專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體制造裝置中的地震受害擴(kuò)散減輕方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置中的地震受害擴(kuò)散減輕方法和地震受 害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝置的制造中，存在對(duì)作為被處理體的半導(dǎo)體晶片施加 氧化處理、成膜處理等各種處理的工序，作為實(shí)行上述處理的裝置能 夠使用例如能夠?qū)⒍嗥刻幚淼陌雽?dǎo)體制造裝置(也稱(chēng)為立式 熱處理裝置)(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。
該半導(dǎo)體制造裝置具備以下部分而構(gòu)成搬送區(qū)域，具有從將作
為儲(chǔ)存多個(gè)晶片的儲(chǔ)存裝置的前端開(kāi)啟式傳送盒(FOUP: Front Opening Unify Pod，也稱(chēng)為載體)搬入搬出的裝載端口 (搬入搬出部) 向保管擱板部和移載部搬送或者按其相反方向搬送的搬送機(jī)構(gòu)；從搬 入上述裝載端口的前端開(kāi)啟式傳送盒的前部取下可裝卸的蓋并檢測(cè)前 端開(kāi)啟式傳送盒內(nèi)的晶片的位置的晶片計(jì)數(shù)器(檢測(cè)機(jī)構(gòu))；從上述搬 送機(jī)構(gòu)向移載部交接前端開(kāi)啟式傳送盒的前端開(kāi)啟式傳送盒抓取器 (交接機(jī)構(gòu))；升降機(jī)構(gòu)，設(shè)置在比熱處理爐的爐口更靠下方處形成的 裝載區(qū)(作業(yè)區(qū)域)、對(duì)在開(kāi)關(guān)上述爐口的蓋體上沿著上下方向?qū)⒍?片晶片以規(guī)定間隔搭載的容器(保持件)進(jìn)行支撐并搬入搬出熱處理 爐；將設(shè)置在隔幵上述搬送區(qū)域和裝載區(qū)的隔壁的開(kāi)口部與上述移載 部上的前端開(kāi)啟式傳送盒一同開(kāi)關(guān)的門(mén)機(jī)構(gòu)；由上述裝載區(qū)一側(cè)收容 晶片并將其圓周上的標(biāo)記例如缺口 (缺口部)的位置對(duì)齊的缺口對(duì)準(zhǔn) 器(排列機(jī)構(gòu))。
但是，上述晶片價(jià)格較高，隨著處理工序的進(jìn)行，制造成本增大。 因此，需要慎重采用。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-150400號(hào)公報(bào)
但是，在上述的批量式的半導(dǎo)體制造裝置中，在裝置的結(jié)構(gòu)上，存在硬件和軟件方面的各種制約，存在難以具有耐震結(jié)構(gòu)和耐震功能， 沒(méi)有充分的耐震對(duì)策的現(xiàn)狀。因此，地震發(fā)生后，裝置經(jīng)受大幅度搖 晃，擔(dān)心會(huì)發(fā)生端口倒塌、晶片從端口部脫落破損、氣體泄漏等受害。 當(dāng)發(fā)生上述受害時(shí)，到恢復(fù)作業(yè)為止復(fù)原裝置需要很長(zhǎng)時(shí)間，受害極 大。因此，為了解決相關(guān)問(wèn)題，本申請(qǐng)人首先提出了關(guān)于半導(dǎo)體制造 裝置中的地震受害擴(kuò)散減輕方法和地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)的申請(qǐng)(專(zhuān)
利申請(qǐng)2007-208863，未公開(kāi))。
但是，上述申請(qǐng)相關(guān)的發(fā)明并不能充分覆蓋半導(dǎo)體制造裝置整體。 例如，在裝載端口和移載部，存在前端開(kāi)啟式傳送盒的蓋被取下成為 開(kāi)放狀態(tài)的情況，在此情況下一旦經(jīng)受由地震引起的劇烈晃動(dòng)，存在 晶片從前端開(kāi)啟式傳送盒內(nèi)飛出，飛出的晶片落地導(dǎo)致破損的情況。
此外，如果利用搬送機(jī)構(gòu)搬送前端開(kāi)啟式傳送盒時(shí)，若經(jīng)受由地 震引起的劇烈晃動(dòng)，則擔(dān)心前端開(kāi)啟式傳送盒落地，使盒內(nèi)的晶片破 損。此外，還擔(dān)心通過(guò)前端開(kāi)啟式傳送盒抓取器將前端開(kāi)啟式傳送盒 載置到移載部時(shí)發(fā)生地震，前端開(kāi)啟式傳送盒從載置部落下，使盒內(nèi) 的晶片破損。
而且，在熱處理后，如果將端口從熱處理爐卸下(搬出)時(shí)發(fā)生 地震，則擔(dān)心晶片從端口內(nèi)飛出并落下破損。如果晶片破損飛散到裝 載區(qū)內(nèi)，則擔(dān)心細(xì)微的碎片可能會(huì)被各驅(qū)動(dòng)部巻入。
此外，由于在半導(dǎo)體制造裝置中，具有將熱處理爐加熱到高溫的 加熱器(加熱裝置)、在熱處理爐內(nèi)排氣減壓的泵類(lèi)、向熱處理爐內(nèi)供 給含有危險(xiǎn)氣體的處理氣體以及不活潑性氣體的氣體類(lèi)，因此，在減 輕因地震導(dǎo)致的包括人受害在內(nèi)的受害擴(kuò)散時(shí)，要求同時(shí)重視安全和 早期恢復(fù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明考慮到上述問(wèn)題，其目的在于提供一種半導(dǎo)體制造裝置 的地震受害擴(kuò)散減輕方法和地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其能夠預(yù)知地震 發(fā)生，防止開(kāi)放中被處理體從收納容器飛出，防止搬送中收納容器落 下，以及搬出途中被處理體從保持件飛出，能夠?qū)⑹芎σ种圃谧钚∠?度，縮短恢復(fù)時(shí)間。本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，該 半導(dǎo)體制造裝置包括將收納被處理體并且具有蓋的收納容器搬入搬 出的搬送區(qū)域；具有爐口的被處理體的熱處理爐；配置在熱處理爐的
下方，通過(guò)具有開(kāi)口部的隔壁而與搬送區(qū)域分割的作業(yè)區(qū)域，其中，
搬送區(qū)域具有收納容器的搬入搬出部、收納容器用的保管擱板部、 設(shè)置在開(kāi)口部附近的收納容器用的移載部、和搬送收納容器的搬送機(jī) 構(gòu)，作業(yè)區(qū)域具有將搭載有被處理體的保持件載置在開(kāi)關(guān)爐口的蓋 體上并且向熱處理爐內(nèi)進(jìn)行搬入搬出的升降機(jī)構(gòu)、以及在開(kāi)關(guān)隔壁的 開(kāi)口部的同時(shí)開(kāi)關(guān)移載部上的收納容器的蓋的門(mén)機(jī)構(gòu)，半導(dǎo)體制造裝 置的地震受害擴(kuò)散減輕方法的特征在于，包括接收基于經(jīng)由通信線 路發(fā)布的初期微動(dòng)的緊急地震信息或者直接檢測(cè)初期微動(dòng)的工序；基 于接收的緊急地震信息或者檢測(cè)到的初期微動(dòng)停止熱處理爐的運(yùn)轉(zhuǎn)的 第一工序；和與該第一工程并行，當(dāng)上述門(mén)機(jī)構(gòu)為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén) 機(jī)構(gòu)進(jìn)行關(guān)動(dòng)作的第二工序。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于上述熱處理爐具備加熱器、減壓泵、以及供給處理氣體或者 不活潑性氣體的閥，上述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)， 關(guān)閉上述加熱器和上述減壓泵，關(guān)閉上述處理氣體和/或不活潑性氣體 的閥，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到規(guī)定值時(shí)，使上述加熱器和/或減壓泵保持為 打開(kāi)的狀態(tài)，使上述不活潑性氣體的閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使上述處 理氣體的閥關(guān)閉。