬升機(jī)構(gòu)155,銷板156，滾珠絲杠157，電機(jī)158, 波紋管159，和用于判斷是否存在基板的裝置160。在這些構(gòu)成元 件中，室151、閘門縫151g、閘門閥151v、上側(cè)電極組件152、 臺(tái)面153、銷孔153h、銷抬升機(jī)構(gòu)155、銷板156、滾珠絲杠157、 電機(jī)158和波紋管159類似于前面描述的那些，并且因此省略對(duì) 其詳細(xì)描述。
所述多個(gè)抬升銷154A可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中，取決于基 板是否放置在臺(tái)面153上，抬升銷154A的突伸高度被改變并且抬 升銷154A被移位。每個(gè)抬升銷154A可包括本體和彈性支撐本體 的彈性元件El。在特定實(shí)施方式中，每個(gè)彈性元件El可以是螺 旋彈簧，其安裝在抬升銷154A的本體下端，安置在抬升銷154A 的本體和銷板156之間。螺旋彈簧還可以提供支撐結(jié)構(gòu)，用于支 撐抬升銷154A。
如果在基板放置在臺(tái)面153上的狀態(tài)下銷抬升機(jī)構(gòu)155被啟
動(dòng)并且每個(gè)抬升銷154A被升高，則彈性元件E1通過基板負(fù)載而 被壓縮，如顯示于圖IOB，并且同圖IOA所示在沒有基板放置在 臺(tái)面153上的狀態(tài)下抬升銷154A被升高時(shí)相比，抬升銷154A的 突伸高度減小。彈性元件E1可以具有這樣的強(qiáng)度，從而使得其通 過基板負(fù)載而被壓縮，但是當(dāng)沒有基板放置在臺(tái)面153上時(shí)，不 會(huì)被抬升銷154A的本體的負(fù)載壓縮。彈性元件E1可以是圖中所 示的螺旋彈簧，橡膠，海綿，或其它適宜的構(gòu)件。
抬升銷154A的位移結(jié)構(gòu)顯示于圖IOA和IOB。在圖10A中， 沒有基板放置在臺(tái)面153上，抬升銷154A被升高，Hl表示相應(yīng) 的抬升銷154A的突伸高度。在圖10B中，基板放置在臺(tái)面153 上，抬升銷154A被升高，H2表示相應(yīng)的抬升銷154A的突伸高度。
用于判斷是否存在基板的裝置160，如顯示于圖9，可包括位 移檢測(cè)裝置161A，判斷裝置164和通知裝置165。
每個(gè)位移檢測(cè)裝置161A檢測(cè)是否彈性元件El被基板壓縮而 使得抬升銷154A的突伸高度從抬升銷154A由臺(tái)面153伸出的完 全升高位置改變一段預(yù)定高度。當(dāng)檢測(cè)到抬升銷154A被移位后， 相應(yīng)的檢測(cè)結(jié)果(相應(yīng)的檢測(cè)信號(hào))從位移檢測(cè)裝置161A被傳送 至判斷裝置164。為了實(shí)現(xiàn)基本上立即傳送該信號(hào)，判斷裝置164 可以電連接至位移檢測(cè)裝置161A。
位移檢測(cè)裝置161A檢測(cè)所有相應(yīng)抬升銷154A的位移。位移 檢測(cè)裝置161A可以分別沿著用于壓縮彈性元件E1的力起作用的 作用線安裝，從而在彈性元件E1被壓縮時(shí)被所述力致動(dòng)，并且抬 升銷154A的本體和銷板156之間的間隔減小。位移檢測(cè)裝置161A 可以以下述方式包括傳感器，從而使得，當(dāng)傳感器接收所述力時(shí)， 傳感器被所述力致動(dòng)并且輸出檢測(cè)信號(hào)至判斷裝置164。
在特定實(shí)施方式中，每個(gè)傳感器可以安裝在銷板156上并且 插入構(gòu)成彈性元件E1的螺旋彈簧中，以便被安置在抬升銷154A 的本體和銷板156之間。其它安裝方式也是可以構(gòu)想出來(lái)的，并 且每個(gè)傳感器被沿著作用線安置從而每個(gè)傳感器可以接收作用力 就足夠了。例如，致動(dòng)臂可以設(shè)置在抬升銷154A的本體下部，從 而垂直于抬升銷154A升降的方向延伸，并且傳感器可以安裝在銷 板156上，從而被安置在致動(dòng)臂和銷板156之間。
前面描述的傳感器可以是，例如，推壓式開關(guān)，其被構(gòu)造成 使得，當(dāng)推壓式開關(guān)被推壓時(shí)(被抬升銷154A的本體)，電連接 可以被以機(jī)械方式形成。作為可選方式，電氣檢測(cè)基板和抬升銷 154A的本體之間的接觸的電接觸傳感器或電應(yīng)變儀可以被使用。
判斷裝置164從位移檢測(cè)裝置161A也就是傳感器接收檢測(cè)信 號(hào)，并且判斷是否存在基板。判斷裝置164可包括控制裝置，用 于控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。
當(dāng)判斷出基板存在于室151中時(shí)，控制裝置可以輸出相應(yīng)的 控制信號(hào)，從而使得可電連接至控制裝置的通知裝置165被致動(dòng)。 相反，如果判斷出沒有基板存在于室151中，控制裝置可以輸出 相應(yīng)的控制信號(hào)，從而使得待處理基板可以被引入室151。通過這 種方式，控制裝置控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。
在控制裝置的控制下，通知裝置165可以通知工人基板是否 存在。通知裝置165可以是，例如，警示燈165w或監(jiān)視器，用于 視頻通知，或揚(yáng)聲器165s或蜂鳴器，用于聲頻通知。其它部件也 是可以構(gòu)想出來(lái)的，并且視頻通知裝置和聲頻通知裝置可以被一 起使用。
通知基板是否存在可以以一定數(shù)量的警示燈165w實(shí)施，警示
燈數(shù)量的對(duì)應(yīng)于傳感器的數(shù)量(也就是說(shuō)抬升銷154A的數(shù)量)。 因此，當(dāng)任何一個(gè)傳感器輸出檢測(cè)信號(hào)時(shí)，控制裝置可以響應(yīng)于
檢測(cè)信號(hào)接通相應(yīng)的警示燈165w。如果位移不發(fā)生在所有抬升銷 154A (并且一或多個(gè)警示燈165w未點(diǎn)亮)，則即使基板被安置在 室151中，也可以判斷出基板可能局部破損和/或錯(cuò)誤加載，因?yàn)?基板負(fù)載沒有作用在一或多個(gè)抬升銷154A上。因此，可以判斷基 板是否在室151中處在正確狀態(tài)。
根據(jù)第五實(shí)施方式的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置， 如顯示于圖11，可包括多個(gè)抬升銷154B,它們每個(gè)具有上側(cè)銷 154u，安置在上側(cè)銷154u下面并且在下端固定至銷板156的下側(cè) 銷154d,和彈性元件E2，其安裝在上側(cè)銷154u或下側(cè)銷154d上， 以便被安置在下側(cè)銷154d和上側(cè)銷154u之間，并且彈性支撐上 側(cè)銷154u。
彈性元件E2可以是螺旋彈簧，橡膠，海綿，或其它適宜的彈 性部件。與圖9-10B所示彈性元件El的方式相同，彈性元件E2 可以具有足夠的強(qiáng)度，以便被基板負(fù)載壓縮，但是不被上側(cè)銷154u 的負(fù)載壓縮。
將基板放置在臺(tái)面153上的狀態(tài)下抬升銷154B的突伸高度 H2與基板沒有放置在臺(tái)面153上的狀態(tài)下的突伸高度Hl相比， 對(duì)于下側(cè)銷154d，突伸高度沒有變化，然而，對(duì)于上側(cè)銷154u， 突伸高度被改變并且發(fā)生位移。
