專利名稱：一種固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種固晶機(jī)取晶、固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)。
技術(shù)背景固晶機(jī)是生產(chǎn)發(fā)光二極管過程中必不可少的設(shè)備，固晶的目的在于利用粘 接劑將晶粒(芯片)黏著于LED支架碗杯底面，使其固著于基座上，利于焊線及壓模。.傳統(tǒng)的取晶固晶的方法是人工拾取或使用取晶臂拾取，效率低，并且容易 漏掉晶圓，降低質(zhì)量。 實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于解決上述問題，提供一種取晶、放晶的 機(jī)械結(jié)構(gòu)，尤其是用于固晶機(jī)上的取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是 一種固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于 包括取晶臂、取晶臂轉(zhuǎn)軸、吸嘴、取晶固晶裝置、移晶裝置，取晶臂一端固定 連接吸嘴，吸嘴內(nèi)部中空，取晶臂另一端與取晶臂轉(zhuǎn)軸底端緊配合，取晶臂轉(zhuǎn) 軸頂端固定連接取晶臂升降裝置和移晶裝置，吸嘴連接取晶固晶裝置。所述固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括漏晶檢測系統(tǒng)。所述漏晶檢測系統(tǒng)是光纖感應(yīng)器，光纖傳感器發(fā)射端發(fā)出光的光亮軌跡與 取晶臂的擺臂軌跡相交，光纖傳感器接收端安裝于吸嘴上方。所述取晶固晶裝置是真空發(fā)生器。所述真空發(fā)生器包括真空管，真空管一端連接吸嘴，真空管另一端連接真 空發(fā)生器，真空發(fā)生器內(nèi)設(shè)置一個(gè)閥。 所述閥是電磁閥。
所述移晶裝置包括移晶動(dòng)力裝置、移晶傳動(dòng)臂、移晶皮帶，移晶皮帶兩端 分別連接移晶馬達(dá)和移晶傳動(dòng)臂，移晶傳動(dòng)臂的另一端與取晶臂轉(zhuǎn)軸的一端緊 固連接，取晶臂轉(zhuǎn)軸的另一端連接取晶臂，取晶臂是以取晶臂轉(zhuǎn)軸為圓心、取 晶臂臂長為半徑作圓弧運(yùn)動(dòng)的裝置。 '所述移晶動(dòng)力裝置是移晶馬達(dá)。所述固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)增加取晶臂升降裝置。所述取晶臂升降裝置包括升降動(dòng)力裝置、升降皮帶，偏心凸輪，取晶臂轉(zhuǎn) 軸頂部固定連接取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤，取晶臂轉(zhuǎn)軸與取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤所在平面相垂 直，升降皮帶兩端分別連接升降馬達(dá)和偏心凸輪，偏心凸輪的另一端緊密接觸 取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤。所述升降動(dòng)力裝置是升降馬達(dá)。所述真空發(fā)生器的壓力為4個(gè)大氣壓。 所述圓弧運(yùn)動(dòng)的角度在0至180度之間。 所述圓弧運(yùn)動(dòng)的角度是90度。 所述偏心凸輪的偏離高度為lmm。本實(shí)用新型的有益效果是本機(jī)械結(jié)構(gòu)較之現(xiàn)有技術(shù)，大大提高了取晶固 晶的效率，設(shè)置適當(dāng)?shù)膮?shù)，可獲得很高的精度。本機(jī)械結(jié)構(gòu)提供了一種漏晶 檢測系統(tǒng)，可大大減少漏晶的幾率，提高固晶質(zhì)量。

.圖l是本實(shí)用新型取晶固晶裝置及漏晶檢測系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本實(shí)用新型移晶裝置結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本實(shí)用新型取晶臂升降裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1:取晶臂；2:吸嘴；3:取晶臂轉(zhuǎn)軸；101:光纖傳感器發(fā)射端；102:光纖傳感器接收端；103:真空發(fā)生器；104:真空管；105:電磁閥；201: 移晶馬達(dá)；202:移晶傳動(dòng)臂；203:移晶皮帶；301:升降馬達(dá)；302:升降皮帶；303:偏心凸輪；304:取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。請參考圖1，本機(jī)械結(jié)構(gòu)的取晶固晶裝置的描述如下。真空發(fā)生器103位 于機(jī)器臺(tái)內(nèi)部，真空管104的始端連接真空發(fā)生器103,真空管104的終端位 于吸嘴2上方，吸嘴2及吸嘴2上方均為中空。