專(zhuān)利名稱：：含有顆粒磁性材料的電感設(shè)備的制作方法含有顆粒磁性材料的電感設(shè)備第1/11頁(yè)相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考0001本申請(qǐng)?jiān)?5U.S.C.§119款下要求2007年3月28日提交的第60/907,303號(hào)美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，其名稱為"SOFTMAGNETICALLOYTHINFILMSFORINTEGRATEDINDUCTORS,TRANSFORMERSANDOTHERHIGHFREQUENCYAPPLICATION(軟磁合金薄膜，其用于集成電感器、變壓器及其它高頻應(yīng)用)"，其公開(kāi)內(nèi)容在此以引用的方式引入其全部，用于所有目的。關(guān)于聯(lián)邦政府資助的研究或開(kāi)發(fā)的聲明0002不適用。
技術(shù)領(lǐng)域：
0003本發(fā)明總體上涉及電感設(shè)備，具體地涉及具有顆粒磁性材料的電感設(shè)備。
背景技術(shù)：
：0004經(jīng)常提供具有磁性材料薄膜的芯片上(on-chip)和封裝上(on-package)的集成電感器，以提高其電感(感應(yīng)系數(shù))。當(dāng)高磁導(dǎo)率磁性材料被置于帶電流的導(dǎo)體附近時(shí)，導(dǎo)體內(nèi)的電感隨著相對(duì)磁導(dǎo)率因子/^而增加。如果該相對(duì)磁導(dǎo)率是實(shí)數(shù)(即沒(méi)有顯示出任何的磁損耗)，那么電感的增加可以相當(dāng)大。0005在更高頻的應(yīng)用(例如在大約1GHz以上操作)中，用在這些集成設(shè)備中的磁性材料經(jīng)歷磁損耗的增加(例如相對(duì)磁導(dǎo)率的虛部增加)。磁性材料中的渦電流促使這些高頻磁損耗，因?yàn)樗鼈儗?duì)阻尼效應(yīng)貢獻(xiàn)頗大。這些渦電流是磁性材料具有不夠高的電阻率的結(jié)果。盡管一些無(wú)定形磁性合金具有更高的電阻率，但這是以更低的磁化強(qiáng)度為代價(jià)(因此在電感應(yīng)用中具有更低的性能)。因此，為了提高集成電感器、變壓器及類(lèi)似物的高頻性能，期望提供具有高電阻率以及高磁化強(qiáng)度的磁性材料，以用于這些領(lǐng)域。
發(fā)明內(nèi)容0006根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供顆粒磁性合金膜以用于集成電感器、變壓器及其它高頻設(shè)備。這些膜包括嵌入在具有高介電常數(shù)的化學(xué)計(jì)量陶瓷無(wú)定形基質(zhì)里的眾多磁性顆粒。這種結(jié)構(gòu)允許集成電感器被設(shè)計(jì)成具有更小的體積以及增加的電感系數(shù)和Q因子。0007根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，電感設(shè)備包括螺旋構(gòu)型的導(dǎo)體和第一層顆粒磁性材料，顆粒磁性材料含有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒。該無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。0008根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式，集成設(shè)備包括第一電感器跡線(inductortrace)和第一層顆粒磁性材料，顆粒磁性材料具有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒。該無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。0009根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式，變壓器包括芯和第一電感器。該第一電感器包括螺旋構(gòu)型的第一導(dǎo)體，其包圍著該芯的第一部分，和第一層顆粒磁性材料。該變壓器進(jìn)一步包括第二電感器。該第二電感器包括螺旋構(gòu)型的第二導(dǎo)體，其包圍著該芯的第二部分，和第二層顆粒磁性材料。該第一層和第二層顆粒磁性材料含有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒。該無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。0010應(yīng)當(dāng)理解的是，前述的本
