專利名稱：顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及其中提高了輸入靈敏度以有效檢測用戶觸摸的輸入坐標(biāo)值的顯示面板。
背景技術(shù)：
觸摸屏面板是當(dāng)用戶觸摸屏幕時(shí)輸入信息的信息輸入裝置。觸摸屏面板安裝在顯示裝置的圖像顯示表面，例如液晶顯示器(LCD)裝置、場致發(fā)射顯示器(FED)裝置、等離子顯示屏(PDP)裝置以及電致發(fā)光(ELD)裝置。
觸摸屏面板大體分為電容性觸摸屏面板和電阻性觸摸屏面板。電容性觸摸屏面板具有一層透明導(dǎo)電膜或用于存儲電子電荷的玻璃。當(dāng)例如鐵筆觸摸到觸摸屏面板時(shí)， 一小部分電荷被引到鐵筆和透明導(dǎo)電膜之間的接觸點(diǎn)。把在接觸點(diǎn)檢測到的電荷量轉(zhuǎn)換成坐標(biāo)值。在電阻性觸摸屏面板中，如果用戶觸摸在在兩個(gè)反極性導(dǎo)電層施加了電壓的狀態(tài)中的屏幕，兩個(gè)導(dǎo)電層接觸而在接觸點(diǎn)的電壓或電流發(fā)生變化。檢測電壓或電流的變化并將其轉(zhuǎn)換成坐標(biāo)值。
在電容性觸摸屏面板的情況下，要向鐵筆提供電流。由于這個(gè)原因，通常使用模擬輸入方法的電阻性觸摸屏面板，和LCD面板集成制作?？梢栽贚CD面板內(nèi)部形成電阻性觸摸屏面板以防止LCD面板的亮度下降。
在具有集成的觸摸屏面板LCD面板中，在薄膜晶體管(TFT)陣列基底中以矩陣形式形成第一讀出線和第二讀出線，從而能夠檢測到代表水平接觸點(diǎn)的第一坐標(biāo)值以及代表垂直接觸點(diǎn)的第二坐標(biāo)值。在濾色器陣列基底中還形成了和第一以及第二觸摸讀出線相接觸的觸摸隔板。在具
有集成的觸摸屏面板的傳統(tǒng)LCD面板的情況下，有個(gè)問題是由于當(dāng)觸摸隔板和薄膜晶體管陣列基底相接觸時(shí)觸摸靈敏度較低，經(jīng)常導(dǎo)致檢測錯(cuò)誤。如今隨著點(diǎn)拖動、畫線、寫字以及部分屏幕繪畫等等技術(shù)的實(shí)現(xiàn)，觸摸輸入動作變得更復(fù)雜了。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的方面提供通過制作讀出電極凹面表面提高其輸入靈敏度的顯示面板。用該改進(jìn)的顯示面板結(jié)構(gòu)可以容易地檢測到不同的觸摸動作。
在示例性實(shí)施例中，本發(fā)明提供一種顯示面板，包括具有讀出電極的第一基底、具有觸摸隔板的第二基底、支撐第一和第二基底的列隔板以及在第一和第二基底之間插入的液晶層，其中面對觸摸隔板的讀出電極具有凹面。
觸摸隔板具有導(dǎo)電材料，并且還具有透明導(dǎo)電材料。
顯示面板還包括讀出電極上的第一對齊層、觸摸隔板上的第二對齊層，并且當(dāng)所述對齊層越靠近所述第一基底時(shí)，所述觸摸隔板上的所述第二對齊層變得越薄。
在另一個(gè)示例性實(shí)施例中，本發(fā)明提供具有讀出電極的第一基底、具有觸摸隔板的第二基底、支撐第一和第二基底的列隔板、在第一和第二基底之間插入的液晶層，以及面對觸摸隔板讀出電極具有凹面和讀出電極的側(cè)壁是傾斜的。
在另一個(gè)示例性實(shí)施例中，本發(fā)明提供具有讀出電極和用于驅(qū)動像素的薄膜晶體管的第一基底、具有黑矩陣層和面對讀出電極的觸摸隔板
的第二基底、支撐第一和第二基底的列隔板以及在第一和第二基底之間
插入的液晶層，其中讀出電極具有凹面。
觸摸隔板具有導(dǎo)電材料，以及還具有透明導(dǎo)電材料。顯示面板還包括讀出電極上的第一對齊層、觸摸隔板上的第二對齊
層，其中所述對齊層越靠近所述第二基底時(shí)，所述觸摸隔板上的第二對
齊層變得越薄。薄膜晶體管包括柵電極、柵電極上的柵極絕緣層、柵極絕緣層上的有源層、有源層上的歐姆接觸層、歐姆接觸層上的源極電極和漏極電極、具有接觸孔的鈍化膜以及通過接觸孔與漏極電極相接觸的像素電極，其中像素電極和讀出電極在同一層由具有實(shí)質(zhì)上相同的材料構(gòu)成。
鈍化膜具有在讀出電極下的凹面。
顯示面板還包括和讀出電極電氣上相連接的第一讀出線和第二讀出線，并且至少第一讀出線、第二讀出線、柵極絕緣層或鈍化膜其中之一構(gòu)成讀出電極的凹面。
在另一個(gè)示例性實(shí)施例中，本發(fā)明提供制造顯示面板的方法，包括在上基底上形成觸摸隔板、在下基底上形成讀出電極、形成支撐上下基底的列隔板，以及在所述上下基底之間插入液晶層，其中面對觸摸隔板的讀出電極具有凹面。
觸摸隔板具有導(dǎo)電材料或透明導(dǎo)電材料。
制造顯示面板的方法還包括在讀出電極上形成第一對齊層以及在觸摸隔板上形成第二對齊層，其中所述對齊層越靠近所述下基底時(shí)，所述觸摸隔板上的所述第二對齊層變得越薄。
讀出電極的側(cè)壁是傾斜的。
