專利名稱：一種用于消除靜電的系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于 一種用于消除靜電的系統(tǒng)，特別是一種結(jié)合靜電消除器與機(jī) 械手臂用以消除大尺寸玻璃基板表面靜電的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著輕、薄、高解析、低輻射的產(chǎn)品趨勢(shì)與需求，等離子顯示面板(PDP)、 液晶顯示面板(LCD)、有機(jī)發(fā)光面板(OLED)等平面顯示器也日益受到消費(fèi)者 的青睞，而為了獲得良好的制造品質(zhì)與產(chǎn)能良品率，每個(gè)制作工藝環(huán)節(jié)均非 常重要。
以薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)的制造過程為例，由于玻璃基板 表面在各制作工藝間的輸送傳遞經(jīng)常會(huì)因?yàn)榻佑|或摩擦而產(chǎn)生靜電，即使是 微量靜電的產(chǎn)生，亦將造成電場(chǎng)吸附周遭的微粒物質(zhì)而造成污染。此外，靜 電會(huì)導(dǎo)致電荷的累積，所以當(dāng)靜電累積到一定程度之后，經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生巨大的 瞬間放電，因而造成設(shè)置在玻璃基板上的半導(dǎo)體元件的損壞。因此，在玻璃 基板的制造過程中，必須經(jīng)常進(jìn)行靜電的消除程序。再者，由于玻璃基板是 存放于卡匣(cassette)中，卡匣在搬運(yùn)及傳送過程中就有可能產(chǎn)生靜電，而且 在生產(chǎn)平面顯示器的過程中，卡匣是被放置放在制作工藝機(jī)臺(tái)的卡匣存放區(qū) (cassette station), —個(gè)卡匣存放區(qū)通常對(duì)應(yīng)二至四個(gè)卡匣埠(cassette port), 然后再由機(jī)械手臂執(zhí)行取片及置片的動(dòng)作。通常在此一過程中便非常容易誘 導(dǎo)靜電的發(fā)生。因此，傳統(tǒng)現(xiàn)有技術(shù)是在卡匣埠周圍都裝置有一桿狀靜電消 除器，而且不論該卡匣埠是否有卡匣在制作工藝中，靜電消除器都會(huì)一直維 持在啟動(dòng)的狀態(tài)。
圖1為傳統(tǒng)桿狀靜電消除器的示意圖。如圖l所示，桿狀靜電消除器2 是將交流高壓4施加在針狀電極6，借由電針6與接地面間的電暈放電而產(chǎn)生離子。然后再由桿內(nèi)通入的高壓干燥氣體(compressive dry air, CDA ),以 將電針6所產(chǎn)生的離子噴灑至玻璃基板8表面，透過電性中和的方式消除玻 璃基板8表面的靜電。
在傳統(tǒng)技術(shù)中，桿狀靜電消除器的配置取決于玻璃基板面積大小、桿狀 靜電消除器與玻璃基板之間的距離、桿狀靜電消除器涵蓋角度等因素。因此， 在玻璃基板尺寸不斷加大的情形下，桿狀靜電消除器配置的數(shù)量將相對(duì)增 加，同時(shí)CDA的用量也與桿徑體積成正比而增加。然而，增加桿狀靜電消 除器數(shù)量除了會(huì)增加成本外，同時(shí)也會(huì)影響卡匣存放區(qū)上空間的配置應(yīng)用。 此外，CDA用量的增加不僅會(huì)使耗能增加，同時(shí)更將造成無塵室溫濕度控 制上的困難。因此，平面顯示器產(chǎn)業(yè)對(duì)于靜電消除器的要求已不只在于有效 去除靜電，同時(shí)更要求降低成本與節(jié)省能源。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是關(guān)于 一種用于消除靜電的系統(tǒng)，特別指 一 種結(jié)合靜電消除器與 機(jī)械手臂用以消除大尺寸玻璃基板表面靜電的系統(tǒng)。
