專利名稱：包括冷卻循環(huán)路徑的基板搬運(yùn)機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板搬運(yùn)機(jī)器人，更詳細(xì)地，涉及制造設(shè)備中的 包括冷卻循環(huán)路徑的基板搬運(yùn)機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，該制造設(shè)備在真空 環(huán)境下制造半導(dǎo)體晶圓、液晶板等的被處理體。
背景技術(shù)：
搬運(yùn)機(jī)器人用于連續(xù)地提供到處理室的搬運(yùn)室，用來搬運(yùn)半導(dǎo)體 晶圓、液晶板等的被處理體到各個(gè)處理室。半導(dǎo)體晶圓，液晶板等的 被處理體憎恨粒子并需要被細(xì)致地處理。因此，在真空環(huán)境下使用搬 運(yùn)機(jī)器人。此外，進(jìn)行搬運(yùn)機(jī)器人的維護(hù)，使得粒子不產(chǎn)生在真空環(huán) 境中。
根據(jù)在現(xiàn)有技術(shù)的搬運(yùn)機(jī)器人中所用的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，搬運(yùn)室的分隔 壁設(shè)置有軸承外殼，旋轉(zhuǎn)輸入軸通過兩個(gè)軸承以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在 軸承外殼，旋轉(zhuǎn)輸入軸通過設(shè)置在兩個(gè)軸承之間的磁流體密封件被氣 密密封，因而構(gòu)成密封單元。此外，旋轉(zhuǎn)輸入軸的下端通過減速器(例 如，參考專利參考l)與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連接。
此外，如搬運(yùn)機(jī)器人的其它驅(qū)動(dòng)設(shè)備，具有通過金屬分隔壁氣密 密封馬達(dá)定子和馬達(dá)轉(zhuǎn)子之間的間隔的功能的真空驅(qū)動(dòng)設(shè)備(例如，
參考專利參考2)被廣泛而通常地使用。
然而，根據(jù)如專利參考1的背景技術(shù)的在真空環(huán)境下使用的驅(qū)動(dòng) 設(shè)備，有必要串聯(lián)地布置多件磁流體密封件以便保證真空狀態(tài)的氣密 功能，并且因此其結(jié)構(gòu)復(fù)雜化、尺寸變大且昂貴。此外，磁流體密封 件使用特別的流體，并且因此，最終用戶不能進(jìn)行維護(hù)，磁流體的霧
總是排出到真空中，并且因此，引起污染搬運(yùn)室的問題。
此外，根據(jù)如專利參考2的通過馬達(dá)定子和馬達(dá)轉(zhuǎn)子之間的金屬
分隔壁而具有氣密密封功能的真空驅(qū)動(dòng)設(shè)備，雖然氣密性能是優(yōu)秀的， 但用來以可旋轉(zhuǎn)的方式支撐借助外部載荷進(jìn)行工作的輸出樞轉(zhuǎn)構(gòu)件的 軸承需要布置在真空中。因此，需要昂貴的真空用軸承，其暴露到真 空中的區(qū)域增加，用于真空處理的運(yùn)行成本增加并且驅(qū)動(dòng)設(shè)備變得昂 貴。此外，當(dāng)有必要傳遞具有大輸出的轉(zhuǎn)矩時(shí)，出現(xiàn)直接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)自 身相比于減速器尺寸過大的問題。
為了解決專利參考1或2中公開的背景技術(shù)的問題，專利參考3 提供能夠用作制造設(shè)備的驅(qū)動(dòng)部分的真空用齒輪設(shè)備，該制造設(shè)備用 來在真空環(huán)境下制造半導(dǎo)體晶圓、液晶板等的被處理體，該真空用齒 輪設(shè)備是小尺寸且不昂貴的，并且維護(hù)性能優(yōu)秀。
根據(jù)專利參考3的真空用齒輪設(shè)備，該設(shè)備的特征在于，接觸型 真空密封件布置在固定構(gòu)件和真空環(huán)境下使用的真空用齒輪設(shè)備的輸 出構(gòu)件之間。通過構(gòu)造這種結(jié)構(gòu)，在真空環(huán)境下使用的驅(qū)動(dòng)設(shè)備可以 制造成小尺寸。此外，通過跟隨固定構(gòu)件的芯部和真空用齒輪設(shè)備的 輸出構(gòu)件可布置真空密封件，并且因此，省去將背景技術(shù)的密封單元 和減速器中心對(duì)準(zhǔn)的操作并且提高維護(hù)性能。
專利參考l: JP-A-6-285780 專利參考2:日本專利No.2761438 專利參考3: JP-A-2004-84920

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題