發(fā)明內(nèi)容和下面的詳述都是示例性和解釋性的，旨在進(jìn)一步解釋要求保護(hù)的本發(fā)明。0011附圖被包括以有助于進(jìn)一步理解本發(fā)明并且被并入而且構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分，其闡釋了本發(fā)明的實(shí)施方式并且與本說(shuō)明書(shū)一起用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖中0012圖1闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器；0013圖2闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器的部分截面圖；0014圖3闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的顆粒磁性合金的俯視圖，所述顆粒磁性合金具有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒；0015圖4闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的顆粒磁性合金的透視圖，所述顆粒磁性合金具有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒；0016圖5闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器；0017圖6闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器；0018圖7闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器的部分截面圖；0019圖8闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器；0020圖9闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器的部分截面圖；0021圖IO闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的變壓器的部分截面圖；具體實(shí)施方式0022在下面的詳述中，提出許多具體細(xì)節(jié)以全面理解本發(fā)明。然而，對(duì)于本領(lǐng)域的一名普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)的是，本發(fā)明可以在缺少這些具體細(xì)節(jié)中的一些的情況下實(shí)施。在其它情況下，眾所周知的結(jié)構(gòu)和技術(shù)沒(méi)有詳細(xì)列出，以避免使本發(fā)明不必要的模糊不清。0023圖1闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器100。電感器IOO，其被置于硅基底104上，包括導(dǎo)體IOI，其為螺旋構(gòu)型并且終止于導(dǎo)體引線103。如本領(lǐng)域一名技術(shù)人員將容易理解的，可以通過(guò)本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的許多方法中的任何一種來(lái)提供導(dǎo)體101，例如，舉例來(lái)說(shuō)，光刻法。在這點(diǎn)上，導(dǎo)體在本文被稱為電感器跡線。0024電感器100進(jìn)一步包括顆粒磁性合金層102，其被置于導(dǎo)體101部分的上方。圖2在橫切面中闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的顆粒磁性合金層102與導(dǎo)體101之間一種可能的空間關(guān)系。顆粒磁性合金層102被置于介電層105的上方，導(dǎo)體101的各圈被置于介電層105中。因此介電層105被夾在顆粒磁性合金層102與基底104之間。在一個(gè)方面，層102和105形成一層或多層薄膜(例如厚度在大約1微米以下的膜)。0025在本發(fā)明的一個(gè)方面中，每個(gè)顆粒磁性合金層102是軟磁材料，其包括嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒，如圖3中所詳細(xì)闡明的。根據(jù)一方面，軟磁材料的特征在于高磁導(dǎo)率、高飽和磁化強(qiáng)度或飽和磁電感、高剩余磁化強(qiáng)度或剩余磁感應(yīng)、低矯頑磁性和低磁滯損耗。軟磁材料另外的期望特征可包括高居里溫度和/或低磁致伸縮。具有無(wú)定形相的陶瓷基質(zhì)被用于顆粒磁性合金中，因?yàn)闊o(wú)定形相顯示出比結(jié)晶相更高的電阻率，這是由于典型地晶體相里的晶粒邊界促進(jìn)電子導(dǎo)電。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，顆粒磁性合金層不限于軟磁材料，可以是另一類(lèi)型的材料。仍是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，顆粒磁性層可以是非合金材料。0026在本發(fā)明的一個(gè)方面中，該陶瓷基質(zhì)可以包括例如化學(xué)計(jì)量材料(例如，如果該陶瓷材料是氧化硅，氧與硅的比值將是整數(shù)比例，舉例來(lái)說(shuō)2:1，而不是1.8:1)。在該陶瓷相里的任何非化學(xué)計(jì)量將由電子(n型)或空穴(p型)補(bǔ)償，因此將引起電阻率大幅度降低(并且在高頻時(shí)伴隨著更高的渦流損耗)。此外，非化學(xué)計(jì)量可產(chǎn)生順磁電荷中心(例如E'-型等)，其將增加顆粒磁性合金的電導(dǎo)率，并且因此增加了磁損耗。在反應(yīng)濺射方法(即在氧存在下)中使用合適選擇的濺射靶(即具有期望氧量的靶)，任何潛在的非化學(xué)計(jì)量可以被補(bǔ)償。0027在圖3中，顆粒磁性合金層102以部分截面圖加以闡明，以便位于無(wú)定形陶瓷基質(zhì)102a里的各個(gè)磁性顆粒102b可見(jiàn)。每個(gè)磁性顆粒102b在至少一維上其橫截面大小在5至50納米之間(例如柱形顆粒在一個(gè)方向上可具有的橫截面大小在5至50納米之間，但是在柱方向上可以更長(zhǎng))。