專利名稱：基板交換裝置和基板處理裝置以及基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將基板交接到處理裝置等的基板交換裝置、具備基 板交換裝置并對基板實施預(yù)定的處理的基板處理裝置、具備基板交換裝 置并實施基板的檢査的基板檢査裝置。
本申請對2006年2月1日提交的日本專利申請2006—025095號主 張優(yōu)先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有的交換裝置，例如已知有具備兩個搬送臂，并將兩張以上 的掩模依次提供給曝光機的裝置(例如，參照專利文獻1)。第一搬送臂 吸附保持第一張掩模，將其搬入曝光機并載置于預(yù)定位置上。第一張掩 模的使用結(jié)束后，第一搬送臂搬送掩模并將其收納在原處。在此期間， 第二搬送臂將第二張掩模搬入曝光機并載置于預(yù)定位置上。這樣，第一 搬送臂和第二搬送臂交替地將掩模搬入搬出曝光機。
另一方面，作為對位于處理裝置中的處理后的基板和未處理的基板 進行交換的裝置，有具備緩沖臺(buffer stage)的裝置(例如，參照專利 文獻2)。該裝置連續(xù)地進行半導(dǎo)體等基板的對位，在該裝置中，在處理 兩張基板時，在從機械手臂搬入第一張基板后進行定位，之后，使第一 張基板上升并待機。接下來從機械手臂搬入的第二張基板在被定位后， 在第一張基板的下側(cè)待機。在搬出基板時，依次搬出第一張基板、第二 張基板?；蛘?，使用配置有兩級手部的機器手來將兩張基板同時搬出。 專利文獻l:日本特開昭62 — 195143號公報 專利文獻2:美國專利申請公開第2003/053904號說明書 但是，在專利文獻1公開的結(jié)構(gòu)中，由于具有兩個可動部，所以裝 置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要大的設(shè)置空間。此外，在專利文獻2公開的結(jié)構(gòu)中，
在緩沖臺將第一張基板定位后使該基板上升并待機時，為避免緩沖臺與 爪部的干涉，緩沖臺的交接臂部進行開閉，為此設(shè)置開閉驅(qū)動部等。這 樣，由于在現(xiàn)有的裝置結(jié)構(gòu)中，為實現(xiàn)緩沖功能而具有多個驅(qū)動部，所 以裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這種情況而完成，其主要目的是不需要大的空間，用簡 單的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)緩沖功能。
為了解決上述課題，本發(fā)明的基板交換裝置將從第一搬送部接收的 第一基板交付至第二搬送部，并將從上述第二搬送部接收的第二基板交 付至上述第一搬送部，其中，該基板交換裝置具備上述第二搬送部， 其能夠在與上述第一基板和上述第二基板的層疊方向正交的方向上進 退；支撐部件，其能夠在上述基板的層疊方向上相對于上述第二搬送部 進行相對移動；第一保持部，其設(shè)置于上述支撐部件上，能夠保持上述 第一基板或上述第二基板中的一方；第二保持部，其在上述支撐部件中 從上述第一保持部離開預(yù)定距離而設(shè)置在上述基板的層疊方向上，能夠 保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，在將上述第一保持部和 上述第二保持部中的一方用于從上述第一搬送部接收上述第一基板時， 使上述支撐部件和上述第二搬送部進行相對移動，以將上述第一保持部 和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第 二基板。
該基板交換裝置在向搬送一張基板的搬送部交付基板時和從搬送部 接收基板時使用不同的保持部。例如，在向搬送部交付保持于第一保持 部上的基板時，在搬送部保持其它基板或處理后的基板而返回時，用第 二保持部接收該基板。而且，將在此期間用其它構(gòu)件搬入第一保持部的 基板交付至變?yōu)榭臻e的搬送部。通過搬送部的配置，也能夠進行使第一 保持部和第二保持部的功能顛倒的運用。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，在交換由搬送部搬送的基板時，用不同的保持部來作
