專利名稱：基板處理裝置和基板處理方法
技術領域：
本發(fā)明涉及處理基板的基板處理裝置，涉及例如使用激光來加工基板、或 者使用等離子來加工基板的基板處理裝置。本發(fā)明尤其涉及適合在大型玻璃基 板上生成濾色片時使用、或者在對大型玻璃基板上生成的濾色片進行修復時使 用的基板處理裝置。
另外，本發(fā)明涉及處理基板的基板處理方法，涉及例如使用激光來加工基 板、或者使用等離子來加工基板的基板處理方法。本發(fā)明尤其涉及適合在大型 玻璃基板上生成濾色片時使用、或者在對大型玻璃基板上生成的濾色片進行修 復時使用的基板處理方法。
背景技術：
在液晶顯示器、有機EL顯示器等顯示設備中，像素被高精細地配置在大 面積基板上。此處，在這些顯示設備中，基板尺寸在逐年增大，例如，使用一 邊達數米的大面積基板的情況也在增加。
針對這樣的基板，例如在生成像素圖案后對部分像素進行加工和修復時， 需要使處理裝置在基板上移動，對相應的像素精確地進行加工和修復，為此， 需要使載放有基板的基板載放臺準確地旋轉來對齊基板，以使處理裝置的移動 方向與基板的像素的方向準確地對齊。
作為這樣的基板的對齊方法，有日本專利特開平2 — 283097號公報中記載 的技術方案。
在該基板的對齊方法中，利用單個照相機對設置在基板上的兩個基準依次 進行觀察，測定位置數據，并根據觀察得到的位置數據、針對各個基準予以存 儲的理論上的位置數據來求出修正量。
根據上述基板的對齊方法，只需將觀察得到的位置數據與所存儲的理論上的位置數據加以比較就能進行基板的對齊，因此能迅速地進行基板的對齊。 發(fā)明的公開
發(fā)明所要解決的技術問題
然而，本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，上述以往的方法雖能迅速地進行基板的對齊，但有 時會因以下所示的原因而無法準確地進行基板的對齊。
艮P，當像素以2維狀態(tài)排列在基板上的X方向和Y方向上，處理裝置的照
相機能在兩個移動方向(以下設為X'方向和Y'方向)上移動，照相機根據X' 方向的移動量和Y'方向的移動量之和而2維地自由移動時，X方向有時與X' 方向和Y'方向中的任一個均不一致。
另外，如圖ll所示，像素的排列方向即X方向和Y方向通常正交，但 如圖12所示，有時像素的排列方向即X方向和Y方向不正交。進一步說明 的話，即在生成高精細的顯示設備時，需要在使照相機的移動方向的一個 方向與基板的像素的排列方向的一個方向準確對齊的基礎上(例如使上述X 方向、上述X'方向準確地對齊的基礎上)考慮上述X方向與上述Y方向的 正交度、上述X'方向與上述Y'方向的正交度，但存在這樣的問題例如 在通過曝光來形成像素圖案時，上述X方向與上述Y方向的正交度(像素圖 案偏差)對每個所使用的掩膜而言均不同。
因此，在變更掩膜時，所存儲的理論上的位置數據變得不準確，無法 準確地進行基板的對齊。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能準確且迅速地進行基板的對齊的 基板處理裝置和基板處理方法。
解決技術問題所采用的技術方案
為了解決上述技術問題，本發(fā)明的基板處理裝置的特征在于，包括基板 載放臺、處理部、相對位置變動裝置、攝像部保持部件、攝像部、存儲部、以 及控制裝置，上述基板載放臺具有載放基板的載放面，上述處理部對上述載放 面上的上述基板進行處理，上述相對位置變動裝置使上述載放面上的上述基板 相對于上述處理部的相對位置變動，上述攝像部保持部件相對于上述載放面以能朝第一方向移動的形態(tài)安裝在上述基板載放臺上，且具有相對于上述載放面 在上述載放面的法線方向上相對并沿第二方向延伸的相對部，上述攝像部安裝 在上述相對部上，并能對在載放于上述載放面的上述基板上形成的第一標記、 第二標記和第三標記進行攝像，上述存儲部能存儲上述基板上的上述第一標記 的位置、上述基板上的上述第三標記的位置，上述控制裝置進行第一控制、第 二控制、第三控制，在上述第一控制中，上述控制裝置根據來自上述攝像部的 信號，使上述相對位置變動裝置變動上述相對位置，以使將上述第一標記與上 述第二標記連接的線的方向與上述第一方向一致，在上述第二控制中，上述控 制裝置根據來自上述攝像部的信號，使在將上述第一標記與上述第二標記連接 的線的方向與上述第一方向一致后的狀態(tài)下的上述第一標記與上述第三標記 的位置存儲在上述存儲部中，在上述第三控制中，上述控制裝置根據來自對上 述第一標記和上述第三標記的位置被上述存儲部存儲的上述基板以外的其它 上述基板進行攝像的上述攝像部的信號，使上述相對位置變動裝置變動上述其 它基板相對于上述處理部的相對位置，以使上述其它基板上將上述第一標記與 上述第三標記連接的線的方向與根據上述存儲部中存儲的上述第一標記和上 述第三標記的位置計算得到的將上述第一標記與上述第三標記連接的線的方 向一致。
根據本發(fā)明，例如在上述第一標記和上述第三標記的位置被上述存儲部存 儲的上述基板與上述其它基板為同一批次、也就是使用同一掩膜進行制造時， 針對上述其它基板，上述攝像部只需對上述第一標記和上述第三標記的位置進 行拍攝就能準確地進行基板的對準。因此，針對上述其它基板，能特別迅速地 進行基板的對準。
另外， 一實施方式中，在上述第三控制中，上述控制裝置使上述相對位置 變動裝置變動上述其它基板相對于上述處理部的相對位置，以使上述其它基板 上將上述第一標記與上述第三標記連接的線的中點與根據上述存儲部中存儲 的上述第一標記和上述第三標記的位置計算得到的將上述第一標記與上述第 三標記連接的線的中點一致。
根據上述實施方式，能使上述其它基板的中心與上述第一標記和上述第三標記的位置被上述存儲部存儲的上述基板的中心一致，能容易地進行上述其它 基板的對準。
另外， 一實施方式中，上述控制裝置計算上述其它基板上的上述第一標記 與上述第三標記間的距離和根據上述存儲部中存儲的上述第一標記和上述第 三標記的位置計算得到的上述第一標記與上述第三標記間的距離的比值。
根據上述實施方式，相對于作為對準基準的基板，能計算出期望進行對準 的基板(上述其它基板)的膨脹度或收縮度。因此，在任何溫度下，都能針對上 述其它基板精密地進行基板的對準。
一實施方式中，上述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在上述攝像部保 持部件上的第一照相機和第二照相機、相對于上述攝像部保持部件以能朝上述 第二方向移動的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動照相機，上述控制裝 置在上述第三控制中根據來自對上述其它基板的上述第三標記進行攝像的上 述第一照相機的信號、來自對上述其它基板的上述第一標記攝像的上述第二照 相機的信號，來確定將上述其它基板上的上述第一標記與上述第三標記連接的 線的方向。