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于上述熱處理爐具備加熱器、以及供給處理氣體或者不活潑性 氣體的閥，上述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)，關(guān)閉上 述加熱器，關(guān)閉上述處理氣體和/或不活潑性氣體的閥，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未 達(dá)到規(guī)定值時(shí)，使上述加熱器保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使上述不活潑性氣 體的閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使上述處理氣體的閥關(guān)閉。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置還具備從上述搬入搬出部的收納容器取下蓋并 檢測(cè)被處理體的位置的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，上述第二工序包括當(dāng)上述檢測(cè)機(jī) 構(gòu)工作時(shí)使該檢測(cè)機(jī)構(gòu)返回初始狀態(tài)并關(guān)閉蓋。本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置具備從上述作業(yè)區(qū)域一側(cè)收容被處理體并將其 圓周上的標(biāo)記的位置對(duì)齊的排列機(jī)構(gòu)，上述第二工序包括使設(shè)置在 上述排列機(jī)構(gòu)的中心位置對(duì)齊機(jī)構(gòu)動(dòng)作從而限制被處理體。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于上述第二工序包括上述搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行升降動(dòng)作時(shí)使該搬送機(jī) 構(gòu)移動(dòng)到下降最低的位置并停止。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于搬送裝置具有搬送臂，上述第二工序包括當(dāng)上述搬送機(jī)構(gòu)伸 展搬送臂將收納容器載置到保管擱板部時(shí)或者由保管擱板部取出時(shí)， 使搬送臂保持為伸展的狀態(tài)。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置具備從上述搬送機(jī)構(gòu)向移載部交接的交接機(jī)構(gòu)， 上述第二工序包括當(dāng)上述交接機(jī)構(gòu)將收納容器向移載部交接時(shí)，使 交接機(jī)構(gòu)保持為把持收納容器的狀態(tài)。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于上述第二工序包括當(dāng)上述升降機(jī)構(gòu)將保持件從熱處理爐內(nèi)搬 出時(shí)，將該保持件再次搬入熱處理爐內(nèi)。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置具備為了實(shí)行上述被處理體的移載而載置保 持件的保持件載置臺(tái)、以及將載置在該保持件載置臺(tái)上的保持件鎖住 的鎖定機(jī)構(gòu)，上述第二工序包括當(dāng)保持件被載置在上述保持件載置 臺(tái)上時(shí)，上述鎖定機(jī)構(gòu)將上述保持件鎖住。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，該半導(dǎo) 體制造裝置包括將收納被處理體并且具有蓋的收納容器搬入搬出的 搬送區(qū)域；具有爐口的被處理體的熱處理爐；和配置在熱處理爐的下 方，通過(guò)具有開(kāi)口部的隔壁而與搬送區(qū)域分割的作業(yè)區(qū)域，其中，搬 送區(qū)域具有收納容器的搬入搬出部、收納容器用的保管擱板部、設(shè) 置在開(kāi)口部附近的收納容器用的移載部、和搬送收納容器的搬送機(jī)構(gòu)， 作業(yè)區(qū)域具有將搭載有被處理體的保持件載置在開(kāi)關(guān)爐口的蓋體上 并且向熱處理爐內(nèi)進(jìn)行搬入搬出的升降機(jī)構(gòu)、以及在開(kāi)關(guān)隔壁的開(kāi)口部的同時(shí)開(kāi)關(guān)移載部上的收納容器的蓋的門(mén)機(jī)構(gòu)，該半導(dǎo)體制造裝置 的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)的特征在于，包括接收基于經(jīng)由通信線路 發(fā)布的初期微動(dòng)的緊急地震信息的接收部或者直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初 期微動(dòng)檢測(cè)部；和控制部，實(shí)行基于通過(guò)初期微動(dòng)檢測(cè)接收的緊急地 震信息或者檢測(cè)到的初期微動(dòng)而停止熱處理爐的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序以及 當(dāng)上述門(mén)機(jī)構(gòu)為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)進(jìn)行關(guān)動(dòng)作的第二工序。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置中的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特 征在于上述熱處理爐具備加熱器、減壓泵、以及供給處理氣體或者 不活潑性氣體的閥，上述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)， 使上述加熱器和/或上述減壓泵關(guān)閉，使上述處理氣體和不活潑性氣體 的閥關(guān)閉，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到規(guī)定值時(shí)，使上述加熱器和/或減壓泵保 持為打開(kāi)的狀態(tài)，使上述不活潑性氣體的閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使上 述處理氣體的閥關(guān)閉。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征 在于上述熱處理爐具備加熱器、以及供給處理氣體或者不活潑性 氣體的閥，上述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)，關(guān)閉上 述加熱器，使上述處理氣體和不活潑性氣體的閥關(guān)閉，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未 達(dá)到規(guī)定值時(shí)，使上述加熱器保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使上述不活潑性氣 體的閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使上述處理氣體的閥關(guān)閉。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置還具備從上述搬入搬出部上的收納容器取下蓋 并檢測(cè)收納容器內(nèi)的被處理體的位置的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，上述第二工序包括 當(dāng)上述檢測(cè)機(jī)構(gòu)動(dòng)作時(shí)，使該檢測(cè)機(jī)構(gòu)恢復(fù)初始狀態(tài)關(guān)閉蓋。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置具備從上述作業(yè)區(qū)域一側(cè)收容被處理體并將其 圓周上的標(biāo)記的位置對(duì)準(zhǔn)的排列機(jī)構(gòu)，上述第二工序包括啟動(dòng)設(shè)置 在上述排列機(jī)構(gòu)的中心位置對(duì)齊機(jī)構(gòu)限制被處理體。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征 在于上述第二工序包括當(dāng)上述搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行升降動(dòng)作時(shí)，使該搬 送機(jī)構(gòu)移動(dòng)到下降最低的位置并停止。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征在于搬送裝置具有搬送臂，上述第二工序包括當(dāng)上述搬送機(jī)構(gòu)當(dāng) 伸展搬送臂將收納容器載置到保管擱板部時(shí)或者由保管擱板部取出 時(shí)，使搬送臂保持為伸展的狀態(tài)。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置具備從上述搬送機(jī)構(gòu)向移載部交接收納容器的 交接機(jī)構(gòu)，上述第二工序包括當(dāng)上述交接機(jī)構(gòu)將收納容器交接至移 載部時(shí)，使交接機(jī)構(gòu)保持為把持收納容器的狀態(tài)。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征 在于上述第二工序包括當(dāng)上述升降機(jī)構(gòu)將保持件由熱處理爐內(nèi)搬 出時(shí)，將該保持件再度搬入熱處理爐內(nèi)。