專利參考3中公開的真空用齒輪設(shè)備是用來搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓、液 晶玻璃板等的薄板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，該搬運(yùn)機(jī)器人布置在維持氣
密的轉(zhuǎn)移室的內(nèi)部以便輸送薄板到處理室。
在這種情況下，根據(jù)在CVD、 PVD等的等于或高于100° C的高
溫環(huán)境下進(jìn)行的處理，存在如下情況熱從經(jīng)受高溫處理的薄板傳遞
到機(jī)器人臂，并且驅(qū)動(dòng)設(shè)備的接觸型真空密封部分的溫度升高到超過 真空密封件的耐熱溫度。結(jié)果，引起大氣泄漏到維持氣密的轉(zhuǎn)移室的 內(nèi)部的缺點(diǎn)的問題。
本發(fā)明的目的是提供一種板搬運(yùn)機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其中，冷卻 板搬運(yùn)機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備的接觸型真空密封部分，此外，在必要時(shí)也 冷卻機(jī)器人臂，防止真空密封件超過耐熱溫度，并且防止出現(xiàn)大氣泄 漏到維持氣密的轉(zhuǎn)移室中的缺點(diǎn)。
解決問題的手段
根據(jù)本發(fā)明，通過用來在真空環(huán)境下搬運(yùn)基板的容納一組臂的機(jī)
器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備實(shí)現(xiàn)上述目的，包括驅(qū)動(dòng)設(shè)備，用來驅(qū)動(dòng)以旋轉(zhuǎn)所 述組的臂，布置在大氣側(cè)和真空側(cè)之間并且在大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)使得驅(qū)動(dòng) 設(shè)備在大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)；其中驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括真空密封件，布置在固定 構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間；和油密封件，在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間布置 在真空密封件的大氣側(cè)上，使得真空密封件和油密封件在固定構(gòu)件和 輸出構(gòu)件之間形成環(huán)狀空間。
其中，形成冷卻循環(huán)路徑，使得固定構(gòu)件設(shè)置有從大氣側(cè)到環(huán) 狀空間的冷卻循環(huán)路徑的供給口；和從環(huán)狀空間到大氣側(cè)的冷卻循環(huán) 路徑的排出口。
此外，根據(jù)本發(fā)明，通過用于在真空環(huán)境下搬運(yùn)基板的容納一組 臂的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備實(shí)現(xiàn)上述目的，包括
驅(qū)動(dòng)設(shè)備，用來驅(qū)動(dòng)以旋轉(zhuǎn)所述組的臂，布置在大氣側(cè)和真空側(cè) 之間并且在大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)使得驅(qū)動(dòng)設(shè)備在大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)；
其中驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括
真空密封件，布置在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間；和
油密封件，在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間布置在真空密封件的大氣
側(cè)上，使得真空密封件和油密封件在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間形成環(huán)
狀空間，
其中，用來將真空密封件和油密封件形成的環(huán)狀空間分成兩個(gè)分 開的部分的另一密封件布置在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間，并且
形成冷卻循環(huán)路徑，使得固定構(gòu)件設(shè)置有從大氣側(cè)到分開的部 分的一個(gè)上的環(huán)狀空間的冷卻循環(huán)路徑的供給口；和從分開的部分的 另一個(gè)上的環(huán)狀空間到大氣側(cè)的冷卻循環(huán)路徑的排出口，并且