為向搬送部交付基板的保持部和從搬送部接收基板的保持部，所以能夠 有效地交換由搬送部搬送的基板。因此，與具有兩個搬送一個基板的搬 送部的情況相比，能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)。此外，由于不需要確保分別使兩 個搬送部移動的空間和機構(gòu)，所以能夠使裝置小型化。


圖1是表示本發(fā)明實施方式的基板交換裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖2A是沿圖1的箭頭A方向的視圖。 圖2B是圖1的第一載置部附近的放大圖。 圖3是說明向基板交換裝置搬入基板的過程的圖。 圖4是表示從第一載置部向載置臺交付基板的狀態(tài)的圖。 圖5是在未處理的基板在第一載置部待機狀態(tài)下，處理后的基板返 回到基板交換部的圖。
圖6是使升降臺上升并由第二載置部從載置臺接收基板的圖。 圖7是表示基板交換裝置的另一方式的局部放大俯視圖。 圖8是沿圖7的箭頭B方向的視圖。 圖9是基板檢查裝置的側(cè)視圖。 符號說明
1、 101:基板交換裝置；4:移動臺(搬送部、第一搬送部、第二搬 送部)；5:預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)(對準(zhǔn)器)；7:載置臺(搬送部、第一搬送部.、 旋轉(zhuǎn)臺)；12:升降機構(gòu)(移動機構(gòu))；21、 22、 23、 24:支撐部件；31、 32、 33、 34:第一載置部(第一保持部)；41、 42:對準(zhǔn)基準(zhǔn)；51、 52、 53、 54:第二載置部(第二保持部)；60:對準(zhǔn)機構(gòu)(對準(zhǔn)器)；70:處 理裝置；80:機械手臂(第二搬送部、第一搬送部)；111: 二軸臺(移 動機構(gòu))；W:基板；Z:層疊方向。
具體實施例方式
下面，參照附圖來對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行說明。但是，本發(fā) 明并不限于以下各實施例，例如也可以將這些實施方式的構(gòu)成要素之間 適當(dāng)組合。
(第一實施方式)
參照附圖來對本發(fā)明第一實施方式的基板交換裝置詳細進行說明。
如圖1所示，基板交換裝置1具有細長的基座2。在基座2上，與 基座2的長度方向(X方向)平行地鋪設(shè)有一對導(dǎo)軌3。在該導(dǎo)軌3上， 設(shè)有移動臺4來作為搬送部。移動臺4通過未圖示的移動機構(gòu)，能夠在 導(dǎo)軌3上從基座2的一端部2A到另一端部2B之間移動。在基座2的一 端部2A側(cè)，設(shè)置有預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)5來作為對準(zhǔn)器。預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)5在距離載 置臺7的Y方向(與導(dǎo)軌3正交的方向)的中心相等的位置各配置一個, 在光學(xué)上檢測基板的位置。在移動臺4 (第一或第二搬送部)上立設(shè)有圓 柱形的臺基6，載置臺7設(shè)置在臺基6的上端部，以能夠載置基板。載置 臺7的直徑比臺基6的直徑大。再有，在載置臺7的上表面，配設(shè)有多 個吸附保持基板的吸附部(未圖示)。該吸附部能夠采用下述類型等所謂 的整面吸附臺載置臺7的圓形的外周緣高出一段，在圓的內(nèi)側(cè)配置與 外周緣相同高度的多個銷，抽吸由基板、外周緣及配置有銷的下表面形 成的空間中的空氣來進行吸附的類型；和在載置臺7上配置同心圓狀或 放射狀的槽部且吸收該空間的類型。此外，在臺基6的內(nèi)側(cè)，配置有用 于進行載置臺7的抽吸用的管道等。
在基座2的一端部2A側(cè)配置有基板交換部10。如圖2所示，基板 交換部10在基座2的側(cè)方具有經(jīng)由支架11而安裝的升降機構(gòu)12 (移動 機構(gòu))。升降機構(gòu)12由滾珠絲杠、直線引導(dǎo)部、電動機構(gòu)成。此外，也 能夠采用直線電動機。升降機構(gòu)12使桿13 (參照圖2)鉛直向上(Z方 向)地進退，在桿13的前端固定有升降臺14的端部。升降臺14配置為 比移動臺4靠上方且比載置臺7靠下方。