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，其特征 在于半導(dǎo)體制造裝置具備為了實(shí)行上述被處理體的移載而載置保 持件的保持件載置臺(tái)、以及將載置在該保持件載置臺(tái)上的保持件鎖住 的鎖定機(jī)構(gòu)，上述第二工序包括當(dāng)保持件被載置在上述保持件載置 臺(tái)上時(shí)，上述鎖定機(jī)構(gòu)將上述保持件鎖住。
根據(jù)本發(fā)明，利用在主要震動(dòng)(S波)發(fā)生的十幾秒前被檢測(cè)到并 經(jīng)由通信線路發(fā)布的初期微動(dòng)(P波)的緊急地震信息或者直接檢測(cè)出 初期微動(dòng)而停止半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)。與此并行，當(dāng)上述門(mén)機(jī)構(gòu)為 打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)進(jìn)行關(guān)閉動(dòng)作。因此，能夠防止因地震引起的 被處理體從收納容器飛出以及因飛出導(dǎo)致的落下破損，能夠?qū)⑹芎σ?制在最小限度且能夠縮短恢復(fù)時(shí)間。


圖1是簡(jiǎn)要表示作為本發(fā)明的實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置中的地 震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)的圖。
圖2是圖1的半導(dǎo)體制造裝置的橫截面圖。
圖3 (a) (f)是說(shuō)明裝載端口部的前端開(kāi)啟式傳送盒(FOUP) 的開(kāi)關(guān)動(dòng)作的說(shuō)明圖。
圖4 (a)、 (b)是說(shuō)明在晶片移載部實(shí)行前端開(kāi)啟式傳送盒的蓋的 開(kāi)關(guān)的門(mén)機(jī)構(gòu)的開(kāi)關(guān)動(dòng)作的說(shuō)明圖。
圖5是簡(jiǎn)要表示缺口對(duì)準(zhǔn)器的一例的立體圖。圖6 (a) (d)是用于說(shuō)明缺口對(duì)準(zhǔn)器的動(dòng)作的說(shuō)明圖。 圖7 (a)、 (b)是用于說(shuō)明前端開(kāi)啟式傳送盒搬送機(jī)構(gòu)的升降動(dòng)作 的說(shuō)明圖。
圖8是表示前端開(kāi)啟式傳送盒搬送機(jī)構(gòu)的臂伸展時(shí)的狀態(tài)的圖。 圖9 (a)、 (b)是說(shuō)明晶片移載部的地震時(shí)的前端開(kāi)啟式傳送盒抓
取器的動(dòng)作的說(shuō)明圖。
圖10 (a)、 (b)是說(shuō)明從熱處理爐的容器卸下過(guò)程中的地震時(shí)的
動(dòng)作的說(shuō)明圖。
圖11 (a) (c)是簡(jiǎn)要表示第一載置臺(tái)上的容器的圖，其中， 圖11 (a)是立體圖，圖11 (b)是省略容器的頂板和支柱的狀態(tài)的放 大平面圖，圖11 (c)是圖11 (b)的c一c線截面圖。
圖12是簡(jiǎn)要表示作為本發(fā)明的其他實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置中 的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，對(duì)于實(shí)施本發(fā)明的最優(yōu)的方式，基于附圖詳細(xì)說(shuō)明。圖1 是簡(jiǎn)要表示作為本發(fā)明的實(shí)施方式的一例的半導(dǎo)體制造裝置中的地震 受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)的圖，圖2是圖1的半導(dǎo)體制造裝置的橫截面圖， 圖3是用于說(shuō)明裝載端口部的前端開(kāi)啟式傳送盒(FOUP)的開(kāi)關(guān)動(dòng)作 的說(shuō)明圖。
在上述圖中，標(biāo)號(hào)1為設(shè)置在清潔室內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置，例如 立式熱處理裝置，該熱處理裝置1具備形成裝置的外輪廓的筐體2。在 該筐體2內(nèi)配置有將作為收納被處理體(半導(dǎo)體晶片)W并且具有 蓋的收納容器的前端開(kāi)啟式傳送盒3搬入搬出的搬送區(qū)域Sa;具有爐 口 5a的晶片W的熱處理爐5;和配置在熱處理爐5的下方、通過(guò)具有 開(kāi)口部34的隔壁6而與搬送區(qū)域Sa相分割的裝載區(qū)(作業(yè)區(qū)域)Sb。 搬送區(qū)域Sa具有作為收納多片半導(dǎo)體晶片W的收納容器的前端開(kāi) 啟式傳送盒3用的裝載端口 (搬入搬出部)7、保管擱板部ll、和移載 臺(tái)(移載部)12。在裝載區(qū)Sb中，實(shí)行將多片例如100 150片左右 的晶片W在上下方向以指定的間隔搭載的容器(晶舟)(保持件)4和 上述移載臺(tái)12上的前端開(kāi)啟式傳送盒3之間的晶片W的移載作業(yè)和向熱處理爐5的容器4的搬入、搬出。
上述前端開(kāi)啟式傳送盒3，其為能夠?qū)⒅付趶嚼缰睆?00mm 的晶片w在水平狀態(tài)沿上下方向以指定間隔儲(chǔ)存多片例如13 25片左 右并能夠搬送的塑料制的容器，在其前面部分形成開(kāi)口的晶片取出口 具備用于將其密封(氣密密封)的可裝卸的蓋3a。在蓋3a的前面部分 設(shè)置有設(shè)置在蓋3a上的鎖機(jī)構(gòu)的鍵孔(省略圖示)。此外，通過(guò)將鍵 部件插入上述鍵孔并轉(zhuǎn)動(dòng)而能夠使蓋3a開(kāi)鎖，作為將該蓋對(duì)于前端開(kāi) 啟式傳送盒裝卸的裝置，能夠使用例如日本特開(kāi)2002-353289號(hào)公報(bào)等 記載的蓋裝卸裝置，該蓋裝卸裝置設(shè)置在裝卸口 7和門(mén)機(jī)構(gòu)15上。
在上述筐體2的前部，設(shè)置有通過(guò)操作員或者搬送機(jī)器將前端開(kāi) 啟式傳送盒3搬入搬出用的上述裝載端口 (搬入搬出部)7。該裝載端 口 7由設(shè)置在筐體內(nèi)的前部、載置前端開(kāi)啟式傳送盒3用的載置臺(tái)8， 和在筐體2的前面部分形成、且對(duì)于載置臺(tái)8搬入搬出前端開(kāi)啟式傳 送盒3用的開(kāi)口部9構(gòu)成。優(yōu)選在該開(kāi)口部9上安裝能夠升降的門(mén)10。
在上述裝載端口 7的載置臺(tái)8的后部設(shè)置有打開(kāi)前端開(kāi)啟式傳送 盒3的蓋3a以檢測(cè)晶片W的位置和片數(shù)的檢測(cè)機(jī)構(gòu)32。該檢測(cè)機(jī)構(gòu) 32具有上述的蓋裝卸裝置。此外，如圖3所示，檢測(cè)機(jī)構(gòu)32具備根 據(jù)在左右隔開(kāi)間隔相對(duì)的出射光部32a和入射光部32b之間展開(kāi)的光 線32c是否被前端開(kāi)啟式傳送盒3內(nèi)的晶片W遮擋以檢測(cè)出晶片W是 否存在的檢測(cè)頭32x、以及將該檢測(cè)頭32x經(jīng)由操作棒32y上下升降以 及前后進(jìn)退的未圖示的驅(qū)動(dòng)部。
在搬送區(qū)域Sa內(nèi)的上述隔壁6—側(cè)，為了實(shí)行晶片的移載，設(shè)置 有載置前端開(kāi)啟式傳送盒3的移載臺(tái)12，在該移載臺(tái)12的上方和上述 載置臺(tái)8的上方設(shè)置有用于保管多個(gè)前端開(kāi)啟式傳送盒3的保管擱板 部11。