真空發(fā)生器103內(nèi)部設(shè)有電磁 閥105。當(dāng)閥門打開時(shí)，真空發(fā)生器103工作，吸嘴2上方及吸嘴2中部凈皮抽真空。 晶圓位于吸嘴2下方。吸嘴2下方由于氣壓差產(chǎn)生空氣吸力，將晶圓吸在真空 嘴下方。取晶臂1通過移晶裝置將晶圓移動(dòng)到LED支架碗杯上空。電磁閥105 關(guān)閉，真空發(fā)生器103停止工作，吸嘴2內(nèi)外氣壓流動(dòng)，氣壓差為零，晶圓落 在碗杯中。取晶固晶裝置通過真空發(fā)生器103的工作，利用氣壓差，實(shí)現(xiàn)了晶 圓的拿取、固放。.圖1中，增加了漏晶檢測裝置光纖傳感器。光纖傳感器發(fā)射端101固定 在機(jī)器臺(tái)架上，光纖傳感器發(fā)射端101發(fā)出光的光亮軌跡與取晶臂1的擺臂軌 跡相交。光纖傳感器接收端102安裝于吸嘴2上方。取晶臂l移動(dòng)晶圓時(shí)，光 纖傳感器發(fā)射端IOI發(fā)出的光照射到晶圓。若吸嘴2下方?jīng)]有吸到晶圓，即晶 圓掉落時(shí)，光纖傳感器接收端102會(huì)收到光纖傳感器發(fā)射端101發(fā)出的紅外光 接收端102導(dǎo)通。光纖傳感器發(fā)出信號(hào)，通知工作人員。請參考圖2,本機(jī)械結(jié)構(gòu)的移晶裝置的描述如下。移晶傳動(dòng)臂202之間用 螺絲連接，并在末端通過螺絲固定在取晶臂轉(zhuǎn)軸3上。取晶臂轉(zhuǎn)軸3位于垂直 面土，并且取晶臂轉(zhuǎn)軸3和移晶傳動(dòng)臂202為保持穩(wěn)定，穿插固定在機(jī)器臺(tái)架 上。移晶皮帶203套在移晶傳動(dòng)臂202的另一末端和移晶馬達(dá)201上。當(dāng)移晶馬達(dá)201開啟，移晶馬達(dá)201轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，移晶皮帶203傳動(dòng)，帶動(dòng)移晶傳動(dòng)臂202 轉(zhuǎn)動(dòng)。由于移晶傳動(dòng)臂202末端通過螺絲固定在取晶臂轉(zhuǎn)軸3上，取晶臂轉(zhuǎn)軸 3與取晶臂1緊配合，因此移晶傳動(dòng)臂202帶動(dòng)取晶臂轉(zhuǎn)軸3和取晶臂1旋轉(zhuǎn)。 取晶臂1在水平面上以取晶臂轉(zhuǎn)軸3為圓心、取晶臂1臂長為半徑作圓弧運(yùn)動(dòng)。 取晶臂1通過圓弧運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了晶圓的移動(dòng)。請參考圖3，為便于移動(dòng)晶圓，并且不碰傷其他晶圓，本機(jī)械結(jié)構(gòu)增加取 晶臂升降裝置。取晶臂轉(zhuǎn)軸3頂端設(shè)置取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤304，取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤 304與取晶臂轉(zhuǎn)軸3連為一體。偏心凸輪303穿插在機(jī)器臺(tái)架上，偏心凸輪303 的終端位于取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤304的下方。升降皮帶302套在偏心凸輪303的另 一端和升降馬達(dá)301上。當(dāng)升降馬達(dá)301開啟，升降馬達(dá)301轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，偏心凸 輪303轉(zhuǎn)動(dòng)。偏心凸輪303的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡為橢圓形，因此偏心凸輪303的轉(zhuǎn)動(dòng)將 取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤304頂起。馬達(dá)關(guān)閉停止轉(zhuǎn)動(dòng)，取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤304由于被抬 起而升高。由于取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤304與取晶臂轉(zhuǎn)軸3連為一體，取晶臂轉(zhuǎn)軸3 及取晶臂l升高。
權(quán)利要求1、一種固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于包括取晶臂(1)、取晶臂轉(zhuǎn)軸(3)、吸嘴(2)、取晶固晶裝置、移晶裝置，取晶臂(1)一端固定連接吸嘴(2)，吸嘴(2)內(nèi)部中空，取晶臂(1)另一端與取晶臂轉(zhuǎn)軸(3)底端緊配合，取晶臂轉(zhuǎn)軸(3)頂端固定連接取晶臂升降裝置和移晶裝置，吸嘴(2)連接取晶固晶裝置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括漏晶檢測系統(tǒng)。
