專利名稱：藍(lán)色激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光器，特別是一種激光二極管端面泵浦腔內(nèi)倍頻 的藍(lán)色激光器。
背景技術(shù)：
激光二極管泵浦的全固態(tài)固體激光器由于具有效率高、壽命長、使 用方便、結(jié)構(gòu)緊湊和性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，近年來成為國際上競相研究開發(fā) 的熱點(diǎn)。藍(lán)色激光器在光存儲、數(shù)字視頻技術(shù)、光譜技術(shù)、激光醫(yī)療、
激光演示和激光多媒體技術(shù)等方面都得到廣泛的應(yīng)用；藍(lán)色激光器還可 以和紅色、綠色激光器構(gòu)成三元色激光光源。
為了得到藍(lán)色激光，不少專利涉及制作藍(lán)色激光器的方法，例如 ZL200410039213.1, CN02118767.3 ， CN02117365.6 ， CN02117362.1 ， C匿118770.3， C匿118769,X。
ZL200410039213.1側(cè)重于描述端面泵浦的直腔結(jié)構(gòu)以及復(fù)合棒技 術(shù)來獲得藍(lán)色激光；CN02118767.3中側(cè)重于描述的是自倍頻激光介質(zhì)材 料摻釹硼酸釓鋁；CN02117362.1和CN02117365.6主要涉及同時產(chǎn)生紅 綠藍(lán)三基色的技術(shù)，激光穩(wěn)定性較差，且轉(zhuǎn)換效率也較難提高； CN02118770.3和CN02118769.X側(cè)重于描述的是自倍頻材料的激光結(jié) 構(gòu)，轉(zhuǎn)換效率較低。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種藍(lán)色激 光器，提高激光器輸出藍(lán)色激光的效率和穩(wěn)定性。
本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案如下
在本實(shí)用新型的總的思路下，包括兩種相近的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，但不可相
互取代。
第一種藍(lán)色激光器的結(jié)構(gòu)
一種藍(lán)色激光器，包括激光二極管泵浦源，沿該激光二極管泵浦源 所發(fā)出的光束前進(jìn)方向依次設(shè)有光學(xué)耦合系統(tǒng)、入射腔鏡、激光介質(zhì)、 倍頻晶體和出射腔鏡。
激光二極管泵浦源固定于第一熱沉上，該第一熱沉上還固定有一溫 度傳感器，所述的激光介質(zhì)固定于第二熱沉上，所述的倍頻晶體固定于 第三熱沉上，第一熱沉、第二熱沉和第三熱沉置于一導(dǎo)熱板上，該導(dǎo)熱 板緊貼一制冷片的冷端，制冷片的熱端緊貼于一散熱片上，所述導(dǎo)熱板 與散熱片之間繞制冷片的四周設(shè)有一層絕熱體，所述的制冷片和溫度傳 感器分別通過導(dǎo)線連接到一溫度控制器上。三個熱沉、溫度控制器、溫 度傳感器、制冷片、導(dǎo)熱板和散熱片構(gòu)成一個溫度控制系統(tǒng)，控制和穩(wěn) 定整個激光系統(tǒng)的工作溫度。
所述的入射腔鏡的出射腔面上的第一膜層和出射腔鏡入射腔面上的 第二膜層之間構(gòu)成諧振腔，第一膜層對所述激光二極管泵浦源所發(fā)出的 泵浦光增透，對輸出波長的基頻光和倍頻光高反射；第二膜層對基頻光 高反射，對倍頻光增透；所述的第一增透膜、第二增透膜、第三增透膜、 第四增透膜對輸出波長的基頻光和倍頻光增透，所述的第五增透膜對輸 出波長的倍頻光增透。