上述搬送機(jī)構(gòu)13由通過(guò)設(shè)置在搬送區(qū)域Sa的一側(cè)部分上的升 降機(jī)構(gòu)13a進(jìn)行升降移動(dòng)的升降臂13b、和設(shè)置在該升降臂13b上、支 撐前端開(kāi)啟式傳送盒3的底部向水平方向搬送的搬送臂13c構(gòu)成。
搬送區(qū)域Sa成為由未圖示的空氣凈化機(jī)(fan fdter unit)凈化后的 大氣氣氛。裝載區(qū)Sb通過(guò)設(shè)置在其一側(cè)的空氣凈化機(jī)(fan filter unit) 14凈化，使其變?yōu)樵鰤旱拇髿鈿夥栈蛘卟换顫娦詺怏w(例如N2氣體)氣氛。在搬送區(qū)域Sa中，設(shè)置有由上述搬送機(jī)構(gòu)13向移載臺(tái)12交接 前端開(kāi)啟式傳送盒3的前端開(kāi)啟式傳送盒抓取器(交接機(jī)構(gòu))33。如 圖2、圖9所示，該前端開(kāi)啟式傳送盒33主要由通過(guò)設(shè)置在搬送區(qū)域 Sa的一側(cè)部分的升降機(jī)構(gòu)33a進(jìn)行升降移動(dòng)的升降臂33b、以及設(shè)置 在該升降臂33b上、把持前端開(kāi)啟式傳送盒3的上部支撐部3x的把持 機(jī)構(gòu)33c構(gòu)成。前端開(kāi)啟式傳送盒抓取器33從搬送機(jī)構(gòu)13接收前端 開(kāi)啟式傳送盒3后待機(jī)，通過(guò)搬送機(jī)構(gòu)13將前端開(kāi)啟式傳送盒3由移 載臺(tái)12向保管擱板部11或者裝載端口 7的載置臺(tái)8搬送期間，將下 一個(gè)前端開(kāi)啟式傳送盒3放置在移載臺(tái)12，實(shí)現(xiàn)搬送作業(yè)的效率化。
在上述隔壁6，如圖4所示，設(shè)置有使載置在移載臺(tái)12上的前端 開(kāi)啟式傳送盒3的前面部從搬送區(qū)域Sa—側(cè)搭接，將前端開(kāi)啟式傳送 盒3內(nèi)和裝載區(qū)Sb內(nèi)連通用的開(kāi)口部34，并且設(shè)置有具有將該開(kāi)口部 34由裝載區(qū)Sb—側(cè)閉鎖的門(mén)15a的門(mén)機(jī)構(gòu)15。開(kāi)口部34形成為與前 端開(kāi)啟式傳送盒3的前面開(kāi)口 (晶片取出口)大致相同的口徑，能夠 從開(kāi)口部34搬入搬出前端開(kāi)啟式傳送盒3內(nèi)的晶片W。門(mén)機(jī)構(gòu)15構(gòu) 成為使門(mén)15a向左右方向滑動(dòng)以開(kāi)關(guān)開(kāi)口部34，在上述門(mén)15a組合安 裝上述蓋裝卸裝置。此外，在上述移載臺(tái)12上，設(shè)置有使前端開(kāi)啟式 傳送盒3的前面部分搭接在開(kāi)口部34的周邊緣部以對(duì)其進(jìn)行按壓的未 圖示的按壓機(jī)構(gòu)。
在上述移載臺(tái)12的下方，設(shè)置有用于將作為為了對(duì)齊結(jié)晶方向而 設(shè)置在晶片W的周邊緣部的標(biāo)記的缺口 (切口部)沿一個(gè)方向排列的 缺口對(duì)準(zhǔn)器(排列機(jī)構(gòu))16。該缺口對(duì)準(zhǔn)器16構(gòu)成為與裝載區(qū)Sb — 側(cè)相鄰開(kāi)放，通過(guò)后述的移載機(jī)構(gòu)24排列由移載臺(tái)12上的前端開(kāi)啟 式傳送盒3移載的晶片W的缺口 。
如圖5至圖6所示，缺口對(duì)準(zhǔn)器16具備具有將多片例如5片晶 片在周邊緣部沿上下方向以指定的間隔支撐的平面觀察由4個(gè)塊 (block)組成的支撐體35的中心位置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36，將由上述支撐體 35支撐的各晶片W的下表面中央部分舉起以使各晶片水平旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn) 機(jī)構(gòu)37，以及檢測(cè)各晶片的缺口的傳感器38。傳感器38檢測(cè)到缺口 時(shí)，停止由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)37進(jìn)行的晶片的旋轉(zhuǎn)，排列缺口。上述支撐體35， 沿著上下方向按照指定間隔具備多片例如5片截面L字形的支撐片39，通過(guò)支撐片39的水平面39a接收晶片W的周邊緣部的下表面，由支 撐片39的垂直面3%規(guī)制晶片的周邊緣部的位置。
中心位置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36，如圖6b所示，通過(guò)使支撐體35通過(guò)移動(dòng) 機(jī)構(gòu)向互相接近的方向移動(dòng)，對(duì)晶片W的中心位置進(jìn)行定位。此外， 使用該中心位置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36，如后所述當(dāng)?shù)卣鸢l(fā)生時(shí)限制晶片以防止 晶片飛出。此外，在圖6中，圖6 (a)為將晶片在支撐體的支撐片上 載置的圖，圖6 (b)為使支撐體相互靠近對(duì)晶片的中心位置定位后的 圖。圖6 (c)為使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上升支撐晶片的狀態(tài)的圖，圖6 (d)為使 支撐體互相隔開(kāi)間隔通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)晶片的狀態(tài)的圖。
另一方面，在裝載區(qū)Sb的內(nèi)部上方，設(shè)置有在下部具有爐口 5a 的立式熱處理爐5。此外，在裝載區(qū)Sb中設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)18，將沿上 下方向按指定間隔搭載有多片例如100 150片左右的晶片W的例如 石英制的容器4載置在蓋體17的上部，實(shí)行向熱處理爐5內(nèi)的搬入搬 出和開(kāi)關(guān)爐口5a的蓋體17的升降。在蓋體17的上部，載置有當(dāng)其閉 塞時(shí)抑制來(lái)自爐口 5a部分的放熱的保溫筒(遮熱體)19，在該保溫筒 19的上部載置有容器(晶舟(boat)) 4。在上述蓋體17上設(shè)置有經(jīng)由 保溫筒19旋轉(zhuǎn)容器4的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20。在爐口 5a的附近，使蓋體17開(kāi) 放以在搬出熱處理后的容器4時(shí)遮擋爐口 5a用的閘21設(shè)置為能夠沿 水平方向開(kāi)關(guān)(能夠旋轉(zhuǎn))。該閘21具有使其沿水平方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng)開(kāi) 關(guān)的未圖示的閘驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
在裝載區(qū)Sb的一側(cè)即空氣凈化機(jī)14 一側(cè)，設(shè)置有為了移載晶片 W等而載置容器4的容器載置臺(tái)(保持件載置臺(tái)，也稱(chēng)為容器臺(tái)載置 臺(tái))22。該容器載置臺(tái)22可以為一個(gè)，但是優(yōu)選該容器載置臺(tái)22由 如圖2所示沿著空氣凈化機(jī)14前后配置的第一載置臺(tái)(充電臺(tái))22a 和第二載置臺(tái)(備用臺(tái))22b這兩個(gè)臺(tái)組成。
在裝載區(qū)Sb內(nèi)的下方，設(shè)置有在移載臺(tái)12和熱處理爐5之間， 容器載置臺(tái)22和蓋體17之間，具體來(lái)說(shuō)在容器載置臺(tái)22的第一載置 臺(tái)22a或者第二載置臺(tái)22b與下降的蓋體17之間，以及第一載置臺(tái)22a 和第二載置臺(tái)22b之間，實(shí)行容器4的搬送的容器搬送機(jī)構(gòu)23。此外， 在該容器搬送機(jī)構(gòu)23的上方，設(shè)置有在移載臺(tái)12上的前端開(kāi)啟式傳 送盒3和容器載置臺(tái)22上的容器4之間，具體來(lái)說(shuō)移載臺(tái)12上的前端開(kāi)啟式傳送盒3和缺口對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)16之間，缺口對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)16和容器 載置臺(tái)22的第一載置臺(tái)22a上的容器4之間，以及第一載置臺(tái)22a上 的熱處理后的容器4和移載臺(tái)12上的空的前端開(kāi)啟式傳送盒3之間， 實(shí)行晶片W的替換用的移載機(jī)構(gòu)24。