根據(jù)以下結(jié)合附圖對本發(fā)明非限制實(shí)施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的以上和/或其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，其中
圖1是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分的截面圖2是根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的顯示面板的平面圖；圖3是沿著圖2中直線I-1'的截面圖4是沿著圖2中直線n-n'的截面圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分的截面圖6是示出了根據(jù)本發(fā)明第三示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分的截面7圖7是示出了根據(jù)本發(fā)明第四示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分的截面圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考附圖對本發(fā)明的實(shí)施例提供詳細(xì)描述，其范例在附圖中說明。然而可以以多種形式實(shí)施本發(fā)明，而不應(yīng)限制于這里的實(shí)施例。另外對本領(lǐng)域技術(shù)人員，提供這些實(shí)施例以使本發(fā)明更徹底和完整，并將完全說明本發(fā)明的精神。在附圖中，為了清楚而夸大了層和區(qū)的尺寸和相對尺寸。
應(yīng)當(dāng)理解當(dāng)把元件或?qū)臃Q為是在另一個(gè)元件或曾"上面和"與其相連接〃或〃與其相連接"時(shí)，它可以是直接在另一個(gè)元件或?qū)由?、或和另一個(gè)元件或?qū)酉噙B接，或者也可以有插入的元件或?qū)?。與之相對照，當(dāng)把元件稱為是"直接在其上"和"直接與其相連接"或"直接與其相連接"到另一個(gè)元件或?qū)訒r(shí)，則沒有插入的元件或?qū)?。貫穿全文用相同的?shù)字表示相同的元件。如在這里使用的，術(shù)語"和/或"包括任何和所有一個(gè)或多個(gè)相關(guān)列出項(xiàng)目的結(jié)合。
例如"下面"、"下邊"、"下部"、"上面"、"上部"等這類的空間相關(guān)術(shù)語這里可以用于簡化一個(gè)元件或零件相對于另一個(gè)元件或零件的描述，如圖所示。應(yīng)該理解的是這些空間相關(guān)術(shù)語傾向于在使用或操作時(shí)包括除了圖中所示朝向之外的不同器件朝向。例如，如果將圖中的器件翻轉(zhuǎn)，描述為在其他元件或零件的"下面"或"下部"的元件將相對于其他元件或零件朝向?yàn)?上面"或"上部"。因此，典型術(shù)語"下面"可以包含上面和下面兩種朝向。。所述器件可以另外朝向(旋轉(zhuǎn)90°或其他朝向)，并且因此解釋了這里使用的空間相對關(guān)系。T這里的所使用的使用僅用于描述特定實(shí)施例的密度，并非傾向于限制本發(fā)明。如這里所使用的，單數(shù)形式的也包括多個(gè)器件等，除非清楚地表示。還應(yīng)該理解的是當(dāng)在該說明書中使用時(shí)，術(shù)語"包括"規(guī)定了所聲明的零件、整體、步驟、操作、元件和/或部件的存在，但是不排除一個(gè)或更多其他零件、整體、步驟、操作元件、部件和/或其分組的存在。除非另有聲明，這里所使用的全部術(shù)語(包括技術(shù)性和科學(xué)術(shù)語)具有如本發(fā)明所述領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所一般理解的相同意思。還應(yīng)該理解的是，例如在字典中普通定義的術(shù)語應(yīng)該解釋為具有與其在相關(guān)領(lǐng)域的語境中相一致的意思，并且不應(yīng)該解釋為理想化或過度正式的意思。下面參考附圖對本發(fā)明提供詳細(xì)描述。
圖1是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分的截面圖。
參考圖l，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的顯示面板包括上基底ll、下
基底12、列隔板13以及在上基底11和下基底12之間插入的液晶層17。觸摸隔板14位于上基底上。觸摸隔板14可以具有例如導(dǎo)電聚合物的導(dǎo)電材料。觸摸隔板14可以由幾個(gè)層組成，例如有機(jī)隔板上的ITO(氧化銦錫)層或者無機(jī)懸臂上的IZO(氧化銦鋅)層等等。雖然圖l未示出任何連接的電子電路或?qū)Ь€，導(dǎo)電觸摸隔板14是和電路電連接的。在下基底12上形成讀出電極16。讀出電極可以是透明導(dǎo)電材料。讀出電極16面對上基底11上的觸摸隔板14。在阱結(jié)構(gòu)15上讀出電極16具有凹入的上表面?？梢允褂糜脽o機(jī)或有機(jī)材料的光刻方法形成阱結(jié)構(gòu)15。雖然圖1未示出任何連接的電子電路，導(dǎo)電讀出電極16是和電路電連接的。