位移檢測(cè)裝置161B可以執(zhí)行類似于圖9-10B所示位移檢測(cè)裝 置161A的功能。每個(gè)位移檢測(cè)裝置161B可以安裝在上側(cè)銷154u 或下側(cè)銷i54d上，以適宜的端部插入螺旋彈簧彈性元件E2，以 便被安置在上側(cè)銷154u和下側(cè)銷154d之間。
在可選實(shí)施方式中，抬升銷154B可以被以這樣的方式構(gòu)造， 即在抬升銷154B被分為上側(cè)銷154u和下側(cè)銷154d的點(diǎn)(位置) 總是位于室151外側(cè)。通過如此構(gòu)造，當(dāng)抬升銷154B處于升高狀 態(tài)時(shí)，通過如前所述在下側(cè)銷154d上提供致動(dòng)臂(未示出)，位 移檢測(cè)裝置161B可以被安裝在致動(dòng)臂和銷板156之間。
與這里在廣泛意義上描述的第四實(shí)施方式一起使用的位移檢 測(cè)裝置的各種實(shí)施方式示出于圖12A-12D。如顯示于圖12A，每 個(gè)位移檢測(cè)裝置162A可包括光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器 Rl。光發(fā)射傳感器F1或光接收傳感器R1 二者之一可以安裝在抬 升銷154A的本體，二者中的另一可以安裝在銷孔153h的壁上。 光接收傳感器R1從光發(fā)射傳感器F1接收信號(hào)。為此，光發(fā)射傳 感器Fl和光接收傳感器Rl可以布置成當(dāng)抬升銷154A被升高時(shí) 彼此相對(duì)。如果光發(fā)射傳感器F1和光接收傳感器R1以這種方式 安裝，光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器Rl可以隨著抬升銷154A 被升高輸出，并且接收信號(hào)，而不論基板是否存在。出于這一原 因，通過光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器Rl分別輸出和接收信 號(hào)可以只在抬升銷154A升高時(shí)被允許。作為可選方式，可以只在 控制裝置已經(jīng)從位移檢測(cè)裝置162A接收信號(hào)后至少預(yù)定時(shí)間內(nèi) 作出相應(yīng)的判斷。
如顯示于圖12B,光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器Rl中的 任何一個(gè)可以被安置在銷板156上方預(yù)定高度處，而非在銷孔 153h的壁上。支架BR可以可被設(shè)置，以將光發(fā)射傳感器F1或光 接收傳感器Rl保持在距離銷板156的預(yù)定高度。
如顯示于圖12C，光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器Rl可以 安置于銷孔153h的壁的相對(duì)兩側(cè)中，抬升銷154A夾在它們之間。 信號(hào)傳送孔Tl可以延伸通過抬升銷154A，從而使得光發(fā)射傳感器F1和光接收傳感器R1在對(duì)準(zhǔn)傳送孔T1時(shí)可以交換信號(hào)。因此， 當(dāng)抬升銷154A被升高時(shí)，光發(fā)射傳感器F1輸出的信號(hào)可以穿過 信號(hào)傳送孔Tl并被光接收傳感器Rl接收。
如顯示于圖12D，位移檢測(cè)裝置163A可包括光發(fā)射傳感器 Fl，光接收傳感器R1和反射板P1。光發(fā)射傳感器F1可以輸出信 號(hào)至反射板P1，光接收傳感器R1可以接收被反射板P1反射的信 號(hào)。反射板P1可以安裝在抬升銷154A上，并且光發(fā)射傳感器F1 和光接收傳感器Rl可以均安裝在銷孔153h的壁中。光發(fā)射傳感 器F1可以被安置成使得，在抬升銷發(fā)生位移時(shí)154A時(shí)，信號(hào)被 朝向反射板Pl傳送，并且光接收傳感器Rl可以被安置成使得， 在抬升銷發(fā)生位移時(shí)154A時(shí)，由光發(fā)射傳感器Fl發(fā)射并被反射 板Pl反射的信號(hào)可以被光接收傳感器Rl接收。
與這里在廣泛意義上描述的第五實(shí)施方式一起使用的位移檢 測(cè)裝置的各種實(shí)施方式示出于圖13A-13D。這些實(shí)施方式可包括 光發(fā)射傳感器F2，光接收傳感器R2和反射板P2，類似于前面參 照?qǐng)D12A-12D討論的。
如顯示于圖13A，每個(gè)位移檢測(cè)裝置162B可包括光發(fā)射傳感 器F2和光接收傳感器R2。光發(fā)射傳感器F2或光接收傳感器R2 二者之一可以安裝在抬升銷154B的上側(cè)銷154u上，二者中的另 一可以安裝在銷孔153h的壁上，從而使得光發(fā)射傳感器F2和光 接收傳感器R2在抬升銷154B升高時(shí)安置在彼此相對(duì)的位置。
如顯示于圖13B,前面描述的光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感 器R2之一可以通過支架BR保持在距離銷板156的預(yù)定高度處， 而非在銷孔153h的壁中。
如顯示于圖13C，前面描述的光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感
器R2可以均安置在銷孔153h的壁的相對(duì)兩側(cè)，抬升銷154B夾在 它們之間。信號(hào)傳送孔T2可以延伸通過上側(cè)銷154u，從而使得 光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器R2在抬升銷154B升高并且信 號(hào)傳送孔Tl對(duì)準(zhǔn)它們時(shí)可以交換信號(hào)。
如顯示于圖13D，位移檢測(cè)裝置163B可包括光發(fā)射傳感器 F2，光接收傳感器R2和反射板P2。反射板P2可以安裝在上側(cè)銷 154u上，并且光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器R2可以安裝在銷 孔153h的壁上。光發(fā)射傳感器F2可以被安置成使得，在位移發(fā) 生于抬升銷154B時(shí)，信號(hào)被朝向反射板P2傳送，光接收傳感器 R2可以被安置成使得，在位移發(fā)生于抬升銷154B時(shí)，被反射板 P2反射的信號(hào)可以被光接收傳感器R2接收。
下面將參照?qǐng)D14來(lái)描述使用根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第 四實(shí)施方式或第五實(shí)施方式的用于判斷是否存在基板的裝置來(lái)引 入基板并且檢測(cè)所引入基板的狀態(tài)的方法。
舉例來(lái)說(shuō)，根據(jù)第四實(shí)施方式的用于判斷是否存在基板的裝 置(包括若干形式的位移檢測(cè)裝置)和根據(jù)第五實(shí)施方式的用于 判斷是否存在基板的裝置(也包括若干形式的位移檢測(cè)裝置)可 以類似地用于圖8所示的引入基板并且檢測(cè)所引入基板的狀態(tài)方 法。為了簡(jiǎn)化討論，本方法借助于根據(jù)第四實(shí)施方式的用于判斷 是否存在基板的裝置將被描述。然而，可以理解，該方法還可以 被實(shí)施于第五實(shí)施方式。