容器4如圖11的(a)所示在頂板4a和底板4b之間設(shè)置多根例如 4根支柱4c，底板4b形成為平面圓環(huán)狀，在底板4b的下部設(shè)置有比 底板4b半徑更小的縮徑部4d。容器搬送機(jī)構(gòu)23使容器4的底板4b 的縮徑部4d由平面C字形的保持部23a(參照?qǐng)D2)保持，搬送容器4。 在上述支柱4c形成將晶片沿上下方向以指定間隔保持的未圖示的溝 部。正面一側(cè)的左右的支柱4d之間為了搬入搬出晶片而擴(kuò)展開(kāi)。
在第一載置臺(tái)22a設(shè)置有將容器4鎖在第一載置臺(tái)22a上的鎖定 機(jī)構(gòu)65。該鎖定機(jī)構(gòu)65具備在第一載置臺(tái)22a的上部突出配置的位于 上述容器4的底板4b的開(kāi)口部4e的內(nèi)側(cè)的一對(duì)的輥45a、通過(guò)使上述 輥45a相互隔開(kāi)間隔或者接近移動(dòng)被上述底板4b的開(kāi)口部4e的內(nèi)周 按壓或者背離而鎖定或解鎖的驅(qū)動(dòng)部例如氣缸45b。該鎖定機(jī)構(gòu)45構(gòu) 成為在第二工序由上述控制部29控制。
上述移載機(jī)構(gòu)24，將在能夠水平旋轉(zhuǎn)的基臺(tái)24a上載置半導(dǎo)體晶 片的多片例如5片薄板狀的移載臂24b設(shè)置為能夠進(jìn)退，為了避免和 搬送時(shí)的容器4之間的干涉，構(gòu)成為由圖2中虛線所示的作業(yè)位置A 向?qū)嵕€所示的避讓位置B經(jīng)由旋轉(zhuǎn)臂25能夠沿橫方向避讓。作為上述 移載臂24b，優(yōu)選5片中的中央的單片載置用的一片的移載臂與其他4 片的移載臂在基臺(tái)24a上設(shè)置為能夠獨(dú)立進(jìn)退，并且其他4片移載臂 以中央的移載臂為基準(zhǔn)沿上下方向構(gòu)成為能夠變換間距。旋轉(zhuǎn)臂25的 基部一側(cè)，與設(shè)置在裝載區(qū)Sb的另一側(cè)的未圖示的升降機(jī)構(gòu)連接，由 此移載機(jī)構(gòu)24能夠升降。
上述熱處理爐5，如圖1所示其具備例如上端閉塞、下端開(kāi)口的圓 筒狀的石英玻璃制的處理容器(反應(yīng)管)50、和設(shè)置為覆蓋該處理容 器50的四周的加熱器51。在處理容器50的下端部分，連接有供給處 理氣體和不活潑性氣體(例如N2氣體)的氣體導(dǎo)入管部和具有排氣管 部的圓筒狀的歧管52，在氣體導(dǎo)入管部連接有供給處理氣體和不活潑 性氣體的氣體供給管53a、 53b，在排氣管部連接有排氣管54。在上述氣體供給管53a、 53b設(shè)置有開(kāi)關(guān)用的閥55a、 55b。在上述 排氣管54，開(kāi)關(guān)用的主閥門(mén)56、壓力調(diào)節(jié)閥57、排氣肼58、減壓泵 59等按照順序連接。此外，在使裝載區(qū)Sb成為不活潑性氣體(例如 N2氣體)氣氛的立式處理裝置中，在裝載區(qū)Sb連接有供給不活潑性氣 體的氣體供給管61，在該玻璃供給管61設(shè)置有閥62。
為了從地震中保護(hù)上述構(gòu)成的立式熱處理裝置l，立式熱處理裝置 1的地震受害擴(kuò)散減輕方法具備接收基于經(jīng)由通信線路26發(fā)布的初 期微動(dòng)(P波)的緊急地震信息的工序，基于該緊急地震信息停止上述 立式熱處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序，以及與該第一工序并行、防止 晶片W的飛出、當(dāng)上述門(mén)機(jī)構(gòu)15為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)15進(jìn)行關(guān) 閉動(dòng)作的第二工序。此外，實(shí)行該方法的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)27具 備接收基于經(jīng)由通信線路26發(fā)布的初期微動(dòng)(P波)的緊急地震信 息的接收部28，和實(shí)行基于由該接收部28得到的緊急地震信息停止立 式熱處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序以及防止晶片W的飛出、當(dāng)上述門(mén) 機(jī)構(gòu)15為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)15進(jìn)行關(guān)閉動(dòng)作的第二工序的控制 部29。
作為上述緊急地震信息，能夠使用氣象廳提供的緊急地震速報(bào)和 第三者機(jī)關(guān)提供的緊急地震檢測(cè)系統(tǒng)等。地震由為縱波且速度快(每 秒7k 8km)的P波(Primary (初級(jí)))組成的細(xì)微晃動(dòng)的初期微動(dòng)、 為橫波且速度慢(每秒3k 4km)的S波(Secondary (次級(jí)))組成的 較大的晃動(dòng)的主要震動(dòng)構(gòu)成。對(duì)通過(guò)設(shè)置在全國(guó)各地的多個(gè)地震計(jì)30 收集的P波的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，算出震源、震度和S波的到達(dá)時(shí)間，該 地震信息由發(fā)送部31經(jīng)由有線線路和衛(wèi)星線路26發(fā)布，該地震信息 被上述接收部28接收。由此，劇烈晃動(dòng)的本震的數(shù)秒前十幾秒獲得預(yù) 想震度，能夠事先做好本震的準(zhǔn)備。優(yōu)選控制部29構(gòu)成為，設(shè)定指定 的閾值(例如預(yù)測(cè)震度5)，當(dāng)超過(guò)該閾值時(shí)實(shí)行地震受害擴(kuò)散減輕方 法。上述閾值能夠考慮建屋的耐震強(qiáng)度等由用戶任意設(shè)定。此外，在 泵類(lèi)和氣體類(lèi)的避讓動(dòng)作中，為了同時(shí)注重安全和早期恢復(fù)，優(yōu)選將 預(yù)測(cè)震度等級(jí)分為預(yù)測(cè)震度大(指定震度以上)例如震度為5強(qiáng)以上 和預(yù)測(cè)震度小(未達(dá)到指定震度例如震度為5弱以下)的情況，當(dāng)預(yù) 測(cè)震度為規(guī)定值以上的情況下，實(shí)行將人和物的受害抑制在最小限度
19的重視安全的裝置(半導(dǎo)體制造裝置)的停止，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到規(guī) 定值的情況下，實(shí)行以早期恢復(fù)為前提的裝置。
基本上，在上述第一工序中，將上述熱處理裝置1的電源(主電 源)、氣體線路斷開(kāi)。此外，主電源也可以保持到本震(S波)之前為 止。在第一工序(P波)切斷主電源的情況下，在包含為防止晶片飛出
而驅(qū)動(dòng)的蓋裝卸裝置的檢測(cè)機(jī)構(gòu)32、門(mén)機(jī)構(gòu)15、缺口對(duì)準(zhǔn)器16、升降 機(jī)構(gòu)18、防止前端開(kāi)啟式傳送盒3落下而驅(qū)動(dòng)的搬送機(jī)構(gòu)13和前端開(kāi) 啟式傳送盒33中確保備用電源。
具體來(lái)說(shuō)，在上述第一工序中，當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)，由 于實(shí)行了將人和物的受害抑制在最小限度的重視安全的裝置的停止， 關(guān)閉上述加熱器51和上述減壓泵59，關(guān)閉上述處理氣體(實(shí)氣體)和 不活潑性氣體的閥55a、 55b。此外，優(yōu)選關(guān)閉主閥門(mén)56。
