專(zhuān)利名稱(chēng)：濾波元件及濾波元件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在電介質(zhì)基板上構(gòu)成了帶狀線(xiàn)諧振器(strip-line resonator)
的濾波元件。還涉及濾波元件的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，研究了多種利用多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的耦合來(lái)獲得寬帶的頻率特 性的濾波元件。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了由單一電介質(zhì)基板上設(shè)置的多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器構(gòu) 成了濾波器的濾波元件。該濾波元件中，在平板狀的電介質(zhì)基板的背面主 面和側(cè)面具備接地電極，并在電介質(zhì)基板的表面主面具備將電介質(zhì)基板的 側(cè)面和表面主面的邊界附近作為短接端的諧振線(xiàn)路。而且，使鄰接的帶狀 線(xiàn)諧振器的短接端、開(kāi)放端分別朝相同方向進(jìn)行梳狀線(xiàn)(comb-line)耦合， 并設(shè)置梳狀線(xiàn)耦合用主面電極來(lái)增強(qiáng)梳狀線(xiàn)耦合的耦合度。
而且，專(zhuān)利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了在同一電介質(zhì)基板上構(gòu)成有諧振頻率不同 的多組帶狀線(xiàn)諧振器的濾波元件。該濾波元件中，在平板狀的電介質(zhì)基板 的背面主面及側(cè)面的一部分具備接地電極，并具備從背面主面的接地電 極到側(cè)面及表面主面延伸設(shè)置了諧振線(xiàn)路(帶狀線(xiàn)諧振器)的第一組；和 從設(shè)置在側(cè)面的一部分的寬幅接地電極到表面主面延伸設(shè)置了諧振線(xiàn)路 (帶狀線(xiàn)諧振器)的第二組。第一組的諧振線(xiàn)路其電介質(zhì)基板的背面主面 和側(cè)面的邊界附近是短接端，第二組諧振線(xiàn)路其電介質(zhì)基板的側(cè)面和表面 主面的邊界附近是短接端。第一組和第二組的帶狀線(xiàn)諧振器為相互不同的 諧振頻率。
另外，專(zhuān)利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了利用帶狀線(xiàn)諧振器構(gòu)成了表面安裝型天線(xiàn) 的天線(xiàn)元件的制造方法。該文獻(xiàn)所記載的制造方法中，在電介質(zhì)母基板上 設(shè)置電路圖案，然后，從電介質(zhì)母基板分割天線(xiàn)元件素體，在天線(xiàn)元件素 體的側(cè)面形成電極，從而制造天線(xiàn)元件。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1:特開(kāi)平10 — 65401號(hào)公報(bào) 專(zhuān)利文獻(xiàn)2:特開(kāi)平7 — 58521號(hào)公報(bào) 專(zhuān)利文獻(xiàn)3:特開(kāi)平10—107537號(hào)公報(bào)
在專(zhuān)利文獻(xiàn)1 3所記載的濾波元件或天線(xiàn)元件中，帶狀線(xiàn)諧振器的 諧振特性由設(shè)置在電介質(zhì)基板(電介質(zhì)母基板)主面的線(xiàn)路(電路圖案) 的形狀確定，設(shè)定諧振特性的要素集中在主面上。
因此，難以在向電介質(zhì)基板(電介質(zhì)母基板)主面印刷了電路圖案之 后進(jìn)行諧振特性的調(diào)整。若在電路圖案的印刷工序或其后的元件素體的分 割工序等中帶狀線(xiàn)諧振器的諧振特性偏離了設(shè)計(jì)值，則會(huì)制造出并非為所 設(shè)計(jì)的諧振特性的不良元件，存在元件的量產(chǎn)性劣化的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于此，本發(fā)明的目的在于，提供一種即使在形成了電路圖案之后， 也能調(diào)整帶狀線(xiàn)諧振器的諧振特性的濾波元件的制造方法，并提供一種根 據(jù)表面主面的電路圖案以外的構(gòu)成，對(duì)帶狀線(xiàn)諧振器的諧振特性進(jìn)行調(diào)整 的濾波元件。
根據(jù)本申請(qǐng)的發(fā)明者們進(jìn)行研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)使諧振線(xiàn)路的側(cè)面 (以下將該部位稱(chēng)為側(cè)面諧振線(xiàn)路)的線(xiàn)路寬度與諧振線(xiàn)路的表面主面 (以下稱(chēng)為主面諧振線(xiàn)路)的線(xiàn)路寬度不同，并在側(cè)面諧振線(xiàn)路不作為接
地電極而發(fā)揮作用的范圍內(nèi)適當(dāng)設(shè)定線(xiàn)路寬度，能夠調(diào)整帶狀線(xiàn)諧振器的
諧振特性。
具體而言，通過(guò)使側(cè)面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度比主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬 度稍大，能提高該帶狀線(xiàn)諧振器的諧振頻率，另外，通過(guò)使側(cè)面諧振線(xiàn)路 的線(xiàn)路寬度比主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度小，能降低該帶狀線(xiàn)諧振器的諧振 頻率，此外，通過(guò)使鄰接的帶狀線(xiàn)諧振器的側(cè)面諧振線(xiàn)路彼此的間隔變窄， 能增強(qiáng)這些諧振器彼此的耦合，通過(guò)使鄰接的帶狀線(xiàn)諧振器的側(cè)面諧振線(xiàn) 路彼此的間隔增寬，能削弱這些諧振器彼此的耦合。
本發(fā)明基于以上發(fā)現(xiàn)而實(shí)現(xiàn)，本申請(qǐng)技術(shù)方案1的發(fā)明所涉及的濾波 元件由平板狀的電介質(zhì)基板、在所述電介質(zhì)基板的背面主面設(shè)置的接地電 極、和將所述電介質(zhì)基板的側(cè)面與所述背面主面的邊界附近作為短接端并