第二種藍(lán)色激光器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
一種藍(lán)色激光器，包括激光二極管泵浦源，沿該激光二極管泵浦源 所發(fā)出的光束前進(jìn)方向依次設(shè)有光學(xué)耦合系統(tǒng)、激光介質(zhì)、倍頻晶體和 出射腔鏡；
所述的激光二極管泵浦源固定于第一熱沉上，該第一熱沉上還固定 有一溫度傳感器；所述的激光介質(zhì)置于第二熱沉上，所述的倍頻晶體置
于第三熱沉上。第一熱沉、第二熱沉和第三熱沉置于一導(dǎo)熱板上，該導(dǎo) 熱板緊貼一制冷片的冷端，制冷片的熱端緊貼于一散熱片上，所述導(dǎo)熱 板與散熱片之間繞制冷片的四周設(shè)有一層絕熱體，所述的制冷片和溫度 傳感器分別通過導(dǎo)線連接到一溫度控制器上。三個熱沉、溫度控制器、 溫度傳感器、制冷片、導(dǎo)熱板和散熱片構(gòu)成一個溫度控制系統(tǒng)，控制和 穩(wěn)定整個激光系統(tǒng)的工作溫度。
所述的激光介質(zhì)的入射端面上鍍有第三膜層，激光介質(zhì)的出射端面
上鍍有第五膜層；倍頻晶體的入射端面鍍有第六膜層，倍頻晶體的出射 端面鍍有第六增透膜；出射腔鏡的入射端面鍍有第四膜層，出射腔鏡的 出射端面鍍有第七增透膜。
第二種藍(lán)色激光器的結(jié)構(gòu)中，對于鍍膜要求又有三種方案-
-一種情況是所述的第三膜層和第四膜層之間構(gòu)成諧振腔，第三膜層 對所述激光二極管泵浦源所發(fā)出的泵浦光增透，對輸出波長的基頻光和 倍頻光高反射；第四膜層對基頻光高反射，對倍頻光增透；所述的第五 膜層、第六膜層和第六增透膜對輸出波長的基頻光和倍頻光增透，所述 的第七增透膜對輸出波長的倍頻光增透。
另外一種情況是所述的第三膜層和第四膜層之間構(gòu)成諧振腔，第三 膜層對所述激光二極管泵浦源所發(fā)出的泵浦光增透，對輸出波長的倍頻 光高反射；第四膜層對輸出波長的基頻光高反射，對倍頻光增透；所述 的第五膜層對輸出波長的基頻光增透，對其倍頻光高反射，所述的第六 膜層和第六增透膜對輸出波長的基頻光和倍頻光增透，所述的第七增透 膜對輸出波長的倍頻光增透。
第三種情況是所述的第三膜層和第四膜層之間構(gòu)成諧振腔，第三膜 層對所述激光二極管泵浦源所發(fā)出的泵浦光增透，對輸出波長的倍頻光 高反射；第四膜層對輸出波長的基頻光高反射，對其倍頻光增透；所述
的第六膜層對輸出波長的基頻光增透，對其倍頻光高反射，所述的第五 膜層和第六增透膜對輸出波長的基頻光和倍頻光增透，所述的第七增透 膜對輸出波長的倍頻光增透。
所述的倍頻晶體為硼酸鉍晶體、或?yàn)榕鹚徜^晶體、或?yàn)槿鹚徜嚒?本實(shí)用新型技術(shù)方案的技術(shù)效果
① 本實(shí)用新型的藍(lán)色激光器采用激光二極管端面泵浦腔內(nèi)倍頻，輸 出的藍(lán)色激光效率高，性能穩(wěn)定。
② 本實(shí)用新型的藍(lán)色激光器通過溫度控制系統(tǒng)保證工作溫度處于
15"C 30'C之間，溫度的控制精度在士0.2"C范圍內(nèi)，倍頻晶體的走離角 保持不變，使激光輸出的模式和輸出功率穩(wěn)定。
③ 溫度控制系統(tǒng)同時對激光二極管泵浦源、激光介質(zhì)和倍頻晶體同 時制冷，使得結(jié)構(gòu)大大簡化。


圖1是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例1中諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例2中諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中，