輸出構(gòu)件設(shè)置有與分開的部分的一個(gè)上的環(huán)狀空間連通的旋轉(zhuǎn) 供給路徑；和與分開的部分的另一個(gè)上的環(huán)狀空間連通的旋轉(zhuǎn)排出路 徑，
旋轉(zhuǎn)供給路徑和旋轉(zhuǎn)排出路徑向臂構(gòu)件打開，從而冷卻臂構(gòu)件。
在這種情況下，優(yōu)選的是，在一側(cè)上的環(huán)狀空間是真空側(cè)上的環(huán) 狀空間，并且另一側(cè)上的環(huán)狀空間是大氣側(cè)上的環(huán)狀空間。
此外，優(yōu)選的是，本發(fā)明的用來搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備還 包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；輸出傳動(dòng)軸，通過與其接觸的真空密封件被包含在 外殼的內(nèi)周側(cè)；和減速器，用來將驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出旋轉(zhuǎn)通過減小其速 度而傳遞到輸出傳動(dòng)軸，并且優(yōu)選的是，減速器是偏心樞轉(zhuǎn)型減速器， 包括外齒齒輪構(gòu)件，多個(gè)凸輪軸插入到外齒齒輪構(gòu)件的孔中；和內(nèi) 齒齒輪構(gòu)件，其內(nèi)周與外齒齒輪構(gòu)件的外周嚙合。此外，優(yōu)選地構(gòu)造 通過整體聯(lián)結(jié)外殼和內(nèi)齒齒輪構(gòu)件構(gòu)成本發(fā)明的固定構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，并 且輸出構(gòu)件包括輸出傳動(dòng)軸。
此外，在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間，另外的油密封件可布置成與 真空密封件的大氣側(cè)上的油密封件相對(duì)。
優(yōu)選的是，本發(fā)明的真空密封件由接觸型真空密封件構(gòu)成，包括 主唇部，接觸輸出構(gòu)件的外周；彈性構(gòu)件，用來施加接觸力到主唇部； 和裝配部分。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)
根據(jù)本發(fā)明，在必要時(shí)，在真空環(huán)境下可以高效地進(jìn)行用來搬運(yùn) 基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備的真空密封件的冷卻和臂構(gòu)件的冷卻。因此， 這里提供用來搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其中，防止真空密封件 超過耐熱溫度，并防止引起大氣漏入維持氣密的搬運(yùn)室的缺點(diǎn)。
此外，根據(jù)本發(fā)明的臂構(gòu)件包括通過軸承、齒輪、帶、引導(dǎo)件等 的部分減小移動(dòng)機(jī)器人的位置的精度，或者減小各個(gè)部分(軸承、齒 輪、帶、引導(dǎo)件等)的使用壽命的部分。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)部分的剖視圖。 圖2是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)部分的剖視圖。 圖3是用于第二實(shí)施例的真空用齒輪設(shè)備l'的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
第一實(shí)施例
下面將參考示出本發(fā)明的實(shí)施例的附圖詳細(xì)說明本發(fā)明。圖1是 根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)部分的剖視圖。用作制造設(shè)備的驅(qū)動(dòng) 設(shè)備的真空用齒輪設(shè)備1連接到包括真空容器的搬運(yùn)室的分隔壁2，該 制造設(shè)備用來在真空環(huán)境下制造半導(dǎo)體晶圓、液晶板等的被處理體， 該真空容器通過O型環(huán)等的密封裝置處于氣密密封狀態(tài)。
真空用齒輪設(shè)備1的輸入側(cè)la設(shè)置有驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3，并且驅(qū)動(dòng)馬達(dá) 3的輸出旋轉(zhuǎn)通過真空用齒輪設(shè)備1被輸出。根據(jù)本發(fā)明，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)放