從所述電介質(zhì)基板的所述側(cè)面到表面主面延伸設(shè)置的諧振線(xiàn)路來(lái)構(gòu)成多 個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器，還包括與這些多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的任意一個(gè)耦合的輸入 輸出端子，所述多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的任意一個(gè)在所述表面主面和所述側(cè)面 上所述諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度不同。
這樣，通過(guò)構(gòu)成將側(cè)面諧振線(xiàn)路與接地電極的連接點(diǎn)附近作為短接端 的諧振線(xiàn)路，并且使側(cè)面諧振線(xiàn)路與主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度不同，從而 能構(gòu)成調(diào)整了帶狀線(xiàn)諧振器的諧振特性、即該帶狀線(xiàn)諧振器的諧振頻率的 濾波元件。
而且，通過(guò)使側(cè)面諧振線(xiàn)路所鄰接的兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的至少一方的 側(cè)面諧振線(xiàn)路與主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度不同，從而能調(diào)整兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧 振器之間的耦合度。
另外，本申請(qǐng)技術(shù)方案2的發(fā)明所涉及的濾波元件中，所述多個(gè)帶狀 線(xiàn)諧振器中的與所述輸入輸出端子耦合的帶狀線(xiàn)諧振器、和與該帶狀線(xiàn)諧 振器鄰接的帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行梳狀線(xiàn)耦合，其他的帶狀線(xiàn)諧振器與鄰接的 帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行交叉指型耦合。
根據(jù)該構(gòu)成，不僅獲得基于交叉指型耦合的強(qiáng)耦合來(lái)實(shí)現(xiàn)寬帶特性， 并且利用梳狀線(xiàn)耦合特有的高頻側(cè)衰減極，能獲得所希望的濾波特性。
而且，本申請(qǐng)技術(shù)方案3的發(fā)明所涉及的濾波元件中，在所述帶狀線(xiàn) 諧振器的短接端側(cè)，具備使所述梳狀線(xiàn)耦合的兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器彼此導(dǎo)通 的梳狀線(xiàn)耦合用電極。
根據(jù)該構(gòu)成，在兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的電場(chǎng)分布相互反相且中央存在電 壁那樣的諧振模式(odd模式)下，以通過(guò)所述梳狀線(xiàn)耦合用電極而短接 的狀態(tài)諧振。另一方面，在兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的電場(chǎng)分布同相且中央存在 磁壁那樣的諧振模式(even模式)下，以在所述梳狀線(xiàn)耦合用電極部分幵 放的狀態(tài)諧振。因此，odd模式的諧振器長(zhǎng)度短、頻率高，由此，odd模 式與even模式的諧振頻率的差增大，可獲得與交叉指型耦合相當(dāng)?shù)妮^強(qiáng) 的梳狀線(xiàn)耦合。
因此，利用梳狀線(xiàn)耦合也能獲得極寬的寬帶特性。
另外，本申請(qǐng)技術(shù)方案4的發(fā)明所涉及的濾波元件中，所述梳狀線(xiàn)耦 合用電極由設(shè)置在所述電介質(zhì)基板的表面主面的電極構(gòu)成。根據(jù)該構(gòu)成，在設(shè)置使梳狀線(xiàn)耦合的兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的諧振線(xiàn)路間 導(dǎo)通的梳狀線(xiàn)耦合用電極的情況下，能夠通過(guò)電介質(zhì)基板側(cè)面的諧振線(xiàn)路 來(lái)調(diào)整所述帶狀線(xiàn)諧振器彼此的耦合度、和所述帶狀線(xiàn)諧振器各自的諧振 頻率。
而且，本申請(qǐng)技術(shù)方案5的發(fā)明所涉及的濾波元件中，使所述諧振線(xiàn) 路在所述側(cè)面的寬度方向的中心與在所述表面主面的寬度方向的中心偏 離。
根據(jù)該構(gòu)成，能任意設(shè)定鄰接的帶狀線(xiàn)諧振器彼此的耦合度。
并且，本申請(qǐng)技術(shù)方案6的發(fā)明所涉及的濾波元件中，所述側(cè)面中的
所述諧振線(xiàn)路的電極厚度比所述表面主面中的所述諧振線(xiàn)路的電極厚度 厚。
根據(jù)該構(gòu)成，可降低電流集中的帶狀線(xiàn)諧振器的短接側(cè)的導(dǎo)體損耗。 因此，濾波元件的插入損耗小。
另外，本申請(qǐng)技術(shù)方案7的發(fā)明所涉及的濾波元件中，所述表面主面 的所述諧振線(xiàn)路由感光性導(dǎo)電體膏形成，所述側(cè)面的所述諧振線(xiàn)路、所述 接地電極、和所述輸入輸出端子由非感光性導(dǎo)電體膏形成。
通過(guò)由感光性導(dǎo)電體膏形成表面主面?zhèn)?，能通過(guò)光刻法使表面主面的 電路圖案(諧振線(xiàn)路)成為微細(xì)圖案。而且，能以簡(jiǎn)單的工序制造所述側(cè) 面的所述諧振線(xiàn)路、所述接地電極、和所述輸入輸出端子。
此外，本申請(qǐng)技術(shù)方案8的發(fā)明所涉及的濾波元件中，所述諧振線(xiàn)路 在所述側(cè)面的線(xiàn)路寬度是在所述表面主面的線(xiàn)路寬度的0.5倍以上且小于 l倍、或超過(guò)1倍且在U倍以下。
在上述范圍內(nèi)，本申請(qǐng)發(fā)明表現(xiàn)出可靠的效果，通過(guò)基于電介質(zhì)基板 側(cè)面的線(xiàn)路寬度調(diào)整的諧振頻率的調(diào)整，能有效地進(jìn)行濾波特性的調(diào)整。