這種微結(jié)構(gòu)降低了非顆粒狀磁性膜所經(jīng)歷的不期望的渦流損耗，因此顯著增加了其在高頻應(yīng)用中的電感(及其Q因子，因?yàn)镼因子是電感的函數(shù))。0028根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，無(wú)定形陶瓷基質(zhì)102a形成連續(xù)的三維結(jié)構(gòu)。這被顯示在圖4中，其提供了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的顆粒磁性合金層102的三維透視圖。由圖4可見(jiàn)，無(wú)定形陶瓷基質(zhì)102a是連續(xù)結(jié)構(gòu)(即其沒(méi)有被磁性顆粒102b分成更小的分離組分)。在高電阻無(wú)定形相中的這種連續(xù)性確保高體積電阻率(例如100/ificm以上)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，為了獲得這種連續(xù)結(jié)構(gòu)，以顆粒磁性合金層102的體積計(jì)算，可提供超過(guò)10%的無(wú)定形陶瓷基質(zhì)102a0029根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，磁性顆粒102b包括選自下述的材料鈷(Co)、鐵(Fe)、鎳(Ni)及其各種合金。下面的表1提供了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，用于顆粒磁性合金中的各種鐵磁性材料和合金的示例性的、非窮盡的列表。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>0030根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，無(wú)定形陶瓷基質(zhì)102a包括介電常數(shù)在約3以上的材料。舉例來(lái)說(shuō)，該無(wú)定形陶瓷基質(zhì)可以是氧化物、氮化物、碳化物、硅酸鹽、鋁酸鹽、鈣鈦礦或其任意組合。下面的表2提供了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面、用于顆粒磁性合金中的各種陶瓷體系的示例性的、非窮盡的列表。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>0031根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，通過(guò)許多方法中的任何一種，包括物理氣相沉積(例如濺射)，可提供顆粒磁性合金層102。因此，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，在制造期間，濺射耙——其包括磁性顆粒材料以及無(wú)定形陶瓷基質(zhì)材料，可被濺射在螺旋形導(dǎo)體上，以在期望的封裝區(qū)域上提供顆粒磁性合金層?？蛇x地，兩種濺射耙，一種包括磁性顆粒材料，另一種包括無(wú)定形陶瓷基質(zhì)材料，都可以同時(shí)而且以合適的百分比(例如按最終層的體積計(jì)算，提供至少10%的無(wú)定形陶瓷基質(zhì))被濺射，以提供期望的顆粒磁性合金層。因?yàn)楸绢I(lǐng)域一名技術(shù)人員將容易理解可以將材料的膜濺射在集成封裝的期望區(qū)域的方法，因此其詳細(xì)的描述被省略，以避免使本發(fā)明各種實(shí)施方式的描述模糊不清。0032根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，使用顆粒磁性合金層的電感設(shè)備(例如電感器、變壓器等)具有幾種優(yōu)點(diǎn)。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)與相似大小的非顆粒磁性合金比較時(shí)，含有軟顆粒磁性合金的集成電感器提供了增加的電感并同時(shí)提高了Q因子。因此，顆粒磁性合金層102可以被設(shè)計(jì)成比具有相同電感和Q因子的非顆粒磁性合金要明顯的小。此外，因?yàn)榕c非顆粒磁性合金相比，磁通量能更好地限制在顆粒磁性合金內(nèi)，使得同一芯片或封裝上的多個(gè)電感器之間的串?dāng)_最小化。這些優(yōu)點(diǎn)使得本發(fā)明的各種實(shí)施方式適合用于許多應(yīng)用中，包括便攜式供電、無(wú)線通信和其它應(yīng)用。0033根據(jù)一方面，本發(fā)明用在一個(gè)平面上正好具有兩個(gè)顆粒磁性合金層的集成電感器實(shí)施。然而，本發(fā)明不限于這種配置。舉例來(lái)說(shuō)，根據(jù)一方面，本發(fā)明應(yīng)用于具有大于或等于1的任何數(shù)目的顆粒磁性合金層的電感器。舉例來(lái)說(shuō)，圖5闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的另一電感器500，其中沿著螺旋形導(dǎo)體501提供有十個(gè)顆粒磁性合金層502。與圖1中所闡明的電感器相似，電感器500的導(dǎo)體501終止于導(dǎo)體引線503,并且電感器500被置于基底504上。0034根據(jù)一方面，本發(fā)明的構(gòu)造可包括被置于近似八邊形螺旋狀導(dǎo)體的相對(duì)邊上的顆粒磁性合金層。