如圖1所示，在升降臺14上，設(shè)有可容納移動臺4的臺基6的切口 15。在升降臺14上，在夾著切口 15而對置的升降臺14的兩邊附近，各 立設(shè)有兩個支撐部件21、 22、 23、 24。各支撐部件21 24配置在與基板 的外周面相當(dāng)?shù)募傧雸ACL的圓周上。
各支撐部件21 24的上端面構(gòu)成從下側(cè)支撐基板的外緣部的第一
載置部31、 32、 33、 34 (第一保持部)。第一載置部31 34由朝向假定 圓CL的中心以預(yù)定角度傾斜的載置面構(gòu)成。再有，在第一載置部31、 32上分別設(shè)有對心基準(zhǔn)41、 42來作為對準(zhǔn)器，該對心基準(zhǔn)41、 42由階 梯差構(gòu)成，所述階梯差形成為在垂直方向上比與基板的外形即假想圓CL 的圓弧對應(yīng)形成的第一載置部31 34的載置面進一步立起的角度。即， 對心基準(zhǔn)41、 42與準(zhǔn)確配置基板時的外側(cè)面的位置對應(yīng)地形成。此外， 如圖2A及圖2B所示，對心基準(zhǔn)41、 42相對于Z軸傾斜，且在升降方 向上將與基板W的外周面的接觸面積限制為最小限度。對心基準(zhǔn)41、 42 的傾斜方向是在使基板從第一載置部31、 32上升時隨著基板的上升而與 基板的外周面離開的方向。
再有，在各支撐部件21 24中，在Z方向上，在比第一載置部31 34靠下方預(yù)定長度的位置，設(shè)有第二載置部51、 52、 53、 54 (第二保持 部)。各第二載置部51 54是通過將支撐部件21 24切口而形成的載置 面，從下方支撐基板W的外緣部。第二載置部51 54與第一載置部31 34同樣，朝向假想圓CL的中心以預(yù)定角度傾斜。
如圖1所示，在支撐部件23和支撐部件24之間，配設(shè)有對心裝置 60來作為對準(zhǔn)器。對心裝置60保持在與第一載置部33、 34大體相等的 高度，具有如假想線PL所示那樣使桿朝向?qū)π幕鶞?zhǔn)41、 42進退的推動 器61、和設(shè)置在推動器61的前端部的按壓部件62。按壓部件62由比 基板W軟的材料制造。此外，推動器61的按壓力設(shè)定為不會損傷基板 W。
再有，基座2的另一端部2B側(cè)構(gòu)成處理裝置70的一部分。此外， XY方向是使基板W平行移動的方向。作為上下方向的Z方向是基板W 的面方向，即，使基板W層疊時的方向(層疊方向)。
其次，對該實施方式的作用進行說明。再有，下面，以依次向處理 裝置70提供兩張基板W的情況為例來進行說明。為了區(qū)別兩張基板W, 將第一張設(shè)為基板W1，將第二張設(shè)為基板W2。
如圖3所示，在初始狀態(tài)下，移動臺4在一端部2A側(cè)待機。移動臺 4的臺基6進入升降臺14的切口 15。此外，升降機構(gòu)12以載置臺7配
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置在第一載置部31 34的下方且配置為比第二載置部51 54靠上方的 方式使升降臺14待機。由于各支撐部件21 24配置為比載置臺7的外 周靠外側(cè)，所以與Z方向的位置無關(guān)，支撐部件21 24 (各載置部31 34、 51 54)和載置臺7不會干涉。
基板W1、 W2在收納于基板箱(未圖示)中的狀態(tài)下從其它工序被 搬送來。機械手臂80 (第二或第一搬送部)用位于其前端的搬送臂81從 基板箱取出第一張基板Wl ，并將其從基座2的一端部2A側(cè)搬入基板交 換裝置1中。此時，由配設(shè)在基座2上的預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)5檢測基板Wl的 邊緣。檢測結(jié)果被輸入到機械手臂80的控制部，來校正搬送臂81的位 置，以使得Y方向的基板W1的中心與載置臺7的中心一致。該預(yù)對準(zhǔn) 機構(gòu)5具備反射型或透射型的檢測光量變化的傳感器，根據(jù)在使載置于 搬送臂81上的基板W在X方向上以一定速度移動時直到左右兩個傳感 器的光量變化為止的時間及時間差，來檢測基板W的中心位置從搬送臂 81的基準(zhǔn)位置的偏移量。此外，在本實施方式中，雖然預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)5配 置在基板交換裝置1上，但也可以配置在基板箱的載置臺側(cè)，在從基板 箱搬出基板W吋檢測從基準(zhǔn)位置的偏移量。