3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述漏晶檢測系統(tǒng)是光纖感應(yīng)器，光纖感應(yīng)器發(fā)射端(101)發(fā)出光的光亮軌跡 與取晶臂(1 )的擺臂軌跡相交，光纖感應(yīng)器接收端(102 )安裝于吸嘴(2 ) 上方。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述取晶固晶裝置是真空發(fā)生器(103)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述真空發(fā)生器(103)包括真空管(104)，真空管(104) —端連接吸嘴(2), 另一端連接真空發(fā)生器(103)，真空發(fā)生器(103)內(nèi)設(shè)置一個(gè)閥。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述閥是電磁閥(105)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶才/l4又晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述移晶裝置包括移晶動(dòng)力裝置、移晶傳動(dòng)臂(202 )、移晶皮帶(203 )，移晶皮 帶(203 )兩端分別連接移晶馬達(dá)(201 )和移晶傳動(dòng)臂(202 ),移晶傳動(dòng)臂(202 )的另一端與取晶臂轉(zhuǎn)軸(3)的一端緊固連接，取晶臂轉(zhuǎn)軸(3)的另一端連接 取晶臂(1 )，取晶臂(1)是以取晶臂轉(zhuǎn)軸(3 )為圓心、取晶臂(1 )臂長為 半徑作圓弧運(yùn)動(dòng)的裝置。
8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述移晶動(dòng)力裝置是移晶馬達(dá)(201 )。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括取晶臂升降裝置。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述取晶臂升降裝置包括升降動(dòng)力裝置、升降皮帶(302 )，偏心凸輪(303 )，取 晶臂轉(zhuǎn)軸(3 )頂部固定連接取晶臂轉(zhuǎn)軸頂盤(304 ),取晶臂轉(zhuǎn)軸(3 )與取晶 臂轉(zhuǎn)軸頂盤(304 )所在平面相垂直，升降皮帶(302 )兩端分別連接升降馬達(dá)(301)和偏心凸輪(303 )，偏心凸輪(303 )的另一端緊密接觸取晶臂轉(zhuǎn)軸頂 盤(304 )。
11、 根據(jù)權(quán)利要求10所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述升降動(dòng)力裝置是升降馬達(dá)(301 )。
12、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述真空發(fā)生器(103)的壓力為4個(gè)大氣壓。
13、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述圓弧運(yùn)動(dòng)的角度在0至180度之間。
14、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所 述圓弧運(yùn)動(dòng)的角度是90度。
15、 根據(jù)權(quán)利要求10所述的固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于所迷偏心凸輪(303 )的偏離高度為lmm。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種固晶機(jī)取晶固晶的機(jī)械結(jié)構(gòu)，包括取晶臂、取晶臂轉(zhuǎn)軸、吸嘴、取晶固晶裝置、移晶裝置，取晶臂一端固定連接吸嘴，吸嘴內(nèi)部中空，取晶臂另一端與取晶臂轉(zhuǎn)軸底端緊配合，取晶臂轉(zhuǎn)軸頂端固定連接取晶臂升降裝置和移晶裝置，吸嘴連接取晶固晶裝置。本實(shí)用新型機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括漏晶檢測系統(tǒng)和取臂升降裝置。本機(jī)械結(jié)構(gòu)較之現(xiàn)有技術(shù)，大大提高了取晶固晶的效率，設(shè)置適當(dāng)?shù)膮?shù)，可獲得很高的精度。
文檔編號(hào)H01L21/02GK201054346SQ20072015247
公開日2008年4月30日 申請日期2007年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月4日
發(fā)明者劉義紅, 楊少辰, 羅會(huì)才, 韓金龍 申請人:大贏數(shù)控設(shè)備(深圳)有限公司