根據上述實施方式，在對上述其它基板進行攝像時，對上述其它基板進行 攝像的照相機(第一照相機和第二照相機)不朝上述第二方向移動。因此，能進 行迅速地其它基板的對準。
另外， 一實施方式中，上述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在上述攝 像部保持部件上的第一照相機和第二照相機、相對于上述攝像部保持部件以能 朝上述第二方向移動的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動照相機，上述 控制裝置在上述第一控制中根據上述移動照相機攝像得到的上述第一標記和 上述第二標記的位置來確定將上述第一標記與上述第二標記連接的線的方向， 在上述第二控制中使上述移動照相機攝像得到的上述第一標記和上述第二標 記的位置存儲在上述存儲部中。
根據上述實施方式，上述第一控制和上述第二控制僅通過上述移動照相機 的攝像來進行，因此，例如通過使上述移動照相機的靈敏度成為高靈敏度，能 精密地觀察成為對準基準的基板的位置。
11另外， 一實施方式中，在上述攝像部保持部件上，將液滴朝基板排出的液 滴排出部相對于上述攝像部保持部件以能朝上述第二方向移動或不能朝上述 第二方向移動的形態(tài)安裝。
根據上述實施方式，通過針對上述其它基板進行的對準，能對上述其它基 板的期望位置準確地排出液滴。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的特征在于，包括基板載放臺、處理部、 相對位置變動裝置、攝像部保持部件、攝像部、存儲部、以及控制裝置，上述 基板載放臺具有載放基板的載放面，上述處理部對上述載放面上的上述基板進 行處理，上述相對位置變動裝置使上述載放面上的上述基板相對于上述處理部 的相對位置變動，上述攝像部保持部件相對于上述載放面以能朝第一方向移動 的形態(tài)安裝在上述基板載放臺上，且具有相對于上述載放面在上述載放面的法 線方向上相對并沿第二方向延伸的相對部，上述攝像部安裝在上述相對部上， 并能對在載放于上述載放面的上述基板上形成的第一標記、第二標記、第三標 記和第四標記進行攝像，上述存儲部能存儲上述基板上的上述第三標記的位 置、上述基板上的上述第四標記的位置，上述控制裝置進行第一控制、第二控 制和第三控制，在上述第一控制中，上述控制裝置根據來自上述攝像部的信號， 使上述相對位置變動裝置變動上述相對位置，以使將上述第一標記與上述第二 標記連接的線的方向與上述第一方向一致，在上述第二控制中，上述控制裝置 根據來自上述攝像部的信號，使在將上述第一標記與上述第二標記連接的線的 方向與上述第一方向一致后的狀態(tài)下的上述第三標記和上述第四標記的位置 存儲在上述存儲部中，在上述第三控制中，上述控制裝置根據來自對上述第三 標記和上述第四標記的位置被上述存儲部存儲的上述基板以外的其它上述基 板進行攝像的上述攝像部的信號，使上述相對位置變動裝置變動上述其它基板 相對于上述處理部的相對位置，以使上述其它基板上將上述第三標記與上述第 四標記連接的線的方向與根據上述存儲部中存儲的上述第三標記和上述第四 標記的位置計算得到的將上述第三標記與上述第四標記連接的線的方向一致。
根據本發(fā)明，在基板上有四個以上的標記時，能迅速且精密地進行上述其 它基板的對準。另外， 一實施方式中，在上述第三控制中，上述控制裝置使上述其它基板 相對于上述處理部的相對位置變動上述相對位置變動裝置，以使上述其它基板 上將上述第三標記與上述第四標記連接的線的中點與根據上述存儲部中存儲 的上述第三標記和上述第四標記的位置計算得到的將上述第三標記與上述第 四標記連接的線的中點一致。
根據上述實施方式，在基板上有四個以上的標記時，能準確地使上述其它 基板的中心與作為基準的基板的中心一致。
另外， 一實施方式中，上述控制裝置計算上述其它基板上的上述第三標記 與上述第四標記間的距離和根據上述存儲部中存儲的上述第三標記和上述第 四標記的位置計算得到的上述第三標記與上述第四標記間的距離的比值。
根據上述實施方式，在基板上有四個以上的標記時，相對于作為對準基準 的基板，能計算出期望進行對準的基板(上述其它基板)的膨脹度或收縮度。因 此，在任何溫度下，都能針對上述其它基板精密地進行基板的對準。
另外， 一實施方式中，上述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在上述攝 像部保持部件上的第一照相機和第二照相機、相對于上述攝像部保持部件以能 朝上述第二方向移動的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動照相機，上述 控制裝置在上述第三控制中根據來自對上述其它基板的上述第三標記進行攝 像的上述第一照相機的信號、來自對上述其它基板的上述第一標記進行攝像的 上述第二照相機的信號，來確定將上述其它基板上的上述第一標記與上述第三 標記連接的線的方向。
根據上述實施方式，上述在基板上有四個以上的標記時，在對上述其它基 板進行攝像時，對上述其它基板進行攝像的照相機(第一照相機和第二照相機) 不朝上述第二方向移動。因此，能進行迅速地其它基板的對準。
另外， 一實施方式中，上述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在上述攝 像部保持部件上的第一照相機和第二照相機、相對于上述攝像部保持部件以能 朝上述第二方向移動的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動照相機，上述 控制裝置在上述第一控制中根據上述移動照相機攝像得到的上述第一標記和 上述第二標記的位置來確定將上述第一標記與上述第二標記連接的線的方向，
13在上述第二控制中使上述移動照相機攝像得到的上述第三標記和上述第四標 記的位置存儲在上述存儲部中。
根據上述實施方式，上述在基板上有四個以上的標記時，上述第一控制和 上述第二控制僅通過上述移動照相機的攝像來進行，因此，通過使上述移動照 相機的靈敏度成為高靈敏度，能精密地觀察成為對準基準的基板的位置。
另外， 一實施方式中，在上述攝像部保持部件上，將液滴朝基板排出的液 滴排出部相對于上述攝像部保持部件以能朝上述第二方向移動或不能朝上述 第二方向移動的形態(tài)安裝。
根據上述實施方式，在基板上有四個以上的標記時，通過針對上述其它基 板進行的對準，能對上述其它基板的期望位置準確地排出液滴。
