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      高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置的制作方法

      文檔序號(hào):6893154閱讀:162來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種浮動(dòng)裝置,尤其涉及一種高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置。
      背景技術(shù)
      IC(Integrated Circuit集成電路)組件于接受自動(dòng)化檢測(cè)機(jī)臺(tái)檢測(cè)過(guò)程 時(shí),通常受到負(fù)壓吸嘴的吸取而搬移,并被置放于自動(dòng)化檢測(cè)機(jī)臺(tái)的適當(dāng)位 置,于電性連接后進(jìn)行電性檢測(cè)或?qū)嵕硻z測(cè),藉由檢測(cè)過(guò)程判斷IC組件是否 良好,并自動(dòng)分類及剔退不良品。如圖1所示,目前常見(jiàn)IC組件12底部具 有復(fù)數(shù)接點(diǎn)122,下方對(duì)應(yīng)位置的治具10表面則安裝有連接器14,連接器14 朝IC組件12的頂側(cè)、設(shè)有對(duì)應(yīng)IC組件12接點(diǎn)122數(shù)量的端子142,藉由下 壓IC,迫使端子142稍有彈性形變,從而與接點(diǎn)122保持接觸。
      一方面,為確保IC組件接點(diǎn)122與端子142的良好電氣接觸,才能透過(guò) 連接器14與IC組件12提供電源、輸入電訊號(hào)及接收其輸出訊號(hào),因而必須 在檢測(cè)過(guò)程提供圖1中箭頭方向之下壓力至該IC;另一方面,隨接點(diǎn)數(shù)目逐 漸增多,眾多端子142的上方端部亦可能存在制造或安裝導(dǎo)致的公差,使得 各端子142頂部并非真實(shí)位于同一平面,若自動(dòng)化檢測(cè)機(jī)臺(tái)提供的穩(wěn)定壓力 不足,也可能導(dǎo)致其中部分端子142與對(duì)應(yīng)接點(diǎn)122接觸不良,從而無(wú)法正 確檢測(cè)待測(cè)IC組件12。
      如圖2-4所示,中國(guó)臺(tái)灣新型專利559333號(hào)「軸承式之浮動(dòng)裝置」揭露 一種類似結(jié)構(gòu),其軸承式浮動(dòng)裝置2于本體21內(nèi)置放環(huán)設(shè)有數(shù)排滾珠的Z向 保持器23, Z向保持器23內(nèi)置放有相鎖固的底板24、連接塊25與作動(dòng)塊27, 并于作動(dòng)塊27及底板24間置放具上、下層滾珠的平面保持器26,平面保持 器26并固設(shè)具數(shù)個(gè)彈簧及珠體的連結(jié)座29。該軸承式浮動(dòng)裝置2另于本體21上鎖固可供銜接氣壓管路的上蓋28,封 板22則鎖固于本體21下方;利用軸承式的浮動(dòng)設(shè)計(jì),以平面保持器26做X-Y-e的位移調(diào)整、并以Z向保持器23作縱向位移調(diào)整,下方結(jié)合吸頭后,似可 完成定位IC組件與提供壓力的功能。
      中國(guó)臺(tái)灣新型專利559333號(hào)提供的軸承式之浮動(dòng)裝置整體構(gòu)件繁多,且 需大量運(yùn)用滾珠與彈簧始能達(dá)成變位與復(fù)位的目的,因此,滾珠的真圓度直 接影響軸承式浮動(dòng)裝置2的效能,且軸承式浮動(dòng)裝置2中為配合滾珠的滾動(dòng), 需搭配潤(rùn)滑油脂使用,滾珠的潤(rùn)滑程度亦與作動(dòng)復(fù)位速度與準(zhǔn)確度成正相關(guān), 萬(wàn)一軸承式浮動(dòng)裝置2密封不良,將有油脂外漏之虞,受測(cè)的IC組件并無(wú)法 容許此種異物污染;而反復(fù)作動(dòng)狀態(tài)中,占有構(gòu)件數(shù)量眾多比例的滾珠為軸 承式浮動(dòng)裝置2壽命之關(guān)鍵。