然而，本發(fā)明的范圍不限于這種特定的布置。更確切地，正如對(duì)本領(lǐng)域的一名技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)的，本發(fā)明也應(yīng)用于電感器和變壓器，其中在導(dǎo)體周?chē)峁┤魏螛?gòu)造的顆粒磁性合金層。舉例來(lái)說(shuō)，圖6闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的另一種電感器600，其中沿著螺旋形導(dǎo)體601的周邊被間隔放置十四個(gè)顆粒磁性合金層602。導(dǎo)體601終止于導(dǎo)體引線603，并且整個(gè)電感器600組件被置于基底604上。0035根據(jù)一方面，本發(fā)明的構(gòu)造包括被置于與螺旋導(dǎo)體所放置的平面平行的(例如，上面或下面)單個(gè)平面上的顆粒磁性合金層。然而，本發(fā)明的范圍不限于這種特定的布置。更確切地說(shuō)，本發(fā)明也應(yīng)用于這樣的布置，其中提供位于不同平面上和/或與電感跡線處于各種關(guān)系的幾層顆粒磁性合金。舉例來(lái)說(shuō)，圖7闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的電感器700的部分截面圖，其中導(dǎo)體701的部分(位于介電層705內(nèi))被夾在位于兩個(gè)不同面上的兩層顆粒磁性合金702a和702b之間。盡管這種多平面結(jié)構(gòu)需要比前面描述和闡明的單平面結(jié)構(gòu)更復(fù)雜的制造，但這種努力由于如此構(gòu)造的電感器的電感和Q因子進(jìn)一步增加而可以認(rèn)為是合理的。0036在另一方面，本發(fā)明應(yīng)用于這樣的布置，其中單個(gè)顆粒磁性合金層被置于螺旋導(dǎo)體所放置的平面的上方或下方的一個(gè)平面上，并且該單個(gè)顆粒磁性合金層足夠大以覆蓋整個(gè)螺旋形導(dǎo)體(而不是只覆蓋導(dǎo)體的某些部分，如圖l、5和6所示)。舉例來(lái)說(shuō)，圖8闡明了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的集成電感器800，其中螺旋構(gòu)型的一個(gè)連續(xù)導(dǎo)體801(虛線所示)被置于單個(gè)連續(xù)的顆粒磁性合金層802的下方，所述顆粒磁性合金層802足夠大以覆蓋整個(gè)導(dǎo)體801。導(dǎo)體801用虛線表示，以表明從該圖中看，導(dǎo)體801被隱藏，因?yàn)轭w粒磁性合金層802覆蓋了整個(gè)導(dǎo)體801。導(dǎo)體801終止于導(dǎo)體引線803。0037由圖8可見(jiàn)，可提供本發(fā)明的各種實(shí)施方式，其具有各種不同螺旋構(gòu)型的導(dǎo)體。代替前面示例性實(shí)施方式中所示的近似八角形螺旋，圖8中的螺旋為近似帶有圓角的矩形。然而，本發(fā)明的范圍不限于這兩種構(gòu)型。更確切地說(shuō)，正如對(duì)本領(lǐng)域的一名技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)的，本發(fā)明應(yīng)用于這樣的電感器，其具有任意形狀螺旋構(gòu)型的導(dǎo)體，不管是橢圓形、圓形、多邊形、不規(guī)則形狀等等。此外，盡管前面的示例性實(shí)施方式用基本上為二維的螺旋(即位于一個(gè)平面的螺旋)來(lái)闡述，但本發(fā)明的范圍不限于這樣的布置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，如本文所使用，術(shù)語(yǔ)"螺旋"包括三維螺旋(例如螺旋線)，例如下面所詳述的可被用于集成變壓器的那些螺旋。0038根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，圖9闡明了集成電感器900的部分截面圖，其中置于介電層903內(nèi)的導(dǎo)體901被夾在位于兩個(gè)不同平面上的顆粒磁性合金層902a和902b之間。這三層一起被置于基底904上。這兩層顆粒磁性合金902a和902b通過(guò)磁性通道902c連接。這些磁性通道902c在顆粒磁性合金的層902a和902b內(nèi)構(gòu)成磁通量回路，進(jìn)一步提高了成品電感器在高頻處的電感和Q因子。0039根據(jù)一方面，本發(fā)明的構(gòu)造包括置于介電材料層內(nèi)的導(dǎo)體。然而，本發(fā)明的范圍不限于這樣的布置。更確切地說(shuō)，正如對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)的，本發(fā)明也應(yīng)用于這樣的電感器，其中導(dǎo)體被直接置于基底上，被置于非介電的材料層中，被置于多層內(nèi)或者在顆粒磁性合金層內(nèi)或旁邊。0040根據(jù)一個(gè)方面，本發(fā)明的構(gòu)造包括一個(gè)電感器。然而，本發(fā)明的范圍不限于這樣的布置。更確切地說(shuō)，正如對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)的，本發(fā)明也應(yīng)用于多個(gè)電感器以及任何一個(gè)或多個(gè)電感設(shè)備，包括變壓器及其類(lèi)似物。