另外，本發(fā)明的基板處理方法的特征在于，在基板載放臺的載放面上載放 第一基板后，根據上述第一基板上的第一標記和第二標記的位置，使將上述第 一標記與上述第二標記連接的線的方向與相對于上述載放面以能朝第一方向 移動的形態(tài)安裝在上述基板載放臺上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的 上述第一方向一致，使在將上述第一標記與上述第二標記連接的線的方向與上 述第一方向一致的狀態(tài)下的上述第一基板上的上述第一標記的位置和上述第 三標記的位置存儲在存儲部中，在上述基板載放臺的載放面上載放第二基板 后，使將上述第二基板上的第一標記與上述第三標記連接的線的方向與根據上 述存儲部中存儲的上述第一基板上的上述第一標記的位置和上述第三標記的 位置計算得到的將上述第一基板上的上述第一標記與上述第三標記連接的線 的方向一致。
根據本發(fā)明，能迅速且精密地進行第二基板的對準。
另外，一實施方式中，在上述基板載放臺的載放面上載放上述第二基板后， 使將上述第二基板上的第一標記與上述第三標記連接的線的中點與根據上述 存儲部中存儲的上述第一基板上的上述第一標記的位置和上述第三標記的位 置計算得到的將上述第一基板上的上述第一標記與上述第三標記連接的線的
中點一致。
根據上述實施方式，能使第二基板的中心與成為對準基準的第一基板的中
14心對應。
另外， 一實施方式中，計算上述第二基板上的上述第一標記與上述第三標 記間的距離和根據上述存儲部中存儲的上述第一基板上的上述第一標記的位 置和上述第三標記的位置計算得到的上述第一基板上的上述第一標記與上述 第三標記間的距離的比值。
根據上述實施方式，能在對準中反映基板的膨脹或收縮的效果。 另外，本發(fā)明的基板處理方法的特征在于，在基板載放臺的載放面上載放 第一基板后，根據上述第一基板上的第一標記和第二標記的位置，使將上述第 一標記與上述第二標記連接的線的方向與相對于上述載放面以能朝第一方向 移動的形態(tài)安裝在上述基板載放臺上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的 上述第一方向一致，使在將上述第一標記與上述第二標記連接的線的方向與上 述第一方向一致的狀態(tài)下的上述第一基板上的第三標記的位置和上述第四標 記的位置存儲在存儲部中，在上述基板載放臺的載放面上載放第二基板后，使 將上述第二基板上的第三標記與上述第四標記連接的線的方向與根據上述存
儲部中存儲的上述第一基板上的上述第三標記的位置和上述第四標記的位置 計算得到的將上述第一基板上的上述第三標記與上述第四標記連接的線的方 向一致。
根據本發(fā)明，在基板上存在四個以上的標記時，能精密且迅速地進行基板 的對準。
另外，一實施方式中，在上述基板載放臺的載放面上載放上述第二基板后， 使將上述第二基板上的第三標記與上述第四標記連接的線的中點與根據上述 存儲部中存儲的上述第一基板上的上述第三標記的位置和上述第四標記的位 置計算得到的將上述第一基板上的上述第三標記與上述第四標記連接的線的 中點一致。
根據上述實施方式，在基板上存在四個以上的標記時，能使第二基板的中 心與作為基準的第一基板的中心一致。
另外， 一實施方式中，計算上述第二基板上的上述第三標記與上述第四標 記間的距離和根據上述存儲部中存儲的上述第一基板上的上述第三標記的位置和上述第四標記的位置計算得到的上述第一基板上的上述第三標記與上述 第四標記間的距離的比值。
根據上述實施方式，在基板上存在四個以上的標記時，能在第二基板的對 準中準確地反映第二基板相對于作為基準的第一基板的膨脹、收縮的程度。
發(fā)明效果
根據本發(fā)明的基板處理方法和基板處理裝置，能準確且迅速地進行基板的 對準。


圖1是本發(fā)明的第一實施方式的基板處理裝置的立體圖。 圖2是表示基板的與基板載放臺側相反的一側的上表面的圖。 圖3是表示基板剛被載放在基板載放臺上后、基板與基板載放臺的位置關 系的一例的圖。
圖4是表示觀察第一標記的狀態(tài)的第二照相機的圖。
圖5是表示找到第二標記并進行觀察的第二照相機的圖。
圖6是表示將第一標記與第二標記連接的直線與GanY方向一致的狀態(tài)的圖。
圖7是用虛線來表示找到第四標記并進行觀察的移動照相機的圖。 圖8是表示校準動作中存儲的基板的位置的圖。
圖9是表示用第一照相機觀察第四標記并用第二照相機觀察第三標記的 狀態(tài)的圖。
圖10是表示與通過校準而記住的位置關系對應地在X、 Y、 e方向上移動 后的基板載放臺的圖。
圖11是表示一個排列方向即X方向與另一個排列方向即Y方向正交的多
個像素的圖。
圖12是表示一個排列方向即X方向未與另一個排列方向即Y方向正交的 多個像素的圖。圖13A是表示墨水排出動作過程中的、基板上的圖案與噴嘴的關系的示意圖。
圖13B是表示墨水排出動作過程中的、基板上的圖案與噴嘴的關系的示意圖。
圖13C是表示墨水排出動作過程中的、基板上的圖案與噴嘴的關系的示意圖。
圖13D是表示墨水排出動作過程中的、基板上的圖案與噴嘴的關系的示意圖。
圖14是進行基板的校準動作過程中的第二實施方式的基板處理裝置的示 意圖。
圖15是表示進行基板的對準動作過程中的第二實施方式的基板處理裝置 的示意圖。
具體實施例方式
以下，根據圖示的形態(tài)對本發(fā)明進行詳細說明。 (第一實施方式)
圖1是本發(fā)明的第一實施方式的基板處理裝置的立體圖。 該基板處理裝置包括基板載放臺1、作為攝像部保持部件的臺架2、臺 架移動機構3、提升移動機構5、第一照相機6、第二照相機7、移動照相機8、 以及作為控制裝置的微型計算機(下面稱為微機M。上述第一照相機6、第二照 相機7和移動照相機8構成了攝像部。另外，微型計算機4具有存儲信息的存 儲部(未圖示)。
上述基板載放臺1具有載放基板10的載放面。上述載放面由平坦性較好 的石平臺(由花崗巖形成的石平臺)形成?；?0以不能移動的形態(tài)固定在上 述載放面上，且從載放面松開。詳細而言，在基板載放臺1的上述載放面上形 成有多個未圖示的微小的孔，這些孔全部都與未圖示的吸引+送風機構連接。 通過利用上述控制裝置進行吸引+送風控制，在基板載放臺1上吸附固定基板 10，或者將吸附固定在基板載放臺1上的基板10松開。
17在上述基板載放臺中內置有未圖示的e旋轉機構。上述e旋轉機構使基板
載放臺1的載放面繞該載放面的中心自由旋轉。由此，能使載放在上述載放面
上的基板10繞上述載放面的中心自由旋轉。雖不進行詳細說明，但基板處理
裝置在與基板載放臺1的載放面?zhèn)认喾吹囊粋染哂形磮D示的消振機構，能抑制振動。
上述臺架2呈門型形狀。載放面呈大致矩形形狀。臺架2以橫跨基板載放 臺1的載放面的一個方向的形態(tài)設置。臺架2的與基板載放臺1側相反的一側 的面呈大致矩形形狀(以下，在臺架2的與基板載放臺1側相反的一側的面上， 將臺架2的橫跨基板載放臺1的方向(相當于第二方向)稱為GanX方向)。提升 移動機構5有兩個，設置在門型的臺架2上。提升移動機構5相對于臺架移動 機構3始終不接觸，能朝第一方向(下面稱為GanY方向)移動。上述臺架2通 過提升移動機構5朝GanY方向的移動而相對于載放面朝GanY方向移動。詳細 而言，臺架2通過臺架移動機構3上的磁性直線尺(未圖示)與提升移動機構5 之間的線性電動機控制，能朝GanY方向自由移動。