當(dāng)向上基底ll輸入觸摸動作時(shí)，觸摸隔板14和下基底12上的讀出電極16相接觸。因?yàn)樽x出電極16具有凹面，觸摸隔板14可以在三維方向上和讀出電極16相接觸。當(dāng)用戶簡單地觸摸上基底ll來進(jìn)行顯示器上按鍵的活動時(shí)，觸摸隔板14沿z-方向移動，并且觸摸隔板14在讀出電極16b的底部遇到讀出電極16。但是當(dāng)用戶拖動一些點(diǎn)或畫圖時(shí)，接觸事件包括x、 y或z方向的移動，而觸摸隔板14可以沿x、 y和z方向向下移動。具有凹面的讀出電極16產(chǎn)生更多和觸摸隔板相接觸的機(jī)會。因?yàn)樽x出電極具有凹面，觸摸隔板在x和y方向具有更多接觸點(diǎn)。觸摸隔板14可以接觸到讀出電極16的側(cè)壁。
即使沒有拖動或繪畫觸摸事件，例如只有z-方向觸摸輸入到裝置，凹面讀出電極16具有諸如讀出電極側(cè)壁的更多接觸點(diǎn)，所以提高了裝置的靈敏度。當(dāng)輸入觸摸事件時(shí)，讀出電極16的電流或電壓變化，并且把該變化傳遞到驅(qū)動電路。
這里，上基底11和下基底12可以由透明材料制作，例如玻璃、PET膜或石英等等。可以通過鍍膜和光刻用有機(jī)材料形成列隔板13?？梢酝ㄟ^濺射方法用球形隔離形成列隔板13。觸摸隔板14比列隔板13具有更小的高度。可以通過化學(xué)氣相沉積、濺射沉積或蒸發(fā)方法等等用SiNx、 Si0x或其它無機(jī)材料形成阱結(jié)構(gòu)15。為了制作如圖1所示的阱結(jié)構(gòu)可以用狹縫掩?；蚧叶妊谀＿M(jìn)行光刻。雖然在圖1中讀出電極層16通過更低的阱結(jié)構(gòu)15具有凹面，讀出電極16可以用光刻或金屬印記等等具有其自身具有凹面的阱結(jié)構(gòu)。
〈實(shí)施例1〉
圖2是根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的顯示面板的平面圖。顯示面板包括在圖2中排列成矩陣的像素。和柵極線210以及數(shù)據(jù)線
240電連接的薄膜晶體管(以下稱為TFT)驅(qū)動像素。像素電極260和TFT電
連接。和柵極線210相連接的柵極電極211具有通過柵極線210導(dǎo)通和截止
信號的柵極。和數(shù)據(jù)線240相連接的源極電極241向遠(yuǎn)離源極電極241的漏
極電極243發(fā)射信號。在柵極電極211和源極電極241之間是半導(dǎo)體211。
像素電極260通過接觸孔25 l和漏極電極243電連接。
顯示面板具有用于檢測用戶觸摸的讀出部分400。和柵極線210平行的第一讀出線215以及和數(shù)據(jù)線245平行的第二讀出線245位于像素電極260附近。讀出電極包括分別和讀出線215、245電連接的第一讀出電極270和第二讀出電極280。如圖1所示，觸摸隔板位于讀出電極270和280對面。當(dāng)用戶觸摸顯示面板時(shí)，觸摸隔板可以和讀出電極270和280相接觸。通過第一和第二讀出線215和245發(fā)射源于觸摸的讀出電極270、 280的電壓或電流變化。
圖3是沿著圖2中直線I-r的截面圖。
顯示面板包括具有其間插入的液晶層300的第一基底100和第二基底200。第一基底100包括用于防止漏光的黑矩陣110、用于實(shí)現(xiàn)彩色圖像的 濾色器層120、用于減弱在黑矩陣110和濾色器層120之間階躍差的保護(hù)層 130、以及用于向液晶層提供公共電壓的公共電極150，在上基底101上依 次形成。第一基底100還可以包括公共電極150上的對齊層(未畫出)。
上基底101可以由例如塑料的透明絕緣材料制成，以便當(dāng)用戶觸摸 其表面時(shí)可以流暢的推動。上基底101可以由例如玻璃的透明絕緣材料制 成。
防止背光(未畫出)泄漏的黑矩陣110形成為與TFT重合。黑矩陣IIO
由不透明有機(jī)材料或不透明金屬制成。
濾色器層120包括紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)濾色器來產(chǎn)生各種顏 色。紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)濾色器通過用其分別包括的紅色、綠色 和藍(lán)色色素吸收和透過特定波長的光來產(chǎn)生紅色、綠色和藍(lán)色。此時(shí)， 用通過紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)濾色器的紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)
光的其它顏色組合可以實(shí)現(xiàn)各種顏色。
保護(hù)層130由透明有機(jī)材料制成來用于公共電極150階梯覆蓋和絕