當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到規(guī)定值時(shí)，由于實(shí)行了以早期恢復(fù)為前提的裝 置的停止，使上述加熱器51和減壓泵59保持為打開(kāi)(On)，使上述不 活潑性氣體的閥55b保持為打開(kāi)(On)，使上述處理氣體的閥55a保持 為關(guān)閉。此外，優(yōu)選排氣管54的主閥門(mén)56保持為打開(kāi)。在此，使加 熱器51保持為打開(kāi)(On)的狀態(tài)指的是，使加熱器51的電源保持為 打開(kāi)的狀態(tài)(接通(On))，將加熱器51的溫度保持為設(shè)定溫度。此外， 使不活潑性氣體的閥55b保持為打開(kāi)的狀態(tài)指的是，例如，周期吹掃 (為了使處理容器中的氧氣濃度在短時(shí)間內(nèi)降到一定值以下，反復(fù)進(jìn) 行N2的供給、停止和抽真空)、稀釋排氣(將處理容器內(nèi)的處理氣體 排氣的情況下，使用N2稀釋的同時(shí)排氣)、或者持續(xù)向裝載區(qū)內(nèi)供給 N2。此外，包含主閥門(mén)56的閥門(mén)55a、 55b、 62的開(kāi)關(guān)，加熱器51和 減壓泵59的開(kāi)關(guān)控制，基于預(yù)測(cè)震度由控制部29實(shí)行。
另一方面，在本實(shí)施方式中，在上述第二工序中，構(gòu)成為通過(guò)控 制部29上述門(mén)機(jī)構(gòu)15為打開(kāi)狀態(tài)參照(a)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)15進(jìn)行 關(guān)閉動(dòng)作參照(b)。
根據(jù)由以上結(jié)構(gòu)組成的地震受害擴(kuò)散減輕方法或地震受害擴(kuò)散減 輕系統(tǒng)27，使用距主要震動(dòng)(S波)的數(shù)秒的十幾秒前檢測(cè)到并經(jīng)由 通信線路26發(fā)布的基于初期微動(dòng)(P波)的緊急地震信息，停止立式 熱處理裝置l的運(yùn)轉(zhuǎn)。與此并行，如圖4所示，上述門(mén)機(jī)構(gòu)15為打開(kāi)狀態(tài)參照(a)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)15進(jìn)行關(guān)閉動(dòng)作參照(b)。因此，
能夠防止因地震引起晶片W由移載臺(tái)12上的前端開(kāi)啟式傳送盒3飛 出從而導(dǎo)致晶片W破損等物品受害和裝置恢復(fù)的時(shí)間損失的擴(kuò)大。
特別，上述熱處理爐5具備加熱器51、減壓泵59、供給處理氣體 和不活潑性氣體的閥55a、 55b。上述第一工序包含當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī) 定值以上時(shí)，關(guān)閉上述加熱器51和上述減壓泵59，關(guān)閉上述處理氣體 和不活潑性氣體的閥55a、 55b，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到規(guī)定值時(shí)，使上述 加熱器51和減壓泵59保持為打開(kāi)(On)的狀態(tài)，使上述不活潑性氣 體的閥55b保持為打開(kāi)，使上述處理氣體的閥55a保持為關(guān)閉。因此 能夠同時(shí)進(jìn)行在泵類(lèi)和氣體類(lèi)的避讓動(dòng)作中的安全重視以及早期恢復(fù) 重視。
將應(yīng)恢復(fù)裝置的電源再度投入時(shí)，由操作員確認(rèn)裝置的狀態(tài)、晶 片的狀態(tài)、容器的狀態(tài)。操作員判斷裝置是否能夠繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，在無(wú)法 運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下實(shí)施無(wú)法繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的原因(例如，晶片過(guò)載、晶片的破 損和位置偏移、容器的破損和位置偏移、氣體泄漏、漏水、漏電)的 對(duì)策，確認(rèn)啟動(dòng)裝置的條件(例如，處理氣體類(lèi)的閥類(lèi)和減壓泵的動(dòng) 作、搬送類(lèi)的動(dòng)作)備齊后，啟動(dòng)裝置。
優(yōu)選在上述第二工序中包含如圖3所示，打開(kāi)前端開(kāi)啟式傳送 盒3的蓋3a參照(b)、 (e)，在使檢測(cè)機(jī)構(gòu)32的檢測(cè)頭32x接近前 端開(kāi)啟式傳送盒3內(nèi)的晶片W實(shí)行檢測(cè)參照(c)、 (d)的途中停 止，使檢測(cè)頭32x返回下方的原來(lái)的位置(原有位置)HPa，關(guān)閉前端 開(kāi)啟式傳送盒3的蓋3a參照(a)、 (d)。由于上述檢測(cè)機(jī)構(gòu)32動(dòng)作 時(shí)使該檢測(cè)機(jī)構(gòu)32返回初始狀態(tài)，關(guān)閉上述蓋3a，能夠防止因地震引 起晶片W由前端開(kāi)啟式傳送盒3飛出從而導(dǎo)致晶片W破損等物品受 害和裝置恢復(fù)的時(shí)間損失的擴(kuò)大。此外，由于使上述檢測(cè)機(jī)構(gòu)32的檢 測(cè)頭32x返回原有位置HPa，能夠使半導(dǎo)體制造裝置1迅速回歸。
此外，優(yōu)選在上述第二工序中包含如圖5、圖6 (b)和(c)所 示，使設(shè)置在上述缺口對(duì)準(zhǔn)器16的中心位置對(duì)齊機(jī)構(gòu)36動(dòng)作從而限 制晶片W。由此，能夠防止因地震引起的晶片W由缺口對(duì)準(zhǔn)器16飛 出從而導(dǎo)致晶片W的破損等物品受害和裝置恢復(fù)的時(shí)間的損失的擴(kuò)大 于未然。優(yōu)選在上述第二工序中包含如圖7的(a)、 (b)所示，上述搬 送機(jī)構(gòu)13在進(jìn)行升降動(dòng)作時(shí)使該搬送機(jī)構(gòu)13移動(dòng)停止到下降最低的 位置即原有位置HPb。由此，能夠防止因地震引起的前端開(kāi)啟式傳送 盒3由高位置的搬送機(jī)構(gòu)13的搬送臂13c落下，能夠防止因前端開(kāi)啟 式傳送盒3的落下導(dǎo)致晶片W的破損等物品的受害于未然。此外，搬 送機(jī)構(gòu)13在升降動(dòng)作之外，例如如圖8所示，伸展搬送臂3c將前端 開(kāi)啟式傳送盒3載置在保管擱板部11時(shí)或者從保管擱板部11取出時(shí)， 在第二工序不實(shí)行將搬送機(jī)構(gòu)13下降到降到最低位置的控制，使搬送 臂13c保持為伸展的狀態(tài)。
優(yōu)選在上述第二工序中，如圖9的(a)、 (b)所示，當(dāng)前端開(kāi)啟 式傳送盒抓取器33將前端開(kāi)啟式傳送盒3交接至移載臺(tái)12時(shí)，前端 開(kāi)啟式傳送盒抓取器33的把持機(jī)構(gòu)33c打開(kāi)從而解放前端開(kāi)啟式傳送 盒的情況下，再次關(guān)閉把持機(jī)構(gòu)33c，使前端開(kāi)啟式傳送盒保持為被把 持的狀態(tài)。由此，能夠防止前端開(kāi)啟式傳送盒3從移載臺(tái)12上落下， 能夠防止因前端開(kāi)啟式傳送盒3的落下導(dǎo)致晶片W的破損等物品受害 于未然。
而且，優(yōu)選在上述第二工序中包含如圖10的(a)、 (b)所示， 上述升降機(jī)構(gòu)18將容器4由熱處理爐5內(nèi)搬出時(shí)，將該容器4再次搬 入熱處理爐5內(nèi)。由此，能夠防止從熱處理爐5卸下容器4時(shí)，因地 震引起的晶片由容器4中飛出，同時(shí)還能夠防止因晶片飛出導(dǎo)致晶片 破損等物品受害和裝置恢復(fù)的時(shí)間損失的擴(kuò)大于未然。
此外，優(yōu)選在上述第二工序中包含如圖11所示，在作為上述容 器載置臺(tái)的第一載置臺(tái)22a上載置容器4時(shí)，上述鎖定機(jī)構(gòu)45將上述 容器4鎖定。由此能夠防止第一載置臺(tái)22a上的容器4翻倒。
圖12是大致地表示作為本發(fā)明的其他實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置 中的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)的一例的圖。在圖12的實(shí)施方式中，與圖 1的實(shí)施方式的同一部分附加相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。本實(shí)施方式的立 式熱處理裝置1具備作為直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初期微動(dòng)檢測(cè)部的地 震計(jì)60，和實(shí)行基于檢測(cè)的初期微動(dòng)停止立式熱處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)的 第一工序以及當(dāng)上述門(mén)機(jī)構(gòu)15為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)15進(jìn)行關(guān)閉 動(dòng)作的第二工序的控制部29。上述地震計(jì)60，優(yōu)選設(shè)置在筐體2內(nèi)，也可以設(shè)置在工廠用地。根據(jù)本實(shí)施方式，能夠在不接收緊急地震信 息的情況下自動(dòng)檢測(cè)初期微動(dòng)，能夠預(yù)知地震的發(fā)生，防止晶片由前 端開(kāi)啟式傳送盒內(nèi)飛出以及因飛出導(dǎo)致的晶片破損，將受害抑制在最 小限度。