在臺架2上設置有作為處理部的噴墨頭(未圖示)、第一照相機6、第二照 相機7和移動照相機8。上述噴墨能朝基板10排出墨水。上述噴墨頭根據來自 控制裝置的信號使臺架2的下側面適當地朝GanX方向移動，在適當時刻朝基 板10上排出墨水。安裝有上述噴墨頭的臺架2能朝GanY方向移動，因此噴墨 能自由地在2維平面上移動。
另外，第一實施方式中，噴墨頭能在臺架上朝GanX軸方向移動，但在本 發(fā)明中，噴墨頭只要能在基板的被排出區(qū)域的GanX軸方向上的任意位置排出， 則可采用任何結構。例如，既可將固定設置的多個噴墨頭排列設置并適當選擇 進行排出的噴墨頭，也可使用以覆蓋被排出區(qū)域的形態(tài)固定設置的較長的噴墨 頭。
處理部相對于被吸附在載放面上的基板10的相對位置能自由地在3維空 間內移動。即，本實施方式中，如上所述，基板載放臺1能以基板載放臺1的 中心為中心在e方向上旋轉，作為處理部的噴墨頭能自由地在2維平面內移動。 此處，噴墨頭進行移動的2維平面與基板載放臺1所進行移動的2維平面彼此平行。由此，處理部相對于被吸附固定在基板載放臺1上的基板10的相對位 置能自由地在3維空間內移動。上述e旋轉機構和臺架2構成了相對位置變動 裝置。
本實施方式中采用的是這樣的結構基板載放臺i在e方向上旋轉，且作
為處理部的噴墨頭自由地在XY平面內移動，但在本發(fā)明中也可采用這樣的結
構基板載放臺能在e方向上旋轉并能自由地在XY平面內移動，且處理部(例
如噴墨頭)能自由地在XY平面移動。在本發(fā)明中也可采用這樣的結構在保持 基板載放臺不移動的情況下僅使處理部在2維空間中移動，從而使處理部相對
于吸附固定在基板載放臺上的基板的相對位置自由地變動。另外，在本發(fā)明中
也可采用這樣的結構在保持處理部不移動的情況下僅使基板載放臺在2維空 間中移動，從而使處理部相對于吸附固定在基板載放臺上的基板的相對位置自 由地變動。
上述第一照相機6、第二照相機7和移動照相機8對基板進行觀察。第一 照相機6和第二照相機7固定設置在臺架2上，對基板10 JS行觀察拍攝。由 第一照相機6和第二照相機7觀察拍攝得到的基板10的圖像被送往微機4。另 一方面，上述移動照相機8設置成能朝GanX方向在臺架2上移動，對基板10 進行觀察拍攝。安裝有移動照相機8的臺架2能朝GanY方向移動，因此移動 照相機8能自由地在2維平面上移動。由移動照相機8觀察拍攝得到的基板10 的圖像被送往微機4。
上述微機4進行臺架2的移動控制、臺架2上的移動照相機8的移動控制、 臺架2上的噴墨頭的排出控制、基板載放臺1的旋轉控制以及來自照相機6、7、 8的圖像的分析。
第一照相機6和第二照相機7的觀察位置和噴墨頭的液滴排出位置在噴墨 頭安裝后預先進行計測調整。
在上述噴墨的與基板載放臺1的載放面的平行面上粘接有噴嘴板。噴嘴板 具有多個噴嘴孔。噴嘴孔的直徑設定為10 20pm。作為噴墨，使用的是在壓 電體基板上形成有多個作為墨水室的槽的噴墨。噴墨在其間壁側面的一部分上 形成電極，在間壁的兩側面之間施加電場，使間壁自身剪切變形來產生排出能在基板載放臺1上裝設有基板10狀態(tài)下，噴墨頭的噴嘴板的底面即液滴
排出面與基板10的上表面之間被預先調整為0.5 lrara。該裝置在臺架2朝GanY 方向移動的同時排出墨水。在噴墨頭朝著基板載放臺1上的基板10排出液滴 的過程中，基板10被基板載放臺1準確地固定。臺架2有時會因兩個提升移 動機構的移動速度的微小偏差而相對于原來狀態(tài)偏斜(臺架偏差)。該偏差幾乎 不會變動，但在變動時，如后面所述，需要對排出位置進行修正。
上述基板10為大型的玻璃基板。g卩，第一實施方式的基板處理裝置處理 大型的玻璃基板。當然，本發(fā)明能處理的基板不局限于大型玻璃基板，當然， 本發(fā)明所處理的基板的材質、大小或厚度等不受限定。
在上述基板10上，如圖11所示，容納液滴的多個區(qū)域11規(guī)則地排列。 即，形成有規(guī)則的基板圖案。具有上述規(guī)則性的區(qū)域11用樹脂形成。不過， 基板上表面的具有規(guī)則性的區(qū)域也可用金屬或玻璃材料形成。上述區(qū)域11相 對于涂布液具有拒液性。
如上面使用圖12說明的那樣，基板圖案有時因圖案形成時的誤差(掩膜設 置、基板設置、光學系統(tǒng)等產生的誤差)、掩膜本身的誤差而偏離理想的配置。 即，與圖11不同，如圖12所示，基板圖案的排列的一個方向與另一個方向有 時不正交。
圖2是表示基板10的與基板載放臺1側相反的一側的上表面的圖。 如圖2所示，在基板10的上表面形成有四個標記、即第一至第四標記31、 32、 33、 34。第一至第四標記31、 32、 33、 34為基板的對準基準，其通過與 基板圖案(區(qū)域11的排列)相同的生成方法，在基板圖案形成時與基板圖案同 時且一體地形成在基板IO上。由于第一至第四標記31、 32、 33、 34與基板圖 案一體形成，因此標記31、 32、 33、 34相對于基板圖案的相對位置在相同溫 度下在多個基板上始終一定。當然，標記31、 32、 33、 34相對于基板圖案的 相對位置會受到溫度變化時基板10的收縮和基板10的膨脹的影響。
將第一標記31與第二標記32連接的方向定義為基板10的一個方向，以 下，該方向與基板圖案的一個方向(將其作為Y方向)平行。另一方面，將第三
20標記33與第四標記34連接的方向定義為基板10的另一個方向，該方向與基 板圖案的另一個方向(將其作為X方向)平行。
將第一標記31與第二標記32連接的直線和將第三標記33與第四標記34 連接的直線所成的角度因標記形成時的誤差而不限于90度(不一定正交)。產 生誤差的原因與上面說明的基板圖案產生誤差的原因相同。
將第一標記31與第二標記32連接的直線與將第三標記33與第四標記34 連接的直線所成的角度不一定與裝置坐標系統(tǒng)所成的角度、即GanX和GanY所 成的角度一致。換言之，將第一標記31與第二標記32連接的直線和將第三標 記33與第四標記34連接的直線所成的角度與臺架移動方向和臺架的延伸方向 所成的角度不一致。
當然，各標記31、 32、 33、 34的配置位置不限定于基板10的端部(參照 圖2)。將標記配置在基板的端部時較為理想，但只要滿足將第一標記與第二標 記連接的方向平行于基板圖案的Y方向、且將第三標記與第四標記連接的方向 平行于基板圖案的X方向的條件，則可將第一至第四標記配置在基板的任何部 位。此外，標記不必是四個，也可用一個標記來實現(xiàn)多個標記的作用。例如， 標記1和標記3也可以是同一個標記。
即使產生圖案偏差和臺架偏差中的至少一方時，也必須將墨水準確地涂布 在目標位置上。因此，必須進行基板10的對準、即基板10的對齊。詳細而言， 必須根據以下的六個條件((1) (6))來進行基板10的對齊。