有鑒于上述傳統(tǒng)技術(shù)所遭遇的問題，本發(fā)明公開一種用于消除靜電的系 統(tǒng)，其包括一機(jī)械手臂、 一設(shè)置在該機(jī)械手臂前端的夾爪、 一設(shè)置在該機(jī)械 手臂上的連桿組，以及一設(shè)置在該連桿組上的靜電消除器，其中該靜電消除 器可借由該連桿組在一固定范圍內(nèi)往復(fù)移動(dòng)，以消除靜電。
本發(fā)明還公開一種用于消除靜電的系統(tǒng)，其包括一機(jī)械手臂、 一設(shè)置在 該機(jī)械手臂前端的夾爪，以及一設(shè)置在該機(jī)械手臂上的桿狀式靜電消除器。
本發(fā)明還公開一種用于消除靜電的系統(tǒng)，其包括一第一機(jī)械手臂、 一設(shè) 置在該第一機(jī)械手臂前端的夾爪、 一第二機(jī)械手臂、 一設(shè)置在該第二機(jī)械手 臂前端的平臺(tái)，以及一設(shè)置在平臺(tái)上的靜電消除器，其中該第二機(jī)械手臂可 在一固定范圍內(nèi)往復(fù)移動(dòng)，以消除靜電。
由于本發(fā)明是將靜電消除器裝置于機(jī)械手臂上，故可大幅降低安裝空間 大小的要求，有效減少靜電消除器的安裝數(shù)量與CDA使用量，并且能快速 直接地消除大尺寸玻璃基板的表面靜電。此外，本發(fā)明可以在極佳時(shí)機(jī)去除 靜電，以針對(duì)產(chǎn)品有剝離的行為以及尖端接近時(shí)作除靜電的動(dòng)作，因此又能 有效達(dá)到靜電防護(hù)的目的。
以下為本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖。然而，所附附圖僅供參考與說明之用，并非用來對(duì)本發(fā)明加以限制。


圖1為傳統(tǒng)桿狀靜電消除器的示意圖。
圖2為本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置示意圖。
圖3為本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置示意圖。
圖4至圖6為本發(fā)明第三優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置 示意圖。
圖7為本發(fā)明第四優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置示意圖。
主要元件符號(hào)說明
2桿狀靜電消除器
4交流高壓
6電針
8玻璃基板
10消除靜電系統(tǒng)
12機(jī)械手臂
13玻璃基板
14夾爪
15托臂
16靜電消除器
連桿組
20片區(qū)軸點(diǎn)
22第一伺服電機(jī)
24第二伺服電機(jī)
30消除靜電系統(tǒng)
32機(jī)械手臂
33玻璃基板
34夾爪
35托臂
36靜電消除器
38連桿組
39伺服電機(jī)
40滑軌142固定連桿
50消除靜電系統(tǒng)
52機(jī)械手臂
53玻璃基板
54夾爪
55托臂
56靜電消除器
58固定座162機(jī)械手臂
63玻璃基板
66靜電消除器
68固定座
70消除靜電系統(tǒng) 72 第一機(jī)械手臂
74 夾爪
76 第二機(jī)械手臂
80 靜電消除器
73 玻璃基板 75 托臂 78 平臺(tái)
具體實(shí)施例方式
圖2為本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置示意 圖。如圖2所示，消除靜電系統(tǒng)10包括一機(jī)械手臂12,且機(jī)械手臂12前端 具有一用于取放玻璃基板13的夾爪(fork)14，而靜電消除器16則是借由連 桿組18架設(shè)在機(jī)械手臂12上。其中，本優(yōu)選實(shí)施例所使用的靜電消除器16 可為桿狀式、風(fēng)扇式、高頻式、光照射式等各類型靜電消除器設(shè)備，而夾爪 14還包括多根托臂(arm)15，用來托住玻璃基板13。連接靜電消除器16的連 桿組18具有兩個(gè)樞軸點(diǎn)20，并借由樞軸點(diǎn)20上的第一伺服電機(jī)22與第二 伺服電機(jī)24來控制連桿組18,帶動(dòng)靜電消除器16呈直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以使靜 電消除器16可掃瞄整個(gè)玻璃基板13。在本優(yōu)選實(shí)施例中，當(dāng)機(jī)械手臂12 執(zhí)行取放片動(dòng)作時(shí)會(huì)啟動(dòng)靜電消除器16,并由連桿組18帶動(dòng)靜電消除器16 掃瞄玻璃基板13,進(jìn)而消除玻璃基板13的表面靜電。