另外，本申請(qǐng)技術(shù)方案9的發(fā)明所涉及的濾波元件中，在所述電介質(zhì) 基板的表面主面?zhèn)葘盈B絕緣層，在所述絕緣層的側(cè)面具備從所述諧振線(xiàn)路 的所述側(cè)面延長(zhǎng)的絕緣層側(cè)面電極。
由于通過(guò)層疊絕緣層來(lái)防止側(cè)面圖案與主面圖案的不需要連接的部 分短路，因此，制造該濾波元件時(shí)在絕緣層和電介質(zhì)基板的側(cè)面同樣地形 成側(cè)面電極就能構(gòu)成諧振線(xiàn)路。因此，制造工序簡(jiǎn)化。
此外，本申請(qǐng)技術(shù)方案10的發(fā)明所涉及的濾波元件的制造方法中， 包括對(duì)表面主面形成有主面諧振線(xiàn)路且背面主面形成有接地電極的平板 狀電介質(zhì)母基板進(jìn)行分割，形成多個(gè)濾波元件素體的分割步驟；和在通過(guò) 所述分割步驟形成的所述濾波元件素體的側(cè)面，從所述主面諧振線(xiàn)路到所 述接地電極，以與所述主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度不同的線(xiàn)路寬度印刷導(dǎo)電 體膏，并進(jìn)行干燥、燒成，形成側(cè)面諧振線(xiàn)路，由所述主面諧振線(xiàn)路和所 述側(cè)面諧振線(xiàn)路，構(gòu)成將所述濾波元件素體的側(cè)面與所述背面主面的邊界 附近作為短接端的諧振線(xiàn)路的諧振線(xiàn)路形成步驟。
根據(jù)該制造方法，在向表面主面形成電路圖案之后，可根據(jù)向側(cè)面形 成的側(cè)面電極的線(xiàn)路寬度來(lái)調(diào)整帶狀線(xiàn)諧振器的諧振特性。
另外，本申請(qǐng)技術(shù)方案11的發(fā)明所涉及的濾波元件的制造方法中， 所述諧振線(xiàn)路形成步驟是如下所述的步驟對(duì)從通過(guò)所述分割步驟形成的 多個(gè)濾波元件素體中抽出的濾波元件素體形成所述側(cè)面諧振線(xiàn)路，使所述 側(cè)面諧振線(xiàn)路的形狀最佳化，然后，對(duì)所述多個(gè)濾波元件素體的全部以所 述最佳化的形狀形成所述側(cè)面諧振線(xiàn)路。
根據(jù)該制造方法，可提高滿(mǎn)足所希望的諧振特性的濾波元件的量產(chǎn)性。
(發(fā)明效果)
根據(jù)本發(fā)明，可根據(jù)電介質(zhì)基板側(cè)面的諧振線(xiàn)路來(lái)調(diào)整帶狀線(xiàn)諧振器 的諧振特性，能夠提供實(shí)現(xiàn)了所希望的諧振特性的濾波元件。另外，根據(jù) 本發(fā)明的濾波元件的制造方法，即使在電介質(zhì)基板主面形成了電路圖案與 絕緣層等之后，也能調(diào)整帶狀線(xiàn)諧振器的特性，從而可飛越性極大提高量 產(chǎn)性。


圖1是表示第一實(shí)施方式的濾波元件的構(gòu)成的立體圖。
圖2是第一實(shí)施方式的濾波元件的分解立體圖。
圖3是第一實(shí)施方式的電介質(zhì)基板的立體圖。
圖4是說(shuō)明第一實(shí)施方式的濾波元件的制造工序的圖。
圖5是說(shuō)明另一個(gè)實(shí)施方式的濾波元件的構(gòu)成的圖。
圖中l(wèi)一電介質(zhì)基板；2 —玻璃層；4、 5 —側(cè)面電極；12 —主面諧振
線(xiàn)路;13—接地電極；14A 14F、 15B、 15C、 15D—側(cè)面諧振線(xiàn)路;15A、 15E—側(cè)面端子電極；16 —梳狀線(xiàn)耦合用電極；17 —端子電極；31、 32 — 突出電極；34、 35 —絕緣層側(cè)面電極；100、 200、 300 —濾波元件。
具體實(shí)施例方式
參照各圖，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的濾波元件進(jìn)行說(shuō)明。這里，在 說(shuō)明中采用了圖中所示的正交坐標(biāo)系(X—Y—Z軸)。
首先，對(duì)本實(shí)施方式的濾波元件100的概略構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本 實(shí)施方式的濾波元件100的外觀圖。圖1 (A)是將濾波元件100的正面 (+Y面)朝向左手前方配置的立體圖。而且，圖1 (B)是以Y軸為中心 使濾波元件100從圖1 (A)的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)了 180。后的立體圖。
本實(shí)施方式中用于說(shuō)明而使用的濾波元件100是長(zhǎng)方體狀的濾波元 件，用玻璃層2被覆了矩形平板狀的電介質(zhì)基板1的表面主面?zhèn)?。在電?質(zhì)基板1的表面主面，通過(guò)在電介質(zhì)基板1與玻璃層2的層間設(shè)置帶狀線(xiàn) 諧振器的電路圖案(未圖示)，從而構(gòu)成了濾波器。對(duì)電路圖案的構(gòu)成將 在后面描述。
該濾波元件100中，電介質(zhì)基板1的基板厚度(Z軸尺寸)為500pm， 玻璃層2的厚度(Z軸尺寸)為15 60pm，濾波元件100的外形尺寸中 的X軸尺寸約9.5mm、 Y軸尺寸約2.2mm。該濾波元件100是實(shí)現(xiàn)UWB (Ultra Wide Band)通信中所使用的寬帶濾波特性的小型濾波元件。
電介質(zhì)基板1由氧化鈦等陶瓷的電介質(zhì)構(gòu)成，是相對(duì)介電常數(shù)約為 110的基板。而且，玻璃層2由結(jié)晶性Si02及硼硅酸玻璃等絕緣體構(gòu)成， 作為層疊了透光性玻璃層和遮光性玻璃層的構(gòu)成(未圖示)。
透光性玻璃層被設(shè)置為與電介質(zhì)基板1接觸，對(duì)電介質(zhì)基板1表現(xiàn)較 強(qiáng)的密接強(qiáng)度，防止電介質(zhì)基板l上的電路圖案的剝離，提高了電路圖案 和濾波元件100的耐環(huán)境性能。這里，通過(guò)調(diào)整透光性玻璃層的組成，來(lái) 實(shí)現(xiàn)與構(gòu)成電介質(zhì)基板1的電介質(zhì)的線(xiàn)性膨脹系數(shù)大致相等的線(xiàn)性膨脹系 數(shù)，以減小電介質(zhì)基板1與玻璃層2之間的熱應(yīng)力。