(1)臺架2與基板載放臺1的正交性不清楚。(2)臺架2具有直線性(GanX 方向和GanY方向分別朝向一個方向)。(3)基板載放臺1具有直線性(X方向和 Y方向分別朝向一個方向)。(4)基板圖案(單元(區(qū)域11)的排列)的正交性不清 楚。(5)上述基板圖案(單元的排列)的正交性至少在同一批(同一掩膜)中不變 化。(6)基板圖案(單元的排列)具有直線性。
在上述條件下，與現(xiàn)有例中說明的裝置相比，如以下所示，第一實施方式 的基板處理裝置能準確且迅速地進行基板10的對齊(對準)。第一實施方式中， 通過兩階段的動作、即基板10的校準動作和基板10的對準動作來實現(xiàn)上述功 能。
21以下，對第一實施方式的基板10的對齊(對準)進行說明。 未圖示的搬運機器人將基板IO載放在基板載放臺1上。這一動作是通過 圖1中預先使臺架2位于圖中左側的左端后從圖中右側將基板10朝基板載放 臺1上載放來進行的。將所載放的基板10立即抽氣吸附在基板載放臺1上， 將其固定在基板載放臺1上。詳細而言，在基板載放臺1形成有多個貫穿孔， 在貫穿孔的與載放面?zhèn)认喾吹囊粋鹊拈_口上連接有吸引空氣或吹出空氣的裝
置。將基板IO載放在基板載放臺1的載放面上之后，通過吸引上述貫穿孔內 的空氣，將基板10吸附在載放面上。將基板10載放在基板載放臺1上進行吸 附時，不進行任何對準作業(yè)。即，在基板10的載放時刻，在基板載放臺1上 將基板10相對于基板10的期望的配置位置以機械精度進行定位。
圖3是表示基板10剛被載放在基板載放臺1上后、基板10與基板載放臺 l的位置關系的一例的圖。另外，從圖3到以下的圖10中，標記31、 32、 33、 34有時會因臺架2、照相機6、 7、 8而處于看不到的位置，但為了方便說明， 因此始終示出標記31、 32、 33、 34的位置。如圖3所示，將基板10載放到基 板載放臺1上時，基板10以相對于期望的配置位置在XY方向和e方向上錯開 的狀態(tài)載放。
接著，進行校準動作。在校準動作中，針對同一批次、即用同一掩膜生成 的多個基板10中的一個基板，如下所示地在上述控制裝置中存儲第一至第四 標記31、 32、 33、 34的位置。
首先，如圖4所示，使用第二照相機7對第一標記31進行觀察，將觀察 得到的圖像發(fā)送給控制裝置，記住位置。接著一邊使臺架2移動一邊用第二照 相機7對基板10進行觀察，用第二照相機7來尋找第二標記32，如圖5所示， 用第二照相機7找到并對第二標記32進行觀察，將觀察得到的圖像發(fā)送給控 制裝置，記住位置。
之后，控制裝置運算第一標記31和第二標記32的位置，求出基板10在 6方向上的偏差量(將第一標記31與第二標記32連接的直線的方向與GanY方
向的e偏差量)。
使基板io旋轉由控制裝置求出的上述e方向上的偏差量，如圖6所示，使得將第一標記31與第二標記32連接的直線與GanY方向一致。根據第一標 記31和第二標記32的位置來估計(根據第一標記31、第二標記32、第三標記 33的設計上的位置關系來估計)第三標記33的位置，適當移動臺架2和移動照 相機8，使移動照相機8移動到上述估計得到的位置。然后，用移動照相機8 對第三標記33觀察，進行觀察拍攝，并將拍攝得到的圖像發(fā)送給控制裝置， 記住第三標記33的位置。
接著， 一邊使移動照相機8朝GanX方向移動一邊用移動照相機8對基板 10進行觀察，用移動照相機8來尋找第四標記34。然后，在圖7中虛線所示 的移動照相機8的位置上，用移動照相機8找到第四標記34并進行觀察，將 觀察得到的圖像發(fā)送給控制裝置，記住第四標記34的位置。
根據第三標記33的位置和第四標記34的位置，求出將第三標記33與第 四標記43連接的直線的方向(基板圖案的X方向)相對于GanX方向的傾斜度， 進行臺架2傾斜度的修正。例如，若第三標記33與第四標記34之間的距離在 GanX方向上為+ 1000mm、在GanY方向上為+ lmm，則進行GanX方向+1000、 GanY方向+ l的修正。另夕卜，為了進行以下說明的基板的膨脹的修正，求出第 三標記33與第四標記34的中點的位置以及第三標記33與第四標記34之間的 距離(該距離設為LO)，將其存儲在上述存儲部內。
像第一實施方式那樣使用移動照相機8來拍攝第三標記33和第四標記34 時，與用兩個不同的固定照相機來拍攝第三標記和第四標記時相比，能高精度 地測定第三標記33與第四標記34間的距離。
使臺架2移動，用第二照相機7來觀察第三標記33，并利用第一照相機 來觀察第四標記34，將第三標記33和第四標記34的位置存儲在微機4的存儲 部內。將該存儲的位置作為之后的對準的基準位置。
另外，第一實施方式中使用了移動照相機8，但既可省略移動照相機而用
兩個固定照相機來觀察第三和第四標記，也可根據第一照相機和第二照相機的 坐標來求出第三標記和第四標記4的位置關系。這種情況下不需要移動照相機，
因此能削減基板處理裝置的制造成本。
也可用三個不同的固定照相機來觀察第一標記和第二標記、第三標記、第四標記。這種情況下，用第一照相機來拍攝第一標記和第二標記，用第二照相 機來拍攝第三標記，并用第三照相機來觀察第四標記。這種情況下，與用兩個 固定照相機來拍攝四個的第一至第四標記時相比，當然能提高第一至第四標記 的配置位置的自由度。
接著，對基板的對準動作進行說明。
首先，利用上述搬運機器人，將與校準中使用的基板相同批的其它基板 IO載放在基板載放臺1的載放面上。此時，如上所述，基板10的位置相對于
正確的位置在xy方向和e方向上存在偏差。
接著，使用第一照相機6和第二照相機7，對第三標記33和第四標記34 進行觀察。如果需要，可使臺架2移動，以成為如圖9所示的狀態(tài)，能同時觀 察第三標記33和第四標記34。由于僅是移動成能同時觀察的狀態(tài)，因此臺架 的移動距離較短。
將上述校準動作中記住的第三標記33至第四標記34的距離與此次得到的 距離的差異視為基板膨脹。另外，如圖10所示，使基板載放臺i在e方向上 移動并使臺架2沿XY方向移動，以使第三標記33和第四標記34與通過校準 而記住的位置關系對應。
例如，在使基板載放臺1在e方向上旋轉，以使將第三標記33與第四標 記34連接的直線所成的角度成為圖8中記住的角度、即通過上述校準動作而 記住的角度后，使臺架2沿XY方向移動，以使第三標記33與第四標記34的 中點的位置成為圖8中記住的第三標記33與第四標記34的中點的位置。由此， 即使存在基板膨脹時，也能使標記1和標記2與臺架移動方向一致。
在上述校準動作中使用的基板10、在基板的對準動作中使用的基板10是 用同一掩膜(同一批次)生成的，因此，此時對于基板10而言，GanY方向與基 板圖案的Y方向成為同一個方向。