圖3為本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置示意 圖。如圖3所示，消除靜電系統(tǒng)30包括一機(jī)械手臂32，該機(jī)械手臂32前端 具有一用于取放玻璃基板33且包括多根托臂35的夾爪34,而靜電消除器 36是借由連桿組38架設(shè)在機(jī)械手臂32上，其所使用的靜電消除器36亦可 為桿狀式、風(fēng)扇式、高頻式、光照射式等各類型靜電消除器設(shè)備。其中，與 第一優(yōu)選實(shí)施例不同之處在于連桿組38包括分別設(shè)置在夾爪34兩側(cè)的托 臂35上的滑軌40，兩端分別與滑軌40與靜電消除器36連接的固定連桿42， 以及"i殳置在固定連桿42其中之一上的伺服電機(jī)39。在本優(yōu)選實(shí)施例中，當(dāng) 機(jī)械手臂32執(zhí)行取放片動(dòng)作時(shí)會(huì)啟動(dòng)靜電消除器36,并由連桿組38帶動(dòng)靜 電消除器36沿著滑軌40的方向往復(fù)掃瞄玻璃基板33,進(jìn)而消除玻璃基板的 33表面靜電。在此需注意的是圖中所示是以三個(gè)托臂為例，但托臂的設(shè)置 個(gè)數(shù)不以此為限；本發(fā)明實(shí)則涵蓋運(yùn)用不同托臂數(shù)目的實(shí)施方式。
圖4至圖6為本發(fā)明第三優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置 示意圖。如圖4所示，消除靜電系統(tǒng)50包括一機(jī)械手臂52,且機(jī)械手臂52
前端具有一用于取放玻璃基板53并包括多根托臂的夾爪54,而靜電消除器 56是借由固定座58架設(shè)安裝在機(jī)械手臂52上。本優(yōu)選實(shí)施例所使用的靜電 消除器56可為桿狀式、風(fēng)扇式、高頻式、光照射式等各類型靜電消除器設(shè) 備。以桿狀式靜電消除器為例，當(dāng)機(jī)械手臂52執(zhí)行取放片動(dòng)作時(shí)會(huì)啟動(dòng)靜 電消除器56，使靜電消除器56的桿體內(nèi)通有高壓氣體，并施加一交流電壓， 使靜電消除器56的桿體內(nèi)的放電針(如圖1所示)產(chǎn)生電暈放電，再借由帶正 負(fù)離子氣體的吹送，以中和玻璃基板53表面的靜電。如圖5所示，為控制 靜電消除器56有效涵蓋角度，可調(diào)整固定座58于一特定角度，以使氣體吹 送的角度產(chǎn)生交疊，進(jìn)而將正負(fù)離子涵蓋至整個(gè)玻璃基板53表面，借以消 除玻璃基板53的表面靜電。此外，依不同涵蓋角度需求及玻璃面積大小， 本優(yōu)選實(shí)施例更可選擇適當(dāng)數(shù)量的靜電消除裝置56安裝并調(diào)整其安裝的位 置。如圖6所示，可選擇性地將靜電消除器66架設(shè)安裝在機(jī)械手臂62下端 的固定座68上，使靜電消除器66直接作用在玻璃基板63下方，消除玻璃 基板63的底面靜電。除圖6所示設(shè)置方式外，另可將靜電消除器66同時(shí)架 設(shè)安裝在機(jī)械手臂62的上端及下端，以同步消除玻璃基板63的表面與底面 的靜電。