而且，遮光性玻璃層在上述透光性玻璃層的上層含有無(wú)機(jī)顏料并層疊
有玻璃，不僅能對(duì)濾波元件的表面進(jìn)行印刷，并且可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部的電路圖案 的機(jī)密保持。
另外，當(dāng)然不一定需要對(duì)玻璃層2采用雙層構(gòu)造，也可對(duì)玻璃層2采 用單層構(gòu)造。此時(shí)，對(duì)由遮光性玻璃還是由透光性玻璃來(lái)構(gòu)成單層構(gòu)造， 只要根據(jù)上述密接強(qiáng)度、或上述機(jī)密保持性和印刷性、使某一方面優(yōu)先來(lái) 確定即可。
此外，對(duì)于上述的電介質(zhì)基板l、玻璃層2各自的組成和尺寸而言，
只要考慮電介質(zhì)基板與玻璃層的密接度和耐環(huán)境性、濾波特性等適當(dāng)設(shè)定 即可。
在玻璃層2的表面主面上形成有多個(gè)突出電極31A 31F、32A 32E。 該突出電極31A 31F、 32A 32E是印刷后述的側(cè)面電極時(shí)突出到主面上 的電極，根據(jù)印刷條件有時(shí)也會(huì)產(chǎn)生。還有，在濾波元件100的背面主面， 印刷側(cè)面電極時(shí)電極也會(huì)突出。突出到背面主面的電極與接地電極13或 端子電極17A、 17B—體化。
由于在電介質(zhì)基板1的表面主面?zhèn)葘盈B有玻璃層2，因此，可防止在 印刷側(cè)面電極時(shí)表面主面?zhèn)鹊耐怀鲭姌O與主面圖案的不需要連接的部分 短路。而且，使得濾波元件100針對(duì)來(lái)自外部的力學(xué)因素或使用時(shí)的發(fā)熱 因素等的耐環(huán)境性能較高。
在電介質(zhì)基板1的背面主面設(shè)置有接地電極13和端子電極17A、17B。 接地電極13是帶狀線(xiàn)諧振器的接地電極，兼作將濾波元件100安裝到安 裝基板上的接地電極。而且，端子電極17A、 17B用于在向安裝基板安裝 濾波元件100時(shí)與高頻信號(hào)輸入輸出端子連接。接地電極13設(shè)置在電介 質(zhì)基板l的背面主面?zhèn)鹊拇笾抡麄€(gè)面上，端子電極17A、 17B在與左側(cè)面 相接的角附近分別與接地電極13分離配置。接地電極13和端子電極17A、 17B分別是通過(guò)絲網(wǎng)印刷等對(duì)導(dǎo)電體膏進(jìn)行印刷燒成而形成的厚度(Z軸 方向)約15um的電極。
在濾波元件100的右側(cè)面和左側(cè)面分別設(shè)置有側(cè)面電極4A 4F和側(cè) 面電極5A 5E。側(cè)面電極4A 4F和側(cè)面電極5A 5E由側(cè)面諧振線(xiàn)路和 絕緣層側(cè)面電極構(gòu)成。側(cè)面電極4A 4F和側(cè)面電極5A 5E分別是從電 介質(zhì)基板1的背面主面到玻璃層2的表面主面沿Z軸方向延伸的長(zhǎng)方形狀
電極，是通過(guò)絲網(wǎng)印刷等對(duì)導(dǎo)電體膏進(jìn)行印刷燒成而形成的厚度(x軸尺 寸)約15 u m的銀電極，使其線(xiàn)路寬度與設(shè)置在電介質(zhì)基板1和玻璃層2 的層間的電路圖案(未圖示)的線(xiàn)路寬度不同。關(guān)于側(cè)面電極4A 4F和 側(cè)面電極5A 5E的線(xiàn)路寬度將在后面描述。
側(cè)面電極4A 4F分別與電介質(zhì)基板1及玻璃層2的層間設(shè)置的電路 圖案(未圖示)、突出的電極31A 31F、接地電極13導(dǎo)通。而且，側(cè)面 電極5B 5D分別與電介質(zhì)基板1和玻璃層2的層間設(shè)置的電路圖案(未 圖示)、突出電極32B 32D、接地電極13導(dǎo)通。并且，側(cè)面電極5A、 5E分別與電介質(zhì)基板1和玻璃層2的層間設(shè)置的電路圖案(未圖示)、 突出電極32A、 32E、端子電極17A、 17B導(dǎo)通。
接著，對(duì)濾波元件100的內(nèi)部構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。圖2是濾波元件100的 分解立體圖，表示了將電介質(zhì)基板l與玻璃層分離的狀態(tài)。
在電介質(zhì)基板1的右側(cè)面設(shè)置有側(cè)面諧振電路14A 14F。而且，在 左側(cè)面設(shè)置有側(cè)面端子電極15A、 15E和側(cè)面諧振線(xiàn)路15B 15D。
并且，在電介質(zhì)基板1的表面主面?zhèn)刃纬捎兄髅嬷C振線(xiàn)路12A 12I 和梳狀線(xiàn)耦合用電極16A、 16B。主面諧振線(xiàn)路12A 12I和梳狀線(xiàn)耦合用 電極16A、 16B是電極厚度(Z軸尺寸)約6um的銀電極，是通過(guò)感光 性銀膏的光刻法等形成的電極。
使這些主面諧振線(xiàn)路12A 12I及梳狀線(xiàn)耦合用電極16A、 16B的電 極厚度約為6um，相對(duì)于此，使所述側(cè)面電極4A 4F、 5A 5E的電極 厚度約15um，從而使側(cè)面電極4A 4F、 5A 5E的電極厚度更厚。這是 為了通過(guò)將一般產(chǎn)生電流集中的諧振線(xiàn)路的短接端側(cè)的部位電極厚度設(shè) 定得較厚來(lái)使電流分散，從而降低導(dǎo)體損耗。通過(guò)該構(gòu)成，濾波元件100 成為插入損耗小的元件。
主面諧振線(xiàn)路12A和主面諧振線(xiàn)路12B分別是長(zhǎng)方形狀的電極，在 電介質(zhì)基板1的右側(cè)面分別與側(cè)面諧振線(xiàn)路14A、 14B連接。而且，主面 諧振線(xiàn)路12A在表面主面的左側(cè)面?zhèn)扰c側(cè)面端子電極15A連接，通過(guò)側(cè) 面端子電極15A與端子電極17A導(dǎo)通。主面諧振線(xiàn)路12A與側(cè)面諧振線(xiàn) 路14A、及主面諧振線(xiàn)路12B與側(cè)面諧振線(xiàn)路14B分別構(gòu)成諧振線(xiàn)路，各 諧振線(xiàn)路與接地電極13 —起構(gòu)成了帶狀線(xiàn)諧振器。在主面諧振線(xiàn)路12A
與主面諧振線(xiàn)路12B之間，設(shè)置有梳狀線(xiàn)耦合用電極16A，構(gòu)成為連接在