l一激光二極管泵浦源 2—第一熱沉3—溫度傳感器4—導(dǎo)熱板 5—制冷片51—制冷片冷端52—制冷片熱端6—光學(xué)耦合系統(tǒng) 7—入射腔鏡701—第一膜層8—激光介質(zhì) 801—第一增透膜 802—第二增透膜803—第三膜層 804—第五膜層9一倍頻晶體 901—第三增透膜卯2—第四增透膜903—第六膜層904—第六增透 膜10"出射腔鏡101—第二膜層102—第五增透膜103—第四膜層 104—第七增透膜ll一散熱片17—溫度控制器18—導(dǎo)線19—絕熱板
20—第二熱沉 21—第三熱沉具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對本實(shí)用新型藍(lán)色激光器做進(jìn)一步說 明，但不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。 實(shí)施例1
請看圖1，圖1是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。 由圖可以看出，本實(shí)用新型的藍(lán)色激光器屬于端面泵浦的直腔結(jié)構(gòu)，包 括激光二極管泵浦源1，沿該激光二極管泵浦源1所發(fā)出的光束前進(jìn)方 向依次設(shè)有光學(xué)耦合系統(tǒng)6、入射腔鏡7、激光介質(zhì)8、倍頻晶體9和出 射腔鏡10，光學(xué)耦合系統(tǒng)6將激光二極管泵浦源1的發(fā)散光束會聚，會 聚的焦點(diǎn)在激光介質(zhì)8的內(nèi)部，激光介質(zhì)8為摻釹釔鋁石榴石晶體，倍 頻晶體9是硼酸鋇晶體。
由入射腔鏡7的出射端面和出射腔鏡10的入射端面組成本實(shí)用新型 藍(lán)色激光器的諧振腔，并使兩個腔鏡組成光軸與泵浦光的光軸一致。
激光二極管泵浦源1固定于第一熱沉2上，該第一熱沉2上還固定 有一溫度傳感器3，該溫度傳感器3隨時反饋第一熱沉2上的溫度變化， 即激光二極管泵浦源1的溫度變化。
激光介質(zhì)8固定于第二熱沉20上，所述的倍頻晶體9固定于第三熱 沉21上；所述的第一熱沉2、第二熱沉20和第三熱沉21置于一導(dǎo)熱板 4上，該導(dǎo)熱板4的下部緊貼一半導(dǎo)體制冷片5的冷端51，制冷片5的 熱端52緊貼于一散熱片11上，所述導(dǎo)熱板4與散熱片11之間繞制冷片 5的四周設(shè)有一層絕熱體19;所述的制冷片5和溫度傳感器3分別通過 導(dǎo)線18連接到一溫度控制器17上。三個熱沉、溫度控制器17、溫度傳 感器3、半導(dǎo)體制冷片5、導(dǎo)熱板4和散熱片11構(gòu)成一個溫度控制系統(tǒng)， 當(dāng)?shù)谝粺岢?的溫度升高時，降低制冷片5的制冷量，當(dāng)?shù)谝粺岢?的
溫度降低時，升高制冷片5的制冷量，從而達(dá)到控制和穩(wěn)定整個激光系
統(tǒng)溫度的目的。本實(shí)施例中溫度控制系統(tǒng)控制熱沉的溫度從而控制激光
二極管泵浦源1的溫度2(TC，使該溫度的控制精度在士0.2t:范圍內(nèi)， 這時該激光二極管泵浦源1的輸出光的波長穩(wěn)定于808.5nm附近，這也 是以摻釹釔鋁石榴石作為激光介質(zhì)8的吸收峰值。
再請看圖2，圖2是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例1中諧振腔的 結(jié)構(gòu)示意圖。由圖可以看出，所述的入射腔鏡7的出射端面鍍有的第一 膜層701和出射腔鏡10的入射端面鍍有的第二膜層101構(gòu)成本實(shí)用新型 藍(lán)色激光器的諧振腔。