      另一關(guān)鍵點(diǎn),IC組件效能需求日增、接點(diǎn)數(shù)量相對(duì)增多,當(dāng)IC組件具有 數(shù)百接點(diǎn)時(shí),浮動(dòng)裝置能否提供足夠壓力傳遞至IC組件,確保IC組件每一 接點(diǎn)與連接器端子的良好接觸更為重要課題。
      以圖3與圖4為例,依照壓力公式P(壓力)二F(正向作用力)/A(受力面
      積)即F二PXA,若供給軸承式浮動(dòng)裝置2的氣壓為定值P,則作動(dòng)塊27受力
      面積A愈大,軸承式浮動(dòng)裝置2所能提供的正向作用力F亦愈大。但于圖3
      與圖4中,作動(dòng)塊27受限于鄰近構(gòu)造,所形成圓形凹槽的直徑,尚不及上蓋
      28直徑的1/2,又因上蓋28的直徑亦受機(jī)臺(tái)構(gòu)造尺寸箝制更無(wú)法增大,作動(dòng)
      塊27所能提供的下壓力將因此大打折扣。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種有效設(shè)計(jì)受氣壓面尺寸、善用有 限定額供給氣壓,獲致最高作用力的高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置。本發(fā)明浮動(dòng) 裝置構(gòu)造精簡(jiǎn)、制造成本合宜,能大幅提升使用效率;另外,本發(fā)明浮動(dòng)裝置無(wú)須刻意提供潤(rùn)滑機(jī)制,更無(wú)污染待測(cè)IC組件顧慮;再有,本發(fā)明浮動(dòng)裝
      置故障率低,預(yù)期可降低維修延遲成本。
      為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提出的高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置,設(shè)置
      于具有預(yù)定尺寸基準(zhǔn)面的基座,且可隨基座與一個(gè)作用面相對(duì)移動(dòng),并接受
      來(lái)自供氣裝置的預(yù)定氣壓,其特征是,該浮動(dòng)裝置包含組裝于基座的中空
      殼體、與基準(zhǔn)面及中空殼體構(gòu)成氣室的活塞件、第一緩沖件、第二緩沖件,
      及位于第二緩沖件遠(yuǎn)離第一緩沖件側(cè)面、組裝至第一緩沖件的外蓋,其中
      中空殼體包括與基準(zhǔn)面相間隔且形成有穿孔的底壁,及延伸自該底壁并
      具有對(duì)應(yīng)基準(zhǔn)面預(yù)定尺寸的截面、且氣密接合于基準(zhǔn)面的環(huán)繞側(cè)壁;
      活塞件包括活塞本體和由活塞本體朝向遠(yuǎn)離基準(zhǔn)面、對(duì)應(yīng)中空殼體穿孔
      延伸的凸伸部,活塞本體位于基準(zhǔn)面與中空殼體之間、具有面向基準(zhǔn)面且面
      積對(duì)應(yīng)于環(huán)繞側(cè)壁截面的受氣壓面、并在遠(yuǎn)離基準(zhǔn)面的原始位置及接近基準(zhǔn)
      面的受壓位置之間而沿該兩位置的聯(lián)機(jī)軸向移動(dòng);
      第二緩沖件組裝于活塞件遠(yuǎn)離基座側(cè)、受活塞件凸伸部抵靠、并軸向固
      定至活塞件;
      第一緩沖件位于活塞件與第二緩沖件之間、并以沿著與軸向夾一角度的 側(cè)方向與第二緩沖件可相對(duì)移動(dòng)地結(jié)合至第二緩沖件。
      作為優(yōu)選技術(shù)方案,本發(fā)明上述基準(zhǔn)面最好為矩形,浮動(dòng)裝置最好進(jìn)一 步包含復(fù)數(shù)供固定至基準(zhǔn)面的固定件,且中空殼體的環(huán)繞側(cè)壁包括外徑對(duì)應(yīng) 基準(zhǔn)面矩形之較短側(cè)邊的圓形環(huán)繞側(cè)壁部,及延伸自圓形環(huán)繞側(cè)壁部、并在 對(duì)應(yīng)該基準(zhǔn)面大于該圓形環(huán)繞側(cè)壁部處形成有復(fù)數(shù)供固定件穿過(guò)的固定孔。