舉例來(lái)說(shuō)，根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式，集成變壓器包括兩個(gè)電感器，每個(gè)具有一層或多層顆粒磁性合金，配置用于提高其電感和Q因子。如前面的示例性實(shí)施方式所闡明，變壓器的電感器可以被配置在平面的螺旋中，或者可選地可以被配置在三維螺旋中(例如，使得基本上位于單個(gè)平面內(nèi)的芯可以穿過(guò)兩個(gè)螺旋)。0041舉例來(lái)說(shuō)，圖10闡明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的變壓器的部分截面圖。變壓器1000包括置于基底1004上的介電層1006上方的電感器1001和1002(用深黑色線描畫(huà))。電感器1001包括螺旋形導(dǎo)體1001c和兩個(gè)顆粒磁性合金層1001a和1001b。導(dǎo)體1002包括螺旋形導(dǎo)體1002c和兩個(gè)顆粒磁性合金層1002a和1002b。通過(guò)導(dǎo)體的中部，每個(gè)電感器1001和1002的螺旋穿過(guò)用于集中磁通量的芯1003。由圖10可見(jiàn)，電感器1002具有比電感器1001更多的圈數(shù)。因此，正如本領(lǐng)域技術(shù)人員所容易理解的，施加到電感器1001上的電壓在電感器1002上將被轉(zhuǎn)變成更高的電壓，比例接近于電感器1002與電感器1001的圈數(shù)比(例如4/3電壓)。0042本發(fā)明所述的變壓器不限于圖IO所示的配置，而且可以以各種方式被配置。舉例來(lái)說(shuō)，變壓器的電感器可以共有一個(gè)或多個(gè)顆粒磁性合金層(例如顆粒磁性合金層1001a可以延伸至顆粒磁性合金層1002a，而沒(méi)有間隙，從而這兩層顆粒磁性合金層1001a和1002a變成一個(gè)顆粒磁性合金層)，而不是如圖10所示具有兩套分開(kāi)的顆粒磁性合金層(1001a-1001b和1002a-1002b)，其被區(qū)域1005分開(kāi)。在另一個(gè)方面，變壓器的每個(gè)電感器可只包括一個(gè)顆粒磁性合金層而不是多層。0043仍是在另一方面，本發(fā)明的電感器可以包括多個(gè)導(dǎo)體。此外，本發(fā)明不限于只有單個(gè)基底層和導(dǎo)體置于其中的單個(gè)介電層的集成電感器，而是正如對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)的，本發(fā)明也應(yīng)用于具有任何數(shù)目的、在本文沒(méi)有被描述或闡明的額外層的電感器。0044盡管參考各個(gè)附圖和實(shí)施方式，本發(fā)明已經(jīng)被具體描述，但應(yīng)當(dāng)理解的是，這些僅為闡明性的目的，不應(yīng)當(dāng)作為對(duì)本發(fā)明范圍的限定?？梢杂性S多其它的方式實(shí)施本發(fā)明。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行許多變化和修飾，而不背離本發(fā)明的精神和范圍。權(quán)利要求1.電感設(shè)備，其包括螺旋構(gòu)型的導(dǎo)體；和第一層顆粒磁性材料，其含有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒，所述無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述導(dǎo)體的至少一部分被置于所述第一層顆粒磁性材料內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的電感設(shè)備，其進(jìn)一步包括介電材料層，所述導(dǎo)體的至少一部分被置于其中，其中所述第一層顆粒磁性材料被結(jié)合到所述介電材料層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述第一層顆粒磁性材料具有100AtQcm以上的電阻率。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述螺旋被置于第一平面上，所述第一平面與所述第一層顆粒磁性材料所置于的第二平面平行。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電感設(shè)備，其進(jìn)一步包括第二層顆粒磁性材料，其具有嵌入在第二無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的第二眾多磁性顆粒，所述第二無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上，其中所述第二層顆粒磁性材料被置與所述第一和第二平面平行的第三平面上，和其中所述第二和第三平面位于所述第一平面的相對(duì)面上。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電感設(shè)備，其中所述第二層顆粒磁性材料和所述第一層顆粒磁性材料通過(guò)至少一個(gè)磁性通道連接。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述第一層顆粒磁性材料的厚度在大約l微米以下。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述眾多磁性顆粒中的每一個(gè)的橫截面大小在5nm和50nm之間。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述無(wú)定形陶瓷基質(zhì)在三維上被連續(xù)地連接。