機械手臂80 —邊進行基板Wl的位置校正一邊將基板Wl插入第一 載置部31 34上方，之后解除搬送臂81的吸附。這里，在因預(yù)校準(zhǔn)的 精度而碰到第一載置部31、 32或者因干涉等而產(chǎn)生不良狀況的情況下， 機械手臂80將該位置向Y方向的正側(cè)(比基準(zhǔn)位置更靠對心裝置60側(cè)) 進行校正。基板交換裝置1的未圖示的控制裝置使升降臺14上升。在第 一載置部31 34的位置比第一張基板Wl的高度高時，第一載置部31 34從下方支撐基板Wl的外緣部并將其抬起。由于搬送臂81的高度沒有 變化，所以由搬送臂81支撐的基板W1被移置(接收)到四個第一載置 部31 34上(參照圖2)。由于第一載置部31 34分別傾斜，所以基板 Wl在中央附近被支撐。使送出基板Wl后的沒有保持基板的機械手臂 80后退，以從基板交換裝置l退避。接著，使對心裝置60工作，用按壓 部件62按壓基板Wl的外周面，將相反側(cè)的外周面按壓在對心基準(zhǔn)41、 42上。由此，基板Wl的位置被機械地對準(zhǔn)。其結(jié)果是，假想圓CL的
中心和基板Wl的中心及載置臺7的中心準(zhǔn)確地一致。
這里，基準(zhǔn)位置41、 42的部分也可以由在Y方向上滑動的可動式的 部件構(gòu)成，在沒有載置基板時，基準(zhǔn)位置的可動式的部件相對于基板的 中心位置配置在外側(cè)，在第一載置部接收基板時，基準(zhǔn)位置的可動式部 件與對心裝置60的移動對應(yīng)而向基準(zhǔn)位置移動并從兩側(cè)夾入來對心。由 此，即使不向Y方向的正側(cè)校正機械手臂的位置，也能夠防止由于預(yù)對 準(zhǔn)的精度不足而碰到第一載置部32、 32等。
在將基板Wl載置于第一載置部31 34上后，使升降機構(gòu)12下降。 由于只是第一載置部31 34從下側(cè)支撐基板Wl，所以在第一載置部 31 34的高度比載置臺7低時，如圖4所示，基板W1的內(nèi)周部由載置 臺7支撐，取而代之，基板W1的外緣部從第一載置部31 34離開。
基板W1通過第一載置部31 34而預(yù)先獲得對準(zhǔn)。因此，載置臺7 在該狀態(tài)下吸附保持基板Wl。這樣，在將基板Wl從第一載置部31 34移置到載置臺7 (載置臺7接收基板W1)后，使升降機構(gòu)12停止。 然后，使移動臺4移動到基座2的另一端部2B偵lj，用處理裝置70對基 板W1實施預(yù)定的處置。這里的處理可舉出從載置臺7接收基板W1， 用旋涂器(spincoater)進行抗蝕劑涂敷，或者利用曝光機制作圖案。
從第一載置部31 34將基板W1交付到載置臺7，由此，基板交換 部10空閑，所以在用處理裝置70進行處理期間，機械手臂80從基板箱 取出第二張基板W2，并將其搬入基板交換裝置1 ?；錡2與上述基板 Wl同樣地在第一載置部31 34上被定位并載置。
在處理裝置70的處理結(jié)束后，第一張基板Wl返回到載置臺7上。 移動臺4向基座2的一端部2A側(cè)將基板Wl搬送到假想圓CL的中心和 基板Wl的中心一致的位置。如圖5所示，基板交換部10以第一張基板 Wl被搬入到比第二載置部51 54稍靠上方且比第一載置部31 34靠下 方即第二張基板W2的下方的方式進行待機。在解除載置臺7的吸附后， 升降機構(gòu)12使升降臺14上升。在第二載置部51 54的高度超過載置臺 7時，第一張?zhí)幚砗蟮幕錡l的外緣部從下方支撐于第二載置部51 54上。其結(jié)果是，如圖6所示，基板W1從載置臺7的上表面移置(交
付)于第二載置部51 54上。
由于在處理后的基板Wl的下側(cè)形成有間隙91，所以機械手臂80 在該間隙91中插入搬送臂81 (參照圖3)。進而，用搬送臂81將第一張 基板Wl從下面抬起以進行接收、吸附保持。由此，基板Wl從第二載 置部51 54向機械手臂80移置(交付)。此時，機械手臂80被移動控 制，以使第一張基板Wl不會碰到第一載置部31 34上載置的第二張基 板W2。接收第一張基板Wl后的機械手臂80后退，并將第一張基板Wl 插入到接收處理后的基板的箱中。