第一膜層701的膜系為R<30%@1064nm (對應(yīng)4F3/2_4I11/2能級)& R>99.5%@946nm (對應(yīng)4F3/2—419/2能級)&R<30%@1342nm (對應(yīng)卞3/2 —4113/2能級)&R<10%@808.5 nm (對應(yīng)激光二極管泵浦源1的出射波 長)& R>90%@473 nm。其中，R<30%@1064nm的含義為對于波長為 1064nm的光反射率小于30%，即為對波長1064nm的光增透； R>99.5%@946nm的含義為對于波長為946nm的光反射率大于99.5%, 即為對波長為946nm的光高反射，本文其余均以此解釋。第二膜層101 的膜系為R<30%@1064nm& R>99.5%@946nm& R<30°/。@1342nm& R<50/0@473腿。
激光介質(zhì)8的入射端面上鍍有第一增透膜801，激光介質(zhì)8的出射 端面上鍍有第二增透膜802;倍頻晶體9的入射端面鍍有第三增透膜901 ， 倍頻晶體9的出射端面鍍有第四增透膜902，該第一增透膜801、第二增 透膜802、第三增透膜901和第四增透膜902的膜系為R<l%@946nm& @473nm，出射腔鏡10的出射端面鍍有第五增透膜102，該第五增透膜 的膜系為R<l%@473nm。
本實(shí)施例中的藍(lán)色激光器在激光二極管泵浦源l的功率為1.3W時，輸出的波長為473nrn的藍(lán)色激光功率達(dá)到153mV，輸出的藍(lán)色激光為 TEM00模。 實(shí)施例2
請看圖3，圖3是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。 由圖可以看出，在本實(shí)施例中的藍(lán)色激光器屬于端面泵浦的直腔結(jié)構(gòu)， 包括激光二極管泵浦源1，沿該激光二極管泵浦源1所發(fā)出的光束前進(jìn) 方向依次設(shè)有光學(xué)耦合系統(tǒng)6、激光介質(zhì)8、倍頻晶體9和出射腔鏡10， 光學(xué)耦合系統(tǒng)6將激光二極管泵浦源1的發(fā)散光束會聚，會聚的焦點(diǎn)在 激光介質(zhì)8的內(nèi)部，激光介質(zhì)8為摻釹釔鋁石榴石晶體，倍頻晶體9是 硼酸鋇晶體。
激光介質(zhì)8的入射腔面和出射腔鏡10的入射端面組成本實(shí)用新型藍(lán) 色激光器的諧振腔，并使諧振腔的光軸與泵浦光的光軸一致。
激光二極管泵浦源1固定于第一熱沉2上，該第一熱沉2上還固定 有一溫度傳感器3，該溫度傳感器3隨時反饋第一熱沉2上的溫度變化， 即激光二極管泵浦源1的溫度變化。
激光介質(zhì)8固定于第二熱沉20上，所述的倍頻晶體9固定于第三熱 沉21上；所述的第一熱沉2、第二熱沉20和第三熱沉21置于一導(dǎo)熱板 4上，該導(dǎo)熱板4的下部緊貼一半導(dǎo)體制冷片5的冷端51，制冷片5的 熱端52緊貼于一散熱片11上，所述導(dǎo)熱板4與散熱片11之間繞制冷片 5的四周設(shè)有一層絕熱體19;所述的制冷片5和溫度傳感器3分別通過 導(dǎo)線18連接到一溫度控制器17上。三個熱沉、溫度控制器17、溫度傳 感器3、半導(dǎo)體制冷片5、導(dǎo)熱板4和散熱片11構(gòu)成一個溫度控制系統(tǒng)， 當(dāng)?shù)谝粺岢?的溫度升高時，降低制冷片5的制冷量，當(dāng)?shù)谝粺岢?的 溫度降低時，升高制冷片5的制冷量，從而達(dá)到控制和穩(wěn)定整個激光系 統(tǒng)溫度的目的。本實(shí)施例中溫度控制系統(tǒng)控制熱沉的溫度從而控制激光
二極管泵浦源1的溫度2(TC，使該溫度的控制精度在士0.2t:范圍內(nèi)， 這時該激光二極管泵浦源1的輸出光的波長穩(wěn)定于808.5nm附近，這也 是以摻釹釔鋁石榴石作為激光介質(zhì)8的吸收峰值。