緣。保護(hù)層130用于保護(hù)濾色器層120和黑矩陣110。
在保護(hù)層130上形成公共電極150。公共電極150由例如氧化銦錫 (IT0)或氧化銦鋅(IZ0)的透明導(dǎo)電金屬制成。公共電極150形成用于和像 素電極260—起通過向液晶層施加公共電壓而像素電極260向液晶層施加
像素電壓來驅(qū)動液晶層的電場。
第二基底200包括TFT和在下基底201上形成的像素電極260。 在下基底201上形成柵極電極211。柵極電極211可以具有鉬(Mo)、 鈮(Nb)、銅(Cu)、鋁(A1)、鉻(Cr)、銀(Ag)、鎢(W)、鈦(Ti)或其合金的 單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。源極電極和漏極電極241、 243可以具有Mo、 Nb、 Cu、 Al、 Cr、 Ag、鈦(Ti)或其合金的單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。
TFT響應(yīng)從柵極線210(圖2中)發(fā)射來的柵極信號，執(zhí)行開關(guān)操作， 以使數(shù)據(jù)線240的像素電壓信號充電并保持在像素電極260中。為此目的， TFT包括從柵極線210 (圖2中)伸出的柵極電極211 、從數(shù)據(jù)線240伸出的源 極電極241、以及遠(yuǎn)離源極電極241并和像素電極260電連接的漏極電極243。
TFT還包括柵極絕緣層220和半導(dǎo)體層230。在下基底201的表面形成 柵極絕緣層220以覆蓋柵極電極211。在柵極電極211上的柵極絕緣層220 的一部分上形成半導(dǎo)體層230從而在源極電極241和漏極電極243之間形 成溝道。
半導(dǎo)體層230包括有源層231和歐姆接觸層233。在源極電極241和漏 極電極243之間形成有源層231來產(chǎn)生溝道和柵極電極211重疊。在有源層 231上形成歐姆接觸層233用于和源極電極和漏極電極241和243的歐姆接 觸。
第二基底200還包括在下基底201的表面上形成的鈍化膜250。鈍化 膜250由例如氮化硅(SiNx)或氧化硅(SiOx)的無機(jī)絕緣材料，或者例如丙 烯酸、聚酰亞胺或苯并環(huán)丁烯(BCB)等等的有機(jī)絕緣材料制成。鈍化膜250
可以具有由有機(jī)絕緣材料或/和無機(jī)絕緣材料制成的單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié) 構(gòu)。形成鈍化膜250來覆蓋TFT和柵極絕緣層220，從而將TFT與所述像素
電極260絕緣。
鈍化膜250具有曝露了一部分漏極電極243的第一接觸孔251。通過 用光刻處理刻蝕對應(yīng)的部分鈍化膜250形成第一接觸孔251。
在鈍化膜250上形成像素電極260。像素電極260和TFT的漏極電極 243通過第一接觸孔251電連接。像素電極260由例如IT0、 IZO、氧化銦錫 鋅(ITZO)或氧化錫(TO)的透明導(dǎo)電材料制成。
第一基底200還包括像素電極260上的對齊層(未畫出)。
圖4是沿著圖2中直線II-II'的截面圖。
第一基底100包括在保護(hù)層130上形成的觸摸隔板141。在保護(hù)層130 上形成觸摸隔板140的懸臂，并用公共電極150覆蓋觸摸隔板140的懸臂。 也就是說，觸摸隔板141包括觸摸隔板140的懸臂和公共電極150。觸摸隔 板141具有預(yù)定高度即凸起外形，以便當(dāng)用戶手指或鐵筆觸摸到上基底 101表面時(shí)，公共電極150接觸第二基底的第一和第二讀出電極270和280。 在觸摸隔板141和第一和第二讀出電極270和280之間保持預(yù)定間隙直到 用戶觸摸上基底101的表面。另外，當(dāng)用戶觸摸上基底101的表面時(shí)，觸
12摸隔板141具有和第一和第二讀出電極270和280相接觸的公共電極150以 便檢測接觸點(diǎn)。在本發(fā)明的這個(gè)實(shí)施例中，觸摸隔板141的高度小于在第 一基底和第二基底(圖l所示)之間保持單元間隙的列隔板。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，觸摸隔板140的懸臂可以由導(dǎo)電材料制 成，以便當(dāng)公共電極150遭到破壞時(shí)，能在公共電極150和第一和第二讀 出電極270和280之間施加電壓或電流。此夕卜，觸摸隔板141自身不包括公 共電極150可以由導(dǎo)電材料制成。
第二基底包括第一讀出線215、第二讀出線245以及在下基底201上 形成的第一和第二讀出電極270和280。
第一讀出線215可以在和柵極線210(圖2中)同一層由同樣的材料制 成。第二讀出線245在和數(shù)據(jù)線240(圖2中)同一層由同樣的材料制成。
在第一讀出線215上形成柵極絕緣層220而在柵極絕緣層220上形成 第二讀出線245。在第二讀出線245之上形成鈍化膜250。