在第一張基板Wl從基板交換裝置1的工作范圍脫離后，升降機構(gòu) 12使升降臺14下降。與上述同樣，在第一載置部31 34上載置的第二 張基板W2被移置(交付)到載置臺7上。然后，在用處理裝置處理基 板W2期間，將未處理的基板載置于第一載置部31 34上，在處理后的 基板返回后，使用第二載置部51 54來搬出處理后的基板，取而代之， 將在第一載置部31 34上預(yù)先待機的未處理的基板交付至載置臺7上。
在該實施方式中，在用往復(fù)運動的移動臺4搬送基板W時，用基板 交換部10對處理后的基板Wl和未處理的基板W2進行交換，所以能夠 在處理后的基板返回之前使隨后應(yīng)處理的基板W待機。因此，能夠在短 時間內(nèi)將很多基板W交付至處理裝置70。不需要設(shè)置多個移動臺4，驅(qū) 動機構(gòu)為一個，且不需要復(fù)雜的機構(gòu)，所以可實現(xiàn)裝置成本的降低和小 型化。再有，由于在使基板W在第一載置部31 34上待機期間能夠進 行基板W的對準(zhǔn)，所以可進一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。作為對準(zhǔn)器，利用 預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)5進行大的調(diào)整，所以基于對心裝置61和對心基準(zhǔn)41、 42 的定位變得容易。此外，各載置部31 34、 51 54具有朝向基板W的 中心的傾斜面，所以在交付基板W或接收基板W的過程中難以產(chǎn)生基 板W的位置偏移。
此外，在將移動臺4作為第一搬送部、將機械手臂80作為第二搬送 部的情況下，對于機械手臂80也可得到同樣的效果。即，將第一載置部 31 34用于從機械手臂80接收基板W，且將另一基板W從第二載置部 51 54交付給機械手臂80，所以能夠在短時間內(nèi)將很多基板W交付至
機械手臂80。不需要設(shè)置多個機械手臂80，且不需要復(fù)雜的機構(gòu)，所以 可實現(xiàn)裝置成本的降低和小型化。 (第二實施方式)
參照附圖來詳細說明本發(fā)明的第二實施方式。該實施方式的特征在 于，基板交換部的構(gòu)成與第一實施方式不同。因此，對相同的構(gòu)成要素 標(biāo)以同一標(biāo)記。此外，省略重復(fù)的說明。
如圖7及圖8所示，基板交換裝置101具有基板交換部110，基板交 換部110在升降機構(gòu)12的桿13的前端具有在X方向和Y方向這兩個方 向上移動自如的二軸臺111 (移動機構(gòu))。在其中一方，沒有第一實施方 式那樣的對心裝置和對心基準(zhǔn)。
對該基板交換裝置101的作用進行說明。在從機械手臂80接收第一 張基板Wl時，用預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)5檢測基板Wl的位置，在基板Wl的位置 從載置臺7的中心偏移時，用未圖示的控制裝置運算偏移量。在第一載 置部31 34上載置基板W1后，使二軸臺lll移動以校正偏移量。由此， 以基板Wl的中心與載置臺7的中心一致的方式對準(zhǔn)，所以在該位置使 升降臺14下降并將基板W1從第一載置部31 34交付至載置臺7。以后 的處理與第一實施方式同樣。
根據(jù)該實施方式，由于能夠用二軸臺111使基板W在XY方向上平 行移動，所以能以非接觸方式進行基板W的對準(zhǔn)。其它的效果與第一實 施方式同樣。這里，檢測基板W的偏移量的構(gòu)件不限于預(yù)對準(zhǔn)機構(gòu)，可 以使用公知的位置檢測構(gòu)件。
再有，本發(fā)明不限于上述各實施方式，可廣泛地應(yīng)用。
例如，雖然將基板交換部IO、 IIO構(gòu)成為在Z方向上移動自如，但 也可以是基板交換部IO、 IIO在Z方向上固定，而使作為搬送部的移動 臺4和機械手臂80在Z方向上移動。此外，也可以構(gòu)成為使升降臺14 向X方向移動。即使在固定了移動臺4的狀態(tài)下也能夠進行基板W的交 換。在這些情況下也可得到同樣的作用和效果。
此外，也可以使臺基6旋轉(zhuǎn)自如地支撐在移動臺4上，并用未圖示 的電動機使臺基6繞Z軸旋轉(zhuǎn)。由于載置臺7成為旋轉(zhuǎn)臺，所以在將基