在正常操作中，抬升銷154A可以被降低并且插入銷孔153h， 從而使得其上端不從臺(tái)面153伸出。為了將加載鎖定真空室中處 于待用狀態(tài)的基板引入室151中，并將基板加載到臺(tái)面153上以 便處理，利用來(lái)自銷抬升機(jī)構(gòu)155的驅(qū)動(dòng)力，所述多個(gè)抬升銷154A 可以同時(shí)升起以接收基板，并且然后降低至它們的初始位置
(SIOO。
在這一過程中，在抬升銷154A升高時(shí)，位移檢測(cè)裝置161A 的傳感器可以而檢測(cè)基板是否安置在抬升銷154A上，并且彈性元 件E1通過基板負(fù)載而被壓縮以引起抬升銷154位移，控制裝置可 以從傳感器接收檢測(cè)結(jié)果(S102)。如果來(lái)自至少一個(gè)傳感器的檢 測(cè)信號(hào)輸入到控制裝置，控制裝置可以判斷基板存在(S103)。相 反，如果沒有檢測(cè)信號(hào)從傳感器輸入，控制裝置判斷不存在基板 (S104)。
當(dāng)基板的存在被確定后(S103)，控制裝置輸出控制信號(hào)并且 啟動(dòng)通知裝置165 (S113)。工人可以基于通知識(shí)別基板的存在， 并且可以釆取所需的行動(dòng)。在這種情況下，控制裝置可以進(jìn)一步 被構(gòu)造成，如果檢測(cè)到室151中當(dāng)前存在有基板，則防止引入新 的基板。作為可選方式，或者作為附加，處理過程可以前進(jìn)至判 斷是否位移發(fā)生于每個(gè)抬升銷154A (S107)，以確定被檢測(cè)基板 的狀態(tài)。
當(dāng)判斷出不存在基板后(S104)，傳送機(jī)器人可以被驅(qū)動(dòng)以引 入待處理基板，并將基板安置在臺(tái)面153上(S105)。抬升銷154A 可以被抬升以在其上接收從傳送機(jī)器人新引入的基板，并且然后 降低至它們的初始位置(S106)。在抬升銷154A接收基板后，傳 送機(jī)器人可以移出室151。
傳感器檢測(cè)是否位移發(fā)生于抬升銷154A，控制裝置從傳感器 接收檢測(cè)結(jié)果(S107)。如果沒有從每個(gè)傳感器都接收到檢測(cè)信號(hào)， 則控制裝置判斷出相應(yīng)的基板的一部分破裂(見圖2A)禾B/或基板 被錯(cuò)誤加載(見圖2B) (S108)。相反，如果檢測(cè)信號(hào)被從所有傳 感器接收，則控制裝置判斷出基板沒有破裂，并且基板的加載已 被正確執(zhí)行(S109)。
如果判斷出基板處于不正確狀態(tài)(S108)，控制裝置輸出信號(hào) 以啟動(dòng)通知裝置165 (S13)，以便通知工人這種狀況。因此，工人 可以識(shí)別基板狀態(tài)，并且可以采取適宜的修正行動(dòng)?？刂蒲b置可 以進(jìn)一步被構(gòu)造成中斷后續(xù)的處理，直至修正行動(dòng)已被執(zhí)行。
相反，如果判斷出基板處在正確狀態(tài)(S109)，基板的表面處 理被執(zhí)行(S110)。如果表面處理完成，已經(jīng)完全經(jīng)歷表面處理的 基板通過下述方式而被排出，即升高抬升銷154A，將傳送機(jī)器人 引入室151，降低抬升銷154A，將傳送機(jī)器人移出室151 (Slll)。 設(shè)備然后既可以處理另一基板，也可以結(jié)束處理操作(S112)。
圖15是一種平板顯示器制造設(shè)備的剖視圖，其中根據(jù)這里在 廣泛意義上描述的第六實(shí)施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置可 被采用。
設(shè)備可包括加載鎖定真空室260，其從外側(cè)接收未處理基板并 儲(chǔ)存它，或者接收處理后的基板并將其排放至外側(cè)。設(shè)備可以還 包括處理室270，其從加載鎖定真空室260接收未處理基板并對(duì)其 進(jìn)行處理，并且處理室的一個(gè)側(cè)壁中限定出閘門縫272，其通過閘 門閥274被打開和關(guān)閉，用作基板的門道。設(shè)備可以還包括傳送 室280，其設(shè)置在處理室270和加載鎖定真空室260之間，傳送機(jī) 器人290，設(shè)置在傳送室280中，以在加載鎖定真空室260和處理 室270之間往復(fù)移動(dòng)，并且將基板從加載鎖定真空室260傳送至 處理室270或從處理室270傳送至加載鎖定真空室260，導(dǎo)向件 G-l，其引導(dǎo)傳送機(jī)器人2卯精確運(yùn)動(dòng)，以及用于判斷閘門閥274 開閉的裝置300。
加載鎖定真空室260和傳送室280可以通過傳送通道P-l相 連，處理室270和傳送室280可以通過傳送通道P-2相連?；?的門道可以被限定在加載鎖定真空室260和傳送室280之間，以
類似于閘門縫272的方式使用，并且門(閘門閥)可以安裝于門 道中，以打開和關(guān)閉門道。
處理室270可以被構(gòu)造成在真空狀態(tài)下實(shí)施基板的表面處理。 處理可以使用等離子、熱能或類似物而被實(shí)施。另外，處理室270 的閘門閥274可以從處理室270外側(cè)打開和關(guān)閉閘門縫272。閘門 閥274可以是旋轉(zhuǎn)型的，其一端鉸接著處理室270，以通過樞轉(zhuǎn)而 打開和關(guān)閉閘門縫272，或者是豎直運(yùn)動(dòng)型的，其中閘門閥274 線性移動(dòng)以打開和關(guān)閉閘門縫272。閘門閥274可以被驅(qū)動(dòng)裝置 (未示出)致動(dòng)。
傳送機(jī)器人290可包括機(jī)器人本體292,其在導(dǎo)向件G-l上移 動(dòng)，手部294，其連接著機(jī)器人本體292，并且其上分別放置著將 被傳送的基板，和驅(qū)動(dòng)裝置(未示出)，其提供用于移動(dòng)機(jī)器人本 體292的驅(qū)動(dòng)力。
用于判斷閘門閥274開閉的裝置300可包括閘門閥檢測(cè)裝置 310A，判斷裝置320和通知裝置330。閘門閥檢測(cè)裝置310A可以 檢測(cè)閘門閥274被打開以敞開閘門縫272還是被關(guān)閉以封閉閘門 縫272。閘門閥檢測(cè)裝置310A可以被構(gòu)造成使得，當(dāng)閘門閥274 的關(guān)閉被檢測(cè)到時(shí)，相應(yīng)的檢測(cè)結(jié)果(檢測(cè)信號(hào))可以基本上立 即從閘門閥檢測(cè)裝置310A輸出至判斷裝置320，判斷裝置電連接 著閘門閥檢測(cè)裝置310A。
如顯示于圖16和17，閘門閥檢測(cè)裝置310A可包括反射板 312a和光學(xué)傳感器模塊。反射板312a可以安裝在閘門閥274外側(cè) (面對(duì)著傳送室280的表面)。光學(xué)傳感器模塊可以輸出信號(hào)(光) 至反射板312a，并且接收被反射板312a反射的信號(hào)。光學(xué)傳感器 模塊可包括光發(fā)射傳感器314a和光接收傳感器316a。
光發(fā)射傳感器314a輸出信號(hào)至反射板312a，光接收傳感器 316a接收由光發(fā)射傳感器314a輸出并被反射板312a反射的信號(hào)。 為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，光學(xué)傳感器模塊可以被安置在與反射板312a相 對(duì)的位置。因此，光學(xué)傳感器模塊可以安裝在導(dǎo)向件G-l上，該 導(dǎo)向件如前所述引導(dǎo)傳送機(jī)器人290的運(yùn)動(dòng)。光發(fā)射傳感器314a 和光接收傳感器316a可以被安裝成不干涉?zhèn)魉蜋C(jī)器人290在導(dǎo)向 件G-1上的運(yùn)動(dòng)。反射板312a和光學(xué)傳感器模塊的安裝位置可以 調(diào)轉(zhuǎn)，其中反射板312a安裝在導(dǎo)向件G-l上，光學(xué)傳感器模塊安 裝在閘門閥274上。