再請看圖4，圖4是本實(shí)用新型藍(lán)色激光器的實(shí)施例2中諧振腔的 結(jié)構(gòu)示意圖。由圖可以看出，本實(shí)施例中激光介質(zhì)8的入射端面和出射 腔鏡10上的入射腔面之間構(gòu)成本實(shí)施例的諧振腔，激光介質(zhì)8的入射端 面鍍有第三膜層803，該第三膜層803和出射腔鏡10的入射腔面上鍍有 的第四膜層103之間構(gòu)成諧振腔，第三膜層803的膜系為 R<30%@1064nm&R>99.5o/o@9046nm&R<30%@1342nm&R<10%@808. 5nm& R>90%@473 nm，對激光二極管泵浦源1所發(fā)出的泵浦光增透， 對輸出波長的基頻光和倍頻光高反射；第四膜層103的膜系為 R<30%@1064nm&R>99.5%@9046nm&R<300/o@1342nm& 50/0@473腿， 第四膜層103基頻光高反射，對倍頻光增透；所述的第五膜層804、第 六膜層93和第六增透膜904的膜系為R<l%@9046nm& @473nm，對輸 出波長的基頻光和倍頻光增透；所述的第七增透膜104鍍于出射腔鏡10 的出射端面上，該第七增透膜104的膜系為R<l%@473nm，對輸出波長 的倍頻光增透。
實(shí)施例3
實(shí)施例3的藍(lán)色激光器的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例2結(jié)構(gòu)相同，不同之處在于 倍頻晶體9的入射端面上的第六膜層93的膜系為R<l%@9046nm& R>95%@473nm，激光介質(zhì)8的入射端面上的第三膜層803的膜系為 R<30%@1064nm&R>99.5%@9046nm&R<30%@1342nm& R<10%@808.5 nm。這樣，將入射端面對波長473nm光的鍍膜要求轉(zhuǎn)移 到了倍頻晶體9的入射端面上，減輕了入射端面的鍍膜難度。
實(shí)施例4 實(shí)施例4的藍(lán)色激光器的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例2結(jié)構(gòu)相同，不同之處在于 倍頻晶體9的入射端面上的第五膜層903的膜系為R<l%@946nm& R>95%@473nm，激光介質(zhì)8的入射端面上的第三膜層803的膜系為 R<30%@1064nm&R>99.5%@946nm&R<30%@1342nm& R<10%@808.5 nm。這樣，將入射端面對波長473nm光的鍍膜要求轉(zhuǎn)移到了激光晶體8
的出射端面上，減輕了入射端面的鍍膜難度， 實(shí)施例5
本實(shí)施例中的藍(lán)色激光器的結(jié)構(gòu)如實(shí)施例1所示，不同之處在于激 光介質(zhì)8由摻釹釩酸釔晶體替代摻釹釔鋁石榴石，對應(yīng)4F3/2~~4I9/2能級 的基頻光波長為914nm，輸出的藍(lán)色激光波長為457nm。
實(shí)施例6
本實(shí)施例中的藍(lán)色激光器的結(jié)構(gòu)如實(shí)施例1所示，不同之處在于藍(lán) 色激光器中的激光介質(zhì)8由摻釹釩酸鎵晶體替代摻釹釔鋁石榴石，對應(yīng) 卞3/2—41 /2能級的基頻光波長為912nm，輸出的藍(lán)色激光波長為456nm。
本實(shí)用新型的倍頻晶體9為硼酸鋇晶體，還可以用硼酸鉍晶體、三
硼酸鋰晶體或其它非線性晶體進(jìn)行替代。
毫無疑問，本實(shí)用新型的藍(lán)色激光器還可以有其它的結(jié)構(gòu)變換和晶
體選擇，實(shí)現(xiàn)輸出不同波長的藍(lán)色激光，因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍
還包括其它對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來講顯而易見的替代和變換。
采用本實(shí)用新型的藍(lán)色激光器輸出的藍(lán)色激光效率高，激光輸出的
模式和輸出功率穩(wěn)定，使得結(jié)構(gòu)簡單可靠。
權(quán)利要求1.一種藍(lán)色激光器，包括激光二極管泵浦源(1)，其特征在于沿該激光二極管泵浦源(1)所發(fā)出的光束前進(jìn)方向依次設(shè)有光學(xué)耦合系統(tǒng)(6)、入射腔鏡(7)、激光介質(zhì)(8)、倍頻晶體(9)和出射腔鏡(10)；所述的激光二極管泵浦源(1)固定于第一熱沉(2)上，該第一熱沉(2)上還固定有一溫度傳感器(3)；所述的激光介質(zhì)(8)固定于第二熱沉(20)上，所述的倍頻晶體(9)固定于第三熱沉(21)上；所述的第一熱沉(2)、第二熱沉(20)和第三熱沉(21)置于一導(dǎo)熱板(4)上，該導(dǎo)熱板(4)的下部緊貼一制冷片(5)的冷端(51)，制冷片(5)的熱端(52)緊貼于一散熱片(11)上，所述導(dǎo)熱板(4)與散熱片(11)之間繞制冷片(5)四周設(shè)有一層絕熱體(19)；所述的制冷片(5)和溫度傳感器(3)分別通過導(dǎo)線(18)連接到一溫度控制器(17)上；所述的入射腔鏡(7)的出射端面鍍有第一膜層(701)；激光介質(zhì)(8)的入射端面上鍍有第一增透膜(801)，激光介質(zhì)(8)的出射端面上鍍有第二增透膜(802)；倍頻晶體(9)的入射端面鍍有第三增透膜(901)，倍頻晶體(9)的出射端面鍍有第四增透膜(902)；出射腔鏡(10)的入射端面鍍有第二膜層(101)，出射腔鏡(10)的出射端面鍍有第五增透膜(102)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)色激光器，其特征在于所述的第一膜層 (701)和第二膜層(101)之間構(gòu)成諧振腔，第一膜層(701)對所述激光二極管泵浦源(1)所發(fā)出的泵浦光增透，對輸出波長的基頻光和倍頻 光高反射；第二膜層(101)對基頻光高反射，對倍頻光增透；所述的第 一增透膜(801)、第二增透膜(802)、第三增透膜(901)、第四增透膜(902)對輸出波長的基頻光和倍頻光增透，所述的第五增透膜(102) 對輸出波長的倍頻光增透。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的藍(lán)色激光器，其特征在于所述的激光 介質(zhì)(8)為摻釹釩酸釔晶體、或?yàn)閾解S釩酸鎵晶體、或?yàn)閾解S釔鋁石榴 石晶體。
4. 一種藍(lán)色激光器，包括激光二極管泵浦源(1)，其特征在于沿激 光二極管泵浦源(1)所發(fā)出的光束前進(jìn)方向依次設(shè)有光學(xué)耦合系統(tǒng)(6)、 激光介質(zhì)(8)、倍頻晶體(9)和出射腔鏡(10);所述的激光二極管泵浦源(1)固定于第一熱沉(2)上，該第一熱沉 (2)上還固定有一溫度傳感器(3);所述的激光介質(zhì)(8)置于第二熱 沉(20)上，所述的倍頻晶體(9)置于第三熱沉(21)上；所述的第一 熱沉(2)、第二熱沉(20)和第三熱沉(21)置于一導(dǎo)熱板(4)上，該 導(dǎo)熱板(4)緊貼一制冷片(5)的冷端(51)，制冷片(5)熱端(52) 緊貼于一散熱片(11)上，所述導(dǎo)熱板(4)與散熱片(11)之間繞制冷 片(5)設(shè)有一層絕熱體(19);所述的制冷片(5)和溫度傳感器(3) 