板W搬入處理裝置70的狀態(tài)下，能夠在該狀態(tài)下進行抗蝕劑涂敷等。 此外，也可以在升降臺14上設(shè)置槽口 (notch)檢測用傳感器。槽口檢測 用傳感器配置在與基板W的周緣部相當(dāng)?shù)奈恢蒙?，檢測使旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時 的光量的變化。利用光量在基板W的槽口部大大地變化來進行基板的槽 口檢測。槽口檢測用傳感器可以是透射型、反射型。也可以使用線性傳 感器、二維攝像元件。再有，也能夠?qū)⒋祟惒劭跈z測用傳感器用作對準(zhǔn) 用的傳感器。此外，在附加能夠傾斜保持基板W之類的機構(gòu)時，能夠用 于目視所進行的外觀檢査裝置。
再有，如圖9所示，也可以在該基板交換裝置l、 101中設(shè)置攝像裝 置121、照明裝置122來作為檢查部120，構(gòu)成基板檢查裝置。攝像裝置 121可以是二維攝像元件(CCD等)，也可以是線性傳感器。在使用線性 傳感器時，如果在照明裝置122中使用線性照明，則通過一邊使移動臺4 向Y方向移動一邊拍攝，從而能夠進行基板W的整個面的拍攝。這里， 來自攝像裝置的信號被送至圖像處理裝置123，利用公知的圖像處理進行 缺陷檢測。進而，檢測結(jié)果顯示在監(jiān)視器124上。此外，攝像裝置121 和照明裝置122能夠通過未圖示的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)而改變其照射角度0i和攝像 角度00。利用對準(zhǔn)機構(gòu)能夠進行高精度的定位。再有，將載置臺7構(gòu)成 為旋轉(zhuǎn)臺，如果如上述那樣形成為能夠進行槽口檢測的結(jié)構(gòu)，則也能夠 高精度地定位基板W的旋轉(zhuǎn)方向。因此，基板交換裝置1、 101能夠適 合用作基板檢查裝置。
基板交換裝置l、 101也可以僅由基板交換部10、 110構(gòu)成。該情況 下，在使用單一類型(single type)的機械手臂來代替移動臺4時，能夠 一邊在兩個機械手臂間交換基板一邊進行交換。機械手臂也可以用于依 次收納基板，還可以用于向其它處理裝置搬入搬出基板。
再有，基板交換裝置1、 101可以是具備機械手臂80那樣的第二搬 送部的結(jié)構(gòu)。也可以是處理裝置70的一部分的結(jié)構(gòu)。
基板W能夠?qū)?yīng)于半導(dǎo)體晶片和玻璃制晶片、液晶用的大型基板等 各種基板。此外，也可以是基板W以外的工件。
也可以構(gòu)成為用各載置部31 34、 51 54保持基板W的內(nèi)周側(cè)，
載置臺7和機械手臂80保持基板W的外周側(cè)。
基板W的層疊方向不限于上下方向。例如，在使基板W大致直立 的狀態(tài)下搬送的情況下，在X方向或Y方向上隔開預(yù)定距離地配置第一 保持部和第二保持部。該情況下的各保持部構(gòu)成為能夠吸附保持基板的 外周緣。
權(quán)利要求
1.一種基板交換裝置，該基板交換裝置將從第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并將從上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其特征在于，所述基板交換裝置具備上述第二搬送部，其能夠在與上述第一基板和上述第二基板的層疊方向正交的方向上進退；支撐部件，其能夠在上述基板的層疊方向上相對于上述第二搬送部進行相對移動；第一保持部，其設(shè)置于上述支撐部件上，能夠保持上述第一基板或上述第二基板中的一方；以及第二保持部，其在上述支撐部件中從上述第一保持部離開預(yù)定距離而設(shè)置在上述基板的層疊方向上，能夠保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，在將上述第一保持部和上述第二保持部中的一方用于從上述第一搬送部接收上述第一基板時，使上述支撐部件和上述第二搬送部相對地移動，以將上述第一保持部和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第二基板。