表面主面的右側(cè)面?zhèn)取?br> 因此，分別包含主面諧振線(xiàn)路12A和主面諧振線(xiàn)路12B而構(gòu)成的兩 個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器相互梳狀線(xiàn)耦合。在這兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器之間，產(chǎn)生如在 諧振線(xiàn)路間的中央存在電壁(electrical wall)那樣的odd模式、和在諧振 線(xiàn)路間的中央存在磁壁那樣的even模式，作為諧振模式。在odd模式下， 兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器通過(guò)梳狀線(xiàn)耦合用電極16A短接。另一方面，在even 模式下，兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器在梳狀線(xiàn)耦合用電極16A處開(kāi)放。因此，與 even模式相比，odd模式的諧振器的長(zhǎng)度短、頻率高，由此，odd模式與 even模式的諧振頻率的差增大，可獲得與交叉指型耦合相當(dāng)?shù)妮^強(qiáng)梳狀線(xiàn)
孝禺$ 。
主面諧振線(xiàn)路12H和主面諧振線(xiàn)路121分別是長(zhǎng)方形狀的電極，在電 介質(zhì)基板1的右側(cè)面分別與側(cè)面諧振線(xiàn)路ME、 14F連接。而且，主面諧 振線(xiàn)路12I在表面主面的右側(cè)面?zhèn)扰c側(cè)面端子電極15E連接，并通過(guò)側(cè)面 端子電極15E與端子電極17B導(dǎo)通。主面諧振線(xiàn)路12H與側(cè)面諧振線(xiàn)路 14E、以及主面諧振線(xiàn)路121與側(cè)面諧振線(xiàn)路14F分別構(gòu)成諧振線(xiàn)路，各 諧振線(xiàn)路分別與接地電極13 —起構(gòu)成帶狀線(xiàn)諧振器。在主面諧振線(xiàn)路12H 與主面諧振線(xiàn)路12I之間設(shè)置有梳狀線(xiàn)耦合用電極16B，構(gòu)成為連接表面 主面的右側(cè)面?zhèn)?。因此，與主面諧振線(xiàn)路12A、主面諧振線(xiàn)路12B和梳狀 線(xiàn)耦合用電極16A所構(gòu)成的電極同樣，在包括主面諧振線(xiàn)路12H而構(gòu)成 的梳狀線(xiàn)耦合用電極和包括主面諧振線(xiàn)路121而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器之 間，也能獲得與交叉指型耦合相當(dāng)?shù)妮^強(qiáng)梳狀線(xiàn)耦合。
主面諧振線(xiàn)路12C 12G分別是長(zhǎng)方形狀的銀電極。主面諧振線(xiàn)路 12C、 12E、 12G在電介質(zhì)基板1的左側(cè)面與側(cè)面諧振線(xiàn)路15B、 15C、 15D 連接，在右側(cè)面?zhèn)乳_(kāi)放。另一方面，主面諧振線(xiàn)路12D、 12F在電介質(zhì)基 板1的右側(cè)面與側(cè)面諧振線(xiàn)路14C、 14D連接，在左側(cè)面?zhèn)乳_(kāi)放。主面諧 振線(xiàn)路12C 12G分別與側(cè)面諧振線(xiàn)路15B、 14C、 15C、 14D、 15D—起 構(gòu)成諧振線(xiàn)路，并與接地電極13 —起構(gòu)成帶狀線(xiàn)諧振器。這里，按照各 帶狀線(xiàn)諧振器的開(kāi)放端的朝向和短接端的朝向相互不同的方式配置了各 帶狀線(xiàn)諧振器。因此，這些帶狀線(xiàn)諧振器彼此進(jìn)行交叉指型耦合。
為了實(shí)現(xiàn)所需要的頻率特性，調(diào)整了構(gòu)成主面諧振線(xiàn)路12A 12I的
諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度(Y軸尺寸)和配置間隔。這里，使主面諧振線(xiàn)路12A 121的線(xiàn)路寬度相互相等，配置間隔也一定。此外，本發(fā)明當(dāng)然并不限定 于上述構(gòu)成(線(xiàn)路寬度和配置間隔)。
通過(guò)形成這樣的主面諧振線(xiàn)路12A 12I，包括主面諧振線(xiàn)路12A而 構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器相對(duì)于端子電極17A進(jìn)行分支(tap)耦合。分別包 括主面諧振線(xiàn)路12A和主面諧振線(xiàn)路12B而構(gòu)成的兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器相 互梳狀線(xiàn)耦合，包括主面諧振線(xiàn)路12B而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器與包括主面 諧振線(xiàn)路12C而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行交叉指型耦合。包括主面諧振線(xiàn) 路12C而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器與包括主面諧振線(xiàn)路12D而構(gòu)成的帶狀線(xiàn) 諧振器進(jìn)行交叉指型耦合。包括主面諧振線(xiàn)路12D而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器 與包括主面諧振線(xiàn)路12E而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行交叉指型耦合。包括 主面諧振線(xiàn)路12E而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器與包括主面諧振線(xiàn)路12F而構(gòu)成 的帶狀線(xiàn)諧振器迸行交叉指型耦合。包括主面諧振線(xiàn)路12F而構(gòu)成的帶狀 線(xiàn)諧振器與包括主面諧振線(xiàn)路12G而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行交叉指型 耦合。包括主面諧振線(xiàn)路12G而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器與包括主面諧振線(xiàn)路 12H而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行交叉指型耦合。分別包括主面諧振線(xiàn)路 12H和主面諧振線(xiàn)路12I而構(gòu)成的兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器相互梳狀線(xiàn)耦合。包 括主面諧振線(xiàn)路12I而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器相對(duì)于端子電極17B進(jìn)行分支耦合。