      作為另 一優(yōu)選技術(shù)方案,本發(fā)明上述外蓋最好包括對(duì)應(yīng)該作用面的承載 壁,及自該承載壁朝向基準(zhǔn)面延伸、遮蔽第一緩沖件及第二緩沖件的遮蔽側(cè) 壁。
      作為再一優(yōu)選技術(shù)方案,本發(fā)明上述第一緩沖件最好進(jìn)一步包括至少一顆供活塞件凸伸部可相對(duì)沿側(cè)方向位移抵靠的滾珠。
      作為又一優(yōu)選技術(shù)方案,本發(fā)明上述第一緩沖件為一片第一厚板,第二
      緩沖件為一片第二厚板;第一厚板及第二厚板分別形成有側(cè)向環(huán)繞溝槽;且 該浮動(dòng)裝置進(jìn)一步包括二個(gè)分別圈設(shè)于溝槽中的第一彈性回復(fù)件及第二彈性 回復(fù)件,及受第一彈性回復(fù)件及第二彈性回復(fù)件約束的復(fù)數(shù)擋止件,藉此約 束第一緩沖件與第二緩沖件的側(cè)方向相對(duì)移動(dòng)。
      由于浮動(dòng)頭外廓尺寸受到機(jī)臺(tái)本身形狀的限制,不容許無(wú)限制放大,本
      發(fā)明浮動(dòng)裝置藉由將活塞件的受氣壓面設(shè)計(jì)為最大,提供最大下壓能量;另
      外,第二緩沖件與活塞件的連結(jié)、第一緩沖件與外蓋的連結(jié)提供變位功能;
      第二彈性回復(fù)件、擋止件與第一彈性回復(fù)件可使變位后的各構(gòu)件關(guān)系迅速歸
      回原始位置,有效卻簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu),大幅提升現(xiàn)有產(chǎn)品性能。


      圖1是常見(jiàn)IC組件檢測(cè)環(huán)境的立體示意圖2是中國(guó)臺(tái)灣新型專利559333號(hào)中軸承式之浮動(dòng)裝置的爆炸圖3是圖2中軸承式之浮動(dòng)裝置的組裝剖視圖4是圖2中軸承式之浮動(dòng)裝置的另一組裝剖視圖5是本發(fā)明第一實(shí)施例的組裝局部剖視圖6是本發(fā)明第一實(shí)施例的立體分解圖7是本發(fā)明第二實(shí)施例的立體分解圖。
      其中IO為治具;12為IC組件;122為接點(diǎn);14為連接器;142為端子;
      2為軸承式浮動(dòng)裝置;21為本體;22為封板;23為Z向保持器;24為底板; 25為連接塊;26為平面保持器;27為作動(dòng)塊;28為上蓋;29為連結(jié)座;3、 3'為氣壓式浮動(dòng)裝置;42為基座;422為基準(zhǔn)面;44為作用面;5、 5'為殼 體;52為底壁;522為穿孔;54為環(huán)繞側(cè)壁;542為圓形環(huán)繞側(cè)壁部;544為 固定孔;546為固定件;55為氣室;6、 6,為活塞件;62為活塞本體;622為受氣壓面;64為凸伸部;7、 7'為第二厚板;74、 84為環(huán)繞溝槽;76、 86 為彈簧;8、 8'為第一厚板;85為擋止件;9、 9'為外蓋;92為承載壁;94 為遮蔽側(cè)壁;96為滾珠。
      具體實(shí)施例方式
      下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明。這些實(shí)施例應(yīng)理解為 僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。在閱讀了本發(fā)明記載的 內(nèi)容之后,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明作各種改動(dòng)或修改,這些等效變化 和修飾同樣落入本發(fā)明權(quán)利要求所限定的范圍。