置在大氣環(huán)境下。
真空用齒輪設(shè)備1是偏心樞轉(zhuǎn)型真空用齒輪設(shè)備，包括凸輪軸 11，具有曲柄部分lla和lib;兩片外齒齒輪構(gòu)件12，包括用來容納曲 柄部分lla和llb的孔，并且由凸輪軸11的旋轉(zhuǎn)偏心地移動(dòng)；內(nèi)齒齒
輪構(gòu)件13，與形成在外齒齒輪構(gòu)件12的外周面的外齒嚙合，并且在其
內(nèi)周面形成有內(nèi)齒，內(nèi)齒的齒數(shù)略微大于外齒的齒數(shù)；和支撐構(gòu)件14，
布置在外齒齒輪構(gòu)件12的兩側(cè)端部，用來通過滾動(dòng)軸承以可旋轉(zhuǎn)的方
式支撐凸輪軸ll的兩端，它大氣環(huán)境下布置在真空環(huán)境側(cè)。
驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3的輸出旋轉(zhuǎn)通過連接到驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3的輸出旋轉(zhuǎn)軸的輸 入齒輪15被傳遞到齒數(shù)大于輸入齒輪15的齒數(shù)的傳動(dòng)齒輪16，并通 過減小其速度而旋轉(zhuǎn)連接到傳動(dòng)齒輪16的凸輪軸11。
多件(在該實(shí)施例中為3件)凸輪軸11等分布地布置在輸入齒輪 15的外周部分。曲柄部分lla和llb與凸輪軸ll整體地形成，并且它 們各自構(gòu)成180度的偏心相位。曲柄部分lla和llb借助滾針軸承被連 接，該滾針軸承插入到外齒齒輪構(gòu)件12的孔中。
外齒齒輪構(gòu)件12的外周形成有外擺線齒形，該外擺線齒形與保持 在多個(gè)半圓形凹槽中的銷(內(nèi)齒)嚙合，該凹槽等分布地形成在內(nèi)齒 齒輪構(gòu)件13的內(nèi)周。
支撐構(gòu)件14布置在內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13的內(nèi)側(cè)，該支撐構(gòu)件14包括 柱狀部分17，寬松地裝配到形成在用于外齒齒輪構(gòu)件12的凸輪軸11 的孔之間的通孔；和一對(duì)圓形板18， 19，位于柱形部分17的兩端，用 來以可旋轉(zhuǎn)的方式支撐凸輪軸11的兩端。該對(duì)圓形板18， 19的外周 設(shè)置有一對(duì)主軸承20，用來相對(duì)于內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13以可旋轉(zhuǎn)的方式支 撐所述支撐構(gòu)件14。
主軸承20是徑向推力球軸承，以便在安裝中通過施加預(yù)壓力來增
加其剛性。此外，油密封件21設(shè)置在內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13和一側(cè)上的圓 形板18之間，用來在真空用齒輪設(shè)備的內(nèi)側(cè)密封潤滑劑。
外殼22與構(gòu)成固定構(gòu)件的內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13整體地聯(lián)結(jié)。此外， 通過構(gòu)成輸出構(gòu)件，輸出傳動(dòng)軸23整體地連接到支撐構(gòu)件14，并包括 在真空環(huán)境下工作的搬運(yùn)機(jī)器人的臂40的連接部分等。
真空密封件30設(shè)置在外殼22和輸出傳動(dòng)軸23之間。真空密封件 30是接觸型真空密封件，包括主唇部，接觸輸出傳動(dòng)軸23的外周； 彈性構(gòu)件，用來施加接觸力到主唇部；和裝配部分。輸出傳動(dòng)軸23的 接觸部分和主唇部由真空潤滑油潤滑。真空密封件30由殼體31保持 在裝配部分，以方便連接和拆卸真空密封件30的維護(hù)。此外，外殼22 的敞開的端部設(shè)置有迷宮式密封機(jī)構(gòu)32。
如上所述，驅(qū)動(dòng)設(shè)備在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間設(shè)置有真空密封 件30，而且，油密封件21在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間設(shè)置在真空密封 件30的大氣側(cè)上。因此，真空密封件30和油密封件21在固定構(gòu)件和 輸出構(gòu)件之間形成環(huán)狀空間50。