鈍化膜250具有分別曝露部分第一和第二讀出線215和245的第二和 第三接觸孔252和253。通過用光刻處理刻蝕對應(yīng)的部分鈍化膜250來形成 第二和第三接觸孔252和253。
第一和第二讀出電極可以由和透明導(dǎo)電材料的像素電極一樣的材
料形成。第一讀出電極270包括和第一讀出線215電氣接觸的第一電極接
觸部分271 ，以及從第一電極接觸部分271伸出的第一電極延展部分272。
第二讀出電極280包括和第二讀出線245電氣接觸的第二電極接觸部分
281，以及從第二電極接觸部分281伸出的第二電極延展部分282。第一和
第二電極延展部分因此可以具有各種形狀。因此，可以好像它們互相齒
合那樣交替地形成或?qū)ΨQ地形成第一和第二電極延展部分。
第一讀出電極270的第一電極接觸部分271和第一讀出線215通過穿
過鈍化膜250和柵極絕緣層220的第二接觸孔252電連接。在圖4中第二接 觸孔252曝露第二基底201，而第二接觸孔252曝露部分第一讀出電極215。 在鈍化膜250上以預(yù)定掩模形成第一讀出電極270的第一電極延展部分 272以面對第二讀出電極280。
第二讀出電極280的第二電極接觸部分281和第二讀出線245通過穿過鈍化膜250的第三接觸孔253電連接。在鈍化膜250上以預(yù)定掩模形成第 二讀出電極280的第二電極延展部分282以面對第一讀出電極270。這里， 可以在鈍化膜250上以和第一讀出電極270的第一電極延展部分272同樣 的高度形成第二電極延展部分282。因此，當(dāng)觸摸面板時(shí)，觸摸隔板141 均勻地接觸第一和第二讀出電極270和280。
第一和第二讀出電極270和280形成凹面，即第一和第二電極延展部 分因此一起形成如圖4所示的面對觸摸隔板141的凹面。已構(gòu)圖鈍化膜構(gòu) 成位于第一和第二電極延展部分272和282邊緣的第一和第二電極延展部 分272和282的上部。曝露的柵極絕緣層補(bǔ)足位于向內(nèi)朝向觸摸點(diǎn)中部的 第一和第二電極延展部分272和282的下部。
對讀出電極的凹面，鈍化膜和柵極絕緣層可以構(gòu)成象讀出電極270 和280那樣的阱的凹面。
如果用戶觸摸顯示面板，觸摸隔板141可以接觸到讀出電極的凹面， 即第一和第二電極延展部分272和282。因?yàn)樽x出電極的表面是凹面，觸 摸隔板通過觸摸隔板的底面和側(cè)壁表面具有更多接觸讀出電極270和280 的機(jī)會。在觸摸隔板和讀出電極之間發(fā)生接觸的更多機(jī)會允許顯示面板 更高的靈敏度。
當(dāng)用戶拖動一些點(diǎn)或畫圖時(shí)，接觸事件包括x、 y或z方向的移動， 所以觸摸隔板141可以在x、 y和z方向向下移動。具有凹面的讀出電極270 和280產(chǎn)生更多和觸摸隔板141相接觸的機(jī)會。因?yàn)樽x出電極270和280具 有凹面，觸摸隔板141在x和y方向具有更多接觸點(diǎn)。觸摸隔板141可以接 觸到讀出電極270和280的側(cè)壁。
當(dāng)用戶手指或鐵筆觸摸到上基底101表面時(shí)，通過觸摸隔板141接觸 第一和第二讀出電極270和280，以便電阻值根據(jù)接觸位置而改變。因?yàn)?電流或電壓取決于變化的電阻值，把檢測到的電流或電壓通過第一讀出 線215作為水平坐標(biāo)信號并通過第二讀出線245作為垂直坐標(biāo)信號輸出。
用驅(qū)動電路把輸出的坐標(biāo)信號轉(zhuǎn)換為坐標(biāo)值，以便根據(jù)測量到的坐標(biāo)值 執(zhí)行命令或應(yīng)用程序。<實(shí)施例2>
圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分 的截面圖。
以下說明描述本發(fā)明第二實(shí)施例。這里，為了描述的方便，用同樣 的參考數(shù)字表示那些具有和在圖2到4中描述的同樣功能的成員，并且忽
略其描述。
參考圖5，在本發(fā)明第二實(shí)施例中，第一和第二電極延展部分因此 具有面對上基底上的觸摸隔板141的傾斜部分。面對觸摸隔板141的凹面 讀出電極270和280的側(cè)壁是傾斜的。鈍化膜250具有斜面從而使讀出電極 270和280能具有斜面。讀出電極的傾斜的側(cè)壁可以面對觸摸隔板141的邊 緣，所以觸摸隔板的邊緣可以安全的接觸讀出電極270和280。對于鈍化膜的斜面，可以千刻蝕鈍化膜。如果鈍化膜是由有機(jī)光敏 材料制成的，在光刻方法中可以使用狹縫光掩模或灰度掩模。
〈實(shí)施例3〉
圖6是示出了根據(jù)本發(fā)明第三示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分 的截面圖。
以下說明描述本發(fā)明第三實(shí)施例。這里，為了描述的方便，用同樣 的參考數(shù)字表示那些具有和在圖2到4中描述的同樣功能的成員，并且忽
略其描述。