      如圖5-6所示,本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的氣壓式浮動(dòng)裝置3設(shè)置于基座 42,為說(shuō)明起見(jiàn),將基座42供浮動(dòng)裝置3設(shè)置的表面稱為基準(zhǔn)面422,且氣 壓式浮動(dòng)裝置3可隨基座42與作用面44相對(duì)移動(dòng),使氣壓式浮動(dòng)裝置3架 構(gòu)并使用于如現(xiàn)有技術(shù)所述的領(lǐng)域但不在此限;本實(shí)施例更藉供氣裝置(圖未 示)提供氣壓,轉(zhuǎn)換所需的下壓力。
      氣壓式浮動(dòng)裝置3包含組裝于基座42的中空殼體5、與基準(zhǔn)面422及中 空殼體5構(gòu)成氣室55的活塞件6、第一緩沖件與第二緩沖件,本實(shí)施例中第 一緩沖件與第二緩沖件分別為第一厚板8與第二厚板7;氣壓式浮動(dòng)裝置3更 包含位于第二厚板7遠(yuǎn)離第一厚版8側(cè)面、組裝至第一厚板8的外蓋9。
      中空殼體5由兩部分組成,分別為與基準(zhǔn)面422間隔且形成有穿孔522 的底壁52、與延伸自底壁52且氣密接合于基準(zhǔn)面422的環(huán)繞側(cè)壁54;活塞 件6則包括于可沿圖面方向Y軸做軸向運(yùn)動(dòng)的活塞本體62、與位于活塞本體 62相對(duì)于基準(zhǔn)面422另一側(cè)、穿越前述穿孔522的凸伸部64。
      續(xù)說(shuō)明環(huán)繞側(cè)壁54的結(jié)構(gòu),例如基準(zhǔn)面422為矩形時(shí),氣壓式浮動(dòng)裝置 3藉復(fù)數(shù)固定件546將中空殼體5固定至基準(zhǔn)面422,中空殼體5的環(huán)繞側(cè)壁 54則包括外徑對(duì)應(yīng)基準(zhǔn)面422矩形最短側(cè)邊的圓形環(huán)繞側(cè)壁部542、及延伸自圓形環(huán)繞側(cè)壁部542,且對(duì)應(yīng)基準(zhǔn)面422大于圓形環(huán)繞側(cè)壁部542形成的復(fù) 數(shù)固定孔544,前述固定件546即穿過(guò)固定孔544與基座42結(jié)合。
      藉由面向基準(zhǔn)面422的受氣壓面622,當(dāng)供氣裝置開(kāi)始提供氣壓,例如一 預(yù)定壓力的正壓,氣室55內(nèi)將充滿該氣壓的氣體,受氣壓面622亦以該正壓 外推活塞件6及連動(dòng)外蓋9。
      外蓋9包括對(duì)應(yīng)作用面44的承載壁92、及自承載壁92朝向基準(zhǔn)面422 延伸、遮蔽第一厚板8及第二厚板7的遮蔽側(cè)壁94。藉此提供氣壓式浮動(dòng)裝 置3下壓至作用面44的接口,并提供適當(dāng)保護(hù)予內(nèi)部包容的相關(guān)構(gòu)件,例如 第一厚板8及第二厚板7。圖中可見(jiàn),本實(shí)施例善用配置、刻意規(guī)劃受氣壓面 622達(dá)到可能的最大面積,如此便能利用供氣裝置提供的氣壓,忠實(shí)傳遞壓力, 發(fā)明人進(jìn)行相關(guān)樣品與實(shí)驗(yàn)中,實(shí)測(cè)提供壓力值可達(dá)64KG/CM2,而現(xiàn)有技術(shù) 中常見(jiàn)浮動(dòng)裝置結(jié)構(gòu)所能提供的壓力僅30KG/CM2,顯然,本實(shí)施例更能因應(yīng) 多腳位的組件按壓。
      當(dāng)然,氣壓式浮動(dòng)裝置3不僅提供單軸向的下壓力,第一厚板8具有與 活塞件6的凸伸部64之間,使兩者可相對(duì)順暢于圖面方向X軸運(yùn)動(dòng)的滾珠96。 為使氣壓式浮動(dòng)裝置3能于變位后迅速確實(shí)復(fù)位,第一厚板8與第二厚板7 周緣均形成有側(cè)向環(huán)繞溝槽74、 84,環(huán)繞溝槽74、 84供分別環(huán)設(shè)第一及第二 彈性回復(fù)件用。