此外，固定構(gòu)件形成有從大氣側(cè)到環(huán)狀空間50的冷卻循環(huán)路徑的 供給口 51。此外，固定構(gòu)件形成有從環(huán)狀空間50到大氣側(cè)的冷卻循環(huán) 路徑的排出口52。因此，真空密封件30和油密封件21由從大氣側(cè)通 過冷卻循環(huán)路徑的供給口 51供給到環(huán)狀空間50的冷卻流體冷卻，并 且冷卻流體在冷卻后從環(huán)狀空間50通過冷卻循環(huán)路徑的排出口 52排 出到大氣側(cè)。
這樣，根據(jù)本發(fā)明，用來搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備的真空密 封件可以被有效地冷卻。因此，這里提供基板搬運(yùn)機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備， 用來防止真空密封件超過耐熱溫度，并防止出現(xiàn)大氣漏入維持氣密的 搬運(yùn)室的缺點(diǎn)。
第二實(shí)施例
下面，將參考圖2詳細(xì)說明本發(fā)明的第二實(shí)施例。圖2是本發(fā)明
的第二實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)部分的剖視圖。類似于第一實(shí)施例，用作制造設(shè) 備的驅(qū)動(dòng)設(shè)備的真空用齒輪設(shè)備1連接到包括真空容器的搬運(yùn)室的分
隔壁2，該制造設(shè)備用來在真空環(huán)境下制造半導(dǎo)體晶圓、液晶板等的被 處理體，該真空容器通過O型環(huán)等的密封裝置處于氣密密封狀態(tài)。
真空用齒輪設(shè)備1的輸入側(cè)設(shè)置有3件(l件在圖2中沒有示出) 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3、 3，并且驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3的輸出旋轉(zhuǎn)通過真空用齒輪設(shè)備1單 獨(dú)地輸出到搬運(yùn)室內(nèi)側(cè)的臂40、 40。根據(jù)本發(fā)明，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3、 3放置 在大氣環(huán)境下。
類似于第一實(shí)施例，該實(shí)施例的真空用齒輪設(shè)備1是偏心樞轉(zhuǎn)型 真空用齒輪設(shè)備，包括凸輪軸ll，具有曲柄部分lla和lib;兩片外 齒齒輪構(gòu)件12，包括用來容納曲柄部分lla和lib的孔，并且由凸輪 軸11的旋轉(zhuǎn)偏心地移動(dòng)；內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13，與形成在外齒齒輪構(gòu)件 12的外周面的外齒嚙合，并且在內(nèi)周面形成有內(nèi)齒，內(nèi)齒的齒數(shù)略微 大于外齒的齒數(shù)；和支撐構(gòu)件14，布置在外齒齒輪構(gòu)件12的兩側(cè)端部， 用來通過滾動(dòng)軸承以可旋轉(zhuǎn)的方式支撐凸輪軸11的兩端，支撐構(gòu)件14 包括柱狀部分17，寬松地裝配到形成在用于外齒齒輪構(gòu)件12的凸輪 軸11的孔之間的通孔；和一對(duì)圓形板18和19，位于柱狀部分17的兩 端，該對(duì)圓形板18和19的外周設(shè)置有一對(duì)主軸承20，支撐構(gòu)件14以 可旋轉(zhuǎn)的方式由內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13支撐，并且在圖2中，省略了真空用 齒輪設(shè)備1的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)的圖示。偏心樞轉(zhuǎn)型真空用齒輪設(shè)備1 在大氣環(huán)境下布置在真空環(huán)境側(cè)。
根據(jù)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出旋轉(zhuǎn)，類似于第一實(shí)施例，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3的輸 出旋轉(zhuǎn)被傳遞到輸入齒輪15，進(jìn)一步被傳遞到傳動(dòng)齒輪16，并且類似 于第一實(shí)施例，通過減小速度來旋轉(zhuǎn)連接到傳動(dòng)齒輪16的凸輪軸11。
雖然在圖2中沒有示出，但類似于第一實(shí)施例，多件(在該實(shí)施 例中為3件)凸輪軸11等分布地布置在輸入齒輪15的外周部分。曲 柄部分lla和llb整體地形成在凸輪軸11，并且各自構(gòu)成180度的偏 心相位。曲柄部分lla和llb借助滾針軸承被連接，該滾針軸承插入到 外齒齒輪構(gòu)件12的孔中。