因此，該芯片濾波元件構(gòu)成了具備9級(jí)諧振器的帶通濾波器。不僅獲 得基于交叉指型耦合的強(qiáng)耦合來(lái)實(shí)現(xiàn)寬帶特性，并且利用梳狀線(xiàn)耦合特有 的高頻側(cè)衰減極，獲得了所希望的濾波特性。
而且，玻璃層2是通過(guò)玻璃膏的絲網(wǎng)印刷等形成并通過(guò)燒成而形成的 玻璃層。在其右側(cè)面設(shè)置有構(gòu)成側(cè)面電極4A 4F的絕緣層側(cè)面電極 34A 34F。而且，在左側(cè)面設(shè)置有構(gòu)成側(cè)面電極5A 5E的多個(gè)絕緣層側(cè) 面電極35A 35E。并且，在表面主面形成了突出電極31A 31F、 32A 32E。
這樣，將電介質(zhì)基板1與玻璃層2層疊，由于按照覆蓋主面諧振線(xiàn)路 12A 12I的方式形成了玻璃層2，因此，濾波元件100針對(duì)濕氣、溫度、
力學(xué)損傷等的耐環(huán)境性能提高。
接著，基于圖3，對(duì)側(cè)面諧振線(xiàn)路14A 14F的配置間隔和線(xiàn)路寬度 的構(gòu)成例進(jìn)行說(shuō)明。
側(cè)面諧振線(xiàn)路14A配置在與主面諧振線(xiàn)路12A連續(xù)的位置，其線(xiàn)路 寬度比主面諧振線(xiàn)路12A的線(xiàn)路寬度窄。側(cè)面諧振線(xiàn)路14B、 14C、 14E、 14F的線(xiàn)路寬度也比各自連接的主面諧振線(xiàn)路12B、 12D、 12H、 121的線(xiàn) 路寬度窄。此外，在如此使諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度在側(cè)面?zhèn)缺戎髅鎮(zhèn)日那?況下，優(yōu)選側(cè)面的線(xiàn)路寬度比所述表面主面的線(xiàn)路寬度小且比其0.5倍大， 通過(guò)在該范圍內(nèi)設(shè)定電介質(zhì)基板側(cè)面的線(xiàn)路寬度而引起的諧振頻率的變 動(dòng)顯著。
這樣，通過(guò)使側(cè)面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度比主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度 小，即使在諧振線(xiàn)路的主面?zhèn)鹊木€(xiàn)路寬度與側(cè)面?zhèn)鹊木€(xiàn)路寬度相同的情況 下，也能降低帶狀線(xiàn)諧振器的諧振頻率。
另外，側(cè)面諧振線(xiàn)路14D配置在與主面諧振線(xiàn)路12F連續(xù)的位置，其 線(xiàn)路寬度比主面諧振線(xiàn)路12F的線(xiàn)路寬度寬p這樣，當(dāng)使諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路 寬度在側(cè)面?zhèn)缺戎髅鎮(zhèn)葘挄r(shí)，優(yōu)選在側(cè)面的線(xiàn)路寬度比所述表面主面的線(xiàn) 路寬度大且比其1.1倍小，通過(guò)在該范圍內(nèi)設(shè)定電介質(zhì)基板側(cè)面的線(xiàn)路寬 度，能有效地進(jìn)行作為調(diào)整諧振頻率的濾波特性的調(diào)整。
這樣，通過(guò)使側(cè)面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度比主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度稍 大，即使在諧振線(xiàn)路的主面?zhèn)鹊木€(xiàn)路寬度與側(cè)面?zhèn)鹊木€(xiàn)路寬度相同的情況 下，也能提高帶狀線(xiàn)諧振器的諧振頻率。
而且，梳狀線(xiàn)耦合的強(qiáng)度會(huì)根據(jù)側(cè)面諧振線(xiàn)路14A、 14B的間隔變動(dòng)。 若側(cè)面諧振線(xiàn)路彼此的間隔變窄，則能增強(qiáng)包括這些諧振線(xiàn)路而構(gòu)成的帶 狀線(xiàn)諧振器之間的耦合，若側(cè)面諧振線(xiàn)路彼此的間隔變寬，則能削弱包括 這些諧振線(xiàn)路而構(gòu)成的帶狀線(xiàn)諧振器之間的耦合。
該構(gòu)成例中，由于分別使側(cè)面諧振線(xiàn)路14A、 14B的線(xiàn)路寬度窄，因 此，側(cè)面諧振線(xiàn)路彼此的間隔當(dāng)然寬。從而，梳狀線(xiàn)耦合作用在變?nèi)醯姆?向上。但是，由梳狀線(xiàn)耦合用電極產(chǎn)生的增強(qiáng)梳狀線(xiàn)耦合的方向的作用大， 這里，獲得了較強(qiáng)的梳狀線(xiàn)耦合。
而且，通過(guò)使側(cè)面諧振線(xiàn)路的寬度方向的中心與主面諧振線(xiàn)路的寬度方向的中心偏離，也能設(shè)定梳狀線(xiàn)耦合。圖示的側(cè)面諧振線(xiàn)路14B和主面
諧振線(xiàn)路12B使各自的寬度方向的中心偏離，偏向與側(cè)面諧振線(xiàn)路14B 鄰接的側(cè)面諧振線(xiàn)路14A側(cè)。這樣增強(qiáng)了梳狀線(xiàn)耦合。
并且，在側(cè)面諧振線(xiàn)路14C、 14D、 15B、 15C、 15D中，也能根據(jù)電 介質(zhì)基板側(cè)面的側(cè)面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度來(lái)調(diào)整各諧振器的諧振頻率。