另外，像下面那樣對基板10的膨脹進行修正。在對準動作中，求出第三 標記33與第四標記34之間的距離(該距離設為Ll)。將距離Ll與校準動作中 求出的第三標記33與第四標記34之間的距離LO之比、即L1/L0(= a )作為對 基板膨脹的修正值。例如，若目標排出位置離開基準的設計距離為(XA， YA)，
24則將相對于基準(a，XA， a ，YA)的位置作為基板膨脹修正后的目標排出位置。
根據第一實施方式，在基板10的對準動作中，能在幾乎不驅動臺架且不 使用移動照相機8的情況下使GanY方向與基板圖案的Y方向對齊成同一個方 向，與每次觀測四個標記的位置的情況相比，能特別迅速且容易地進行基板的 對準。另外，能容易地對基板的膨脹進行修正，能精密地進行基板的對準。
第一實施方式的發(fā)明是在進行上述基板的對準后對基板10上的期望位置 準確地排出墨水。接著對該動作進行說明。
圖13A 圖13D是表示液滴排出部的墨水排出動作過程中的、基板上的圖 案81、 82、 83與噴墨頭的噴嘴84、 85、 86的關系的示意圖。
在圖13A 圖13D中，為了簡略，以圖案81、 82、 83、噴嘴84、 85、 86 均為三個的結構進行說明，當然，也可用四個以上的噴嘴對許多圖案排出墨水。 當然也可使一個或兩個噴嘴朝GanX方向適當移動來對許多圖案排出墨水。雖 然未圖示，但噴嘴84、 85、 86的排出面與基板載放臺的基板的載放面平行。 與臺架的位置無關，基板載放臺的上述載放面與上述排出面的間隔始終一定。 在本例中，臺架的移動方向即GanY方向與圖案81、 82、 83的Y方向一致，相 對于臺架的延伸方向即GanX方向，圖案81、 82、 83的X方向傾斜。另夕卜，噴 嘴84、 85、 86位于沿GanX方向延伸的同一直線上。
通過上述基板對準動作，臺架的移動方向即GanY方向與基板的圖案的Y 方向處于一致的狀態(tài)。
使臺架2朝圖13A中箭頭a所示的GanY方向移動，噴嘴84、 85、 86也朝 GanY方向移動。
當第一個噴嘴84到達第一個圖案81上方時，控制裝置將信號發(fā)送給噴墨 頭，以從第一個噴嘴84排出墨水。由此，如圖13B所示，第一個噴嘴84將墨 水朝第一個圖案81排出。
接著，臺架繼續(xù)朝GanY方向移動，當第二個噴嘴85到達第二個圖案82 的上方時，控制裝置將信號發(fā)送給噴墨頭，以從第二個噴嘴85排出墨水。由 此，如圖13C所示，第二個噴嘴85將墨水朝第二個圖案82排出。
接著，臺架繼續(xù)朝GanY方向移動，當第三個噴嘴86到達第三個圖案83的上方時，控制裝置將信號發(fā)送給噴墨頭，以從第三個噴嘴86排出墨水。由
此，如圖13D所示，第三個噴嘴86將墨水朝第三個圖案83排出。
這樣，只要圖案的Y軸方向與臺架的移動方向(GanY方向)一致，并知道 圖案的X軸方向與臺架的延伸方向(GanX方向)的偏差角度，則只需修正排出時 刻就能對準確的位置排出液滴。
根據上述第一實施方式的基板處理裝置，在基板對準動作中，只需使第四 標記34相對于第三標記33的的方向與基板校準動作時存儲在控制裝置內的第 四標記34相對于第三標記33的的方向一致，并使第三標記33與第四標記34 的中點與基板校準動作時存儲在控制裝置內的第三標記33和第四標記34的位 置的中點一致，就能精密地確定基板10相對于基板載放臺的位置，針對同一 批中第二塊以后的基板IO，不用査看確定Y方向的第一和第二標記31、 32就 能準確地進行基板的對準。因此，與以往的對所有基板都要進行X方向和Y方 向的觀察的裝置相比，能特別快速地進行基板的對準。
另外，根據上述第一實施方式的基板處理裝置，在基板對準動作中，只需 計算出第三標記33與第四標記34的距離就能準確地計算出基板10的膨脹或 收縮的程度，因此能精密地進行基板的對準。
另外，上述第一實施方式的基板處理裝置在基板對準動作中，通過使第三 標記33和第四標記34的方向及中間點與在基板校準動作中存儲的第三標記33 和第四標記34的方向及中間點一致來進行基板的對準。不過，在本發(fā)明中， 在基板對準動作中也可通過使第一標記31和第二標記32的方向及中間點與在 基板校準動作中存儲的第一標記31和第二標記32的方向及中間點一致來進行 基板的對準。
另外，上述第一實施方式的基板處理裝置是在進行基板的對準后根據基板 的對準對基板排出墨水。不過，本發(fā)明的基板處理裝置也可以是在進行基板的 對準后，根據該基板的對準對基板使用激光或等離子來刮削基板上的期望部位 或者除去基板上的異物的裝置。
(第二實施方式)
圖14是進行基板41的校準動作過程中的第二實施方式的基板處理裝置的示意圖。圖15是表示進行基板41的對準動作過程中的第二實施方式的基板處
理裝置的示意圖。在圖14中省略了第一照相機76和第二照相機77的圖示。
第二實施方式的基板處理裝置與第一實施方式的基板處理裝置的不同之 處在于不是使用四個標記，而是使用基板41的三個標記、即第一標記51、 第二標記52和第三標記53來進行基板41的對準，以及在基板41的校準中使 用的照相機僅是移動照相機78等。
對第二實施方式的基板處理裝置中與第一實施方式的基板處理裝置的構 成部相同的構成部標注相同的符號標記并省略說明。另外，省略第二實施方式 的基板處理裝置的與第一實施方式的基板處理裝置共有的作用效果和變形例 的說明，僅對與第一實施方式的基板處理裝置不同的結構進行說明。
以下，依次說明第二實施方式的基板處理裝置的基板校準動作、基板對準 動作。
首先，像下面那樣進行基板校準動作。首先，用移動照相機78來觀察第 一標記51，并將觀察得到的圖像輸出給控制裝置(未圖示)，在控制裝置中存儲 第一標記51的位置。接著，使臺架42朝GanY方向移動，用移動照相機78來 觀察第二標記52，并將觀察得到的圖像輸出給控制裝置，在控制裝置中存儲第 二標記52的位置。
之后，使基板載放臺旋轉，以使將第一標記51與第二標記52連接的直線 的方向與臺架42的移動方向即GanY方向一致。
接著，用移動照相機78來觀察第三標記53，并將觀察得到的圖像輸出給 作為控制裝置的微機，在控制裝置的存儲部內存儲第三標記53的位置。之后， 根據第一標記51的位置與第三標記53的位置的相對距離的差值，計算出包含 基板41的正交度偏差和基板載放臺的正交度偏差兩者的偏差量。另外，還測 定第一標記51的位置與第三標記53的中點的位置、第一標記51的位置與第 三標記53間的距離，將其存儲在上述存儲部內。
此處，所謂基板41的正交度偏差，是指基板圖案的X方向與Y方向偏離 正交的偏差量，即是指在基板41的2維平面內多個墨水排出區(qū)域的排列的一 個方向與多個墨水排出區(qū)域的排列的另一個方向偏離正交的偏差量。另外，臺架42相對于基板載放臺以橫跨基板載放臺的一個方向的形態(tài)配
置，但臺架42的延伸方向不一定與該基板載放臺的一個方向一致。所謂基板 載放臺的正交度偏差，是指基板載放臺的另一個方向與臺架42的延伸方向偏 離正交的偏差量。