參考圖6，顯示面板包括在第一基底和第二基底中的對齊層。在讀 出電極270和280上形成對齊層290，并且在觸摸隔板141上形成對齊層 160。本發(fā)明本實(shí)施例中對齊層160和290是第一和第二基底中的最上層， 以防止液晶分子亂向(disorientations對齊層可以由無機(jī)材料或有機(jī)材 料制成。
觸摸隔板上的對齊層160具有比對齊層160的其它部分更薄的部分。 在觸摸隔板的上部，對齊層具有更薄的厚度。對齊層160越靠近第二基底 觸摸隔板上的對齊層160變得越薄。最好是向讀出電極270和280發(fā)射觸摸 隔板141的電流或電壓、公共電極的公共電壓。因?yàn)閷R層的功能是兩者間的電氣絕緣，對齊層在接觸點(diǎn)較薄的厚度允許更高靈敏度和對觸摸事 件更高的檢測效率(更好的電氣傳輸)。
在圖6中，讀出電極還具有讀出電極270和280中的凹面。觸摸隔板 上較薄的對齊層160能遇到讀出電極270和280的曲面。
〈實(shí)施例4〉
圖7是示出了根據(jù)本發(fā)明第四示例性實(shí)施例的顯示面板中讀出部分 的截面圖。
以下說明描述本發(fā)明第三實(shí)施例。這里，為了描述的方便，用同樣 的參考數(shù)字表示那些具有和在圖2和3中描述的同樣功能的成員，并且忽
略其描述。
參考圖7，第一基底100和圖4的類似。所以略去關(guān)于第一基底的描 述。第二基底200包括第一讀出線215、第二讀出線245以及在下基底201 上形成的第一和第二讀出電極270和280。
第一讀出線215可以在和柵極線210(圖2中)同一層由同樣的材料制 成。第二讀出線245可以在和數(shù)據(jù)線240(圖2中)同一層由同樣的材料制 成。
在第一讀出線215上形成柵極絕緣層220而在柵極絕緣層220上形成 第二讀出線245。在第二讀出線245之上形成鈍化膜250。
鈍化膜250具有分別曝露部分第一和第二讀出線215和245的第二和 第三接觸孔252和253。通過用光刻處理刻蝕對應(yīng)的部分鈍化膜250和柵極 絕緣層220來形成第二接觸孔252，而通過用光刻處理刻蝕對應(yīng)的部分鈍 化膜250來形成第三接觸孔253 。
第一和第二讀出電極270和280可以由和鈍化膜上透明導(dǎo)電材料的 像素電極一樣的材料形成。第一讀出電極270面對第二讀出電極280。第 一讀出電極通過第二接觸孔252和第一讀出線215電氣接觸。第二接觸孔 的側(cè)壁可以是傾斜的，用光刻方法形成。鈍化膜可以由有機(jī)材料或無機(jī) 材料制成。
第二接觸孔252的傾斜側(cè)壁是傾斜的，以便讀出電極270和280具有如圖7所示面向觸摸隔板141的凹面。讀出電極270和280可以在中間具有 向內(nèi)的彎曲。
第二讀出電極280通過第三接觸孔253和第二讀出線245電氣接觸。 第一和第二電極270和280可以具有各種形狀。可以好像它們互相齒合那 樣交替地形成或?qū)ΨQ地形成第一和第二電極270和280。
如果用戶觸摸顯示面板，觸摸隔板141可以接觸到讀出電極的凹面， 即第一和第二電極270和280。因?yàn)樽x出電極的表面是凹面，觸摸隔板通 過觸摸隔板的底面和側(cè)壁表面具有更多接觸讀出電極270和280的機(jī)會。 通過提供在觸摸隔板141和讀出電極270和280之間發(fā)生接觸的更多機(jī)會 增加了顯示面板的靈敏度。
當(dāng)用戶拖動一些點(diǎn)或畫圖時(shí)，接觸事件包括x、 y或z方向的移動， 所以觸摸隔板141可以在x、 y和z方向向下移動。具有凹面的讀出電極270 和280產(chǎn)生更多和觸摸隔板141相接觸的機(jī)會。因?yàn)樽x出電極270和280具 有凹面，觸摸隔板141在x和y方向具有更多接觸點(diǎn)。觸摸隔板141可以接 觸到讀出電極270和280的側(cè)壁。
〈制造方法〉
下面描述根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的液晶顯示面板制造方法。 根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的用于制造液晶顯示面板的方法包括形 成第一基底(即濾色器陣列基底)以及形成第二基底(即TFT陣列基底)。 如圖3所示，在上基底101上形成黑矩陣110。
形成黑矩陣IIO，從而在上基底101上沉積不透明有機(jī)材料層或不透 明金屬層，并且用光刻工藝和刻蝕工藝進(jìn)行構(gòu)圖。以預(yù)定寬度形成黑矩 陣110來防止第二基底的不透明金屬模被看見。上基底101可以由例如塑
料的透明絕緣材料制成，以便當(dāng)用戶觸摸其表面時(shí)可以流暢的推動。
如圖3所示在具有黑矩陣110的上基底101上形成濾色器層120。通過 光刻方法形成濾色器層120以形成紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)濾色器。
可以用噴墨方法形成濾色器。
接下來，如圖3所示，在上基底101的整個(gè)表面上形成保護(hù)層130來
17覆蓋黑矩陣110和濾色器層120。