      本實(shí)施例中,第一及第二回復(fù)件為圈狀之彈簧76、 86,且氣壓式浮動(dòng)裝 置3更設(shè)置受兩彈簧約束的復(fù)數(shù)擋止件85,藉此配置約束兩彈簧76、 86的側(cè) 向移動(dòng)。如此架構(gòu)下,活塞件6與第二厚板7結(jié)合、外蓋9與第一厚板8結(jié) 合,并配合兩組彈簧,即可提供外蓋9對(duì)應(yīng)活塞件6的移動(dòng)與復(fù)位。
      相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的浮動(dòng)裝置,上述第一較佳實(shí)施例顯見(jiàn)已大幅改善,若 利用現(xiàn)有技術(shù)的架構(gòu)并采納本發(fā)明的原理,將現(xiàn)有技術(shù)中常見(jiàn)的浮動(dòng)裝置現(xiàn)有架構(gòu)改良為具有本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)的浮動(dòng)裝置亦無(wú)不可,除可樽節(jié)物料,更可使
      浮動(dòng)裝置提供更大的下壓力,如圖7所示,本發(fā)明第二較佳實(shí)施例提供的氣 壓式浮動(dòng)裝置3'包括中空殼體5'、活塞件6'、第二厚板7'、第一厚板8' 與外蓋9',藉由第二厚板7'與第一厚板8'之配置,提供氣壓式浮動(dòng)裝置 3'良好的變位與復(fù)位機(jī)能,其余大致結(jié)構(gòu)與第一較佳實(shí)施例相仿,不再贅述。 依照上述各實(shí)施例說(shuō)明,本發(fā)明高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置提供最大可能 的受氣壓面,自然利用預(yù)定氣壓供給進(jìn)而創(chuàng)造最大壓力,各緩沖件與彈性回 復(fù)件則確保浮動(dòng)裝置變位與復(fù)位的預(yù)期效能,精簡(jiǎn)的構(gòu)件配置無(wú)須刻意保養(yǎng), 完全克服現(xiàn)有技術(shù)中可能發(fā)生的缺失,因此藉由本發(fā)明確實(shí)可以有效解決本 發(fā)明提出的技術(shù)問(wèn)題。
      權(quán)利要求
      1.一種高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置,設(shè)置于具有預(yù)定尺寸基準(zhǔn)面的基座,且可隨基座與一個(gè)作用面相對(duì)移動(dòng),并接受來(lái)自供氣裝置的預(yù)定氣壓,其特征是,該浮動(dòng)裝置包含組裝于基座的中空殼體、與基準(zhǔn)面及中空殼體構(gòu)成氣室的活塞件、第一緩沖件、第二緩沖件,及位于第二緩沖件遠(yuǎn)離第一緩沖件側(cè)面、組裝至第一緩沖件的外蓋,其中中空殼體包括與基準(zhǔn)面相間隔且形成有穿孔的底壁,及延伸自該底壁并具有對(duì)應(yīng)基準(zhǔn)面預(yù)定尺寸的截面、且氣密接合于基準(zhǔn)面的環(huán)繞側(cè)壁;活塞件包括活塞本體和由活塞本體朝向遠(yuǎn)離基準(zhǔn)面、對(duì)應(yīng)中空殼體穿孔延伸的凸伸部,活塞本體位于基準(zhǔn)面與中空殼體之間、具有面向基準(zhǔn)面且面積對(duì)應(yīng)于環(huán)繞側(cè)壁截面的受氣壓面、并在遠(yuǎn)離基準(zhǔn)面的原始位置及接近基準(zhǔn)面的受壓位置之間而沿該兩位置的聯(lián)機(jī)軸向移動(dòng);第二緩沖件組裝于活塞件遠(yuǎn)離基座側(cè)、受活塞件凸伸部抵靠、并軸向固定至活塞件;第一緩沖件位于活塞件與第二緩沖件之間、并以沿著與軸向夾一角度的側(cè)方向與第二緩沖件可相對(duì)移動(dòng)地結(jié)合至第二緩沖件。
      2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,基準(zhǔn)面為矩形,浮動(dòng)裝 置還包含復(fù)數(shù)供固定至基準(zhǔn)面的固定件,且中空殼體的環(huán)繞側(cè)壁包括外徑對(duì) 應(yīng)基準(zhǔn)面矩形之較短側(cè)邊的圓形環(huán)繞側(cè)壁部,及延伸自圓形環(huán)繞側(cè)壁部、并 在對(duì)應(yīng)該基準(zhǔn)面大于該圓形環(huán)繞側(cè)壁部處形成有復(fù)數(shù)供固定件穿過(guò)的固定 孔。