根據(jù)上述的側(cè)面諧振線(xiàn)路14A、 14B的配置構(gòu)成，在設(shè)置使梳狀線(xiàn)耦 合的兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的諧振線(xiàn)路之間導(dǎo)通的梳狀線(xiàn)耦合用電極16A的 情況下，基于電介質(zhì)基板側(cè)面的側(cè)面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度及配置間隔，可 進(jìn)行梳狀線(xiàn)耦合的兩個(gè)諧振器之間的耦合度的調(diào)整和各諧振器的諧振頻 率的調(diào)整。這在側(cè)面諧振線(xiàn)路14E、 14F的配置構(gòu)成中也同樣。
這樣，通過(guò)構(gòu)成將側(cè)面諧振線(xiàn)路與接地電極的連接點(diǎn)附近作為短接端 的諧振線(xiàn)路，并使側(cè)面諧振線(xiàn)路與主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度不同，從而能 構(gòu)成調(diào)整了帶狀線(xiàn)諧振器的諧振特性、即諧振頻率和與鄰接的帶狀線(xiàn)諧振 器的耦合度的濾波元件。
此外，與主面電極的線(xiàn)路寬度相比，側(cè)面電極的線(xiàn)路寬度對(duì)諧振頻率 的變化產(chǎn)生的影響小。因此，通過(guò)調(diào)整該側(cè)面電極的線(xiàn)路寬度，能精確地 調(diào)整濾波元件的諧振頻率。
接著，對(duì)濾波元件100的制造工序進(jìn)行說(shuō)明。
在圖4所示的濾波元件100的制造工序中，
(51) 首先，準(zhǔn)備在任意一面均未形成電極的電介質(zhì)母基板。
(52) 接著，針對(duì)電介質(zhì)母基板，向背面主面?zhèn)冉z網(wǎng)印刷導(dǎo)電體膏， 并經(jīng)過(guò)燒成，形成接地電極和端子電極。
(53) 然后，在電介質(zhì)母基板的表面主面?zhèn)?，通過(guò)進(jìn)行利用了光刻法 的印刷、曝光和顯影，形成感光性導(dǎo)電體膏的圖案，并通過(guò)燒成來(lái)形成表 面主面的各種電極(電路圖案)。
(54) 接著，向電介質(zhì)母基板的表面主面?zhèn)扔∷⒉ＡЦ啵?jīng)過(guò)燒成后 形成玻璃層。
(55) 然后，通過(guò)切割等從上述那樣構(gòu)成的電介質(zhì)母基板切出多個(gè)濾 波元件。切出后對(duì)一部分濾波元件素體的上面圖案進(jìn)行電氣特性的預(yù)備測(cè)量.
(56) 接著，從切出的多個(gè)濾波元件素體中抽出一個(gè)或少數(shù)的濾波元 件，進(jìn)行側(cè)面電極的嘗試形成，選擇具有可獲得所希望的諧振特性而最佳 化后的側(cè)面電極的線(xiàn)路寬度和配置間隔的側(cè)面電極圖案。
(57) 通過(guò)對(duì)抽出的濾波元件素體嘗試形成側(cè)面電極，選擇具有可獲 得所希望的諧振特性的線(xiàn)路寬度和配置間隔的最佳化后的側(cè)面圖案，然 后，對(duì)出自同一基板的多個(gè)濾波元件素體，以最佳化后的側(cè)面圖案向側(cè)面 印刷導(dǎo)電體膏，經(jīng)過(guò)燒成后形成側(cè)面電極。
通過(guò)以上的制造方法，在向表面主面形成了電路圖案之后，可通過(guò)向 側(cè)面形成側(cè)面諧振線(xiàn)路來(lái)調(diào)整帶狀線(xiàn)諧振器的諧振特性，從而能可靠地獲 得所希望的諧振特性。
此外，在側(cè)面電極的線(xiàn)路寬度比主面電極的線(xiàn)路寬度大的情況下，若 在印刷側(cè)面電極時(shí)印刷位置偏移，則側(cè)面電極與主面電極的連接部分的寬 度容易變化。由于諧振頻率有可能因該寬度的變化而變化，因此，優(yōu)選側(cè) 面電極的線(xiàn)路寬度比主面電極的線(xiàn)路寬度小。這樣，若側(cè)面電極的線(xiàn)路寬
度比主面電極的線(xiàn)路寬度小，則諧振線(xiàn)路成為階躍阻抗(step impedance) 構(gòu)造，即使縮短主面電極的線(xiàn)路長(zhǎng)度也容易獲得諧振頻率，因此有助于濾 波器的小型化。而且，若側(cè)面電極的線(xiàn)路寬度比主面電極的線(xiàn)路寬度小， 則鄰接的側(cè)面電極間的間隔調(diào)整的自由度增加，因此還有助于它們耦合度 調(diào)整的容易化。
接著，基于圖5 (A)，對(duì)本發(fā)明第二實(shí)施方式的濾波元件進(jìn)行說(shuō)明。 本實(shí)施方式的濾波元件200與第一實(shí)施方式所示的濾波元件100相 比，電介質(zhì)基板l的側(cè)面所設(shè)置的側(cè)面諧振線(xiàn)路的形狀不同。具體而言， 使梳狀線(xiàn)耦合的兩個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的側(cè)面諧振線(xiàn)路間為公共的寬幅結(jié)構(gòu)。 通過(guò)這種構(gòu)成，與第一實(shí)施方式的濾波元件100相比，能進(jìn)一步增強(qiáng)梳狀 線(xiàn)耦合。該情況下，通過(guò)調(diào)整所述公共的側(cè)面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度和偏心 量，也能在一定程度上調(diào)整諧振頻率和耦合度。
接著，基于圖5 (B)，對(duì)本發(fā)明第三實(shí)施方式的濾波元件進(jìn)行說(shuō)明。 本實(shí)施方式的濾波元件300構(gòu)成為在帶狀線(xiàn)諧振器彼此的耦合中不 采用梳狀線(xiàn)耦合，而僅采用交叉指型耦合。在這種濾波器中也能適宜地應(yīng) 用本發(fā)明。
此外，上述的表面主面諧振線(xiàn)路和側(cè)面諧振線(xiàn)路的配置構(gòu)成與產(chǎn)品規(guī) 格相對(duì)應(yīng)，可以是與產(chǎn)品規(guī)格對(duì)應(yīng)的任何形狀。而且，帶狀線(xiàn)諧振器的級(jí) 數(shù)也并不限定于上述級(jí)數(shù)。本發(fā)明也能應(yīng)用上述構(gòu)成之外的構(gòu)成，若構(gòu)成 將帶狀線(xiàn)諧振器的側(cè)面諧振線(xiàn)路與接地電極的連接點(diǎn)附近作為短接端的 諧振線(xiàn)路，則可采用多種電路圖案的形狀。
而且，本發(fā)明可應(yīng)用于由多種構(gòu)成的帶狀線(xiàn)構(gòu)成的電路圖案。
權(quán)利要求