分別通過導(dǎo)線(18)連接到一溫度控制器(17)上；所述的激光介質(zhì)(8)的入射端面上鍍有第三膜層(803)，激光介質(zhì) (8)的出射端面上鍍有第五膜層(804);倍頻晶體(9)的入射端面鍍 有第六膜層(903)，倍頻晶體(9)的出射端面鍍有第六增透膜(904); 出射腔鏡(10)的入射端面鍍有第四膜層(103)，出射腔鏡(10)的出 射端面鍍有第七增透膜(104)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)色激光器，其特征在于所述的第三膜層 (803)和第四膜層(103)之間構(gòu)成諧振腔，第三膜層(803)對所述激光二極管泵浦源(1)所發(fā)出的泵浦光增透，對輸出波長的基頻光和倍頻 光高反射；第四膜層(103)對基頻光高反射，對倍頻光增透；所述的第 五膜層(804)、第六膜層(903)和第六增透膜(904)對輸出波長的基 頻光和倍頻光增透，所述的第七增透膜(104)對輸出波長的倍頻光增透。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)色激光器，其特征在于所述的第三膜層 (803)和第四膜層(103)之間構(gòu)成諧振腔，第三膜層(803)對所述激光二極管泵浦源(1)所發(fā)出的泵浦光增透，對輸出波長的倍頻光高反射; 第四膜層(103)對輸出波長的基頻光高反射，對倍頻光增透；所述的第 五膜層(804)對輸出波長的基頻光增透，對其倍頻光高反射，所述的第 六膜層(903)和第六增透膜(904)對輸出波長的基頻光和倍頻光增透， 所述的第七增透膜(104)對輸出波長的倍頻光增透。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)色激光器，其特征在于所述的第三膜層 (803)和第四膜層(103)之間構(gòu)成諧振腔，第三膜層(803)對所述激光二極管泵浦源(1)所發(fā)出的泵浦光增透，對輸出波長的倍頻光高反射; 第四膜層(103)對輸出波長的基頻光高反射，對其倍頻光增透；所述的 第六膜層(903)對輸出波長的基頻光增透，對其倍頻光高反射，所述的 第五膜層(804)和第六增透膜(904)對輸出波長的基頻光和倍頻光增 透，所述的第七增透膜(104)對輸出波長的倍頻光增透。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的藍(lán)色激光器，其特征在于所述的倍 頻晶體(9)為硼酸鉍晶體、或?yàn)榕鹚徜^晶體、或?yàn)槿鹚徜嚲w。
專利摘要本實(shí)用新型涉及藍(lán)色激光器，其結(jié)構(gòu)包括激光二極管泵浦源和沿泵浦源的光束前進(jìn)方向依次設(shè)有光學(xué)耦合系統(tǒng)和諧振腔，諧振腔內(nèi)放置有激光介質(zhì)和倍頻晶體，泵浦源、激光介質(zhì)和倍頻晶體分別置于熱沉上，熱沉置于導(dǎo)熱板上，導(dǎo)熱板緊貼于制冷片的冷端，制冷片的熱端緊貼于一散熱片上，制冷片與散熱片中間繞制冷片設(shè)有一層絕熱體，泵浦源所在的熱沉上設(shè)有溫度傳感器，制冷片和溫度傳感器分別通過導(dǎo)線連接到溫度控制器上。本實(shí)用新型的藍(lán)色激光器結(jié)構(gòu)簡單，激光的輸出模式和輸出功率穩(wěn)定，輸出的激光效率高。
文檔編號H01S3/00GK201069849SQ20072006673
公開日2008年6月4日 申請日期2007年1月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月26日
發(fā)明者朱健強(qiáng), 強(qiáng) 林, 利 王, 王憲濤 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所