如前所述，判斷裝置320從閘門閥檢測(cè)裝置310A接收檢測(cè)結(jié) 果并且判斷閘門閥274處于打開狀態(tài)還是關(guān)閉狀態(tài)。判斷裝置320 可包括控制裝置，用于控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。
當(dāng)控制裝置從閘門閥檢測(cè)裝置310A接收指示閘門閥274被關(guān) 閉的檢測(cè)結(jié)果后，控制裝置輸出相應(yīng)的控制信號(hào)，從而使得可電 連接至控制裝置的通知裝置330可被致動(dòng)。當(dāng)則控制裝置判斷出 閘門閥274打開時(shí)，控制裝置輸出相應(yīng)的控制信號(hào)，從而使得儲(chǔ) 存在加載鎖定真空室260中且未被處理的基板可以被傳送機(jī)器人 290傳送并被引入處理室270。
在控制裝置的控制下，通知裝置330可以通知工人閘門閥274 是打開還是關(guān)閉的。通知裝置330可包括警示燈332 (其例如可以 被接通以指示閘門閥274的打開，以及被斷開以指示閘門閥274 的關(guān)閉，反之亦然)?；蛘?，用于視頻通知的監(jiān)視器可被采用，或 者用于聲頻通知的揚(yáng)聲器334(其例如可以不產(chǎn)生聲音以指示閘門 閥274的打開，以及產(chǎn)生聲音以指示閘門閥274的關(guān)閉，反之亦 然)或蜂鳴器可被采用。作為附加措施，視頻通知裝置和聲頻通 知裝置可被一起采用。
根據(jù)第七實(shí)施方式的用于判斷閘門閩開閉的裝置，如顯示于
圖18，可包括閘門閥檢測(cè)裝置310B，其包括安裝在閘門閥274外 側(cè)的光發(fā)射傳感器314b和安裝在導(dǎo)向件G-l上的光接收傳感器 316b。光發(fā)射傳感器314b可以輸出信號(hào)(光)，光接收傳感器316b 可以接收由光發(fā)射傳感器314b輸出的信號(hào)。因此，光發(fā)射傳感器 314b和光接收傳感器316b可以被安裝成彼此相對(duì)，并且它們的安 裝位置可以調(diào)轉(zhuǎn)。
根據(jù)第八實(shí)施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置，如顯示于 圖19，可包括閘門閥檢測(cè)裝置310C，其包括安裝在閘門閥274外 側(cè)的光發(fā)射傳感器314c和設(shè)置在傳送機(jī)器人2卯上并被安置成與 光發(fā)射傳感器314c相對(duì)的光接收傳感器316c。光接收傳感器316c 可以安裝在傳送機(jī)器人290的手部294的遠(yuǎn)端。光發(fā)射傳感器314c 和光接收傳感器316c的安裝位置可以調(diào)轉(zhuǎn)，并且光接收傳感器 316c不是必須安裝在手部294上。將光接收傳感器316c安裝在傳 送機(jī)器人290以便能夠與光發(fā)射傳感器314c交換信號(hào)并且因此而 不阻礙傳送機(jī)器人290的操作就足夠了。
盡管根據(jù)第八實(shí)施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置被解釋 為第七實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的改型，但第八實(shí)施方式也可以通過改變 第六實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)進(jìn)行解釋。在這種情況下，反射板或光學(xué)傳 感器模塊二者之一可以安裝在閘門閥274上，二者中另一可以安 裝在傳送機(jī)器人290上。
根據(jù)第九實(shí)施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置，如顯示于 圖20，可包括閘門闊檢測(cè)裝置310D，其也括由支架B-1保持的傳 感器。該傳感器可以沿著用于關(guān)閉閘門閥274的力施加的作用線 安裝，從而被所述力致動(dòng)。當(dāng)所述力施加至傳感器時(shí)，傳感器因 此而被致動(dòng)，并且輸出檢測(cè)信號(hào)至判斷裝置320 (見圖15)。傳感
器可以被安裝在閘門閥274上方以便在閘門閥274被關(guān)閉時(shí)接觸 閘門閥274的上表面。傳感器不是必須以這種方式安裝，而是將 傳感器安裝成位于所述作用線上并因此而承受作用力就足夠了。 例如，推壓式開關(guān)可以被構(gòu)造成使得，當(dāng)推壓式開關(guān)被閘門閥274 推壓時(shí)，電連接被以機(jī)械方式產(chǎn)生。作為可選方式，用于電氣檢 測(cè)與閘門閥274之間接觸的電接觸傳感器或電應(yīng)變儀可以被采用。
圖21是代表性傳送機(jī)器人的透視圖，其包括設(shè)置在機(jī)器人本 體和機(jī)器人手部之間的臂。臂可以被構(gòu)造成收折和展開，如圖21 中的陰影線所示。在根據(jù)第六至第八實(shí)施方式的用于判斷閘門閥 開閉的裝置中，閘門閥檢測(cè)裝置的構(gòu)成元件可以安裝在傳送機(jī)器 人的機(jī)器人本體、手部或臂上。
下面描述使用根據(jù)這里在廣泛意義上描述的一個(gè)實(shí)施方式的 用于判斷閘門閥開閉的裝置來(lái)將基板引入處理室的方法。舉例來(lái) 說(shuō)，根據(jù)第六實(shí)施方式的裝置和根據(jù)其它實(shí)施方式的裝置可以類 似地用于所述引入基板方法。下面，借助于根據(jù)第六實(shí)施方式的 裝置來(lái)描述所述方法。
在正常操作中，閘門閥274保持關(guān)閉，閘門縫272維持于關(guān) 閉狀態(tài)。用于判斷閘門閥開閉的裝置300判斷閘門閥274是打開 還是關(guān)閉的，并將此指示給工人。
如果閘門閥274被關(guān)閉，由閘門閥檢測(cè)裝置310A的光發(fā)射傳 感器314a輸出的信號(hào)被指向安裝在閘門閥274的反射板312a。該 信號(hào)通過反射板312a被反射，并被光接收傳感器316a接收。此 時(shí)，閘門閥檢測(cè)裝置310A輸出相應(yīng)的檢測(cè)結(jié)果至判斷裝置320。 判斷裝置320接收檢測(cè)結(jié)果，判斷出閘門閥274被關(guān)閉，并且輸 出相應(yīng)的控制信號(hào)至通知裝置330。通知裝置330通知工人閘門閥 274被關(guān)閉。
如果需要將待處理基板引入處理室270并且處理基板，則閘 門閥274可以被打開，例如，通過驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)力被降低。如 果閘門閥274由于例如故障或誤操作而不能被打開，則用于判斷 閘門閥開閉的裝置300通知工人閘門閥274仍然關(guān)閉。工人可以 然后精確地識(shí)別閘門閥274的打開或關(guān)閉狀態(tài)，并且可以采取必 要的修正行動(dòng)。在這種情況下，判斷裝置320可以進(jìn)一步被構(gòu)造 成防止引入基板，直至修正行動(dòng)已被執(zhí)行。