以預(yù)定厚度形成保護(hù)層130以在形成公共電極150時(shí)保護(hù)濾色器層 120并獲得優(yōu)秀的階躍覆蓋?？梢杂美缧考夹g(shù)沉積丙烯酸樹脂來形成 保護(hù)層130。
然后，如圖4所示，使用有機(jī)材料或無機(jī)材料在保護(hù)層130上形成觸 摸隔板141。
為了形成觸摸隔板141，在上基底101的整個(gè)表面上沉積有機(jī)。在有 機(jī)層上覆蓋光刻膠，并加以曝光處理和光刻處理的進(jìn)一步處理，從而形 成光刻膠掩模。通過用光刻膠掩模作為掩模的刻蝕處理使有機(jī)層形成掩 模，從而形成觸摸隔板140的懸臂?？梢杂霉饷粲袡C(jī)層而不用光刻膠來形 成有機(jī)層?？梢杂脟娔∷⒎椒ㄐ纬捎袡C(jī)層?？梢园延|摸隔板141做成各 種形式。
隨后，如圖4所示，在上基底101的整個(gè)表面上形成公共電極150來 覆蓋保護(hù)層130和觸摸隔板140的懸臂。
更詳細(xì)地，通過用例如濺射技術(shù)在上基底101的整個(gè)表面上沉積透 明導(dǎo)電材料層來覆蓋保護(hù)層130和觸摸隔板140的懸臂。透明導(dǎo)電材料層 由例如ITO或IZO的透明導(dǎo)電材料制成?？梢酝ㄟ^光刻處理和使用掩模的 刻蝕處理的來對透明導(dǎo)電材料層形成掩模成為公共電極150。
接下來，如圖6所示，在公共電極150上形成對齊層。對齊層可以由 無機(jī)材料或有機(jī)材料制成。如果用有機(jī)材料，可以使用鍍膜印刷方法、 旋涂方法、噴墨印刷方法等等形成對齊層。當(dāng)用鍍膜方法形成對齊層時(shí)， 保護(hù)有機(jī)材料經(jīng)過基底斜面流下，而觸摸隔板H1的上部可以具有對齊層
較薄的厚度。
下面參考圖2到4描述形成第二基底的步驟。
柵極金屬模具有柵極線210、柵極211并且在下基底201上形成第一
讀出線215。形成柵極金屬模從而通過用例如濺射技術(shù)的沉積技術(shù)沉積柵
極金屬層，并且然后用光刻處理和刻蝕處理形成掩模。下基底210由例如
玻璃或塑料的透明絕緣材料制成。
在第一方向上形成柵極線210，并且柵極211從柵極線210伸出。在和柵極線210平行的第一方向上形成第一讀出線215。第一讀出線215遠(yuǎn)離 柵極線210。例如，第一讀出線215距離柵極線210大約5/M。
然后，如圖3和4所示，用等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù) 在具有柵極金屬模的下基底201的整個(gè)表面上形成柵極絕緣層220。用在 下基底201的整個(gè)表面上沉積例如氮化硅(SiNx)或氧化硅(SiOx)的絕緣 材料來形成柵極絕緣層220。形成柵極絕緣層220以覆蓋在下基底201上形
成的柵極金屬模，從而電絕緣柵極金屬模。
如圖3所示，半導(dǎo)體層230包括有源層231。在柵極211上的部分柵極 絕緣層220上形成歐姆接觸層233。形成有源層231以便用光刻處理和刻蝕 處理沉積和掩模多晶硅層或非晶硅層，形成歐姆接觸層233以便用光刻處 理和刻蝕處理沉積和掩模摻雜的多晶硅層或摻雜的非晶硅層。
隨后，如圖2到4所示，在具有半導(dǎo)體層230的下基底201上形成具有 數(shù)據(jù)線240、源極24K漏極243，以及第二讀出線245的數(shù)據(jù)金屬掩模。
更詳細(xì)地，形成數(shù)據(jù)金屬掩模以便在具有半導(dǎo)體層230的下基底201
上沉積金屬層并用光刻處理和刻蝕處理進(jìn)行掩模。
形成數(shù)據(jù)線240穿過柵極線210。漏極243的一側(cè)面對源極241，而另 一側(cè)和像素電極260電連接來在一側(cè)具有更寬的面積。
如圖2到4所示，在下基底201的整個(gè)表面上形成鈍化膜150。在鈍化 膜250上形成第一到第三接觸孔251到253。
用例如PECVD技術(shù)或旋涂技術(shù)的沉積技術(shù)在下基底201的整個(gè)表面 上形成鈍化膜250。通過用掩模穿過鈍化膜250的光刻處理和刻蝕處理形 成第一和第三接觸孔251和253。同時(shí)，形成第二接觸孔穿過鈍化膜250 和柵極絕緣層220。第一接觸孔251曝露部分漏極243。第三接觸孔253曝 露部分第二讀出線245，以及第二接觸孔252曝露部分第一讀出線215?？?以用例如氮化硅(SiNx)或氧化硅(SiOx)的無機(jī)絕緣材料或者例如丙烯 酸、聚酰亞胺或苯并環(huán)丁烯(BCB)的有機(jī)絕緣材料形成鈍化膜250。
之后，如圖2到4所示，在鈍化膜250上形成像素電極260和第一和第 二讀出電極270和280。
更特別地，通過使用例如濺射技術(shù)的沉積技術(shù)在鈍化膜250上沉積例如IT0、 IZ0或T0的透明導(dǎo)電材料層，并然后用使用掩模的光刻膠處理 和刻蝕處理進(jìn)行掩模，從而在像素區(qū)域形成像素電極260。