1、一種濾波元件，由平板狀的電介質(zhì)基板、在所述電介質(zhì)基板的背面主面設(shè)置的接地電極、和將所述電介質(zhì)基板的側(cè)面與所述背面主面的邊界附近作為短接端并從所述電介質(zhì)基板的所述側(cè)面到表面主面延伸設(shè)置的諧振線(xiàn)路來(lái)構(gòu)成多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器，還具備與這些多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的任意一個(gè)耦合的輸入輸出端子，對(duì)于所述多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器的任意一個(gè)而言，所述諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度在所述表面主面和所述側(cè)面不同。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波元件，其特征在于，所述多個(gè)帶狀線(xiàn)諧振器中的與所述輸入輸出端子耦合的帶狀線(xiàn)諧振 器、和與該帶狀線(xiàn)諧振器鄰接的帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行梳狀線(xiàn)耦合， 其他的帶狀線(xiàn)諧振器與鄰接的帶狀線(xiàn)諧振器進(jìn)行交叉指型耦合。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾波元件，其特征在于，在所述帶狀線(xiàn)諧振器的短接端側(cè)具備使所述梳狀線(xiàn)耦合的兩個(gè)帶狀 線(xiàn)諧振器彼此導(dǎo)通的梳狀線(xiàn)耦合用電極。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的濾波元件，其特征在于， 所述梳狀線(xiàn)耦合用電極由設(shè)置在所述電介質(zhì)基板的表面主面的電極構(gòu)成。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的濾波元件，其特征在于， 使所述諧振線(xiàn)路在所述側(cè)面的寬度方向的中心與在所述表面主面的寬度方向的中心偏離。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的濾波元件，其特征在于， 在所述側(cè)面的所述諧振線(xiàn)路的電極厚度比在所述表面主面的所述諧振線(xiàn)路的電極厚度厚。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的濾波元件，其特征在于， 所述表面主面的所述諧振線(xiàn)路由感光性導(dǎo)電體膏形成， 所述側(cè)面的所述諧振線(xiàn)路、所述接地電極、和所述輸入輸出端子由非感光性導(dǎo)電體膏形成。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的濾波元件，其特征在于，所述諧振線(xiàn)路在所述側(cè)面的線(xiàn)路寬度是在所述表面主面的線(xiàn)路寬度 的0.5倍以上且小于1倍、或超過(guò)1倍且在U倍以下。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1 8中任意一項(xiàng)所述的濾波元件，其特征在于，在所述電介質(zhì)基板的表面主面?zhèn)葘盈B絕緣層，在所述絕緣層的側(cè)面具 備從所述諧振線(xiàn)路的所述側(cè)面延長(zhǎng)的絕緣層側(cè)面電極。
10、 一種濾波元件的制造方法，包括對(duì)表面主面形成有主面諧振線(xiàn)路且背面主面形成有接地電極的平板狀電介質(zhì)母基板進(jìn)行分割，形成多個(gè)濾波元件素體的分割步驟；和在通過(guò)所述分割步驟形成的所述濾波元件素體的側(cè)面，從所述主面諧 振線(xiàn)路到所述接地電極，以與所述主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度不同的線(xiàn)路寬 度印刷導(dǎo)電體膏，并進(jìn)行干燥、燒成，形成側(cè)面諧振線(xiàn)路，由所述主面諧 振線(xiàn)路和所述側(cè)面諧振線(xiàn)路構(gòu)成將所述濾波元件素體的側(cè)面與所述背面 主面的邊界附近作為短接端的諧振線(xiàn)路的諧振線(xiàn)路形成步驟。
11、 根據(jù)權(quán)利要求io所述的濾波元件的制造方法，其特征在于，所述諧振線(xiàn)路形成步驟是下述的步驟對(duì)從通過(guò)所述分割步驟形成的多個(gè)濾波元件素體中抽出的濾波元件素體形成所述側(cè)面諧振線(xiàn)路，使所述 側(cè)面諧振線(xiàn)路的形狀最佳化，然后，對(duì)所述多個(gè)濾波元件素體的全部以所 述最佳化的形狀形成所述側(cè)面諧振線(xiàn)路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種濾波元件和濾波元件的制造方法，濾波元件(100)包括平板狀的電介質(zhì)基板(1)、在所述電介質(zhì)基板的背面主面設(shè)置的接地電極(13)、和將所述電介質(zhì)基板(1)的側(cè)面與所述接地電極(13)的邊界附近作為短接端并從所述電介質(zhì)基板(1)的側(cè)面到表面主面延伸設(shè)置的諧振線(xiàn)路。并且，由諧振線(xiàn)路和接地電極(13)構(gòu)成帶狀線(xiàn)諧振器。帶狀線(xiàn)諧振器的任意一個(gè)是側(cè)面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度與主面諧振線(xiàn)路的線(xiàn)路寬度不同的形狀。
文檔編號(hào)H01P1/20GK101341627SQ200780000870
公開(kāi)日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2007年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月2日
發(fā)明者北市幸裕, 辻口達(dá)也 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所