隨著閘門閥274被打開，反射板312a的位置相對(duì)于打開的閘 門閥274改變，反射板312a不能反射光發(fā)射傳感器314a的輸出 信號(hào)，光接收傳感器316a不能接收來(lái)自光發(fā)射傳感器314a的信 號(hào)。結(jié)果，用于判斷閘門閥開閉的裝置300通知工人閘門閥274 打開。
當(dāng)通過裝置300判斷出閘門閥274打開時(shí)，傳送機(jī)器人2卯 執(zhí)行引入程序，如下所述。
傳送機(jī)器人290沿著導(dǎo)向件G-l移動(dòng)至加載鎖定真空室260。 在加載鎖定真空室260中，待處理基板安置在手部294上，并且 然后傳送機(jī)器人290沿著導(dǎo)向件G-l移動(dòng)至處理室270。傳送機(jī)器 人290通過閘門縫272進(jìn)入處理室270，裝載在手部294上的基板 在處理室270中卸載，并且傳送機(jī)器人290返回其在傳送室280 中的初始位置。當(dāng)傳送機(jī)器人2卯移出處理室270后，閘門閥274 被關(guān)閉，例如，通過驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)力而被升高，在處理室270 中執(zhí)行基板處理。
這里提供了一種借助于抬升銷判斷基板是否存在的裝置，其 中檢測(cè)基板負(fù)載是否作用在抬升銷上，并且基于檢測(cè)結(jié)果判斷是 否存在基板，從而工人可以快速且方便地證實(shí)基板是否存在。
這里提供了一種判斷借助于抬升銷判斷基板是否存在的裝 置，其中抬升銷的突伸高度基于是否存在基板而發(fā)生變化，是否 位移發(fā)生于抬升銷被檢測(cè)，并且基于檢測(cè)結(jié)果判斷是否存在基板， 從而工人可以快速且方便地證實(shí)基板是否存在。
這里以實(shí)施例的方式在廣泛意義上描述的用于判斷是否存在 基板的裝置可包括多個(gè)抬升銷，它們被安裝成通過由其上放置基 板的臺(tái)面所限定的銷孔而抬升和降低，從而在基板被引入室時(shí)使
得抬升銷升高；基板檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)升高的抬升銷是否承載 著基板；以及判斷裝置，用于從基板檢測(cè)裝置接收檢測(cè)結(jié)果并且 判斷是否存在基板。
基板檢測(cè)裝置可以檢測(cè)基板負(fù)載是否作用在抬升銷上。
基板檢測(cè)裝置可包括傳感器，其沿著基板負(fù)載作用于抬升銷 的至少一條作用線安裝，以便被基板負(fù)載致動(dòng)。作為可選方式， 基板檢測(cè)裝置可包括傳感器，它們沿著基板負(fù)載作用于抬升銷的 各作用線安裝，以便被基板負(fù)載致動(dòng)。
傳感器可以安裝在將被帶到與基板接觸的抬升銷上端，或者 可以被安裝在抬升銷和抬升銷支撐結(jié)構(gòu)之間。作為可選方式，每 個(gè)抬升銷可以分為上側(cè)銷和下側(cè)銷，每個(gè)傳感器可以被安裝在上 側(cè)銷和下側(cè)銷之間。
各抬升銷可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中它們的突伸高度基于抬 升銷是否承載基板而變化，并且基板檢測(cè)裝置可包括位移檢測(cè)裝 置，其檢測(cè)各抬升銷的突伸高度是否變化。
位移檢測(cè)裝置可以檢測(cè)至少一個(gè)抬升銷的位移，或者可以分 別檢測(cè)所有抬升銷的位移。
彈性元件可以被安裝在每個(gè)抬升銷和抬升銷支撐結(jié)構(gòu)之間。 位移檢測(cè)裝置可包括沿著基板負(fù)載壓縮彈性元件的每條作用線安 裝的傳感器，所述壓縮導(dǎo)致減小抬升銷和抬升銷支撐結(jié)構(gòu)之間的 距離，以便被基板負(fù)載致動(dòng)。
在特定實(shí)施方式中，位移檢測(cè)裝置可以還包括光發(fā)射傳感器， 和用于從光發(fā)射傳感器接收信號(hào)的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器 和光接收傳感器二者中的一個(gè)傳感器可以安裝在抬升銷上，另一 個(gè)傳感器可以被安置成在抬升銷發(fā)生位移時(shí)與前一個(gè)傳感器相 對(duì)。
在可選實(shí)施方式中，位移檢測(cè)裝置可包括光發(fā)射傳感器，和 用于從光發(fā)射傳感器接收信號(hào)的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和 光接收傳感器可以被安置成彼此相對(duì)，而抬升銷夾在它們之間。 信號(hào)傳送孔可以被抬升銷限定，從而使得在抬升銷發(fā)生位移時(shí)光 接收傳感器可以從光發(fā)射傳感器接收信號(hào)。
在可選實(shí)施方式中，位移檢測(cè)裝置可包括反射板，用于輸出 信號(hào)至反射板的光發(fā)射傳感器，和用于接收從光發(fā)射傳感器輸出 并被反射板反射的信號(hào)的光接收傳感器。反射板可以安裝在抬升 銷上。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器可以被安裝成在抬升銷發(fā)生 位移時(shí)輸出信號(hào)至反射板，并且然后接收反射信號(hào)。
每個(gè)抬升銷可以分為上側(cè)銷和下側(cè)銷，彈性元件可以被安裝 在上側(cè)銷和下側(cè)銷之間。
位移檢測(cè)裝置可包括沿著基板負(fù)載壓縮彈性元件的每條作用 線安裝的傳感器，所述壓縮導(dǎo)致減小上側(cè)銷和下側(cè)銷之間的距離， 以便被基板負(fù)載致動(dòng)。
在可選實(shí)施方式中，位移檢測(cè)裝置可以還包括光發(fā)射傳感器 和用于從光發(fā)射傳感器接收信號(hào)的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器
和光接收傳感器二者中的一個(gè)傳感器可以安裝在抬升銷的上側(cè)銷 上，另一個(gè)傳感器可以被安置成在抬升銷發(fā)生位移時(shí)與前一個(gè)傳 感器相對(duì)。
在可選實(shí)施方式中，位移檢測(cè)裝置可包括光發(fā)射傳感器，和 用于從光發(fā)射傳感器接收信號(hào)的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和 光接收傳感器可以被安置成彼此相對(duì)，而抬升銷的上側(cè)銷夾在它 們之間，并且信號(hào)傳送孔可以由抬升銷的上側(cè)銷限定，從而使得 光接收傳感器可以在抬升銷發(fā)生位移時(shí)從光發(fā)射傳感器接收信 號(hào)。
在可選實(shí)施方式中，位移檢測(cè)裝置可包括反射板，用于輸出 信號(hào)至反射板的光發(fā)射傳感器，和用于接收從光發(fā)射傳感器輸出 并被反射板反射的信號(hào)的光接收傳感器。反射板可以安裝在抬升 銷的上側(cè)銷上。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器可以被安裝成在抬 升銷發(fā)生位移時(shí)輸出信號(hào)至反射板，并且然后接收反射信號(hào)。
判斷裝置可包括控制裝置，并且本發(fā)明的裝置可以進(jìn)一步包 括通知裝置，用于在控制裝置的控制下指示是否存在基板。