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板交換裝置，其特征在于， 所述基板交換裝置具備使上述支撐部件在上述基板的層疊方向上移動的移動機構(gòu)，通過上述支撐部件在上述基板的層疊方向上的移動，來 將上述第一基板或上述第二基板移置到上述兩個搬送部上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板交換裝置，其特征在于， 將上述支撐部件可移動地構(gòu)成為，對于上述第一搬送部，用上述第一保持部接收上述第一基板或上述第二基板中的一方并從上述第二保持 部交付上述第一基板或上述第二基板中的另一方，對于上述第二搬送部， 用上述第二保持部接收基板并從上述第一保持部交付基板。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板交換裝置，其特征在于， 上述第二搬送部具備使上述第一基板或上述第二基板旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板交換裝置，其特征在于， 上述第一搬送部是機械手臂，其從收納上述第一基板的箱搬出上述第一基板并將該第一基板載置于上述第一保持部上，從上述第二保持部 將完成預(yù)定處理后的上述第二基板搬入箱中。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板交換裝置，其特征在于， 由上述第一保持部及上述第二保持部保持上述第一基板或上述第二基板的載置面具有朝向該基板中心的傾斜。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板交換裝置，其特征在于， 所述基板交換裝置具備使上述支撐部件在上述基板的層疊方向上移動的移動機構(gòu)，上述移動機構(gòu)構(gòu)成為能夠在與上述支撐部件的上下方向 正交的二軸方向上移動。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板交換裝置，其特征在于， 所述基板交換裝置具有將保持于上述第一保持部上的上述第一基板或上述第二基板的位置對準(zhǔn)的對準(zhǔn)器。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板交換裝置，其特征在于， 上述第一保持部及上述第二保持部在相對于上述兩個搬送部進行相對移動的范圍內(nèi)配置在不與上述兩個搬送部的每個干涉的位置。
10. —種基板處理裝置，其特征在于， 所述基板處理裝置具備權(quán)利要求1所述的基板交換裝置。 1. 一種基板檢查裝置，其特征在于， 所述基板檢查裝置具備權(quán)利要求1所述的基板交換裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及基板交換裝置和基板處理裝置以及基板檢查裝置，該基板交換裝置將從第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并將從上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其中，該基板交換裝置具備上述第二搬送部，其能夠在與上述第一基板和上述第二基板的層疊方向正交的方向上進退；支撐部件，其能夠在上述基板的層疊方向上相對于上述第二搬送部進行相對移動；第一保持部，其設(shè)置于上述支撐部件上，能夠保持上述第一基板或上述第二基板中的一方；第二保持部，其在上述支撐部件中從上述第一保持部離開預(yù)定距離而設(shè)置在上述基板的層疊方向上，能夠保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，在將上述第一保持部和上述第二保持部中的一方用于從上述第一搬送部接收上述第一基板時，使上述支撐部件和上述第二搬送部進行相對移動，以將上述第一保持部和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第二基板。
文檔編號H01L21/67GK101366111SQ200780001829
公開日2009年2月11日 申請日期2007年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月1日
發(fā)明者中村郁三 申請人:奧林巴斯株式會社