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述無(wú)定形陶瓷基質(zhì)按體積計(jì)算占所述第一層顆粒磁性材料的10%以上。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述無(wú)定形陶瓷基質(zhì)是化學(xué)計(jì)量的。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述眾多磁性顆粒包括至少50原子％的選自下述的材料鈷(Co)、鐵(Fe)、鎳(NO及其任意組合。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述眾多磁性顆粒包括至少50原子％的選自下述的材料Co、CoTaZr、CoNbZr、CoCrTa、CoCrTaZr、CoFeTaZr、CoNi、CoFe、CoFeB、Fe、FeCo、FeCoB、FeCoTaZr、Ni、NiFe禾卩NiFeCr。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述無(wú)定形陶瓷基質(zhì)包括選自下述的材料氧化物、氮化物、碳化物、硅酸鹽、鋁酸鹽、鈣鈦礦和其任意組合。16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感設(shè)備，其中所述無(wú)定形陶瓷基質(zhì)包括選自下述的材料Si02、MgO、A1203、Ta2Os、Nb205、Hf02、Zr02、Ti02、La203、W03、Y203、CoO、V2Os、HfSi04、ZrSi02、LaA103、SrTi03、BaTi03及其任何組合。17.集成設(shè)備，其包括第一電感器跡線；和第一層顆粒磁性材料，其含有嵌入在第一無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒，所述第一無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的集成設(shè)備，其進(jìn)一步包括第二電感器跡線；和第二層顆粒磁性材料，其含有嵌入在第二無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒，所述第二無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上，其中所述第一和第二電感器跡線被可操作地結(jié)合，以形成變壓器。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成設(shè)備，其中所述第一層和第二層顆粒磁性材料中的每一層具有100iuQcm以上的電阻率。20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成設(shè)備，其中所述第一無(wú)定形陶瓷基質(zhì)在三維上被連續(xù)地連接，并且其中所述第二無(wú)定形陶瓷基質(zhì)在三維上被連續(xù)地連接。21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成設(shè)備，其中所述第一無(wú)定形陶瓷基質(zhì)按體積計(jì)算占所述第一層顆粒磁性材料的10%以上，并且其中所述第二無(wú)定形陶瓷基質(zhì)按體積計(jì)算占所述第二層顆粒磁性材料的10%以上。22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的集成設(shè)備，其中所述第一和第二無(wú)定形陶瓷基質(zhì)是化學(xué)計(jì)量的。23.變壓器，其包括心；第一電感器，其包括螺旋構(gòu)型的第一導(dǎo)體，其包圍著所述芯的第一部分，和第一層顆粒磁性材料；和第二電感器，其包括螺旋構(gòu)型的第二導(dǎo)體，其包圍著所述芯的第二部分，和第二層顆粒磁性材料；所述第一層和第二層顆粒磁性材料含有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒，所述無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。全文摘要提供電感設(shè)備，所述電感設(shè)備包括螺旋構(gòu)型的導(dǎo)體和第一層顆粒磁性材料，該顆粒磁性材料含有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒。該無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。還提供變壓器，其包括芯和第一電感器。該第一電感器包括螺旋構(gòu)型的第一導(dǎo)體，其包圍著該芯的第一部分，和第一層顆粒磁性材料。該變壓器進(jìn)一步包括第二電感器。該第二電感器包括螺旋構(gòu)型的第二導(dǎo)體，其包圍著該芯的第二部分，和第二層顆粒磁性材料。該第一層和第二層顆粒磁性材料含有嵌入在無(wú)定形陶瓷基質(zhì)里的眾多磁性顆粒。該無(wú)定形陶瓷基質(zhì)的介電常數(shù)在3以上。文檔編號(hào)H01F17/00GK101276672SQ200710300418公開(kāi)日2008年10月1日申請(qǐng)日期2007年12月27日優(yōu)先權(quán)日2007年3月28日發(fā)明者A·達(dá)斯,M·G·拉辛,李辛華申請(qǐng)人:賀利氏有限公司