在這里根據(jù)實(shí)施方式在廣泛意義上描述的一種用于判斷是否 存在基板的裝置中，基板負(fù)載是否作用在抬升銷上通過基板檢測(cè) 裝置和判斷裝置而被檢測(cè)，并且基于檢測(cè)結(jié)果判斷是否存在基板， 這可以提供下述優(yōu)點(diǎn)，即是否存在基板可以被快速且方便地確定。
這里提供了用于將基板引入室中的方法，其中可以利用判斷 是否存在基板的裝置，以檢測(cè)負(fù)載和位移，并且僅在室中沒有存 在另一基板時(shí)才允許將基板引入室，從而可以在另一基板存在于 室中的情況下防止基板被引入室，并且可以防止室中的另一基板 由于與傳送機(jī)器人干涉而破裂。
這里以實(shí)施例的方式在廣泛意義上描述的用于將基板引入室 的方法可包括利用判斷是否存在基板的裝置判斷基板是否存在于
臺(tái)面上；以及當(dāng)判斷出沒有基板存在于臺(tái)面上時(shí)將待處理基板傳 送到臺(tái)面上。
所述方法可以還包括在判斷出基板存在于臺(tái)面上時(shí)指示基板 的存在。
在這里以實(shí)施例的方式在廣泛意義上描述的一種用于將基板 引入室的方法中，其使用了判斷是否存在基板的裝置，由于只在 通過判斷裝置判斷出沒有基板存在于室中時(shí)基板才可以被引入 室，因此可以防止在另一基板存在于室中的情況下引入基板。結(jié) 果，可以防止室中的另一基板由于與傳送機(jī)器人干涉而破裂。
一種用于檢測(cè)基板方法被提供，其中使用了判斷是否存在基 板的裝置以檢測(cè)負(fù)載，基板負(fù)載是否作用在所有抬升銷上被檢測(cè)， 并且如果基板負(fù)載不作用于至少一個(gè)抬升銷，則判斷出基板的一 部分破裂或基板被錯(cuò)誤加載，因而所引入基板的狀態(tài)可以容易地 檢測(cè)到。
這里以實(shí)施例的方式在廣泛意義上描述的一種使用負(fù)載檢測(cè) 型裝置檢測(cè)基板以判斷是否存在基板的方法可包括在基板被引入 室時(shí)檢測(cè)基板的負(fù)載是否作用在所有抬升銷上；以及基于所引入 的基板的負(fù)載是否作用在所有抬升銷上的檢測(cè)結(jié)果來(lái)判斷基板破 裂狀態(tài)或基板的錯(cuò)誤加載狀態(tài)。
所述方法可以還包括在判斷出基板破裂或被錯(cuò)誤加載時(shí)指示 基板破裂狀態(tài)或基板的錯(cuò)誤加載狀態(tài)。
在這里根據(jù)實(shí)施方式在廣泛意義上描述的一種用于檢測(cè)基板 的方法中，在檢測(cè)基板負(fù)載是否作用在抬升銷上，所有抬升銷可
以分別被檢測(cè)，并且如果至少一個(gè)抬升銷不輸入檢測(cè)結(jié)果，則可 以判斷出基板的一部分破裂或基板被錯(cuò)誤加載并且因此基板負(fù)載 不作用于至少一個(gè)抬升銷，因而所引入基板的(正確或不正確) 狀態(tài)可以容易地檢測(cè)到。
一種用于檢測(cè)基板的方法被提供，其中可以使用這里以實(shí)施 例的方式在廣泛意義上描述的用于判斷是否存在基板的裝置以檢 測(cè)位移，是否所有抬升銷發(fā)生位移可被檢測(cè)，并且如果至少一個(gè) 抬升銷中不發(fā)生位移，則可以判斷出基板的一部分破裂或基板被 錯(cuò)誤加載，因而所引入基板的狀態(tài)可以容易地檢測(cè)到。
一種使用這里以實(shí)施例的方式在廣泛意義上描述的位移檢測(cè) 型裝置來(lái)檢測(cè)基板以判斷是否存在基板的方法被提供，其可包括
在基板被引入室時(shí)檢測(cè)基板是否使所有抬升銷位移；以及基于是 否所有抬升銷由于所引入的基板而發(fā)生位移的檢測(cè)結(jié)果判斷基板 的破裂狀態(tài)或基板的錯(cuò)誤加載狀態(tài)。
所述方法可以還包括，當(dāng)判斷出基板破裂或被錯(cuò)誤加載時(shí)， 指示基板破裂狀態(tài)或基板的錯(cuò)誤加載狀態(tài)。
在這里根據(jù)實(shí)施方式在廣泛意義上描述的一種用于檢測(cè)基板 的方法中，在檢測(cè)抬升銷是否發(fā)生位移時(shí)，所有抬升銷可以分別 被檢測(cè)，并且如果至少一個(gè)抬升銷不輸入檢測(cè)結(jié)果，則可以判斷 出基板的一部分破裂或者基板被錯(cuò)誤加載，并且因此基板負(fù)載不 作用于至少一個(gè)抬升銷，因而所引入基板的(正確或不正確)狀 態(tài)可以容易地檢測(cè)到。
一種用于判斷閘門閥開閉的裝置被提供，其中閘門閥的狀態(tài) 被檢測(cè)，并且基于檢測(cè)結(jié)果確定閘門閥是否可以被打開或關(guān)閉， 這可以提供下述優(yōu)點(diǎn)，即工人可以快速且方便地證實(shí)閘門閥的開 閉。
這里以實(shí)施例的方式在廣泛意義上描述的一種用于判斷閘門 閥開閉的裝置可包括閘門閥檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)閘門閥的打開狀 態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)，以便打開和關(guān)閉室的閘門縫；以及判斷裝置，用 于從閘門閥檢測(cè)裝置接收檢測(cè)結(jié)果并且判斷閘門閥的開閉。
閘門閥檢測(cè)裝置可包括光發(fā)射傳感器，和用于接收從光發(fā)射 傳感器輸出的信號(hào)的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和光接收傳感 器二者中的一個(gè)傳感器可以安裝在閘門閥上，另一個(gè)傳感器可以 被安置成與前一個(gè)傳感器相對(duì)。
閘門閥檢測(cè)裝置可包括反射板，和用于輸出信號(hào)至反射板和 接收被反射板反射的信號(hào)的光學(xué)傳感器模塊。反射板和光學(xué)傳感 器模塊二者之一可以安裝在閘門閥上，二者中另一可以被安置成 與第一個(gè)相對(duì)。
在特定實(shí)施方式中，安裝在閘門閥上的閘門閥檢測(cè)裝置之一 可以布置在閘門閥外側(cè)，另一閘門閥檢測(cè)裝置可以安裝在傳送機(jī) 器人上，機(jī)器人用于傳送基板以將基板引入室中和從室排出基板。
在可選實(shí)施方式中，安裝在閘門閥上的閘門閥檢測(cè)裝置之一， 可以布置在閘門閥外側(cè)，另一閘門閥檢測(cè)裝置可以安裝在導(dǎo)向件 上，導(dǎo)向件引導(dǎo)傳送機(jī)器人運(yùn)動(dòng)以將基板引入室中和從室排出基 板。
閘門閥檢測(cè)裝置可包括沿著作用線安裝的傳感器，用于關(guān)閉 閘門閥的力沿著該作用線作用于閘門閥，閘門閥被所述力致動(dòng)， 以關(guān)閉閘門閥。
判斷裝置可包括控制裝置；并且本發(fā)明的裝置可以還包括通
知裝置，用于在控制裝置的控制下指示閘門閥的開閉。
在這里根據(jù)實(shí)施方式在廣泛意義上描述的一種用于判斷閘門 閥開閉的裝置中，可以提供下述優(yōu)點(diǎn)，即由于使用閘門閥檢測(cè)裝 置可檢測(cè)閘門閥的開閉，并且基于檢測(cè)結(jié)果可以確定閘門閥是打 開還是關(guān)閉的，并且然后作出指示，因此閘門閥的開閉可以快速 且方便地證實(shí)，并且閘門閥的(打開和關(guān)閉)狀態(tài)可以精確地識(shí) 別出來(lái)。
一種用于將基板引入室的方法被提供，其中使用了這里以實(shí) 施例的方式在廣泛意義上描述的用于判斷閘門閥開閉的裝置，并 且只在閘門閥被打開時(shí)基板可以被引入室，因而可以在閘門閥關(guān) 閉時(shí)防止基板被引入，從而可以防止基板和將基板置于其上的傳 送機(jī)器人由于與閘門閥碰撞而受損。