當然，基板41的正交度偏差對于用同一掩膜生成的基板、即同一批生成 的基板而言不變化。當然，基板載放臺的正交度偏差也不變化。 接著，像下面那樣進行基板對準動作。
通過移動臺架42，用固定在臺架42的規(guī)定位置上的第一照相機76對第 三標記53進行觀察，將觀察得到的圖像輸出給控制裝置，在控制裝置中存儲 第三標記53的位置。與此同時，用固定在臺架42的規(guī)定位置上的第二照相機 77對第一標記51進行觀察，將觀察得到的圖像輸出給控制裝置，在控制裝置 中存儲第一標記51的位置。
之后，旋轉和平行移動基板載放臺，以使第一標記51和第三標記53的方 向及中間點與在基板校準動作中存儲的第一標記51和第三標記53的方向及中 間點一致。這樣進行基板對準動作。另外，通過測定第一標記51與第三標記 53間的距離，與第一實施方式同樣地進行基板41的膨脹的修正。第二實施方 式也與第一實施方式一樣，與以往相比，能大幅度減少基板對準動作中基板載 放臺的移動量，高速地進行基板對準動作。另外，能準確地檢測基板41的膨 脹，能準確地進行每塊基板41的基板對準動作。
28
權利要求
1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括基板載放臺，該基板載放臺具有載放基板的載放面；處理部，該處理部對所述載放面上的所述基板進行處理；相對位置變動裝置，該相對位置變動裝置使所述載放面上的所述基板相對于所述處理部的相對位置變動；攝像部保持部件，該攝像部保持部件以能相對于所述載放面沿第一方向移動的形態(tài)安裝在所述基板載放臺上，且具有相對于所述載放面在所述載放面的法線方向上相對并沿第二方向延伸的相對部；攝像部，該攝像部安裝在所述相對部上，并能對在載放于所述載放面的所述基板上形成的第一標記、第二標記和第三標記進行攝像；存儲部，該存儲部能存儲所述基板上的所述第一標記的位置、所述基板上的所述第三標記的位置；控制裝置，該控制裝置進行第一控制、第二控制和第三控制，在所述第一控制中，所述控制裝置根據來自所述攝像部的信號，使所述相對位置變動裝置變動所述相對位置，以使將所述第一標記與所述第二標記連接的線的方向與所述第一方向一致，在所述第二控制中，所述控制裝置根據來自所述攝像部的信號，使在將所述第一標記與所述第二標記連接的線的方向與所述第一方向一致后的狀態(tài)下的所述第一標記與所述第三標記的位置存儲在所述存儲部中，在所述第三控制中，所述控制裝置根據來自對所述第一標記和所述第三標記的位置被所述存儲部存儲的所述基板以外的其它所述基板進行攝像的所述攝像部的信號，使所述相對位置變動裝置變動所述其它基板相對于所述處理部的相對位置，以使所述其它基板上將所述第一標記與所述第三標記連接的線的方向與根據所述存儲部中存儲的所述第一標記與所述第三標記的位置計算得到的將所述第一標記與所述第三標記連接的線的方向一致。
2. 如權利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述第三控制中，所述控制裝置使所述相對位置變動裝置變動所述其它基板相對于所述 處理部的相對位置，以使所述其它基板上將所述第一標記與所述第三標記 連接的線的中點與根據所述存儲部中存儲的所述第一標記和所述第三標記 的位置計算得到的將所述第一標記與所述第三標記連接的線的中點一致。
3. 如權利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，所述控制裝置計 算所述其它基板上的所述第一標記與所述第三標記間的距離和根據所述存 儲部中存儲的所述第一標記和所述第三標記的位置計算得到的所述第一標 記與所述第三標記間的距離的比值。
4. 如權利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，所述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的 第一照相機和第二照相機、以能相對于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動照相機，在所述第三控制中，所述控制裝置根據來自對所述其它基板的所述第 三標記進行攝像的所述第一照相機的信號、來自對所述其它基板的所述第 一標記進行攝像的所述第二照相機的信號，來確定將所述其它基板上的所 述第一標記與所述第三標記連接的線的方向。
5. 如權利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的第一照相機和第二照相機、以能相對于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動照相機，在所述第一控制中，所述控制裝置根據所述移動照相機攝像得到的所 述第一標記和所述第二標記的位置來確定將所述第一標記與所述第二標記 連接的線的方向，在所述第二控制中，所述控制裝置使所述移動照相機攝 像得到的所述第一標記和所述第二標記的位置存儲在所述存儲部中。
6. 如權利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述攝像部保 持部件上，將液滴朝基板排出的液滴排出部以相對于所述攝像部保持部件 能沿所述第二方向移動或不能沿所述第二方向移動的形態(tài)安裝。
7. —種基板處理裝置，其特征在于，包括基板載放臺，該基板載放臺具有載放基板的載放面；處理部，該處理部對所述載放面上的所述基板進行處理；相對位置變動裝置，該相對位置變動裝置使所述載放面上的所述基板 相對于所述處理部的相對位置變動；攝像部保持部件，該攝像部保持部件以能相對于所述載放面沿第一方 向移動的形態(tài)安裝在所述基板載放臺上，且具有相對于所述載放面在所述 載放面的法線方向上相對并沿第二方向延伸的相對部；攝像部，該攝像部安裝在所述相對部上，并能對在載放于所述載放面 的所述基板上形成的第一標記、第二標記、第三標記和第四標記進行攝像；存儲部，該存儲部能存儲所述基板上的所述第三標記的位置、所述基 板上的所述第四標記的位置；控制裝置，該控制裝置進行第一控制、第二控制和第三控制，在所述 第一控制中，所述控制裝置根據來自所述攝像部的信號，使所述相對位置 變動裝置變動所述相對位置，以使將所述第一標記與所述第二標記連接的 線的方向與所述第一方向一致，在所述第二控制中，所述控制裝置根據來 自所述攝像部的信號，使在將所述第一標記與所述第二標記連接的線的方 向與所述第一方向一致后的狀態(tài)下的所述第三標記與所述第四標記的位置 存儲在所述存儲部中，在所述第三控制中，所述控制裝置根據來自對所述 第三標記和所述第四標記的位置被所述存儲部存儲的所述基板以外的其它 所述基板進行攝像的所述攝像部的信號，使所述相對位置變動裝置變動所 述其它基板相對于所述處理部的相對位置，以使所述其它基板上將所述第 三標記與所述第四標記連接的線的方向與根據所述存儲部中存儲的所述第 三標記和所述第四標記的位置計算得到的將所述第三標記與所述第四標記 連接的線的方向一致。