主軸承20是徑向推力球軸承，并且通過在安裝中施加預(yù)壓力來增 加剛性。此外，油密封件21設(shè)置在內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13和一側(cè)上的圓形 板18之間，用來在真空用齒輪設(shè)備1的內(nèi)側(cè)密封潤滑劑。
外殼22與內(nèi)齒齒輪構(gòu)件13整體地聯(lián)結(jié)，以構(gòu)成固定構(gòu)件。此外， 通過構(gòu)成輸出構(gòu)件，輸出傳動(dòng)軸23通過轉(zhuǎn)接器24與支撐構(gòu)件14整體 地連接，并包括在真空環(huán)境下工作的搬運(yùn)機(jī)器人的臂40的連接部分等。
真空密封件30設(shè)置在外殼22和輸出傳動(dòng)軸23之間。真空密封件 30是接觸型真空密封件，包括主唇部，接觸輸出傳動(dòng)軸23的外周； 彈性構(gòu)件，用來施加接觸力到主唇部；和裝配部分。根據(jù)真空密封件 30，裝配部分由殼體31保持，以方便連接和拆卸真空密封件30的維 護(hù)。
如上所述，驅(qū)動(dòng)設(shè)備在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間設(shè)置有真空密封 件30,而且，在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間在真空密封件30的大氣側(cè)上 設(shè)置有油密封件21。還提供密封件45，用來在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之 間將接觸型真空密封件30和油密封件21形成的環(huán)狀空間50沿軸向分 成兩個(gè)分開的部分，并且固定構(gòu)件設(shè)置有到分成兩部分的真空側(cè)的 環(huán)狀空間50的大氣側(cè)上的冷卻循環(huán)路徑的供給口 51;和從分成兩個(gè)分 開的部分的大氣側(cè)的環(huán)狀空間到大氣側(cè)的冷卻循環(huán)路徑的排出口 52。 此外，輸出構(gòu)件設(shè)置有旋轉(zhuǎn)供給路徑53，與分成兩個(gè)分開的部分的 真空側(cè)的環(huán)狀空間連通；和旋轉(zhuǎn)排出路徑54，與分成兩個(gè)分開的部分
的大氣側(cè)的環(huán)狀空間連通，并且旋轉(zhuǎn)供給路徑53和旋轉(zhuǎn)排出路徑54 通過虛線表示的路徑55連通到作為臂構(gòu)件40、 40的驅(qū)動(dòng)部分的真空 用齒輪設(shè)備l'，從而也冷卻臂構(gòu)件40、 40。
下面，將參考圖3詳細(xì)說明真空用齒輪設(shè)備l'。此外，圖3中示 出的真空用齒輪設(shè)備l'的結(jié)構(gòu)類似于圖1中示出的真空用齒輪設(shè)備1， 因此，與圖l相同的部分賦予相同的附圖標(biāo)記，并且將省略其說明。
動(dòng)力從圖2中示出的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3、 3被傳遞到真空用齒輪設(shè)備
r、 r。就是說，圖2中示出的真空用齒輪設(shè)備i的中心以傳動(dòng)軸設(shè)備
穿透，該傳動(dòng)軸設(shè)備包括空心軸61和穿透空心軸的實(shí)心軸62的組合， 右側(cè)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3的動(dòng)力通過空心軸61傳遞到右側(cè)的真空用齒輪設(shè)備 l'，另一方面，左側(cè)的馬達(dá)3的動(dòng)力通過實(shí)心軸62傳遞到左側(cè)的真空
用齒輪設(shè)備r。
圖3中示出的真空用齒輪設(shè)備r與圖i中示出的真空用齒輪設(shè)備
1的不同之處在于油密封件25設(shè)置成與油密封件21相對(duì)，并且當(dāng)環(huán)狀 空間50的壓力增加時(shí)，防止冷卻流體進(jìn)入真空用齒輪設(shè)備的內(nèi)部。此 外，在圖1中示出的真空用齒輪設(shè)備1中，當(dāng)環(huán)狀空間50的壓力引起 問題時(shí)，油密封件21也可由耐壓油密封件構(gòu)成。
工業(yè)實(shí)用性
這樣，根據(jù)本發(fā)明，在真空環(huán)境下可以高效地進(jìn)行用來搬運(yùn)基板 的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備的真空密封件的冷卻和臂構(gòu)件的冷卻。因此，這 里提供用來搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其中，防止真空密封件的 溫度超過耐熱溫度，并不引起大氣漏入維持氣密的搬運(yùn)室的缺點(diǎn)。此 外，通過冷卻臂構(gòu)件，可以防止軸承、齒輪、帶、引導(dǎo)件等的各個(gè)部 分的由熱引起的使用壽命減小。