這里以實(shí)施例的方式在廣泛意義上描述的一種用于將基板引 入室的方法可包括使用用于判斷閘門閥開閉的裝置判斷是否閘門
閥是打開還是關(guān)閉的；以及當(dāng)判斷出閘門閥被打開時(shí)，將待處理
基板傳送到室中。
所述方法可以還包括，當(dāng)判斷出閘門閥被關(guān)閉時(shí)，指示閘門 閥的關(guān)閉。
在這里根據(jù)實(shí)施方式在廣泛意義上描述的一種用于將基板引 入室的方法中，使用了用于判斷閘門閥開閉的裝置，可以提供下 述優(yōu)點(diǎn)，即由于只在通過判斷裝置判斷出閘門閥被打開時(shí)基板可 以被引入，因此可以在閘門閥關(guān)閉時(shí)防止待處理基板被引入室， 從而可以防止基板和將基板置于其上的傳送機(jī)器人碰撞到閘門 閥，由此防止基板、傳送機(jī)器人和閘門閥受損。
本說(shuō)明中涉及的"一個(gè)實(shí)施方式"、"實(shí)施方式"、"代表性實(shí)施 方式"、"特定實(shí)施方式"、"可選實(shí)施方式"等任何一種措辭意味著
結(jié)合實(shí)施例描述的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性包含在這里在廣泛意義 上描述的至少一個(gè)實(shí)施方式中。在本說(shuō)明書中各處出現(xiàn)的上述措 辭并不一定意味著指的是同一實(shí)施方式。另外，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施 方式描述特定特征、結(jié)構(gòu)或特性時(shí)，應(yīng)當(dāng)解讀為，在本領(lǐng)域技術(shù) 人員所能預(yù)期的范圍內(nèi)，這些特定特征、結(jié)構(gòu)或特性可以實(shí)施于 其它實(shí)施方式。
盡管前面參照一定數(shù)量的代表性實(shí)施例描述了本發(fā)明的實(shí)施 方式，但應(yīng)理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員所能構(gòu)想出的其它改型和實(shí)施 方式也應(yīng)落入本申請(qǐng)的精神和范圍內(nèi)。特別地講，在本說(shuō)明書及 其附圖以及權(quán)利要求書限定的范圍內(nèi)可以對(duì)組成元件和/或結(jié)構(gòu)作 出各種改型和修改。除了組成元件和/或結(jié)構(gòu)的改型和修改，它們 的等同替換對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言也可清楚地理解。
權(quán)利要求
1.一種與用于處理基板的處理室一起使用的裝置，所述裝置包括多個(gè)抬升銷，它們被構(gòu)造成通過延伸穿過臺(tái)面的相應(yīng)多個(gè)孔而同時(shí)升起和同時(shí)降低，所述臺(tái)面被構(gòu)造成將基板接收于其上；基板檢測(cè)裝置，其連接著所述多個(gè)抬升銷，其中所述檢測(cè)裝置被構(gòu)造成檢測(cè)所述多個(gè)抬升銷的狀態(tài)，并且基于所檢測(cè)到的狀態(tài)產(chǎn)生相應(yīng)的檢測(cè)信號(hào)；以及判斷裝置，其被構(gòu)造成從所述檢測(cè)裝置接收檢測(cè)信號(hào)，并且基于檢測(cè)信號(hào)判斷基板是否安置在所述多個(gè)抬升銷中的每個(gè)上。
2. 如權(quán)利要求l所述的裝置，其中，當(dāng)所述多個(gè)抬升銷升高 時(shí)，所述檢測(cè)裝置檢測(cè)由安置在所述多個(gè)抬升銷上的基板施加在 所述多個(gè)抬升銷上的負(fù)載。
3. 如權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述檢測(cè)裝置包括為所 述多個(gè)抬升銷中的每個(gè)設(shè)置的傳感器，每個(gè)傳感器沿著基板施加 到相應(yīng)抬升銷上的負(fù)載所產(chǎn)生的力的作用線安置，其中傳感器通 過基板施加的負(fù)載而被致動(dòng)。
4. 如權(quán)利要求3所述的裝置，其中，傳感器被安置在所述多 個(gè)抬升銷的上端和被所述多個(gè)抬升銷支撐的基板下表面之間，或 在所述多個(gè)抬升銷的下端和固定著所述多個(gè)抬升銷的銷支撐結(jié)構(gòu) 之間。
5. 如權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述多個(gè)抬升銷中的每 個(gè)包括下側(cè)銷和安置在下側(cè)銷上面的上側(cè)銷，其中傳感器安置在 下側(cè)銷的上端和上側(cè)銷的下端之間，從而使得傳感器通過基板施 加的負(fù)載和上下側(cè)銷之間相應(yīng)的壓縮而被致動(dòng)。
6. 如權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述多個(gè)抬升銷中的每 個(gè)包括彈性元件，每個(gè)彈性元件連接著相應(yīng)的抬升銷，以便在所 述多個(gè)抬升銷升高時(shí)吸收由安置在抬升銷上的基板施加在抬升銷 上的負(fù)載的至少一部分，從而使得所述多個(gè)抬升銷從臺(tái)面突伸的 高度因此而被調(diào)節(jié)。
7. 如權(quán)利要求6所述的裝置，其中，所述檢測(cè)裝置包括為所 述多個(gè)抬升銷中的每個(gè)設(shè)置的位移探測(cè)器，每個(gè)位移探測(cè)器被構(gòu) 造成探測(cè)相應(yīng)抬升銷由基板施加在其上的負(fù)載所引起的預(yù)定量的 豎直運(yùn)動(dòng)。
8. 如權(quán)利要求7所述的裝置，其中，每個(gè)位移探測(cè)器包括發(fā) 射器和接收器，它們被可操作地連接著，以便探測(cè)相應(yīng)的抬升銷 的豎直位移，其中發(fā)射器和接收器之一安裝于抬升銷的外壁中， 另一個(gè)安裝于基板支撐件中的相應(yīng)孔的內(nèi)壁中，并且當(dāng)發(fā)射器基 于抬升銷的豎直位置而對(duì)準(zhǔn)接收器時(shí)，接收器接收來(lái)自發(fā)射器的 信號(hào)。
9. 如權(quán)利要求7所述的裝置，其中，每個(gè)位移探測(cè)器包括發(fā) 射器和接收器，它們被可操作地連接著，以便探測(cè)相應(yīng)的抬升銷 的豎直位移，其中發(fā)射器和接收器之一安裝于抬升銷的外壁中， 另一個(gè)安裝在連接著銷支撐結(jié)構(gòu)的支架上，并且當(dāng)發(fā)射器基于抬 升銷的豎直位置而對(duì)準(zhǔn)接收器時(shí)，接收器接收來(lái)自發(fā)射器的信號(hào)。
10. 如權(quán)利要求7所述的裝置，其中，每個(gè)位移探測(cè)器包括發(fā)射器和接收器，它們被可操作地連接著，以便探測(cè)相應(yīng)的抬升銷 的豎直位移，其中發(fā)射器和接收器彼此面對(duì)面地安裝在基板支撐 件中的相應(yīng)孔的相對(duì)內(nèi)側(cè)壁中，并且抬升銷包括傳送孔，當(dāng)傳送 孔基于抬升銷的豎直位置而與發(fā)射器和接收器對(duì)準(zhǔn)時(shí)，接收器通 過傳送孔接收來(lái)自發(fā)射器的信號(hào)。