8.如權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述第三控制 中，所述控制裝置使所述相對位置變動裝置變動所述其它基板相對于所述 處理部的相對位置，以使所述其它基板上將所述第三標記與所述第四標記 連接的線的中點與根據所述存儲部中存儲的所述第三標記和所述第四標記的位置計算得到的將所述第三標記與所述第四標記連接的線的中點一致。
9. 如權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，所述控制裝置計 算所述其它基板上的所述第三標記與所述第四標記間的距離和根據所述存 儲部中存儲的所述第三標記和所述第四標記的位置計算得到的所述第三標 記與所述第四標記間的距離的比值。
10. 如權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，所述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的 第一照相機和第二照相機、以能相對于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動照相機，在所述第三控制中，所述控制裝置根據來自對所述其它基板的所述第 四標記進行攝像的所述第一照相機的信號、來自對所述其它基板的所述第 三標記進行攝像的所述第二照相機的信號，來確定將所述其它基板上的所 述第三標記與所述第四標記連接的線的方向。
11. 如權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述攝像部具有以不能移動的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的第一照相機和第二照相機、以能相對于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動照相機，在所述第一控制中，所述控制裝置根據所述移動照相機攝像得到的所 述第一標記和所述第二標記的位置來確定將所述第一標記與所述第二標記 連接的線的方向，在所述第二控制中，所述控制裝置使所述移動照相機攝 像得到的所述第三標記和所述第四標記的位置存儲在所述存儲部中。
12. 如權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述攝像部保持部件上，將液滴朝基板排出的液滴排出部以相對于所述攝像部保持部 件能沿所述第二方向移動或不能沿所述第二方向移動的形態(tài)安裝。
13. —種基板處理方法，其特征在于，在基板載放臺的載放面上載放第一基板后，根據所述第一基板上的第 一標記和第二標記的位置，使將所述第一標記與所述第二標記連接的線的 方向與以能相對于所述載放面沿第一方向移動的形態(tài)安裝在所述基板載放臺上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的所述第一方向一致，使在將所述第一標記與所述第二標記連接的線的方向與所述第一方向 一致的狀態(tài)下的所述第一基板上的所述第一標記的位置和所述第三標記的 位置存儲在存儲部中，在所述基板載放臺的載放面上載放第二基板后，使將所述第二基板上 的第一標記與所述第三標記連接的線的方向與根據所述存儲部中存儲的所 述第一基板上的所述第一標記的位置和所述第三標記的位置計算得到的將 所述第一基板上的所述第一標記與所述第三標記連接的線的方向一致。
14. 如權利要求13所述的基板處理方法，其特征在于，在所述基板載 放臺的載放面上載放所述第二基板后，使將所述第二基板上的第一標記與 所述第三標記連接的線的中點與根據所述存儲部中存儲的所述第一基板上 的所述第一標記的位置和所述第三標記的位置計算得到的將所述第一基板 上的所述第一標記與所述第三標記連接的線的中點一致。
15. 如權利要求13所述的基板處理方法，其特征在于，計算所述第二基板上的所述第一標記與所述第三標記間的距離和根據所述存儲部中存儲 的所述第一基板上的所述第一標記的位置和所述第三標記的位置計算得到 的所述第一基板上的所述第一標記與所述第三標記間的距離的比值。
16. —種基板處理方法，其特征在于，在基板載放臺的載放面上載放第一基板后，根據所述第一基板上的第 一標記和第二標記的位置，使將所述第一標記與所述第二標記連接的線的 方向與以能相對于所述載放面沿第一方向移動的形態(tài)安裝在所述基板載放 臺上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的所述第一方向一致，使在將所述第一標記與所述第二標記連接的線的方向與所述第一方向 一致的狀態(tài)下的所述第一基板上的第三標記的位置和所述第四標記的位置 存儲在存儲部中，在所述基板載放臺的載放面上載放第二基板后，使將所述第二基板上 的第三標記與所述第四標記連接的線的方向與根據所述存儲部中存儲的所 述第一基板上的所述第三標記的位置和所述第四標記的位置計算得到的將所述第一基板上的所述第三標記與所述第四標記連接的線的方向一致。
17. 如權利要求16所述的基板處理方法，其特征在于，在所述基板載 放臺的載放面上載放所述第二基板后，使將所述第二基板上的第三標記與 所述第四標記連接的線的中點與根據所述存儲部中存儲的所述第一基板上 的所述第三標記的位置和所述第四標記的位置計算得到的將所述第一基板 上的所述第三標記與所述第四標記連接的線的中點一致。
18. 如權利要求16所述的基板處理方法，其特征在于，計算所述第二基板上的所述第三標記與所述第四標記間的距離和根據所述存儲部中存儲 的所述第一基板上的所述第三標記的位置和所述第四標記的位置計算得到 的所述第一基板上的所述第三標記與所述第四標記間的距離的比值。
全文摘要
本基板處理裝置根據載放在基板載放臺(1)的載放面上的第一基板的第一標記和第二標記的位置，使將第一標記與第二標記連接的線的方向與臺架(2)的能移動的方向一致，使在將第一標記與第二標記連接的線的方向與上述移動方向一致的狀態(tài)下的第一標記的位置和第三標記的位置存儲在存儲部中，在基板載放臺(1)的載放面上載放第二基板后，針對第二基板，使將第二基板上的第一標記與第三標記連接的線的方向與根據存儲部中存儲的信息計算得到的將第一基板上的第一標記與第二基板上的第三標記連接的線的方向一致。
文檔編號H01L21/68GK101584035SQ20078004960
公開日2009年11月18日 申請日期2007年12月4日 優(yōu)先權日2006年12月5日
發(fā)明者森井浩二郎 申請人:夏普株式會社