權(quán)利要求
1.一種用于在真空環(huán)境下搬運(yùn)基板的容納一組臂的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，包括驅(qū)動(dòng)設(shè)備，用于驅(qū)動(dòng)以旋轉(zhuǎn)所述組的臂，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備布置在大氣側(cè)和真空側(cè)之間并且在所述大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)，使得所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備在所述大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)；其中所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括真空密封件，設(shè)置在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間；和油密封件，在所述固定構(gòu)件和所述輸出構(gòu)件之間布置在所述真空密封件的所述大氣側(cè)上，使得所述真空密封件和所述油密封件在所述固定構(gòu)件和所述輸出構(gòu)件之間形成環(huán)狀空間；其中，形成冷卻循環(huán)路徑，使得所述固定構(gòu)件設(shè)置有從所述大氣側(cè)到所述環(huán)狀空間的所述冷卻循環(huán)路徑的供給口；和從所述環(huán)狀空間到所述大氣側(cè)的所述冷卻循環(huán)路徑的排出口。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，還 包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；輸出傳動(dòng)軸，包含在外殼的內(nèi)周側(cè)中使得所述真空 密封件與其接觸；和減速器，用于將所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出旋轉(zhuǎn)通過減小其速度而傳遞到所述輸出傳動(dòng)軸，其中所述減速器包括外齒齒輪構(gòu)件；多個(gè)凸輪軸，插入到所述 外齒齒輪構(gòu)件的孔中；和內(nèi)齒齒輪構(gòu)件，其內(nèi)周與所述外齒齒輪構(gòu)件 的外周嚙合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其 中通過整體地聯(lián)結(jié)所述外殼和所述內(nèi)齒齒輪構(gòu)件構(gòu)成所述固定構(gòu)件， 并且所述輸出構(gòu)件包括所述輸出傳動(dòng)軸。
4. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其 中另一個(gè)油密封件設(shè)置成與所述油密封件相對(duì)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其 中所述真空密封件包括主唇部，接觸所述輸出構(gòu)件的外周；彈性構(gòu) 件，用于施加接觸力到所述主唇部；和裝配部分。
6. —種用于在真空環(huán)境下搬運(yùn)基板的容納一組臂的機(jī)器人的驅(qū) 動(dòng)設(shè)備，包括驅(qū)動(dòng)設(shè)備，用于驅(qū)動(dòng)以旋轉(zhuǎn)所述組的臂，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備布置在大 氣側(cè)和真空側(cè)之間并且在所述大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)，使得所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備在所 述大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)；其中所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括真空密封件，設(shè)置在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間；和油密封件，在所述固定構(gòu)件和所述輸出構(gòu)件之間設(shè)置在所述真空 密封件的所述大氣側(cè)上，使得所述真空密封件和所述油密封件在所述 