11. 如權(quán)利要求7所述的裝置，其中，每個(gè)位移探測(cè)器包括發(fā) 射器和接收器，它們被可操作地連接著，以便探測(cè)相應(yīng)的抬升銷 的豎直位移，其中發(fā)射器和接收器安裝在抬升銷的外壁中，并且 反射板被提供在基板支撐件中的相應(yīng)孔的內(nèi)壁上，其中接收器基 于抬升銷的豎直位置接收來(lái)自發(fā)射器并被反射板反射的信號(hào)。
12. 如權(quán)利要求7所述的裝置，其中，所述多個(gè)抬升銷中的每 個(gè)包括下側(cè)銷和安置在下側(cè)銷上面的上側(cè)銷。
13. 如權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述判斷裝置接收來(lái)自 基板傳感器的測(cè)信號(hào)并且判斷基板是否向所述多個(gè)抬升銷中的每 個(gè)施加負(fù)載，并將相應(yīng)的信號(hào)傳送到通知裝置，其中通知裝置被 構(gòu)造成產(chǎn)生所述多個(gè)抬升銷中的每個(gè)的負(fù)載承載狀態(tài)的聲頻和視 頻指示中的至少一種。
14. 如權(quán)利要求13所述的裝置，其中，通知裝置包括對(duì)應(yīng)于 所述多個(gè)抬升銷的多個(gè)指示燈，其中所述判斷裝置基于負(fù)載是否 施加到相應(yīng)的抬升銷上而選擇性地點(diǎn)亮所述多個(gè)指示燈。
15. 如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括閘門閥傳感器，其被構(gòu)造成檢測(cè)用于打開和關(guān)閉處理室入口的閘門的位置并且輸出相應(yīng) 的信號(hào)，其中所述判斷裝置被構(gòu)造成接收由閘門閥傳感器輸出的信號(hào)，并且確定閘門的位置，以及將相應(yīng)的信號(hào)輸出到通知裝置，通知裝置被構(gòu)造成提供閘門位置的視頻和聲頻指示中的至少一種。
16. —種用于將基板引入室中的方法，所述方法包括判斷基板是否安置在設(shè)置于室中的臺(tái)面上；以及然后，當(dāng)判斷出沒有基板安置在臺(tái)面上時(shí)，將基板傳送到臺(tái) 面上以便進(jìn)行處理。
17. 如權(quán)利要求16所述的方法，其中，判斷基板是否安置在臺(tái)面上包括檢測(cè)基板產(chǎn)生的負(fù)載是否施加到從臺(tái)面向上延伸的多個(gè)抬升銷上；如果負(fù)載施加到所述多個(gè)抬升銷中的每個(gè)上，則判斷出基板 安置在臺(tái)面上；以及如果沒有負(fù)載施加到所述多個(gè)抬升銷中的每個(gè)上，則判斷出 基板沒有安置在臺(tái)面上。
18. 如權(quán)利要求17所述的方法，還包括，如果判斷出基板安 置在臺(tái)面上，則判斷基板狀態(tài)，其中包括在負(fù)載只施加到所述多 個(gè)抬升銷中的一些上時(shí)判斷出基板破裂或在臺(tái)面上錯(cuò)位。
19. 如權(quán)利要求17所述的方法，還包括提供關(guān)于所述多個(gè)銷承載負(fù)載和關(guān)于所述多個(gè)銷未承載負(fù)載的視頻或聲頻指示。
20. 如權(quán)利要求17所述的方法，其中，檢測(cè)基板產(chǎn)生的負(fù)載 是否施加到所述多個(gè)抬升銷上包括測(cè)量所述多個(gè)抬升銷的位移， 或接收指示傳感器已被壓下的信號(hào)。
21. —種與用于處理基板的處理室一起使用的裝置，所述裝置 包括閘門閥傳感器，其被構(gòu)造成檢測(cè)用于打開或關(guān)閉處理室中開 口的閘門閥的位置并且輸出相應(yīng)的信號(hào)；判斷裝置，其被構(gòu)造成從閘門閥傳感器接收信號(hào)，以判斷閘 門閥處于相對(duì)于處理室中開口的打開還是關(guān)閉位置，并且輸出相 應(yīng)的信號(hào)；以及通知裝置，其被構(gòu)造成從所述判斷裝置接收信號(hào)，并且提供 閘門閥位置的視頻和聲頻指示中的至少一種。
22. 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括光 發(fā)射傳感器和光接收傳感器，其中光發(fā)射傳感器和光接收傳感器 彼此相對(duì)地安裝，光發(fā)射傳感器和光接收傳感器中的一個(gè)安裝在 閘門閥上，另一個(gè)安裝在至少部分地位于處理室中的導(dǎo)向件上， 其中導(dǎo)向件被構(gòu)造成引導(dǎo)傳送機(jī)器人進(jìn)出處理室的運(yùn)動(dòng)。
23. 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括光 發(fā)射傳感器和光接收傳感器，其中光發(fā)射傳感器和光接收傳感器 彼此相對(duì)地安裝，光發(fā)射傳感器和光接收傳感器中的一個(gè)安裝在 閘門閥上，另一個(gè)安裝在傳送機(jī)器人上，所述傳送機(jī)器人被構(gòu)造 成傳送基板進(jìn)出處理室。
24. 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括光 發(fā)射傳感器、光接收傳感器和反射板，其中反射板安裝在閘門閥 上，光發(fā)射傳感器和光接收傳感器安裝成與反射板相對(duì)，從而使 得光發(fā)射傳感器發(fā)出的光被反射板接收并反射，并且被反射板反 射的信號(hào)被光接收傳感器接收。
25. 如權(quán)利要求21所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括推 壓式開關(guān)、電觸點(diǎn)開關(guān)或電應(yīng)變儀，其靠近閘門閥連接著處理室， 其中閘門閥傳感器響應(yīng)于與閘門閥的接觸而被致動(dòng)。
26. —種用于將基板引入處理室的方法，所述方法包括-判斷用于打開和關(guān)閉處理室中開口的閘門闊的位置；以及 在判斷出閘門閥打開時(shí)，將基板傳送至處理室。
27. 如權(quán)利要求26所述的方法，其中，判斷閘門閥位置包括 檢測(cè)閘門閥的運(yùn)動(dòng)，并且基于檢測(cè)到的運(yùn)動(dòng)判斷閘門閥的位置。
28. 如權(quán)利要求26所述的方法，還包括提供關(guān)于閘門閥位置 的通知，所述通知采用視頻和聲頻指示器中的至少一種形式。
全文摘要
提供了一種用于將基板引入處理室的系統(tǒng)和方法。半導(dǎo)體或平板顯示器的制造設(shè)備的臺(tái)面上是否存在基板可以通過用于加載和卸載基板抬升銷來(lái)確定，從而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂狀態(tài)或錯(cuò)誤加載狀態(tài)可以被檢測(cè)。閘門閥的開閉也可以被確定，并且可以在閘門閥關(guān)閉時(shí)防止將基板引入處理室。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101192554SQ20071018122
公開日2008年6月4日 申請(qǐng)日期2007年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月29日
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