圖7為本發(fā)明第四優(yōu)選實(shí)施例所提出的用于消除靜電的系統(tǒng)裝置示意 圖。如圖7所示，消除靜電系統(tǒng)70包括一第一機(jī)械手臂72、 一第二機(jī)械手 臂76、 一設(shè)置在第二機(jī)械手臂76的前端的平臺(tái)78，以及至少一設(shè)置在平臺(tái) 上的靜電消除器80。第一機(jī)械手臂72前端具有一用于取放玻璃基板73并包 括多根托臂75的夾爪74。靜電消除器80可為桿狀式、風(fēng)扇式、高頻式、光 照射式等業(yè)界所知悉的靜電消除器；因此，本發(fā)明并不受限于使用特定種類 的靜電消除器。在第一機(jī)械手臂72執(zhí)行取放片動(dòng)作前，第二機(jī)械手臂76可 先伸至玻璃基板73下緣或上緣，進(jìn)行靜電消除動(dòng)作，亦或當(dāng)?shù)谝粰C(jī)械手臂 72執(zhí)行取放片動(dòng)作時(shí)，第二機(jī)械手臂76可同時(shí)與第 一機(jī)械手臂72進(jìn)行動(dòng)作， 以同步達(dá)到靜電消除的功能。
綜上所述，本發(fā)明用于消除靜電的系統(tǒng)與傳統(tǒng)技術(shù)相較至少具有下列優(yōu)
點(diǎn)
1. 可直接使用現(xiàn)有的靜電消除設(shè)備及技術(shù)，例如將靜電消除器的結(jié)構(gòu)與 機(jī)械手臂直接結(jié)合，或于機(jī)械手臂主體上安裝靜電消除器等。
2. 可以在極佳時(shí)機(jī)去除靜電，例如針對(duì)產(chǎn)品有剝離的行為以及有尖端接
近等時(shí)機(jī)，才進(jìn)行除靜電的動(dòng)作，因此可更有效達(dá)到靜電防護(hù)的目的。
3. 不需使用CDA或僅需使用少量CDA。由于靜電去除設(shè)備是直接針對(duì) 靜電產(chǎn)生區(qū)域(例如玻璃基板的表面與底面)進(jìn)行靜電的消除，而且距離很近， 因此可利用環(huán)境氣流而不需使用CDA，以降低無塵室溫濕度控制上的困難 度，并減少耗能；此外，若需更快速的消除靜電，則可借由供給少量的CDA 而達(dá)到更佳的效果。
4. 將靜電消除器直接裝設(shè)于機(jī)械手臂上，可有效降低安裝空間大小的要 求，以解決傳統(tǒng)卡匣存放區(qū)上空間配置應(yīng)用的問題，并減少靜電消除器的安 裝數(shù)量，降低成本。
以上所述僅為本發(fā)明的部分優(yōu)選實(shí)施例，凡依本發(fā)明所做的均等變化與 修飾，均應(yīng)屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種用于消除靜電的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一機(jī)械手臂；一夾爪，設(shè)置在該機(jī)械手臂前端；以及一桿狀式靜電消除器，設(shè)置在該機(jī)械手臂上，其中該桿狀式靜電消除器調(diào)整固定于特定角度，該桿狀式靜電消除器包括一長形桿體，該長形桿體內(nèi)設(shè)有一高壓氣體管路及一電源裝置；多個(gè)放電針，設(shè)置在該長形桿體上，并電性連接該電源裝置；以及多個(gè)噴嘴，設(shè)置在該長形桿體上，所述噴嘴各自對(duì)應(yīng)于所述放電針，并與該高壓氣體管路相通。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中該夾爪包括多個(gè)沿著水平面相鄰 設(shè)置的托臂。
全文摘要
一種用于消除靜電的系統(tǒng)，包括一機(jī)械手臂、一設(shè)置在機(jī)械手臂前端的夾爪、一設(shè)置在機(jī)械手臂上的連桿組，以及一設(shè)置在連桿組上的靜電消除器。靜電消除器可借由連桿組在一固定范圍內(nèi)往復(fù)移動(dòng)，以消除靜電。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101197302SQ20071019915
公開日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2006年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月28日
發(fā)明者劉家彰, 趙啟仲, 陳慶育 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司