以上，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明 并不僅限于上述實(shí)施方式，能夠在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各 種設(shè)計(jì)變更。例如，本發(fā)明相關(guān)的半導(dǎo)體制造裝置中的地震受害擴(kuò)散 減輕系統(tǒng)還可以構(gòu)成為具備基于經(jīng)由通信線路發(fā)布的初期微動(dòng)接收 緊急地震信息的接收部、直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初期微動(dòng)檢測(cè)部，選擇 性地切換使用上述接收部和檢測(cè)部。
在上述實(shí)施方式中，展示了具有減壓泵的熱處理裝置(例如CVD 裝置)，本發(fā)明還能夠適用于不具有減壓泵的熱處理裝置(例如擴(kuò)散裝 置)，在此情況下，作為熱處理爐的排氣單元能夠使用例如工廠排氣系 統(tǒng)。
權(quán)利要求
1. 一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，所述半導(dǎo)體制造裝置包括將收納被處理體并且具有蓋的收納容器搬入搬出的搬送區(qū)域；具有爐口的被處理體的熱處理爐；和配置在熱處理爐的下方，通過(guò)具有開(kāi)口部的隔壁而與搬送區(qū)域分割的作業(yè)區(qū)域，其中，搬送區(qū)域具有收納容器的搬入搬出部、收納容器用的保管擱板部、設(shè)置在開(kāi)口部附近的收納容器用的移載部、和搬送收納容器的搬送機(jī)構(gòu)，作業(yè)區(qū)域具有將搭載有被處理體的保持件載置在開(kāi)關(guān)爐口的蓋體上并且向熱處理爐內(nèi)進(jìn)行搬入搬出的升降機(jī)構(gòu)、以及在開(kāi)關(guān)隔壁的開(kāi)口部的同時(shí)開(kāi)關(guān)移載部上的收納容器的蓋的門(mén)機(jī)構(gòu)，該半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法的特征在于，包括接收基于經(jīng)由通信線路發(fā)布的初期微動(dòng)的緊急地震信息或者直接檢測(cè)初期微動(dòng)的工序；基于接收的緊急地震信息或者檢測(cè)到的初期微動(dòng)停止熱處理爐的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和與該第一工序并行，當(dāng)所述門(mén)機(jī)構(gòu)為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)進(jìn)行關(guān)閉動(dòng)作的第二工序。
2. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征在于所述熱處理爐具備加熱器、減壓泵、以及供給處理氣體或者不 活潑性氣體的閥，所述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)， 關(guān)閉所述加熱器和所述減壓泵，關(guān)閉所述處理氣體和/或不活潑性氣體 的閥，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到規(guī)定值時(shí)，使所述加熱器和/或減壓泵保持為 打開(kāi)的狀態(tài)，使所述不活潑性氣體的閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使所述處 理氣體的閥關(guān)閉。
3. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征在于所述熱處理爐具備加熱器、以及供給處理氣體或者不活潑性氣 體的閥，所述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)，關(guān)閉所述 加熱器，關(guān)閉所述處理氣體和/或不活潑性氣體的閥，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá) 到規(guī)定值時(shí)，使所述加熱器保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使所述不活潑性氣體 的閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使所述處理氣體的閥關(guān)閉。
4. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方 法，其特征在于-所述半導(dǎo)體制造裝置還具備從所述搬入搬出部上的收納WM( F 蓋并檢測(cè)收納容器內(nèi)的被處理體的位置的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述第二工序包 括當(dāng)所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)在工作時(shí)使該檢測(cè)機(jī)構(gòu)返回初始狀態(tài)并關(guān)閉蓋。
5. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方 法，其特征在于半導(dǎo)體制造裝置具備從所述作業(yè)區(qū)域一側(cè)收容被處理體并將其圓 周上的標(biāo)記的位置對(duì)齊的排列機(jī)構(gòu)，所述第二工序包括使設(shè)置在所 述排列機(jī)構(gòu)上的中心位置對(duì)齊機(jī)構(gòu)動(dòng)作從而限制被處理體。
6. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方 法，其特征在于所述第二工序包括當(dāng)所述搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行升降動(dòng)作時(shí)，使該搬送 機(jī)構(gòu)移動(dòng)到下降最低的位置并停止。
7. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方 法，其特征在于搬送裝置具有搬送臂，所述第二工序包括當(dāng)所述搬送機(jī)構(gòu)伸展 搬送臂將收納容器載置在保管擱板部上時(shí)或者從保管擱板部取出時(shí)， 使搬送臂保持為伸展的狀態(tài)。
8. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方法，其特征在于半導(dǎo)體制造裝置具備從所述搬送機(jī)構(gòu)向移載部交接收納容器的交 接機(jī)構(gòu)，所述第二工序包括所述交接機(jī)構(gòu)將收納容器向移載部交接 時(shí)，使交接機(jī)構(gòu)保持為把持收納容器的狀態(tài)。
9. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方 法，其特征在于所述第二工序包括當(dāng)所述升降機(jī)構(gòu)將保持件從熱處理爐內(nèi)搬出 時(shí)，將該保持件再次搬入到熱處理爐內(nèi)。
10. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕方 法，其特征在于半導(dǎo)體制造裝置具備為了實(shí)施所述被處理體的移載而載置保持 件的保持件載置臺(tái)、以及將載置在該保持件載置臺(tái)上的保持件鎖定的 鎖定機(jī)構(gòu)，所述第二工序包括當(dāng)保持件被載置在所述保持件載置臺(tái) 上時(shí)，所述鎖定機(jī)構(gòu)將所述保持件鎖定。