可以以和圖4中一樣的高度在鈍化膜250上形成第一和第二讀出電 極270和280。第一和第二讀出電極270和280分別通過第二和第三接觸孔 252和253和第一和第二讀出線215和245電連接。第一讀出電極270通過第 二接觸孔252和第一讀出線215電連接，而部分第一讀出電極270朝著第二 接觸電極280延伸。第二讀出電極280通過第三接觸孔253和第二讀出線 245電連接，而部分第二讀出電極280朝著第一讀出電極270延伸。
接下來，如圖6所示，在讀出電極270和280上形成對齊層290。對齊 層可以由無機(jī)材料或有機(jī)材料制成。如果用有機(jī)材料，可以使用滾動鍍 膜印刷方法、旋涂方法、噴墨印刷方法等等形成對齊層。
接下來，把第一基底100和第二基底200附到一起，并插入液晶300。
可以通過點(diǎn)滴填充方法在第一基底或第二基底上滴入液晶，并然后把兩 個(gè)基底附到一起。
權(quán)利要求
1.一種顯示面板，包括第一基底，包括讀出電極；在所述第一基底對面的第二基底，包括觸摸隔板；列隔板，支撐所述第一和第二基底；其中面對所述觸摸隔板的讀出電極具有凹面。
2. 如權(quán)利要求1的顯示面板，其中所述觸摸隔板具有導(dǎo)電材料。
3. 如權(quán)利要求2的顯示面板，其中所述觸摸隔板具有透明導(dǎo)電材料。
4. 如權(quán)利要求3的顯示面板，還包括 液晶層，插入在所述第一和第二基底之間； 所述讀出電極上的第一對齊層； 所述觸摸隔板上的第二對齊層；其中當(dāng)所述對齊層越靠近所述第一基板時(shí)，所述觸摸隔板上的所述 第二對齊層變得越薄。
5. —種顯示面板，包括 第一基底，包括讀出電極；在所述第一基底對面的第二基底，包括觸摸隔板； 支撐所述第一和第二基底的列隔板；其 中面對所述觸摸隔板的所述讀出電極具有凹面，并且所述讀出電 極的側(cè)壁是傾斜的。
6. 如權(quán)利要求5的顯示面板，其中所述觸摸隔板具有導(dǎo)電材料。
7. 如權(quán)利要求6的顯示面板，其中所述觸摸隔板具有透明導(dǎo)電材料。
8. 如權(quán)利要求7的顯示面板，還包括 液晶層，插入在所述第一和第二基底之間； 所述讀出電極上的第一對齊層； 所述觸摸隔板上的第二對齊層；其中當(dāng)所述對齊層越靠近所述第一基板時(shí)，所述觸摸隔板上的所述 第二對齊層變得越薄。
9. 一種顯示面板，包括第一基底，包括讀出電極和用于驅(qū)動像素的薄膜晶體管； 在所述第一基底對面的第二基底，包括黑矩陣層和面對所述讀出電 極的觸摸隔板；列隔板，支撐所述第一和第二基底； 液晶層，插入在所述第一和第二基底之間； 其中所述讀出電極具有凹面。
10. 如權(quán)利要求9的顯示面板，其中所述觸摸隔板具有導(dǎo)電材料。
11. 如權(quán)利要求10的顯示面板，其中所述觸摸隔板具有透明導(dǎo)電材料。
12. 如權(quán)利要求11的顯示面板，還包括 所述讀出電極上的第一對齊層； 所述觸摸隔板上的第二對齊層；其中當(dāng)所述對齊層越靠近所述第二基底時(shí)，所述觸摸隔板上的所述 第二對齊層變得越薄。
13. 如權(quán)利要求9的顯示面板，其中所述薄膜晶體管包括 柵電極；所述柵電極上的柵極絕緣層； 所述柵極絕緣層上的有源層； 所述有源層上的歐姆接觸層； 所述歐姆接觸層上的源極電極和漏極電極； 具有接觸孔的鈍化膜；以及通過所述接觸孔與所述漏極電極相接觸的像素電極，其中所述像素 電極和所述讀出電極在同一層由實(shí)質(zhì)上相同的材料構(gòu)成。
14. 如權(quán)利要求13的顯示面板，其中所述鈍化膜具有在所述讀出電 極下面的凹面。
15. 如權(quán)利要求14的顯示面板，還包括與所述讀出電極電連接的第 一讀出線和第二讀出線讀出讀出。
16. 如權(quán)利要求15的顯示面板，所述第一讀出線、所述第二讀出線、 所述柵極絕緣層或鈍化膜的至少之一構(gòu)成讀出電極的凹面。
17. —種制造顯示面板的方法，包括-在上基底上形成觸摸隔板；在下基底上形成讀出電極，其中所述讀出電極面對所述觸摸隔板并 且具有凹面；形成支撐所述上下基底的列隔板； 在所述上下基底之間插入液晶層。
18. 如權(quán)利要求17的方法，其中所述觸摸隔板具有導(dǎo)電材料。
19. 如權(quán)利要求18的方法，其中所述觸摸隔板具有透明導(dǎo)電材料。
20. 如權(quán)利要求19的方法，還包括-在所述讀出電極上形成第一對齊層； 在所述觸摸隔板上形成第二對齊層；其中當(dāng)所述對齊層越靠近所述下基底時(shí)，所述觸摸隔板上的所述第 二對齊層變得越薄。
21. 如權(quán)利要求17的方法，所述讀出電極的側(cè)壁是傾斜的。
全文摘要
公開了一種顯示面板及其制造方法。所述顯示面板包括第一基底、在第一基底上形成的觸摸隔板、在第一基底對面的第二基底、面對第二基底的觸摸隔板的讀出電極，其中讀出電極具有凹面。
文檔編號H01L21/84GK101539819SQ20081009965
公開日2009年9月23日 申請日期2008年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月20日
發(fā)明者崔相虔, 樸亨俊, 韓相允 申請人:三星電子株式會社