      3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,該外蓋包括對(duì)應(yīng)該 作用面的承載壁,及自該承載壁朝向基準(zhǔn)面延伸、遮蔽第一緩沖件及第二緩 沖件的遮蔽側(cè)壁。
      4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,第一緩沖件還包括至少一顆供活塞件凸伸部可相對(duì)沿側(cè)方向位移抵靠的滾珠。
      5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,第一緩沖件還包括至少一顆供活塞件凸伸部可相對(duì)沿側(cè)方向位移抵靠的滾珠。
      6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,第一緩沖件為一片 第一厚板,第二緩沖件為一片第二厚板。
      7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,第一緩沖件為一片第一 厚板,第二緩沖件為一片第二厚板。
      8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,第一厚板及第二厚板分 別形成有側(cè)向環(huán)繞溝槽;且該浮動(dòng)裝置還包括二個(gè)分別圈設(shè)于溝槽中的第一 彈性回復(fù)件及第二彈性回復(fù)件,及受第一彈性回復(fù)件及第二彈性回復(fù)件約束 的復(fù)數(shù)擋止件,藉此約束第一緩沖件與第二緩沖件的側(cè)方向相對(duì)移動(dòng)。
      9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的浮動(dòng)裝置,其特征是,第一厚板及第二厚板分 別形成有側(cè)向環(huán)繞溝槽;且該浮動(dòng)裝置還包括二個(gè)分別圈設(shè)于溝槽中的第一 彈性回復(fù)件及第二彈性回復(fù)件,及受第一彈性回復(fù)件及第二彈性回復(fù)件約束 的復(fù)數(shù)擋止件,藉此約束第一緩沖件與第二緩沖件的側(cè)方向相對(duì)移動(dòng)。
      全文摘要
      本發(fā)明公開(kāi)了一種高總壓力氣壓式浮動(dòng)裝置,設(shè)置于具有預(yù)定尺寸基準(zhǔn)面的基座,且可隨基座與一個(gè)作用面相對(duì)移動(dòng),并接受來(lái)自供氣裝置的預(yù)定氣壓,該浮動(dòng)裝置包含組裝于基座的中空殼體、與基準(zhǔn)面及中空殼體構(gòu)成氣室的活塞件、第一緩沖件、第二緩沖件,及位于第二緩沖件遠(yuǎn)離第一緩沖件側(cè)面、組裝至第一緩沖件的外蓋。本發(fā)明浮動(dòng)裝置藉由將活塞件的受氣壓面設(shè)計(jì)為最大,提供最大下壓能量;另外,第二緩沖件與活塞件的連結(jié)、第一緩沖件與外蓋的連結(jié)提供變位功能;第二彈性回復(fù)件、擋止件與第一彈性回復(fù)件可使變位后的各構(gòu)件關(guān)系迅速歸回原始位置,有效卻簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu),大幅提升現(xiàn)有產(chǎn)品性能。
      文檔編號(hào)H01L21/00GK101651083SQ20081004370
      公開(kāi)日2010年2月17日 申請(qǐng)日期2008年8月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月12日
      發(fā)明者高宏典 申請(qǐng)人:中茂電子(深圳)有限公司
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