11. 一種半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體制 造裝置包括將收納被處理體并且具有蓋的收納容器搬入搬出的搬送區(qū)域； 具有爐口的被處理體的熱處理爐；和配置在熱處理爐的下方，通過(guò)具有開(kāi)口部的隔壁而與搬送區(qū)域分 割的作業(yè)區(qū)域，其中，搬送區(qū)域具有收納容器的搬入搬出部、收納容器用的保管擱板 部、設(shè)置在開(kāi)口部附近的收納容器用的移載部、和搬送收納容器的搬 送機(jī)構(gòu)，作業(yè)區(qū)域具有將搭載有被處理體的保持件載置在開(kāi)關(guān)爐口的蓋 體上并且向熱處理爐內(nèi)進(jìn)行搬入搬出的升降機(jī)構(gòu)、以及在開(kāi)關(guān)隔壁的 開(kāi)口部的同時(shí)開(kāi)關(guān)移載部上的收納容器的蓋的門(mén)機(jī)構(gòu)，該半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系統(tǒng)的特征在于，包括-接收基于經(jīng)由通信線路發(fā)布的初期微動(dòng)的緊急地震信息的接收部或者直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初期微動(dòng)檢測(cè)部；和控制部，實(shí)施基于根據(jù)初期微動(dòng)檢測(cè)接收的緊急地震信息或者檢 測(cè)到的初期微動(dòng)而停止熱處理爐的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序以及當(dāng)所述門(mén)機(jī)構(gòu) 為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使該門(mén)機(jī)構(gòu)進(jìn)行關(guān)閉動(dòng)作的第二工序。
12. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于所述熱處理爐具備加熱器、減壓泵、以及供給處理氣體或者不 活潑性氣體的閥，所述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)， 使所述加熱器和/或所述減壓泵關(guān)閉，使所述處理氣體和不活潑性氣體 的閥關(guān)閉，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到規(guī)定值時(shí)，使所述加熱器和/或減壓泵保 持為打開(kāi)的狀態(tài)，使所述不活潑性氣體的閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使所 述處理氣體的閥關(guān)閉。
13. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于所述熱處理爐具備加熱器、以及供給處理氣體或者不活潑性氣 體的閥，所述第一工序包括當(dāng)預(yù)測(cè)震度為規(guī)定值以上時(shí)，關(guān)閉所述 加熱器，關(guān)閉所述處理氣體和不活潑性氣體的閥，當(dāng)預(yù)測(cè)震度未達(dá)到 規(guī)定值時(shí)，使所述加熱器保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使所述不活潑性氣體的 閥保持為打開(kāi)的狀態(tài)，使所述處理氣體的閥關(guān)閉。
14. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于-半導(dǎo)體制造裝置還具備從所述搬入搬出部上的收納容器取下蓋并 檢測(cè)收納容器內(nèi)的被處理體的位置的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述第二工序包括 當(dāng)所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)工作時(shí)，使該檢測(cè)機(jī)構(gòu)返回初始狀態(tài)并關(guān)閉蓋。
15. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于半導(dǎo)體制造裝置具備從所述作業(yè)區(qū)域一側(cè)收容被處理體并將其圓 周上的標(biāo)記的位置對(duì)齊的排列機(jī)構(gòu)，所述第二工序包括使設(shè)置在所 述排列機(jī)構(gòu)的中心位置對(duì)齊機(jī)構(gòu)動(dòng)作從而限制被處理體。
16. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于所述第二工序包括當(dāng)所述搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行升降動(dòng)作時(shí)，使該搬送 機(jī)構(gòu)移動(dòng)到下降最低的位置并停止。
17. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于搬送裝置具有搬送臂，所述第二工序包括當(dāng)所述搬送機(jī)構(gòu)伸展 搬送臂將收納容器載置在保管擱板部上時(shí)或者從保管擱板部取出時(shí)， 使搬送臂保持為伸展的狀態(tài)。
18. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于半導(dǎo)體制造裝置具備從所述搬送機(jī)構(gòu)向移載部交接收納容器的交 接機(jī)構(gòu)，所述第二工序包括所述交接機(jī)構(gòu)將收納容器向移載部交接 時(shí)，使交接機(jī)構(gòu)保持為把持收納容器的狀態(tài)。
19. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于-所述第二工序包括當(dāng)所述升降機(jī)構(gòu)將保持件從熱處理爐內(nèi)搬出 時(shí)，將該保持件再次搬入熱處理爐內(nèi)。
20. 如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的地震受害擴(kuò)散減輕系 統(tǒng)，其特征在于半導(dǎo)體制造裝置具備為了實(shí)施所述被處理體的移載而載置保持 件的保持件載置臺(tái)、以及將載置在該保持件載置臺(tái)上的保持件鎖定的 鎖定機(jī)構(gòu)，所述第二工序包括當(dāng)保持件被載置在所述保持件載置臺(tái)上時(shí)，所述鎖定機(jī)構(gòu)將所述保持件鎖定。
全文摘要
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造裝置中的地震受害擴(kuò)散減輕方法和系統(tǒng)，包括具有收納容器的搬送機(jī)構(gòu)的搬送區(qū)域；通過(guò)搬入搬出部從收納容器取下蓋并檢測(cè)被處理體位置的檢測(cè)機(jī)構(gòu)；從搬送機(jī)構(gòu)將收納容器交至移載部的交接機(jī)構(gòu)；設(shè)在熱處理爐下方作業(yè)區(qū)域、將保持件支撐在蓋體上并向熱處理爐出入的升降機(jī)構(gòu)；使分割搬送和作業(yè)區(qū)域的隔壁的開(kāi)口部與移載部的收納容器的蓋同時(shí)開(kāi)關(guān)的門(mén)機(jī)構(gòu)；被處理體排列機(jī)構(gòu)。經(jīng)由通信線路發(fā)布的基于初期微動(dòng)的緊急地震信息由接收部接收或初期微動(dòng)檢測(cè)部直接檢測(cè)初期微動(dòng)。控制部實(shí)行基于接收部接收的緊急地震信息或初期微動(dòng)檢測(cè)部檢測(cè)的初期微動(dòng)停止半導(dǎo)體制造裝置運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序以及當(dāng)門(mén)機(jī)構(gòu)為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)使其關(guān)閉的第二工序。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101447404SQ20081017848
公開(kāi)日2009年6月3日 申請(qǐng)日期2008年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月30日
發(fā)明者菅原佑道, 菊池 浩 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社