固定構(gòu)件和所述輸出構(gòu)件之間形成環(huán)狀空間；其中，用于將由所述真空密封件和所述油密封件形成的所述環(huán)狀 空間分成兩個(gè)分開的部分的另一密封件設(shè)置在所述固定構(gòu)件和所述輸 出構(gòu)件之間，并且形成冷卻循環(huán)路徑，使得所述固定構(gòu)件設(shè)置有從所述大氣側(cè)到 所述分開的部分中的一個(gè)部分上的所述環(huán)狀空間的所述冷卻循環(huán)路徑 的供給口；和從所述分開的部分中的另一個(gè)部分上的所述環(huán)狀空間到 所述大氣側(cè)的所述冷卻循環(huán)路徑的排出口，并且所述輸出構(gòu)件設(shè)置有旋轉(zhuǎn)供給路徑，與所述分開的部分中的一 個(gè)部分上的所述環(huán)狀空間連通；和旋轉(zhuǎn)排出路徑，與所述分開的部分 中的另一個(gè)部分上的所述環(huán)狀空間連通，所述旋轉(zhuǎn)供給路徑和所述旋轉(zhuǎn)排出路徑向臂構(gòu)件打開，從而冷卻 所述臂構(gòu)件。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其 中，所述環(huán)狀空間的所述分開的部分中的所述一個(gè)部分是所述真空側(cè) 上的環(huán)狀空間，并且所述環(huán)狀空間的所述分開的部分中的所述另一個(gè) 部分是所述大氣側(cè)上的環(huán)狀空間。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，還 包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；輸出傳動(dòng)軸，包含在外殼的內(nèi)周側(cè)中使得所述真空 密封件與其接觸；和減速器，用于將所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出旋轉(zhuǎn)通過減 小其速度而傳遞到所述輸出傳動(dòng)軸，其中，所述減速器包括外齒齒輪構(gòu)件；凸輪軸，插入到所述外 齒齒輪構(gòu)件的孔中；和內(nèi)齒齒輪構(gòu)件，其內(nèi)周與所述外齒齒輪構(gòu)件的 外周嚙合。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，其 中通過整體地聯(lián)結(jié)所述外殼和所述內(nèi)齒齒輪構(gòu)件構(gòu)成所述固定構(gòu)件， 并且所述輸出構(gòu)件包括所述輸出傳動(dòng)軸。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于搬運(yùn)基板的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備， 其中所述真空密封件包括主唇部，接觸所述輸出構(gòu)件的外周；彈性 構(gòu)件，用于施加接觸力到所述主唇部；和裝配部分。
全文摘要
提供一種用來搬運(yùn)基板的機(jī)器人，其中，冷卻接觸型真空密封件，防止真空密封件超過耐熱溫度，并防止引起大氣漏入維持氣密的搬運(yùn)室的缺點(diǎn)。在用來在真空環(huán)境下搬運(yùn)基板的包含一組臂的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)設(shè)備中，用來驅(qū)動(dòng)以旋轉(zhuǎn)一組臂(40)的驅(qū)動(dòng)設(shè)備(1)布置在大氣側(cè)和真空側(cè)之間并且在大氣側(cè)被驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)設(shè)備在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間設(shè)置有接觸型真空密封件(30)，此外，油密封件(21)在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間設(shè)置在接觸型真空密封件的大氣側(cè)上，接觸型真空密封件和油密封件在固定構(gòu)件和輸出構(gòu)件之間形成環(huán)狀空間(50)，并且固定構(gòu)件設(shè)置有從大氣側(cè)到環(huán)狀空間的冷卻循環(huán)路徑的供給口(51)和從環(huán)狀空間到大氣側(cè)的冷卻循環(huán)路徑的排出口(52)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101375385SQ20078000310
公開日2009年2月25日 申請日期2007年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月13日
發(fā)明者丹下誠 申請人:納博特斯克株式會(huì)社